JP5083906B2 - 配線基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(a)まず、耐熱性繊維基材に未硬化の熱硬化性樹脂組成物を含浸させた厚みが30〜200μm程度の絶縁シートの両主面にポリエチレンテレフタレート等の熱可塑性樹脂から成る厚みが10〜30μm程度の樹脂フィルムを剥離可能に貼着する。
(b)次に、樹脂フィルムが貼着された絶縁シートに一方の主面側から樹脂フィルムを通して出力が2〜3mJでパルス幅が20〜40μsのレーザ光を一箇所につき4〜8回繰り返し照射することにより上下の樹脂フィルムおよび絶縁シートを連通する貫通孔を穿孔する。このように、出力が2〜3mJと低くパルス幅が20〜40μsと短いレーザ光を一箇所につき4〜8回繰り返し照射することによりレーザ光の照射によるエネルギーが貫通孔周辺の絶縁シートおよび樹脂フィルムに大きな変形を起こさないようにしている。
(c)次に、樹脂フィルムおよび絶縁シートを連通する貫通孔内に金属等の導電粉末および未硬化の熱硬化性樹脂組成物から成る導電ペーストを前記一方の主面側の樹脂フィルム上からスクリーン印刷(圧入)で充填する。なお、この場合、貫通孔の形成された樹脂フィルムが印刷用のマスクとして用いられ、貫通孔内に導電ペーストを充填した後に前記主面側の樹脂フィルム上を無塵布で拭き、樹脂フィルム上に残った導電ペーストを除去するとともに充填された導電ペーストの表面を平坦化する。
(d)次に、貫通孔内に導電ペーストが充填された絶縁シートの両主面から樹脂フィルムを剥離して除去する。このとき、絶縁シートの貫通孔内に充填された導電ペーストは樹脂フィルムの厚み分に対応して絶縁シートの主面から突出した状態となる。
(e)次に、別途、支持フィルム上に金属箔から成る配線導体を所定パターンに剥離可能に形成しておいた転写シートを、絶縁シートの少なくとも一方の主面に、前記配線導体が導電ペーストの端部を覆うようにして圧接して埋入させた後、絶縁シートの主面から支持フィルムを剥離除去することにより配線導体を転写する。
(f)ついで、配線導体が転写された絶縁シートを複数枚積層し、180〜240℃の温度で数分〜数時間、熱プレスを用いて加熱加圧し、前記絶縁シートおよび前記導電ペーストを硬化させて配線基板を得る。
1a バリ
2 樹脂フィルム
2a 突起
3 貫通孔
4 導電ペースト
5 配線導体
10 配線基板
Claims (3)
- 熱硬化性樹脂組成物を含有する絶縁シートの両主面に熱可塑性樹脂から成る樹脂フィルムを剥離可能に貼着させる工程と、前記樹脂フィルムが貼着された前記絶縁シートに一方の主面側から前記樹脂フィルムを通してレーザ光を照射することにより前記樹脂フィルムおよび前記絶縁シートを連通する貫通孔を穿孔する工程と、前記樹脂フィルムおよび前記絶縁シートを連通する前記貫通孔内に前記一方の主面側から導電ペーストを充填する工程と、前記貫通孔内に前記導電ペーストが充填された前記絶縁シートの両主面から前記樹脂フィルムを剥離して除去する工程と、前記樹脂フィルムが除去された前記絶縁シートの前記主面に金属箔から成る配線導体を前記導電ペーストの端部を覆うように埋入する工程とを具備する配線基板の製造方法であって、前記貫通孔を穿孔する工程において、前記貫通孔における前記一方の主面側の開口縁に前記レーザ光の照射によるエネルギーで前記絶縁シートの前記一方の主面から隆起された前記熱硬化性樹脂組成物から成るリング状のバリを形成するとともに、前記バリの外側に前記レーザ光の照射によるエネルギーで溶融されて前記樹脂フィルム上に前記バリ以上の高さに突出する前記熱可塑性樹脂から成るリング状の突起を形成し、前記導電ペーストを充填する工程において、前記突起の高さまで前記導電ペーストを充填した後、該導電ペーストを前記バリの高さまで拭き取ることを特徴とする配線基板の製造方法。
- 前記バリの前記絶縁シート主面からの高さが5〜20μmであることを特徴とする請求項1に記載の配線基板の製造方法。
- 前記貫通孔を形成する工程において、前記レーザ光の出力が5〜9mJでパルス幅が 60〜100μsであることを特徴とする請求項1または2に記載の配線基板の製造方法。
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