JP5298385B2 - エッチング廃液の処理方法 - Google Patents
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Description
また、エッチング廃液に含まれるレアアースのインジウムは、その濃度が低すぎて、回収のコストが高くなり、実質的に回収が不能な状態であった。
図1は、本発明のエッチング廃液を蒸留する装置の構成例を示す図である。ただし、ここに示す例は、一例に過ぎず、これ以外の構成を採用することも可能である。蒸留装置10は、処理対象となるエッチング廃液を収容する蒸留器11と、ヒーター12と、第1凝縮器13、第2凝縮器14と、留出液容器15とを有する。蒸留器11と第1凝縮器13との間は、管路16で接続され、第1凝縮器13、第2凝縮器14と留出液容器15とは、管路17で接続される。
エッチング廃液の元となるエッチング液は、水に塩酸を添加したもので、必要に応じてエッチャントとして、酸化鉄を添加したものを使用する。このエッチング液で、ITOが成膜された基板にレジストで電極パターンが形成された被エッチング材をエッチング加工し、エッチング廃液となる。
(1)過酸化水素水を添加して反応させる。
HClO+H2O2→HCl+H2O+O2
(3)酸素(O2)をバブリングし、かつ、紫外線を照射し、還元反応を起こさせる。
(4)オゾンをバブリングし、紫外線を照射することで、OHラジカルを発生させ、還元反応を起こさせる。
ITO電極を形成した後のエッチング廃液150.076gを蒸留器11に投入し、ヒーター12で加熱し、蒸留した。そして、留出液容器15内に留出液を79.878g回収できたところで、蒸留を終了した。エッチング廃液は、約2倍に濃縮されたことになる。
缶出液 844.682ppm
留出液 0ppm
となり、留出液にはインジウムイオンが混入していないことが確認でき、蒸留によってインジウムを濃縮できることが確認できた。同様に他のニッケル、銅、鉄などの金属イオンも含まれていなかった。
CuO → 16.64wt%
FeO3 → 8.80wt%
InO3 → 4.45wt%
11 蒸留器
12 ヒーター
13 凝縮器
14 凝縮器
15 留出液容器
16 管路
17 管路
Claims (5)
- 塩酸を含むエッチング液によってITOが成膜された被エッチング材をエッチング加工した後のエッチング廃液を蒸留する工程と、蒸留して得られた次亜塩素酸を含む留出液の前記次亜塩素酸を還元処理して塩酸を得る工程と、を有することを特徴とするエッチング廃液の処理方法。
- 前記還元処理が、前記留出液中にオゾンの気泡を送り込むオゾンバブリングによることを特徴とする請求項1に記載のエッチング廃液の処理方法。
- 前記還元処理が、前記留出液中に過酸化水素水を混入することによることを特徴とする請求項1に記載のエッチング廃液の処理方法。
- 前記還元処理が、前記留出液中に酸素を混入し、かつ、紫外線を照射することによることを特徴とする請求項1に記載のエッチング廃液の処理方法。
- 前記還元処理が、前記留出液中にオゾンをバブリングするとともに紫外線を照射してOHラジカル発生させることによることを特徴とする請求項1に記載のエッチング廃液の処理方法。
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