JP5199799B2 - 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 - Google Patents
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Description
2 蒸発源
3 公転機構
4 蒸着治具
5 自転軸
6 第一自転ギヤ
7 第一自転カム
8 第一自転シリンダ
9 第一自転機構
10 第二自転ギヤ
11 第二自転カム
12 第二自転シリンダ
13 第二自転機構
14 粗調膜部
15 微調膜部
16 電極膜
17 音叉型水晶振動子
18 蒸着マスク
19 蒸着マスク開口部
101 真空槽
102 蒸発源
103 公転機構
104 蒸着治具
105 自転軸
106 自転ギヤ
107 自転カム
108 自転シリンダ
109 自転機構
Claims (4)
- 真空槽内にて公転機構と該公転機構に組み込まれた複数の自転軸に取り付けられた被成膜物を自転させる自転機構とを用いた真空蒸着方法において、
前記自転軸は、第一自転ギヤと第二自転ギヤの2組の自転ギヤを直列に取り付けた構造であり、
公転軌道上の任意の点において第一自転ギヤの歯間角度に応じた角度で自転させうる第一自転機構により前記被成膜物の複数面に成膜し、
さらに前記第一自転ギヤの一歯を除いた歯車形状の前記第二自転ギヤを公転中に前記第二自転ギヤの歯間角度に応じた角度で自転させうる第二自転機構により前記被成膜物に成膜し、
さらに前記第二自転機構による前記自転軸の自転により前記第二自転ギヤの一歯を除いた位置において、前記自転軸に取り付けられた前記被成膜物の任意の面が蒸発源に対して所定の角度を保持することにより、前記被成膜物の任意面のみに厚く成膜することを特徴とする真空蒸着方法。 - 前記第二自転ギヤの歯数をn2としたとき、前記自転軸を(n2)回公転することにより前記第二自転機構と前記第二自転ギヤとの組み合わせによる被成膜物の自転動作を(n2)回行った後、
前記第一自転ギヤの歯数をn1としたとき、前記自転軸を(n1−1)回公転することにより前記第一自転機構と前記第一自転ギヤとの組み合わせによる前記被成膜物の自転動作を(n1−1)回行った後、
さらに前記第二自転機構と前記第二自転ギヤとの組み合わせによる前記被成膜物の自転動作を(n2)回行い、前記自転軸に取り付けられた前記被成膜物の蒸発源に対する角度を所定の角度に整列することを特徴とする請求項1記載の真空蒸着方法。 - 真空槽内に公転機構と該公転機構に組み込まれた複数の自転軸に取り付けられた被成膜物を自転させる自転機構とを有する真空蒸着装置において、
前記自転軸は、第一自転ギヤと第二自転ギヤの2組の自転ギヤを直列に取り付けた構造であり、
公転軌道上の任意の点において前記第一自転ギヤの歯間角度に応じた角度で自転させ前記被成膜物の複数面に成膜する第一自転機構と、
前記第一自転ギヤの一歯を除いた歯車形状の前記第二自転ギヤを公転中に前記第二自転ギヤの歯間角度に応じた角度で自転させ前記被成膜物に成膜する第二自転機構とを備え、
前記第二自転機構による前記自転軸の自転により前記第二自転ギヤの一歯を除いた位置において、前記自転軸に取り付けられた前記被成膜物の任意の面が蒸発源に対して所定の角度を保持することにより、前記被成膜物の任意面のみに厚く成膜することを特徴とする真空蒸着装置。 - 前記第二自転ギヤの歯数をn2としたとき、前記自転軸を(n2)回公転することにより前記第二自転機構と前記第二自転ギヤとの組み合わせによる前記被成膜物の自転動作を(n2)回行った後、
前記第一自転ギヤの歯数をn1としたとき、前記自転軸を(n1−1)回公転することにより前記第一自転機構と前記第一自転ギヤとの組み合わせによる前記被成膜物の自転動作を(n1−1)回行った後、
さらに前記第二自転機構と前記第二自転ギヤとの組み合わせによる前記被成膜物の自転動作を(n2)回行い、前記自転軸に取り付けられた前記被成膜物の蒸発源に対する角度を所定の角度に整列する整列機構を有することを特徴とする請求項3記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008234043A JP5199799B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-09-11 | 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008092123 | 2008-03-31 | ||
JP2008092123 | 2008-03-31 | ||
JP2008234043A JP5199799B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-09-11 | 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009263762A JP2009263762A (ja) | 2009-11-12 |
JP5199799B2 true JP5199799B2 (ja) | 2013-05-15 |
Family
ID=41389975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008234043A Active JP5199799B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-09-11 | 真空蒸着方法及び真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5199799B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3022560B1 (fr) | 2014-06-18 | 2022-02-25 | Hydromecanique & Frottement | Procede de revetement en carbone dlc du nez des cames d'un arbre a came, arbre a cames ainsi obtenu et installation pour la mise en oeuvre de ce procede |
KR101646698B1 (ko) * | 2015-02-25 | 2016-08-08 | (주)보림시스템 | 물리 증착 장비의 공자전 지그 시스템 |
JP2017190513A (ja) * | 2016-04-15 | 2017-10-19 | 株式会社昭和真空 | 蒸着装置 |
JP6763802B2 (ja) * | 2017-02-21 | 2020-09-30 | 株式会社神戸製鋼所 | ワーク回転装置およびそれを備えた成膜装置 |
CN109989046B (zh) * | 2018-01-03 | 2021-05-07 | 宁波舜宇车载光学技术有限公司 | 元器件镀膜设备 |
CN115011930A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-06 | 北海惠科半导体科技有限公司 | 蒸发镀膜装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04329869A (ja) * | 1991-04-30 | 1992-11-18 | Sony Corp | 蒸着装置及び蒸着方法 |
JPH10287976A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Toshiba Glass Co Ltd | 真空成膜装置 |
JP4680380B2 (ja) * | 2000-12-26 | 2011-05-11 | 株式会社リケン | ピストンリング及びその製造方法 |
JP5005205B2 (ja) * | 2005-09-30 | 2012-08-22 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 真空蒸着装置 |
-
2008
- 2008-09-11 JP JP2008234043A patent/JP5199799B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009263762A (ja) | 2009-11-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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