JP5142912B2 - アーク放電方法、アーク放電装置、石英ガラスルツボ製造装置 - Google Patents
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Description
このようにアーク放電開始時に電極震動が発生した場合、これに伴って、アーク中を流れる電流が変化し、この電流変化によってさらに電極を振動させ、結果的に発生した電極振動の振幅が大きくなる。その結果、発生するアークが不安定になり、溶融する石英粉状態に与える無視できなくなるという問題がある。さらに、電極振動が大きくなった場合、振動により電極から発生した微少片が落下して石英ガラスルツボ特性が悪化するという問題があった。また、電極振動の振幅が増大した場合には電極が破損する可能性があるという問題があった。
なお、このような電極振動による影響はルツボ口径の増大に伴うアーク溶融の出力増大によって初めて発生したものである。
1.電極振動の発生を防止すること。
2.アークの安定化を図ること。
3.ルツボ特性の悪化を防止し、その向上を図ること。
4.大出力アーク溶融に対応可能な方法および装置を提供すること。
アーク放電開始時に前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0〜0.9の範囲となるよう設定することにより上記課題を解決した。
本発明本発明において、前記炭素電極における電力密度を40kVA/cm2 〜1,700kVA/cm2に設定することがより好ましい。
本発明本発明のアーク放電装置は、300kVA〜12,000kVAの出力範囲で、複数の炭素電極によりアーク放電によって非導電性対象物を加熱溶融する装置であって、
前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0.001〜0.9の範囲となるよう前記炭素電極が配置されてなることにより上記課題を解決した。
また、また、本発明において、前記炭素電極における電力密度が40kVA/cm2 〜1,700kVA/cm2に設定されてなることができる。
また、また、前記炭素電極には、前記接触位置を含む接触部分が先端に設けられ、該接触部分の形状が、先端に向かって縮径する円錐、円錐台、または、該炭素電極の軸線に沿った断面輪郭において曲率不連続点が存在しない曲線となる形状とされてなる手段を採用することもできる。
本発明本発明においては、前記炭素電極は、その径寸法とアーク放電単位分当たりに消耗する長さ寸法との比が0.02〜0.6の範囲となるよう設定されてなることが望ましい。
本発明の石英ガラスルツボ製造装置は、原料粉末をルツボ成形用のモールド内に成形し、その成形体をアーク放電によって加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する装置であって、
原料粉を充填して成形するモールドと、上記のいずれか記載のアーク放電装置をとを有してなることを特徴とすることができる。
アーク放電開始時に前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0〜0.9の範囲となるよう設定することで、アーク放電時に発生する電極震動の振幅が電極直径の0.15倍より大きくなることを防止して、たとえ電極振動が発生してもそれ以上拡大せずに収束し、電極振動が収まって安定したアークを発生させることが可能となる。
これに対し、アーク放電中に炭素電極で発生した振動の振幅が電極直径の0.15倍より大きい場合には、電極振動が増大し続け、結果的に電極破損に至る可能性がある。従って、電極振動振幅を上記の範囲に収めるよう、振動発生時におけるローレンツ力の許容限界を制御するために、以下のように設定したものである。
供給電力量(kVA)/電極断面積(cm2 )
で表され、具体的には、20mmの位置における電極径寸法としてはφ20〜40mm、好ましくはφ25〜35mm、より好ましくはφ30mmとして上記の範囲を設定することができる。
前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0〜0.9の範囲となるよう前記炭素電極が配置されてなることにより、24インチ以上の石英ガラスルツボの製造時に熱源として使用する高出力のアーク放電装置において、アーク放電時に発生する電極震動の振幅が電極直径の0.15倍より大きくなることを防止して、たとえ電極振動が発生してもそれ以上拡大せずに収束し、石英ガラスルツボの品質に影響を与える電極振動の拡大を防止して、安定したアークを発生させ、製造する石英ガラスルツボの品質を向上することが可能となる。
出力範囲が、上記の範囲より小さいとアークが継続しない可能性があるため好ましくなく、上記の範囲より大きいとコストがかかる過ぎるため好ましくない。また、接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率が上記の範囲以外だと電極振動を防止できないため好ましくない。また、電極どうしを先端で接触させた場合に電極形状から電極軸線どうしの角度が好ましい範囲とならない場合には、接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率を0.001〜0.9の範囲とすることができる。なお、上記の範囲における接触位置と電極先端との距離は、50mm以下0mm以上、より好ましくは20mm以下0mm以上であれば良好なアーク発生をおこなうことができる。
前記炭素電極は、複数本設けられ、それぞれが先端の接触部分のみで、接触可能に設けられている。具体的には、それぞれの炭素電極の先端が頂点を形成するように電極の本数に応じた多角錐の稜線となる状態に配置されることができる。また、電極先端の接触部分は、アーク放電を容易にし、かつ、電極振動を防止するために、先端に向けて縮径されている。これにより、電極振動の発生しやすい電極側面での放電を防止することができ、電極先端部分である凹みのない接触部分からのみ放電をおこなって、安定したアーク火炎の発生と電極振動の防止とを同時に実現することが可能となる。
ここで、向上することのできるルツボ特性とは、ルツボ内表面におけるガラス化状態、および、厚さ方向における気泡分布及び気泡の大きさ、OH基の含有量、不純物分布、表面の凹凸および、これらのルツボ高さ方向における不均一などの分布状態など、石英ガラスルツボで引き上げた半導体単結晶の特性に影響を与える要因を意味するものである。
図1は、本実施形態におけるアーク放電装置を示す模式側面図であり、図において、符号1は、アーク放電装置である。
炭素電極13,13,13は、例えば、交流3相(R相、S相、T相)のアーク放電をおこなうよう同形状の電極棒とされ、図1,図2に示すように、下方に頂点を有するような逆三角錐状となるように、それぞれの軸線13Lが角度θ1をなすようにそれぞれが設けられている。
炭素電極13は略円柱棒状体とされて、図2,図3に示すように、先端13aには、これら炭素電極13どうしを接触させる接触位置13bを含む接触部分13cが設けられ、該接触部分13cの形状が先端13aに向かって縮径する円錐台部分を有して先端13aの先端面13dと縮径部である側周面13eとを有するものとされる。
もちろん、これらは、炭素電極13の軸線13Lどうしの角度θ1および側周面13eが炭素電極13の軸線13Lとなす角度θ2に依存するので、上記の条件を満たすように、これらの範囲が設定されることになる。
これは、アーク放電の出力と、石英ガラスルツボの口径(大きさ)によって規定される溶融するべき原料粉の量と、溶融処理の温度等の条件と、必要なアーク放電持続時間と、必要な電極強度とから炭素電極13の径寸法Rが決定されるが、これに加えて、電極振動発生防止の観点から、炭素電極13の径寸法Rへの規定をおこなうものである。
具体的には、32インチの石英ガラスルツボの製造においては、60分で120mm程度、つまり、1分あたり2mm程度であり、この際の炭素電極13の径寸法Rは、20〜30〜100〜120mmとなる。
なお、図には左端の炭素電極13のみに支持部21等を示しているが、他の電極も同様の構成によって支持されており、個々の炭素電極13の高さも個別に制御可能とすることができる。
本実施形態のアーク放電方法においては、図5に示すように、電極初期位置設定工程S1、電力供給開始工程S2、電極距離拡大工程S3、電極距離調整工程S4、電極高さ設定工程S5、電力供給終了工程S6を有するものとされる。
また、図4に示す時刻t3から、電極位置設定手段20により電極間距離Dをさらに拡大する制御をおこなうこともできる。
また、電極振動の振幅が炭素電極13径径寸法Rの0.10倍より大きくしないよう制御した場合には、図4に示す時刻t1から8sec以内に電極振動を収束させることができる。
また、電極震動の振幅が炭素電極13径径寸法Rの0.05倍より大きくしないよう制御した場合には、図4に示す時刻t1から4sec以内に電極振動を収束させることができる。
本発明の炭素電極としては、図6(a)に示すように、炭素電極13Aの基部から先端13aに連続的に縮径し、基部の径寸法R1に対し先端13aの径寸法R2が小さく設定されており、その全長に渡る側面13fが円錐台となっているものや、図6(b)に示すように、炭素電極13Bの先端13aにおける接触部分13cが、炭素電極13の軸線13Lに沿った断面輪郭において曲率不連続点が存在しない曲線、例えば楕円弧とされる形状や、図6(c)に示すように、炭素電極13Bの先端13aにおける接触部分13cが、その基部が均一径部に連続する円錐台の側周面13hとされるとともに、この円錐台より先端13a側が、この円錐台となめらかに連続し、かつ、炭素電極13の軸線13Lに沿った断面輪郭において曲率不連続点が存在しない曲線、例えば楕円弧、あるいは円弧とされる形状や、図6(d)に示すように、炭素電極13Dの基部から先端13aに連続的に縮径する円錐状となっているものが可能である。
ここで、図6(a)、図6(d)に示すように接触部分13cにおける基部側の径寸法と電極そのものの基部の径寸法R1が異なるものにおいて、上記の比L1/Rの範囲等を設定する場合には、電極径寸法Rが、図示するように、電極軸線13L方向において接触部分13cにおける基部側位置、つまり電極先端13aから長さL1における直径寸法として設定される。
ルツボ口径;32インチ
出力;3,000kVA
処理時間;30分
電極形状;先端円錐台
θ1;16°
θ2;7°
炭素電極径寸法R;70mm
接触部分長さL1;50mm
接触位置L2;電極先端から10mm
炭素電極における電力密度;30、50、800、1200、1800、2000kVA/cm2
また、炭素電極における電力密度;800,1200kVA/cm2 の場合には、電極振動が炭素電極径寸法Rの0.15倍以内となり、図4(b)に模式的に示すように、発生した振動が収束したが、電力密度;1800、2000kVA/cm2 の場合には、電極振動が炭素電極径寸法Rの0.15倍より大きくなり、図4(c)に模式的に示すように、発生した振動が増大し始めたため、ルツボ製造を停止した。
ルツボ口径;32インチ
出力;3,000kVA
処理時間;30分
電極形状;先端円錐台
θ1;16°
θ2;7°
炭素電極径寸法R;70mm
接触部分長さL1;50mm
炭素電極における電力密度;800kVA/cm2
その結果を表1に示す。
なお、表1、表2において、不合格とは、アーク放電状態に起因する不具合として、ルツボの肉厚寸法、外径寸法が所望の状態になるまで溶融処理がおこなえなかったこと、あるいは、形状は所定寸法になったとしてもアーク溶融が不十分で、ルツボ内表面付近の無気泡層とする部分において気泡率が充分な割合まで低減しないなど、単結晶引き上げには使用できないルツボ特性となったことを意味するものであり、合格とは、形状、内表面状態などのルツボ特性ともに、所望の基準を満たすようにルツボが製造されたことを意味するものである。
電極先端形状を図6(a)〜(d)に示す形状として、L2を変化させた実験例と同様の条件として、L2を電極先端から10mmとしてアーク放電させ、その際の電極振幅と電極直径との比を求めた。放電状態とともにその結果を記載する。
放電方向:電極先端面13aから下側方向(電極軸線方向)への放電
電極の振幅/電直直径:0.15より小さい
アーク切れ/電極落下:無
放電方向:不平等電界による側面放電(側周面13eでの放電)
電極の振幅/電直直径:0.15より大きい
アーク切れ/電極落下:有
電極径寸法とアーク放電単位分当たりに消耗する長さ寸法との比を1.8から87.5まで変化させて、L2を変化させた実験例と同様の条件として、L2を電極先端から10mmとしてアーク放電させ、その際の電極振幅と電極直径との比を求めた。放電状態とともにその結果を記載する。
Claims (7)
- 300kVA〜12,000kVAの出力範囲で、複数の炭素電極によりアーク放電によって非導電性対象物を加熱溶融する方法であって、
アーク放電開始時に前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0.001〜0.9の範囲となるよう設定することを特徴とするアーク放電方法。 - 前記炭素電極における電力密度を40kVA/cm2〜1,700kVA/cm2に設定することを特徴とする請求項1記載のアーク放電方法。
- 300kVA〜12,000kVAの出力範囲で、複数の炭素電極によりアーク放電によって非導電性対象物を加熱溶融する装置であって、
前記炭素電極どうしを接触させる接触位置と先端との距離が前記炭素電極径に対する比率として0〜0.9の範囲となるよう前記炭素電極が配置されてなることを特徴とするアーク放電装置。 - 前記炭素電極における電力密度が40kVA/cm2 〜1,700kVA/cm2に設定されてなることを特徴とする請求項3記載のアーク放電装置。
- 前記炭素電極には、前記接触位置を含む接触部分が先端に設けられ、該接触部分の形状が、先端に向かって縮径する円錐、円錐台、または、該炭素電極の軸線に沿った断面輪郭において曲率不連続点が存在しない曲線となる形状とされてなることを特徴とする請求項3または4記載のアーク放電装置。
- 前記炭素電極は、その径寸法とアーク放電単位分当たりに消耗する長さ寸法との比が0.02〜0.6の範囲となるよう設定されてなることを特徴とする請求項3から5のいずれか記載のアーク放電装置。
- 原料粉末をルツボ成形用のモールド内に成形し、その成形体をアーク放電によって加熱溶融して石英ガラスルツボを製造する装置であって、
原料粉を充填して成形するモールドと、請求項3から5のいずれか記載のアーク放電装置と、を有してなることを特徴とする石英ガラスルツボ製造装置。
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