JP5189578B2 - Resin heat exchanger using focusing tube - Google Patents

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JP5189578B2 JP2009247208A JP2009247208A JP5189578B2 JP 5189578 B2 JP5189578 B2 JP 5189578B2 JP 2009247208 A JP2009247208 A JP 2009247208A JP 2009247208 A JP2009247208 A JP 2009247208A JP 5189578 B2 JP5189578 B2 JP 5189578B2
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この発明は、例えば、半導体や液晶の製造プロセスにおけるプロセス流体などの流体や、電気配線などの長尺体等の導通対象物をそれぞれ独立して導通させる樹脂製チューブを集束させた集束チューブを用いた樹脂製熱交換器に関する。 The present invention uses, for example, a focusing tube obtained by focusing a fluid tube such as a process fluid in a semiconductor or liquid crystal manufacturing process, or a resin tube for independently conducting a conductive object such as a long body such as an electrical wiring . The present invention relates to a resin heat exchanger .

従来より、例えば、半導体や液晶の製造プロセスにおけるプロセス流体等の流体の導通を許容するふっ素樹脂製チューブを複数本束ねて一体化させた集束チューブが多く提案されている。   Conventionally, for example, many focusing tubes have been proposed in which a plurality of tubes made of fluororesin that allow a fluid such as a process fluid in a semiconductor or liquid crystal manufacturing process are bundled and integrated.

例えば、下記特許文献1の集束チューブもその1つである。
上記集束チューブは、複数本の熱溶融性ふっ素樹脂製チューブを束ね、その端部外周に外嵌するスリーブの内周に溝を設け、スリーブごと加熱することにより複数本の熱溶融性ふっ素樹脂製チューブとスリーブとを融着一体化する構成である。
For example, the focusing tube of Patent Document 1 below is one of them.
The focusing tube is made of a bundle of a plurality of heat-melting fluororesin tubes, and a groove is provided on the inner periphery of the sleeve that is fitted around the outer periphery of the end portion. In this configuration, the tube and the sleeve are fused and integrated.

上記構成により、融着による接合力のみならず、アンカー効果による接合力が生じ、熱溶融性ふっ素樹脂製チューブとスリーブとの間に極めて十分な接合強度が生じるとされている。   According to the above configuration, not only the bonding force by fusion but also the bonding force by the anchor effect is generated, and extremely sufficient bonding strength is generated between the heat-meltable fluororesin tube and the sleeve.

しかし、上記集束チューブは、束ねた熱溶融性ふっ素樹脂製チューブの外周に外嵌するスリーブが剛性を有するため、例えば、ディスペンサ等の滴下装置のように移動する箇所へ流体を輸送するための流体輸送配管として上記集束チューブを用いた場合、剛性を有するスリーブとの接合面で、熱溶融性ふっ素樹脂製チューブが折れ曲がって座屈する、或いは繰り返しの折曲げにより、ひび割れや破損が生じるといった問題があった。   However, the focusing tube has a rigid sleeve that is fitted on the outer periphery of the bundle of heat-melting fluororesin tubes, so that, for example, a fluid for transporting the fluid to a moving part such as a dropping device such as a dispenser. When the above-mentioned focusing tube is used as a transportation pipe, there is a problem in that the tube made of a heat-melting fluororesin bends and buckles at the joint surface with a rigid sleeve, or cracks or breaks due to repeated bending. It was.

特開2002−162190号公報JP 2002-162190 A

そこで本発明では、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有するとともに、耐久性のある集束チューブを用いた樹脂製熱交換器を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a resin heat exchanger using at least one of flexibility and stretchability and using a durable focusing tube.

この発明は、可撓性を有する変性PTFE樹脂製チューブで構成、導通対象物の導通を許容する断面円環状の樹脂製チューブを、互いに隣接するように方向に複数並列配置するとともに、幅方向に複数並列配置した樹脂製チューブの間に配置されるように、幅方向に複数並列配置した樹脂製チューブを高さ方向に並列配置し、隣り合う樹脂製チューブの密着部分を熱融着によって一体化させて並行融着部を構成するとともに、該並行融着部に、端部同士が両側ともに略同位置となるように、前記樹脂製チューブの融点より収縮温度の低い樹脂製熱収縮チューブを外嵌し、前記樹脂製チューブ及び収縮後の前記樹脂製熱収縮チューブが、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有し、前記並行融着部を、前記樹脂製チューブにおける両端の所定範囲より長手方向中央側部分に構成し、前記並行融着部の長手方向両端部側に、隣り合う樹脂製チューブの密着部分が熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部を構成した集束チューブにおけるいずれかの樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部にプロセス流体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部にプロセス流体送出管を接続して、導通対象物としてプロセス流体の導通を許容するとともに、前記プロセス流体の導通を許容する前記樹脂製チューブに隣接する樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部に流体状熱媒体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部に流体状熱媒体送出管を接続して、導通対象物として液状熱媒体の導通を許容し、前記並行融着部を前記高さ方向に湾曲させた湾曲部が、曲率を維持したまま長手方向に移動する樹脂製熱交換器であることを特徴とする。 This invention is flexible and constituted by modified PTFE resin tube having a cross-section annular resin tube that allows the conduction of the conduction object, with a plurality arranged in parallel in the width direction so as to be adjacent to each other, the width A plurality of resin tubes arranged in parallel in the width direction are arranged in parallel in the height direction so as to be arranged between resin tubes arranged in parallel in the direction . A heat-shrinkable tube made of a resin having a shrinkage temperature lower than the melting point of the resin-made tube so as to form a parallel-fused portion by integrating the end portions of the parallel-fused portion on both sides. And the resin heat-shrinkable tube after shrinkage has at least one of flexibility and stretchability, and the parallel fusion part is connected to both ends of the resin tube. Configure the longitudinally central portion than the predetermined range, the longitudinal both ends of the parallel fusion part, focusing adhesion portion of the adjacent resin tube is not heat-sealed, to constitute a tube spaced edges spaced apart from one another Connect the process fluid supply pipe to the tube separation part on one end side of one of the resin tubes in the tube, and connect the process fluid delivery pipe to the tube separation part on the other end side to conduct the process fluid as a conduction object. A fluid heat medium supply pipe is connected to the tube separating portion on one end side of the resin tube adjacent to the resin tube allowing the process fluid to be conducted, and the fluid state is connected to the tube separating portion on the other end side. Connecting a heat medium delivery pipe, allowing conduction of the liquid heat medium as a conduction object, and the curved part obtained by bending the parallel fusion part in the height direction is maintained in the longitudinal direction while maintaining the curvature. Characterized in that it is a resin-made heat exchanger to move.

上記導通対象物は、例えば、半導体や液晶等を製造する製造プロセスにおけるプロセス流体や、プロセス流体と熱交換して所望の温度に温度制御する流体状熱媒体等の液体状、ジェル状の流体、吸排気のための気体状の流体、或いは電気配線等の長尺体等とすることができる。   The conduction object is, for example, a process fluid in a manufacturing process for manufacturing a semiconductor, liquid crystal, or the like, a liquid fluid such as a fluid heat medium that controls the temperature to a desired temperature by exchanging heat with the process fluid, a gel fluid, It can be a gaseous fluid for intake and exhaust, or a long body such as an electrical wiring.

上記樹脂製チューブは、それぞれが同樹脂材料で構成したチューブ、あるいは導通させる流体等の導通対象物の性状に合わせて異なる樹脂材料で構成したチューブとすることができるとともに、同形状で形成したチューブあるいは異なる形状で形成したチューブとすることができる。
上記変性PTFE樹脂は、特性を損なわない量のパーフルオロオレフィンでPTFE樹脂を変性し、所望の可撓性を有するふっ素樹脂である。
Each of the resin tubes can be a tube made of the same resin material, or a tube made of a different resin material according to the properties of a conducting object such as a fluid to be conducted. Or it can be set as the tube formed in a different shape.
The modified PTFE resin is a fluororesin having a desired flexibility by modifying the PTFE resin with an amount of perfluoroolefin that does not impair the properties.

この発明により、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有するとともに、耐久性のある集束チューブを用いた樹脂製熱交換器を構成することができる。
詳しくは、複数並列配置した樹脂製チューブの密着部分を熱融着によって一体化させて並行融着部を構成し、並行融着部に樹脂製熱収縮チューブを外嵌するため、熱融着した並行融着部が分離せず、一体性を保つことのできる応力限界を向上させることができ、かつ多方向から作用する複雑な応力によっても分離しにくい一体化された集束チューブを構成することができる。
According to the present invention, a resin heat exchanger using at least one of flexibility and stretchability and using a durable focusing tube can be configured.
Specifically, a plurality of juxtaposed resin tubes are integrated by thermal fusion to form a parallel fusion part, and the resin heat-shrinkable tube is externally fitted to the parallel fusion part. It is possible to construct an integrated focusing tube that can improve the stress limit that can maintain the integrity, without separating the parallel fusion part, and difficult to separate even by complex stress acting from multiple directions it can.

また、樹脂製チューブ及び収縮後の樹脂製熱収縮チューブが、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有しているため、曲げや引っ張りによって、集束チューブが変形する場合であっても、確実な一体性を保持でき、耐久性のある集束チューブを構成することができる。   In addition, since the resin tube and the resin heat-shrinkable tube after shrinkage have at least one of flexibility and stretchability, even if the focusing tube is deformed by bending or pulling, it is sure. Therefore, a durable focusing tube can be formed.

詳しくは、複数並列配置した樹脂製チューブの密着部分を熱融着によって一体化させた並行融着部を湾曲させた場合、熱融着した部分に曲げの負荷が作用する。特に、湾曲の径方向に複数段の樹脂製チューブを並列配置した並行融着部の場合、湾曲方向における径外側と径内側の樹脂製チューブとでは、湾曲する曲率半径が異なる。このため、曲率半径の違いにより、径外側の樹脂製チューブには引っ張り方向の力が付与され、径内側の樹脂製チューブには圧縮方向の力が付与される。このように、湾曲の径方向に複数段の樹脂製チューブを並列配置した並行融着部の場合、径方向の熱融着した部分には曲率半径が異なることによる負荷も作用する。   More specifically, when a parallel fusion part obtained by integrating a plurality of resin tubes arranged in parallel by heat fusion is curved, a bending load acts on the heat fusion part. In particular, in the case of a parallel fusion part in which a plurality of stages of resin tubes are arranged in parallel in the radial direction of the curve, the radius of curvature differs between the radially outer and radially inner resin tubes in the curved direction. For this reason, due to the difference in the radius of curvature, a tensile force is applied to the radially outer resin tube, and a compressive force is applied to the radially inner resin tube. As described above, in the case of the parallel fusion part in which a plurality of stages of resin tubes are arranged in parallel in the radial direction of the curve, a load due to the difference in the radius of curvature also acts on the thermally fused part in the radial direction.

また、引っ張り方向の力によって並行融着部が引き伸ばされる場合においても、並列配置した複数の樹脂製チューブ全てに対して均等でない引っ張り方向の力が付与されると、引っ張り方向の力が異なることによる負荷が作用する。   Also, even when the parallel fusion part is stretched by the force in the pulling direction, if the force in the non-uniform pulling direction is applied to all of the plurality of resin tubes arranged in parallel, the force in the pulling direction is different. Load acts.

しかし、複数並列配置した樹脂製チューブの密着部分を熱融着によって一体化させた並行融着部に樹脂製熱収縮チューブを外嵌するため、並行融着部の一体性を向上させるとともに、並行融着部に作用する変形による負荷を分散することができる。したがって、負荷によって熱融着した部分が分離したり、並行融着部が座屈したりすることなく、確実な一体性を保持でき、耐久性のある集束チューブを構成することができる。   However, since the resin heat-shrinkable tube is externally fitted to the parallel fusion part that integrates the close contact parts of the resin tubes arranged in parallel by heat fusion, it improves the integrity of the parallel fusion part and The load caused by the deformation acting on the fusion part can be distributed. Therefore, a reliable focusing tube can be maintained and a durable focusing tube can be formed without separation of the heat-sealed portion due to the load or buckling of the parallel fusion portion.

さらに、該並行融着部に、端部同士が両側ともに略同位置となるように、樹脂製熱収縮チューブを外嵌しているため、負荷が集中する並行融着部及び樹脂製熱収縮チューブの端部において、上記負荷を並行融着部と樹脂製熱収縮チューブとで分散できるため、並行融着部と樹脂製熱収縮チューブとの一方のみに負荷が集中して破損することを防止できる。   Furthermore, since the resin heat-shrinkable tube is externally fitted to the parallel welded portion so that the ends are substantially in the same position on both sides, the parallel fused portion and the resin heat-shrinkable tube where loads are concentrated Since the load can be distributed between the parallel fusion part and the resin heat-shrinkable tube at the end, the load can be prevented from being concentrated only on one of the parallel fusion part and the resin heat-shrinkable tube. .

したがって、集束チューブにおけるいずれかの樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部にプロセス流体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部にプロセス流体送出管を接続して、導通対象物としてプロセス流体の導通を許容するとともに、前記プロセス流体の導通を許容する前記樹脂製チューブに隣接する樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部に流体状熱媒体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部に流体状熱媒体送出管を接続して、導通対象物として液状熱媒体の導通を許容し、前記並行融着部を前記高さ方向に湾曲させた湾曲部が、曲率を維持したまま長手方向に移動する樹脂製熱交換器、樹脂製チューブの外面同士が密着しているため、プロセス流体と流体状熱媒体とを高効率で熱交換することができる。また、並行融着部に、端部同士が両側ともに略同位置となるように、樹脂製熱収縮チューブを外嵌することで、作用する負荷を分散できるため、熱融着した部分の分離や並行融着部の座屈により樹脂製チューブの割れ等が生じ、チューブ内を導通するプロセス流体や流体状熱媒体が漏れ出して、混ざることを防止することができる。 Therefore, the process fluid supply pipe is connected to the tube separation portion on one end side of one of the resin tubes in the focusing tube , and the process fluid delivery pipe is connected to the tube separation portion on the other end side, so that the process fluid can be used as a conduction object. A fluid heat medium supply pipe is connected to a tube separation portion on one end side of the resin tube adjacent to the resin tube that allows conduction of the process fluid, and the tube separation portion on the other end side. The fluid heat medium delivery pipe is connected to the liquid heat medium to allow conduction of the liquid heat medium as a conduction object, and the curved part obtained by bending the parallel fusion part in the height direction maintains the curvature in the longitudinal direction. resin-made heat exchanger to be moved, since the outer surface between the resin tube is in close contact, it is possible to heat exchange between the process fluid and the fluid-like heat medium with high efficiency. Moreover, since the load which acts can be disperse | distributed by carrying out external fitting of the resin heat-shrinkable tube so that both ends may be in substantially the same position on both sides in the parallel fusion part, It is possible to prevent the resin tube from cracking due to the buckling of the parallel fusion part, and the process fluid and fluid heat medium conducting in the tube to leak out and be mixed.

また、前記並行融着部を、前記樹脂製チューブにおける両端の所定範囲より長手方向中央側部分に構成し、前記並行融着部の長手方向両端部側に、隣り合う樹脂製チューブの密着部分が熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部を構成したことにより、樹脂製チューブに、導通対象物を容易、且つ確実に導通させることができるため、利用操作性が向上する。   In addition, the parallel fusion part is configured in a longitudinal center side part from a predetermined range of both ends of the resin tube, and a close contact part of the adjacent resin tube is provided on both longitudinal side end parts of the parallel fusion part. By configuring the tube separating portions that are not thermally fused and separated from each other, the conductive object can be easily and reliably conducted to the resin tube, so that the usability is improved.

詳述すると、例えば、集束チューブを使用する場合、集束チューブの樹脂製チューブの両端には、流体を供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を接続するが、供給管あるいは送出管と、樹脂製チューブとの接続が不確実な場合、不確実な接続によって流体が漏出するおそれがある。しかし、樹脂製チューブの両端にチューブ離間部を形成したことにより、供給管あるいは送出管を確実に接続することができ、流体が供給管あるいは送出管との接続部分から漏出することを防止できる。   More specifically, for example, when a focusing tube is used, a supply pipe or a delivery pipe for supplying or sending a fluid is connected to both ends of the resin tube of the focusing tube, but the supply pipe or the delivery pipe and the resin tube are connected. If the connection with is uncertain, fluid may leak due to the uncertain connection. However, by forming the tube separation portions at both ends of the resin tube, the supply pipe or the delivery pipe can be reliably connected, and the fluid can be prevented from leaking from the connection portion with the supply pipe or the delivery pipe.

また、前記樹脂製チューブを、可撓性を有する変性PTFE樹脂製チューブで構成したことにより、優れた可撓性を有するとともに、多用されている変性PTFE樹脂で樹脂製チューブを構成するため、優れた可撓性を有するとともに、確実な耐久性を有する集束チューブを、高品質且つ安定して供給することができる。   In addition, since the resin tube is made of a modified PTFE resin tube having flexibility, the resin tube has excellent flexibility, and the resin tube is made of a modified PTFE resin frequently used. In addition, a focusing tube having high flexibility and reliable durability can be supplied with high quality and stability.

本発明により、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有するとともに、耐久性のある集束チューブを用いた樹脂製熱交換器を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a resin heat exchanger having at least one of flexibility and stretchability and using a durable focusing tube.

集束チューブの斜視図。The perspective view of a focusing tube. 集束チューブにおける並行融着部の断面図による説明図。Explanatory drawing by sectional drawing of the parallel melt | fusion part in a focusing tube. 集束チューブの製造方法についての説明図。Explanatory drawing about the manufacturing method of a focusing tube. 集束チューブの製造方法についての説明図。Explanatory drawing about the manufacturing method of a focusing tube. 集束チューブの製造方法についての説明図。Explanatory drawing about the manufacturing method of a focusing tube. 集束チューブの製造方法についての説明図。Explanatory drawing about the manufacturing method of a focusing tube. 集束チューブの融着金型についての説明図。Explanatory drawing about the fusion die of a focusing tube. 集束チューブの製造方法についての説明図。Explanatory drawing about the manufacturing method of a focusing tube. 集束チューブを装着したディスペンサの斜視図。The perspective view of the dispenser equipped with the focusing tube. ディスペンサに装着した集束チューブの斜視図。The perspective view of the focusing tube with which the dispenser was mounted | worn. ディスペンサに装着した集束チューブの側方概略図。The side schematic diagram of the focusing tube with which the dispenser was equipped. 集束チューブにおける導通状態ついての断面図による説明図。Explanatory drawing by sectional drawing about the conduction | electrical_connection state in a focusing tube.

この発明の一実施形態を以下図面と共に説明する。
図1は集束チューブ1の斜視図を示し、図2は集束チューブ1における並行融着部2についての断面図による説明図を示している。なお、図1において、長手方向Lの全長の長い集束チューブ1を明確に図示するため、長手方向Lの中央部分を省略している。後述する図3から図6、及び図8についても、同様に、長手方向Lの中央部分を省略して図示している。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view of the focusing tube 1, and FIG. 2 is an explanatory diagram showing a cross-sectional view of the parallel fusion part 2 in the focusing tube 1. In FIG. 1, the central portion in the longitudinal direction L is omitted in order to clearly illustrate the focusing tube 1 having a long overall length in the longitudinal direction L. Similarly, FIG. 3 to FIG. 6 and FIG. 8 to be described later are illustrated with the central portion in the longitudinal direction L omitted.

集束チューブ1は、所定の長さで形成した23本の樹脂製チューブ10を、上下2段で略台形状に並列配置するとともに、長手方向Lの中央部分を熱融着によって接合した並行融着部2と、並行融着部2の長手方向Lの両側に配置した所定長さのチューブ離間部3とで構成している。
さらに、並行融着部2には、熱融着して一体化した樹脂製チューブ10に樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌している。
The focusing tube 1 has 23 resin tubes 10 having a predetermined length arranged in parallel in a substantially trapezoidal shape in two upper and lower stages, and a parallel fusion in which a central portion in the longitudinal direction L is joined by heat fusion. The part 2 and the tube separation part 3 having a predetermined length disposed on both sides of the parallel fusion part 2 in the longitudinal direction L are configured.
Further, a resin heat-shrinkable tube 20 is externally fitted to the parallel-fused portion 2 on a resin-made tube 10 that is heat-sealed and integrated.

詳しくは、並行融着部2の断面図である図2(a)に示すように、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10を幅方向Wに密着するように互いに隣接させて下段に12本及び上段に11本並列配置している。   Specifically, as shown in FIG. 2A, which is a cross-sectional view of the parallel fusion part 2, the converging tubes 1 are adjacent to each other so that the resin tubes 10 are in close contact with each other in the width direction W. Eleven are arranged in parallel in the upper stage.

さらに、集束チューブ1は、上段の11本の上段樹脂製チューブ10aのそれぞれが下段の12本の下段樹脂製チューブ10bの間となるように配置し、高さ方向Hに密着させて略台形状を形成している。   Further, the focusing tube 1 is arranged so that each of the 11 upper resin tubes 10a in the upper stage is between the 12 lower resin tubes 10b in the lower stage, and is brought into close contact with the height direction H so as to be substantially trapezoidal. Is forming.

そして、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10の長手方向Lの中央部分における密着部分m同士を熱融着させて一体化して並行融着部2を構成するとともに、熱融着させて一体化した並行融着部2に樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌している(図2(b)参照)。   The converging tube 1 is formed by heat-sealing and adhering the contact portions m in the central portion of the resin tube 10 in the longitudinal direction L to form the parallel fusion portion 2 and heat-fusion and integrating. A resin heat shrinkable tube 20 is externally fitted to the parallel fusion part 2 (see FIG. 2B).

なお、並行融着部2に外嵌する樹脂製熱収縮チューブ20の両端部20aと、樹脂製チューブ10の密着部分mが熱融着して構成する並行融着部2の両端部2aとは略同位置となるように配置している。   In addition, both ends 20a of the resin heat-shrinkable tube 20 that is externally fitted to the parallel fusion portion 2 and both ends 2a of the parallel fusion portion 2 formed by heat-sealing the contact portion m of the resin tube 10 are described below. It arrange | positions so that it may become a substantially same position.

また、樹脂製チューブ10において樹脂製熱収縮チューブ20が外嵌していない両端側部分、つまり両端から所定長さの範囲で樹脂製チューブ10が露出している部分については、樹脂製チューブ10が一体化していないチューブ離間部3を構成している。   Further, in the resin tube 10, the resin tube 10 is not attached to both end portions where the resin heat shrinkable tube 20 is not fitted, that is, the portion where the resin tube 10 is exposed within a predetermined length from both ends. The tube separation part 3 which is not integrated is comprised.

樹脂製チューブ10は、外径4mm×内径3mm:肉厚0.5mmの適宜の可撓性及び伸縮性を有するとともに、熱溶融性を有する変性PTFE樹脂製チューブで構成しているが、これに限定されず、熱溶融性を有するとともに、適宜の可撓性及び伸縮性のうち少なくともいずれか一方を有するふっ素樹脂チューブで構成してもよい。   The resin tube 10 is composed of a modified PTFE resin tube having an outer diameter of 4 mm × an inner diameter of 3 mm: a wall thickness of 0.5 mm and appropriate flexibility and stretchability, and having heat melting properties. It is not limited, You may comprise with the fluororesin tube which has at least any one among suitable flexibility and a stretching property while having heat melting property.

樹脂製熱収縮チューブ20は、熱収縮前寸法が略台形配置した23本の樹脂製チューブ10の外形線OL(図8(b)参照)より一回り長い内周長を有する熱収縮シリコンチューブで構成している。なお、当該熱収縮シリコンチューブ20は、樹脂製チューブ10の融点より収縮温度が低く、熱収縮後において、適宜の可撓性及び伸縮性を有しているが、これに限定されず、樹脂製チューブ10の融点より収縮温度が低く、熱収縮後において、適宜の可撓性及び伸縮性のうち少なくともいずれか一方を有する樹脂製熱収縮チューブで構成してもよい。   The resin heat-shrinkable tube 20 is a heat-shrinkable silicon tube having an inner peripheral length that is slightly longer than the outline OL (see FIG. 8B) of the 23 resin tubes 10 whose dimensions before heat shrinkage are substantially trapezoidal. It is composed. The heat-shrinkable silicon tube 20 has a shrinkage temperature lower than the melting point of the resin tube 10 and has appropriate flexibility and stretchability after heat shrinkage. The shrinkage temperature may be lower than the melting point of the tube 10, and it may be constituted by a resin heat shrinkable tube having at least one of appropriate flexibility and stretchability after heat shrinkage.

このように、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10の長手方向Lの中央部分において、それぞれが密着する密着部分mを熱融着して熱融着部xを形成し、一体化した並行融着部2を構成するとともに、その外側に樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌し、並行融着部2の長手方向Lの外両側に、各樹脂製チューブ10が融着されていないチューブ離間部3を構成している。   In this way, the focusing tube 1 is formed in the central portion in the longitudinal direction L of the resin tube 10 by thermally fusing the tightly adhered portions m to form the heat fused portion x, and integrated parallel fusion. In addition to constituting the portion 2, a resin heat-shrinkable tube 20 is externally fitted to the outside thereof, and the tube separating portions 3 in which the resin-made tubes 10 are not fused on both outer sides in the longitudinal direction L of the parallel fused portion 2. Is configured.

上記構成で構成された集束チューブ1は、樹脂製チューブ10内に導通させる流体400(図12(a)参照)を供給する流体供給管(図示省略)や流体400の送出を受ける流体送出管(図示省略)をチューブ離間部3で接続して用いることができる。   The focusing tube 1 configured as described above includes a fluid supply pipe (not shown) that supplies a fluid 400 (see FIG. 12A) to be conducted into the resin tube 10 and a fluid delivery pipe that receives the fluid 400 (not shown). (Not shown) can be connected and used at the tube separating portion 3.

また、上述の集束チューブ1は、可撓性及び伸縮性、並びに耐久性を有している。
詳しくは、集束チューブ1は、複数並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着して熱融着部xを形成し、一体化した並行融着部2に密着状態で樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌するため、熱融着した並行融着部2が分離せず、一体性を保つことのできる応力限界を向上させることができ、かつ多方向から作用する複雑な応力によっても分離しにくい一体化された集束チューブ1を構成することができる。
Moreover, the above-mentioned focusing tube 1 has flexibility, stretchability, and durability.
Specifically, the focusing tube 1 is formed by heat-sealing the close contact portions m of a plurality of resin tubes 10 arranged in parallel to form a heat-welded portion x, and the resin-made heat in close contact with the integrated parallel weld portion 2. Since the shrinkable tube 20 is externally fitted, the heat-fused parallel fusion part 2 is not separated, the stress limit that can maintain the integrity can be improved, and even by complex stress acting from multiple directions An integrated focusing tube 1 that is difficult to separate can be configured.

また、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10及び収縮後の樹脂製熱収縮チューブ20が可撓性及び伸縮性を有しているため、曲げや引っ張りによって変形する場合であっても、座屈せず、確実な一体性を保持できるとともに、耐久性を有している。   The focusing tube 1 does not buckle even when the resin tube 10 and the resin heat-shrinkable tube 20 after shrinkage have flexibility and stretchability, even when deformed by bending or pulling. It is possible to maintain a certain unity and has durability.

詳しくは、複数並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着して熱融着部xを形成し、一体化した並行融着部2を湾曲させた場合、熱融着部xに曲げの負荷が作用する。特に、並行融着部2は2段の樹脂製チューブ10を並列配置して構成しているため、湾曲方向における径外側と径内側の樹脂製チューブ10とでは、湾曲する曲率半径が異なる。このため、曲率半径の違いにより、径外側の樹脂製チューブ10には引っ張り方向の力が付与され、径内側の樹脂製チューブ10には圧縮方向の力が付与される。このように、樹脂製チューブ10を2段に並列配置した並行融着部2の場合、高さ方向の熱融着部xには曲率半径が異なることによる負荷も作用する。   Specifically, when the adhesive portions m of the resin tubes 10 arranged in parallel are heat-sealed to form the heat-sealed portion x and the integrated parallel-fused portion 2 is curved, the heat-welded portion x A bending load acts. In particular, since the parallel fusion part 2 is configured by arranging two-stage resin tubes 10 in parallel, the radius of curvature differs between the radially outer and radially inner resin tubes 10 in the bending direction. For this reason, due to the difference in the radius of curvature, a tensile force is applied to the radially outer resin tube 10 and a compressive force is applied to the radially inner resin tube 10. In this way, in the case of the parallel fusion part 2 in which the resin tubes 10 are arranged in parallel in two stages, a load due to a different curvature radius also acts on the heat fusion part x in the height direction.

また、引っ張り方向の力によって並行融着部2が引き伸ばされる場合においても、並列配置した複数の樹脂製チューブ10の全てに対して均等でない引っ張り方向の力が付与されると、それぞれに対する引っ張り方向の力が異なることによる負荷が作用する。   Further, even when the parallel fusion part 2 is stretched by a force in the pulling direction, if a force in the non-uniform pulling direction is applied to all of the plurality of resin tubes 10 arranged in parallel, the pulling direction in each of the plurality of resin tubes 10 is increased. Loads due to different forces act.

しかし、集束チューブ1は、複数並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着して熱融着部xを形成し、一体化した並行融着部2に樹脂製熱収縮チューブ20を密着状態で外嵌しているため、並行融着部2の一体性を向上させるとともに、並行融着部2に作用する変形による負荷を分散することができる。したがって、集束チューブ1は、負荷によって熱融着部xが分離したり、並行融着部2が座屈したりすることなく、確実な一体性を保持でき、耐久性を有している。   However, the converging tube 1 is formed by heat-sealing the close contact portions m of the resin tubes 10 arranged in parallel to form a heat-sealed portion x, and the resin heat-shrinkable tube 20 is attached to the integrated parallel-fused portion 2. Since the outer fitting is performed in close contact, the integrity of the parallel fusion part 2 can be improved and the load caused by the deformation acting on the parallel fusion part 2 can be dispersed. Therefore, the focusing tube 1 can maintain a reliable integrity without the heat fusion part x being separated by the load or the parallel fusion part 2 buckling, and has durability.

また、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10を、熱溶融性、可撓性及び伸縮性を有する変性PTFE樹脂で構成しているため、優れた可撓性及び伸縮性、並びに確実な耐久性を有している。
詳しくは、変性PTFE樹脂は、PTFE樹脂のごく一部の側鎖にビニルエーテルを結合させたパーフルオロビニルエーテル変性ポリテトラフルオロエチレンであり、所望の熱溶融性、可撓性及び伸縮性を有するふっ素樹脂である。
Moreover, since the tube 1 is made of a modified PTFE resin having a heat melting property, flexibility and stretchability, the resin tube 10 has excellent flexibility and stretchability, and reliable durability. Have.
Specifically, the modified PTFE resin is a perfluorovinyl ether-modified polytetrafluoroethylene in which vinyl ether is bonded to a small part of the side chain of the PTFE resin and has a desired heat melting property, flexibility, and stretchability. It is.

さらに詳述すると、テトラフルオロエチレン(TFE)というふっ素樹脂であるとともに、ポリテトラフルオロエチレン(4フッ化)樹脂であるPTFE樹脂は、熱溶融性を備えていないが、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、自己滑潤性等の特性を有している。樹脂製チューブ10を構成する変性PTFE樹脂は、上述したようなPTFE樹脂の特性を損なわないように、さらに、熱溶融性、可撓性及び伸縮性を有するように、パーフルオロオレフィンで変性している。   More specifically, PTFE resin which is a fluororesin called tetrafluoroethylene (TFE) and a polytetrafluoroethylene (tetrafluoroethylene) resin does not have heat melting property, but has heat resistance, chemical resistance, It has properties such as non-stickiness and self-lubricity. The modified PTFE resin constituting the resin tube 10 is further modified with perfluoroolefin so as not to impair the properties of the PTFE resin as described above so as to have heat meltability, flexibility and stretchability. Yes.

熱溶融性、可撓性及び伸縮性を有するように変性した変性PTFE樹脂は、一般的に多用されるPFA樹脂との変形性能を比較した場合、以下の表1に示すように、MIT試験による屈曲寿命確認試験の結果から少なくとも30倍以上の屈曲寿命を有していることが分かる。また、変性PTFE樹脂は、曲げ弾性率がおよそ70%であり、曲げやすいことも確認できる。   As shown in Table 1 below, the modified PTFE resin modified so as to have heat melting property, flexibility, and stretchability is compared with the commonly used PFA resin as shown in Table 1 below. It can be seen from the results of the bending life confirmation test that the bending life is at least 30 times longer. Further, the modified PTFE resin has a bending elastic modulus of about 70%, and it can be confirmed that it is easy to bend.

Figure 0005189578
このことから、変性PTFE樹脂で構成した樹脂製チューブ10は、PFA樹脂製の樹脂製チューブと比べて、少なくとも30倍以上の屈曲寿命を有するとともに、曲げ弾性率がおよそ70%であり、変形性能が高くなる。
Figure 0005189578
Therefore, the resin tube 10 made of the modified PTFE resin has a bending life of at least 30 times as long as that of the resin tube made of PFA resin, and has a bending elastic modulus of about 70%, and has a deformation performance. Becomes higher.

また、樹脂製チューブ10を、変形性能の高い変性PTFE樹脂で構成しているため、樹脂製チューブ10同士が熱融着した熱融着部xの変形性能も高くなる。したがって、樹脂製チューブ10で構成した集束チューブ1は、優れた可撓性及び伸縮性、並びに確実な耐久性を有することができる。さらにまた、樹脂製チューブ10を構成する変性PTFE樹脂は、多用されているため、品質の高い樹脂製チューブ10を安定供給することができる。   Further, since the resin tube 10 is made of a modified PTFE resin having a high deformation performance, the deformation performance of the heat-sealed portion x where the resin tubes 10 are heat-sealed is also increased. Therefore, the focusing tube 1 constituted by the resin tube 10 can have excellent flexibility and stretchability and reliable durability. Furthermore, since the modified PTFE resin constituting the resin tube 10 is frequently used, a high quality resin tube 10 can be stably supplied.

また、集束チューブ1は、樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着させて構成した並行融着部2の端部2aと、並行融着部2に密着状態で外嵌する樹脂製熱収縮チューブ20の端部20aとの位置とを略一致させて配置しているため、作用する負荷が集中する並行融着部2及び樹脂製熱収縮チューブ20の端部2a,20aにおいて、上記負荷を並行融着部2と樹脂製熱収縮チューブ20とで分散できるため、並行融着部2と樹脂製熱収縮チューブ20との一方のみに負荷が集中して破損することを防止できる。   In addition, the focusing tube 1 includes an end portion 2a of the parallel fusion part 2 formed by heat-sealing the close contact portion m of the resin tube 10, and a resin heat shrink that fits in close contact with the parallel fusion part 2. Since the positions of the tube 20 and the end 20a are substantially matched, the load is applied to the parallel fusion portion 2 where the acting load is concentrated and the ends 2a and 20a of the resin heat-shrinkable tube 20. Since it can disperse | distribute with the parallel fusion | melting part 2 and the resin heat shrinkable tube 20, it can prevent that a load concentrates on only one of the parallel fusion | melting part 2 and the resin heat shrinkable tube 20, and breaks.

また、集束チューブ1は、並行融着部2を、樹脂製チューブ10における両端の所定範囲より長手方向Lの中央側部分に構成し、並行融着部2の長手方向Lの両端部側に、隣り合う樹脂製チューブ10の密着部分mが熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部3を構成しているため、樹脂製チューブ10に、容易に流体400を導通させるための供給管あるいは送出管を接続したり、電気配線等の長尺体を容易、且つ確実に導通させることができる。   Further, the converging tube 1 is configured such that the parallel fusion part 2 is configured in a central portion in the longitudinal direction L from a predetermined range of both ends of the resin tube 10, and on both end sides in the longitudinal direction L of the parallel fusion part 2. Since the adhering portion m of the adjacent resin tubes 10 is not thermally fused and constitutes the tube separating portions 3 that are separated from each other, a supply tube or a delivery for easily allowing the fluid 400 to conduct to the resin tubes 10 It is possible to connect a pipe or to make a long body such as an electric wiring easily and reliably conductive.

次に、図3から図8とともに、集束チューブ1の製造方法について説明する。
図3は集束チューブ1を製造する準備工程についての説明図を示し、図4は樹脂製チューブ10を熱融着させる融着金型100に配置する配置工程についての説明図を示し、図5は融着金型100を組付ける組付け工程についての説明図を示している。
Next, a manufacturing method of the focusing tube 1 will be described with reference to FIGS.
FIG. 3 is an explanatory view of a preparation process for manufacturing the focusing tube 1, FIG. 4 is an explanatory view of an arrangement process for arranging the resin tube 10 in the fusion mold 100 for heat-sealing, and FIG. Explanatory drawing about the assembly | attachment process of assembling the fusion die 100 is shown.

図6はチューブ離間部3を形成するための離間部形成プレート200を装着するプレート装着工程についての説明図を示し、図7は融着金型100の構成及び密着部分mの熱融着についての説明図を示し、図8は樹脂製熱収縮チューブ20の外嵌工程についての説明図を示している。   FIG. 6 is an explanatory view of a plate mounting process for mounting the spacing portion forming plate 200 for forming the tube spacing portion 3, and FIG. 7 shows the configuration of the fusion mold 100 and the thermal fusion of the contact portion m. An explanatory view is shown, and FIG. 8 shows an explanatory view of an outer fitting process of the resin heat-shrinkable tube 20.

最初に、集束チューブ1を製造するための融着金型100、離間部形成プレート200及び中芯300について説明する。
集束チューブ1の並行融着部2を形成する、つまり樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着させる融着金型100は、並行融着部2と同程度の長さの直方体形状であり、上金型110と、下金型120と、左右の側部押え金型130,130とで構成している。
First, the fusion mold 100, the separation portion forming plate 200, and the core 300 for manufacturing the focusing tube 1 will be described.
The fusion mold 100 for forming the parallel fusion part 2 of the focusing tube 1, that is, for thermally fusing the adhesion part m of the resin tube 10, has a rectangular parallelepiped shape with the same length as the parallel fusion part 2. The upper mold 110, the lower mold 120, and the left and right side presser molds 130, 130 are configured.

上金型110は、図7(a)に示すように、底面側の幅方向Wの中央に、樹脂製チューブ10、下金型120の嵌合凸部121並びに側部押え金型130の嵌合を許容する嵌合凹部111を有する門型断面で形成している。   As shown in FIG. 7A, the upper mold 110 is fitted with the resin tube 10, the fitting projection 121 of the lower mold 120, and the side presser mold 130 at the center in the width direction W on the bottom surface side. It is formed with a gate-shaped cross section having a fitting recess 111 that allows the fitting.

なお、上金型110の80%程度の幅を占める嵌合凹部111における底面111aには上向きに凸な半円断面が幅方向Wに11個連続し、11本の上段樹脂製チューブ10aに対応するチューブ係止溝112を有している。   It should be noted that eleven semicircular cross-sections protruding upward in the width direction W of the bottom surface 111a of the fitting recess 111 occupying about 80% of the width of the upper mold 110 correspond to the eleven upper resin tubes 10a. A tube locking groove 112 is provided.

また、上金型110における嵌合凹部111の幅方向Wの外側において、長手方向Lに所定間隔を隔てて複数箇所配置された固定ボルト100aの貫通を許容する固定ボルト貫通孔113を備えている(図5,6参照)。   In addition, on the outer side in the width direction W of the fitting recess 111 in the upper mold 110, there are provided fixing bolt through holes 113 that allow the fixing bolts 100a, which are arranged at a predetermined interval in the longitudinal direction L, to pass therethrough. (See FIGS. 5 and 6).

下金型120は、図7(a)に示すように、下向きに凸な半円断面が幅方向Wに12個連続し、12本の下段樹脂製チューブ10bに対応するチューブ係止溝122を上面121aに形成した嵌合凸部121を有する凸状断面で形成している。   As shown in FIG. 7A, the lower mold 120 has twelve downwardly protruding semicircular cross sections in the width direction W, and has tube locking grooves 122 corresponding to the twelve lower resin tubes 10b. It is formed with a convex cross section having a fitting convex portion 121 formed on the upper surface 121a.

また、下金型120における嵌合凸部121の幅方向Wの外側において、融着金型100の固定ボルト貫通孔113に対応する位置に、固定ボルト100aの螺入を許容するボルト螺入孔123を備えている。   Further, a bolt screw hole that allows the fixing bolt 100a to be screwed into a position corresponding to the fixing bolt through hole 113 of the fusion mold 100 outside the width direction W of the fitting convex portion 121 in the lower mold 120. 123.

嵌合凸部121の上面121aに載置して、樹脂製チューブ10の側方を押える側部押え金型130は、上段樹脂製チューブ10aの下外側及び下段樹脂製チューブ10bの上外側に接する円弧面131を有しており、幅方向Wの外側面を嵌合凸部121の外側面に合わせた状態で、嵌合凹部111に嵌合する。   The side presser mold 130 placed on the upper surface 121a of the fitting convex portion 121 and pressing the side of the resin tube 10 contacts the lower outer side of the upper resin tube 10a and the upper outer side of the lower resin tube 10b. It has an arc surface 131 and is fitted into the fitting recess 111 in a state where the outer surface in the width direction W is aligned with the outer surface of the fitting protrusion 121.

なお、上段樹脂製チューブ10a及び下段樹脂製チューブ10bが接するチューブ係止溝112、チューブ係止溝122及び円弧面131は、樹脂製チューブ10の融着を防止する融着防止メッキを施している。本実施例において、融着防止メッキとして、化学反応によってニッケル燐合金をコーティングするカニゼンメッキを施している。また、上金型110、下金型120及び側部押え金型130は同素材で構成している。   In addition, the tube locking groove 112, the tube locking groove 122, and the circular arc surface 131 with which the upper resin tube 10a and the lower resin tube 10b are in contact are subjected to anti-fusing plating for preventing the resin tube 10 from being fused. . In this embodiment, Kanigen plating for coating a nickel phosphorus alloy by chemical reaction is applied as anti-fusing plating. Further, the upper mold 110, the lower mold 120, and the side presser mold 130 are made of the same material.

離間部形成プレート200は、図6に示すように、各樹脂製チューブ10の貫通を許容する貫通孔201を適宜の間隔を隔てて、上段樹脂製チューブ10aと下段樹脂製チューブ10bの本数分を備えるとともに、それぞれの貫通孔201を所定の間隔で離間させて配置した薄板状鋼板であり、融着金型100の長手方向Lの両側に装備するように2枚備えている。   As shown in FIG. 6, the separation portion forming plate 200 divides the number of the upper resin tubes 10 a and the lower resin tubes 10 b by separating through holes 201 that allow the resin tubes 10 to pass therethrough at appropriate intervals. In addition, a thin plate-like steel plate in which the through holes 201 are spaced apart from each other at a predetermined interval, and two are provided so as to be equipped on both sides in the longitudinal direction L of the fusion mold 100.

中芯300は、一方の端部に握持用のプレート部301を備え、樹脂製チューブ10の内部空間10c(図2(b)参照)に挿入可能な径の細棒で構成している。なお、中芯300は、内部空間10cに挿入した樹脂製チューブ10の形状を保持することのできる適宜の強度で構成している。   The center core 300 includes a gripping plate portion 301 at one end, and is configured by a thin rod having a diameter that can be inserted into the internal space 10c of the resin tube 10 (see FIG. 2B). The core 300 is configured with an appropriate strength capable of maintaining the shape of the resin tube 10 inserted into the internal space 10c.

次に、融着金型100、離間部形成プレート200及び中芯300を用いた集束チューブ1の製造方法について説明する。
まず、集束チューブ1の準備工程では、樹脂製チューブ10を形成するために、上記寸法の変性PTFE樹脂製チューブを、23本分所定の長さに切断し、図3に示すように各樹脂製チューブ10に中芯300を挿入する。
Next, a method for manufacturing the focusing tube 1 using the fusion mold 100, the separation portion forming plate 200, and the core 300 will be described.
First, in the preparation step of the focusing tube 1, in order to form the resin tube 10, 23 modified PTFE resin tubes having the above dimensions are cut into a predetermined length and each resin product is made as shown in FIG. The core 300 is inserted into the tube 10.

図4に示す配置工程では、中芯300を挿入した樹脂製チューブ10において、並行融着部2を構成する中央部分を下金型120のチューブ係止溝122に嵌め込み、その樹脂製チューブ10を幅方向Wの両側から側部押え金型130で挟みこむ。   In the arrangement step shown in FIG. 4, in the resin tube 10 in which the core 300 is inserted, the central portion constituting the parallel fusion part 2 is fitted into the tube locking groove 122 of the lower mold 120, and the resin tube 10 is It is sandwiched by the side presser molds 130 from both sides in the width direction W.

そして、図5に示す組付け工程では、下金型120の上方から嵌合凸部121が嵌合凹部111に嵌合するように上金型110を装着し、固定ボルト100aで固定するとともに(図5(b)参照)、中芯300を樹脂製チューブ10から抜き出す。   Then, in the assembling step shown in FIG. 5, the upper mold 110 is mounted from above the lower mold 120 so that the fitting convex part 121 fits into the fitting concave part 111, and fixed with the fixing bolt 100a ( The core 300 is extracted from the resin tube 10 (see FIG. 5B).

そして、図6に示すプレート装着工程では、融着金型100を装着した樹脂製チューブ10の長手方向Lの両側から離間部形成プレート200を装着する。詳しくは、11本の上段樹脂製チューブ10aと12本の下段樹脂製チューブ10bを離間部形成プレート200における所定の貫通孔201に挿入する。これにより、密着するように略台形状に並列配置した23本の樹脂製チューブ10の両端部分を、図6(b)に示すように、幅方向W及び高さ方向Hに広がった状態で形状保持することができる。   In the plate mounting step shown in FIG. 6, the separation portion forming plate 200 is mounted from both sides in the longitudinal direction L of the resin tube 10 to which the fusion mold 100 is mounted. Specifically, eleven upper resin tubes 10 a and twelve lower resin tubes 10 b are inserted into predetermined through holes 201 in the separation portion forming plate 200. As a result, the two end portions of the 23 resin tubes 10 arranged in parallel in a substantially trapezoidal shape so as to be in close contact with each other are shaped in a state of spreading in the width direction W and the height direction H as shown in FIG. Can be held.

この状態で、雰囲気温度が予め360℃に設定された電気炉(図示省略)の中に融着金型100及び離間部形成プレート200ごと樹脂製チューブ10をセットし、1時間加熱し、その後金型温度が50℃になるまで冷却する。   In this state, the resin tube 10 is set together with the fusion mold 100 and the separation portion forming plate 200 in an electric furnace (not shown) in which the ambient temperature is preset to 360 ° C., and heated for 1 hour, and then the gold Cool until mold temperature reaches 50 ° C.

これにより、図7(c),(d)に示すように、外面が密着するように並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mが熱融着して熱融着部xを形成し、一体化された並行融着部2を形成することができる。   Thus, as shown in FIGS. 7C and 7D, the close contact portions m of the resin tubes 10 arranged in parallel so that the outer surfaces are in close contact with each other are heat-sealed to form the heat-welded portion x. The parallel welded portion 2 can be formed.

また、離間部形成プレート200により、樹脂製チューブ10の両端部分を幅方向W及び高さ方向Hに所定間隔を隔てて離間させていたため、隣り合う樹脂製チューブ10が融着することなく、チューブ離間部3を構成することができる。   In addition, since both end portions of the resin tube 10 are separated by a predetermined interval in the width direction W and the height direction H by the separation portion forming plate 200, the adjacent resin tubes 10 are not fused. The separation portion 3 can be configured.

上記工程によって、並行融着部2及びチューブ離間部3が形成された樹脂製チューブ10の束を融着金型100から取り出し、図8に示す樹脂製熱収縮チューブ20の外嵌工程において、収縮前の樹脂製熱収縮チューブ20を樹脂製チューブ10の並行融着部2の部分に遊嵌させる。このとき、並行融着部2の端部2aと、樹脂製熱収縮チューブ20の端部20aとが一致するように樹脂製熱収縮チューブ20を並行融着部2に遊嵌させる。   The bundle of the resin tubes 10 formed with the parallel fusion part 2 and the tube separation part 3 is taken out from the fusion mold 100 by the above process, and in the outer fitting process of the resin heat shrinkable tube 20 shown in FIG. The previous resin heat-shrinkable tube 20 is loosely fitted to the parallel fusion part 2 of the resin tube 10. At this time, the resin heat-shrinkable tube 20 is loosely fitted to the parallel fusion-bonded portion 2 so that the end 2a of the parallel-fused portion 2 and the end 20a of the resin-made heat-shrinkable tube 20 coincide.

なお、図8(a)において、収縮前の樹脂製熱収縮チューブ20を並行融着部2への遊嵌状態である断面略台形状で示しているが、樹脂製熱収縮チューブ20は一般的な円形断面の熱収縮シリコンチューブであり、遊嵌させるために、断面略台形状に図示しているに過ぎない。   In FIG. 8A, the resin heat-shrinkable tube 20 before shrinkage is shown in a substantially trapezoidal cross section in a loosely fitted state to the parallel fusion part 2, but the resin heat-shrinkable tube 20 is generally used. It is a heat-shrinkable silicon tube having a circular cross section, and is merely illustrated in a substantially trapezoidal cross section for loose fitting.

この樹脂製熱収縮チューブ20の外嵌工程において、樹脂製チューブ10の束の並行融着部2に遊嵌させた樹脂製熱収縮チューブ20は、図8(b)に示すように、樹脂製熱収縮チューブ20を、略台形状に配置した樹脂製チューブ10の並行融着部2の外形線OLより熱収縮前の内周長が長い寸法で形成しているため、樹脂製熱収縮チューブ20の内周面と束ねた樹脂製チューブ10の並行融着部2の部分の外形線OLとの間に隙間が形成されるように遊嵌することができる。   In the outer fitting process of the resin heat-shrinkable tube 20, the resin heat-shrinkable tube 20 loosely fitted to the parallel fusion part 2 of the bundle of resin tubes 10 is made of resin as shown in FIG. The heat-shrinkable tube 20 is formed with a dimension in which the inner peripheral length before heat shrinkage is longer than the outline OL of the parallel fusion part 2 of the resin-made tube 10 arranged in a substantially trapezoidal shape. Can be loosely fitted so that a gap is formed between the inner peripheral surface of the resin tube 10 and the outer shape line OL of the parallel fused portion 2 of the bundled resin tube 10.

この状態で、予め雰囲気温度200℃に予熱した電気炉内で1〜2分間加熱し、樹脂製熱収縮チューブ20を熱収縮させる。この熱収縮により、図2(a)に示すように、樹脂製熱収縮チューブ20の内周面が並行融着部2の部分の樹脂製チューブ10に対して密着し、樹脂製熱収縮チューブ20を束ねた樹脂製チューブ10の並行融着部2の部分に対して確実に固定することができる。   In this state, the resin heat-shrinkable tube 20 is thermally contracted by heating in an electric furnace preheated to an atmospheric temperature of 200 ° C. for 1 to 2 minutes. Due to this heat shrinkage, as shown in FIG. 2A, the inner peripheral surface of the resin heat shrinkable tube 20 comes into close contact with the resin tube 10 in the portion of the parallel fusion part 2, and the resin heat shrinkable tube 20. Can be reliably fixed to the portion of the parallel fused portion 2 of the resin tube 10 bundled together.

このように、融着金型100、離間部形成プレート200及び中芯300を用いた上記製造方法によって、可撓性及び伸縮性を有するとともに、耐久性のある集束チューブ1を効率よく製造することができる。   As described above, the manufacturing method using the fusion mold 100, the separation portion forming plate 200, and the core 300 can efficiently manufacture the focusing tube 1 having flexibility and stretchability and having durability. Can do.

詳しくは、複数並列配置した樹脂製チューブ10同士の密着部分mを熱融着させるため、効率よく容易に樹脂製チューブ10を一体化させて並行融着部2を形成し、並行融着部2に樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌するため、熱融着した並行融着部2が分離せず、一体性を保つことのできる応力限界を向上させることができ、かつ多方向から作用する複雑な応力によっても分離しにくい一体化された集束チューブ1を製造することができる。   In detail, in order to heat-bond the contact portions m between the resin tubes 10 arranged in parallel, the resin tubes 10 are efficiently and easily integrated to form the parallel fusion portion 2, and the parallel fusion portion 2. Since the resin heat-shrinkable tube 20 is externally fitted, the heat-fused parallel welded portion 2 is not separated, the stress limit that can maintain the integrity can be improved, and the complex acting from multiple directions Therefore, it is possible to manufacture an integrated focusing tube 1 that is difficult to separate even under a great stress.

また、樹脂製チューブ10及び収縮後の樹脂製熱収縮チューブ20が、可撓性及び伸縮性を有しているため、曲げや引っ張りによって集束チューブ1が変形する場合であっても座屈することなく、上述したように、確実な一体性を保持でき、耐久性のある集束チューブ1を製造することができる。   In addition, since the resin tube 10 and the resin heat-shrinkable tube 20 after shrinkage have flexibility and stretchability, they do not buckle even when the focusing tube 1 is deformed by bending or pulling. As described above, it is possible to manufacture the focusing tube 1 which can maintain a reliable unity and is durable.

また、集束チューブ1は、並行融着部2を、樹脂製チューブ10における両端の所定範囲より長手方向Lの中央側部分に構成し、並行融着部2の長手方向Lの両端部側に、隣り合う樹脂製チューブ10の密着部分mが熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部3を構成しているため、樹脂製チューブ10に、容易に導通対象物導通させるための供給管あるいは送出管を接続したり、電気配線等の長尺体を容易、且つ確実に導通させることのできる集束チューブ1を製造することができる。   Further, the converging tube 1 is configured such that the parallel fusion part 2 is configured in a central portion in the longitudinal direction L from a predetermined range of both ends of the resin tube 10, and on both end sides in the longitudinal direction L of the parallel fusion part 2. Since the adhering portion m of the adjacent resin tubes 10 is not heat-sealed and constitutes the tube separation portions 3 that are separated from each other, a supply tube or a delivery for easily conducting the conductive object to the resin tube 10 It is possible to manufacture a focusing tube 1 that can connect tubes and can easily and reliably pass a long body such as an electric wiring.

また、中芯300を挿入してから、樹脂製チューブ10の並行融着部2の部分を下金型120のチューブ係止溝122に嵌め込むため、樹脂製チューブ10の形状を中芯300で保持でき、樹脂製チューブ10をチューブ係止溝122に容易に嵌め込むことができる。   Further, since the portion of the parallel fusion part 2 of the resin tube 10 is inserted into the tube locking groove 122 of the lower mold 120 after the core 300 is inserted, the shape of the resin tube 10 is changed to the core 300. The resin tube 10 can be easily fitted into the tube locking groove 122.

また、樹脂製チューブ10が接するチューブ係止溝112、チューブ係止溝122及び円弧面131に、融着防止メッキを施しているため、融着金型100を加熱した後に、融着金型100から樹脂製チューブ10を容易に離型することができる。   In addition, since the tube locking groove 112, the tube locking groove 122, and the circular arc surface 131 with which the resin tube 10 is in contact are subjected to anti-fusion plating, the fusion die 100 is heated after the fusion die 100 is heated. Therefore, the resin tube 10 can be easily released.

したがって、例えば、融着金型100に融着した樹脂製チューブ10を引き剥がすことで樹脂製チューブ10の熱融着部xが分離して並行融着部2がばらけるおそれのある場合と比較して、確実に一体化した並行融着部2を形成することができる。   Therefore, for example, when the resin tube 10 fused to the fusion mold 100 is peeled off, the heat fusion part x of the resin tube 10 is separated and the parallel fusion part 2 may be separated. Thus, it is possible to form the parallel fusion part 2 that is reliably integrated.

また、融着金型100を構成する上金型110、下金型120及び側部押え金型130を同素材で構成しているため、樹脂製チューブ10の密着部分mを融着するために加熱した場合であっても、上金型110、下金型120及び側部押え金型130における加熱による熱膨張が同程度であり、異なる素材で構成して異なった熱膨張する場合と比較して、確実に密着部分mが融着によって一体化した集束チューブ1を得ることができる。   In addition, since the upper mold 110, the lower mold 120, and the side presser mold 130 constituting the fusion mold 100 are made of the same material, in order to fuse the adhesion portion m of the resin tube 10. Even when heated, the thermal expansion due to heating in the upper mold 110, the lower mold 120, and the side presser mold 130 is similar, compared to the case where they are made of different materials and expand differently. Thus, it is possible to obtain the focusing tube 1 in which the close contact portion m is reliably integrated by fusion.

さらにまた、集束チューブ1は、密着部分mが熱融着によって一体化した状態の並行融着部2に樹脂製熱収縮チューブ20を遊嵌させてから熱収縮後させているが、樹脂製熱収縮チューブ20を樹脂製チューブ10の融点より収縮温度が低い熱収縮シリコンチューブで構成しているため、樹脂製熱収縮チューブ20の収縮のための加熱によって、樹脂製チューブ10の熱融着部xが剥がれて、並行融着部2の一体性が損なわれるといったおそれもなく、可撓性及び伸縮性を有するとともに、耐久性のある集束チューブ1を効率よく製造することができる。   Furthermore, the focusing tube 1 is made to heat-shrink after the resin heat-shrinkable tube 20 is loosely fitted to the parallel fusion part 2 in a state where the contact portion m is integrated by heat-sealing. Since the shrinkable tube 20 is composed of a heat-shrinkable silicon tube having a shrinkage temperature lower than the melting point of the resinous tube 10, the heat-sealed portion x of the resinous tube 10 is heated by the heat for shrinking the resinous heat-shrinkable tube 20. As a result, there is no fear that the integrity of the parallel fusion part 2 is impaired, and the focusing tube 1 having flexibility and stretchability and having durability can be efficiently manufactured.

なお、上記製造方法で製造され、可撓性及び伸縮性を有するとともに耐久性もあり、確実に導通対象物を導通させることのできる集束チューブ1は、例えば、図9に示すようなディスペンサ500等の装置における移動する流体滴下部501に流体を輸送するための流体輸送配管502として用いることができる。   In addition, the focusing tube 1 which is manufactured by the above manufacturing method, has flexibility and stretchability, has durability, and can reliably conduct the conductive object, for example, a dispenser 500 as shown in FIG. It can be used as the fluid transport pipe 502 for transporting the fluid to the moving fluid dropping section 501 in the apparatus.

集束チューブ1を流体輸送配管502として装着するディスペンサ500について、図9から図11とともに説明する。詳しくは、図9は外観や流体輸送機構以外の機構を破線で示したディスペンサ500の斜視図を示し、図10は流体輸送配管502として機能する集束チューブ1についての斜視図を示し、図11は流体輸送配管502として機能する集束チューブ1についての側方概略図を示している。なお、図9において、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1は、ディスペンサ500の構成における配索状態を示しているが、図10及び11においては、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1の移動性能についての説明を明確にするため、簡略化して寝位のU字状に図示している。   A dispenser 500 in which the focusing tube 1 is mounted as the fluid transport pipe 502 will be described with reference to FIGS. Specifically, FIG. 9 shows a perspective view of a dispenser 500 in which mechanisms other than the appearance and the fluid transport mechanism are shown by broken lines, FIG. 10 shows a perspective view of the focusing tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502, and FIG. A side schematic view of the focusing tube 1 functioning as a fluid transport line 502 is shown. In FIG. 9, the converging tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502 shows a wiring state in the configuration of the dispenser 500, but in FIGS. 10 and 11, the converging tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502 is shown. In order to clarify the description of the movement performance, it is simplified and illustrated in a U-shape in the sleeping position.

ディスペンサ500は、本体台座部500aの側面に備えた配管接合部503を介して図示しない流体タンクから供給された流体を、集束チューブ1で構成する流体輸送配管502を通じて流体滴下部501まで輸送して、図示省略する容器に流体滴下部501から滴下する装置である。なお、流体輸送配管502は、集束チューブ1の並行融着部2で構成し、両端のチューブ離間部3の部分で流体滴下部501や配管接合部503に接続している。   The dispenser 500 transports the fluid supplied from the fluid tank (not shown) via the pipe joint 503 provided on the side surface of the main body pedestal 500 a to the fluid dropping part 501 through the fluid transport pipe 502 configured by the focusing tube 1. This is a device for dropping from a fluid dropping unit 501 to a container not shown. The fluid transport pipe 502 is constituted by the parallel fusion part 2 of the focusing tube 1 and is connected to the fluid dropping part 501 and the pipe joint part 503 at the tube separation part 3 at both ends.

なお、容器は、ディスペンサ500の幅方向wに所定間隔で複数配置されており、流体滴下部501は、滴下部移動機構504により幅方向wに所定間隔ずつ移動して、上記容器に流体400を滴下する構成である。   A plurality of containers are arranged at predetermined intervals in the width direction w of the dispenser 500, and the fluid dropping unit 501 is moved at predetermined intervals in the width direction w by the dropping unit moving mechanism 504 so that the fluid 400 is supplied to the container. It is the structure which drops.

この流体滴下部501の幅方向wの移動に伴い、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1は、一端が配管接合部503に固定されているため、並行融着部2が湾曲した湾曲部分Rも曲率を維持したまま幅方向wに移動する。   As the fluid dropping section 501 moves in the width direction w, the converging tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502 is fixed at one end to the pipe joint section 503. Also move in the width direction w while maintaining the curvature.

しかし、集束チューブ1は、変形性能の高い変性PTFE樹脂で構成した樹脂製チューブ10を熱融着して一体化した並行融着部2に樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌することによって可撓性及び伸縮性、並びに耐久性を有しているため、湾曲部分Rが曲率を維持したまま幅方向wに移動しても破損や座屈することなく、確実に流体を配管接合部503から流体滴下部501に輸送することができる。   However, the focusing tube 1 is flexible by externally fitting a resin heat-shrinkable tube 20 to a parallel fusion part 2 in which a resin tube 10 made of a modified PTFE resin having high deformation performance is heat-sealed and integrated. Since the curved portion R moves in the width direction w while maintaining the curvature, the fluid is surely dropped from the pipe joint 503 without being damaged or buckled. It can be transported to the part 501.

詳しくは、略台形状に複数並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着によって一体化させた並行融着部2が湾曲させることによって、熱融着部xに曲げの負荷が作用する。特に、並行融着部2を2段の樹脂製チューブ10を並列配置して構成しているため、湾曲部分Rの径外側となる下段樹脂製チューブ10bと径内側となる上段樹脂製チューブ10aとでは、湾曲する曲率半径が異なってくる。このため、曲率半径の違いにより、径外側の下段樹脂製チューブ10bには引っ張り方向の力が付与され、径内側の上段樹脂製チューブ10aには圧縮方向の力が付与されて、上段樹脂製チューブ10aと下段樹脂製チューブ10bとの間の熱融着部xに曲率半径が異なることによる負荷が作用する。   Specifically, a bending load acts on the heat fusion part x by bending the parallel fusion part 2 in which the close contact parts m of the resin tubes 10 arranged in parallel in a substantially trapezoidal shape are integrated by heat fusion. To do. In particular, since the parallel fusion part 2 is configured by arranging two stages of resin tubes 10 in parallel, a lower resin tube 10b that is the outer diameter of the curved portion R and an upper resin tube 10a that is the inner diameter of the curved portion R; Then, the curvature radius which curves is different. Therefore, due to the difference in the radius of curvature, a tensile force is applied to the lower resin tube 10b on the outer diameter side, and a compressive force is applied to the upper resin tube 10a on the inner diameter surface, so that the upper resin tube is applied. A load due to the difference in curvature radius acts on the heat-sealed portion x between the tube 10a and the lower resin tube 10b.

しかし、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1は、略台形状に並列配置した樹脂製チューブ10の密着部分mを熱融着して熱融着部xを形成し、一体化した並行融着部2に密着状態で樹脂製熱収縮チューブ20を外嵌するため、並行融着部2の一体性を向上させるとともに、並行融着部2に作用する負荷を樹脂製熱収縮チューブ20に分散することができる。また、変形性能の高い変性PTFE樹脂で構成した樹脂製チューブ10同士を熱融着した熱融着部xの変形性能も高くなる。したがって、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1は優れた可撓性及び、並行融着部2が座屈することのない確実な耐久性を有しているため、湾曲部分Rの曲げの負荷によって熱融着部xが分離することなく、確実な一体性を保持することができる。   However, the converging tube 1 functioning as the fluid transport pipe 502 is formed by heat-sealing the contact portion m of the resin tube 10 arranged in parallel in a substantially trapezoidal shape to form a heat-sealed portion x, and integrated parallel fusion. Since the resin heat-shrinkable tube 20 is externally fitted to the part 2, the integrity of the parallel fusion part 2 is improved and the load acting on the parallel fusion part 2 is distributed to the resin heat-shrinkable tube 20. be able to. Further, the deformation performance of the heat-sealed portion x obtained by heat-sealing the resin tubes 10 made of the modified PTFE resin having high deformation performance is also improved. Therefore, the focusing tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502 has excellent flexibility and reliable durability that the parallel fused portion 2 does not buckle. Certain integrity can be maintained without the thermal fusion part x separating.

また、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1は、隣り合う樹脂製チューブ10の密着部分mが熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部3で流体滴下部501や配管接合部503に接続しているため、各樹脂製チューブ10に導通させる流体を供給あるいは送出する供給管あるいは送出管を接続することができる。   In addition, the converging tube 1 functioning as the fluid transport pipe 502 is connected to the fluid dropping part 501 and the pipe joint part 503 at the tube separation part 3 that is spaced apart from each other, with the close contact part m of the adjacent resin tubes 10 not thermally fused. Therefore, it is possible to connect a supply pipe or a supply pipe for supplying or sending a fluid to be conducted to each resin tube 10.

なお、ディスペンサ500が半導体や液晶の製造するための装置であってもよい。この場合、半導体や液晶の製造プロセスにおけるプロセス流体の温度制御が重要であり、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1を構成する23本の樹脂製チューブ10のうち、11本の上段樹脂製チューブ10aにプロセス流体400a(図12(a)参照)を導通させ、12本の下段樹脂製チューブ10bに液状熱媒体400b(図12(a)参照)を導通させて、並行融着部2において温熱媒体として機能する液状熱媒体400bでプロセス流体400aを温度調整する熱交換器として集束チューブ1を用いることとなる。   The dispenser 500 may be an apparatus for manufacturing a semiconductor or a liquid crystal. In this case, it is important to control the temperature of the process fluid in the semiconductor or liquid crystal manufacturing process. Among the 23 resin tubes 10 constituting the converging tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502, 11 upper resin tubes are used. The process fluid 400a (see FIG. 12 (a)) is conducted to 10a, the liquid heat medium 400b (see FIG. 12 (a)) is conducted to the twelve lower resin tubes 10b, and the parallel fusion part 2 is heated. The focusing tube 1 is used as a heat exchanger for adjusting the temperature of the process fluid 400a with the liquid heat medium 400b functioning as a medium.

このように、集束チューブ1で構成する流体輸送配管502を熱交換器として機能させる場合、集束チューブ1の配管接合部503側のチューブ離間部3における上段樹脂製チューブ10aの端部に、導通させるプロセス流体400aを供給するプロセス流体供給管(図示省略)を接続し、流体滴下部501側のチューブ離間部3の端部に、導通したプロセス流体400aの送出を受けるプロセス流体送出管(図示省略)を接続する。   As described above, when the fluid transport pipe 502 formed of the focusing tube 1 is made to function as a heat exchanger, the fluid transport pipe 502 is electrically connected to the end portion of the upper resin tube 10a in the tube separation portion 3 on the piping joint portion 503 side of the focusing tube 1. A process fluid supply pipe (not shown) for supplying the process fluid 400a is connected, and a process fluid delivery pipe (not shown) that receives the process fluid 400a conducted to the end of the tube separating portion 3 on the fluid dropping portion 501 side is connected. Connect.

同様に、集束チューブ1の配管接合部503側のチューブ離間部3における下段樹脂製チューブ10bの端部に、導通させる液状熱媒体400bを供給する流体状熱媒体供給管(図示省略)を接続し、流体滴下部501側のチューブ離間部3における下段樹脂製チューブ10bの端部に、導通した液状熱媒体400bの送出を受ける流体状熱媒体送出管(図示省略)を接続する。   Similarly, a fluid heat medium supply pipe (not shown) for supplying the liquid heat medium 400b to be conducted is connected to the end of the lower resin tube 10b in the tube separation part 3 on the pipe joint part 503 side of the focusing tube 1. Then, a fluid heat medium delivery pipe (not shown) that receives the delivered liquid heat medium 400b is connected to the end of the lower resin tube 10b in the tube separation part 3 on the fluid dropping part 501 side.

そして、プロセス流体供給管からプロセス流体400aを供給し、プロセス流体送出管から送出するとともに、流体状熱媒体供給管から液状熱媒体400bを供給し、流体状熱媒体送出管から送出することで、並行融着部2において、上段樹脂製チューブ10aを導通するプロセス流体400aと、下段樹脂製チューブ10bを導通する液状熱媒体400bとで熱交換することができる。   Then, the process fluid 400a is supplied from the process fluid supply pipe and sent out from the process fluid delivery pipe, and the liquid heat medium 400b is supplied from the fluid heat medium supply pipe and sent out from the fluid heat medium delivery pipe. In the parallel fusion part 2, heat exchange can be performed between the process fluid 400a that conducts the upper resin tube 10a and the liquid heat medium 400b that conducts the lower resin tube 10b.

詳しくは、液状熱媒体400bがプロセス流体400aより高温である場合は、樹脂製チューブ10を介して液状熱媒体400bからプロセス流体400aに熱が移動するため、プロセス流体400aの温度が向上する。逆に、液状熱媒体400bがプロセス流体400aより低温である場合は、樹脂製チューブ10を介してプロセス流体400aから液状熱媒体400bに熱が移動するため、プロセス流体400aの温度が低下する。   Specifically, when the temperature of the liquid heat medium 400b is higher than that of the process fluid 400a, heat is transferred from the liquid heat medium 400b to the process fluid 400a via the resin tube 10, so that the temperature of the process fluid 400a is improved. Conversely, when the liquid heat medium 400b is at a lower temperature than the process fluid 400a, heat moves from the process fluid 400a to the liquid heat medium 400b via the resin tube 10, and the temperature of the process fluid 400a decreases.

このように、熱交換器として機能する流体輸送配管502(集束チューブ1)は、上段樹脂製チューブ10aを導通するプロセス流体400aと、下段樹脂製チューブ10bを導通する液状熱媒体400bとを効率よく熱交換させることによって、温度変化勾配の緩やかな熱交換を実現でき、高精度にプロセス流体400aを温度制御することができる。   As described above, the fluid transport pipe 502 (focusing tube 1) functioning as a heat exchanger efficiently connects the process fluid 400a that conducts the upper resin tube 10a and the liquid heat medium 400b that conducts the lower resin tube 10b. By performing heat exchange, heat exchange with a gentle temperature change gradient can be realized, and the temperature of the process fluid 400a can be controlled with high accuracy.

詳しくは、細いチューブである上段樹脂製チューブ10aを導通するプロセス流体400aと、上段樹脂製チューブ10aに一体化された下段樹脂製チューブ10bを導通する液状熱媒体400bとで温度変化勾配の緩やかな熱交換を行うため、プロセス流体400aの全体を高精度で温度制御することができる。   Specifically, the process fluid 400a that conducts the upper resin tube 10a, which is a thin tube, and the liquid heat medium 400b that conducts the lower resin tube 10b integrated with the upper resin tube 10a have a gentle temperature change gradient. Since heat exchange is performed, the temperature of the entire process fluid 400a can be controlled with high accuracy.

また、プロセス流体400aと液状熱媒体400bとは、上段樹脂製チューブ10aと、下段樹脂製チューブ10bとに分かれて導通されるため、例えば、樹脂製チューブに割れ等の破損が生じ、一方のチューブからプロセス流体400aと液状熱媒体400bのいずれかが漏出した場合であっても、他方のプロセス流体400aや液状熱媒体400bとが混ざることを防止できる。   Further, since the process fluid 400a and the liquid heat medium 400b are divided into the upper resin tube 10a and the lower resin tube 10b and are conducted, for example, the resin tube is broken, such as cracking. Even if one of the process fluid 400a and the liquid heat medium 400b leaks out, the other process fluid 400a and the liquid heat medium 400b can be prevented from being mixed.

また、例えば、半導体や液晶の製造するための装置であるディスペンサ500における本体台座部500aで稼働熱が生じやすい場合であっても、流体輸送配管502として機能する寝位のU字型部分を有する集束チューブ1の下部における本体台座部500a側の下段樹脂製チューブ10bに液状熱媒体400bを導通させ、流体輸送配管502として機能する集束チューブ1の下部において本体台座部500aと遠い側の上段樹脂製チューブ10aにプロセス流体400aを導通させたことにより、本体台座部500aから発せられる稼働熱の影響は液状熱媒体400bで吸収され、温調精度を要するプロセス流体400aに影響が及ばず、好適である。   In addition, for example, even when operating heat is likely to be generated in the main body base portion 500a of the dispenser 500 that is a device for manufacturing semiconductors and liquid crystals, the U-shaped portion of the sleeping position that functions as the fluid transport pipe 502 is provided. The liquid heat medium 400b is conducted to the lower resin tube 10b on the main body pedestal portion 500a side in the lower part of the focusing tube 1, and the upper resin product on the side far from the main body pedestal 500a in the lower part of the focusing tube 1 that functions as the fluid transport pipe 502. Since the process fluid 400a is conducted to the tube 10a, the influence of the operating heat generated from the main body pedestal 500a is absorbed by the liquid heat medium 400b, which does not affect the process fluid 400a that requires temperature adjustment accuracy. .

なお、熱交換器として機能する流体輸送配管502を構成する集束チューブ1の上段樹脂製チューブ10aには個々に異なるプロセス流体400aを導通させてもよい。また、例えば、左端の下段樹脂製チューブ10bには温かい液状熱媒体400bを導通させ、右端の下段樹脂製チューブ10bには冷たい液状熱媒体400bを導通させるなど、下段樹脂製チューブ10bに互いに異なる様々な温度の液状熱媒体400bを導通させてもよい。   Note that different process fluids 400a may be individually conducted to the upper resin-made tubes 10a of the focusing tube 1 constituting the fluid transport pipe 502 functioning as a heat exchanger. In addition, for example, the lower resin tube 10b is electrically connected to the lower resin tube 10b at the left end, and the cold liquid heat medium 400b is electrically connected to the lower resin tube 10b at the right end. The liquid heat medium 400b having a proper temperature may be conducted.

このように、様々な温度分布の管理が可能となり、極めて汎用性が高く、品質の安定した熱交換器を得ることができる。したがって、集束チューブ1で構成する流体輸送配管502は、温調を要する半導体や液晶の製造するための装置において、熱交換器として機能させることができ、汎用性が高い。   In this way, it is possible to manage various temperature distributions, and it is possible to obtain a heat exchanger that is extremely versatile and stable in quality. Therefore, the fluid transport pipe 502 formed by the focusing tube 1 can function as a heat exchanger in an apparatus for manufacturing a semiconductor or liquid crystal that requires temperature control, and is highly versatile.

なお、図12(b)に示すように、上段樹脂製チューブ10aや下段樹脂製チューブ10bのいずれかに電気配線400cを導通させてもよい。これにより、流体滴下部501の移動にともなって移動する電気配線400cが露出せず、他の機構に引っ掛かったりして断線するおそれが無く、より好適である。   In addition, as shown in FIG.12 (b), you may make the electrical wiring 400c conduct to either the upper resin tube 10a or the lower resin tube 10b. Thereby, the electrical wiring 400c that moves with the movement of the fluid dropping unit 501 is not exposed, and there is no fear of being disconnected by other mechanisms, which is more preferable.

以上、本発明の構成と、前述の実施態様との対応において、
樹脂製チューブは、樹脂製チューブ10、上段樹脂製チューブ10a及び下段樹脂製チューブ10bに対応し、
以下同様に、
導通対象物は、流体400、プロセス流体400a、液状熱媒体400b及び電気配線400cに対応し、
離間治具は、離間部形成プレート200に対応するも、上記実施形態に限定するものではない。
As described above, in the correspondence between the configuration of the present invention and the above-described embodiment,
The resin tubes correspond to the resin tube 10, the upper resin tube 10a, and the lower resin tube 10b,
Similarly,
The conduction object corresponds to the fluid 400, the process fluid 400a, the liquid heat medium 400b, and the electric wiring 400c,
The separation jig corresponds to the separation portion forming plate 200, but is not limited to the above embodiment.

例えば、上述の説明において、幅方向Wに密着させて12本の下段樹脂製チューブ10bと、11本の上段樹脂製チューブ10aとで略台形状に構成した集束チューブ1について説明したが、この本数に限定されず、その他の本数や、略円形状に樹脂製チューブ10を並列配置してもよい。また、左右非対称に配置してもよい。このように、樹脂製チューブ10をさまざまな配置で配置することによって、導通する流体400の用途に応じて導通させることができる。また、樹脂製チューブ10の内部空間10cに、装置における吸排気のための気体を導通対象物として導通させてもよい。   For example, in the above description, the focusing tube 1 configured in a substantially trapezoidal shape with 12 lower resin tubes 10b and 11 upper resin tubes 10a in close contact with each other in the width direction W has been described. However, the resin tubes 10 may be arranged in parallel in other numbers or in a substantially circular shape. Moreover, you may arrange | position asymmetrically. Thus, by arranging the resin tube 10 in various arrangements, it is possible to conduct according to the application of the fluid 400 to be conducted. Moreover, you may make the gas for intake / exhaust in an apparatus conduct to the internal space 10c of the resin tube 10 as a conduction object.

1…集束チューブ
2…並行融着部
3…チューブ離間部
10…樹脂製チューブ
10a…上段樹脂製チューブ
10b…下段樹脂製チューブ
20…樹脂製熱収縮チューブ
100…融着金型
200…離間部形成プレート
400…流体
400a…プロセス流体
400b…液状熱媒体
400c…電気配線
m…密着部分
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Converging tube 2 ... Parallel fusion part 3 ... Tube separation part 10 ... Resin tube 10a ... Upper stage resin tube 10b ... Lower stage resin tube 20 ... Resin heat shrinkable tube 100 ... Fusion mold 200 ... Separation part formation Plate 400 ... fluid 400a ... process fluid 400b ... liquid heat medium 400c ... electrical wiring m ... contact portion

Claims (1)

可撓性を有する変性PTFE樹脂製チューブで構成、導通対象物の導通を許容する断面円環状の樹脂製チューブを、互いに隣接するように方向に複数並列配置するとともに、幅方向に複数並列配置した樹脂製チューブの間に配置されるように、幅方向に複数並列配置した樹脂製チューブを高さ方向に並列配置し、隣り合う樹脂製チューブの密着部分を熱融着によって一体化させて並行融着部を構成するとともに、
該並行融着部に、端部同士が両側ともに略同位置となるように、前記樹脂製チューブの融点より収縮温度の低い樹脂製熱収縮チューブを外嵌し、
前記樹脂製チューブ及び収縮後の前記樹脂製熱収縮チューブが、可撓性及び伸縮性のうち少なくとも一方を有し、
前記並行融着部を、前記樹脂製チューブにおける両端の所定範囲より長手方向中央側部分に構成し、
前記並行融着部の長手方向両端部側に、隣り合う樹脂製チューブの密着部分が熱融着せず、相互に離間するチューブ離間部を構成した集束チューブにおけるいずれかの樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部にプロセス流体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部にプロセス流体送出管を接続して、導通対象物としてプロセス流体の導通を許容するとともに、
前記プロセス流体の導通を許容する前記樹脂製チューブに隣接する樹脂製チューブの一端側のチューブ離間部に流体状熱媒体供給管を接続し、他端側のチューブ離間部に流体状熱媒体送出管を接続して、導通対象物として液状熱媒体の導通を許容し、
前記並行融着部を前記高さ方向に湾曲させた湾曲部が、曲率を維持したまま長手方向に移動する
樹脂製熱交換器。
Flexible constituted by modified PTFE resin tube having a cross-section annular resin tube that allows the conduction of the conduction object, with a plurality arranged in parallel in the width direction so as to be adjacent to each other, a plurality parallel in the width direction A plurality of resin tubes arranged in parallel in the width direction are arranged in parallel in the height direction so as to be arranged between the arranged resin tubes, and the adhering portions of adjacent resin tubes are integrated by heat sealing. While configuring the parallel fusion part,
To the parallel fusion part, externally fit a resin heat shrinkable tube having a shrinkage temperature lower than the melting point of the resin tube so that the ends are substantially at the same position on both sides,
The resin tube and the resin heat-shrinkable tube after shrinkage have at least one of flexibility and stretchability,
The parallel fusion part is configured in a central part in the longitudinal direction from a predetermined range at both ends of the resin tube,
Adjacent portions of the resin tubes adjacent to each other in the longitudinal direction of the parallel fusion portions are not thermally fused , and one end side of any of the resin tubes in the converging tube constituting the tube separation portions that are separated from each other . The process fluid supply pipe is connected to the tube separation portion, the process fluid delivery pipe is connected to the tube separation portion on the other end side, and the conduction of the process fluid is allowed as a conduction object,
A fluid heat medium supply pipe is connected to a tube spacing portion on one end side of the resin tube adjacent to the resin tube allowing the process fluid to be conducted, and a fluid heat medium delivery tube is connected to the tube spacing portion on the other end side. To allow conduction of the liquid heat medium as a conduction object,
The bending portion obtained by bending the parallel fusion portion in the height direction moves in the longitudinal direction while maintaining the curvature.
Resin heat exchanger.
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