JP5221513B2 - 被覆窓ガラス - Google Patents

被覆窓ガラス Download PDF

Info

Publication number
JP5221513B2
JP5221513B2 JP2009502115A JP2009502115A JP5221513B2 JP 5221513 B2 JP5221513 B2 JP 5221513B2 JP 2009502115 A JP2009502115 A JP 2009502115A JP 2009502115 A JP2009502115 A JP 2009502115A JP 5221513 B2 JP5221513 B2 JP 5221513B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
zno
coated
window glass
nitride
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009502115A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009531262A (ja
Inventor
ガリアルディ ジョヴァンニ
アリスター ウッド デービッド
ロバート シドル ジョン
ロンチ マルコ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pilkington Group Ltd
Original Assignee
Pilkington PLC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington PLC filed Critical Pilkington PLC
Publication of JP2009531262A publication Critical patent/JP2009531262A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5221513B2 publication Critical patent/JP5221513B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/06Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3639Multilayers containing at least two functional metal layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3644Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/366Low-emissivity or solar control coatings
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3694Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer having a composition gradient through its thickness
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less

Description

本発明は、低放射率及び/又は日照調整コーティングを有する被覆窓ガラスに関するものである。かかる可視的に透明なコーティングは当業界で周知で、一般に透明な上下の誘電性反射防止層間に埋設した少なくとも一つのIR反射層を備える。
このような被覆窓ガラスを熱処理し得る必要性が増加している。安全性をもたらすために強化及び/又は屈曲した熱処理窓ガラスが、多数の用途、例えば建築又は自動車用板ガラスに要求されている。窓ガラスを熱強化及び/又は屈曲するためには、該窓ガラスを使用するガラスの軟化点の近く又は超えた温度での熱処理によって処理し、次いで急速冷却によって強化するか、又は屈曲手段を用いて屈曲するかのいずれかが必要であることが既知である。ソーダ石灰シリカタイプの標準フロートガラス用の当該温度範囲は、一般に約580〜690℃であり、窓ガラスを実際の強化及び/又は屈曲処理の開始前に、最大数分間前記温度範囲に保持する。
下記の記載及び請求項における「熱処理」、「熱処理した」及び「熱処理し得る」の用語は、前述のような熱屈曲及び/又は熱強化処理、並びに被覆窓ガラスが最高数分間約580〜690℃の範囲の温度に達する他の熱処理をいう。
窓ガラスがコーティングを備え、特に該コーティングが例えば日照調整及び/又は低放射性を付与して、一定のスペクトル領域で被覆窓ガラス中のエネルギー伝達を減少させるような少なくとも一つの銀系IR反射層を備える際に、困難を生じる場合がある。このようなコーティングは、それ自身が熱処理し得るものでない。
平坦な窓ガラスに適用し、次いでコーティング、特にIR反射層を損傷することなく熱処理を施すことができる少なくとも一つのIR反射層を有する可視的に透明なコーティングを如何にして付与するかについて過去多数の提案がなされた。特に、熱処理中に極く僅かに光学特性を変性するコーティングを提供することが注目されていた。
被覆窓ガラスの熱処理性を達成するためには、(複数の)IR反射層の上下にある層を注意深く選択することを必要とする。熱処理中に(複数の)IR反射層を保護し得る層を、例えばバリア、すなわちコーティングを介して(複数の)IR反射層に拡散する酸素用の捕獲/吸収機能及び/又はコーティング若しくはガラス基板の成分の拡散に対するバリア機能を付与することにより、凝集に対する(複数の)IR反射層を安定化することにより、又は他の手段によって使用することが既知である。
このような機能は、コーティングに薄い補助層を加えることによって設けることができ、例えば欧州公開特許0233003号公報、欧州公開特許0229921号公報、欧州公開特許0761618号公報、欧州公開特許1089947号公報、欧州公開特許1140721号公報、欧州公開特許1385798号公報に開示され、いくつかの刊行物のみに言及する。
低放射率及び/又は日照調整コーティングの熱処理性を付与する他の提案は、反射防止層用の材料をこれらが前述のような機能を自ら付与するように注意深く選択することを教示する。特に、ケイ素及び/又はアルミニウムの(酸)窒化物、すなわち反射防止層として又は少なくともその主要な部分としてバリア機能を有する特定のケイ素化合物を使用することが提案され(例えば欧州特許0718250号公報)、これ以降の(酸)窒化物は酸窒化物と、ほぼ酸素のない窒化物との両方を含む。
さらに、熱処理し得るコーティングの反射防止層用にZn−Sn酸化物(例えば亜鉛スズ酸塩)を使用することが提案され、例えば欧州特許1140721号公報、国際公開00/76930号公報、欧州特許0275474号公報を参照する。
本発明者等は、上述した被覆窓ガラスのいくつかが熱処理前後の被覆窓ガラスの保管、運搬及び使用中の通常の環境影響と、通常の取扱い及び処理工程中の被覆窓ガラスに作用する機械的及び化学的状況をシミュレートする一つ又は他の試験に耐えられないことを見出した。既知コーティングのいくつかが、ほとんどの自動車又は建物用途への使用に容認できないような熱処理後の高い欠陥レベルを示した。
特に、Zn−Sn酸化物の反射防止層を有するコーティングが650℃以上の温度での熱処理中に同等の高いヘイズ値を示す一方、Si(酸)窒化物の反射防止層を有するコーティングが機械的及び化学的影響に対する頑健性の所望の値より少ないことを示すことを見出した。
本発明は、主として良好な低放射率及び/又は日照調整性能、高い光透過率、低いヘイズ及び高い機械的及び化学的頑健性を示す上述したような被覆窓ガラスを提供することを目的とする。
本発明の或る実施態様において、低放射率及び/又は日照調整コーティングは、任意の熱処理後低いシート抵抗を提供すると同時に、高い光透過率(T)及び低いヘイズ値を示す。
本発明の低放射率及び/又は日照調整コーティングは、少なくともいくつかの実施態様において、熱処理することができ、熱処理後に低いヘイズ値を示すのが好ましい。より詳細には、本発明に係る被覆窓ガラスのあるものは、その光学的性質、特に光透過率及び/又は反射色の主要な変更なしに熱処理し得るべきである。
さらに、被覆窓ガラスは、熱処理前後で被覆窓ガラスの保管、運搬及び使用中の通常の環境影響に耐え、相当な損傷なしに通常の取扱い及び処理段階中の被覆窓ガラスに作用する機械的及び化学的状況に耐え抜くべきである。
本発明は、更に、高い光透過率と低い放射率(低いシート抵抗に対応する)及び/又は良好な日照調整性、すなわち高い光透過率と結びついた低い太陽エネルギー透過率を有する、熱処理し得る被覆窓ガラスを提供することを目的とする。
本発明は、より詳細には、その反射防止層に主として窒化ケイ素を使用するコーティングに匹敵した、優れた物性を有する低放射率及び/又は日照調整コーティングを提供することを目的とする。
上述の問題の一つ以上の解決手段は、請求項1の課題である。好ましい実施態様を、請求項2〜20に提示する。
前掲の物の請求項に従う被覆窓ガラスから製造した熱処理被覆窓ガラスを、請求項21に提示する。
前掲の物の請求項に従う少なくとも一つの熱処理被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスを、請求項22に提示する。
本発明に係る被覆窓ガラスの好ましい使用は、請求項23及び24の課題である。
物の請求項で特定されるような熱処理被覆窓ガラスの製造方法を、請求項25に提示する。
驚くべきことには、優れた機械的及び化学的な耐久性を有し、いくつかの実施態様において熱処理することができる少なくとも下方反射防止層、IR反射層、上方反射防止層の透過層を備える少なくとも一つの層順序からなる低放射率及び/又は日照調整コーティングが、前記反射防止層の少なくとも一つが、Siおよび/またはAlの(酸)窒化物と、ZnOとの混合物を含む少なくとも一つの化合物層を備え、成長促進層を前記下方反射防止層の上部として前記IR反射層の下に設け、前記成長促進層が、Alをドープしたおよび/若しくはSnをドープしたZnO又はSnをドープしたIn酸化物(ITO)を備える際に提供され得ることを見出した。このような混合物が顕微鏡レベルで異なる態様を取り得ることはいうまでもない。本発明との関連における層は、広い意味で、Si及び/又はAl、Zn、O及びNの原子を顕微鏡レベルで互いに如何に結合するかとは無関係に、前記層内で検出し得る場合化合物層である。しかし、本発明の最も実用的な実施態様において、実際の化合物層が微視的にはSi及び/又はAlの(酸)窒化物と、ZnOとの混合物からなることを推定する。
本発明の第一の実施態様によれば、化合物層は本質的に均質な層である。かかる本質的に均質な層を、例えば、窒素含有スパッタ雰囲気中でSi及び/又はAlとZnOとの混合物からなる混合ターゲットから化合物層をスパッタ堆積することによって達成することができる。層は、その境界又は表面領域がない層の中心が本質的に均質な場合に、「本質的に均質」とみなされる。かかる均質層に対してさえ、析出条件及び/又は前後の層に用いる材料に応じて、その表面又は境界に接近する時、その組成が変化し得るこというまでもない。
本発明の第二の実施態様によれば、化合物層は、Si及び/又はAlの(酸)窒化物対ZnOの比(Si及び/又はAl原子対Zn原子の比で表す)がその中心部分でさえ厚さの全域にわたって著しく(すなわち中間組成の周りで約±5%を超えて)変化するような段階的な組成を有する。このような段階的な層は、窒素含有スパッタ雰囲気中で一方がSi及び/又はAl(任意にドープする)、他方がZnO(任意にドープする)のターゲット対を同時スパッタリングし、被覆すべき窓ガラスを前記ターゲット対に対し所定の速度で移動させることによって達成することができ、それによって、異なるターゲットへの距離が変化するため、化合物層はその厚さ全域にわたって徐々に変性した組成で堆積される。
最後に述べる実施態様の好ましい変形によれば、Si及び/又はAlの(酸)窒化物対ZnOの比(Si及び/又はAl原子対Zn原子の比で表す)が化合物層の厚さの全域にわたって繰り返し著しく増減する。このような層は、窒素含有スパッタ雰囲気中で一方がSi及び/又はAl(任意にドープする)、他方がZnO(任意にドープする)のターゲットの数対を同時スパッタリングし、被覆すべき窓ガラスを他方の後で一つのターゲット対に対し移動させることによって製造することができ、それによってコーティングをその組成の繰り返し増減する比率で堆積する。或いはまた、窓ガラスをターゲットの単一対に対し前後に繰り返し移動させることができ、それによって化合物層を前記ターゲット対に対し基板の数パス中に段階的に堆積する。化合物層の全域にわたる組成変化の繰り返し数が十分に高い場合、該層の組成を本質的に均質な状態に有効に近づけるようになることが特に好ましい。
特に、化合物層内のSi及び/又はAl対Znの平均原子比が、約20:1と1:20の間、好ましくは約10:1と1:10との間、さらに好ましくは約5:1と1:5との間の場合に、良好な結果が達成される。
約1:1又はそれ未満のSi及び/又はAl対Znの原子比を有するZnの豊富な化合物層は、これを単一又は複数の銀層コーティングの下方反射防止層及び/又は複数(例えば二重)の銀層コーティングの銀層間のスペーサ層に用いる際、例えば生産性の理由で好ましい場合がある。約1:2〜1:5の範囲、好ましくは約1:4の原子比を有する化合物層を特に高い生産性で、コーティングの熱処理性又は他の適切な性質を損なうことなくスパッタ堆積することができることを見出した。
本発明のコーティングの上方(最外側)の反射防止層に関しては、よりSi及び/又はAlの豊富な化合物層を用いるべきで、この場合優れた熱処理性を達成するのに、Si及び/又はAl対Znの原子比を約1:1.5〜3:1の範囲に設定する。
本発明の化合物層は、広い範囲の厚さで適用することができ、有用である。干渉光学部品によって与えられる実際に関連のある範囲において、コーティングの上下いずれかの反射防止層に用いるとき、その好適な厚さ範囲は、好ましくは約10〜60nm、より好ましくは約15〜50nm、さらにより好ましくは約25〜40nmである。25〜40nmの範囲は、化合物層が上または下の反射防止層の主要な部分を占める場合に適用する。二つのIR反射層間の誘電性スペーサ層に用いる場合、本発明の化合物層の好適厚さ範囲は、好ましくは10〜120nm、より好ましくは15〜100nm、さらに好ましくは25〜90nmである。上述した厚さ範囲の低い厚さ値は、反射防止層が本発明の化合物層に加えて、少なくとも一つの更なる誘電体層を備えるコーティングスタック設計に適用するので、IR反射層を効果的に反射防止するのに必要な全体厚みを達成することができる。
ドープしたターゲットを大抵純粋な金属酸化物又は半導体ターゲットより一層容易にスパッタリングすることができるので、化合物層は金属若しくは半導体又はそれらの酸化物若しくは(酸)窒化物を更に備えることができる。好ましいZnOスパッタターゲットドーパントは、或る市販のAlドープしたZnOスパッタターゲット中に約2重量%までの量(ドープした酸化物ターゲットにおけるAl含量)で含まれるAl(Al)であり、より高いドーパント量は除外されない。また、好ましいSiターゲットドーパントは、市販のSiスパッタターゲットに約10重量%まで又はそれ以上の量で通常加えたAlである。純粋なAlターゲットが本発明の化合物層のAl(酸)窒化物成分をスパッタリングするのに用いることができるが、Ti,Zn,Mg,Si,Cu等のようなドーパントを数重量%までのオーダー量で備える技術的なAl合金から生産したスパッタターゲットのようなドープしたAlターゲットを使用することは、本発明の範囲内である。ターゲットドーパントをこのようなドープしたターゲットから生産した化合物層に埋設するので、その量および材料は、それらが本発明の目的とする被覆窓ガラスの性質を著しく損なわないように選択すべきである。
特に高い光学的及び熱的性能、すなわち高いIR反射率と結合した高い光透過率を有する被覆窓ガラスを達成するためには、成長促進層をIR反射層下の下方反射防止層の上方部分として設けるAlをドープしたおよび/若しくはSnをドープしたZnO又はSnをドープしたIn酸化物(ITO)を備える成長促進層を設けることによって、銀系IR反射層を堆積させる前に、IR反射層用の成長基板を改良してその導電率を増加する(言い換えれば:所定の層厚でシート抵抗を減少させる)ことを通常目的とする。成長促進層は、IR反射層の堆積の直前でそれと直接接触するよう通常堆積する。
ただし、コーティングの性質を更に改良することができる場合に、当業界で既知のような極めて薄い補助層(例えばプライマー層、接着促進層、脱酸素剤層)を銀系IR反射層の直下で、且つ特に成長促進層と次の銀系IR反射層との間に配置することは本発明の範囲内である。低nm範囲の厚さを有する前記補助層に関して、Ti又はTiOx、NiCr又はNiCrOxのような金属、金属合金又はその亜酸化物がすでに提案されており、他の材料を除外しない。
成長促進層は、Alをドープしたおよび/若しくはSnをドープしたZnO又はSnをドープしたIn酸化物(ITO)の一種以上を備える。ZnO及びAlをドープしたZnO若しくはSnをドープしたZnOのような金属をドープしたZnO又はそれらの混合物が、実際には最も好ましい材料である。成長促進層は、好ましくは約2〜20nm、より好ましくは約4〜18nmの厚さを有する。
堆積処理の間及び次の熱処理の間にIR反射層を保護するためには、付加的バリア層をIR反射層の上に設けることが好ましく、特にTi、TiOx、例えばAlをドープしたZnO、SnをドープしたIn酸化物(ITO)のような金属をドープしたZnO、Zn−Si酸化物、これに関連した周知の他の材料、例えば或る金属又は金属合金、金属(副)酸化物又は金属(酸)窒化物の一つ以上を備えるが、これに限定されない。TiOxバリア層を少なくともわずかに半化学量論的な酸化物(x<2)として堆積するのが好ましい。ある場合には、本質的に化学量論的(x=2)又はさらにわずかに超化学量論的な組成(x>2)も十分なバリア性を付与することができる。バリア層は、例えば金属をドープしたTiOxターゲット(欧州公開特許1284302号公報)又はAlをドープしたZnOターゲットから堆積させると、低量の金属ドーパントを含む場合がある。
バリア層は、約0.5〜15nm、好ましくは約1〜10nmの厚さを有するべきである。その厚さは、より吸収性の(金属的な)性質の場合、通常下限に近くなり、より透明(酸化性)になると、厚くすることができる。少なくとも堆積直後に少なくともわずかに半化学量論的である酸化性バリア層は、熱処理の間及び次の層の堆積の間十分に酸化されたバリア層に比べ、より良好なIR反射層の保護を付与することができる。バリア層の厚さ及び熱処理中に酸素を吸収(排気)するための電位は、少なくとも高い光透過率を目的とすると、熱処理後に本質的に十分酸化され、弱い吸光指数を示すような組合せで通常選択される。本発明のコーティングに特に好ましいバリア層は、TiOx及びAlをドープしたZnOを、二つの別個な若しくは重畳した(段階的に)部分層又は混合層のいずれかとして備える。好ましくは、かかる層は、TiOxターゲット及びAlをドープしたZnOターゲットを同時スパッタリングすることによって製造することができる。
簡単なコーティング設計は、各反射防止層がSi及び/又はAlの(酸)窒化物及びZnOの(酸)窒化物の混合物を含む化合物層からなる場合に達成することができる。したがって、本発明のコーティングの基本的な層順序は、窓ガラス/任意の誘電体層、例えば高い屈折率層/化合物層/任意の成長促進層/任意の薄いプライマー層/Ag/任意のバリア層/化合物層/任意の保護層である。
しかしながら、既知の低放射率及び/又は日照調整コーティングにわたって機械的及び/若しくは化学的耐久性並びに/又は熱処理性の予測可能な改良は、その誘電体層の少なくとも一層、特にそのSi及び/若しくはAl(酸)窒化物層又はZn−Sn酸化物層の一つを本発明に係る化合物層によって置換する場合に達成することができる。本発明の化合物層と、Si/Al(酸)窒化物又はZn−Sn酸化物タイプの従来の層との両方を備える、より一般的な本発明の層順序のいくつかの制限されない例は、窓ガラス/任意の誘電体層、例えば、高屈折率層/化合物層/任意の成長促進層/任意の薄いプライマー層/Ag/任意のバリア層/誘電体層、例えばSi及び/又はAl(酸)窒化物及び/又はZn−Sn酸化物層からなる/任意の保護層、又は窓ガラス/任意の誘電体層、例えば高屈折率層/誘電体層、例えばSi及び/又は窒化Al(酸)及び/又はZn−Sn酸化物層からなる/成長促進層/任意の薄いプライマー層/Ag/バリア層/化合物層/任意の保護層である。
したがって、本発明の化合物層に加えて又は代わりに、反射防止層の少なくとも一つが少なくとも一つの誘電体層とすることができ、これは特に被覆窓ガラスを熱処理できる場合には、Zn−Si酸化物、Zn−Sn酸化物(例えば亜鉛スズ酸塩)、Si(酸)窒化物、Al(酸)窒化物、In−Sn酸化物(ITO)、Bi酸化物、Sn−Si酸化物、Bi−Sn酸化物等の一つ以上を備えることができる。例えばTi酸化物(TiO)又はBi酸化物のような約2.3を超える屈折率(550nm)を有する高屈折率材料を、当業界で周知のように、下方の反射防止層の部分層として特に選択して被覆窓ガラスのより中間色の外観を達成することができる。反射防止目的に既知の他の誘電体材料を、本発明のコーティングの部分層用に任意に選択することができ、被覆窓ガラスが熱処理し得ることを必要としない場合に該材料の選択が著しく高くなる。
高屈折率層に代わるものとして、ガラス基板と接触する下方の反射防止層の任意の最下層の誘電体層をAl(酸)窒化物層として単独又は少なくとも一つの次の誘電体層、特に化合物層及び/又は成長促進層と組み合わせて設けるのが好ましい。
本発明の化合物層を種々のIR反射層と共に有利に使用することができる一方、特に本発明は、IR反射層が銀又は銀系合金からなる被覆窓ガラスに関する。
本発明はコーティングの(複層の)IR反射層の厚さに関し光透過性である限り制限されないのに対して、多くの場合銀又は銀系合金のIR反射層が、約6〜20nm、好ましくは約6〜15nmの厚さを有することが好ましい。
本発明は、ファブリペロータイプの干渉フィルタとして機能する二つ以上のIR反射層を、下方及び上方反射防止層並びに二つの次のIR反射層を分離するスペーサ層と共に備える低放射率及び/又は日照調整コーティングに、特に役立つことが証明された。このようなコーティングは、光透過率と太陽エネルギー透過率との間の特に高い割合(「選択性」)を目的とすること及び/又は狭い反射若しくは透過色仕様を満たすべきことを必要とする建築及び自動車用途の両方で周知である。
したがって、本発明は、一つの実施態様において、「上方成長促進層を任意に含む下方反射防止層/IR反射層/任意のバリア層/上部反射防止層」の少なくとも二つの層順序を備えるコーティングに指向するもので、この場合層一つの順序の上方反射防止層を次の層順序の下方反射防止層と組み合わせて、前記層順序の二つのIR反射層間にスペーサ層を設けるようにし、また反射防止層の少なくとも一つが本発明の化合物層を備える。
また、コーティング設計を簡単にする実施態様は、反射防止層及びスペーサ層の各々がSi及び/又はAlの(酸)窒化物及びZnOの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする。このようなコーティングの基本的な非境界層順序は、窓ガラス/任意の誘電体層、例えば高屈折率層/化合物層/任意の成長促進層/任意の薄いプライマー層/Ag/任意のバリア層/化合物層/任意の成長促進層/任意の薄いプライマー層/Ag/任意のバリア層/化合物層/任意の保護層である。
さらに一般的にいえば、前の層順序内の化合物層の少なくとも一つ(全ての層ではない)を、特にSi及び/若しくはAl(酸)窒化物又はZn−Sn酸化物層のような他の誘電体層と置換するか、又は少なくとも一つの化合物層を該誘電体層で補完して有用な低放射率及び/又は日照調整コーティングを達成することができる。
また、ガラス基板と接触する下方反射防止層の任意の最下誘電体層を、好ましくはAl(酸)窒化物層として設けることができる。
更なる補助層をコーティングに加えて挙動を最適化することができる。例えば、金属(合金)酸化物又は(酸)窒化物の保護層を分割層として更に最外反射防止層の上に設けるか、又はかかる層中に埋設した場合に、被覆窓ガラスの機械的及び化学的抵抗を更に改良することができる。Ti、Si、Al及び/又はZn−Siの酸化物又は(酸)窒化物を備える保護層が特に好ましい。かかる種類の保護層を約0.5〜10nm、好ましくは約1〜6nmの厚さで適用することができるが、より厚い層を除外するものでない。このような保護層は、代わりに又は加えて、本発明の被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスの中間層に対するコーティングの接着を適合させる(改良する)か、又は該中間層により良好な屈折率を適合させる目的をもたらすことができる。
本発明は、主として高い光透過率及び高いIR反射率コーティングを対象とする。このようなコーティングに対して、全ての部分層は、少なくとも熱処理後に低レベルの光及びIR吸収能を有するように選択し、堆積させるのが好ましい。しかしながら、コーティングの日照調整性を増強し、太陽エネルギーのレベル及び光透過率を減少する場合、本発明のコーティングは、当業界で周知なもののように少なくとも一つの吸収層を加えるか、又はいずれかの部分層を吸収層として設計することによってかの、いずれかで光及び/又は太陽エネルギーを吸収する部分層を備えることができる。
本発明はまた、熱処理被覆窓ガラスの製造方法を対象とし、この場合本発明に係る被覆窓ガラスを580〜690℃の間の温度で約1〜10分間熱処理し、その後屈曲及び/又は強化する。
本発明はまた、約0.5%未満、好ましくは多くても約0.3%のヘイズ値を有し、本発明に係る低放射率及び/又は日照調整コーティングを有する熱処理被覆窓ガラスを備える。従来技術のある熱処理し得るコーティングと比較した本発明の化合物層の使用の特定の利点は、少なくとも本発明のある実施態様で、有意に0.5%以下のヘイズ値を、温度範囲580〜690℃の比較的高温度の熱処理後でさえ達成することにある。
本発明に係る熱処理被覆窓ガラスは、自動車用板ガラス(例えばフロントガラス、側面ガラス、リアガラス、ルーフウィンドー)又は、建物の板ガラス(例えば窓の板ガラス、正面の板ガラス、内部の板ガラス)のいずれかに使用するのが好ましい。通常コーティングがモノリシック板ガラス上で使用するに十分に安定でないので、本発明の被覆窓ガラスは通常、コーティングが接着剤プラスチック中間層又はガス充填した封入隙間のいずれかに対向する合わせ窓ガラス又は多重板ガラスのような板ガラスに組み合わせるだろう。
少なくとも一つの熱処理(例えば屈曲)した本発明の被覆窓ガラスと、少なくとも一つの接着剤プラスチック中間層と、任意の少なくとも一つの更なるガラス又はプラスチック板とを備え、窓ガラスのコーティングが中間層と対向する合わせ窓ガラスは、特に乗物のフロントガラス又は他の自動車窓ガラスに有用である。適切な層順序を選択し、合わせ窓ガラスが少なくとも70%、好ましくは少なくとも75%の光透過率Tを達成するように個々の層の厚さを適合させることによって本発明のコーティングを設計して、日照調整の自動車フロントガラスとしての使用を可能にすることが好ましい。本発明はまた、被覆窓ガラスおよび、それから製造したより低い光透過率を有する製品に適用し得ることは言うまでもない。
本発明を、図面や実施例に制限されない目的で、以下で更に詳細に説明する。
図1は、窓ガラス1上に堆積した一つのIR反射層のみを有する本発明の低放射率及び/又は日照調整コーティングの基本層順序を示す。窓ガラス1は、通常ソーダ石灰シリカガラスから成るが、本発明ではそれに制限するものでない。これは透明又は全体着色したものとすることができる。ある実施態様においては、窓ガラス1をモノリシック窓ガラスとして使うことができる。しかしながら、コーティングの堆積前又はその後に、窓ガラス1を合わせ窓ガラスの他の構成要素に積層するのが好ましい。また、他の板又は類似物と組み立てて多重窓ガラスユニットとすることができる。その厚さは、特に制限されないが、通常1〜20mmの間にある。
図1のコーティングは、窓ガラス1の表面から順番に、
ベース層5及び任意の成長促進層6からなる下方反射防止層2、
IR反射層3
任意のバリア層7、
上方反射防止層4及び
任意の最外保護層9を備える。
反射防止層2,4の少なくとも一つは、本発明に係る化合物層を備える。
本発明の簡単な実施態様において、反射防止層2,4の一方又は両方は、任意の更なる部分層なしの本発明の化合物層のみから成る場合がある。しかしながら、本発明の化合物層を反射防止層2,4の部分層としてのみ使用する選択肢と、これを更なる部分層で補足する選択肢がある。図1に示すように、本発明の好ましい実施態様では、下方反射防止層2が少なくともベース層5と、該ベース層5と異なる材料からなる成長促進層6とからなる。この場合、比較的厚いベース層5は、他の機能のうち下方反射防止層2の主要部の役割を果たし、熱処理中のコーティングによる窓ガラス1の原子の拡散に対するバリア機能と結びつくことが可能である。通常より薄い成長促進層6は、主として次に堆積するIR反射層3用の成長促進ベースとして役立つ。ある場合には、更なる極薄補助層(図示せず)を例えば成長促進層6とIR反射層3との間に設けて両層間の接着を改良し、脱酸素剤又は吸収剤として役立つか又は熱処理性を更に改善することができる。
好ましくは、本発明に係る化合物層を下方反射防止層2のベース層5に用いることができる。少なくともそのSi(酸)窒化物−ZnOバージョンでは、成長促進層6として用いるのに特に適していないことを見出した。Si(酸)窒化物及びZnOの混合物の化合物層を下方反射防止層2に用いる場合、好ましくはこれをベース層5として使用し、ZnO等の成長促進層6によって補足して、次の銀系IR反射層3のシート抵抗を減少させるべきである。前述のように、本発明の化合物層を、既知の低放射率及び/又は日照調整コーティングにおけるAl及び/又はSi(酸)窒化物、Zn酸化物又はZn−Sn酸化物タイプの層と置換することが可能であり、これらの層の屈折率が極めて類似しているため、わずかな厚さの適用のみが必要となる。ZnO又は金属をドープしたZnO、例えばAlをドープしたZnO又はSnをドープしたZnOからなる成長促進層6を、ベース層5として設ける場合、本発明の化合物層と組み合わせて使用するのが好ましい。
上述したように、化合物層の成分は一方でSi及び/又はAlの(酸)窒化物、他方でZnOを種々の比率(Si及び/又はAl原子対Zn原子の比率で表される)を含むことができ、その原子比は20:1と1:20が好ましく、10:1と1:10がより好ましく、5:1と1:5が最も好ましい。
(Alをドープした)ZnOと(Alをドープした)Si(酸)窒化物の混合物は、高い光透過率及び低い太陽エネルギー透過率を有する高品質な熱処理可能なコーティングを提供するための、化合物層用の最も適切な材料であることが証明された。約20:1〜1:20のSi及び/又はAl対Znの原子比に対して、このような化合物層の屈折率(550nm)は約2〜2.2の範囲であり、これらの化合物が低放射率及び/又は日照調整コーティングにおける誘電体層として、例えばZnO、SnO、Zn−Sn酸化物(亜鉛スズ酸塩)又はSi(酸)窒化物のような中間屈折率材料と置換するのに特に適するようになる。
化合物層を異なる処理及び装置を使用して堆積させることができ、従来の大面積スパッタリング装置及び処理でのスパッタリングが最も好ましい。化合物層の成分(又は反応性スパッタリングの場合の基本成分)を平面又は円筒状(回動)ターゲットとして付与するのが好ましい。かかるターゲットを、その性質に応じて、DC、パルスDC、HF(RF)若しくは中波(MF)又はあらゆる他の適切な条件下でスパッタリングすることができる。被覆すべき窓ガラスを、本質的に水平に配したターゲットの下若しくは上に又は本質的に垂直に配したターゲットに沿って移動させることができる。
特に、一方でSi及び/又はAl(任意にドープ)、他方で金属をドープしたZnO(例えばAlをドープしたZnO=ZnO:Al)のターゲット対(2ターゲット以上の偶数グループ)を使用し、これらターゲット対又はグループを必要な不活性成分(Ar)の他に反応性のスパッタガスとして窒素のみ又はこれを主として含むスパッタ雰囲気下でスパッタすることが好ましい。中波、DC、パルスDC又はあらゆる他の適切なスパッタ技術を適用することができる。酸素は、不可避な残留又は吸着ガスの一部としてのみ存在するのが好ましい。これによって、易酸化性元素Al及び/又はSiの不当な酸化を生ずることなく化合物層の(酸)窒化物成分を堆積させることが可能である。同時に、金属をドープしたZnOを、セラミック金属ドープターゲットから酸素がない又は極めて少量の酸素のみを加えたスパッタ雰囲気下でスパッタすることができる事実を利用する。或いはまた、Si及び/又はAl並びにZnOを含む混合ターゲットを反応性のスパッタガスとして窒素を含むスパッタ雰囲気下でスパッタすることができる。
一般に、その屈折率の虚数部分の低い値を有する化合物層が、スペクトルの視覚の部分で本質的に吸収しないように堆積されるよう堆積処理を制御することが最も好ましい。
本発明の化合物層の他に、あるいはそれに代えて、反射防止層2は、前述(図示せず)のような少なくとも一つの(更に部分的な)誘電体層を備えることができる。
大抵の場合、補助バリア層7をIR反射層3上に、特に被覆窓ガラスが熱処理できる必要がある場合に設けることが好ましいか、又は必要になる。このようなバリア層7は、当業界で周知なもののような拡散バリア機能及び/又は脱酸素機能を設けることによって、コーティングの製造中及び次の熱処理の間にIR反射層3を保護するのに役立つ。バリア層7は、単一層又はいくつかの部分層を備えることができる。全バリア層厚は、前述したように、通常約0.5〜15nmの範囲である。高い光透過率を狙いとする場合、少なくとも熱処理後に可視スペクトル領域で高々わずかに吸収する材料を用いるか、又は極めて薄い光吸収バリア層のみを用いることが好ましい。
バリア層7に適した材料は、(当業者によってよく知られる)金属及び金属合金、その半化学量論的な酸化物、又は場合によっては均一な(わずかに半化学量論的)酸化物、酸窒化物及び窒化物である。本発明の関連で、バリア層7用の材料は、Ti、TiOx、例えば最も好ましい材料としてのAlをドープしたZnOのような金属をドープしたZnO、SnをドープしたIn酸化物(ITO)、Zn−Si酸化物の一つ以上から選択するのが好ましい。本発明のコーティング用で特に好ましいバリア層7は、TiOxとAlをドープしたZnOとを二つの別個の部分若しくは重畳(段階)層又は混合層のいずれかとして備える。このような混合又は段階的なバリア層7は、TiOxターゲット(任意に半化学量論的及び/又はドープ)及びAlをドープしたZnOターゲットを同時スパッタリングによって製造するのが好ましい。
上方反射防止層4は、下方反射防止層2のように、単一層又は数個の部分層とすることができる。最も簡単な設計においては、本発明に係る化合物層のみからなることができ、上述した化合物層及びその製造に関する全てのことを上方反射防止層4に適用する。上方反射防止層4は、下方反射防止層2のように、少なくとも一つの(更に部分的な)誘電体層、例えば下方反射防止層2用に好ましいものとして前述したものを更に又は選択的のいずれかで備えることができる。
任意の最外保護層9は機械的又は化学的な影響に対するコーティングの頑健性を増加するのに役立ち、その厚さが約1〜10nm、好ましくは約2〜6nmの範囲である場合に、通常コーティングの光学的性質に極く僅かな影響を及ぼすのみである。保護層9は、硬度又は耐薬品性に周知の材料から構成することができる。いくつかの金属(合金)酸化物又は(酸)窒化物をこのような保護層9に適用できる一方、Ti、Si、Al及び/又はZn−Siの酸化物又は(酸)窒化物が好ましい。すでに上述したように、保護層9は、本発明の被覆窓ガラスを備える合わせ窓ガラスの中間層に対するコーティングの接着に適合(改良)するか、又は該中間層により適した屈折率を付与する目的に選択的又は更に役立つことができる。ここで、他の目的に関して、更に厚い最外保護層9を使用することが適切であることができる。代替案として、保護層を外側反射防止層(図示せず)に埋設した分割層として配置することができる。
この点に関して本発明を制限することを求めずに、単一のIR反射層3を有するコーティング用のある有利な層順序を以下に示す。窓ガラス/ベース層5としてのSiNx−ZnO(Alをドープした)の化合物層/成長促進層6として(金属をドープした)ZnO/IR反射層3としてAg/例えばTiOx及び/又はZnO:Alを備えるバリア層7/上方反射防止層4としてのSiNx−ZnO(Alをドープした)の化合物層/例えばSi及び/又はAlの酸化物又は(酸)窒化物、TiOの任意の保護層9である。
図2の低放射率及び/又は日照調整コーティングは、窓ガラス1の表面から順番に
第一ベース層15及び第一(任意)の成長促進層16からなる第一下方反射防止層12、
第一IR反射層13、
第一(任意の)バリア層17、
中心層39及び第二(任意)の成長促進層26からなるスペーサ層20、
第二のIR反射層23、
第二(任意)のバリア層27及び
第二の上方反射防止層24を備える。
図2のコーティングは、同じ一般的な構造の二つの層順序を備え、各々が下方反射防止層、IR反射層13,23及び上方反射防止層からなる。第一の下方層順序の第一上方反射防止層を第二の層順序の第二下方反射防止層と組み合わせて、二つのIR反射層13,23がFabry−Perotタイプの干渉フィルタとして機能するようにこれら層を離間するスペーサ層20を形成する。図2に示す典型的な実施態様において、ベース層15及び成長促進層16を備える第一下方反射防止層12と、第二上方反射防止層24とは、図1の層2,5,6及び4と同様の機能を果たす。第二の成長促進層26を第二のIR反射層23の下で、且つ中心層39の上に設け、効果的に第一層順序の第一上方反射防止層と、第二層順序の第二下方反射防止層の第二ベース層との組合せとする。
最外保護層を図2に示さないが、所要に応じて設けて前記単一IR反射層コーティングに関して述べたようなコーティングの頑健性又は他の性質を増強することができる。
図1のコーティング、特に本発明の化合物層の使用に関して説明したものも、一般に図2のコーティングに適用する。
好ましい層順序は、以下の通りである。窓ガラス/第一ベース層15としてのSiNx−ZnO(Alをドープした)の化合物層/第一成長促進層16としての(金属をドープした)ZnO/第一IR反射層13としてのAg/例えばTiOx及び/又はZnO:Alを備える第一バリア層17/中心層39としてのSiNx−ZnO(Alをドープした)の化合物層/第二の成長促進層26としての(金属をドープした)ZnO/第二のIR反射層23としてのAg/例えばTiOx及び/又はZnO:Alを備える第二のバリア層27/上方反射防止層24としてのSiNx−ZnO(Alをドープした)の化合物層/例えばSi及び/又はAlの酸化物又は(酸)窒化物,TiOの任意の保護層である。
個々の層厚が特定用途で狙いとする被覆窓ガラスの光学的及び他の性質に従って設定する必要があることを認識するので、本発明の関連において詳細に説明することを必要としない。低放射率及び/又は日照調整コーティングを算出して、シミュレートするための製法及びソフトウェアは、適切な層厚を算出するために当業者が利用できる。
本発明を、いくつかの実施例により説明する。全ての実施例において、2.1mm厚さの透明なフロート窓ガラス(T=90%)を被覆すべき基板として使用する。
(実施例1)
下記の表1に示すような数個の層を備えるコーティングを、下記のターゲット又はターゲット対を配置した数個の分離スパッタリング室を有するスパッタリングプラント内で窓ガラス上に堆積させた。
(1)第一のターゲット対は(a)約10重量%のAlを主ドーパントとして含む金属をドープしたSiターゲット(W.C.HeraeusからSISPA(商標)10として市販)と、(b)約2重量%のAlを含むAlをドープしたセラミックZn酸化物ターゲット(W.C.HeraeusからZAO(商標)として市販)とを備える。
(2)亜鉛ターゲット;
(3)銀ターゲット;
(4)第二のターゲット対は(a)セラミックTiOxターゲット(x<2)(TiOxターゲットはW.C.HeraeusからCLATO(商標)として市販)と、(b)約2重量%のAlを含むセラミックZnO:Alターゲット(W.C.HeraeusからZAO(商標)として市販)とを備える。
スパッタリングプラントは、所定厚さの層を堆積させるまで、複数室の一つにおけるターゲット又はターゲット対に対し制御した速度で窓ガラスを一又は数パスの間移動することを可能にする。一パス以上が必要な時、基板搬送方向を一パス後に逆転し、基板を次のパスの間反対方向に移動した。一層の堆積完了後、窓ガラスを他のスパッタリング室に移動して次の層の堆積を可能にする。ターゲット対は、市販の電源を用いて約150kHzで操作する二重カソードパルス化DCスパッタリング装置の一部であった。
堆積処理を開始する前に室を真空にし、次いで適当なスパッタリングガスを必要に応じて、表2に示すように導入した。
実施例1のコーティングは、表1に示すように層順序(ガラス面から始まる)を有した。
Figure 0005221513
化合物層に付与した原子比は、Kratos製のAmicusXPS装置を使用するXPSによって決定される段階層の平均組成に関連する。分析法は半定量的であり、得られた結果をワグナー相対感度因子を用いて処理して上記表1及び下記表5に示した原子比を付与する。
個々の層の堆積を表2に要約した条件下で行った。
Figure 0005221513
(実施例2)
実施例1と本質的に同じ層順序と厚さを有するコーティングを堆積した。しかしながら、実施例1以外の化合物層は、基板をAlをドープしたSi(Si:Al)/AlをドープしたZnO(ZnO:Al)ターゲット対の下で約4倍早く通し、したがって8―16―8パスを用いて、実施例1と本質的に同じ全体厚みを有する三つの化合物層を堆積することにより堆積させた。堆積条件を表3に要約する。
Figure 0005221513
実施例1及び2に係る層堆積を有する被覆窓ガラスをXPS分析によって分析し、結果を図3(実施例1に対応する層堆積)及び図4(実施例2に対応する層堆積)に示す。XPS分析は、コーティングの層順序の半定量分析を提供する。
図3及び図4の比較は、両方の場合における二つの銀IR反射層の下、上及び間に配置した化合物層が非均質な段階層であり、AlをドープしたSi窒化物とAlをドープしたZnOの相対的な比率が各化合物層の厚さを横切って、著しく変化することを示す。実施例1においては、変化の振幅が実施例2におけるものより非常に高く、ピーク及び谷の数が実施例1における2―4―2パスと比べて、実施例2におけるターゲット対の下より速い速度での高いパス数(8−16−8)に生じる実施例2における数の僅か4分の1である。より高いパス数は、本質的に均質な状態に近づく化合物層の組成を明らかに導く。
(比較例3)
実施例1及び2のものと同様の層順序を有する比較のコーティングを製造した。ただし、全ての化合物層15,39及び24を、スパッタガスとしてAr及びNを含むスパッタリング雰囲気中で、AlをドープしたSiターゲットの反応性スパッタリングによって製造した適切な厚さの純粋な(Alをドープした)Si窒化物層と置換した。
実施例1,2及び比較例3に係る被覆窓ガラスを、650℃及び680℃で熱処理して、次の表4に示すような光透過率及びシート抵抗の値を得た。
Figure 0005221513
実施例1のコーティングは両方の温度で実際に同じ挙動を示すが、一方より均質な化合物層を有する実施例2のコーティングは、650℃と比べて680℃で熱処理した際により優れた性質(よりわずかに良好な光透過率及び著しく減少したシート抵抗)を示すことがわかる。したがって、より均質な化合物層は、温度範囲580〜690℃の上部で熱処理されるであろう熱処理可能なコーティングにより適しているとすることができる。
比較例3に係るSiNxベースのコーティングは、熱処理中にシート抵抗のより低い減少速度を示すが、そのシート抵抗はIR反射層の本質的に同じ厚さでより高い標準輻射率に相関する熱処理の前後両方で本発明のコーティングのシート抵抗より非常に高い。680℃の熱処理は、比較例3の被覆窓ガラスの光透過率の低減を導く。実施例1及び2の熱処理被覆窓ガラスの最終的な光透過率は、比較例3の被覆窓ガラスの最終的な光透過率より著しく高い。したがって、本発明に係わる熱処理被覆窓ガラスは、SiNxベースのコーティングより非常に低いシート抵抗(より高いIR反射)及び非常に高い最終的な光透過率を達成することを可能にする。
多くの付加実験において、実施例1および比較例3と本質的に同一層順序を有する被覆窓ガラスを以下の違いで調製した。
本発明のコーティングの化合物層15,39及び24及び比較例コーティングのSiNx層の厚さを、それぞれ40,80及び40nm(実施例1の35,70及び35nmと比較して)に設定し、ターゲット下わずかに減じた速度の2―4―2パスで達成した。
10kW:4kWの電力比をSi:Al/ZnO:Alターゲットに用いて、更なる本発明の実施例の化合物層15,39及び24を堆積し、これにより約1:1.2のSi:Znの原子比(XPSによって分析)をこれらの層で達成した。
被覆窓ガラスをマッフル炉内で650℃,660℃,670℃及び680℃温度で5分間熱処理した。熱処理の前後で、被覆窓ガラスのシート抵抗、光透過率及びヘイズ値を測定した。結果を図5〜7に示す。
本発明に係る化合物層を備える被覆窓ガラスは、シート抵抗及び光透過率に関する両方で、650℃と680℃との間の温度で各熱処理の前後で化合物層の代わりに、Si窒化物層を使用する被覆窓ガラスよりも良好な性能を示すことがわかる。熱処理後のヘイズ値は、680℃の熱処理温度まで本発明のコーティングに対して非常に低く残留した。SiNxベースのコーティングの性質は熱処理の間せいぜい本質的に安定したままであるのに対し、本発明のコーティングの光透過率及びシート抵抗値がかかる熱処理によって著しく改善される。
(実施例4〜9及び比較例10)
一連の更なる実験において、実施例1と類似の層順序を有するコーティングの化合物層のSi:Zn原子比を下記の違いで変更する。
本発明のコーティングの化合物層15,39及び24並びに比較例10の比較コーティング(Alをドープした)Si窒化物層の厚さを、それぞれ40,80及び40nm(実施例1及び比較例3における、35,70及び35nmと比較して)に設定し、ターゲット下わずかに減じた速度の2―4―2パスで達成した。
更なる発明の実施例の化合物層15,39及び24を堆積するためにSi:Al/ZnO:Alターゲットに用いた電力比を、15:2(実施例4)と15:8(実施例9)の間で変え、これによって下記の表5の第二欄に示したSi:Znの原子比(XPSによって分析)をこれらの層(実施例1及び2において約2:1と比較して)で達成した。
全ての被覆窓ガラスを650℃で5分間熱処理し、その後光透過率及びシート抵抗値を測定した。結果を下記の表5に記載した。最後の欄にシート抵抗Rに対する光透過率Tの比を示す。比較的高い比は、コーティングのより良好な低放射率/日照調整性能を示す。
Figure 0005221513
全ての本発明のコーティング(実施例4〜9)では、二つの2.1mmの厚の透明なフロート窓ガラス(その一層は本発明に従って被覆した)及び例えばPVBの透明な中間層を備える合わせ窓ガラスの少なくとも約75%の光透過率に関連したモノリシック窓ガラス(2.1mmの厚さ、T=90%を有する標準の透明なフロートガラス)の明らかに80%以上の光透過率を達成することができ、同時にシート抵抗がせいぜい約3Ω/となることが表5からわかる。両方の値は、高い光透過率で良好な低放射率/日照調整性能を示す。約80%(モノリシック被覆窓ガラス)を超える非常に高い光透過率を有する最適な性能は、1:1に近いSi:Znの原子比を有する化合物層を備える(被覆前、約90%の光透過率を有する2.1mmの透明なフロートガラスに)コーティングで達成することができること明らかである。0.5%以下の有意なヘイズ値が、良好な熱処理性を示す実施例4〜9で達成した。
本発明の化合物層の代わりにSi窒化物層を備えるコーティングは、表5の最終行(比較例10)を参照するに、比較的穏当な結果をもたらす。
実施例に係る被覆窓ガラスは、熱処理の後に極く僅かな外観変化(通常反射及び透過の両方でΔE*、Δa*及びΔb*で表す)を示した。その機械的及び化学的頑健性は優れていた。
被覆窓ガラスの光透過率Tで述べた値は、発光体C、2°の観測のCIE(1931)に従う測定に由来する。シート抵抗は、NAGYSRM−12非接触シート抵抗計を用いて測定した。
ヘイズ値は、前方散乱(ASTMD1003ー92に従って測定)によって入射光方向から外れる被覆窓ガラスを通過した透射光の割合を示す。熱処理の間低く残るヘイズ値は、熱処理性の良好な指標である。
一つのIR反射層を有する本発明の第一の実施態様の概略断面図である。 二つのIR反射層を有する本発明の第二の実施態様の概略断面図である。 XPS分析に従う本発明の代表的なコーティングの層順序を表すグラフである。 XPS分析に従う本発明の他の代表的なコーティングの層順序を表すグラフである。 Si(酸)窒化物−ZnO化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のSi窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。 Si(酸)窒化物−ZnO化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のSi窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。 Si(酸)窒化物−ZnO化合物層を備える本発明に係るコーティングと、類似のSi窒化物ベースのコーティングとの間のある性質の比較を示すグラフである。

Claims (25)

  1. 少なくとも下方反射防止層、IR反射層、上方反射防止層の透過層を備える少なくとも一つの層順序からなる低放射率及び/又は日照調整コーティングを有する被覆窓ガラスにおいて、
    前記反射防止層の少なくとも一つが、Siおよび/またはAlの(酸)窒化物と、ZnOとの混合物を含む少なくとも一つの化合物層を備え、
    成長促進層を前記下方反射防止層の上部として前記IR反射層の下に設け、
    前記成長促進層が、Alをドープしたおよび/若しくはSnをドープしたZnO又はSnをドープしたIn酸化物(ITO)を備えることを特徴とする被覆窓ガラス。
  2. 前記化合物層が、本質的に均質な層であることを特徴とする請求項1に記載の被覆窓ガラス。
  3. 前記化合物層が、Alおよび/またはSiの(酸)窒化物対ZnOの比が厚さの全域で著しく変化するような段階的な組成を有することを特徴とする請求項1に記載の被覆窓ガラス。
  4. 前記Siおよび/またはAlの(酸)窒化物対ZnOの比が、前記化合物層の厚さの全域で繰り返し増減することを特徴とする請求項3に記載の被覆窓ガラス。
  5. 前記化合物層におけるSiおよび/またはAlの(酸)窒化物対ZnOの平均原子比が、Siおよび/またはAl原子対Zn原子の比で表して、20:1と1:20の間であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  6. 前記Siおよび/またはAlの(酸)窒化物とZnOとの混合物を含む化合物層が、10〜60nmの厚さを有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  7. 前記成長促進層が、2と20nmの間の厚さを有することを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  8. バリア層を前記IR反射層と前記上方反射防止層の間に設けることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  9. 前記バリア層が、Ti、TiOx、金属をドープしたZnO、SnをドープしたIn酸化物(ITO)、Zn−Si酸化物の一つ以上を備えることを特徴とする請求項8に記載の被覆窓ガラス。
  10. 前記バリア層が、TiOxの層及び金属をドープしたZnOの次の層、またはTiOx及び金属をドープしたZnOの両方を備える混合層のいずれかを備えることを特徴とする請求項9に記載の被覆窓ガラス。
  11. 前記金属をドープしたZnOが、本質的にAlをドープしたZnOから成ることを特徴とする請求項10に記載の被覆窓ガラス。
  12. 前記バリア層が、0.5と15nmの間の厚さを有することを特徴とする請求項8〜11のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  13. 前記反射防止層の各々が、Siおよび/またはAlの(酸)窒化物とZnOとの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  14. 前記反射防止層の少なくとも一つが、Zn−Si酸化物、Zn−Sn酸化物(例えば亜鉛スズ酸塩)、Si(酸)窒化物、Al(酸)窒化物、In−Sn酸化物(ITO)、Bi酸化物、Sn−Si酸化物、Bi−Sn酸化物、Ti酸化物(TiO)の一つ以上を備える少なくとも一層からなることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  15. 前記IR反射層が、銀または銀系合金を備えることを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  16. 前記IR反射層が、6〜20nmの厚さを有することを特徴とする請求項15に記載の被覆窓ガラス。
  17. 前記層順序の少なくとも二つを設け、任意のバリア層及び一方の層順序の前記上方反射防止層を、任意の成長促進層を含む次の層順序の前記下方反射防止層と組み合わせて、前記層順序の前記二つのIR反射層間にスペーサ層を設けることを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  18. 前記スペーサ層が、Siおよび/またはAlの(酸)窒化物とZnOとの混合物を含み、10〜120nmの厚さを有する化合物層を備えることを特徴とする請求項17に記載の被覆窓ガラス。
  19. 前記反射防止層及び(複数の)スペーサ層の各々が、Siおよび/またはAlの(酸)窒化物とZnOとの混合物を含む化合物層を備えることを特徴とする請求項17または18に記載の被覆窓ガラス。
  20. 前記各IR反射層が、銀または銀系合金を備え、6〜15nmの厚さを有することを特徴とする請求項17〜19のいずれかに記載の被覆窓ガラス。
  21. 0.5%未満のヘイズ値を有する請求項1〜20のいずれかに記載の低放射率及び/又は日照調整コーティングを有する熱処理被覆窓ガラス。
  22. 請求項1〜21のいずれかに記載の少なくとも一つの熱処理した被覆窓ガラスと、少なくとも一つの接着剤プラスチック中間層と、任意の少なくとも一つの更なるガラスまたはプラスチック板とを備え、前記熱処理被覆窓ガラスのコーティングが前記中間層と対向する合わせ窓ガラス。
  23. 請求項1〜22のいずれかに記載の窓ガラスの自動車用窓ガラスへの使用。
  24. 請求項1〜22のいずれかに記載の窓ガラスの建物の窓ガラスへの使用。
  25. 請求項1〜20のいずれかに記載の被覆窓ガラスを580〜690℃で1〜10分間熱処理し、その後屈曲および/または強化することを特徴とする熱処理被覆窓ガラスの製造方法。
JP2009502115A 2006-03-31 2007-03-30 被覆窓ガラス Active JP5221513B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
IT000181A ITRM20060181A1 (it) 2006-03-31 2006-03-31 Lastra di vetro rivestita
ITRM2006A000181 2006-03-31
PCT/EP2007/053116 WO2007113259A2 (en) 2006-03-31 2007-03-30 Coated glass pane

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009531262A JP2009531262A (ja) 2009-09-03
JP5221513B2 true JP5221513B2 (ja) 2013-06-26

Family

ID=38564009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009502115A Active JP5221513B2 (ja) 2006-03-31 2007-03-30 被覆窓ガラス

Country Status (8)

Country Link
US (1) US8003235B2 (ja)
EP (1) EP2010459B1 (ja)
JP (1) JP5221513B2 (ja)
KR (1) KR20080109899A (ja)
CN (1) CN101437771B (ja)
BR (1) BRPI0709658A2 (ja)
IT (1) ITRM20060181A1 (ja)
WO (1) WO2007113259A2 (ja)

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100891833B1 (ko) 2006-10-18 2009-04-07 삼성전기주식회사 다층 전극 및 이를 구비한 화합물 반도체 발광소자
US8281617B2 (en) * 2009-05-22 2012-10-09 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Coated article with low-E coating having zinc stannate based layer between IR reflecting layers for reduced mottling and corresponding method
EP2317562A1 (en) * 2009-11-03 2011-05-04 Fundacio Privada Institut De Ciencies Fotoniques Multilayer metallic electrodes for optoelectronics
CN101700962B (zh) * 2009-11-04 2011-10-26 北京北玻安全玻璃有限公司 弯钢化玻璃的外弧面镀膜方法及其制备的低辐射镀膜玻璃
US8658262B2 (en) 2010-01-16 2014-02-25 Cardinal Cg Company High quality emission control coatings, emission control glazings, and production methods
US9862640B2 (en) 2010-01-16 2018-01-09 Cardinal Cg Company Tin oxide overcoat indium tin oxide coatings, coated glazings, and production methods
US10060180B2 (en) 2010-01-16 2018-08-28 Cardinal Cg Company Flash-treated indium tin oxide coatings, production methods, and insulating glass unit transparent conductive coating technology
US10000411B2 (en) 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductivity and low emissivity coating technology
US11155493B2 (en) 2010-01-16 2021-10-26 Cardinal Cg Company Alloy oxide overcoat indium tin oxide coatings, coated glazings, and production methods
US10000965B2 (en) 2010-01-16 2018-06-19 Cardinal Cg Company Insulating glass unit transparent conductive coating technology
JP2011242094A (ja) * 2010-05-21 2011-12-01 Nakajima Glass Co Inc 冷蔵庫又は冷凍庫用ガラスユニット
US20120169639A1 (en) * 2011-01-05 2012-07-05 Compal Electronics, Inc. Electronic apparatus
GB201102724D0 (en) * 2011-02-17 2011-03-30 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
GB201105946D0 (en) * 2011-04-08 2011-05-18 Pilkington Deutschland Ag Spandrel panel
GB201106788D0 (en) 2011-04-21 2011-06-01 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
RU2013158346A (ru) * 2011-05-30 2015-07-10 Асахи Гласс Компани, Лимитед Низкоэмиссионное многослойное покрытие и двойное оконное стекло
JP2014534940A (ja) * 2011-09-30 2014-12-25 シーメンス コンセントレイテッド ソーラー パワー リミテッドSiemens ConcentratedSolar Power Ltd. 赤外光反射コーティングを備えたガラス管、ガラス管を製造する方法、ガラス管を備えたヒートレシーバ管、ヒートレシーバ管を備えた放物面トラフコレクタ、及び放物面トラフコレクタの使用
EP2584062A1 (de) * 2011-10-19 2013-04-24 Heraeus Materials Technology GmbH & Co. KG Sputtertarget und seine Verwendung
HUE053477T2 (hu) * 2012-03-05 2021-06-28 Saint Gobain Jármûablak hõsugár reflektáló bevonattal
US8900729B2 (en) * 2012-11-19 2014-12-02 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s)
US8889272B2 (en) * 2012-11-19 2014-11-18 Guardian Industries Corp. Coated article with low-E coating including tin oxide inclusive layer(s) with additional metal(s)
US9279910B2 (en) 2013-03-13 2016-03-08 Intermolecular, Inc. Color shift of high LSG low emissivity coating after heat treatment
US9499899B2 (en) * 2013-03-13 2016-11-22 Intermolecular, Inc. Systems, methods, and apparatus for production coatings of low-emissivity glass including a ternary alloy
US9405046B2 (en) 2013-03-13 2016-08-02 Intermolecular, Inc. High solar gain low-e panel and method for forming the same
US9790127B2 (en) 2013-03-14 2017-10-17 Intermolecular, Inc. Method to generate high LSG low-emissivity coating with same color after heat treatment
GB201306611D0 (en) * 2013-04-11 2013-05-29 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
PL3004014T3 (pl) * 2013-05-30 2018-01-31 Agc Glass Europe Niskoemisyjne i antysolarne szkło okienne
US9873634B2 (en) * 2013-08-16 2018-01-23 Guardian Europe S.A.R.L. Coated article with low-E coating having low visible transmission
KR101768257B1 (ko) * 2013-09-02 2017-08-14 (주)엘지하우시스 저방사 코팅 및 이를 포함하는 창호용 건축 자재
GB2518899A (en) * 2013-10-07 2015-04-08 Pilkington Group Ltd Heat treatable coated glass pane
JP6282142B2 (ja) * 2014-03-03 2018-02-21 日東電工株式会社 赤外線反射基板およびその製造方法
CN106273881B (zh) * 2015-05-29 2019-06-21 法国圣戈班玻璃公司 低辐射玻璃及其制造方法、车窗
US10286631B2 (en) 2015-06-03 2019-05-14 Precision Glass Bending Corporation Bent, veneer-encapsulated heat-treated safety glass panels and methods of manufacture
WO2017029252A1 (de) 2015-08-18 2017-02-23 Saint-Gobain Glass France Glasbiegevorrichtung und -verfahren unter verwendung eines ventilators
MX2018000760A (es) 2015-09-08 2018-05-15 Saint Gobain Metodo de flexion por gravedad auxiliado por presion elevada y dispositivo adecuado para el mismo.
EP3380440B1 (de) 2015-11-25 2019-06-12 Saint-Gobain Glass France Überdruckunterstütztes schwerkraftbiegeverfahren und hierfür geeignete vorrichtung
JP6657872B2 (ja) 2015-12-03 2020-03-04 Agc株式会社 反射防止膜付きガラス板
CN107614446A (zh) 2016-01-28 2018-01-19 法国圣戈班玻璃厂 过压辅助的玻璃弯曲方法和适用于此的装置
DE102016114281A1 (de) * 2016-08-02 2018-02-08 Von Ardenne Gmbh Schichtsystem und Verbundglas
EP3309341A1 (en) * 2016-10-11 2018-04-18 AGC Glass Europe Glazed element with improved tightness
US10253560B2 (en) * 2017-03-03 2019-04-09 Guardian Glass, LLC Coated article with IR reflecting layer(s) and overcoat for improving solar gain and visible transmission
US11008248B2 (en) * 2017-05-04 2021-05-18 Agc Glass Europe Coated substrate
US10948628B1 (en) * 2017-06-14 2021-03-16 Eclipse Energy Systems, Inc. Thin film coatings on transparent substrates and methods of making and using thereof
WO2019121522A1 (en) 2017-12-22 2019-06-27 Agc Glass Europe Coated substrates
JP2021513950A (ja) 2018-02-15 2021-06-03 ビトロ フラット グラス エルエルシー 窒化ケイ素及び/又は酸窒化ケイ素を含む保護コーティングを有するコーティングされた物品
CN108515752B (zh) * 2018-03-27 2019-05-28 福耀玻璃工业集团股份有限公司 一种无遮阳帘的天窗总成玻璃
US11028012B2 (en) 2018-10-31 2021-06-08 Cardinal Cg Company Low solar heat gain coatings, laminated glass assemblies, and methods of producing same
GB201916515D0 (en) * 2019-11-13 2019-12-25 Pilkington Group Ltd Coated glass substrate
CN111517669A (zh) * 2020-06-09 2020-08-11 吴江南玻华东工程玻璃有限公司 一种高透低反可钢三银低辐射玻璃及其制备方法
CN114988718A (zh) * 2022-06-27 2022-09-02 天津旗滨节能玻璃有限公司 耐加工高透可钢化镀膜玻璃及其制作方法和中空玻璃件

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3543178A1 (de) 1985-12-06 1987-06-11 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Verfahren zum herstellen von scheiben mit hohem transmissionsverhalten im sichtbaren spektralbereich und mit hohem reflexionsverhalten fuer waermestrahlung sowie durch das verfahren hergestellte scheiben
EP0233003B1 (en) 1986-01-29 1994-12-07 Pilkington Plc Coated glass
US5059295A (en) * 1986-12-29 1991-10-22 Ppg Industries, Inc. Method of making low emissivity window
CA1331867C (en) 1986-12-29 1994-09-06 James Joseph Finley Low emissivity film for high temperature processing
US4806220A (en) * 1986-12-29 1989-02-21 Ppg Industries, Inc. Method of making low emissivity film for high temperature processing
JP3335384B2 (ja) * 1991-12-26 2002-10-15 旭硝子株式会社 熱線遮断膜
FR2728559B1 (fr) * 1994-12-23 1997-01-31 Saint Gobain Vitrage Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire
DE19533053C1 (de) 1995-09-07 1997-04-17 Ver Glaswerke Gmbh Verfahren zum Beschichten einer Glasscheibe mit einer wenigstens eine Silberschicht aufweisenden Mehrfachschicht
DE19808795C2 (de) 1998-03-03 2001-02-22 Sekurit Saint Gobain Deutsch Wärmestrahlen reflektierendes Schichtsystem für transparente Substrate
US6833194B1 (en) * 1998-05-12 2004-12-21 Ppg Industries Ohio, Inc. Protective layers for sputter coated article
EP0963960A1 (fr) * 1998-06-08 1999-12-15 Glaverbel Substrat transparent revêtu d'une couche d'argent
SK8342001A3 (en) * 1998-12-18 2001-11-06 Glaverbel Glazing panel
JP4310872B2 (ja) * 1998-12-18 2009-08-12 旭硝子株式会社 ガラス積層体、機能性透明物品およびその製造方法
US6398925B1 (en) 1998-12-18 2002-06-04 Ppg Industries Ohio, Inc. Methods and apparatus for producing silver based low emissivity coatings without the use of metal primer layers and articles produced thereby
MXPA01012881A (es) 1999-06-16 2002-07-30 Ppg Ind Ohio Inc Capas protectoras para articulo recubierto por bombardeo ionico.
PL200326B1 (pl) * 1999-10-14 2008-12-31 Agc Flat Glass Europe Sa Szyby oszkleniowe oraz sposób wytwarzania szyby oszkleniowej
US7267879B2 (en) * 2001-02-28 2007-09-11 Guardian Industries Corp. Coated article with silicon oxynitride adjacent glass
DE10115196A1 (de) 2001-03-27 2002-10-17 Pilkington Deutschland Ag Glasscheibe als Vorprodukt für eine thermisch vorgespannte und/oder gebogene Glasscheibe mit Sonnenschutz- und/oder Low-E-Beschichtung
DE10140514A1 (de) * 2001-08-17 2003-02-27 Heraeus Gmbh W C Sputtertarget auf Basis von Titandioxid
JP4003921B2 (ja) * 2001-09-27 2007-11-07 日本板硝子株式会社 熱線遮蔽ガラス及びこれを用いた複層ガラス
US6919133B2 (en) * 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
ATE383322T1 (de) 2002-03-01 2008-01-15 Cardinal Cg Co Dünnfilmbeschichtung mit einer transparenten grundierungsschicht
DE10235154B4 (de) 2002-08-01 2005-01-05 Saint-Gobain Glass Deutschland Gmbh Vorspannbares Schichtsystem für Glasscheiben
RU2359929C2 (ru) * 2003-02-14 2009-06-27 Агк Флэт Гласс Юроп Са Стеклянная панель с многослойным покрытием
CA2530443C (en) * 2003-06-24 2012-08-28 Cardinal Cg Company Concentration-modulated coatings
EP1498397A1 (fr) 2003-07-16 2005-01-19 Glaverbel Substrat revêtu à très faible facteur solaire
JP2005100100A (ja) 2003-09-25 2005-04-14 Toyota Motor Corp 車輪情報処理装置および車輪情報処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN101437771A (zh) 2009-05-20
KR20080109899A (ko) 2008-12-17
ITRM20060181A1 (it) 2007-10-01
WO2007113259A2 (en) 2007-10-11
EP2010459B1 (en) 2012-05-16
US20090047509A1 (en) 2009-02-19
US8003235B2 (en) 2011-08-23
CN101437771B (zh) 2013-03-13
WO2007113259A3 (en) 2008-03-20
EP2010459A2 (en) 2009-01-07
BRPI0709658A2 (pt) 2011-07-19
JP2009531262A (ja) 2009-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5221513B2 (ja) 被覆窓ガラス
KR101943123B1 (ko) 저방사율 코팅을 포함하는 코팅된 물품, 코팅된 물품을 포함하는 절연 유리 유닛, 및/또는 이의 제조방법
US10654749B2 (en) Solar control coatings providing increased absorption or tint
EP2577368B1 (fr) Vitrage de contrôle solaire à faible facteur solaire
CA2706395C (en) Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same
JP5996561B2 (ja) Ni及び/又はTiを含むバリア層、バリア層を包含する被覆物品並びにそれらの製造方法
JP4385460B2 (ja) ガラス積層体、およびその製造方法
US20040219343A1 (en) Glazing
EP3124450A1 (en) Solar control coatings with discontinuous metal layer
MX2012013663A (es) Acristalamiento de control solar.
CN1747907A (zh) 载有涂层叠层的玻璃板
EP1893543B1 (en) Coated glass pane
CN112218834A (zh) 在银下方具有掺杂的晶种层的低辐射可匹配涂覆制品以及对应的方法
CN114620951A (zh) 可热处理的涂覆玻璃板
US11709297B2 (en) Articles coated with coatings containing light absorption materials
EP2102126B1 (en) Coated glass panes and process for their manufacture
JP2019518707A (ja) 太陽光線制御グレイジング
JP2019518708A (ja) 太陽光線制御グレイジング
WO2021019259A1 (en) Coated substrate
EP3728157A1 (en) Coated substrates

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20100304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120824

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120828

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121127

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130108

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130305

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130307

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5221513

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250