JP5286755B2 - Microscope stage and microscope - Google Patents

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Description

本発明は、顕微鏡ステージおよび顕微鏡に関し、特に、ステージの移動量を明確に表示できる顕微鏡ステージおよび顕微鏡に関する。   The present invention relates to a microscope stage and a microscope, and more particularly to a microscope stage and a microscope that can clearly display the amount of movement of the stage.

主に工業用の顕微鏡などにおいては、いわゆる3枚板ステージと称される構成が提案されている(例えば、特許文献1参照)。   For industrial microscopes and the like, a so-called three-plate stage has been proposed (for example, see Patent Document 1).

3枚板ステージは、顕微鏡に固定された下板と、下板に対してY方向に移動可能な中板と、中板に対してX方向に移動可能な上板とを有する構成とされている。   The three-plate stage has a lower plate fixed to the microscope, a middle plate movable in the Y direction with respect to the lower plate, and an upper plate movable in the X direction with respect to the middle plate. Yes.

特開2003−241106号公報JP 2003-241106 A

しかしながら、従来の3枚板ステージには、移動量を表示するためのスケールが設けられていなかった。   However, the conventional three-plate stage has not been provided with a scale for displaying the movement amount.

本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、ステージの移動量を明確に表示できる顕微鏡ステージおよび顕微鏡を提供することができるようにするものである。   The present invention has been made in view of such a situation, and provides a microscope stage and a microscope that can clearly display the amount of movement of the stage.

本発明の顕微鏡ステージは、顕微鏡に固定された下板と、前記下板の上に設けられ、前記下板に対して第1の方向に移動可能な中板と、前記中板の上に設けられ、前記中板に対して第2の方向に移動可能な上板と、前記中板の上面端部であって前記第1の方向に沿って設けられ、前記下板に対する前記中板の相対的な移動量を表示するための第1のスケールと、前記上板の上面部であって前記第2の方向に沿って設けられ、前記中板に対する前記上板の相対的な移動量を表示するための第2のスケールとを備え、前記第1のスケールと前記第2のスケールは、各スケールの目盛を指す指標をそれぞれ備え、前記それぞれの指標が前記第1のスケールと前記第2のスケールの目盛0を示す位置が基準位置であり、前記第1のスケールの指標は前記下板の上面部に取り付けられ、また前記第2のスケールの指標は前記中板の上面部に取り付けられ、かつ両方の指標は前記中板及び前記上板が移動しても、上板の上方向から視認できるように配置されており、前記第2の方向であって前記第1のスケール側に前記上板がフルストローク移動した際、前記第1のスケールが前記上板の上方向から視認可能となる位置で前記上板が停止するように構成され、前記上板の試料載置部は、試料が載置されるべき位置を示すガイド部を備え、前記上板および前記中板が前記基準位置に配置されている状態において、前記ガイド部は、その中心が観察位置にある対物レンズの光軸と一致する位置に設けられることを特徴とする。 The microscope stage of the present invention is provided on a lower plate fixed to a microscope, an intermediate plate provided on the lower plate, movable in a first direction with respect to the lower plate, and the intermediate plate. An upper plate that is movable in a second direction with respect to the middle plate; and an upper surface end portion of the middle plate that is provided along the first direction, and that the middle plate is relative to the lower plate. A first scale for displaying a general movement amount, and an upper surface portion of the upper plate, which is provided along the second direction, and displays a relative movement amount of the upper plate with respect to the middle plate. A second scale, and each of the first scale and the second scale includes an index indicating a scale of each scale, and each of the indices includes the first scale and the second scale. The position indicating scale scale 0 is the reference position, and the index of the first scale is the front The second scale is attached to the upper surface of the lower plate, and the second scale is attached to the upper surface of the middle plate. The first scale is visible from above the upper plate when the upper plate moves in the second direction toward the first scale in the second direction. The upper plate is configured to stop at a possible position, and the sample mounting portion of the upper plate includes a guide portion indicating a position where the sample is to be mounted, and the upper plate and the middle plate are In the state where the guide portion is disposed at the reference position, the guide portion is provided at a position where the center thereof coincides with the optical axis of the objective lens at the observation position .

本発明によれば、ステージの移動量を明確に表示できる顕微鏡ステージ、および顕微鏡を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the microscope stage which can display the moving amount | distance of a stage clearly, and a microscope can be provided.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本発明を適用した顕微鏡10の一実施の形態に係る構成例を示す図である。この顕微鏡10は、いわゆる倒立型顕微鏡として構成されており、例えば、工業用の試料などを観察するために用いられる。   FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example according to an embodiment of a microscope 10 to which the present invention is applied. This microscope 10 is configured as a so-called inverted microscope, and is used for observing, for example, industrial samples.

図1に示される顕微鏡10は、照明11によりステージ20上に載置される試料に、図中下側から光を照射し、試料で反射した光などを、ステージ20の図中下側に位置する対物レンズ13により観察するようになされている。   The microscope 10 shown in FIG. 1 irradiates the sample placed on the stage 20 with the illumination 11 from the lower side in the drawing, and reflects the light reflected by the sample on the lower side in the drawing of the stage 20. The objective lens 13 is used for observation.

ステージ20は、後述するように、上板、中板、および下板で構成される、いわゆる3枚板ステージである。観察者は、ハンドルユニット14のハンドルを操作することで、顕微鏡10に固定されている下板に対して中板を移動させ、また、中板に対して上板を移動させて試料のXY方向の位置を移動させることができるようになされている。   As will be described later, the stage 20 is a so-called three-plate stage composed of an upper plate, a middle plate, and a lower plate. The observer operates the handle of the handle unit 14 to move the middle plate relative to the lower plate fixed to the microscope 10, and also moves the upper plate relative to the middle plate to move the sample in the XY direction. The position of can be moved.

図2は、図1のステージ20を拡大した図である。同図に示されるように、ステージ20は、下板21、中板22、および上板23により構成されており、上板23には、試料60を載置して保持するためのホルダ41が取り付けられている。なお、試料60は、ホルダ41に円形の穴として設けられたガイド41aに落とし込まれることにより、ホルダ41に保持される。   FIG. 2 is an enlarged view of the stage 20 of FIG. As shown in the figure, the stage 20 includes a lower plate 21, an intermediate plate 22, and an upper plate 23, and a holder 41 for placing and holding the sample 60 is placed on the upper plate 23. It is attached. The sample 60 is held in the holder 41 by being dropped into a guide 41 a provided as a circular hole in the holder 41.

図3は、図1のステージ20を図中上側の矢印の方向から見た図である。また、図4は、ステージ20を、図3の図中右方向から対物レンズ中心部を見た断面図である。   FIG. 3 is a view of the stage 20 of FIG. 1 as viewed from the direction of the arrow on the upper side in the drawing. FIG. 4 is a cross-sectional view of the stage 20 as viewed from the center of the objective lens in the right direction in FIG.

図3に示されるように、上板23の中央付近に、ホルダ41が取り付けられており、ホルダ41のガイド41aと同心の開口部41bにおいて、試料の底面が対物レンズ13により観察されるようになされている。開口部41bの中心は、中板22および上板23が各々の移動範囲の中心に配置された状態において、対物レンズ13の光軸上に位置するようになっている。   As shown in FIG. 3, a holder 41 is attached near the center of the upper plate 23 so that the bottom surface of the sample is observed by the objective lens 13 in an opening 41 b concentric with the guide 41 a of the holder 41. Has been made. The center of the opening 41b is positioned on the optical axis of the objective lens 13 in a state where the middle plate 22 and the upper plate 23 are arranged at the centers of the respective movement ranges.

下板21は、顕微鏡10に固定されており、移動できない。中板22は、下板21に対して図3中上下方向であるY方向に所定の量だけ移動可能となるように構成されている。   The lower plate 21 is fixed to the microscope 10 and cannot move. The middle plate 22 is configured to be movable by a predetermined amount with respect to the lower plate 21 in the Y direction which is the vertical direction in FIG.

図2に示されるように、下板21と中板22が接合される部分に、コロレース22a―1、22a−2が設けられており、例えば、ハンドルユニット14のY軸ハンドル14aを回転させることにより、下板21に対して中板22がY方向に移動するようになされている。すなわち、ハンドルユニット14は、中板22に固定されており、Y軸ハンドル14aを回転させると、ピニオン31が回転し、下板21に固定されたラック32を介して中板22を、図2の紙面と垂直方向であって、図3のY方向(第2の方向)に移動させるようになされている。なお、このとき、本実施例では、ハンドルユニット14も中板22とともに移動することになるが、ハンドル14とステージ20との構成によっては、ステージの移動に伴うハンドル14の移動を制限することも可能である。   As shown in FIG. 2, roller races 22a-1 and 22a-2 are provided at a portion where the lower plate 21 and the middle plate 22 are joined. For example, the Y-axis handle 14a of the handle unit 14 is rotated. Thus, the middle plate 22 is moved in the Y direction with respect to the lower plate 21. That is, the handle unit 14 is fixed to the intermediate plate 22, and when the Y-axis handle 14 a is rotated, the pinion 31 is rotated, and the intermediate plate 22 is connected to the intermediate plate 22 via the rack 32 fixed to the lower plate 21. It is made to move in the Y direction (second direction) in FIG. At this time, in this embodiment, the handle unit 14 also moves together with the middle plate 22. However, depending on the configuration of the handle 14 and the stage 20, the movement of the handle 14 accompanying the movement of the stage may be limited. Is possible.

上板23は、中板22に対して図3中の左右方向であるX方向(第1の方向)に所定の量だけ移動可能となるように構成されている。   The upper plate 23 is configured to be movable by a predetermined amount in the X direction (first direction) which is the left-right direction in FIG.

図4に示されるように、上板23と中板22とが接合される部分に、コロレース23a―1、23a−2が設けられており、例えば、図2のハンドルユニット14のX軸ハンドル14bを回転させることにより、中板22に対して上板23がX方向に移動するようになされている。すなわち、ハンドルユニット14は、中板22に固定されており、図2のX軸ハンドル14bを回転させると、ピニオン33が回転し、上板23に固定されたラック34を、上板23とともに、図2中左右方向であって、図3のX方向に移動させるようになされている。   As shown in FIG. 4, roller races 23a-1 and 23a-2 are provided at a portion where the upper plate 23 and the middle plate 22 are joined. For example, the X-axis handle 14b of the handle unit 14 of FIG. Is rotated so that the upper plate 23 moves in the X direction with respect to the middle plate 22. That is, the handle unit 14 is fixed to the middle plate 22, and when the X-axis handle 14 b of FIG. 2 is rotated, the pinion 33 rotates, and the rack 34 fixed to the upper plate 23 is moved together with the upper plate 23. It is made to move in the left-right direction in FIG. 2 and in the X direction in FIG.

また、図3に示されるように、ステージ20の上板23上、観察者から視認可能となる位置に、X方向スケール51(第2のスケール)が取り付けられている。指標52は、中板22に固定されて、上板23の上から視認できるように取り付けられており、指標52によって示されるX方向スケール51の目盛を参照することで、観察者は、ホルダ41に保持させた試料を、X方向にどれだけ移動したかを確認できるようになされている。   In addition, as shown in FIG. 3, an X-direction scale 51 (second scale) is attached on the upper plate 23 of the stage 20 at a position that can be viewed by an observer. The indicator 52 is fixed to the middle plate 22 and attached so as to be visible from above the upper plate 23. By referring to the scale of the X-direction scale 51 indicated by the indicator 52, the observer can hold the holder 41. It is possible to confirm how much the sample held in the X direction has moved in the X direction.

この例では、X方向スケール51の目盛は、「−20」乃至「20」とされており、単位は、例えばミリメートルとされる。すなわち、上板23は、図3中左方向に20ミリメートル、右方向20ミリメートルそれぞれ移動可能となるようなX方向のストロークを有するようになされており、そのストローク中心位置において、指標52がX方向スケール51の目盛「0」を指すように設定されている。   In this example, the scale of the X direction scale 51 is “−20” to “20”, and the unit is, for example, millimeters. That is, the upper plate 23 has a stroke in the X direction that can move 20 millimeters in the left direction and 20 millimeters in the right direction in FIG. 3, and the index 52 is in the X direction at the stroke center position. The scale 51 is set so as to indicate the scale “0”.

さらに、図3に示されるように、ステージ20の中板22上、観察者から視認可能となる位置に、Y方向スケール53(第1のスケール)が取り付けられている。指標54は、下板21に固定されて、中板22の上から視認できるように取り付けられており、指標54によって示されるY方向スケール53の目盛を参照することで、観察者は、ホルダ41に保持させた試料を、Y方向にどれだけ移動したかを確認できるようになされている。   Further, as shown in FIG. 3, a Y-direction scale 53 (first scale) is attached on the middle plate 22 of the stage 20 at a position where it can be viewed by an observer. The indicator 54 is fixed to the lower plate 21 and attached so as to be visible from above the middle plate 22. By referring to the scale of the Y-direction scale 53 indicated by the indicator 54, the observer can hold the holder 41. It is possible to confirm how much the sample held in the Y direction has moved in the Y direction.

この例では、Y方向スケール53の目盛は、「−20」乃至「20」とされており、単位は、例えばミリメートルとされる。すなわち、中板22は、図3中下方向に20ミリメートル、上方向20ミリメートルそれぞれ移動可能となるようなY方向のストロークを有するようになされており、そのストローク中心位置において、指標54がY方向スケール53の目盛「0」を指すように設定されている。   In this example, the scale of the Y-direction scale 53 is “−20” to “20”, and the unit is, for example, millimeters. That is, the intermediate plate 22 has a stroke in the Y direction that can move 20 millimeters in the downward direction and 20 millimeters in the upward direction in FIG. The scale 53 is set to indicate the scale “0”.

図3の状態においては、指標52はX方向スケール51の目盛「0」を指しており、指標54はY方向スケール53の目盛「0」を指している。この状態において、ガイド41aの中心点41cが、対物レンズ13の光軸と一致するように設定されており、観察者は、図3に示される状態において、試料の中心を観察していることになる。   In the state of FIG. 3, the index 52 indicates the scale “0” of the X direction scale 51, and the index 54 indicates the scale “0” of the Y direction scale 53. In this state, the center point 41c of the guide 41a is set to coincide with the optical axis of the objective lens 13, and the observer observes the center of the sample in the state shown in FIG. Become.

なお、試料60は、例えば、図5に示されるように円筒形に構成されている。試料60は、観察対象物61を、専用のカップなどに入れ、そのカップに樹脂62を注入して硬化させた後、カップから取り出して断面60aを研磨することで製作される。試料60の断面60aには、観察対象物61の断面61aも含まれており、観察者は、対物レンズ13を介して観察対象物61の断面61aを観察することになる。   Note that the sample 60 is formed in a cylindrical shape as shown in FIG. 5, for example. The sample 60 is manufactured by putting the observation object 61 in a dedicated cup or the like, injecting the resin 62 into the cup and curing it, and then removing it from the cup and polishing the cross section 60a. The cross section 60a of the sample 60 also includes the cross section 61a of the observation object 61, and the observer observes the cross section 61a of the observation object 61 through the objective lens 13.

また、試料60を製作する際に用いられるカップは、その口径が1インチ、1.25インチ、1.5インチ、2インチなどの円筒形のものが一般的である。従って、試料60の断面60aの直径も、通常、1インチ、1.25インチ、1.5インチ、2インチのいずれかとなる。   Moreover, the cup used when producing the sample 60 is generally a cylindrical cup having a diameter of 1 inch, 1.25 inch, 1.5 inch, 2 inch or the like. Accordingly, the diameter of the cross section 60a of the sample 60 is also usually 1 inch, 1.25 inch, 1.5 inch, or 2 inch.

本発明では、試料60の直径に応じて複数の種類のホルダ41を選択することができるようになされている。例えば、ガイド41aの直径が、1インチ、1.25インチ、1.5インチ、または2インチよりそれぞれやや大きいものとなる4種類のホルダ41を用意しておき、ステージ20に対してそれらのホルダ41が着脱可能となるように構成されている。このようにすることで、常に、試料60の中心をガイド41aの中心に一致させるように載置することができる。   In the present invention, a plurality of types of holders 41 can be selected according to the diameter of the sample 60. For example, four types of holders 41 are prepared in which the diameter of the guide 41a is slightly larger than 1 inch, 1.25 inches, 1.5 inches, or 2 inches, and these holders are placed on the stage 20. 41 is configured to be detachable. By doing in this way, it can always be mounted so that the center of the sample 60 may coincide with the center of the guide 41a.

図6は、図2に示される状態から、上板23を、X軸ハンドル14bを回転させることにより、中板22に対して上板23がフルストローク、X方向に移動されられた状態を示す図である。図6においては、図2の場合と比較して、試料60の位置が、対物レンズ13に対して図中左側に移動させられている。   FIG. 6 shows a state where the upper plate 23 is moved in the X direction with respect to the middle plate 22 by rotating the X-axis handle 14b from the state shown in FIG. FIG. In FIG. 6, the position of the sample 60 is moved to the left in the drawing with respect to the objective lens 13 as compared with the case of FIG. 2.

図7は、図6を図中上方向であって、矢印の方向から見た図であり、図3に対応する図である。同図に示されるように、ステージ20の上板23がX方向であって、図中左方向にフルストローク(20ミリメートル)移動させられたことにより、指標52がX方向スケール51のメモリ「20」を指している。図7の場合、上板23は図中左方向にフルストローク移動されているので、この状態から上板23をさらに左方向に移動させることはできない。これは、上板23と中板22との間に設けられる、X方向移動部材(不図示)により達成される。   FIG. 7 is a view of FIG. 6 as viewed from the direction of the arrow in the upward direction in the drawing, and corresponds to FIG. As shown in the figure, when the upper plate 23 of the stage 20 is moved in the X direction and moved to the left in the figure by a full stroke (20 millimeters), the index 52 is stored in the memory “20 of the X direction scale 51. ". In the case of FIG. 7, the upper plate 23 has been moved by a full stroke in the left direction in the figure, and therefore the upper plate 23 cannot be moved further leftward from this state. This is achieved by an X-direction moving member (not shown) provided between the upper plate 23 and the middle plate 22.

図7に示されるように、ステージ20の中板22に取り付けられたY方向スケール53および指標54は、上板23が図中左方向にフルストローク移動させられた状態であっても、上板23の上側から視認可能となるように取り付けられている。   As shown in FIG. 7, the Y-direction scale 53 and the indicator 54 attached to the middle plate 22 of the stage 20 can be used even when the upper plate 23 is moved in the full stroke in the left direction in the drawing. It is attached so as to be visible from the upper side of 23.

すなわち、観察者は、ステージ20の最も上側に位置する上板に取り付けられたX方向スケール51を指標52とともに常に視認できることは勿論、ステージ20において、上板23の下に位置する中板22に取り付けられたY方向スケール53も指標54とともに常に視認できる。   That is, the observer can always visually recognize the X-direction scale 51 attached to the upper plate located on the uppermost side of the stage 20 together with the index 52, and on the middle plate 22 located below the upper plate 23 on the stage 20. The attached Y-direction scale 53 is always visible together with the indicator 54.

このようにすることで、観察者は、試料をどの方向にどれだけ移動させたかを、常に確認することができる。   By doing in this way, the observer can always confirm how much and in what direction the sample has been moved.

例えば、従来の3枚板ステージには、移動量を表示するためのスケールが設けられていなかった。また、試料の大きさを測定可能な測定用顕微鏡などには、カウンタ値などによりステージの移動量を表示するためのエンコーダが設けられているが、エンコーダを搭載した顕微鏡は、高価なものとなってしまう。   For example, the conventional three-plate stage has not been provided with a scale for displaying the movement amount. In addition, a measurement microscope that can measure the size of a sample is provided with an encoder for displaying the amount of stage movement based on a counter value, etc., but a microscope equipped with an encoder is expensive. End up.

このため、従来の3枚板ステージの顕微鏡を利用する観察者は、試料をどの方向にどれだけ移動させたかを確認することができなかった。特に、倒立型顕微鏡においては、対物レンズがステージの下側に位置しているため、観察者は、試料のどの位置を観察しているのかを確認することが難しかった。   For this reason, an observer using a conventional three-plate stage microscope cannot confirm how much the sample is moved in which direction. In particular, in an inverted microscope, the objective lens is located on the lower side of the stage, so that it is difficult for the observer to confirm which position of the sample is being observed.

本発明の顕微鏡10においては、ステージ20の上方向から、X方向スケール51を指標52とともに常に視認でき、かつ、上板23の下に位置する中板22に取り付けられたY方向スケール53も指標54とともに常に視認できるので、観察者は、試料のどの位置を観察しているのかを、簡単に確認することができる。   In the microscope 10 of the present invention, the X-direction scale 51 can always be visually recognized together with the index 52 from above the stage 20, and the Y-direction scale 53 attached to the middle plate 22 positioned below the upper plate 23 is also an index. Since it is always visible together with 54, the observer can easily confirm which position of the sample is being observed.

以上においては、倒立型顕微鏡に本発明を適用する例について説明したが、例えば、正立型顕微鏡に本発明を適用することも可能である。   In the above, an example in which the present invention is applied to an inverted microscope has been described. However, for example, the present invention can also be applied to an upright microscope.

本発明を適用した顕微鏡の一実施の形態に係る構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example which concerns on one Embodiment of the microscope to which this invention is applied. 図1のステージの構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the stage of FIG. 図2の図中上方向から見たステージの図である。It is the figure of the stage seen from the upper direction in the figure of FIG. 図3の図中左方向から見たステージの図である。It is the figure of the stage seen from the left direction in the figure of FIG. 試料の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of a sample. 図2に示される状態から、上板23をフルストロークX方向に移動させた状態を示す図である。It is a figure which shows the state which moved the upper board 23 to the full stroke X direction from the state shown by FIG. 図6の図中上方向から見たステージの図である。It is the figure of the stage seen from the upper direction in the figure of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10 顕微鏡,
13 対物レンズ,
14 ハンドルユニット,
14a Y軸ハンドル,
14b X軸ハンドル,
20 ステージ,
21 下板,
22 中板,
23 上板,
31 ピニオン,
32 ラック,
33 ピニオン,
34 ラック,
41 ホルダ,
41a ガイド,
41b 開口部,
51 X方向スケール,
52 指標,
53 Y方向スケール,
54 指標,
60 試料
10 microscope,
13 objective lens,
14 handle unit,
14a Y-axis handle,
14b X-axis handle,
20 stages,
21 Lower plate,
22 middle plate,
23 Upper plate,
31 pinion,
32 racks,
33 Pinion,
34 racks,
41 holder,
41a guide,
41b opening,
51 X direction scale,
52 indicators,
53 Y-direction scale,
54 indicators,
60 samples

Claims (2)

顕微鏡に固定された下板と、
前記下板の上に設けられ、前記下板に対して第1の方向に移動可能な中板と、
前記中板の上に設けられ、前記中板に対して第2の方向に移動可能な上板と、
前記中板の上面端部であって前記第1の方向に沿って設けられ、前記下板に対する前記中板の相対的な移動量を表示するための第1のスケールと、
前記上板の上面部であって前記第2の方向に沿って設けられ、前記中板に対する前記上板の相対的な移動量を表示するための第2のスケールとを備え、
前記第1のスケールと前記第2のスケールは、各スケールの目盛を指す指標をそれぞれ備え、
前記それぞれの指標が前記第1のスケールと前記第2のスケールの目盛0を示す位置が基準位置であり、
前記第1のスケールの指標は前記下板の上面部に取り付けられ、また前記第2のスケールの指標は前記中板の上面部に取り付けられ、かつ両方の指標は前記中板及び前記上板が移動しても、上板の上方向から視認できるように配置されており、
前記第2の方向であって前記第1のスケール側に前記上板がフルストローク移動した際、前記第1のスケールが前記上板の上方向から視認可能となる位置で前記上板が停止するように構成され、
前記上板の試料載置部は、試料が載置されるべき位置を示すガイド部を備え、
前記上板および前記中板が前記基準位置に配置されている状態において、前記ガイド部は、その中心が観察位置にある対物レンズの光軸と一致する位置に設けられる
ことを特徴とする顕微鏡ステージ。
A lower plate fixed to a microscope;
An intermediate plate provided on the lower plate and movable in a first direction relative to the lower plate;
An upper plate provided on the middle plate and movable in a second direction relative to the middle plate;
A first scale for displaying a relative movement amount of the intermediate plate with respect to the lower plate, provided on the upper surface end of the intermediate plate along the first direction;
A second scale for displaying a relative movement amount of the upper plate with respect to the middle plate, provided on the upper surface portion of the upper plate along the second direction;
Each of the first scale and the second scale includes an index indicating a scale of each scale,
A position where each of the indices indicates the scale 0 of the first scale and the second scale is a reference position,
The indicator of the first scale is attached to the upper surface portion of the lower plate, the indicator of the second scale is attached to the upper surface portion of the middle plate, and both indicators are the middle plate and the upper plate. Even if it moves, it is arranged so that it can be seen from above the upper plate,
When the upper plate moves in the second direction toward the first scale toward the first scale, the upper plate stops at a position where the first scale becomes visible from above the upper plate. Configured as
The sample mounting portion of the upper plate includes a guide portion indicating a position where the sample is to be mounted,
In the state where the upper plate and the middle plate are arranged at the reference position, the guide portion is provided at a position where the center thereof coincides with the optical axis of the objective lens at the observation position. .
請求項1の前記顕微鏡ステージを備えた顕微鏡。 A microscope comprising the microscope stage according to claim 1 .
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