JP5169343B2 - コーティング形成方法、コーティング形成装置および重合方法 - Google Patents
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Description
図4に示す構造のコーティング形成装置を形成した。即ち、コーティング形成材料の飽和蒸気形成手段22としてコーティング形成材料の蒸発器、キャリアガス供給手段23としてキャリアガスのボンベ、コーティング形成材料含有ガスの形成手段24として混合容器を用いた。尚、飽和蒸気形成手段22としてのコーティング形成材料の蒸発器は、図8に示されるように、コーティング形成材料を蒸発させるための加熱手段55とその加熱温度の制御手段(図示せず)が備えられており、更に、蒸発したコーティング形成材料の飽和蒸気をコーティング形成材料含有ガス形成手段24へ供給するのを助けるために、コーティング形成材料の蒸気が飽和状態を維持する範囲内で少量のキャリアガスを蒸発器に供給する手段50等も備えている。
また、誘電体バリア型の大気圧プラズマ放電の発生手段25として、反応管34としては石英ガラス管を用い、外径を8mm、内径を5mmに形成し、電極32と電極33は銅製であって、各電極の幅(反応管34に対して平行方向の長さ)、高圧電極となる電極32、接地電極となる電極33、および電極32と電極33の間隔を適宜設定し、電極32および電極33を冷却する冷媒としては純水を用いたものを使用した。飽和蒸気形成手段22、キャリアガス供給手段23、コーティング形成材料含有ガスの形成手段24および誘電体バリア型大気圧プラズマ放電の発生手段25間を配管で連結し、飽和蒸気形成手段22、コーティング形成材料含有ガスの形成手段24および誘電体バリア型大気圧プラズマ放電の発生手段25間の、導入手段28等の配管を、コーティング形成材料の再凝縮を防止するために加熱保温した。コーティング形成材料含有ガスの導入手段28により、矢印A3の方向に導入されたコーティング形成材料含有ガス中のコーティング形成材料をプラズマ重合させて基板21上に堆積させることによって基板21上にコーティング形成材料のコーティングを形成するための、コーティング形成手段29として、内径5mmで長さ120mmの円筒状の吹き出し菅を用いた。尚、コーティング形成材料含有ガス形成手段24から矢印A4の方向への導入手段28は採用せずに、形成手段24から矢印A3の方向への導入手段28のみを採用した。また、コーティング形成に合わせて基板21を走行させるための基板走行手段(図示せず)も備えた。
図3に示す構造のコーティング形成装置を形成した。即ち、上記の実施例1において、図4に示す構造のコーティング形成装置におけるキャリアガス供給手段23とコーティング形成材料含有ガスの形成手段24を除いたこと以外は、上記の実施例1に示すコーティング形成装置と同様の構造のコーティング形成装置を形成した。尚、図3において、コーティング形成材料の飽和蒸気形成手段2から矢印A1の方向への導入手段8は採用せずに、飽和蒸気形成手段2から矢印A2の方向への導入手段8のみを採用した。
2、22 飽和蒸気形成手段
5、25 誘電体バリア型大気圧プラズマ放電の発生手段
6、26 プラズマ放電
8、28 導入手段
9、29 コーティング形成手段
12、13、32、33 電極
14、34 反応管
15、35 放電空間
18、38 プラズマ生成用ガスの供給手段
Claims (10)
- 基板上にコーティング形成材料のコーティングを形成する方法であって、
該コーティング形成材料の飽和蒸気を形成する、飽和蒸気形成工程、
該飽和蒸気形成工程において形成された該コーティング形成材料の飽和蒸気を、誘電体バリア型大気圧プラズマ放電から発生したイオン化ガス流の上流側と下流側に導入する、該コーティング形成材料飽和蒸気の導入工程、および
該導入工程において導入された該コーティング形成材料飽和蒸気中の該コーティング形成材料をプラズマ重合させて該基板上に堆積させることによって該基板上にコーティングを形成する、コーティング形成工程
を含む、コーティング形成方法。 - 基板上にコーティング形成材料のコーティングを形成する方法であって、
該コーティング形成材料の飽和蒸気を形成する、飽和蒸気形成工程、
該飽和蒸気形成工程において形成された該飽和コーティング形成材料の飽和蒸気をキャリアガスと混合してコーティング形成材料含有ガスを形成する、コーティング形成材料含有ガスの形成工程、
該形成工程において形成された該コーティング形成材料含有ガスを、誘電体バリア型大気圧プラズマ放電から発生したイオン化ガス流の上流側と下流側に導入する、該コーティング形成材料含有ガスの導入工程、および
該導入工程において導入された該コーティング形成材料含有ガス中の該コーティング形成材料をプラズマ重合させて該基板上に堆積させることによって該基板上にコーティングを形成する、コーティング形成工程
を含む、コーティング形成方法。 - 前記飽和蒸気形成工程が、該コーティング形成材料の液体から該コーティング形成材料の飽和蒸気を形成するものである、請求項1または2に記載のコーティング形成方法。
- 前記コーティング形成材料が、有機ケイ素化合物である、請求項1〜3のいずれか一項に記載のコーティング形成方法。
- 前記コーティング形成材料含有ガスの形成工程が、前記コーティング形成材料の飽和蒸気を前記キャリアガスに一定比率で混合させるものである、請求項2〜4のいずれか一項に記載のコーティング形成方法。
- 基板(1)上にコーティング形成材料のコーティングを形成するためのコーティング形成装置であって、
該コーティング形成材料の飽和蒸気を形成するための、飽和蒸気形成手段(2)、
誘電体バリア型の大気圧プラズマ放電の発生手段(5)、
該飽和蒸気形成手段(2)によって形成された該コーティング形成材料の飽和蒸気を、該誘電体バリア型の大気圧プラズマ放電の発生手段(5)により発生したイオン化ガス流(7)の上流側と下流側に導入するための、該コーティング形成材料飽和蒸気の導入手段(8)、および
該コーティング形成材料飽和蒸気の導入手段(8)により導入された該コーティング形成材料飽和蒸気中の該コーティング形成材料をプラズマ重合させて該基板(1)上に堆積させることによって該基板(1)上に該コーティング形成材料のコーティングを形成するための、コーティング形成手段(9)
を含む、コーティング形成装置。 - 基板(21)上にコーティング形成材料のコーティングを形成するためのコーティング形成装置であって、
該コーティング形成材料の飽和蒸気を形成するための、飽和蒸気形成手段(22)、
キャリアガス供給手段(23)、
該飽和蒸気形成手段(22)によって形成された該コーティング形成材料の飽和蒸気を該キャリアガス供給手段(23)からのキャリアガスと混合してコーティング形成材料含有ガスを形成するための、コーティング形成材料含有ガスの形成手段(24)、
誘電体バリア型の大気圧プラズマ放電の発生手段(25)、
該コーティング形成材料含有ガスの形成手段(24)によって形成された該コーティング形成材料含有ガスを、該誘電体バリア型の大気圧プラズマ放電の発生手段(25)により発生したイオン化ガス流(27)の上流側と下流側に導入するための、該コーティング形成材料含有ガスの導入手段(28)、および
該コーティング形成材料含有ガスの導入手段(28)により導入された該コーティング形成材料含有ガス中の該コーティング形成材料をプラズマ重合させて該基板(21)上に堆積させることによって該基板(21)上に該コーティング形成材料のコーティングを形成するための、コーティング形成手段(29)
を含む、コーティング形成装置。 - 前記コーティング形成材料が有機ケイ素化合物である、請求項6または7に記載のコーティング形成装置。
- 有機ケイ素化合物を重合する方法であって、
該有機ケイ素化合物の飽和蒸気を形成する、飽和蒸気形成工程、
該飽和蒸気形成工程において形成された該有機ケイ素化合物の飽和蒸気を、誘電体バリア型大気圧プラズマ放電から発生したイオン化ガス流の上流側と下流側に導入する、該有機ケイ素化合物飽和蒸気の導入工程、および
該導入工程において導入された該有機ケイ素化合物飽和蒸気中の該有機ケイ素化合物をプラズマ重合させる、プラズマ重合工程
を含む、重合方法。 - 有機ケイ素化合物を重合する方法であって、
該有機ケイ素化合物の飽和蒸気を形成する、飽和蒸気形成工程、
該飽和蒸気形成工程において形成された該有機ケイ素化合物の飽和蒸気をキャリアガスと混合して有機ケイ素化合物含有ガスを形成する、有機ケイ素化合物含有ガスの形成工程、
該形成工程において形成された該有機ケイ素化合物含有ガスを、誘電体バリア型大気圧プラズマ放電から発生したイオン化ガス流の上流側と下流側に導入する、該有機ケイ素化合物含有ガスの導入工程、および
該導入工程において導入された該有機ケイ素化合物含有ガス中の該有機ケイ素化合物のプラズマ重合させる、プラズマ重合工程
を含む、重合方法。
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