JP5189062B2 - 半導体装置製造用金型、半導体装置の製造方法、および半導体装置 - Google Patents
半導体装置製造用金型、半導体装置の製造方法、および半導体装置 Download PDFInfo
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Description
5 半導体装置
10 上型(第一の型)
20 下型(第二の型)
21 キャビティ
22 アウターリード位置合わせ部
23 取付孔形成凸部
24 周縁隆起部
25 隆起部
26 フラット部
27 放射状線
28 エアーベント
29 ゲート
50 半導体パッケージ
51 リードフレーム
51a チップ搭載部
51b リード部
51c フィン部
54 取付孔
55 陥没部
Claims (9)
- 製造される半導体装置の表面側を形成する第一の型と裏面側を形成する第二の型の二つを合わせることで形成されるキャビティの内部に、半導体チップを実装したリードフレームをキャビティの厚み方向の中心から第二の型側に偏在するように挾持し、封止樹脂を注入することで半導体パッケージを形成する半導体装置製造用金型であって、
前記第二の型の内面において、製造される半導体装置の裏面を形成する面の任意の位置に、前記挾持されたリードフレームと前記半導体装置の裏面を形成する面との間の距離並びに、前記封止樹脂の硬化時の収縮率に応じて設定される高さの隆起部を設け、前記任意の位置から前記第二の型内の外周部に向けて放射状に線を引くことで、前記隆起部を多面型に形成したことを特徴とする半導体装置製造用金型。 - 前記第二の型の内面外周部の各頂点から、各辺の中間点に向けて、前記隆起部より低い高
さまで勾配が設けられていることを特徴とする、請求項1記載の半導体装置製造用金型。 - 前記隆起部の中心にはフラット部が形成されており、前記放射状の線は、前記フラット部
周縁の所定の位置から引かれていることを特徴とする、請求項1又は2記載の半導体装置
製造用金型。 - 前記フラット部は多角形であり、前記フラット部周縁の所定の位置が、前記多角形のそれ
ぞれの頂点であることを特徴とする請求項3記載の半導体装置製造用金型。 - 半導体装置の裏面側を形成する第二の型の内面の任意の位置を隆起させ、前記任意の位置
から前記第二の型内の外周部に向けて放射状に線を引くことで、多面型の形状を持った隆
起部を設けた樹脂封止用金型を用意する工程と、製造される半導体装置の表面側を形成す
る第一の型と裏面側を形成する第二の型を合わせて形成するキャビティの、厚み方向の中
心から第二の型側に偏在するように半導体チップが実装されているリードフレームを挾持
する工程と、溶融した封止樹脂を前記キャビティ内に注入する工程とを有することを特徴
とする半導体装置の製造方法。 - 前記第二の型の内面外周部の各頂点から、各辺の中間点に向けて、前記隆起部より低い高
さまで勾配が設けられている樹脂封止用金型を用いることを特徴とする請求項5記載の半
導体装置の製造方法。 - 前記隆起部の中心にはフラット部が形成されており、前記フラット部周縁の所定の位置か
ら、前記放射状の線が引かれている樹脂封止用金型を用いることを特徴とする請求項5又
は6記載の半導体装置の製造方法。 - 前記フラット部は多角形であり、前記フラット部周縁の所定の位置を、前記多角形のそれ
ぞれの頂点とした樹脂封止用金型を用いることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置
の製造方法。 - 請求項5から8の製造方法で製造されることを特徴とする半導体装置。
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JP2009259407A JP5189062B2 (ja) | 2009-11-13 | 2009-11-13 | 半導体装置製造用金型、半導体装置の製造方法、および半導体装置 |
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JP2011108699A JP2011108699A (ja) | 2011-06-02 |
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- 2009-11-13 JP JP2009259407A patent/JP5189062B2/ja active Active
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