JP5249659B2 - 電子部品装着装置 - Google Patents
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Description
2・・・基板
3・・・電子部品
4・・・基板位置決め機構
5・・・部品移載機構
6・・・顕微鏡
7・・・誘導加熱コイル
8・・・接合ツール
8a・・・熱伝達部
8b・・・加重部
9・・・部品接合機構
12・・・接合テーブル
16・・・ピンセット
17・・・部品XYZステージ
18・・・接合ツール保持部
18a・・・保持孔
19・・・アーム部
22・・・パイプ(軸受部材)
23・・・調整ジグ
23a・・・調整穴
Claims (7)
- 基板の表面上の部品実装箇所に予め被着されたメタライズを介して、電子部品を前記部品実装箇所に装着する電子部品装着装置であって、前記基板が載置される接合テーブルと、前記電子部品を前記基板の前記部品実装箇所上に移載する部品移載手段と、前記基板および前記電子部品の水平方向における位置を両部品の上方から観察する顕微鏡と、前記部品移載手段によって前記基板の前記部品実装箇所上に移載された前記電子部品に対して上方から当接し、前記電子部品を加熱する部品接合手段とを備えており、
前記部品接合手段は、前記電子部品を加熱する加熱源である誘導加熱コイルと、前記誘導加熱コイルの内周を貫通するように配されたピン形状の接合ツールと、前記接合ツールを軸方向に摺動自在に支持する接合ツール保持部とを有し、
前記接合ツール保持部は、前記誘導加熱コイルにより加熱される前記接合ツールの熱伝達部が挿入されるとともに、前記接合ツールの頭部に形成された加重部と係合する保持孔を有し、前記接合ツールが前記電子部品に当接する際には、前記接合ツールの自重のみが前記電子部品に負荷されることを特徴とする電子部品装着装置。 - 前記接合ツールと前記保持孔との間には筒状の軸受部材が介在され、前記軸受部材は、挿入される前記接合ツールの熱伝達部との間に空隙を有し、かつ、前記空隙は、前記接合ツールが熱膨張した場合でも前記接合ツールを軸方向に摺動可能であり、かつ前記接合ツールの垂直度を維持可能であるように設計されている請求項1に記載の電子部品装着装置。
- 前記軸受部材は、絶縁性および滑動性を有する素材から形成されるとともに、前記接合ツールおよび前記接合ツール保持部は、導電性を有する素材から形成され、前記接合ツールが前記電子部品に当接している場合には、前記接合ツールと前記接合ツール保持部との絶縁性が維持され、かつ、前記接合ツールが前記電子部品に当接していない場合には、前記接合ツールの前記加重部が前記接合ツール保持部に接触することにより、前記接合ツールと前記接合ツール保持部との導電性が維持される請求項2に記載の電子部品装着装置。
- 前記接合ツールの前記熱伝達部の先端部寸法は、前記電子部品の寸法より小さくするとともに、前記熱伝達部の先端部の形状は前記電子部品を所定の温度に上昇させる熱を伝達可能に前記接合ツールの軸方向に直交する平面で接触できるようになっている請求項1ないし3のいずれかに記載の電子部品装着装置。
- 前記部品移載手段は、前記電子部品の両側を把持するピンセットと、該ピンセットにより把持された電子部品を水平方向および垂直方向に移動させるXYZステージとを有する請求項1ないし4のいずれかに記載の電子部品装着装置。
- 前記接合ツールの垂直度は、前記接合テーブル上の所定位置に載置された調整ジグの調整穴に前記接合ツールの先端部を挿入した状態で、前記接合ツール保持部に設けられた角度調整機構の固定ジグが締められることにより調整される請求項1ないし5のいずれかに記載の電子部品装着装置。
- 前記顕微鏡および前記接合テーブルの水平方向の位置は、前記接合テーブル上に載置された前記調整ジグの前記調整穴が前記顕微鏡の視野に捕捉されるように調整される請求項6に記載の電子部品装着装置。
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