JP5167938B2 - パッキンのシール構造 - Google Patents
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Description
前記シール面に直交する断面上で、前記一方及び他方のシール面にそれぞれ開口し少なくとも一部が互いに対向する、一組の断面コの字形パッキン溝が形成され、該パッキン溝は、溝の中心線が互いに一致せず、かつ少なくとも低圧雰囲気側において一方が他方に対して相対的に張り出して構成され、
前記パッキン溝の互いに対向する領域で両パッキン溝により挟持させて収容した前記パッキンを、高圧雰囲気側の気体分子によって低圧雰囲気側へ押し動かし、低圧雰囲気側に張り出した一方のパッキン溝(パッキン溝A)の底面と、該パッキン溝Aの低圧雰囲気側の側面と、他方のパッキン溝(パッキン溝B)の底面と、該パッキン溝Bの溝口の低圧雰囲気側の縁角と、に当接させ押し潰し変形させてシールすることを特徴とする。
図1は、装置分解時等、パッキン溝を挟む前後の雰囲気に圧力差が生じていない状態における、本発明のパッキンのシール構造を示す模式的部分断面図である。図2は、装置稼動時等、パッキン溝を挟む前後の雰囲気に圧力差が生じ、その2つの雰囲気がパッキンによって隔離され、シール状態が完成した様子を示す模式的部分断面図である。図1、図2はまた、図12に示す装置のシール部を拡大して示したもので、共に、左右対称の片側(左側)について示してあり、他方側を省略してある。なお、各構成部材の縦横の寸法比率、シール面とシール面の間の間隙の大きさ等については、実際通りではなく適宜誇張して描画してある。(図3以降の図についても同様。)
11…パッキン
12…窓枠部材
13…シール面
14…パッキン溝(パッキン溝A)
14A…パッキン溝の底面
14B、14C…パッキン溝の側面
15…筐体
16…シール面
17…パッキン溝(パッキン溝B)
17A…パッキン溝の底面
17B、17C…パッキン溝の側面
14K、17K…パッキン溝の溝口の縁角
18…入口
19…出口
20…間隙
21…高圧雰囲気
22…低圧雰囲気(大気)
25…締め付けねじ部
30…照射窓板
51…パッキン
52…筐体
53…シール面
54…パッキン溝
54A…パッキン溝の底面
54B、54C…パッキン溝の側面
55…窓枠部材
56…シール面
57…入口
58…出口
60…間隙
61…高圧雰囲気
62…低圧雰囲気(大気)
70…照射窓板
81…パッキン
82…窓枠部材
83…シール面
84、87…パッキン溝
84A、87A…パッキン溝の底面
84B、84C、87B、87C…パッキン溝の側面
84K、87K…パッキン溝の溝口の縁角
88…入口
89…出口
90…間隙
91…高圧雰囲気
92…低圧雰囲気(大気)
95…照射窓板
100…オゾン洗浄装置
111…パッキン
112…窓枠部材
113…シール面
114…パッキン溝
114A…パッキン溝の底面
115…筐体
116…シール面
117…パッキン溝
117A…パッキン溝の底面
117K…パッキン溝の溝口の縁角
118…入口
119…出口
120…間隙
121…高圧雰囲気
122…低圧雰囲気(大気)
Claims (3)
- 圧力差のある2つの雰囲気が、互いに接する一方及び他方のシール面を断面矩形の弾性パッキンを用いてシールすることによって隔離されるパッキンのシール構造であって、
前記シール面に直交する断面上で、前記一方及び他方のシール面にそれぞれ開口し少なくとも一部が互いに対向する、一組の断面コの字形パッキン溝が形成され、該パッキン溝は、溝の中心線が互いに一致せず、かつ少なくとも低圧雰囲気側において一方が他方に対して相対的に張り出して構成され、
前記パッキン溝の互いに対向する領域で両パッキン溝により挟持させて収容した前記パッキンを、高圧雰囲気側の気体分子によって低圧雰囲気側へ押し動かし、低圧雰囲気側に張り出した一方のパッキン溝(パッキン溝A)の底面と、該パッキン溝Aの低圧雰囲気側の側面と、他方のパッキン溝(パッキン溝B)の底面と、該パッキン溝Bの溝口の低圧雰囲気側の縁角と、に当接させ押し潰し変形させてシールすることを特徴とするパッキンのシール構造。 - シール時に前記パッキンが押し潰されて減少する体積の割合はパッキン全体の10%以内であることを特徴とする請求項1記載のパッキンのシール構造。
- 前記パッキンは、断面長方形で、その断面における長辺に対する短辺の長さの比が8%〜13%であり、前記パッキン溝は、前記シール面に直交する断面上における、底辺の長さに対する深さの比が0.7%〜8%であることを特徴とする請求項1または2記載のパッキンのシール構造。
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