JP5126118B2 - Screen printing apparatus and screen printing method - Google Patents

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本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法に関するものである。   The present invention relates to a screen printing apparatus and a screen printing method for printing paste such as cream solder or conductive paste on a substrate.

電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法としてスクリーン印刷が用いられている。この方法は、印刷対象部位に応じてパターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させ、マスクプレート上にペーストを供給してスキージを摺動させることにより、パターン孔を介して基板上にペーストを印刷するものである。   In an electronic component mounting process, screen printing is used as a method for printing paste such as cream solder or conductive paste on a substrate. In this method, a mask plate provided with a pattern hole according to a printing target part is brought into contact with the substrate, a paste is supplied onto the mask plate, and a squeegee is slid on the substrate through the pattern hole. The paste is printed.

印刷作業中には、マスクプレートの下面側には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がマスクプレートの開口部に残留するなどの汚損が発生する。このようなクリーム半田による汚損は後続の基板への正常な印刷を妨げるため、これらのクリーム半田を除去するためのクリーニングを行う必要がある。   During the printing operation, cream solder that protrudes from the printed area on the substrate adheres to the lower surface of the mask plate, or cream solder that has not been completely transferred onto the substrate remains in the opening of the mask plate. Pollution occurs. Such contamination by cream solder hinders normal printing on the subsequent substrate, and therefore it is necessary to perform cleaning to remove these cream solders.

このため従来より、マスクプレートを下面側から専用のクリーニングぺーパを用いて拭き取ることによって残余のクリーム半田を除去するクリーニング機構を備えたスクリーン印刷装置が知られている(例えば特許文献1参照)。このクリーニング機構においては、ペーパロールから引き出されたクリーニングぺーパを、クリーニングヘッドによってマスクプレートの下面に押し当て、次いでクリーニングヘッドを水平移動させることにより、マスクプレートの下面はクリーニングペーパによって清拭される。ここで示す例では、クリーニングペーパを有効利用するため、クリーニングペーパの両面を使用するようにしている。
特開2005−199452号公報
For this reason, conventionally, a screen printing apparatus having a cleaning mechanism for removing residual cream solder by wiping the mask plate from the lower surface side using a dedicated cleaning paper is known (for example, see Patent Document 1). In this cleaning mechanism, the cleaning paper drawn from the paper roll is pressed against the lower surface of the mask plate by the cleaning head, and then the cleaning head is moved horizontally, whereby the lower surface of the mask plate is wiped by the cleaning paper. . In the example shown here, both sides of the cleaning paper are used in order to effectively use the cleaning paper.
JP 2005-199452 A

しかしながら、上述のようにクリーニングペーパをマスクプレートに対して押し付けてマスククリーニングを行う従来技術においては、その方式に起因して、以下のような課題があった。すなわち、クリーニングペーパはペーパロールに巻回された状態で供給されることから、1つのペーパロールによって供給される所定量のクリーニングペーパが使用済みとなる度に、ペーパロールを交換する必要がある。このため、連続してスクリーン印刷作業を継続する過程において、ペーパロールを交換するために所定頻度で装置停止を行うことが必要となり、生産性の低下を招く一つの要因となっていた。さらに、クリーニングペーパは使い捨てされることからランニングコストの低減が難しく、併せて資源の無駄を発生させることとなっていた。   However, in the prior art in which the cleaning is performed by pressing the cleaning paper against the mask plate as described above, there are the following problems due to the method. That is, since the cleaning paper is supplied while being wound around the paper roll, it is necessary to replace the paper roll every time a predetermined amount of cleaning paper supplied by one paper roll is used up. For this reason, in the process of continuing the screen printing operation continuously, it is necessary to stop the apparatus at a predetermined frequency in order to replace the paper roll, which is one factor that causes a decrease in productivity. Further, since the cleaning paper is disposable, it is difficult to reduce the running cost, and at the same time, waste of resources is generated.

そこで本発明は、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができるスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present invention is to provide a screen printing apparatus and a screen printing method capable of realizing reduction in running cost and improvement in productivity.

本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング機構は、前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給するクリーニング媒体循環手段と、前記循環経路に配設され前記クリーニングによって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃部と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記クリーニング媒体循環手段および前記媒体清掃部とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、前記媒体清掃部は、前記クリーニング媒体に対して前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面の反対側の面から気体を吹き付けることにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去するブロー手段と、前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面側から前記クリーニング媒体を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去する吸引手段と、前記分離・除去されたクリーニング対象物を捕集して回収する回収手段とを備えた。 The screen printing apparatus of the present invention is a screen printing for printing a paste on a substrate through the pattern hole by bringing the substrate into contact with a mask plate provided with a pattern hole and sliding a squeegee on the mask plate. And a cleaning mechanism for cleaning the mask plate by pressing a sliding medium formed of a porous material into a sheet shape against the lower surface of the mask plate by a cleaning head and sliding the screen. The cleaning mechanism includes a cleaning medium circulation unit that moves the cleaning medium along a predetermined circulation path and supplies the cleaning medium to the cleaning head, and a cleaning mechanism that is disposed in the circulation path and adheres to the cleaning medium by the cleaning. Exclude object A medium cleaning unit to a head lifting mechanism for raising and lowering the cleaning head, the cleaning head, the head elevating mechanism, and a cleaning head moving means for horizontally moving integrally with said cleaning medium circulation means and the medium cleaning unit The medium cleaning unit is configured to blow / blow off a gas from a surface opposite to a cleaning surface on which the cleaning object adheres to the cleaning medium, thereby separating / removing the cleaning object from the cleaning medium. And suction means for separating and removing the cleaning object from the cleaning medium by sucking the cleaning medium from the cleaning surface side to which the cleaning object adheres, and capturing the separated and removed cleaning object. Collect and collect And a recovery means.

本発明のスクリーン印刷方法は、パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させるスクリーン印刷部と、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて拭き取ることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有し、前記クリーニング機構は、前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給するクリーニング媒体循環手段と、前記循環経路に配設され、前記クリーニングによって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃部と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記クリーニング媒体循環手段および前記媒体清掃部とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、前記媒体清掃部は、前記クリーニング媒体に対して前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面の反対側の面から気体を吹き付けることにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去するブロー手段と、前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面側から前記クリーニング媒体を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去する吸引手段と、前記分離・除去されたクリーニング対象物を捕集して回収する回収手段とを備えた構成のスクリーン印刷装置によって、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、前記スクリーン印刷部によって前記基板にペーストを印刷する印刷動作を実行する印刷工程と、前記印刷実行工程が終了した後に、前記クリーニングヘッドを上昇させて前記クリーニング媒体を前記マスクプレートの下面に押し付けた状態で、前記クリーニングヘッドを水平移動させてマスクプレートの下面をクリーニングするマスククリーニング工程と、前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給しながら、前記媒体清掃部によって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃工程とを含む。 The screen printing method of the present invention includes a screen printing unit for bringing a substrate into contact with a mask plate provided with pattern holes and sliding a squeegee on the mask plate, and a cleaning medium in which a porous material is formed into a sheet shape. A cleaning mechanism that cleans the mask plate by wiping it against the lower surface of the mask plate by a cleaning head, and the cleaning mechanism moves the cleaning medium along a predetermined circulation path to the cleaning head. A cleaning medium circulation means for feeding to the medium, a medium cleaning unit that is disposed in the circulation path and removes an object to be cleaned attached to the cleaning medium by the cleaning, a head lifting mechanism that lifts and lowers the cleaning head, Cleanin The head, the head elevating mechanism, wherein a cleaning head moving means for horizontally moving integrally with the cleaning medium circulation means and the medium cleaning unit, the medium cleaning unit, the cleaning object to the cleaning medium Blowing means for separating and removing the cleaning object from the cleaning medium by blowing gas from the surface opposite to the cleaning surface to which the cleaning object adheres, and the cleaning medium from the cleaning surface side to which the cleaning object adheres By the screen printing apparatus having a configuration including a suction unit that separates and removes the cleaning object from the cleaning medium, and a collection unit that collects and collects the separated and removed cleaning object , Page to the substrate through the pattern hole A screen printing method for printing a paste, a printing step for executing a printing operation for printing a paste on the substrate by the screen printing unit, and raising the cleaning head after the printing execution step is finished to perform the cleaning With the medium pressed against the lower surface of the mask plate, the cleaning head moves horizontally to clean the lower surface of the mask plate, and the cleaning medium moves along a predetermined circulation path to move the cleaning head. And a medium cleaning step of removing a cleaning object adhered to the cleaning medium by the medium cleaning unit while feeding to the medium.

本発明によれば、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体をクリーニングヘッドによってマスクプレートの下面に押しつけて拭き取ることにより、マスクプレートをクリーニングするクリーニング機構において、クリーニング媒体をクリーニングヘッドに対して所定の循環経路を介して送給し回収するクリーニング媒体循環手段と、循環経路に配設されクリーニング媒体に付着もしくは含浸されたクリーニング対象物を除去する媒体清掃部とを備えることにより、装置停止を必要とせずにクリーニング媒体を繰り返し再使用して、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができる。   According to the present invention, in the cleaning mechanism that cleans the mask plate by pressing the cleaning medium formed of the porous material into a sheet shape against the lower surface of the mask plate by the cleaning head and wiping it off, the cleaning medium is predetermined with respect to the cleaning head. It is necessary to stop the apparatus by providing a cleaning medium circulating means for feeding and collecting through the circulation path and a medium cleaning section that is disposed in the circulation path and removes a cleaning object attached or impregnated with the cleaning medium. Instead, the cleaning medium can be repeatedly reused to reduce running costs and improve productivity.

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図、図2は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図、図3は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図、図4は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図、図5は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた媒体清掃部の構造説明図、図6は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の媒体清掃部に使用される液体循環部の構造説明図、図7は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の媒体清掃部の部分断面図、図8は本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法を示す動作説明図である。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a front view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view of the screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is an explanatory view of the configuration of the cleaning unit in the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 5 is a medium cleaning unit provided in the cleaning unit of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 6 is a structural explanatory diagram of a liquid circulation unit used in the medium cleaning unit of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a diagram of the screen printing apparatus according to the embodiment of the present invention. FIG. 8 is an operation explanatory view showing a screen printing method according to an embodiment of the present invention.

まず図1、図2、図3を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において
、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷部10を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上にZ軸テーブル5を載置して構成されている。Z軸テーブル5上には基板8を下面側から下受けして保持する基板保持部6が設けられている。上流側から搬入コンベア9A(図2)を介して搬入された基板8は印刷コンベア9によって基板保持部6上に搬入され、クランパ7によって両側から挟み込まれて位置が固定される。以下に説明するスクリーン印刷部10によって印刷された後の基板8は、搬出コンベア9B(図2参照)を介して下流側へ搬出される。
First, the structure of the screen printing apparatus will be described with reference to FIG. 1, FIG. 2, and FIG. In FIG. 1, the screen printing apparatus is configured by disposing a screen printing unit 10 above a substrate positioning unit 1. The substrate positioning unit 1 is configured by stacking a Y-axis table 2, an X-axis table 3, and a θ-axis table 4, and further placing a Z-axis table 5 thereon. On the Z-axis table 5, there is provided a substrate holder 6 that receives and holds the substrate 8 from the lower surface side. The substrate 8 carried in from the upstream side via the carry-in conveyor 9A (FIG. 2) is carried onto the substrate holding unit 6 by the printing conveyor 9, and is sandwiched from both sides by the clamper 7 to fix the position. The substrate 8 after being printed by the screen printing unit 10 described below is carried out to the downstream side via the carry-out conveyor 9B (see FIG. 2).

基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷部10は、マスク枠11に展張されたマスクプレート12を備えている。マスクプレート12には、印刷対象に応じたパターン孔12a(図3参照)が設けられている。図2に示すように、基板位置決め部1の両側に配設された縦フレーム21の側面には、2本の棒形状のブラケット22が内側に水平に延出して配設されている。2本のブラケット22の上面には、L字断面形状のマスクホルダ23がY方向に架設されている。マスクホルダ23は、マスクプレート12のマスク枠11を位置決めして保持する。   A screen printing unit 10 disposed above the substrate positioning unit 1 includes a mask plate 12 extended on a mask frame 11. The mask plate 12 is provided with a pattern hole 12a (see FIG. 3) corresponding to a printing target. As shown in FIG. 2, two bar-shaped brackets 22 are horizontally extended on the side surfaces of the vertical frame 21 provided on both sides of the substrate positioning portion 1. On the upper surfaces of the two brackets 22, an L-shaped cross-sectional mask holder 23 is installed in the Y direction. The mask holder 23 positions and holds the mask frame 11 of the mask plate 12.

マスクプレート12上にはスキージヘッド13が配設されている。スキージヘッド13は、水平なプレート13aにスキージ15を昇降させるスキージ昇降機構14を配設した構成となっており、図2に示すように、プレート13aの両端は縦フレーム21上に配列されたガイド機構によって、Y方向にスライド自在に支持されている。プレート13aは、ナット16a、送りねじ16bおよび回転駆動モータ(図示省略)より成るスキージ移動手段によりY方向に水平移動する。またスキージ昇降機構14を駆動することによりスキージ15は昇降してマスクプレート12の上面に当接する。   A squeegee head 13 is disposed on the mask plate 12. The squeegee head 13 has a structure in which a squeegee raising / lowering mechanism 14 for raising and lowering the squeegee 15 is disposed on a horizontal plate 13a. As shown in FIG. 2, both ends of the plate 13a are guides arranged on a vertical frame 21. The mechanism is supported so as to be slidable in the Y direction. The plate 13a is horizontally moved in the Y direction by squeegee moving means including a nut 16a, a feed screw 16b, and a rotary drive motor (not shown). Further, by driving the squeegee raising / lowering mechanism 14, the squeegee 15 moves up and down and comes into contact with the upper surface of the mask plate 12.

Z軸テーブル5を上昇させてマスクプレート12の下面を基板8に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田25(図8(a)参照)が供給されたマスクプレート12上で、スキージ移動手段を駆動してスキージ15をY方向に移動させることにより、パターン孔12aを介して基板8にはクリーム半田25が印刷される。すなわちスクリーン印刷部10は、パターン孔12aが設けられたマスクプレート12に基板8を当接させ、マスクプレート12上でスキージ15を摺動させることにより、パターン孔12aを介して基板8にペーストであるクリーム半田25を印刷する、   The squeegee is moved on the mask plate 12 supplied with the cream solder 25 (see FIG. 8A) as a paste in a state where the Z-axis table 5 is raised and the lower surface of the mask plate 12 is brought into contact with the substrate 8. By driving the means and moving the squeegee 15 in the Y direction, the cream solder 25 is printed on the substrate 8 through the pattern holes 12a. That is, the screen printing unit 10 causes the substrate 8 to come into contact with the mask plate 12 provided with the pattern holes 12a, and slides the squeegee 15 on the mask plate 12 to paste the substrate 8 through the pattern holes 12a with the paste. Printing a certain cream solder 25,

スクリーン印刷部10の上方には、カメラ19が設けられている。図3に示すように、カメラ19はX軸テーブル18およびY軸テーブル17によってXY方向に水平移動する。X軸テーブル18およびY軸テーブル17は、カメラ19を移動させるカメラ移動機構となっている。カメラ19をカメラ移動機構によってマスクプレート12に対して移動させることにより、カメラ19はマスクプレート12の任意の位置を撮像する。基板位置決め部1はY軸テーブル2によってスクリーン印刷部10の下方からY方向に移動して、保持した基板8を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ19を基板位置決め部1上の基板8に移動させることにより、カメラ19によって基板8の任意の位置を撮像し、基板位置を認識することができる。   A camera 19 is provided above the screen printing unit 10. As shown in FIG. 3, the camera 19 is horizontally moved in the XY directions by the X-axis table 18 and the Y-axis table 17. The X-axis table 18 and the Y-axis table 17 serve as a camera moving mechanism that moves the camera 19. By moving the camera 19 with respect to the mask plate 12 by the camera moving mechanism, the camera 19 images an arbitrary position of the mask plate 12. The substrate positioning unit 1 is moved in the Y direction from below the screen printing unit 10 by the Y-axis table 2 so that the held substrate 8 can be moved to the substrate recognition position. In this state, the camera 19 is moved. By moving to the substrate 8 on the substrate positioning unit 1, an arbitrary position of the substrate 8 can be imaged by the camera 19 and the substrate position can be recognized.

Y軸テーブル2上の基板位置決め部1の側方には、クリーニングユニット20(クリーニング機構)が配設されている。クリーニングユニット20は本体部20a内に以下に説明する各要素を内蔵した構成となっており、本体部20aの上部からはクリーニングヘッド24が突出している。Y軸テーブル2を駆動することにより、クリーニングユニット20は基板位置決め部1とともにY方向に移動し、クリーニングヘッド24によってマスクプレート12の下面をクリーニングする。本実施の形態においては、クリーニング機構であるクリーニングユニット20は、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体2
6(図4参照)をクリーニングヘッド24によってマスクプレート12の下面に押しつけて摺動させることにより、このマスクプレート12をクリーニングするようにしている。
A cleaning unit 20 (cleaning mechanism) is disposed on the side of the substrate positioning unit 1 on the Y-axis table 2. The cleaning unit 20 has a configuration in which each element described below is built in the main body 20a, and the cleaning head 24 protrudes from the upper part of the main body 20a. By driving the Y-axis table 2, the cleaning unit 20 moves in the Y direction together with the substrate positioning unit 1, and the lower surface of the mask plate 12 is cleaned by the cleaning head 24. In the present embodiment, the cleaning unit 20 serving as a cleaning mechanism includes a cleaning medium 2 in which a porous material is formed into a sheet shape.
The mask plate 12 is cleaned by pressing 6 (see FIG. 4) against the lower surface of the mask plate 12 by the cleaning head 24 and sliding it.

図4を参照して、クリーニングユニット20の構成を説明する。本体部20aの内部には、クリーニングヘッド24が上面に設けられた摺接面24aを突出させて配設されており、クリーニングヘッド24はヘッド昇降機構30によって昇降自在となっている。ヘッド昇降機構30を駆動することにより、クリーニングヘッド24は昇降し(矢印a)、これにより摺接面24aはマスクプレート12の下面12bに接離自在となっている。本体部20aの内部においては、無端形状のクリーニング媒体26が、1つの駆動ローラ32および3つのガイドローラ34より形成される循環経路に沿って調帯されている。この循環経路において、クリーニング媒体26はクリーニングヘッド24の摺接面24aに沿って周回している。   The configuration of the cleaning unit 20 will be described with reference to FIG. A cleaning head 24 is disposed inside the main body 20 a so as to project a sliding contact surface 24 a provided on the upper surface, and the cleaning head 24 can be raised and lowered by a head lifting mechanism 30. By driving the head elevating mechanism 30, the cleaning head 24 moves up and down (arrow a), so that the slidable contact surface 24a can freely contact and separate from the lower surface 12b of the mask plate 12. Inside the main body 20a, an endless cleaning medium 26 is tuned along a circulation path formed by one drive roller 32 and three guide rollers 34. In this circulation path, the cleaning medium 26 circulates along the sliding contact surface 24 a of the cleaning head 24.

駆動ローラ32はモータ31によって回転駆動され、対をなして相接するピンチローラ33との間にクリーニング媒体26を挟み込んだ状態でモータ31を駆動することにより、クリーニング媒体26は所定の移動方向(ここでは矢印b方向)に送られる。これにより、クリーニング媒体26は前述の循環経路に沿って移動し、クリーニングヘッド24の摺接面24aに送給される。したがって、モータ31、駆動ローラ32、ピンチローラ33、ガイドローラ34は、クリーニング媒体であるクリーニング媒体26を所定の循環経路に沿って移動させて、クリーニングヘッド24に対して送給するクリーニング媒体循環手段を構成する。   The drive roller 32 is driven to rotate by a motor 31 and the cleaning medium 26 is driven in a predetermined moving direction (by moving the cleaning medium 26 between the pair of adjacent pinch rollers 33). Here, it is sent in the direction of arrow b). As a result, the cleaning medium 26 moves along the circulation path described above and is fed to the sliding contact surface 24 a of the cleaning head 24. Accordingly, the motor 31, the driving roller 32, the pinch roller 33, and the guide roller 34 move the cleaning medium 26 that is a cleaning medium along a predetermined circulation path and feed the cleaning medium 24 to the cleaning head 24. Configure.

クリーニング媒体26について説明する。クリーニング媒体26は、多孔質素材をシート状に成形して製作され、マスクプレート12の下面12bに摺接することにより、下面12bに付着したクリーニング対象物を拭き取る機能を有するものである。ここで用いられる多孔質素材の例としては、フェルト状の布・紙類の他、内部に微細な孔部が設けられた軟質樹脂などが挙げられる。要は、粘性体であるクリーム半田などのクリーニング対象物を含浸させてぬぐい取ることが可能な性質を有し、シート状に成形可能なものであればよい。   The cleaning medium 26 will be described. The cleaning medium 26 is manufactured by molding a porous material into a sheet shape, and has a function of wiping the cleaning object attached to the lower surface 12 b by slidingly contacting the lower surface 12 b of the mask plate 12. Examples of the porous material used here include felt-like cloth and paper, as well as a soft resin having a fine hole inside. In short, any material can be used as long as it has the property of being able to be impregnated with a cleaning object such as cream solder, which is a viscous material, and can be wiped off.

ヘッド昇降機構30を駆動してクリーニングヘッド24を上昇させることにより、摺接面24aを周回したクリーニング媒体26は押し上げられて、クリーニング面26aがマスクプレート12の下面12bに当接する(図8(b)参照)。そしてこの状態で、Y軸テーブル2を駆動してクリーニングユニット20全体をY方向に水平移動させることにより、クリーニング対象物25aがクリーニング面26aに付着して下面12bから除去され、マスククリーニングが実行される。なお、無端形状のクリーニング媒体26をクリーニングヘッド24によって押し上げることによってクリーニング媒体26に生じる張力の変動は、1つのガイドローラ34に設けられたテンションスプリング35の伸縮によって調整される。   By driving the head elevating mechanism 30 to raise the cleaning head 24, the cleaning medium 26 that has circulated around the sliding contact surface 24a is pushed up, and the cleaning surface 26a contacts the lower surface 12b of the mask plate 12 (FIG. 8B). )reference). In this state, the Y-axis table 2 is driven to horizontally move the entire cleaning unit 20 in the Y direction, whereby the cleaning object 25a adheres to the cleaning surface 26a and is removed from the lower surface 12b, and mask cleaning is executed. The Note that the fluctuation in tension generated in the cleaning medium 26 by pushing up the endless cleaning medium 26 by the cleaning head 24 is adjusted by expansion and contraction of a tension spring 35 provided on one guide roller 34.

このマスククリーニングにおいては、常に清浄な状態のクリーニング媒体26をマスクプレート12に押し付ける必要がある。従来のクリーニング機構においては、クリーニング媒体として使い捨てタイプのクリーニングペーパが用いられており、未使用のクリーニングペーパ収納したペーパロールから引き出した新しいクリーニングペーパを常にクリーニングヘッド24に対して送給するようにする方式が一般的であった。しかしながらこのような従来方式においては、クリーニングペーパを使い捨てにすることによる資源の無駄やペーパロールを交換するための装置停止に起因する時間損失が避けられない。   In this mask cleaning, it is necessary to always press the cleaning medium 26 in a clean state against the mask plate 12. In the conventional cleaning mechanism, a disposable cleaning paper is used as a cleaning medium, and new cleaning paper drawn out from a paper roll containing unused cleaning paper is always fed to the cleaning head 24. The method was common. However, in such a conventional method, waste of resources due to disposable cleaning paper and time loss due to stoppage of the apparatus for replacing the paper roll are unavoidable.

本実施の形態においては、このような無駄や時間損失を排除するため、以下に説明するように、クリーニング媒体26の循環経路中に、クリーニング媒体26に付着したクリー
ム半田などのクリーニング対象物25aを除去してクリーニング媒体26を循環して再使用できるよう、クリーニングユニット20の内部に媒体清掃部40を備えるようにしている。媒体清掃部40には、駆動ローラ32によって送給され右下方のガイドローラ34によって案内されたクリーニング媒体26が、クリーニング面26aを下面側にした姿勢で導入される。
In the present embodiment, in order to eliminate such waste and time loss, a cleaning object 25a such as cream solder attached to the cleaning medium 26 is disposed in the circulation path of the cleaning medium 26 as described below. A medium cleaning unit 40 is provided inside the cleaning unit 20 so that the cleaning medium 26 can be circulated and reused by being removed. The cleaning medium 26 fed by the driving roller 32 and guided by the lower right guide roller 34 is introduced into the medium cleaning unit 40 in a posture with the cleaning surface 26a facing the lower surface.

そして媒体清掃部40の内部において、クリーニング面26a側から付着したクリーニング対象物25aがクリーニング媒体26から除去され、クリーニングにより汚損されたクリーニング媒体26は清掃される。すなわち、媒体清掃部40は、クリーニング媒体26の循環経路に配設され、クリーニングによってクリーニング媒体26に付着したクリーニング対象物25aを除去する。そして上記構成において、Y軸テーブル2はクリーニングヘッド24を、ヘッド昇降手段、クリーニング媒体循環手段および媒体清掃部40とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段を構成する。   In the medium cleaning unit 40, the cleaning object 25a adhering from the cleaning surface 26a side is removed from the cleaning medium 26, and the cleaning medium 26 contaminated by the cleaning is cleaned. That is, the medium cleaning unit 40 is disposed in the circulation path of the cleaning medium 26 and removes the cleaning object 25a attached to the cleaning medium 26 by cleaning. In the above-described configuration, the Y-axis table 2 constitutes a cleaning head moving unit that moves the cleaning head 24 horizontally together with the head lifting / lowering unit, the cleaning medium circulating unit, and the medium cleaning unit 40.

次に図5、図6を参照して、媒体清掃部40の構造を説明する。図5は、図1、図3に示すクリーニングユニット20のYZ平面の断面を示している。図5において媒体清掃部40は、クリーニング媒体26を清掃するクリーニングチャンバ41を備えており、クリーニングチャンバ41は、第1ブロー槽41a、洗浄槽41b、第2ブロー槽41cの3つの区画に区分されている。第1ブロー槽41a、洗浄槽41b、第2ブロー槽41cはクリーニング媒体26の導入側から順に設けられた4つの隔壁41d、41e、41f、41gのうちの隣接する2つによって閉囲され、いずれも閉じられた区画を構成している。   Next, the structure of the medium cleaning unit 40 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 shows a cross section of the YZ plane of the cleaning unit 20 shown in FIGS. In FIG. 5, the medium cleaning unit 40 includes a cleaning chamber 41 that cleans the cleaning medium 26. The cleaning chamber 41 is divided into three sections: a first blow tank 41a, a wash tank 41b, and a second blow tank 41c. ing. The first blow tank 41a, the cleaning tank 41b, and the second blow tank 41c are closed by two adjacent ones of four partition walls 41d, 41e, 41f, and 41g provided in order from the introduction side of the cleaning medium 26. Also constitutes a closed compartment.

隔壁41d、41e、41f、41gには、それぞれクリーニング媒体26を通過させるためのガイド部材46が設けられている。清掃対象の使用後のクリーニング媒体26は、クリーニング面26aを下向きにした姿勢で、第1ブロー槽41a、洗浄槽41b、第2ブロー槽41c内を順次通過して、クリーニングチャンバ41から排出される(矢印d)。   The partition walls 41d, 41e, 41f, and 41g are respectively provided with guide members 46 for allowing the cleaning medium 26 to pass therethrough. The used cleaning medium 26 to be cleaned is discharged from the cleaning chamber 41 through the first blow tank 41a, the cleaning tank 41b, and the second blow tank 41c sequentially with the cleaning surface 26a facing downward. (Arrow d).

第1ブロー槽41a、第2ブロー槽41cの下部にはそれぞれ第1ダクト48a、第2ダクト48bが下方に導設されており、第1ダクト48a、第2ダクト48bはさらにフィルタベース48cを介して吸引空間48dに連通している。吸引空間48d内は排気機構50によって排気され、フィルタベース48cの上面には、クリーニング対象物25a中の半田粒子などの固形成分を捕捉するためのフィルタ49が装着されている。   A first duct 48a and a second duct 48b are respectively provided below the first blow tank 41a and the second blow tank 41c, and the first duct 48a and the second duct 48b are further passed through a filter base 48c. And communicated with the suction space 48d. The suction space 48d is exhausted by the exhaust mechanism 50, and a filter 49 for capturing solid components such as solder particles in the cleaning object 25a is mounted on the upper surface of the filter base 48c.

洗浄槽41bの内部には、クリーニング媒体26を洗浄するための洗浄液43が貯留されており、洗浄液43は上部に設けられた液導入開口42aから供給される。洗浄槽41bの底面には、超音波発振器47が装着されており、超音波発振器47を作動させることにより、洗浄槽41b内の洗浄液43には超音波振動が付与され、これによりクリーニング媒体26の超音波洗浄が行われる。洗浄によって汚濁した洗浄液43は、底面に設けられた液排出開口42bから排出され、第1ポンプP1によって図6に示す液処理部51へ移送される。   A cleaning liquid 43 for cleaning the cleaning medium 26 is stored inside the cleaning tank 41b, and the cleaning liquid 43 is supplied from a liquid introduction opening 42a provided in the upper part. An ultrasonic oscillator 47 is mounted on the bottom surface of the cleaning tank 41b, and by operating the ultrasonic oscillator 47, ultrasonic vibration is applied to the cleaning liquid 43 in the cleaning tank 41b, thereby causing the cleaning medium 26 to move. Ultrasonic cleaning is performed. The cleaning liquid 43 contaminated by the cleaning is discharged from the liquid discharge opening 42b provided on the bottom surface, and is transferred to the liquid processing section 51 shown in FIG. 6 by the first pump P1.

上記構成の媒体清掃部40によるクリーニング媒体26の清掃機能について説明する。クリーニングに使用されたクリーニング媒体26は、送り方向における上流側である右側から第1ブロー槽41a内に導入される(矢印c)。第1ブロー槽41aには第1気体噴射ノズル44Aが配設されており、第1気体噴射ノズル44Aは気体供給源45に接続されている。気体供給源45を作動させることにより第1気体噴射ノズル44Aからクリーニング媒体26の上面側、すなわちクリーニング対象物25aが付着するクリーニング面26aの反対側から気体が吹き付けられる。これにより、クリーニング面26aに付着し
たクリーニング対象物25aが気体のブロー作用によってクリーニング面26aから剥離され(矢印e)、下方へ落下移動する。
The cleaning function of the cleaning medium 26 by the medium cleaning unit 40 having the above configuration will be described. The cleaning medium 26 used for cleaning is introduced into the first blow tank 41a from the right side, which is the upstream side in the feed direction (arrow c). A first gas injection nozzle 44 </ b> A is disposed in the first blow tank 41 a, and the first gas injection nozzle 44 </ b> A is connected to a gas supply source 45. By operating the gas supply source 45, gas is blown from the first gas injection nozzle 44A from the upper surface side of the cleaning medium 26, that is, from the opposite side of the cleaning surface 26a to which the cleaning object 25a adheres. As a result, the cleaning object 25a adhering to the cleaning surface 26a is peeled off from the cleaning surface 26a by the gas blowing action (arrow e) and moved downward.

このとき、排気機構50によって吸引空間48d内が排気されている(矢印j)ことから、第1ブロー槽41a内は第1ダクト48aを介して吸引される。これにより、ブロー作用によって分離・除去されたクリーニング対象物25aは、第1ダクト48a内を下方に流動し(矢印f)、フィルタ49の上面に捕捉されて滞留する。これらのクリーニング対象物25aは再利用可能な半田成分を含有していることから適宜回収される。   At this time, since the inside of the suction space 48d is exhausted by the exhaust mechanism 50 (arrow j), the inside of the first blow tank 41a is sucked through the first duct 48a. As a result, the cleaning object 25a separated and removed by the blowing action flows downward in the first duct 48a (arrow f) and is captured and retained on the upper surface of the filter 49. Since these cleaning objects 25a contain reusable solder components, they are appropriately collected.

すなわち上記構成に示す媒体清掃部40は、クリーニング媒体26に対してクリーニング対象物25aが付着するクリーニング面26aの反対側の面から気体を吹き付けることにより、クリーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去するブロー手段(気体供給源45および第1気体噴射ノズル44A)を備えた形態となっている。そしてさらに媒体清掃部40は、クリーニング対象物25aが付着するクリーニング面26a側からクリーニング媒体26を吸引することにより、クリーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去する吸引手段(排気機構50および第1ダクト48a)を備えた形態となっている。   That is, the medium cleaning unit 40 shown in the above configuration separates the cleaning object 25a from the cleaning medium 26 by blowing gas from the surface opposite to the cleaning surface 26a to which the cleaning object 25a adheres to the cleaning medium 26. It has a form provided with blowing means (gas supply source 45 and first gas injection nozzle 44A) for removal. Further, the medium cleaning unit 40 sucks the cleaning medium 26 from the side of the cleaning surface 26a to which the cleaning target object 25a adheres, thereby separating / removing the cleaning target object 25a from the cleaning medium 26 (the exhaust mechanism 50 and the first mechanism). 1 duct 48a).

洗浄槽41bにてクリーニング対象物25aの粗除去が行われた後のクリーニング媒体26は洗浄液43を収納した洗浄槽41b内に導かれ、ここで洗浄液43に浸漬されて洗浄が行われる。すなわち、超音波発振器47から付与される超音波振動によって、クリーニング媒体26に付着した、あるいは含浸されたクリーニング対象物25aがクリーニング媒体26から剥離・除去され、洗浄液43内を下方へ移動する(矢印g)。このような洗浄液43によるクリーニング媒体26の洗浄を連続して行う過程において、洗浄槽41b内の洗浄液43の汚濁が進行するため、本実施の形態においては洗浄液43を図6に示す液処理部51との間で循環させて汚濁を除去するようにしている。   After the rough removal of the cleaning object 25a is performed in the cleaning tank 41b, the cleaning medium 26 is guided into the cleaning tank 41b containing the cleaning liquid 43, where it is immersed in the cleaning liquid 43 for cleaning. That is, due to the ultrasonic vibration applied from the ultrasonic oscillator 47, the cleaning object 25a attached to or impregnated with the cleaning medium 26 is peeled and removed from the cleaning medium 26, and moves downward in the cleaning liquid 43 (arrow). g). In the process of continuously cleaning the cleaning medium 26 with the cleaning liquid 43, the cleaning liquid 43 in the cleaning tank 41b becomes contaminated. Therefore, in the present embodiment, the cleaning liquid 43 is the liquid processing unit 51 shown in FIG. It is made to circulate between and removes pollution.

すなわち、液排出開口42bから排出され第1ポンプP1によって移送されたクリーニング対象物25aを含む洗浄液43は図6の[1]へ至り(矢印k)、液導入管53を介して処理槽52内へ流下する。処理槽52は内部が高さの異なる2つの堰部52d、52eによって3つの区画に仕切られたカスケード式の液体貯留槽である。液導入管53から流下した洗浄液43は、まず第1沈殿槽52a内に貯留され、ここで液導入管53から流下した洗浄液43中のクリーニング対象物25aが重力によって下方へ沈殿して(矢印l)、第1沈殿槽52aの底部に堆積する。これら堆積物は再利用可能な成分を含有しているため、回収の対象となる。   That is, the cleaning liquid 43 including the cleaning object 25a discharged from the liquid discharge opening 42b and transferred by the first pump P1 reaches [1] in FIG. 6 (arrow k), and enters the treatment tank 52 through the liquid introduction pipe 53. Flow down. The processing tank 52 is a cascade-type liquid storage tank that is partitioned into three compartments by two dam portions 52d and 52e having different heights. The cleaning liquid 43 flowing down from the liquid introduction pipe 53 is first stored in the first settling tank 52a, where the cleaning object 25a in the cleaning liquid 43 flowing down from the liquid introduction pipe 53 is precipitated downward by gravity (arrow l). ), Deposited on the bottom of the first sedimentation tank 52a. Since these deposits contain reusable components, they are subject to recovery.

上澄みの洗浄液43は堰部52dを超えて第2の沈殿槽52b内へ溢れ(矢印m)、ここでさら幾分かのクリーニング対象物25aが沈殿する。そして同様に上澄みの洗浄液43は堰部52eを超えて排液槽52c内に溢れる(矢印n)。排液槽52c内に貯留された洗浄液43はクリーニング対象物25aを殆ど含まないことから、洗浄槽41bにおいて再び使用可能な状態となっている。このようにして処理された洗浄液43は、排液開口部52fを介して第2のポンプP2によって吸引され、さらに図5に示す液導入開口42aへ供給される。すなわち上記構成に示すように、本実施の形態における媒体清掃部40は、洗浄液43を収納する洗浄槽41bを備え、クリーニング媒体26を洗浄槽41b内を通過させて洗浄液43に浸漬することにより、クリーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去する形態となっている。   The supernatant cleaning liquid 43 overflows over the weir 52d into the second sedimentation tank 52b (arrow m), where some cleaning object 25a is further settled. Similarly, the supernatant cleaning solution 43 overflows the weir portion 52e and overflows into the drainage tank 52c (arrow n). Since the cleaning liquid 43 stored in the drainage tank 52c does not substantially contain the cleaning object 25a, the cleaning tank 43b can be used again. The cleaning liquid 43 thus processed is sucked by the second pump P2 through the drain opening 52f and further supplied to the liquid introduction opening 42a shown in FIG. That is, as shown in the above configuration, the medium cleaning unit 40 in the present embodiment includes the cleaning tank 41b that stores the cleaning liquid 43, and the cleaning medium 26 passes through the cleaning tank 41b and is immersed in the cleaning liquid 43. The cleaning object 25a is separated and removed from the cleaning medium 26.

洗浄槽41bにおける洗浄が終了した後のクリーニング媒体26は、第2ブロー槽41c内に導かれ、ここで洗浄液43の除去が行われる。第2ブロー槽41cには第2の気体噴射ノズル44Bが配設されており、第2の気体噴射ノズル44Bは気体供給源45に接
続されている。気体供給源45を作動させることにより第2の気体噴射ノズル44Bからクリーニング媒体26に対して気体が吹き付けられる。これにより、クリーニング媒体26に付着・含浸された洗浄液43が気体のブロー作用によって除去され(矢印h)、微小な液滴となって下方へ落下する。
After the cleaning in the cleaning tank 41b is completed, the cleaning medium 26 is guided into the second blow tank 41c, where the cleaning liquid 43 is removed. A second gas injection nozzle 44 </ b> B is disposed in the second blow tank 41 c, and the second gas injection nozzle 44 </ b> B is connected to a gas supply source 45. By operating the gas supply source 45, gas is blown from the second gas injection nozzle 44 </ b> B to the cleaning medium 26. As a result, the cleaning liquid 43 adhering to and impregnating the cleaning medium 26 is removed by the gas blowing action (arrow h) and falls downward as a fine droplet.

このとき、排気機構50によって第2ダクト48b内が排気されている(矢印j)ことから、第2ブロー槽41c内は第1ダクト48aを介して吸引される。これにより、ブロー作用によって除去された洗浄液43の液滴は、第2ダクト48b内を下方に流動し(矢印i)、排気機構50によって排気される。そしてこのようにして、クリーニング面26aに付着したクリーニング対象物25aが分離・除去され、洗浄液43の液滴が除去された状態のクリーニング媒体26は媒体清掃部40から引き出され、クリーニングヘッド24に送給される。   At this time, since the inside of the second duct 48b is exhausted by the exhaust mechanism 50 (arrow j), the inside of the second blow tank 41c is sucked through the first duct 48a. Thereby, the droplet of the cleaning liquid 43 removed by the blowing action flows downward in the second duct 48b (arrow i) and is exhausted by the exhaust mechanism 50. In this way, the cleaning object 25a adhering to the cleaning surface 26a is separated and removed, and the cleaning medium 26 in a state where the droplets of the cleaning liquid 43 are removed is drawn out from the medium cleaning unit 40 and sent to the cleaning head 24. Be paid.

上記媒体清掃部40の構成においては、クリーニング媒体26から分離・除去されたクリーニング対象物25aは、フィルタベース48cに装着されたフィルタ49の上面に滞留して捕捉される。したがって、フィルタ49を取り出すことにより、クリーニング対象物25aを捕集して回収することが可能となっている。さらに、図6に示す液処理部51においても、第1沈殿槽52a内に沈殿して滞留したクリーニング対象物25aを捕集して回収することができる。すなわち、本実施の形態に示すスクリーン印刷装置においては、媒体清掃部40によって分離・除去されたクリーニング対象物25aを捕集して回収する回収手段(フィルタベース48cおよびフィルタ49、第1沈殿槽52a)を備えた形態となっている。   In the configuration of the medium cleaning unit 40, the cleaning object 25a separated and removed from the cleaning medium 26 stays on the upper surface of the filter 49 attached to the filter base 48c and is captured. Therefore, by removing the filter 49, the cleaning object 25a can be collected and recovered. Furthermore, in the liquid processing unit 51 shown in FIG. 6, the cleaning object 25a that has settled and stayed in the first settling tank 52a can be collected and recovered. That is, in the screen printing apparatus shown in the present embodiment, recovery means (filter base 48c and filter 49, first sedimentation tank 52a) that collects and recovers the cleaning object 25a separated and removed by the medium cleaning unit 40. ).

なお図5に示す構成例では、洗浄槽41bにおける洗浄液43による洗浄の方式として、超音波洗浄を適用した例を示しているが、洗浄液43による洗浄の方式としては他にも種々の方式を選択することが可能である。例えば図7(a)に示すように、洗浄槽41b内において、クリーニング媒体26の両側または片側に液噴射ノズル55を配設し、洗浄液供給源56から供給される洗浄液43を、洗浄槽41b内を通過するクリーニング媒体26に対して噴射することにより、クリーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去するようにしてもよい。   In the configuration example shown in FIG. 5, an example in which ultrasonic cleaning is applied as a cleaning method using the cleaning liquid 43 in the cleaning tank 41b is shown, but various other methods are selected as the cleaning method using the cleaning liquid 43. Is possible. For example, as shown in FIG. 7A, in the cleaning tank 41b, liquid jet nozzles 55 are arranged on both sides or one side of the cleaning medium 26, and the cleaning liquid 43 supplied from the cleaning liquid supply source 56 is supplied to the cleaning tank 41b. The cleaning object 25a may be separated and removed from the cleaning medium 26 by spraying the cleaning medium 26 passing through the cleaning medium 26.

すなわちこの例においては、媒体清掃部40は、洗浄液43を噴射する液噴射手段(液噴射ノズル55および洗浄液供給源56)を有する洗浄槽41bを備え、クリーニング媒体26を洗浄槽41b内を通過させながら液噴射手段によって洗浄液43をクリーニング媒体26に噴射することにより、クリーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去する形態となっている。なお、図7では、洗浄液43の液中において噴射する液中噴射の例を示しているが、洗浄槽41b内に洗浄液43を充満させず、クリーニング媒体26が洗浄液43の液外の気中に存在する状態で洗浄液43をクリーニング媒体26に対して噴射するようにしてもよい。   In other words, in this example, the medium cleaning unit 40 includes a cleaning tank 41b having liquid injection means (a liquid injection nozzle 55 and a cleaning liquid supply source 56) for injecting the cleaning liquid 43, and allows the cleaning medium 26 to pass through the cleaning tank 41b. However, the cleaning liquid 43 is ejected onto the cleaning medium 26 by the liquid ejecting means, whereby the cleaning object 25a is separated and removed from the cleaning medium 26. 7 shows an example of submerged spraying in the cleaning liquid 43, the cleaning tank 43b is not filled with the cleaning liquid 43, and the cleaning medium 26 is in the air outside the cleaning liquid 43. The cleaning liquid 43 may be jetted onto the cleaning medium 26 in the existing state.

さらに、図7(b)に示す例では、最も簡便な構成として、ブラシ57aを備えたブラシユニット57を用いた例を示している。すなわちこの場合には、洗浄槽41b内には洗浄槽41b内を通過するクリーニング媒体26の両面または片面にブラシ57aが接触するように、ブラシユニット57を配設する。クリーニング媒体26が洗浄槽41b内を通過することにより、クリーニング媒体26の両面または片面に付着したクリーニング対象物25aはブラシ57aによって擦り落とされる。このような簡便な方法によっても、クーニング対象物25aをクリーニング媒体26から分離・除去することができる。   Further, in the example shown in FIG. 7B, an example using the brush unit 57 provided with the brush 57a is shown as the simplest configuration. That is, in this case, the brush unit 57 is disposed in the cleaning tank 41b so that the brush 57a contacts the both surfaces or one surface of the cleaning medium 26 passing through the cleaning tank 41b. As the cleaning medium 26 passes through the cleaning tank 41b, the cleaning object 25a attached to both surfaces or one surface of the cleaning medium 26 is scraped off by the brush 57a. Even with such a simple method, the object to be cooled 25a can be separated and removed from the cleaning medium.

次に上記構成を有するスクリーン印刷装置によるスクリーン印刷方法について図8を参照して説明する。図8(a)は、スクリーン印刷部10によって基板8にペーストである
クリーム半田25を印刷する印刷動作を実行する印刷工程を示している。すなわち基板位置決め部1において、基板保持部6によって下面側を保持され、クランパ7によって両側面を挟み込まれた基板8をマスクプレート12の下面に当接させる。そしてこの状態においてマスクプレート12上でスキージ15を摺動させる(矢印p)ことにより、パターン孔12aを介して基板8にペーストであるクリーム半田25を印刷する。
Next, a screen printing method by the screen printing apparatus having the above configuration will be described with reference to FIG. FIG. 8A shows a printing process in which the screen printing unit 10 performs a printing operation for printing the cream solder 25 as a paste on the substrate 8. That is, in the substrate positioning unit 1, the substrate 8 held on the lower surface side by the substrate holding unit 6 and sandwiched on both sides by the clamper 7 is brought into contact with the lower surface of the mask plate 12. In this state, the squeegee 15 is slid on the mask plate 12 (arrow p) to print the cream solder 25 as a paste on the substrate 8 through the pattern holes 12a.

この印刷工程を反復して実行する過程において、所定のインターバルにてマスククリーニング工程が実行される。すなわち、図8(b)に示すように、印刷工程が終了した後に、クリーニングユニット20をマスクプレート12の下面側へ移動させ、次いでクリーニングヘッド24を上昇させて(矢印q)、マスクプレート12の下面12bに当接させる。そしてクリーニング媒体26をマスクプレート12の下面12bに押し付けた状態で、クリーニングヘッド24を水平移動させ(矢印r)、マスクプレート12の下面12bをクリーニングする。   In the process of repeatedly executing this printing process, the mask cleaning process is executed at predetermined intervals. That is, as shown in FIG. 8B, after the printing process is completed, the cleaning unit 20 is moved to the lower surface side of the mask plate 12 and then the cleaning head 24 is raised (arrow q) to It abuts on the lower surface 12b. Then, with the cleaning medium 26 pressed against the lower surface 12b of the mask plate 12, the cleaning head 24 is moved horizontally (arrow r) to clean the lower surface 12b of the mask plate 12.

本実施の形態においては、前述のようにクリーニングによって汚損されたクリーニング媒体26を循環使用するため、クリーニング媒体26を媒体清掃部40内に設定された所定の循環経路に沿って移動させて、クリーニングヘッド24に対して送給しながら、媒体清掃部40によってクリーニング媒体26に付着したクリーニング対象物25aを除去する媒体清掃工程を実行するようにしている。この媒体清掃工程は、図8(b)に示すマスククリーニング工程と同時並行的に実行するようにしてもよく、また図8(a)に示す印刷工程において、クリーニングユニット20がマスククリーニング工程を実行していないクリーニング待機時に実行するようにしてもよい。   In the present embodiment, the cleaning medium 26 that has been soiled by cleaning as described above is circulated and used. Therefore, the cleaning medium 26 is moved along a predetermined circulation path set in the medium cleaning unit 40 to perform cleaning. While being fed to the head 24, a medium cleaning process is performed to remove the cleaning object 25a attached to the cleaning medium 26 by the medium cleaning unit 40. This medium cleaning process may be performed concurrently with the mask cleaning process shown in FIG. 8B, and in the printing process shown in FIG. 8A, the cleaning unit 20 executes the mask cleaning process. It may be executed at the time of waiting for cleaning.

上記説明したように本発明においては、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体26をクリーニングヘッド24によってマスクプレート12の下面12bに押しつけて拭き取ることによりこのマスクプレート12をクリーニングするクリーニング機構を採用している。そしてこのクリーニング機構において、クリーニング媒体26をクリーニングヘッド24に対して所定の循環経路を介して送給し回収するクリーニング媒体循環手段と、循環経路に配設されクリーニング媒体26に付着もしくは含浸されたクリーニング対象物25aを除去する媒体清掃部40とを備えるようにしている。   As described above, the present invention employs a cleaning mechanism that cleans the mask plate 12 by pressing the cleaning medium 26 formed of a porous material into a sheet shape against the lower surface 12b of the mask plate 12 by the cleaning head 24 and wiping it off. doing. In this cleaning mechanism, the cleaning medium circulating means for feeding the cleaning medium 26 to the cleaning head 24 through a predetermined circulation path and collecting the cleaning medium 26, and the cleaning medium disposed in the circulation path and attached or impregnated to the cleaning medium 26 A medium cleaning unit 40 for removing the object 25a is provided.

これにより、使い捨てタイプのクリーニングペーパを用いる従来装置において不可避的に発生していた装置停止、すなわちペーパロールの形で供給されるクリーニングペーパを使用することに伴うロール交換ための装置停止が発生することがない。したがって同一のクリーニング媒体26を繰り返し再使用して、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができる。   As a result, a device stop inevitably occurred in a conventional device using disposable cleaning paper, that is, a device stop for exchanging a roll accompanying the use of a cleaning paper supplied in the form of a paper roll occurs. There is no. Therefore, the same cleaning medium 26 can be reused repeatedly to reduce the running cost and improve the productivity.

本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法は、ランニングコストの低減と生産性の向上を実現することができるという効果を有し、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷の分野に有用である。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The screen printing apparatus and the screen printing method of the present invention have an effect that a running cost can be reduced and productivity can be improved, and screen printing for printing paste such as cream solder or conductive paste on a substrate is effective. Useful in the field.

本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図1 is a front view of a screen printing apparatus according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図The top view of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図Structure explanatory drawing of the cleaning unit in the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた媒体清掃部の構造説明図Structure explanatory drawing of the medium cleaning part with which the cleaning unit of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention was equipped 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の媒体清掃部に使用される液体循環部の構造説明図Structure explanatory drawing of the liquid circulation part used for the medium cleaning part of the screen printing apparatus of one embodiment of this invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の媒体清掃部の部分断面図The fragmentary sectional view of the media cleaning part of the screen printer of one embodiment of the present invention 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷方法を示す動作説明図Operation explanatory diagram showing a screen printing method of one embodiment of the present invention

1 基板位置決め部
2 Y軸テーブル(クリーニングヘッド移動手段)
8 基板
12 マスクプレート
12a パターン孔
15 スキージ
20 クリーニングユニット(クリーニング機構)
24 クリーニングヘッド
25 クリーム半田(ペースト)
25a クリーニング対象物
26 クリーニング媒体
26a クリーニング面
30 ヘッド昇降機構
31 モータ
32 駆動ローラ
40 媒体清掃部
41a 第1ブロー槽
41b 洗浄槽
43 洗浄液
44A 第1気体噴射ノズル(ブロー手段)
47 超音波発振器
48a 第1ダクト
48b 第2ダクト
49 フィルタ
51 液処理部
1 Substrate positioning unit 2 Y-axis table (cleaning head moving means)
8 Substrate 12 Mask plate 12a Pattern hole 15 Squeegee 20 Cleaning unit (cleaning mechanism)
24 Cleaning head 25 Cream solder (paste)
25a object to be cleaned 26 cleaning medium 26a cleaning surface 30 head lifting mechanism 31 motor 32 drive roller 40 medium cleaning unit 41a first blow tank 41b cleaning tank 43 cleaning liquid 44A first gas injection nozzle (blow means)
47 Ultrasonic oscillator 48a First duct 48b Second duct 49 Filter 51 Liquid processing section

Claims (6)

パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、
前記クリーニング機構は、前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給するクリーニング媒体循環手段と、前記循環経路に配設され前記クリーニングによって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃部と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記クリーニング媒体循環手段および前記媒体清掃部とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、
前記媒体清掃部は、前記クリーニング媒体に対して前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面の反対側の面から気体を吹き付けることにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去するブロー手段と、前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面側から前記クリーニング媒体を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去する吸引手段と、前記分離・除去されたクリーニング対象物を捕集して回収する回収手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
A substrate is brought into contact with a mask plate provided with a pattern hole, and a squeegee is slid on the mask plate, thereby printing a paste on the substrate through the pattern hole, and a sheet of porous material. A screen printing apparatus having a cleaning mechanism for cleaning the mask plate by pressing and sliding the cleaning medium formed into a shape against the lower surface of the mask plate by a cleaning head,
The cleaning mechanism includes a cleaning medium circulation unit that moves the cleaning medium along a predetermined circulation path and feeds the cleaning medium to the cleaning head, and is attached to the cleaning medium by the cleaning disposed in the circulation path. A medium cleaning unit that removes an object to be cleaned, a head lifting mechanism that lifts and lowers the cleaning head, and a cleaning that moves the cleaning head horizontally together with the head lifting mechanism, the cleaning medium circulating unit, and the medium cleaning unit. A head moving means ,
The medium cleaning unit is configured to blow and separate gas from the cleaning medium by blowing gas from a surface opposite to a cleaning surface on which the cleaning object adheres to the cleaning medium; and By sucking the cleaning medium from the cleaning surface side to which the cleaning object adheres, a suction means for separating / removing the cleaning object from the cleaning medium, and collecting the separated / removed cleaning object And a collecting means for collecting the screen printing apparatus.
前記媒体清掃部は洗浄液を収納する洗浄槽を備え、前記クリーニング媒体を前記洗浄槽内を通過させて前記洗浄液に浸漬することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去することを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。 The medium cleaning unit includes a cleaning tank for storing a cleaning liquid, and separates and removes the cleaning object from the cleaning medium by passing the cleaning medium through the cleaning tank and immersing the cleaning medium in the cleaning liquid. to claim 1 Symbol placement of the screen printing apparatus. 前記媒体清掃部は洗浄液を噴射する液噴射手段を有する洗浄槽を備え、前記クリーニング媒体を前記洗浄槽内を通過させながら前記液噴射手段によって洗浄液を前記クリーニング媒体に噴射することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去することを特徴とする請求項1記載のスクリーン印刷装置。 The medium cleaning unit includes a cleaning tank having a liquid spraying unit for spraying a cleaning liquid, and the cleaning target is sprayed onto the cleaning medium by the liquid spraying unit while passing the cleaning medium through the cleaning tank. things to claim 1 Symbol placement of the screen printing apparatus and separating and removing from the cleaning medium. パターン孔が設けられたマスクプレートに基板を当接させ、前記マスクプレート上でスキージを摺動させるスクリーン印刷部と、多孔質素材をシート状に成形したクリーニング媒体をクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて拭き取ることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有し、
前記クリーニング機構は、前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給するクリーニング媒体循環手段と、前記循環経路に配設され、前記クリーニングによって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃部と、前記クリーニングヘッドを昇降させるヘッド昇降機構と、前記クリーニングヘッドを、前記ヘッド昇降機構、前記クリーニング媒体循環手段および前記媒体清掃部とともに一体的に水平移動させるクリーニングヘッド移動手段とを備え、
前記媒体清掃部は、前記クリーニング媒体に対して前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面の反対側の面から気体を吹き付けることにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去するブロー手段と、前記クリーニング対象物が付着するクリーニング面側から前記クリーニング媒体を吸引することにより、前記クリーニング対象物を前記クリーニング媒体から分離・除去する吸引手段と、前記分離・除去されたクリーニング対象物を捕集して回収する回収手段とを備えた構成のスクリーン印刷装置によって、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記スクリーン印刷部によって前記基板にペーストを印刷する印刷動作を実行する印刷工程と、
前記印刷実行工程が終了した後に、前記クリーニングヘッドを上昇させて前記クリーニング媒体を前記マスクプレートの下面に押し付けた状態で、前記クリーニングヘッドを水平移動させてマスクプレートの下面をクリーニングするマスククリーニング工程と、
前記クリーニング媒体を所定の循環経路に沿って移動させて前記クリーニングヘッドに対して送給しながら、前記媒体清掃部によって前記クリーニング媒体に付着したクリーニング対象物を除去する媒体清掃工程とを含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
A screen printing unit for bringing a substrate into contact with a mask plate provided with a pattern hole and sliding a squeegee on the mask plate, and a cleaning medium in which a porous material is formed into a sheet shape by a cleaning head. A cleaning mechanism that cleans the mask plate by wiping it against
The cleaning mechanism is disposed in the circulation path for moving the cleaning medium along a predetermined circulation path and feeding the cleaning medium to the cleaning head, and adheres to the cleaning medium by the cleaning. A medium cleaning unit that removes the cleaning object, a head lifting mechanism that lifts and lowers the cleaning head, and the cleaning head horizontally moving together with the head lifting mechanism, the cleaning medium circulation unit, and the medium cleaning unit. A cleaning head moving means ,
The medium cleaning unit is configured to blow and separate gas from the cleaning medium by blowing gas from a surface opposite to a cleaning surface on which the cleaning object adheres to the cleaning medium; and By sucking the cleaning medium from the cleaning surface side to which the cleaning object adheres, a suction means for separating / removing the cleaning object from the cleaning medium, and collecting the separated / removed cleaning object A screen printing apparatus comprising a collecting means for collecting the paste, and a screen printing method for printing a paste on a substrate through the pattern hole,
A printing step of performing a printing operation of printing a paste on the substrate by the screen printing unit;
A mask cleaning step of cleaning the lower surface of the mask plate by moving the cleaning head horizontally in a state where the cleaning head is raised and the cleaning medium is pressed against the lower surface of the mask plate after the printing execution step is completed; ,
A medium cleaning step of removing a cleaning object adhered to the cleaning medium by the medium cleaning unit while moving the cleaning medium along a predetermined circulation path and feeding the cleaning medium to the cleaning head. A characteristic screen printing method.
前記媒体清掃工程を、前記マスククリーニング工程と同時並行的に実行することを特徴とする請求項記載のスクリーン印刷方法。 The screen printing method according to claim 4 , wherein the medium cleaning step is executed concurrently with the mask cleaning step. 前記媒体清掃工程を、前記マスククリーニング工程を実行していないクリーニング待機時に実行することを特徴とする請求項記載のスクリーン印刷方法。 The screen printing method according to claim 4 , wherein the medium cleaning process is executed during a cleaning standby period in which the mask cleaning process is not executed.
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