JP5097131B2 - リボン状イオンビームのイオン注入システムのアーキテクチャ - Google Patents
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Description
そして、多くの修正および変更がなされ得ることは明らかである。当業者にとっては明らかなこのような修正および変更は、添付の請求項の範囲により定義される本発明の範囲内に含まれることが意図される。
Claims (13)
- 質量分析スリットを含み、扇形リボン状イオンビームを生成するよう構成されたリボン状イオンビーム発生器と、
前記扇形リボン状イオンビームを少なくとも平行化して平行なリボン状イオンビームにする一組の湾曲した静電プレートを含むとともに、前記平行なリボン状イオンビームを加速または減速するよう構成された、前記リボン状イオンビーム発生器における前記質量分析スリットの下流に配置されたレンズシステムと、
前記レンズシステムの下流であって、前記平行なリボン状イオンビームが注入されるワークピースの前に配置されるエネルギーフィルタシステムと、
を備えるイオン注入システム。 - 前記レンズシステムは、25cm以上30cm以下の長さを有する、請求項1に記載のイオン注入システム。
- 前記エネルギーフィルタシステムは、20cmの長さを有する、請求項1または2に記載のイオン注入システム。
- 前記レンズシステムはさらに、前記平行なリボン状イオンビームを加速または減速する一組の加速/減速レンズを含む、請求項1から3の何れか1項に記載のイオン注入システム。
- 前記平行なリボン状イオンビームは、前記ワークピースの前で200eVの低いエネルギーを有する、請求項1から4の何れか1項に記載のイオン注入システム。
- 前記平行なリボン状イオンビームは、エネルギーコンタミネーションを含まない、請求項1から5の何れか1項に記載のイオン注入システム。
- ワークピースにイオン注入する方法であって、
質量分析スリットを含むリボン状イオンビーム発生器によって生成された扇形リボン状イオンビームを、前記扇形リボン状イオンビームを少なくとも平行化して平行なリボン状イオンビームにする一組の湾曲した静電プレートを含むレンズシステムに出力することと、
前記レンズシステムによって、前記扇形リボン状イオンビームを平行化するとともに、加速または減速させることにより、平行なリボン状イオンビームにすることと、
前記平行化の直後に前記リボン状イオンビームからエネルギーコンタミネーションを除去することと、
前記平行なリボン状イオンビームをワークピースに注入することと、
を含む、方法。 - リボン状イオンビームのイオン注入システムのためのアーキテクチャであって、
扇形リボン状イオンビームを受け、前記扇形リボン状イオンビームを少なくとも平行化して平行なリボン状イオンビームにする一組の湾曲した静電プレートを含むとともに、前記平行なリボン状イオンビームを加速または減速するよう構成された、前記イオン注入システムに備えられた質量分析スリットの下流に配置されたレンズシステムと、
前記レンズシステムの下流であって、前記平行なリボン状イオンビームが注入されるワークピースの前に配置されるエネルギーフィルタシステムと、
を備えるアーキテクチャ。 - 前記レンズシステムは、25cm以上30cm以下の長さを有する、請求項8に記載のアーキテクチャ。
- 前記エネルギーフィルタシステムは、20cmの長さを有する請求項8または9に記載のアーキテクチャ。
- 前記レンズシステムはさらに、前記平行なリボン状イオンビームを加速または減速する一組の加速/減速レンズを含む、請求項8から10の何れか1項に記載のアーキテクチャ。
- 前記平行なリボン状イオンビームは、前記ワークピースの前で200eVの低いエネルギーを有する、請求項8から11の何れか1項に記載のアーキテクチャ。
- 前記平行なリボン状イオンビームはエネルギーコンタミネーションを含まない、請求項8から12の何れか1項に記載のアーキテクチャ。
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