JP5277491B2 - 半導体装置 - Google Patents

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本発明は、半導体装置に関し、特に複数の半導体チップを有する半導体装置に関するものである。
半導体装置の中には、互いにワイヤにより接続された複数の半導体チップを有するパッケージがある。
たとえば特開2007−220790号公報(特許文献1)によれば、半導体装置は、第1および第2の半導体チップと、この第1および第2の半導体チップを隣接して配置する配線基板と、複数のワイヤとを有する。第1および第2の半導体チップの各々は、その外周に沿った位置に配列された複数のパッドを有する。第1の半導体チップのパッドのうち、第1の半導体チップの外周の第2の半導体チップに面する部分に沿って設けられたパッドは、第1および第2の半導体チップを互いに接続する目的で使用されている。
また、たとえば特開2007−180587号公報(特許文献2)によれば、半導体装置は、積層半導体チップと、インターポーザチップとを有する。インターポーザチップは、機能素子が形成されていないダミー半導体チップであり、配線層を有する。半導体チップは、配線層を介して、積層基台または別の半導体チップに接続されている。
また、たとえば特開2005−327967号公報(特許文献3)によれば、半導体装置は、第1および第2の半導体チップと、半導体装置の一方側に設けられたリードと、複数のワイヤとを有する。第1および第2の半導体チップの各々は、ワイヤによりリードと接続されている。第1の半導体チップとリードとを接続するワイヤは、第2の半導体チップを飛び越えている。
特開2007−220790号公報(第4図) 特開2007−180587号公報(第2図) 特開2005−327967号公報
上記の特開2007−220790号公報(特許文献1)の技術においては、外周に沿って設けることができるパッド数が限られている中で、第1の半導体チップのパッドのうちの一部が第1および第2の半導体チップを互いに接続することを直接の目的として使用されている。このため、第1の半導体チップと半導体装置のリードとを電気的に接続する目的で用いることができるパッド数が不足することがある。この不足を補うために第1の半導体チップの外周の長さが大きくされると、第1の半導体チップの面積が大きくなるので、半導体装置の面積が大きくなってしまうという問題があった。
また上記の特開2007−180587号公報(特許文献2)の技術においては、インターポーザチップの面積の分だけ、半導体装置の面積が大きくなってしまうという問題があった。
また上記の特開2005−327967号公報(特許文献3)の技術においては、第2の半導体チップを飛び越えて第1の半導体チップと接続されているワイヤと、第2の半導体チップに接続されたワイヤとが、半導体装置の一方側から互いに並走して延びている。このため、両ワイヤ間の距離が小さくなるので、両ワイヤ間の電気信号、すなわち第1および第2の半導体チップの電気信号が互いに干渉することがあるという問題があった。
特に、たとえば半導体装置がデジタル・アナログ混載パッケージである場合、すなわち、第1および第2の半導体チップのそれぞれが、デジタル系信号を扱うIC(Integrated Circuit)およびアナログ系信号を扱うICである場合、デジタル信号とアナログ信号とが干渉することがある。特にデジタル信号は信号強度の時間変化が急激となる瞬間があるので、デジタル信号がアナログ信号に干渉してしまうことが懸念される。
本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、小型であり、かつ第1および第2の半導体チップの各々の信号の干渉が抑制された半導体装置を提供することである。
本発明の一の実施の形態によれば、半導体装置は、アイランドと、第1および第2の半導体チップと、第1および第2のリードと、第1および第2のワイヤと、封止部とを有する。
第1の半導体チップは、アイランド上に設けられ、第1のパッドを有する。第2の半導体チップは、平面視において第1の辺と第1の辺に対向する第2の辺と第3および第4の辺とを有する矩形状の外周を有し、第1〜第4の辺のうち第1の辺が第1の半導体チップに最も近くなるようにアイランド上に設けられている。第2の半導体チップは、第1および第2の辺の各々との距離に比して第3の辺との距離が小さい位置に設けられた第2のパッドを含む。第1のリードは、平面視において第1のパッドとの間に第1および第2の辺を挟むように配置されている。第1のワイヤは、第2の半導体チップの上方を通り、平面視において第1および第2の辺と交差しかつ第3の辺との間に第2のパッドを挟むように第2の半導体チップの領域を経由し、第1のパッドを第1のリードに接続している。第2のリードは、平面視において第2のパッドとの間に第3の辺を挟むように配置されている。第2のワイヤは、第2のパッドを第2のリードに接続している。封止部は、第1および第2のリードの各々の一部が突出するように、第1および第2の半導体チップと第1および第2のワイヤとを封止している。
上記の一の実施の形態によれば、第1のパッドは、第2の半導体チップの上方を通る第1のワイヤによって第1のリードと接続される。よって第1のパッドは、第2の半導体チップの近傍に配置されていても、第2の半導体チップに阻害されることなく第1のリードに接続される。よって第1の半導体チップは、第2の半導体チップの近傍の位置にもリードに電気的に接続されたパッドを有することができる。よって第1の半導体チップがより小さくても、リードに電気的に接続されたパッドを第1の半導体チップに必要数だけ設けることができる。よって半導体装置を小型化することができる。
また、第2のパッドと第2のリードとは第3の辺を挟んでいるので、第2のワイヤは第2のパッドから第3の辺に向かって延びている。すなわち第2のワイヤは第1のワイヤから遠ざかるように延びているので、第1および第2のワイヤ間の電気信号は干渉しにくい。このため第1のワイヤを流れる第1の半導体チップの電気信号と、第2のワイヤを流れる第2の半導体チップの電気信号との間の干渉を抑制することができる。
以下、本発明の実施の形態について図に基づいて説明する。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を概略的に示す切欠斜視図である。また図2は、図1の概略平面図である。また図3および図4の各々は、図2の概略断面図である。また図5は、図2の封止部内をより模式的に示す部分平面図である。また図6は、図5の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。
なお図2においては、封止部は外縁のみ示されている。また図5および図6の各々においては封止部が示されていない。
図1〜図6を参照して、本実施の形態の半導体装置は、アイランドILと、第1および第2の半導体チップC1、C2と、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNと、シールドリードLEG、LWGと、吊リードTSW、TSE、TNE、TNWと、第1のワイヤB1Sと、第2のワイヤB2Eと、第3のワイヤB2Wと、ワイヤB1E、B1W、B1Nと、封止部RSとを有する。
アイランド(ダイパッド)ILは、リードフレームのうちチップが搭載される部分である。
第1の半導体チップC1はアイランドIL上に設けられている。第1の半導体チップC1は、図6に示すように、第1のパッドP1Sと、パッドP1E、P1W、P1Nとを有する。
第2の半導体チップC2は、図6に示すように、平面視において、矩形状の外周を有する。この矩形は、第1〜第4の辺S1〜S4を有する。第2の辺S2は第1の辺S1に対向する。第2の半導体チップC2は、第1〜第4の辺S1〜S4のうち第1の辺S1が第1の半導体チップC1に最も近くなるように、アイランドIL上に設けられている。
また第2の半導体チップC2は、第2のパッドP2Eと、第3のパッドP2Wとを有する。第2のパッドP2Eおよび第3のパッドP2Wのそれぞれは、第3および第4の辺S3、S4に沿って配列されている。より詳しくは、第2のパッドP2Eは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3の辺S3との距離が小さい位置に設けられている。また第3のパッドP2Wは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第4の辺S4との距離が小さい位置に設けられている。
第1のリードLSは、図5および図6に示すように、平面視において第1のパッドP1Sとの間に第1および第2の辺S1、S2を挟むように配置されている。
第1のワイヤB1Sは、第1のパッドP1Sを第1のリードLSに接続している。第1のワイヤB1Sは、図3に示すように、第2の半導体チップC2の上方を通っている。また第1のワイヤB1Sは、図6に示すように、平面視において、第1および第2の辺S1、S2と交差し、かつ第3および第4の辺S3、S4のそれぞれとの間に第2および第3のパッドP2E、P2Wを挟むように、第2の半導体チップC2の領域を経由している。
第2のリードLESは、図5および図6に示すように、平面視において、第2のパッドP2Eとの間に第3の辺S3を挟むように配置されている。第2のワイヤB2Eは、第2のパッドP2Eを第2のリードLESに接続している。
第3のリードLWSは、図5および図6に示すように、平面視において、第3のパッドP2Wとの間に第4の辺S4を挟むように配置されている。第3のワイヤB2Wは、第3のパッドP2Wを第3のリードLWSに接続している。
封止部RSは、図2に示すように、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNと、シールドリードLEG、LWGとの各々の一部が突出するように、第1および第2の半導体チップC1、C2と、第1のワイヤB1Sと、第2のワイヤB2Eと、第3のワイヤB2Wと、ワイヤB1E、B1W、B1Nとを封止している。封止部RSは、たとえば樹脂からなる。
リードLENは、図5に示すように、第2のリードLESとの間にシールドリードLEGを挟むように配置されている。またリードLWNは、図5に示すように、第3のリードLWSとの間にシールドリードLWGを挟むように配置されている。リードLNは、吊リードTNEおよびTNWを介して、リードLENおよびLWNの間に配置されている。
ワイヤB1Eは、パッドP1EをリードLENに接続している。またワイヤB1Wは、パッドP1WをリードLWNに接続している。またワイヤB1Nは、パッドP1NをリードLNに接続している。
好ましくは、第1および第2の半導体チップC1、C2のうち、一方はデジタル信号系で動作するIC(Integrated Circuit)であり、他方はアナログ信号系で動作するICである。これにより、第1のリードLSと、第2および第3のリードLES、LWSとのうち、一方はアナログ信号を伝達するためのリードであり、他方はデジタル信号を伝達するためのリードである。
この場合において、さらに好ましくは、第1の半導体チップC1はデジタル信号系で動作するICであり、第2の半導体チップC2はアナログ信号系で動作するICである。これにより、第1のリードLSはデジタル信号を伝達するためのリードであり、第2および第3のリードLES、LWSはアナログ信号を伝達するためのリードである。
また好ましくは、第2のパッドP2E(図6)は、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3の辺S3との距離が小さい位置に設けられている。さらに第3のパッドP2W(図6)は、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第4の辺S4との距離が小さい位置に設けられている。これにより、第2の半導体チップC2がワイヤボンディングのために有する全てのパッドは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3および第4の辺S3、S4のいずれかとの距離が小さい位置に設けられている。
また好ましくは、第2および第3のパッドP2E、P2Wはアナログ信号用パッドである。そして第2のパッドP2Eは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3の辺S3との距離が小さい位置に設けられている。さらに第3のパッドP2Wは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第4の辺S4との距離が小さい位置に設けられている。これにより、第2の半導体チップC2がワイヤボンディングのために有する全てのアナログ信号用パッドは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3および第4の辺S3、S4のいずれかとの距離が小さい位置に設けられている。
また好ましくは、図6に示すように、第3の辺S3は第1の辺S1よりも短い。
また好ましくは、シールドリードLEG、LWGの各々は、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNとの各々とから絶縁されている。
この場合において、さらに好ましくは、シールドリードLEG、LWGの各々は、一定電位に保持されている。一定電位に保持する方法としては、たとえばシールドリードLEG、LWGの各々が接地されればよい。
図7は、実施の形態1に対する比較例における半導体装置の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。主に図7を参照して、本実施の形態に対する比較例の半導体装置は、第1の半導体チップC1(図6)の代わりに半導体チップC1Zを有する。半導体チップC1Zは、第1のパッドP1S(図6)を有せず、代わりにより多くのパッドP1E、P1Wを有する。本比較例によれば、パッドP1E、P1Wがより多く設けられるために、半導体チップC1Zが第1の半導体チップC1よりも大きくなっている。この結果、半導体装置を小型化することが困難となっている。
本実施の形態によれば、第1のパッドP1S(図6)は、第2の半導体チップC2の上方を通る第1のワイヤB1Sによって第1のリードLS(図5)と接続されている。よって第1のパッドP1Sは、第2の半導体チップC2の近傍に配置されているにもかかわらず、第2の半導体チップC2に阻害されることなく第1のリードLSに電気的に接続されている。よって第1の半導体チップC1は、第2の半導体チップC2の近傍の位置にもリードに電気的に接続されたパッドを有することができる。よって第1の半導体チップC1がより小さくても、リードに電気的に接続されたパッドを必要数だけ設けることができる。よって半導体装置を小型化することができる。
また、第2のパッドP2E(図6)と第2のリードLES(図5)とは第3の辺S3(図6)を挟んでいるので、第2のワイヤB2Eは第2のパッドP2Eから第3の辺S3に向かって延びている。すなわち第2のワイヤB2Eは第1のワイヤB1Sから遠ざかるように延びているので、第1のワイヤB1Sおよび第2のワイヤB2E間の電気信号は干渉しにくい。このため第1のワイヤB1Sを流れる第1の半導体チップC1の電気信号と、第2のワイヤB2Eを流れる第2の半導体チップC2の電気信号との間の干渉を抑制することができる。
また、第3のパッドP2W(図6)と第3のリードLWS(図5)とは第4の辺S4(図6)を挟んでいるので、第3のワイヤB2Wは第3のパッドP2Wから第4の辺S4に向かって延びている。すなわち第3のワイヤB2Wは第1のワイヤB1Sから遠ざかるように延びているので、第1のワイヤB1Sおよび第3のワイヤB2W間の電気信号は干渉しにくい。このため第1のワイヤB1Sを流れる第1の半導体チップC1の電気信号と、第3のワイヤB2Wを流れる第3の半導体チップC2の電気信号との間の干渉を抑制することができる。
好ましくは、第1のリードLS(図5)と、第2および第3のリードLES、LWS(図5)とのうち、一方はアナログ信号を伝達するためのリードであり、他方はデジタル信号を伝達するためのリードである。これにより、アナログ信号とデジタル信号との干渉が抑制される。特に、電圧の変化が急激なデジタル信号がアナログ信号に干渉することを抑制することができる。
この場合において、さらに好ましくは、第1の半導体チップC1はデジタル信号系で動作するIC(Integrated Circuit)である。これにより、第1の半導体チップC1において第1のパッドP1S(図6)が設けられない場合に比して、より多くのパッドが設けられる。すなわち、デジタル信号系で動作するICに、より多くのパッドを設けることができる。
また好ましくは、図6に示すように、第2の半導体チップC2がワイヤボンディングのために有する全てのパッドは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3および第4の辺S3、S4のいずれかとの距離が小さい位置に設けられている。これにより、第2の半導体チップC2の全てのパッドの各々により伝達される電気信号と、第1の半導体チップC1の各々のパッドにより伝達される電気信号との間の干渉が抑制される。すなわち第1および第2の半導体チップC1、C2の間での電気信号の干渉を抑制することができる。
また好ましくは、第2および第3のパッドP2E、P2W(図6)はアナログ信号用パッドである。さらに、第2の半導体チップC2がワイヤボンディングのために有する全てのアナログ信号用パッドは、第1および第2の辺S1、S2の各々との距離に比して第3および第4の辺S3、S4のいずれかとの距離が小さい位置に設けられている。これにより、第2の半導体チップC2の全てのアナログ信号用パッドの各々により伝達される電気信号と、第1の半導体チップC1の各々のパッドにより伝達される電気信号との間の干渉が抑制される。すなわち第2の半導体チップC2のアナログ信号と、第1の半導体チップC1の電気信号との干渉を抑制することができる。
また好ましくは、図6に示すように、第3の辺S3は第1の辺S1よりも短い。これに対応して、第1のワイヤB1Sの長さを短くすることができる。よって図3に示すように第2の半導体チップC2の上方を通る必要のある第1のワイヤB1Sを、より容易に形成することができる。
また好ましくは、シールドリードLEG、LWG(図5)の各々は、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNとの各々とから絶縁されている。これにより、第2のリードLESとリードLENとの間をシールドリードLEGによりシールドすることができ、第3のリードLWSとリードLWNとの間をシールドリードLWGによりシールドすることができる。
この場合において、さらに好ましくは、シールドリードLEGおよびLWGの各々は、一定電位に保持されている。これにより、上記のシールドの効果をより確実に得ることができる。
(実施の形態2)
図8は、本発明の実施の形態2における半導体装置の封止部内を模式的に示す部分平面図である。なお図8により示される範囲は、図5により示される範囲に対応している。
主に図8を参照して、本実施の形態の半導体装置は、第1の半導体チップC1の代わりに、第1の半導体チップC1vおよび第3の半導体チップC3を有する。さらに、第2の半導体チップC2の代わりに、複数の第2の半導体チップC2vを有する。
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によっても、実施の形態1と同様の効果が得られる。
(実施の形態3)
図9は、本発明の実施の形態3における半導体装置の構成を概略的に示す平面図である。また図10および図11の各々は、図9の概略断面図である。また図12は、本発明の実施の形態3における半導体装置に用いられる第2の半導体チップの構成を概略的に示す平面レイアウト図である。また図13は、図9の封止部内を模式的に示す平面レイアウト図である。また図14は、図13の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。
なお図9においては、封止部は外縁のみ示されている。また図13および図14の各々においては封止部が示されていない。
図9〜図14を参照して、本実施の形態の半導体装置は、アイランドILと、第1および第2の半導体チップC1r、C2rと、第1〜第3のワイヤBJ、BJE、BJWと、ワイヤB1E、B1W、B1N、B2Sと、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNと、吊リードTSW、TSE、TNE、TNWと、封止部RSとを有する。
第1の半導体チップC1rは、アイランドIL上に設けられている。第1の半導体チップC1rは、図14に示すように、複数の第1のパッドPJSと、パッドP1E、P1W、P1Nとを有する。
第2の半導体チップC2rは、図14に示すように、平面視において、矩形状の外周を有する。この矩形は、第1〜第4の辺S1〜S4を有する。第2の半導体チップC2rは、第1〜第4の辺S1〜S4のうち第1の辺S1が第1の半導体チップC1rに最も近くなるように、アイランドIL上に設けられている。
また第2の半導体チップC2rは、複数の第2のパッドPJNと、複数の第3のパッドPJEと、複数の第4のパッドPJWと、パッドP2Sと、機能素子領域FRと、複数の中継配線JE(図12におけるJE1〜JE12)、JW(図12におけるJW1〜JW12)と、シールド線SLとを有する。
第2〜第4のパッドPJN、PJE、PJWのそれぞれは、第1、第3、および第4の辺S1、S3、S4に沿って配列されている。またパッドP2Sは、第2の辺に沿って配列されている。より詳しくは、第2のパッドPJNは、第3および第4の辺S3、S4の各々との距離に比して第1の辺S1との距離が小さい位置に設けられている。また第3および第4のパッドPJE、PJWのそれぞれは、第1の辺S1との距離に比して第3および第4の辺S3、S4との距離が小さい位置に設けられている。
機能素子領域FRには、機能素子が形成されている。この機能素子は、たとえばトランジスタである。この機能素子と第2の半導体チップC2rの外部との電気的接続のためには、パッドP2Sが用いられている。
複数の中継配線JE、JWは、機能素子領域FRの機能素子と電気的に分離されている。複数の中継配線JEは、第3の辺S3側の複数の第2のパッドPJNのそれぞれを、複数の第3のパッドPJEに電気的に接続している。また複数の中継配線JWは、第4の辺S4側の複数の第2のパッドPJNのそれぞれを、複数の第4のパッドPJWに電気的に接続している。
シールド線SLは、平面視において、機能素子領域FRと、中継配線JE、JWとの間に設けられている。好ましくは、シールド線SLは、一定電位に保持されている。このためには、たとえばシールド線SLが接地されればよい。
複数の第1のワイヤBJは、複数の第1のパッドPJSのそれぞれを複数の第2のパッドPJNに接続している。複数の第2のワイヤBJEは、複数の第3のパッドPJE(図14)のそれぞれを複数の第2のリードLES(図13)に接続している。複数の第3のワイヤBJWは、複数の第4のパッドPJW(図14)のそれぞれを複数の第3のリードLWS(図13)に接続している。
封止部RSは、図9に示すように、第1のリードLSと、第2のリードLESと、第3のリードLWSと、リードLEN、LWN、LNとの各々の一部が突出するように、第1および第2の半導体チップC1r、C2rと、第1〜第3のワイヤBJ、BJE、BJWと、ワイヤB1E、B1W、B1N、B2Sとを封止している。
好ましくは、図12に示すように、平面視において複数の中継配線JE1〜JE12のうち第2の辺S2に最も近いものである中継配線JE1は、複数の第2のパッドPJNの一つから第1の辺S1に沿って第3の辺S3に向かって延びる第1の部分Q1と、複数の第3のパッドPJEの一つをこの第1の部分Q1と接続するために第3の辺S3に沿って延びる第2の部分Q2とを含む。
また好ましくは、図12に示すように、機能素子領域FRは平面視において、中継配線JE、JWが設けられた中継配線領域JRの外側の領域にのみ設けられている。
なお、本実施の形態の半導体装置における具体的な寸法の一例を以下に示す。
第1の半導体チップC1rの平面寸法は、3.5〜4.5×3.5〜4.5mmである。第2の半導体チップC2rの第1および第2の辺S1、S2は5〜7mmであり、第3および第4の辺S3、S4は2〜3mmである。中継配線JW、JEの線幅は5〜7μmであり、線間間隔は2〜5μmである。第2〜第4のパッドPJN、PJE、PJWのパッドの大きさは50〜80μmであり、パッド間間隔は60〜100μmである。
また機能素子領域FRは、図12に示すように、たとえば第1〜第3機能素子領域FR1〜FR3からなる。なお図中の直角状の矢印は、第1〜第3機能素子領域FR1〜FR3の電気信号のおおまかな流れの方向を示している。
第1機能素子領域FR1は、オーディオスイッチとしての機能を有する。オーディオスイッチは、複数ある入力信号群を、入力信号群より少ない出力信号群にどのように振り分けるかを決めるセレクタ(切換えスイッチ)回路である。入力信号および出力信号は、いずれもステレオ(可聴周波数帯)信号である。
第2機能素子領域FR2は、I2C(アイスクウェアシー)としての機能を有する。I2Cは、通信方式の1つで、マイコンなどから他のICをコントロールする際に用いられる制御用の内部バスシステムである。
第3機能素子領域FR3は、PLL(Phase Locked Loop)としての機能を有する。PLLは、入力信号や基準周波数と、出力信号との周波数を一致させる回路である。カウンタを組み込むことで、入力信号(基準周波数)を分周(1/n)若しくは逓倍(n倍)させて用いることもできる。(nは整数。)
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態1の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
図15は、実施の形態3に対する比較例における半導体装置の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。
主に図15を参照して、本実施の形態に対する比較例の半導体装置は、第1の半導体チップC1r(図14)の代わりに半導体チップC1Zを有する。半導体チップC1Zは、第1のパッドPJS(図14)を有さず、代わりにより多くのパッドP1E、P1Wを有する。また本比較例の半導体装置は、第2の半導体チップC2r(図14)の代わりに第2の半導体チップC2Zを有する。第2の半導体チップC2Zは、第2の半導体チップC2rと異なり、第2〜第4のパッドPJN、PJE、PJWおよび中継配線JE、JWを有しない。
本比較例によれば、パッドP1E、P1Wがより多く設けられるために、半導体チップC1Zが第1の半導体チップC1rよりも大きくなっている。この結果、半導体装置を小型化することが困難となっている。
本実施の形態によれば、第2の半導体チップC2rは、第2および第3のリードLES、LWSの各々と第1のパッドPJSとを電気的に接続するための経路の一部をなす中継配線JE、JWを有する。よって第1のパッドPJSは、第2の半導体チップC2rの近傍に配置されていても、第2の半導体チップC2rに阻害されることなく、第2および第3のリードLES、LWSの各々に接続される。よって第1の半導体チップC1rは、第2の半導体チップC2rの近傍の位置にもリードに電気的に接続された第1のパッドPJSを有することができる。よって第1の半導体チップC1rがより小さくても、リードに電気的に接続されたパッドを必要数だけ設けることができる。よって半導体装置を小型化することができる。
また好ましくは、図12に示すように、平面視において複数の中継配線JE1〜JE12のうち第2の辺S2に最も近いものである中継配線JE1は、複数の第2のパッドPJNの一つから第1の辺S1に沿って第3の辺S3に向かって延びる第1の部分Q1と、複数の第3のパッドPJEの一つをこの第1の部分Q1と接続するために第3の辺S3に沿って延びる第2の部分Q2とを含む。
上記のように第1の部分Q1が第3の辺S3側に向かって延びていることで、第2の半導体チップC2rの第2の辺S2側の中央に広がる機能素子領域FRを、中継配線領域JRがなるべく侵食しないようにすることができる。これにより機能素子領域FRを広く確保することができる。また上記のように第2の部分Q2が第3の辺S3に沿って延びていることで、第2の半導体チップC2rの第2の辺S2に沿って、より多数の第3のパッドPJEを設けることができる。
また好ましくは、図12に示すように、機能素子領域FRは平面視において、中継配線JE、JWが設けられた中継配線領域JRの外側の領域にのみ設けられている。これにより、機能素子領域FRに設けられた機能素子が中継配線JE、JWの電気信号の影響を受けることを抑制することができる。
(実施の形態4)
図16は、本発明の実施の形態4における半導体装置の封止部内を模式的に示す平面レイアウト図である。
主に図16を参照して、本実施の形態の半導体装置は、第1の半導体チップC1rの代わりに、第1の半導体チップC1rvおよび第3の半導体チップC3を有する。さらに、第2の半導体チップC2rの代わりに、複数の第2の半導体チップC2wを有する。
なお、上記以外の構成については、上述した実施の形態3の構成とほぼ同じであるため、同一または対応する要素について同一の符号を付し、その説明を繰り返さない。
本実施の形態によっても、実施の形態3と同様の効果が得られる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明は、複数の半導体チップを有する半導体装置に特に有利に適用され得る。
本発明の実施の形態1における半導体装置の構成を概略的に示す切欠斜視図である。 図1の概略平面図である。 図2の概略断面図である。 図2の概略断面図である。 図2の封止部内をより模式的に示す部分平面図である。 図5の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。 実施の形態1に対する比較例における半導体装置の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。 本発明の実施の形態2における半導体装置の封止部内を模式的に示す部分平面図である。 本発明の実施の形態3における半導体装置の構成を概略的に示す平面図である。 図9の概略断面図である。 図9の概略断面図である。 本発明の実施の形態3における半導体装置に用いられる第2の半導体チップの構成を概略的に示す平面レイアウト図である。 図9の封止部内を模式的に示す平面レイアウト図である。 図13の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。 実施の形態3に対する比較例における半導体装置の第1および第2の半導体チップ近傍を示す部分拡大図である。 本発明の実施の形態4における半導体装置の封止部内を模式的に示す平面レイアウト図である。
符号の説明
B1E,B1N,B1W ワイヤ、B1S,BJ 第1のワイヤ、B2E,BJE 第2のワイヤ、B2W,BJW 第3のワイヤ、C1,C1r,C1rv,C1v 第1の半導体チップ、C2,C2r,C2v,C2w 第2の半導体チップ、FR 機能素子領域、IL アイランド、JE,JE1〜JE12,JW,JW1〜JW12 中継配線、JR 中継配線領域、LEG,LWG シールドリード、LEN,LN,LWN リード、LES 第2のリード、LS 第1のリード、LWS 第3のリード、P1E,P1N,P1W,P2S パッド、P1S,PJS 第1のパッド、P2E,PJN 第2のパッド、P2W,PJE 第3のパッド、PJW 第4のパッド、RS 封止部、TSW,TSE,TNE,TNW 吊リード。

Claims (5)

  1. アイランドと、
    前記アイランド上に設けられ、第1のパッドを有する第1の半導体チップと、
    平面視において第1の辺と前記第1の辺に対向する第2の辺と第3および第4の辺とを有する矩形状の外周を有し、前記第1〜第4の辺のうち前記第1の辺が前記第1の半導体チップに最も近くなるように前記アイランド上に設けられた第2の半導体チップとを備え、
    前記第2の半導体チップは、前記第1および第2の辺の各々との距離に比して前記第3の辺との距離が小さい位置に設けられた第2のパッドを含み、
    平面視において前記第1のパッドとの間に前記第1および第2の辺を挟むように配置された第1のリードと、
    前記第2の半導体チップの上方を通り、平面視において前記第1および第2の辺と交差しかつ前記第3の辺との間に前記第2のパッドを挟むように前記第2の半導体チップの領域を経由し、前記第1のパッドを前記第1のリードに接続する第1のワイヤと、
    平面視において前記第2のパッドとの間に前記第3の辺を挟むように配置された第2のリードと、
    前記第2のパッドを前記第2のリードに接続する第2のワイヤと、
    前記第1および第2のリードの各々の一部が突出するように、前記第1および第2の半導体チップと前記第1および第2のワイヤとを封止する封止部とをさらに備えた、半導体装置。
  2. 第1および第2のリードのうち、一方のリードはアナログ信号を伝達するためのリードであり、他方のリードはデジタル信号を伝達するためのリードである、請求項1に記載の半導体装置。
  3. 前記第2の半導体チップがワイヤボンディングのために有する全てのパッドは、前記第1および第2の辺の各々との距離に比して前記第3および第4の辺のいずれかとの距離が小さい位置に設けられる、請求項1または2に記載の半導体装置。
  4. 前記第2の半導体チップがワイヤボンディングのために有する全てのアナログ信号用パッドは、前記第1および第2の辺の各々との距離に比して前記第3および第4の辺のいずれかとの距離が小さい位置に設けられる、請求項1または2に記載の半導体装置。
  5. 前記第3の辺は前記第1の辺よりも短い、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体装置。
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