JP5072743B2 - Micromachine and micromilling machine - Google Patents
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Description
本発明はベース板のサイズがA4ぐらいの大きさのマイクロマシンおよびマイクロフライスマシンに関する。 The present invention relates to a micromachine and a micromilling machine having a base plate having a size of about A4.
従来、微小部品や精密旋削加工はZ軸やX軸等の制御をPCに接続されたPC画面上で行なう超小型精密CNC旋盤が使用されている。 Conventionally, a micro precision CNC lathe that performs control of the Z axis, the X axis, etc. on a PC screen connected to a PC is used for micro parts and precision turning.
しかしながら、このような超小型精密CNC旋盤は、ワークと刃物の先端部との工具長は顕微鏡による測定か基準点接触方式または基準点差入力等の方式で、すべてリミットスイッチを用いた接触式で全自動化されていなかった。
このため、ワークに接触応力が加わり、ワークに傷を付けたり、変形、破損させる恐れがあるという欠点があるとともに、リミットスイッチを用いた接触式の原点復帰は耐久性や正確性に欠けるという欠点があった。
For this reason, there is a drawback that contact stress is applied to the workpiece, and there is a risk that the workpiece may be scratched, deformed, or damaged. was there.
本発明は以上のような従来の欠点に鑑み、非接触で原点復帰した状態のワークと刃物との間の距離を自動的に測定できる、小型で故障が少なく、安価なマイクロマシンおよびマイクロフライスマシンを提供することを目的としている。 In view of the above-described conventional drawbacks, the present invention provides a micromachine and a micromilling machine that are small in size, have few failures, and are inexpensive, which can automatically measure the distance between a workpiece that has returned to its original position in a non-contact manner. It is intended to provide.
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は次の説明を添付図面と照らし合わせて読むと、より完全に明らかになるであろう。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
The above and other objects and novel features of the present invention will become more fully apparent when the following description is read in conjunction with the accompanying drawings.
However, the drawings are for explanation only and do not limit the technical scope of the present invention.
上記目的を達成するために、本発明はベース板と、このベース板にZ軸あるいはX軸方向にサーボモータで移動できるように取付けられたワークを支持するチャックが設けられたワーク支持台と、このワーク支持台を原点に復帰させる原点復帰センサーを用いたワーク支持台の原点復帰手段と、前記ベース板にX軸あるいはZ軸方向にサーボモータで移動できるように取付けられた刃物を支持する刃物支持台と、この刃物支持台を原点に復帰させる原点復帰センサーを用いた刃物支持台の原点復帰手段と、この刃物支持台の原点復帰手段で刃物支持台が原点に位置するとともに、前記ワーク支持台の原点復帰手段でワーク支持台が原点に位置させた所で、前記ワーク支持台のチャックに支持されているワークの原点と刃物支持台に支持されている刃物の先端部との間の水平方向の距離を測定する、前記ベース板にアームを介して設けられたCCDカメラを用いた測定装置と、この測定装置で測定された測定値により、あらかじめ設定された指定寸法のワークとなるように前記ワーク支持台および刃物支持台を移動させるサーボモータの駆動を制御する加工ソフトを備えたコンピューターとでマイクロマシンを構成している。 To achieve the above object, the present invention provides a base plate, and a work support base provided with a chuck for supporting a work attached to the base plate so as to be movable in the Z-axis or X-axis direction by a servo motor, An origin return means of a workpiece support base using an origin return sensor for returning the workpiece support base to the origin, and a cutter that supports a cutter attached to the base plate so as to be movable by a servo motor in the X-axis or Z-axis direction. The tool support base is returned to the origin by means of a support base and an origin return sensor that returns the tool support base to the origin, and the tool support base is located at the origin by the origin return means of the tool support base, and the workpiece support At the place where the workpiece support is positioned at the origin by the origin return means of the platform, it is supported by the workpiece origin supported by the chuck of the workpiece support platform and the tool support platform. It is set in advance by a measuring device using a CCD camera provided via an arm on the base plate and a measurement value measured by the measuring device, which measures a horizontal distance between the tip of the cutting tool. A micromachine is constituted by a computer equipped with processing software for controlling the drive of a servo motor that moves the workpiece support table and the blade support table so as to obtain a workpiece having a specified dimension.
本発明はベース板と、このベース板にZ軸あるいはX軸方向にサーボモータで移動できるように取付けられたワークを支持するチャックが設けられたワーク支持台と、このワーク支持台を原点に復帰させる原点復帰センサーを用いたワーク支持台の原点復帰手段と、前記ベース板にX軸あるいはZ軸方向にサーボモータで移動できるように取付けられた支持台と、この支持台を原点に復帰させる原点復帰センサーを用いた支持台の原点復帰手段と、前記支持台にY軸方向にサーボモータで移動できるように取付けられた工具を支持する工具支持台と、この工具支持台を原点に復帰させる原点復帰センサーを用いた工具支持台の原点復帰手段と、この工具支持台の原点復帰手段、支持台の原点復帰手段およびワーク支持台の原点復帰手段で工具支持台、支持台およびワーク支持台を原点に位置させた所で、工具支持台に支持された工具の先端部と前記ワーク支持台のチャックに支持されたワークの原点との間の水平方向および垂直方向の距離を測定する、前記ベース板にアームを介して設けられた水平および垂直用のCCDカメラを用いた測定装置と、この測定装置で測定された水平方向および垂直方向の測定値により、あらかじめ設定された指定寸法のワークとなるように前記工具支持台、支持台およびワーク支持台を移動させるサーボモータの駆動を制御する加工ソフトを備えたコンピューターとでマイクロフライスマシンを構成している。 The present invention includes a base plate, a work support base provided with a chuck for supporting a work attached to the base plate so as to be movable in the Z-axis or X-axis direction by a servo motor, and the work support base is returned to the origin. An origin return means for a workpiece support base using an origin return sensor, a support base attached to the base plate so as to be movable by a servo motor in the X-axis or Z-axis direction, and an origin for returning the support base to the origin An origin return means for a support base using a return sensor, a tool support base for supporting a tool attached to the support base so as to be movable by a servo motor in the Y-axis direction, and an origin for returning the tool support base to the origin Tool return means for tool support using return sensor, origin return means for this tool support, origin return means for support base, and origin return means for work support base The horizontal direction between the tip of the tool supported by the tool support base and the origin of the work supported by the chuck of the work support base when the holding base, the support base and the work support base are located at the origin. By measuring the distance in the vertical direction using a horizontal and vertical CCD camera provided on the base plate via an arm, and the measured values in the horizontal and vertical directions measured by this measuring apparatus, A micro milling machine is configured by the tool support base, a computer having processing software for controlling the drive of the servo motor that moves the work support base so that the workpiece has a preset specified dimension.
以上の説明から明らかなように、本発明にあっては次に列挙する効果が得られる。 As is clear from the above description, the present invention has the following effects.
(1)CCDカメラでワークと刃物の先端部との間の距離を、ワークに接触応力を加えたり、ワークに傷や変形、破損させることなく、非接触で容易に測定することができる。
したがって、小さなマイクロマシンであっても、CCDカメラは小さく、容易に安価に設置することができる。
(1) The distance between the workpiece and the tip of the blade can be easily measured in a non-contact manner without applying contact stress to the workpiece or scratching, deforming, or damaging the workpiece.
Therefore, even with a small micromachine, the CCD camera is small and can be easily installed at low cost.
(2)前記(1)によって、CCDカメラによってワークと刃物の先端部との間の距離を測定するので、従来の目測や顕微鏡を用いるものに比べ、短時間に正確に測定でき、ワークを正確に加工することができる。 (2) According to the above (1), the distance between the workpiece and the tip of the blade is measured by the CCD camera, so that the workpiece can be measured more accurately in a shorter time than the conventional one using a gaze or microscope. Can be processed.
(3)前記(2)によって、不良品の発生が少なく、効率よくワークを加工できるとともに、ワークの加工コストの低減を図ることができる。 (3) According to the above (2), it is possible to efficiently process a workpiece with few defective products, and to reduce the machining cost of the workpiece.
(4)前記(1)によって、ワーク支持台および刃物台を非接触で原点復帰させることができる。
したがって、耐久性に優れ、正確に原点復帰させることができる。
(4) According to the above (1), the work support base and the tool post can be returned to the origin without contact.
Therefore, it is excellent in durability and can return to the origin accurately.
(5)請求項2は加工されたワークの寸法を測定することができる。
したがって、正確に加工されているかどうかを知ることができる。
(5)
Therefore, it is possible to know whether or not the processing is accurately performed.
(6)請求項3はより正確にワークを加工することができる。
(6)
(7)請求項4も前記(1)〜(4) と同様な効果が得られる。 (7) In the fourth aspect, the same effects as in the above (1) to (4) can be obtained.
以下、図面に示す本発明を実施するための最良の形態により、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the best mode for carrying out the invention shown in the drawings.
図1ないし図5に示す本発明を実施するための最良の第1の形態において、1は本発明のマイクロマシンで、このマイクロマシン1は、例えばA4サイズの大きさのマイクロマシン本体2と、このマイクロマシン本体2に制御盤4を介して加工ソフトによって駆動させる駆動装置としてのノートPC等のデイスプレイを備えるコンピューター3とで構成されている。
In the first preferred embodiment for carrying out the present invention shown in FIGS. 1 to 5, reference numeral 1 denotes a micromachine according to the present invention. The micromachine 1 includes a micromachine
前記マイクロマシン本体2は図2ないし図4に示すように、例えばA4サイズの大きさのベース板5と、このベース板5にZ軸方向に固定されたZ軸ガイドレール6、6と、このZ軸ガイドレール6、6に沿ってZ軸方向に往復移動するZ軸テーブル7と、このZ軸テーブル7に固定されたバイトやドリル等の刃物8が取付けられる刃物支持台9と、前記Z軸テーブル7をZ軸方向に往復移動させる該Z軸テーブル7の底面に固定されたナット10と螺合される送りねじ11をカップリング12を介して正・逆回転させる、前記ベース板5に固定された前記ノートPC等のコンピューター3の加工ソフトで駆動されるZ軸サーボモータ13と、前記Z軸テーブル7が原点位置に位置するとセンサー信号を前記ノートPC等のコンピューター3に出力する、該Z軸テーブル7に固定された遮光板14および、前記ベース板5に該遮光板14に入り込むように固定された発光素子15と受光素子16とが備えられたZ軸原点復帰センサー17とからなるZ軸原点復帰手段18と、前記ベース板5にX軸方向に固定されたX軸ガイドレール19、19と、このX軸ガイドレール19、19に沿ってX軸方向に往復移動するX軸テーブル20と、このX軸テーブル20に固定されたワーク21を支持するチャック22を前記ノートPC等のコンピューター3の加工ソフトで駆動されるモータ23を備えるワーク駆動装置24を支持するワーク支持台25と、前記X軸テーブル20をX軸方向に往復移動させる、該X軸テーブル20の底面に固定されたナット26と螺合される送りねじ27をカップリング28を介して正・逆回転させる、前記ベース板5に固定された前記ノートPC等のコンピューター3の加工ソフトで駆動するX軸サーボモータ29と、前記X軸テーブル20が原点位置に位置するセンサー信号を前記ノートPC等のコンピューター3に出力する、該X軸テーブル20に固定された遮光板30および、前記ベース板5に該遮光板30が入り込むように固定された発光素子31と受光素子32とが備えられたX軸原点復帰センサー33とからなるX軸原点復帰手段34と、前記ベース板5にアーム35を介して固定された原点位置の前記刃物支持台9の刃物8の先端部と前記ワーク支持台25のワーク21との間の水平方向の距離およびワークの大きさを測定することができ、測定信号を前記ノートPC等のコンピューター3に出力することができるCCDカメラ36を用いた測定装置37と、この測定装置37で測定された測定値により、あらかじめ設定された指定寸法のワークとなるように、前記ワーク支持台25および刃物支持台9を移動させるサーボモータ13、29の駆動を制御する加工ソフト38とで構成されている。
As shown in FIGS. 2 to 4, the micromachine
なお、刃物支持台9の原点復帰手段18やワーク支持台25の原点復帰手段34の動作シーケンスの一例としては、現在の位置を読み込み、決められた距離範囲内でZ軸・X軸原点復帰センサー17、33から十分離れる位置に移動させる。
しかる後、Z軸・X軸原点復帰センサー17、33の設置された方向に向かって、ある程度の高速で移動させる。
Z軸・X軸原点復帰センサー17、33の信号が入った時点で減速停止し、その後、逆方向に十分な低速で移動させ、Z軸・X軸原点復帰センサー17、33の信号が消える位置まで移動させ、停止させることで刃物支持台9およびワーク支持台25の原点に位置させる。
なお、具備したZ軸・X軸原点復帰センサー17、33に一定の間隔ごとにスパイク状に得られる信号(C相信号など) がある場合には、Z軸・X軸原点復帰センサー17、33の信号が消えてから、更に決められた回数だけ、その信号が出力される位置まで移動し、停止させて、刃物支持台9およびワーク支持台25を原点に位置させる。
As an example of the operation sequence of the origin return means 18 of the
Thereafter, it is moved at a certain high speed in the direction in which the Z-axis / X-axis
When the signals from the Z-axis / X-axis
If the Z-axis / X-axis
上記構成のマイクロマシン1はノートPC等のコンピューター3の加工ソフト38によって、Z軸原点復帰手段18のZ軸サーボモータ13の駆動およびZ軸原点復帰センサー17で刃物支持台9を原点に位置させる。
また、X軸原点復帰手段34のX軸サーボモータ29の駆動およびX軸原点復帰センサー33でワーク支持台25を原点に位置させる。
次に刃物支持台9およびワーク支持台25が原点に位置すると、測定装置37のCCDカメラ36によって、ワーク支持台25に支持されているワーク21のサイズを測定するとともに、刃物支持台9に支持されている刃物8の先端部とワーク支持台25に支持されているワーク21との間の水平方向の距離を測定し、その測定値をノートPC等のコンピューター3の加工ソフト38に入力する。
この測定値がノートPC等のコンピューター3の加工ソフト38に入力されると、加工の原点位置を修正して加工ソフト38でワーク駆動装置24のモータ23、Z軸サーボモータ13およびX軸サーボモータ29を駆動させ、刃物8でワーク21を所定寸法に加工する。
In the micromachine 1 having the above-described configuration, the
Further, the X
Next, when the
When this measured value is input to the
なお、ノーズ半径がある刃物8を使用する場合、ノーズ円弧内での全角度方向におけるノーズ半径中心から刃物8の先端部までの距離データテーブルを用いた測定装置を用いてもよい。
また、温度により伸縮がある場合、伸縮量の補正値の入力がされる測定装置を用いてもよい。
加工後、CCDカメラ36によって加工原点から突出した加工後のワークの寸法を測定し、目標値と誤差がある場合、誤差量に応じた補正値が加工ソフト38に入力される補正回路あるいはソフトウエアによる補正処理を行う測定装置37を用いてもよい。
In addition, when using the
In addition, when there is expansion / contraction due to temperature, a measuring device to which a correction value for the expansion / contraction amount is input may be used.
After processing, the dimension of the processed workpiece protruding from the processing origin is measured by the
前記本発明を実施するための最良の第1の形態では、Z軸方向に移動する刃物支持台9、X軸方向に移動するワーク支持台25を設けたものについて説明したが、本発明はこれに限らず、Z軸方向にワーク支持台25を移動させ、X軸方向に刃物支持台9を移動させるようにしても、同様な作用効果が得られる。
[発明を実施するための異なる形態]
In the first preferred embodiment for carrying out the present invention, the blade support table 9 that moves in the Z-axis direction and the workpiece support table 25 that moves in the X-axis direction have been described. The same effect can be obtained by moving the
[Different forms for carrying out the invention]
次に、図6ないし図11に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための最良の第1の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。 Next, different modes for carrying out the present invention shown in FIGS. 6 to 11 will be described. In the description of these different modes for carrying out the present invention, the same components as those in the best mode for carrying out the present invention are designated by the same reference numerals and redundant description is omitted. To do.
図6に示す本発明を実施するための第2の形態において、前記本発明を実施するための最良の第1の形態と主に異なる点は、加工ソフト38が備えられたデスクトップPC等のコンピューター3Aを直接マイクロマシン本体2Aに接続した点で、このように構成したマイクロマシン1Aにしても、前記本発明を実施するための最良の第1の形態と同様な作用効果が得られる。
The second embodiment for carrying out the present invention shown in FIG. 6 is mainly different from the best first embodiment for carrying out the present invention in that a computer such as a desktop PC provided with
図7ないし図11に示す本発明を実施するための第3の形態において、前記本発明を実施するための最良の第1の形態と主に異なる点は、Z軸テーブル7にX 軸方向に移動するワーク支持台25を取付けるとともに、該ワーク支持台25のチャック22に支持されたワーク21を加工できる部位のベース板5にY軸方向のY軸ガイドレール41、41が固定されたY軸テーブル42と、このY軸テーブル42のY軸ガイドレール41、41に沿ってY軸方向に往復移動する刃物8が取付けられた刃物支持台9と、この刃物支持台9をY軸方向に往復移動させ、該刃物支持台9の底面に固定されたナット43と螺合される送りねじ44をカップリング45を介して正・逆回転させる、前記Y軸テーブル42に固定されたPC等のコンピューター3の加工ソフト38で駆動するY軸サーボモータ46と、前記刃物支持台9が原点に位置するとセンサー信号をPC等のコンピューター3に出力する刃物支持台9に固定された遮光板47および、前記Y軸テーブル42に該遮光板47が入り込むように固定された発光素子48と受光素子49とが備えられたY軸原点復帰センサー50とからなるY軸原点復帰手段51と、ワーク支持台25、Z軸テーブル7および刃物支持台9がそれぞれ原点に位置した所で、刃物支持台9に支持された刃物8の先端部と前記ワーク支持台25に支持されたワーク21との原点間の垂直方向の距離を測定する、前記ベース板5にアーム52を介して設けられた垂直用のCCDカメラ53を用いた測定値がPC等のコンピューター3の加工ソフト38へ出力される垂直測定装置54および、刃物8の先端部とワーク21との原点間の水平方向の距離を測定する、前記ベース板5にアーム35を介して設けられた水平用のCCDカメラ36を用いた測定値がPC等のコンピューター3の加工ソフト38へ出力される水平測定装置37とを用いた点で、このように構成されたマイクロフライスマシン55にしても、前記本発明を実施するための最良の第1の形態と同様な作用効果が得られる。
The third embodiment for carrying out the present invention shown in FIGS. 7 to 11 is mainly different from the first embodiment for carrying out the present invention in that the Z-axis table 7 is arranged in the X-axis direction. is attached to the workpiece support table 25 to move, Y-axis the workpiece a supported
本発明はマイクロマシンやマイクロフライスマシンを製造する産業で利用される。 The present invention is used in industries that manufacture micromachines and micromilling machines.
1、1A:マイクロマシン、
2、2A:マイクロマシン本体、
3、3A:コンピューター、 4:モニター、
5:ベース板、 6:X軸ガイドレール、
7:Z軸テーブル、 8:刃物、
9:刃物支持台、 10:ナット、
11:送りねじ、 12:カップリング、
13:Z軸サーボモータ、 14:遮光板、
15:発光素子、 16:受光素子、
17:Z軸原点復帰センサー、 18:Z軸原点復帰手段、
19:X軸ガイドレール、 20:X軸テーブル、
21:ワーク、 22:チャック、
23:モータ、 24:ワーク駆動装置、
25:ワーク支持台、 26:ナット、
27:送りねじ、 28:カップリング、
29:X軸サーボモータ、 30:遮光板、
31:発光素子、 32:受光素子、
33:X軸原点復帰センサー、 34:X軸原点復帰手段、
35:アーム、 36:CCDカメラ、
37:測定装置、 38:加工ソフト、
41:Y軸ガイドレール、 42:Y軸テーブル、
43:ナット、 44:送りねじ、
45:カップリング、 46:Y軸サーボモータ、
47:遮光板、 48:発光素子、
49:受光素子、 50:Y軸原点復帰センサー、
51:Y軸原点復帰手段、 52:アーム、
53:垂直用のCCDカメラ、 54:垂直測定装置、
55:マイクロフライスマシン。
1, 1A: Micromachine,
2, 2A: Micromachine body
3, 3A: Computer, 4: Monitor,
5: Base plate, 6: X-axis guide rail,
7: Z-axis table, 8: Cutting tool,
9: Tool support, 10: Nut,
11: Lead screw, 12: Coupling,
13: Z-axis servo motor, 14: Shading plate,
15: light emitting element, 16: light receiving element,
17: Z-axis origin return sensor, 18: Z-axis origin return means,
19: X-axis guide rail, 20: X-axis table,
21: Workpiece, 22: Chuck,
23: Motor, 24: Work drive device,
25: Work support base, 26: Nut,
27: Lead screw, 28: Coupling,
29: X-axis servo motor, 30: Shading plate,
31: Light emitting element, 32: Light receiving element,
33: X-axis origin return sensor, 34: X-axis origin return means,
35: Arm, 36: CCD camera,
37: Measuring device, 38: Processing software,
41: Y-axis guide rail, 42: Y-axis table,
43: Nut, 44: Feed screw,
45: Coupling, 46: Y-axis servo motor,
47: light shielding plate, 48: light emitting element,
49: Light receiving element, 50: Y-axis origin return sensor,
51: Y-axis origin return means, 52: Arm,
53: CCD camera for vertical use, 54: Vertical measurement device,
55: Micro milling machine.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105798363A (en) * | 2016-03-21 | 2016-07-27 | 大连理工大学 | Processing method of hydrophilic micro patterns with controllable adhesive force |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105081880A (en) * | 2014-05-05 | 2015-11-25 | 天津职业技术师范大学 | Method and apparatus of non-contact on-line identification for radial jumping quantity of micro milling cutter |
CN106378478B (en) * | 2016-10-28 | 2019-01-29 | 江苏工大金凯高端装备制造有限公司 | A kind of micro- milling method of rule pyramid micro-structure |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000210841A (en) * | 1999-01-25 | 2000-08-02 | Yasuki Fukuda | Automated cutting device |
JP4203860B2 (en) * | 2005-06-01 | 2009-01-07 | 独立行政法人海洋研究開発機構 | Micro milling system and control method thereof |
-
2008
- 2008-07-04 JP JP2008175211A patent/JP5072743B2/en active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105798363A (en) * | 2016-03-21 | 2016-07-27 | 大连理工大学 | Processing method of hydrophilic micro patterns with controllable adhesive force |
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