JP5273921B2 - Semiconductor device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a semiconductor device and a manufacturing method thereof.
ICチップなどの半導体装置では、たとえば、その最表面がSiO2(酸化シリコン)またはSiN(窒化シリコン)からなるパッシベーション膜により覆われており、このパッシベーション膜からボンディングパッドが露出して設けられている。すなわち、パッシベーション膜下には、機能素子などと電気的に接続された配線が配設されており、パッシベーション膜に形成された開口から、最上層の配線の一部がボンディングパッドとして露出している。ボンディングパッドは、半導体装置と配線基板などの外部装置との電気接続のための外部接続端子であり、このボンディングパッドには、金細線などのボンディングワイヤが接続される。 In a semiconductor device such as an IC chip, for example, the outermost surface is covered with a passivation film made of SiO 2 (silicon oxide) or SiN (silicon nitride), and a bonding pad is exposed from the passivation film. . That is, wirings electrically connected to functional elements and the like are disposed under the passivation film, and a part of the uppermost layer wiring is exposed as a bonding pad from the opening formed in the passivation film. . The bonding pad is an external connection terminal for electrical connection between the semiconductor device and an external device such as a wiring board, and a bonding wire such as a thin gold wire is connected to the bonding pad.
ところで、最近では、半導体装置の高集積化および微細化に伴い、ボンディングパッドの電気抵抗を低減するため、ボンディングパッドの材料として、従来から用いられてきたAl(アルミニウム)に代えて、より導電性の高いCu(銅)を適用することが検討されている(たとえば、特許文献1および2参照)。
しかし、Cuは、Alに比べて拡散性が高い。このため、ボンディングパッド(最上層の配線)の材料としてCuを用いると、パッシベーション膜中にCuが拡散し、最上層の配線間の短絡を生じるおそれがある。
そこで、本発明の目的は、銅配線間の短絡を防止することができる、半導体装置およびその半導体装置を製造する方法を提供することである。
However, Cu is more diffusive than Al. For this reason, when Cu is used as the material of the bonding pad (uppermost layer wiring), Cu diffuses into the passivation film, which may cause a short circuit between the uppermost layer wirings.
Accordingly, an object of the present invention is to provide a semiconductor device and a method of manufacturing the semiconductor device that can prevent a short circuit between copper wirings.
前記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、半導体基板と、前記半導体基板上に形成されたAl配線層と、前記Al配線層上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に突出して形成され、ビアホールを介して前記Al配線層と接続され、前記Al配線層よりも厚い外部接続用の銅配線と、前記絶縁膜および前記銅配線を被覆し、前記銅配線を部分的に露出させる開口が形成された、銅を捕獲する性質を有する材料からなる被覆層と、前記銅配線と前記絶縁膜との間に介在され、銅の拡散を防止するためのバリア膜とを含む、半導体装置である。
この構成によれば、絶縁膜およびこの絶縁膜上に突出する銅配線は、銅(銅イオン)を捕獲する性質を有する材料からなる被覆層によって被覆されている。これにより、銅配線から拡散しようとする銅を被覆層で捕獲することができ、被覆層中における銅の拡散を防止することができる。そのため、絶縁膜上に複数の銅配線が形成される場合に、それらの銅配線間の短絡を防止することができる。
The invention according to
According to this configuration, the insulating film and the copper wiring protruding on the insulating film are covered with the coating layer made of a material having a property of capturing copper (copper ions). Thereby, the copper which is going to diffuse from the copper wiring can be captured by the coating layer, and the diffusion of copper in the coating layer can be prevented. Therefore, when a plurality of copper wirings are formed on the insulating film, a short circuit between these copper wirings can be prevented.
請求項2に記載のように、前記半導体装置は、前記銅配線の前記被覆層の前記開口に臨む部分上に形成され、銅の拡散を防止するバリア性を有する金属材料からなるパッドバリア膜と、前記パッドバリア膜上に形成され、前記銅配線との電気接続のために用いられるボンディングワイヤと同一材料からなるワイヤ接着膜とをさらに含むことが好ましい。
As described in
この場合、被覆層に形成された開口を介して、その開口内に配置されるワイヤ接着膜にボンディングワイヤを接続することにより、ボンディングワイヤと銅配線との電気的な接続を達成することができる。そして、ワイヤ接着膜がボンディングワイヤと同一材料からなるので、ワイヤ接着膜とボンディングワイヤとの良好な密着性を発揮することができる。また、銅配線の開口に臨む部分上にパッドバリア膜が形成されているので、その銅配線の開口に臨む部分からの銅の拡散を防止することができる。さらには、銅配線の開口に臨む部分の腐食を防止することもできる。 In this case, an electrical connection between the bonding wire and the copper wiring can be achieved by connecting the bonding wire to the wire adhesive film disposed in the opening through the opening formed in the coating layer. . And since a wire adhesive film consists of the same material as a bonding wire, the adhesiveness of a wire adhesive film and a bonding wire can be exhibited. Further, since the pad barrier film is formed on the portion facing the opening of the copper wiring, the diffusion of copper from the portion facing the opening of the copper wiring can be prevented. Furthermore, corrosion of the portion facing the opening of the copper wiring can be prevented.
このような構造の半導体装置は、請求項4に記載の製造方法により製造することができる。請求項4に記載の製造方法は、半導体基板上にAl配線層を形成するAl配線層形成工程と、前記Al配線層上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、前記絶縁膜上に突出するように、前記Al配線層よりも厚い外部接続用の銅配線を形成する銅配線形成工程と、前記絶縁膜および前記銅配線を被覆し、銅を捕獲する性質を有する材料からなる被覆層を形成する被覆層形成工程と、前記銅配線上において前記被覆層をその層厚方向に貫通する開口を形成する開口形成工程と、前記銅配線の前記開口から露出する部分をシードとして、めっき法により、当該部分上に銅の拡散を防止するバリア性を有する金属材料からなるパッドバリア膜を形成するパッドバリア膜形成工程と、前記パッドバリア膜をシードとして、めっき法により、前記パッドバリア膜上に前記銅配線との電気接続のために用いられるボンディングワイヤと同一材料からなるワイヤ接着膜を形成するワイヤ接着膜形成工程とを含む。
The semiconductor device having such a structure can be manufactured by the manufacturing method according to
このような製造方法により、パッドバリア膜およびワイヤ接着膜を形成することにより、開口内のみにパッドバリア膜およびワイヤ接着膜を形成することができる。したがって、被覆層の表面および開口内の全域にパッドバリア膜およびワイヤ接着膜の材料からなる薄膜を順に堆積させ、これをパターニングすることによりパッドバリア膜およびワイヤ接着膜を形成する手法に比べて、パッドバリア膜およびワイヤ接着膜の材料の無駄がなく、半導体装置のコストを低減させることができる。 By forming the pad barrier film and the wire adhesive film by such a manufacturing method, the pad barrier film and the wire adhesive film can be formed only in the opening. Therefore, compared with a method of forming a pad barrier film and a wire adhesive film by sequentially depositing a thin film made of the material of the pad barrier film and the wire adhesive film on the surface of the coating layer and the entire area in the opening, and patterning the thin film. There is no waste of the material of the pad barrier film and the wire adhesive film, and the cost of the semiconductor device can be reduced.
なお、絶縁膜と被覆層との間に線膨張率差がある場合には、熱膨張/収縮により絶縁膜と被覆層との間に剥離が生じ、それらの間に銅の拡散経路(リークパス)が形成されるおそれがある。
そのため、絶縁膜と被覆層との間に線膨張率差がある場合には、請求項3に記載のように、前記半導体装置は、前記絶縁膜の表面に被着され、前記被覆層と同一材料からなる被着膜をさらに含むことが好ましい。絶縁膜の表面に被覆層と同一材料からなる被着膜を被着させることにより、絶縁膜と被覆層との密着性を向上させることができる。そのため、絶縁膜と被覆層との間に銅の拡散経路が形成されるのを防止することができ、銅配線からの銅の拡散を一層防止することができる。
請求項5記載の発明は、前記バリア膜は、前記ビアホールの内面を被覆している、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置である。
請求項6記載の発明は、前記バリア膜は、前記被覆層の前記開口の直下の位置から離れた位置に形成されている、請求項2に記載の半導体装置である。
請求項7記載の発明は、前記ビアホールは複数形成されている、請求項1〜3、5および6のいずれか一項に記載の半導体装置である。
請求項8記載の発明は、前記被着膜は、前記銅配線の下方に形成されている、請求項3に記載の半導体装置である。
請求項9記載の発明は、前記被着膜は、前記銅配線の前記被覆層の前記開口に臨む部分の直下の位置から離れた位置に形成されている、請求項8に記載の半導体装置である。
When there is a difference in linear expansion coefficient between the insulating film and the coating layer, separation occurs between the insulating film and the coating layer due to thermal expansion / contraction, and a copper diffusion path (leakage path) between them. May be formed.
Therefore, when there is a difference in linear expansion coefficient between the insulating film and the covering layer, the semiconductor device is deposited on the surface of the insulating film and is the same as the covering layer. It is preferable to further include a film made of a material. Adhesion between the insulating film and the coating layer can be improved by depositing a coating film made of the same material as the coating layer on the surface of the insulating film. Therefore, it is possible to prevent a copper diffusion path from being formed between the insulating film and the coating layer, and to further prevent copper diffusion from the copper wiring.
A fifth aspect of the present invention is the semiconductor device according to any one of the first to third aspects, wherein the barrier film covers an inner surface of the via hole.
A sixth aspect of the present invention is the semiconductor device according to the second aspect, wherein the barrier film is formed at a position away from a position immediately below the opening of the coating layer.
The invention according to claim 7 is the semiconductor device according to any one of
The invention according to claim 8 is the semiconductor device according to claim 3, wherein the deposition film is formed below the copper wiring.
Invention of claim 9, before Symbol the film deposition, the formed at a position away from the position directly below the portion facing the opening of the covering layer of the copper wiring, the semiconductor device according to claim 8 It is.
以下では、本発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体装置の構成を模式的に示す平面図である。また、図2は、図1に示す半導体装置を切断面線A−Aで切断したときの断面図である。なお、図2以降の各図では、図面の煩雑化を回避するために、導電性を有する材料からなる部分以外の各部についてはハッチングを省略している。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a plan view schematically showing a configuration of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. 2 is a cross-sectional view when the semiconductor device shown in FIG. 1 is cut along a cutting plane line AA. In each drawing after FIG. 2, hatching is omitted for each part other than the part made of a conductive material in order to avoid complication of the drawing.
図2に示すように、半導体装置1は、多層配線構造を有している。すなわち、半導体装置1の基体をなす半導体基板11上には、第1配線層12、第1層間膜13、第2配線層14、第2層間膜15、第3配線層16、第3層間膜17および第4配線層18が、半導体基板11側からこの順に積層されている。
半導体基板11は、たとえば、Si(シリコン)基板であり、その表層部にトランジスタなどの機能素子が形成されている。
As shown in FIG. 2, the
The
第1配線層12、第2配線層14および第3配線層16には、それぞれAlからなるAl配線21,22,23がパターン形成されている。
第4配線層18には、CuからなるCu配線24がパターン形成されている
第1層間膜13および第2層間膜15は、たとえば、SiO2からなる。第3層間膜17は、たとえば、SiNからなる。
On the
A
第1層間膜13には、第1配線層12のAl配線21と第2配線層14のAl配線22との間において、複数のビアホール25が貫通して形成されている。各ビアホール25は、金属材料(たとえば、Al)で埋め尽くされている。これにより、第1配線層12のAl配線21と第2配線層14のAl配線22とは、ビアホール25を介して電気的に接続されている。
A plurality of
第2層間膜15には、第2配線層14のAl配線22と第3配線層16のAl配線23との間において、複数のビアホール26が貫通して形成されている。各ビアホール26は、金属材料(たとえば、Al)で埋め尽くされている。これにより、第2配線層14のAl配線22と第3配線層16のAl配線23とは、ビアホール26を介して電気的に接続されている。
A plurality of
第3層間膜17には、第3配線層16のAl配線23と第4配線層18のCu配線24との間において、複数のビアホール27が貫通して形成されている。また、第3層間膜17とCu配線24との間には、たとえば、Cu配線24から第3層間膜17へのCuの拡散を防止するための底面バリア膜28が介在されている。この底面バリア膜28は、たとえば、TiN(窒化チタン)からなり、Al配線23の各ビアホール27に臨む領域、各ビアホール27の側面、および第3層間膜17の表面(上面)におけるCu配線24と対向する領域を被覆している。そして、各ビアホール27は、底面バリア膜28を介して、Cuで埋め尽くされている。これにより、第3配線層16のAl配線23と第4配線層18のCu配線24とは、ビアホール27および底面バリア膜28を介して電気的に接続されている。
A plurality of
この半導体装置1の最表面は、Cu(Cuイオン)を捕獲する性質を有するPBO(ポリ−p−フェニレンベンゾビスオキサゾール)からなる被覆層31によって覆われている。この被覆層31には、Cu配線24を部分的に露出させる複数の開口32が層厚方向に貫通して形成されている。
また、Cu配線24の開口32に臨む部分上には、Cuの拡散を防止するためのパッドバリア膜35が形成されている。このパッドバリア膜35は、Cuの拡散を防止するバリア性を有する金属材料(たとえば、Ni(ニッケル)など)からなる。
The outermost surface of the
Further, a
さらに、パッドバリア膜35上には、この半導体装置1(Cu配線24)と外部の配線基板などとの電気接続のためのボンディングワイヤ34と同一材料(たとえば、Au(金))からなるワイヤ接着膜33が形成されている。そして、図2に示すように、Cu配線24の開口32に臨む部分、パッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33は、そのボンディングワイヤ34が接続されるボンディングパッドをなしている。
Further, on the
以上のように、この半導体装置1では、第3層間膜17およびこの第3層間膜17上に突出するCu配線24は、Cu(Cuイオン)を捕獲する性質を有するPBOからなる被覆層31によって被覆されている。これにより、Cu配線24から拡散しようとするCuを被覆層31で捕獲することができ、被覆層31中におけるCuの拡散を防止することができる。そのため、第3層間膜17上に形成された複数のCu配線24間における短絡を防止することができる。
As described above, in the
また、被覆層31には、Cu配線24上において、開口32が層厚方向に貫通して形成されている。そして、Cu配線24は、開口32から部分的に露出しており、その露出した部分上には、Cuの拡散を防止するバリア性を有する金属材料からなるパッドバリア膜35が形成されている。これにより、Cu配線24の開口32に臨む部分からのCuの拡散を防止することができる。
In the
また、パッドバリア膜35上には、ボンディングワイヤ34と同一材料からなるワイヤ接着膜33が形成されている。そのため、ワイヤ接着膜33とボンディングワイヤ34との良好な密着性を発揮することができる。さらには、そのワイヤ接着膜33およびその下方のパッドバリア膜35により、Cu配線24の開口32に臨む部分の腐食を防止することもできる。
A
図3は、半導体装置1の製造工程を工程順に示す断面図である。
半導体装置1の製造工程では、まず、公知の多層配線技術により、図3(a)に示すように、半導体基板11上に、第1配線層12、第1層間膜13、第2配線層14、第2層間膜15、第3配線層16および第3層間膜17が形成される。
次に、第3層間膜17上の全域に、底面バリア膜28の材料からなる薄膜が形成される。さらに、その薄膜上に、Cuからなるシード膜が形成される。その後、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により、その薄膜およびシード膜の積層体が底面バリア膜28に対応する形状にパターニングされる。そして、無電解めっき法により、そのパターニングされたシード膜上にCuが堆積される。これにより、図3(b)に示すように、Cu配線24が形成される。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the
In the manufacturing process of the
Next, a thin film made of the material of the
その後、図3(c)に示すように、第3層間膜17上に、PBOが第3層間膜17およびCu配線24を覆い尽くすように塗布されることにより、被覆層31が形成される。
つづいて、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により、図3(d)に示すように、被覆層31に、開口32が形成される。その後、無電解めっき法により、Cu配線24の開口32から露出する部分をシードとして、その露出する部分を被覆するパッドバリア膜35が形成される。そして、無電解めっき法により、パッドバリア膜35をシードとして、パッドバリア膜35上にワイヤ接着膜33が形成されることにより、図2に示す構造の半導体装置1が得られる。
Thereafter, as shown in FIG. 3C, the
Subsequently, an
なお、この無電解めっき法によりパッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33を形成する手法では、開口32内のみにパッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33を形成することができるので、被覆層31の表面および開口32内の全域にパッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33の材料からなる薄膜を順に堆積させ、これをパターニングすることによりパッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33を形成する手法に比べて、パッドバリア膜35およびワイヤ接着膜33の材料の無駄がなく、半導体装置1のコストを低減させることができる。
In the method of forming the
図4は、本発明の他の実施形態に係る半導体装置の構造を模式的に示す断面図である。この図4において、図2に示す各部に相当する部分には、図2の場合と同一の参照符号を付して示している。また、以下では、図2に示す構造との相違点のみを取り上げて説明し、同一の参照符号を付した各部についての詳細な説明を省略する。
この図4に示す半導体装置2では、第3層間膜17の表面に、被覆層31と同一材料であるPBOからなる被着膜41が被着されている。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the structure of a semiconductor device according to another embodiment of the present invention. 4, portions corresponding to the respective portions shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. In the following description, only differences from the structure shown in FIG. 2 will be described, and detailed description of each part given the same reference numeral will be omitted.
In the
第3層間膜17と被覆層31との間に線膨張率差があると、熱膨張/収縮により第3層間膜17と被覆層31との間に剥離が生じ、それらの間にCuの拡散経路(リークパス)が形成されるおそれがある。この半導体装置2では、第3層間膜17の表面に被覆層31と同一材料からなる被着膜41が被着されているので、第3層間膜17と被覆層31との密着性が向上する。そのため、第3層間膜17と被覆層31との間にCuの拡散経路が形成されるのを防止することができ、Cu配線24からのCuの拡散を一層防止することができる。
If there is a difference in coefficient of linear expansion between the
図5は、半導体装置2の製造工程を工程順に示す断面図である。
半導体装置2の製造工程では、まず、公知の多層配線技術により、図5(a)に示すように、半導体基板11上に、第1配線層12、第1層間膜13、第2配線層14、第2層間膜15および第3配線層16が形成される。次に、第3配線層16上に、第3層間膜17の材料が堆積されることにより、層間膜材料堆積層51が形成される。さらに、その層間膜材料堆積層51の表面にPBOが塗布されることにより、層間膜材料堆積層51上にPBO塗布層52が形成される。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the manufacturing process of the
In the manufacturing process of the
その後、公知のフォトリソグラフィ技術により、PBO塗布層52上に、ビアホール27に対応する開口を有するレジストパターンが形成される。そして、このレジストパターンをマスクとして、PBO塗布層52および層間膜材料堆積層51が順にエッチングされることにより、図5(b)に示すように、ビアホール27を有する第3層間膜17およびこの表面に被着された被着膜41が形成される。このように、PBO塗布層52および層間膜材料堆積層51のエッチングに同一のレジストパターンを使用することにより、工程の簡素化を達成することができる。
Thereafter, a resist pattern having an opening corresponding to the via
次いで、図3(b)を参照して説明した手法と同様の手法により、図5(c)に示すように、Cu配線24が形成される。
その後、図5(d)に示すように、第3層間膜17上に、PBOが第3層間膜17およびCu配線24を覆い尽くすように塗布されることにより、被覆層31が形成される。
つづいて、公知のフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術により、図5(e)に示すように、被覆層31に、開口32が形成される。その後、無電解めっき法により、Cu配線24の開口32から露出する部分をシードとして、その露出する部分を被覆するパッドバリア膜35が形成される。そして、無電解めっき法により、パッドバリア膜35をシードとして、パッドバリア膜35上にワイヤ接着膜33が形成されることにより、図4に示す構造の半導体装置2が得られる。
Next, as shown in FIG. 5C, a
Thereafter, as shown in FIG. 5 (d), PBO is applied on the
Subsequently, an
以上、本発明の2つの実施形態を説明したが、本発明は、さらに他の形態で実施することもできる。たとえば、被覆層31の材料としてPBOを例示したが、BCB(ベンゾシクロブテン)など、PBO以外の材料を用いて被覆層31が形成されてもよい。ただし、被覆層31中におけるCuの拡散を防止するため、被覆層31の材料は、銅を捕獲する性質を有する材料であることが好ましい。
As mentioned above, although two embodiment of this invention was described, this invention can also be implemented with another form. For example, although PBO was illustrated as a material of the
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。 In addition, various design changes can be made within the scope of matters described in the claims.
1 半導体装置
2 半導体装置
17 第3層間膜(絶縁膜)
24 Cu配線(銅配線)
31 被覆層
32 開口
33 ワイヤ接着膜
34 ボンディングワイヤ
35 パッドバリア膜
41 被着膜
DESCRIPTION OF
24 Cu wiring (copper wiring)
31
Claims (9)
前記半導体基板上に形成されたAl配線層と、
前記Al配線層上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に突出して形成され、ビアホールを介して前記Al配線層と接続され、前記Al配線層よりも厚い外部接続用の銅配線と、
前記絶縁膜および前記銅配線を被覆し、前記銅配線を部分的に露出させる開口が形成された、銅を捕獲する性質を有する材料からなる被覆層と、
前記銅配線と前記絶縁膜との間に介在され、銅の拡散を防止するためのバリア膜とを含む、半導体装置。 A semiconductor substrate;
An Al wiring layer formed on the semiconductor substrate;
An insulating film formed on the Al wiring layer;
A copper wiring for external connection formed to protrude on the insulating film, connected to the Al wiring layer through a via hole, and thicker than the Al wiring layer ;
A coating layer made of a material having a property of capturing copper, wherein the insulating film and the copper wiring are covered, and an opening for partially exposing the copper wiring is formed ;
A semiconductor device including a barrier film interposed between the copper wiring and the insulating film for preventing copper diffusion.
前記パッドバリア膜上に形成され、前記銅配線との電気接続のために用いられるボンディングワイヤと同一材料からなるワイヤ接着膜とをさらに含む、請求項1に記載の半導体装置。 Is formed on the portion facing the opening of the covering layer before kidou wiring, a pad barrier film made of a metal material having a barrier property that prevents the diffusion of copper,
2. The semiconductor device according to claim 1, further comprising a wire adhesive film formed on the pad barrier film and made of the same material as a bonding wire used for electrical connection with the copper wiring.
前記Al配線層上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜上に突出するように、前記Al配線層よりも厚い外部接続用の銅配線を形成する銅配線形成工程と、
前記絶縁膜および前記銅配線を被覆し、銅を捕獲する性質を有する材料からなる被覆層を形成する被覆層形成工程と、
前記銅配線上において前記被覆層をその層厚方向に貫通する開口を形成する開口形成工程と、
前記銅配線の前記開口から露出する部分をシードとして、めっき法により、当該部分上に銅の拡散を防止するバリア性を有する金属材料からなるパッドバリア膜を形成するパッドバリア膜形成工程と、
前記パッドバリア膜をシードとして、めっき法により、前記パッドバリア膜上に前記銅配線との電気接続のために用いられるボンディングワイヤと同一材料からなるワイヤ接着膜を形成するワイヤ接着膜形成工程とを含む、半導体装置の製造方法。 And the Al wiring layer forming step of forming an Al wiring layer on a semiconductor substrate,
An insulating film forming step of forming an insulating film on the Al wiring layer;
A copper wiring forming step of forming a copper wiring for external connection thicker than the Al wiring layer so as to protrude on the insulating film;
A coating layer forming step of covering the insulating film and the copper wiring and forming a coating layer made of a material having a property of capturing copper;
An opening forming step of forming an opening penetrating the coating layer in the layer thickness direction on the copper wiring;
A pad barrier film forming step of forming a pad barrier film made of a metal material having a barrier property to prevent copper diffusion on the part by plating using the part exposed from the opening of the copper wiring as a seed;
A wire adhesive film forming step of forming a wire adhesive film made of the same material as a bonding wire used for electrical connection with the copper wiring on the pad barrier film by plating using the pad barrier film as a seed. A method for manufacturing a semiconductor device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5273921B2 (en) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3848080B2 (en) * | 2000-12-19 | 2006-11-22 | 富士通株式会社 | Manufacturing method of semiconductor device |
JP2004072043A (en) * | 2002-08-09 | 2004-03-04 | Hitachi Maxell Ltd | Semiconductor wafer, semiconductor chip, and semiconductor device and its manufacturing method |
JP2004146798A (en) * | 2002-09-30 | 2004-05-20 | Sanyo Electric Co Ltd | Semiconductor device and manufacturing method therefor |
JP2006278930A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Consortium For Advanced Semiconductor Materials & Related Technologies | Semiconductor device |
JP2006179950A (en) * | 2006-02-15 | 2006-07-06 | Renesas Technology Corp | Manufacturing method of semiconductor integrated circuit device |
-
2006
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Also Published As
Publication number | Publication date |
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JP2008159797A (en) | 2008-07-10 |
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