JP5064903B2 - Fluid control valve - Google Patents

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本発明は、半導体製造工程等で使用される流体制御弁に関する。   The present invention relates to a fluid control valve used in a semiconductor manufacturing process or the like.

半導体製造工程においては、腐食性の高い薬液等が使用されている。薬液の供給を制御するための流体制御弁は、腐食性の高い薬液に対応するため、接液部がフッ素樹脂等の樹脂で形成されている。また、薬液と弁操作機構とを遮断するため、樹脂製のダイアフラム弁体が多く使用されている。   In the semiconductor manufacturing process, a highly corrosive chemical solution or the like is used. In the fluid control valve for controlling the supply of the chemical liquid, the liquid contact portion is formed of a resin such as a fluororesin in order to cope with the highly corrosive chemical liquid. Moreover, in order to shut off a chemical | medical solution and a valve operation mechanism, many resin-made diaphragm valve bodies are used.

図１０は、従来の流体制御弁１００の断面図である。図１１は、図１０に示す流体制御弁をＣ方向から見た図であって、環状溝の変形を点線で示す。但し、図面を見やすくするために、図１１上では樹脂製弁本体１０１の外形を簡略化して示すと共に、環状溝１０８とその環状溝１０８に嵌合するダイアフラム弁体１０３の周縁部１０３ｃのみを記載する。
図１０に示すように、流体制御弁１００は、樹脂製弁本体１０１と樹脂製弁上体１０２との間にダイアフラム弁体１０３が狭持されている。 FIG. 10 is a cross-sectional view of a conventional fluid control valve 100. FIG. 11 is a view of the fluid control valve shown in FIG. 10 as viewed from the C direction, and the deformation of the annular groove is indicated by a dotted line. However, in order to make the drawing easy to see, the outer shape of the resin valve main body 101 is shown in a simplified manner in FIG. To do.
As shown in FIG. 10, in the fluid control valve 100, a diaphragm valve body 103 is sandwiched between a resin valve main body 101 and a resin valve upper body 102.

図１０に示すように、樹脂製弁本体１０１は、入力ポート１０４と出力ポート１０５とが連通する開口部１０６が形成され、開口部１０６内に弁座１０７が設けられている。ダイアフラム弁体１０３は、樹脂製弁本体１０１に設けられた弁座１０７に当接又は離間する弁体部１０３ａと、弁体部１０３ａの周りに環状に設けられた薄膜部１０３ｂと、薄膜部１０３ｂの周縁に沿って設けられた肉厚の周縁部１０３ｃとを備える。樹脂製弁本体１０１の上面には、開口部１０６の外側に環状溝１０８が、図１１の実線に示すように真円状に形成されている。図１０に示すように、樹脂製弁本体１０１は、ダイアフラム弁体１０３の周縁部１０３ｃが環状溝１０８に嵌合し、環状溝１０８の内壁と樹脂製弁上体１０２の下端面との間で周縁部１０３ｃを押し潰してシールする。   As shown in FIG. 10, the resin valve main body 101 has an opening portion 106 in which the input port 104 and the output port 105 communicate with each other, and a valve seat 107 is provided in the opening portion 106. The diaphragm valve body 103 includes a valve body portion 103a that contacts or separates from a valve seat 107 provided in the resin valve main body 101, a thin film portion 103b that is annularly provided around the valve body portion 103a, and a thin film portion 103b. And a thick peripheral edge portion 103c provided along the peripheral edge. On the upper surface of the resin valve main body 101, an annular groove 108 is formed in a perfect circle shape outside the opening 106 as shown by the solid line in FIG. As shown in FIG. 10, the resin valve main body 101 has a peripheral edge 103 c of the diaphragm valve body 103 fitted into the annular groove 108, and between the inner wall of the annular groove 108 and the lower end surface of the resin valve upper body 102. The peripheral portion 103c is crushed and sealed.

このような流体制御弁１００は、入力ポート１０４と出力ポート１０５に樹脂製のチューブ１１０，１１１が接続される。そして、流体制御弁１００は、ダイアフラム弁体１０３を弁座１０７に当接又は離間させることにより、入力ポート１０４から出力ポート１０５へ供給する薬液を制御する（例えば、特許文献１参照）。   In such a fluid control valve 100, resin tubes 110 and 111 are connected to the input port 104 and the output port 105. And the fluid control valve 100 controls the chemical | medical solution supplied to the output port 105 from the input port 104 by making the diaphragm valve body 103 contact | abut or separate from the valve seat 107 (for example, refer patent document 1).

特開２００３−２４７６５０号公報JP 2003-247650 A

しかしながら、従来の流体制御弁１００は、例えば１４０〜１５０℃の高温薬液を制御する場合、樹脂製弁本体１０１やダイアフラム弁体１０３が硬度を低下されて柔らかくなっていた。また、樹脂製弁本体１０１に接続する樹脂製のチューブ１１０，１１１が熱膨張し、図１０及び図１１に示すように、樹脂製弁本体１０１に図中Ｆ１，Ｆ２方向の力を与えていた。このため、樹脂製弁本体１０１は、図１１の点線に示すように、チューブ１１０，１１１の間で押し潰されるように変形していた。   However, when the conventional fluid control valve 100 controls, for example, a high-temperature chemical solution at 140 to 150 ° C., the resin valve main body 101 and the diaphragm valve body 103 are softened with reduced hardness. Further, the resin tubes 110 and 111 connected to the resin valve main body 101 were thermally expanded, and as shown in FIGS. 10 and 11, force was applied to the resin valve main body 101 in the directions F1 and F2 in the figure. . For this reason, the resin valve main body 101 has been deformed so as to be crushed between the tubes 110 and 111, as indicated by the dotted line in FIG.

これに伴って、流体制御弁１００は、樹脂製弁本体１０１の環状溝１０８及びダイアフラム弁体１０３の周縁部１０３ｃが真円状（図１１の図中実線参照）から楕円状（図１１の図中点線参照）に変形していた。このため、ダイアフラム弁体１０３の周縁部１０３ｃは、樹脂製弁本体１０１と樹脂製弁上体１０２との間で円周方向に均一に押し潰されなくなり、シールの均一性が損なわれていた。つまり、流体制御弁１００は、高温薬液制御時にダイアフラム弁体１０３の周縁部１０３ｃと樹脂製弁本体１０１の環状溝１０８との間のシールが不安定になり、シールの弱い部分から流体漏れが生じる恐れがあった。   Accordingly, in the fluid control valve 100, the annular groove 108 of the resin valve body 101 and the peripheral edge portion 103c of the diaphragm valve body 103 are changed from a perfect circle shape (see the solid line in FIG. 11) to an ellipse shape (FIG. 11). (See the middle dotted line). For this reason, the peripheral edge 103c of the diaphragm valve body 103 is not uniformly crushed in the circumferential direction between the resin valve main body 101 and the resin valve upper body 102, and the uniformity of the seal is impaired. That is, in the fluid control valve 100, the seal between the peripheral edge portion 103c of the diaphragm valve body 103 and the annular groove 108 of the resin valve body 101 becomes unstable during high-temperature chemical control, and fluid leaks from a weakly sealed portion. There was a fear.

特に近年、半導体製造工程では、薬液を活性化した状態でウエハ等のワークに供給するために、高温薬液の使用頻度が増えている。しかも、半導体製造工程では、高浸透性の薬液を使用することも多い。今後、流体制御弁は、高温・高浸透薬液を制御する機会が多くなると考えられ、高温薬液制御時であっても安定したシールを行うことが求められている。   Particularly in recent years, in the semiconductor manufacturing process, the frequency of use of a high-temperature chemical solution is increasing in order to supply the chemical solution to a workpiece such as a wafer in an activated state. In addition, a highly permeable chemical solution is often used in the semiconductor manufacturing process. In the future, fluid control valves are considered to have more opportunities to control high temperature and high osmotic chemical solutions, and there is a demand for stable sealing even during high temperature chemical control.

本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、高温流体制御時でも安定したシールを行うことができる流体制御弁を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a fluid control valve that can perform stable sealing even during high-temperature fluid control.

本発明に係る流体制御弁は、次のような構成を有している。
（１）入力ポートと出力ポートとに連通する開口部を備える樹脂製弁本体と、前記開口部の内壁に設けられた弁座と、前記樹脂製弁本体の上面に連結される樹脂製弁上体と、前記樹脂製弁本体と前記樹脂製弁上体との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体とを備える流体制御弁において、前記樹脂製弁本体は、前記開口部の外側に環状溝が形成されており、前記ダイアフラム弁体は、外縁に沿って肉厚に設けられ、前記環状溝に嵌合して径方向にシールを行う周縁部を含み、前記周縁部の前記樹脂製弁上体側から前記周縁部の肉厚方向に装着溝が形成されており、前記ダイアフラム弁体より硬い材料を環状に形成したリング体が、前記樹脂製弁上体側から前記装着溝内へ挿入されて前記周縁部に装着され、前記周縁部の径方向のシール面を支持して前記シール面の変形を阻止する。 The fluid control valve according to the present invention has the following configuration.
(1) A resin valve body having an opening communicating with the input port and the output port, a valve seat provided on the inner wall of the opening, and a resin valve connected to the upper surface of the resin valve body A fluid control valve comprising a body, and a resin diaphragm valve body sandwiched between the resin valve main body and the resin valve upper body, wherein the resin valve main body is outside the opening. the annular groove is formed, said diaphragm valve body is provided in a thickness along the outer edge, wherein the peripheral portion for sealing the fitting to the radial direction to said annular groove, said resin of the peripheral edge A mounting groove is formed in the thickness direction of the peripheral edge from the valve upper body side, and a ring body formed of a material harder than the diaphragm valve body is inserted into the mounting groove from the resin valve upper body side. It is attached to the peripheral edge Te, the sealing surface of the radial direction of the peripheral edge Supporting and blocking the deformation of the seal surface.

（２）（１）に記載の発明において、前記リング体は軸線方向断面形状が屈曲している。
（３）（１）又は（２）に記載の発明において、前記リング体は、断面形状が楔形である。
（４）（１）乃至（３）の何れか一つに記載の発明において、前記リング体は前記樹脂製弁上体側に突き出す摘み部を有する。 (2) In the invention described in (1), the ring body is bent in an axial sectional shape.
(3) In the invention described in (1) or (2), the ring body has a wedge shape in cross section.
(4) In the invention according to any one of (1) to (3), the ring body has a knob portion protruding toward the resin valve upper body side.

（５）（１）又は（３）に記載の発明において、前記リング体は、前記樹脂製弁上体に一体的に設けられている。 (5) In the invention described in (1) or (3), the ring body is provided integrally with the resin valve upper body.

（６）（１）乃至（５）の何れか一つに記載の発明において、前記周縁部は、前記リング体が装着される環状の第１凸部と、前記第１凸部の外側に設けられた環状の第２凸部と、を有し、前記環状溝は、前記第１凸部が嵌合する第１環状溝と、前記第２凸部が嵌合して、第２凸部が当接する面でシールする第２環状溝と、を有する。 (6) In the invention according to any one of (1) to (5), the peripheral edge portion is provided on the outer side of the annular first convex portion to which the ring body is attached and the first convex portion. An annular second convex portion, and the annular groove has a first annular groove into which the first convex portion is fitted, and the second convex portion is fitted into the second convex portion. A second annular groove that seals at the abutting surface.

（７）（６）に記載の発明において、前記第１凸部は、前記第２凸部より前記樹脂製弁本体側へ突出しており、前記リング体は、前記周縁部の前記樹脂製弁上体側から前記第２凸部の先端位置より深い位置まで前記第１凸部に装着されている。 (7) In the invention described in (6), the first protrusion protrudes from the second protrusion toward the resin valve main body, and the ring body is located on the resin valve at the peripheral edge. The first convex portion is mounted from the body side to a position deeper than the tip position of the second convex portion.

本発明の流体制御弁は、例えば、入力ポートと出力ポートに樹脂製のチューブを接続して、高温流体を制御する場合に、チューブが膨張して樹脂製弁本体を押し潰す方向に力を加える。樹脂製弁本体は、環状溝の内壁を介してダイアフラム弁体の周縁部に内向きの力を加え、シール面を変形させようとする。しかし、ダイアフラム弁体の周縁部は、ダイアフラム弁体より硬い材料を環状に形成したリング体が装着され、補強されている。そのため、本発明の流体制御弁は、ダイアフラム弁体の周縁部が樹脂製弁本体に押圧されても変形しない。つまり、シール面は、高温流体制御時に変形せず、シールの均一性を維持する。よって、本発明の流体制御弁によれば、高温流体制御時であっても安定したシールを行うことができる。   In the fluid control valve of the present invention, for example, when a resin tube is connected to an input port and an output port to control a high-temperature fluid, a force is applied in a direction in which the tube expands and crushes the resin valve body. . The resin valve body applies an inward force to the peripheral edge portion of the diaphragm valve body through the inner wall of the annular groove to deform the seal surface. However, the peripheral part of the diaphragm valve body is reinforced by mounting a ring body made of a material harder than the diaphragm valve body in an annular shape. Therefore, the fluid control valve of the present invention does not deform even when the peripheral edge of the diaphragm valve body is pressed by the resin valve body. That is, the seal surface is not deformed during high-temperature fluid control, and the seal uniformity is maintained. Therefore, according to the fluid control valve of the present invention, stable sealing can be performed even during high temperature fluid control.

特に、例えば半導体製造工程では、薬液を活性状態でウエハ等のワークに供給するために、薬液を高温にしている。本発明の流体制御弁は、高温薬液を制御する場合でも安定したシールを行うので、高浸透性薬液を高温にしたものを制御する場合でも、流体漏れを防止できる。   In particular, in a semiconductor manufacturing process, for example, the chemical solution is heated to a high temperature in order to supply the chemical solution to a workpiece such as a wafer in an active state. Since the fluid control valve of the present invention performs stable sealing even when controlling a high-temperature chemical solution, fluid leakage can be prevented even when controlling a high-permeability chemical solution at a high temperature.

本発明の流体制御弁は、リング体が屈曲して剛性を向上させているので、シール面の変形をより確実に阻止できる。
本発明の流体制御弁は、断面形状が楔形であるため、リング体を周縁部に装着しやすい。
本発明の流体制御弁は、樹脂製弁上体側に突き出す摘み部を指でつまんでリング体を樹脂製弁本体の環状溝に嵌め込むので、リング体の取扱性が良い。 In the fluid control valve according to the present invention, since the ring body is bent to improve the rigidity, the deformation of the seal surface can be more reliably prevented.
Since the cross-sectional shape of the fluid control valve of the present invention is wedge-shaped, it is easy to attach the ring body to the peripheral portion.
The fluid control valve of the present invention has good handleability of the ring body because the ring body is fitted into the annular groove of the resin valve main body by pinching the knob protruding to the resin valve upper body side with a finger.

本発明の流体制御弁は、リング体が樹脂製弁上体に一体的に設けられているので、リング体が変形しにくい上に、位置ずれしない。このため、樹脂製弁本体は、リング体を介して樹脂製弁上体に係止され、シール位置が位置決めされる。よって、本発明の流体制御弁によれば、シール位置が横ずれして流体漏れを生じる不具合を回避できる。   In the fluid control valve of the present invention, since the ring body is provided integrally with the resin valve upper body, the ring body is not easily deformed and is not displaced. For this reason, the resin valve main body is locked to the resin valve upper body via the ring body, and the seal position is positioned. Therefore, according to the fluid control valve of the present invention, it is possible to avoid the problem that the seal position shifts laterally and causes fluid leakage.

本発明の流体制御弁は、周縁部の第１凸部にリング体を装着し、第１凸部を樹脂製弁本体の第１環状溝に嵌合し、第２凸部を樹脂製弁本体の第２環状溝に嵌合する。第２凸部は、第２環状溝の内壁に当接してシールを行う。よって、本発明の流体制御弁によれば、リング体をシール面の近くに配置して、樹脂製弁本体の熱膨張等がシール面に与える影響を小さくできる。   In the fluid control valve of the present invention, the ring body is attached to the first convex portion at the peripheral portion, the first convex portion is fitted into the first annular groove of the resin valve main body, and the second convex portion is set to the resin valve main body. Is fitted into the second annular groove. The second convex portion is in contact with the inner wall of the second annular groove for sealing. Therefore, according to the fluid control valve of the present invention, it is possible to reduce the influence of the thermal expansion or the like of the resin valve main body on the seal surface by arranging the ring body near the seal surface.

本発明の流体制御弁は、リング体が、周縁部の樹脂製弁上体側から第２凸部の先端位置より深い位置まで第１凸部に装着され、第２凸部が第２環状溝の内壁に当接してシールするシール面全体を支持する。樹脂製弁本体の変形に伴ってシール面に内向きに作用する力は、第１凸部全体に分散される。このため、第１凸部は、シール面に作用する力によって変形しにくく、シール面の変形を阻止する。よって、本発明の流体制御弁によれば、安定したシールを行うことができる。   In the fluid control valve of the present invention, the ring body is mounted on the first convex portion from the resin valve upper body side of the peripheral portion to a position deeper than the tip position of the second convex portion, and the second convex portion is the second annular groove. Supports the entire sealing surface that seals against the inner wall. The force acting inwardly on the seal surface with the deformation of the resin valve main body is dispersed throughout the first convex portion. For this reason, a 1st convex part cannot change easily with the force which acts on a sealing surface, and prevents a deformation | transformation of a sealing surface. Therefore, according to the fluid control valve of the present invention, stable sealing can be performed.

次に、本発明に係る流体制御弁の実施形態について図面を参照して説明する。   Next, an embodiment of a fluid control valve according to the present invention will be described with reference to the drawings.

（第１実施形態）
図１は、第１実施形態に係る流体制御弁１の断面図であって、弁開状態を示す。
第１実施形態の流体制御弁１は、従来技術と同様、半導体製造装置に組み付けられ、薬液の供給を制御する。流体制御弁１は、ノーマルオープンタイプのエアオペレイト式開閉弁である。流体制御弁１は、樹脂製弁本体２の上面に樹脂製弁上体３を連結し、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間にダイアフラム弁体４が狭持されている。流体制御弁１は、樹脂製弁上体３内のピストン２５を摺動させることにより、ダイアフラム弁体４を弁座１５に当接又は離間させる。流体制御弁１は、半導体製造装置に取り付けるための取付板５が樹脂製弁本体２の下面に固設されている。 (First embodiment)
Drawing 1 is a sectional view of fluid control valve 1 concerning a 1st embodiment, and shows a valve open state.
The fluid control valve 1 of 1st Embodiment is assembled | attached to a semiconductor manufacturing apparatus similarly to a prior art, and controls supply of a chemical | medical solution. The fluid control valve 1 is a normally open type air-operated on-off valve. In the fluid control valve 1, a resin valve upper body 3 is connected to an upper surface of a resin valve main body 2, and a diaphragm valve body 4 is sandwiched between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 3. . The fluid control valve 1 causes the diaphragm valve body 4 to contact or separate from the valve seat 15 by sliding the piston 25 in the resin valve upper body 3. In the fluid control valve 1, an attachment plate 5 for attachment to a semiconductor manufacturing apparatus is fixed to the lower surface of the resin valve body 2.

樹脂製弁本体２は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）やＰＦＡ（四フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体）等、耐腐食性や耐熱性に優れた樹脂を成形したものである。   The resin valve body 2 is formed by molding a resin excellent in corrosion resistance and heat resistance, such as PTFE (polytetrafluoroethylene) and PFA (tetrafluoroethylene perfluoroalkyl vinyl ether copolymer).

樹脂製弁本体２は、入力ポート１１と出力ポート１２が側面に設けられ、樹脂製のチューブ１１０，１１１が螺合接続される。樹脂製弁本体２の上面には、開口部１４が円柱状に開設されている。開口部１４は、入力側流路９と出力側流路１０を介して入力ポート１１と出力ポート１２にそれぞれ連通し、入力側流路９が開口する部分の周りに弁座１５が一体成形されている。尚、弁座１５は、樹脂製弁本体２と別個の部品で構成し、樹脂製弁本体２にねじ構造や接着材などにより固定してもよいことは言うまでもない。   The resin valve body 2 has an input port 11 and an output port 12 provided on the side surface, and resin tubes 110 and 111 are screwed together. An opening 14 is formed in a cylindrical shape on the upper surface of the resin valve main body 2. The opening 14 communicates with the input port 11 and the output port 12 via the input side flow path 9 and the output side flow path 10, respectively, and a valve seat 15 is integrally formed around a portion where the input side flow path 9 opens. ing. Needless to say, the valve seat 15 may be formed of a separate component from the resin valve body 2 and fixed to the resin valve body 2 with a screw structure or an adhesive.

図２は、図１に示すＡ部の拡大図である。
樹脂製弁本体２の上面には、環状溝１６が開口部１４の外側に形成され、ダイアフラム弁体４の周縁部４ｃが嵌合している。樹脂製弁本体２は、樹脂製弁上体３との間でダイアフラム弁体４を位置決め保持するために、環状溝１６の内周面を構成する内壁１７が、環状溝１６の外周面を構成する外壁１８より低くなっている。 FIG. 2 is an enlarged view of part A shown in FIG.
On the upper surface of the resin valve body 2, an annular groove 16 is formed outside the opening 14, and the peripheral edge 4 c of the diaphragm valve body 4 is fitted. In the resin valve main body 2, the inner wall 17 constituting the inner peripheral surface of the annular groove 16 constitutes the outer peripheral surface of the annular groove 16 in order to position and hold the diaphragm valve body 4 with the resin valve upper body 3. The outer wall 18 is lower than the outer wall 18.

図３は、図１に示す流体制御弁をＢ方向から見た図である。但し、図面を見やすくするために、開口部１４と、第１及び第２環状溝１６ａ，１６ｂと、第１及び第２環状溝１６ａ，１６ｂに嵌合する第１及び第２凸部３１，３２のみを記載する。
環状溝１６は、第１環状溝１６ａと、第１環状溝１６ａより大径の第２環状溝１６ｂとを備える。第１環状溝１６ａと第２環状溝１６ｂは、同心の真円状に形成されている。そのため、第１環状溝１６ａの外周面と第２環状溝１６ｂの内周面を構成する環状壁１９は、真円状に設けられている。図２に示すように、環状壁１９は、内壁１７及び外壁１８がシール圧力を受けるように、内壁１７及び外壁１８より高さが低くされている。 FIG. 3 is a view of the fluid control valve shown in FIG. 1 as viewed from the B direction. However, in order to make the drawing easier to see, the opening 14, the first and second annular grooves 16a and 16b, and the first and second convex parts 31 and 32 fitted in the first and second annular grooves 16a and 16b are used. Only listed.
The annular groove 16 includes a first annular groove 16a and a second annular groove 16b having a larger diameter than the first annular groove 16a. The first annular groove 16a and the second annular groove 16b are formed in a concentric perfect circle. Therefore, the annular wall 19 constituting the outer peripheral surface of the first annular groove 16a and the inner peripheral surface of the second annular groove 16b is provided in a perfect circle shape. As shown in FIG. 2, the annular wall 19 has a lower height than the inner wall 17 and the outer wall 18 so that the inner wall 17 and the outer wall 18 receive a sealing pressure.

図１に示す樹脂製弁上体３は、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やＰＦＡ、ＰＰ、ＰＶＤＦ等、耐腐食性や剛性を有する樹脂を材質とする。樹脂製弁上体３は、シリンダ２２とカバー２３とで構成され、ピストン室２４を形成する。樹脂製のピストン２５は、ピストン室２４に摺動可能に装填され、シリンダ２２との間に縮設される復帰ばね２１により図中上向きに常時付勢されている。ピストン２５は、操作ポート２３ａからピストン室２４供給される操作エアの圧力と復帰ばね２１の弾性力とのバランスに応じて、ピストン室２４を図中上下方向に移動する。ピストン２５には、ピストンロッド２６が一体成形されている。ピストンロッド２６は、シリンダ２２に摺動可能に貫き通され、ダイアフラム弁体４に連結されている。   The resin valve upper body 3 shown in FIG. 1 is made of a resin having corrosion resistance and rigidity, such as PPS (polyphenylene sulfide), PFA, PP, PVDF. The resin valve upper body 3 includes a cylinder 22 and a cover 23, and forms a piston chamber 24. The resin-made piston 25 is slidably loaded in the piston chamber 24, and is always urged upward in the figure by a return spring 21 that is contracted between the piston 22 and the cylinder 22. The piston 25 moves the piston chamber 24 in the vertical direction in the figure according to the balance between the pressure of the operation air supplied from the operation port 23 a and the elastic force of the return spring 21. A piston rod 26 is integrally formed with the piston 25. The piston rod 26 is slidably passed through the cylinder 22 and is connected to the diaphragm valve body 4.

ダイアフラム弁体４は、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等、耐腐食性及び耐熱性に優れた樹脂を材質とし、射出成形若しくは切削により形作られている。ダイアフラム弁体４は、弁座１５に当接又は離間する円柱状の弁体部４ａと、弁体部４ａの外周面に接続する薄膜部４ｂと、薄膜部４ｂの外縁に沿って肉厚に設けられた周縁部４ｃとから構成されている。   The diaphragm valve body 4 is made of a resin having excellent corrosion resistance and heat resistance, such as PTFE (polytetrafluoroethylene), and is formed by injection molding or cutting. The diaphragm valve body 4 has a cylindrical valve body portion 4a that contacts or separates from the valve seat 15, a thin film portion 4b connected to the outer peripheral surface of the valve body portion 4a, and a thickness along the outer edge of the thin film portion 4b. It is comprised from the provided peripheral part 4c.

ダイアフラム弁体４は、周縁部４ｃが樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体との間で挟み込まれて環状溝１６の内壁にシールし、樹脂製弁本体２に開設した開口部１４の内壁との間に弁室１３を形成している。ダイアフラム弁体４は、弁体部４ａがピストンロッド２６に結合され、ピストン２５に従って弁座１５に当接又は離間する。   The diaphragm valve body 4 has a peripheral edge 4c sandwiched between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body to seal the inner wall of the annular groove 16, and the inner wall of the opening 14 formed in the resin valve main body 2 A valve chamber 13 is formed between the two. In the diaphragm valve body 4, the valve body portion 4 a is coupled to the piston rod 26, and contacts or separates from the valve seat 15 according to the piston 25.

図２に示すように、周縁部４ｃは、環状の第１凸部３１と、第１凸部３１の外側に設けられた環状の第２凸部３２とを有し、第１凸部３１と第２凸部３２との間に環状凹部３３が形成されている。   As shown in FIG. 2, the peripheral edge 4 c has an annular first convex portion 31 and an annular second convex portion 32 provided outside the first convex portion 31. An annular recess 33 is formed between the second protrusion 32.

第１凸部３１は、第１環状溝１６ａに隙間無く嵌め込まれるように、肉厚方向の幅寸法Ｗ２が、第１環状溝１６ａの溝幅Ｗ１以上に設定されている。また、第２凸部３２は、第２環状溝１６ｂの内壁（内周面）に当接してシールするために、内周面に圧入代３２ａが形成されており、肉厚方向の幅寸法Ｗ４が、第２環状溝１６ｂの溝幅Ｗ３より大きく設定されている。第１凸部３１は、第２凸部３２より樹脂製弁本体２側へ大きく突出している。 The width dimension W2 in the thickness direction is set to be equal to or greater than the groove width W1 of the first annular groove 16a so that the first convex portion 31 is fitted into the first annular groove 16a without a gap. In addition, the second convex portion 32 has a press-fitting allowance 32a formed on the inner peripheral surface in order to contact and seal the inner wall (inner peripheral surface) of the second annular groove 16b , and the width dimension W4 in the thickness direction. Is set larger than the groove width W3 of the second annular groove 16b. The 1st convex part 31 protrudes largely from the 2nd convex part 32 to the resin-made valve main body 2 side.

周縁部４ｃは、樹脂製弁上体３側の端面から第１凸部３１内にかけて、装着溝３４が形成されている。装着溝３４は、第１凸部３１と同心の真円状に形成されている。装着溝３４は、第２凸部３２の先端位置より深い位置まで形成されている。装着溝３４には、周縁部４ｃの変形防止をするために周縁部４ｃを補強するリング体３５が装着されている。   The peripheral edge 4c has a mounting groove 34 formed from the end face on the resin valve upper body 3 side into the first convex portion 31. The mounting groove 34 is formed in a perfect circle shape concentric with the first convex portion 31. The mounting groove 34 is formed to a position deeper than the tip position of the second convex portion 32. A ring body 35 that reinforces the peripheral edge 4c is attached to the mounting groove 34 in order to prevent deformation of the peripheral edge 4c.

リング体３５は、ダイアフラム弁体４より硬い樹脂や金属、セラミック等の材料を、環状に形成したものである。本実施形態では、ステンレスを真円の環状に形成し、腐食コーティングを施したものをリング体３５として使用している。リング体３５は、装着溝３４に隙間無く嵌め込まれて装着溝３４の内周面と外周面に当接するように、断面肉厚方向の幅寸法Ｗ６が、装着溝３４の溝幅Ｗ５以上に設定されている。リング体３５は、内周面及び外周面の面積が、圧入代３２ａの面積より大きく設定されている。   The ring body 35 is formed by annularly forming a material such as resin, metal, or ceramic that is harder than the diaphragm valve body 4. In the present embodiment, the ring body 35 is formed by forming stainless steel in a circular shape and applying corrosion coating. The width dimension W6 in the cross-sectional thickness direction is set to be equal to or greater than the groove width W5 of the mounting groove 34 so that the ring body 35 is fitted in the mounting groove 34 without any gap and is in contact with the inner and outer peripheral surfaces of the mounting groove 34. Has been. As for the ring body 35, the area of an inner peripheral surface and an outer peripheral surface is set larger than the area of the press-fit allowance 32a.

リング体３５は、周縁部４ｃの樹脂製弁上体３側から装着溝３４内へ挿入され、第２凸部３２の先端位置、すなわち圧入代３２ａの下端位置より深い位置まで第１凸部３１に押し込んで装着されている。つまり、リング体３５は、ダイアフラム弁体４を樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間で狭持した場合に、第２凸部３２を樹脂製弁本体２の第２環状溝１６ｂに圧入して圧入代３２ａを押し潰してシールさせたシール面の内側全体に亘って配置される。   The ring body 35 is inserted into the mounting groove 34 from the resin valve upper body 3 side of the peripheral edge portion 4c, and the first convex portion 31 reaches a position deeper than the tip position of the second convex portion 32, that is, the lower end position of the press-fitting allowance 32a. It is pushed in and attached. That is, when the diaphragm valve body 4 is sandwiched between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 3, the ring body 35 forms the second convex portion 32 with the second annular groove of the resin valve main body 2. It is arranged over the entire inside of the sealing surface that is press-fitted into 16b and crushes and seals the press-fitting allowance 32a.

＜動作説明＞
図１に示すように、流体制御弁１は、入力ポート１１と出力ポート１２に樹脂製のチューブ１１０，１１１が接続される。流体制御弁１は、操作ポート２３ａに操作エアが供給されない場合には、ダイアフラム弁体４を弁座１５から離間させている。そのため、チューブ１１０から入力ポート１１に流入した薬液は、弁座１５を介して出力ポート１２へ供給され、出力ポート１２からチューブ１１１へ出力される。一方、流体制御弁１は、操作ポート２３ａに操作エアが供給されると、ピストン２５が下降してダイアフラム弁体４を弁座１５に当接させる。そのため、チューブ１１０から入力ポート１１を介して弁室１３に流入した薬液は、弁座１５において遮断され、出力ポート１２からチューブ１１１へ出力されない。 <Description of operation>
As shown in FIG. 1, in the fluid control valve 1, resin tubes 110 and 111 are connected to an input port 11 and an output port 12. The fluid control valve 1 separates the diaphragm valve body 4 from the valve seat 15 when the operation air is not supplied to the operation port 23a. Therefore, the chemical solution that has flowed into the input port 11 from the tube 110 is supplied to the output port 12 via the valve seat 15 and is output from the output port 12 to the tube 111. On the other hand, when the operation air is supplied to the operation port 23a, the fluid control valve 1 lowers the piston 25 to bring the diaphragm valve element 4 into contact with the valve seat 15. Therefore, the chemical liquid that has flowed into the valve chamber 13 from the tube 110 via the input port 11 is blocked at the valve seat 15 and is not output from the output port 12 to the tube 111.

薬液が例えば１４０〜１５０度の高温である場合、流体制御弁１は、樹脂製弁本体２及びダイアフラム弁体４が、高温薬液の熱によって硬度を低下させ、柔らかくなる。また、樹脂製のチューブ１１０，１１１は、熱膨張し、図１に示すように、樹脂製弁本体２に図中矢印Ｆ１，Ｆ２方向の力を作用させる。このため、樹脂製弁本体２は、真円状の環状溝１６を楕円状に変形させようとする（例えば図１１参照）。しかし、流体制御弁１は、環状溝１６に嵌合するダイアフラム弁体４の周縁部４ｃがリング体３５を装着されて補強されているため、環状溝１６付近の変形が抑えられる。   When the chemical solution is at a high temperature of 140 to 150 degrees, for example, the resin valve main body 2 and the diaphragm valve body 4 of the fluid control valve 1 are softened by reducing the hardness due to the heat of the high-temperature chemical solution. Further, the resin tubes 110 and 111 are thermally expanded, and, as shown in FIG. 1, forces in the directions of arrows F1 and F2 in the drawing are applied to the resin valve main body 2. For this reason, the resin valve body 2 tries to deform the perfectly circular annular groove 16 into an elliptical shape (see, for example, FIG. 11). However, in the fluid control valve 1, since the peripheral edge 4 c of the diaphragm valve body 4 fitted in the annular groove 16 is reinforced by the ring body 35, deformation in the vicinity of the annular groove 16 is suppressed.

具体的に説明すると、樹脂製弁本体２は、図２に示すように、環状壁１９がチューブ１１０，１１１から受ける力によって、ダイアフラム弁体４の第１凸部３１を内向きに押圧する。第１凸部３１は、ダイアフラム弁体４及び樹脂製弁本体２より硬くて熱を加えられても変形しにくいステンレスを環状（真円状）に形成したリング体３５が装着され、補強されている。そのため、第１凸部３１は、図３に示すように、環状壁１９から内向きの力Ｆ１，Ｆ２を受けても、内向きの力Ｆ１，Ｆ２に対する反発力Ｒ１，Ｒ２を生じ、変形せずに真円状態を維持する。   Specifically, as shown in FIG. 2, the resin valve main body 2 presses the first convex portion 31 of the diaphragm valve body 4 inward by the force that the annular wall 19 receives from the tubes 110 and 111. The first convex portion 31 is provided with a ring body 35 that is harder than the diaphragm valve body 4 and the resin valve body 2 and is formed of an annular (perfectly circular) stainless steel that is not easily deformed even when heated. Yes. Therefore, as shown in FIG. 3, even if the first convex portion 31 receives the inward forces F1 and F2 from the annular wall 19, it generates repulsive forces R1 and R2 with respect to the inward forces F1 and F2, and is deformed. Without maintaining a perfect circle state.

しかも、図２及び図３に示すように、リング体３５は、圧入代３２ａの全体、すなわちシール面の全体を支持している。そのため、樹脂製弁本体２は、環状壁１９が基端部から倒れ込まない。   Moreover, as shown in FIGS. 2 and 3, the ring body 35 supports the entire press-fitting allowance 32a, that is, the entire sealing surface. Therefore, in the resin valve body 2, the annular wall 19 does not fall from the base end portion.

更に、図２に示すように、リング体３５は、内周面の面積がシール面の面積より大きく、環状壁１９から第１凸部３１を介して外周面へ伝達された力を、第１凸部３１に広く分散させる。そのため、第１凸部３１に作用する力が減衰され、第１凸部３１が変形しにくい。   Further, as shown in FIG. 2, the ring body 35 has the inner peripheral surface area larger than the seal surface area, and the force transmitted from the annular wall 19 to the outer peripheral surface via the first convex portion 31 is the first. Disperse widely on the convex portion 31. Therefore, the force acting on the first convex portion 31 is attenuated, and the first convex portion 31 is not easily deformed.

このように、流体制御弁１は、樹脂製弁本体２がチューブ１１０，１１１から受ける力Ｆ１，Ｆ２や熱膨張等によって変形しようとしても、リング体３５で補強された第１凸部３１が、シール面の内側を支持して環状溝１６の変形を防ぐ。つまり、シール面が変形しない。よって、流体制御弁１は、高温薬液制御時でもシールの均一性が維持され、流体漏れしない。   Thus, even if the fluid control valve 1 is about to be deformed by the forces F1, F2 or thermal expansion that the resin valve body 2 receives from the tubes 110, 111, the first convex portion 31 reinforced by the ring body 35 is The inner side of the sealing surface is supported to prevent the annular groove 16 from being deformed. That is, the sealing surface is not deformed. Therefore, the fluid control valve 1 maintains the uniformity of the seal even during the high temperature chemical control, and does not leak.

尚、流体制御弁１は、内壁１７が環状壁１９より高く設けられて、第１凸部３１の内周面を支持し、第１凸部３１が環状壁１９に内向きに押圧されて位置ずれするのを防止する。   In the fluid control valve 1, the inner wall 17 is provided higher than the annular wall 19 to support the inner peripheral surface of the first convex portion 31, and the first convex portion 31 is pressed inward by the annular wall 19. Prevent slippage.

＜作用効果＞
従って、第１実施形態の流体制御弁１は、ダイアフラム弁体４の周縁部４ｃがリング体３５によって補強されているため、図３に示すように、樹脂製弁本体２が高温薬液制御時にチューブ１１０，１１１からＦ１，Ｆ２方向の力を受けても、周縁部４ｃの圧入代３２ａと第２凸部１６ｂの内周面との間のシール面を変形させない。よって、第１実施形態の流体制御弁１によれば、高温薬液制御時であってもシールの均一性が維持され、安定したシールを行うことができる。 <Effect>
Therefore, in the fluid control valve 1 of the first embodiment, since the peripheral edge portion 4c of the diaphragm valve body 4 is reinforced by the ring body 35, as shown in FIG. Even if a force in the F1 and F2 directions is received from 110 and 111, the seal surface between the press-fitting margin 32a of the peripheral edge portion 4c and the inner peripheral surface of the second convex portion 16b is not deformed. Therefore, according to the fluid control valve 1 of the first embodiment, the uniformity of the seal is maintained even during the high temperature chemical control, and a stable seal can be performed.

特に、例えば半導体製造工程では、薬液を活性状態でウエハ等のワークに供給するために、薬液を高温にすることが多い。第１実施形態の流体制御弁１は、高温薬液を制御する場合でも安定したシールを行うので、高浸透性薬液を高温にしたものを制御する場合でも、流体漏れを防止できる。   In particular, for example, in a semiconductor manufacturing process, in order to supply a chemical solution to a workpiece such as a wafer in an active state, the chemical solution is often heated. Since the fluid control valve 1 according to the first embodiment performs stable sealing even when controlling a high-temperature chemical solution, fluid leakage can be prevented even when controlling a high-permeability chemical solution at a high temperature.

また、第１実施形態の流体制御弁１は、図１〜図３に示すように、リング体３５をシール面の近くに配置して、樹脂製弁本体２の熱膨張等がシール面に与える影響を小さくできる。すなわち、リング体３５がシール面から離れた位置に配置されるほど、シール面は、リング体３５との間にある樹脂の影響を受けやすい。この点、流体制御弁１は、シール面のすぐ内側にリング体３５を配置している。そのため、流体制御弁１は、樹脂製弁本体２が熱膨張した場合でも、リング体３５がシール面の内側を直接的に支持してシール面の変形を防止し、シール性能の低下を防ぐ。   Moreover, as shown in FIGS. 1-3, the fluid control valve 1 of 1st Embodiment arrange | positions the ring body 35 near the sealing surface, and the thermal expansion etc. of the resin-made valve main bodies 2 give a sealing surface. The impact can be reduced. That is, the closer the ring body 35 is located to the seal surface, the more easily the seal surface is affected by the resin between the ring body 35 and the ring body 35. In this regard, the fluid control valve 1 has a ring body 35 disposed just inside the seal surface. Therefore, in the fluid control valve 1, even when the resin valve body 2 is thermally expanded, the ring body 35 directly supports the inside of the seal surface to prevent the seal surface from being deformed and to prevent a decrease in seal performance.

また、第１実施形態の流体制御弁１は、図２に示すように、リング体３５がシール面全体を支持している。樹脂製弁本体２の変形に伴ってシール面に対して内向きに作用する力は、第１凸部３１全体に分散される。このため、第１凸部３１は、シール面に作用する力によって変形しにくく、シール面の変形を阻止する。よって、第１実施形態の流体制御弁１によれば、第１及び第２環状溝１６ａ，１６ｂの変形をより一層確実に防止し、安定したシールを行うことができる。   Moreover, as shown in FIG. 2, the fluid control valve 1 of 1st Embodiment has the ring body 35 supporting the whole sealing surface. The force acting inward with respect to the seal surface with the deformation of the resin valve main body 2 is dispersed throughout the first convex portion 31. For this reason, the 1st convex part 31 cannot change easily with the force which acts on a sealing surface, and prevents a deformation | transformation of a sealing surface. Therefore, according to the fluid control valve 1 of the first embodiment, the first and second annular grooves 16a and 16b can be more reliably prevented from being deformed and stably sealed.

（第２実施形態）
続いて、本発明の流体制御弁に係る第２実施形態について説明する。図４は、第２実施形態に係る流体制御弁４１における樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体４３との間のシール部拡大断面図である。
第２実施形態の流体制御弁４１は、リング体４２が樹脂製弁上体４３に一体成形されている点が第１実施形態と相違し、その他の点は第１実施形態と共通している。ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点には図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。 (Second Embodiment)
Then, 2nd Embodiment which concerns on the fluid control valve of this invention is described. FIG. 4 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 43 in the fluid control valve 41 according to the second embodiment.
The fluid control valve 41 of the second embodiment is different from the first embodiment in that the ring body 42 is integrally formed with the resin valve upper body 43, and the other points are common to the first embodiment. . Here, the difference from the first embodiment will be mainly described, and the points common to the first embodiment will be denoted by the same reference numerals as those of the first embodiment, and description thereof will be omitted as appropriate.

樹脂製弁上体４３は、シリンダ４４が樹脂製弁本体２に対してダイアフラム弁体４の周縁部４ｃを押し付けている。樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）は、樹脂製弁本体２及びダイアフラム弁体４を構成するＰＴＦＥ等の樹脂より硬いＰＰＳ等の樹脂で形成されている。   In the resin valve upper body 43, the cylinder 44 presses the peripheral edge portion 4 c of the diaphragm valve body 4 against the resin valve main body 2. The resin valve upper body 43 (cylinder 44) is formed of a resin such as PPS which is harder than a resin such as PTFE constituting the resin valve main body 2 and the diaphragm valve body 4.

樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）が樹脂製弁本体２に当接する図中下端面には、周縁部４ｃの装着溝３４に隙間無く嵌め込まれるリング体４２が一体成形されている。よって、リング体４２は、樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）と同じＰＰＳで形成されている。リング体４２は、樹脂を材質とすること、及び、樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）に一体成形されていることを除き、第１実施形態のリング体３５と同様に構成されている。   A ring body 42 that is fitted into the mounting groove 34 of the peripheral edge portion 4c without a gap is integrally formed at the lower end surface in the figure where the resin valve upper body 43 (cylinder 44) contacts the resin valve main body 2. Therefore, the ring body 42 is formed of the same PPS as the resin valve upper body 43 (cylinder 44). The ring body 42 is configured in the same manner as the ring body 35 of the first embodiment, except that a resin is used as a material and is integrally formed with a resin valve upper body 43 (cylinder 44).

第２実施形態の流体制御弁４１は、リング体４２が樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）に一体成形されているため、リング体４２が変形しにくい上に、位置ずれしない。このため、樹脂製弁本体２は、リング体４２を介して樹脂製弁上体４３（シリンダ４４）に係止され、シール位置が位置決めされる。よって、第２実施形態の流体制御弁４１によれば、高温薬液制御時に樹脂製弁本体２が変形するのに伴って、樹脂製弁本体２が樹脂線弁上体４３に対して横ずれして、シール位置を横ずれさせるのを防ぎ、流体漏れを生じる不具合を回避できる。   In the fluid control valve 41 of the second embodiment, since the ring body 42 is integrally formed with the resin valve upper body 43 (cylinder 44), the ring body 42 is not easily deformed and is not displaced. For this reason, the resin valve body 2 is locked to the resin valve upper body 43 (cylinder 44) via the ring body 42, and the seal position is positioned. Therefore, according to the fluid control valve 41 of the second embodiment, the resin valve main body 2 is displaced laterally with respect to the resin wire valve upper body 43 as the resin valve main body 2 is deformed during the high temperature chemical control. , It is possible to prevent the seal position from being laterally displaced, and to avoid the problem of causing fluid leakage.

また、第２実施形態の流体制御弁４１は、樹脂製弁上体４３を樹脂製弁本体２に連結する際にリング体４２をダイアフラム弁体４の装着溝３４に装着すればよいので、組立工数を減らすことができる。また、第２実施形態の流体制御弁４１は、リング体を別個に持つ必要がない。よって、第２実施形態の流体制御弁４１によれば、製造コストや部品コストなどを低減し、コストダウンを図ることができる。   Further, the fluid control valve 41 of the second embodiment can be assembled because the ring body 42 may be mounted in the mounting groove 34 of the diaphragm valve body 4 when the resin valve upper body 43 is connected to the resin valve body 2. Man-hours can be reduced. Further, the fluid control valve 41 of the second embodiment does not need to have a ring body separately. Therefore, according to the fluid control valve 41 of the second embodiment, it is possible to reduce manufacturing costs, component costs, and the like, thereby reducing costs.

（第３実施形態）
続いて、本発明の流体制御弁に係る第３実施形態について説明する。図５は、本発明の第３実施形態に係る流体制御弁５１における樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間のシール部拡大断面図である。
第３実施形態に係る流体制御弁５１は、リング体５２の軸線方向の断面形状が屈曲している点が、第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点が図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。 (Third embodiment)
Then, 3rd Embodiment which concerns on the fluid control valve of this invention is described. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 3 in the fluid control valve 51 according to the third embodiment of the present invention.
The fluid control valve 51 according to the third embodiment is different from the first embodiment in that the cross-sectional shape of the ring body 52 in the axial direction is bent. Therefore, here, it demonstrates centering on the point which is different from 1st Embodiment, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

リング体５２は、ダイアフラム弁体４より硬い樹脂や金属、セラミック等の材料を環状に形成したものである。リング体５２は、断面が屈曲した形状をなし、支持本体部５２ａと、屈曲部５２ｂと、摘み部５２ｃとを有する。支持本体部５２ａは、第１実施形態のリング体３５と同様に構成されている。屈曲部５２ｂは、支持本体部５２ａの一端外周面から外向きに設けられている。屈曲部５２ｂは、支持本体部５２ａの一端面外周に沿って、環状に設けられている。摘み部５２ｃは、屈曲部５２ｂの外周縁から支持本体部５２ａと反対側に屈曲して樹脂製弁上体３側に突き出している。摘み部５２ｃは、環状に設けられている。   The ring body 52 is formed by annularly forming a material such as resin, metal, or ceramic that is harder than the diaphragm valve body 4. The ring body 52 has a shape with a bent cross section, and includes a support main body portion 52a, a bent portion 52b, and a knob portion 52c. The support main body 52a is configured similarly to the ring body 35 of the first embodiment. The bent part 52b is provided outward from one end outer peripheral surface of the support main body part 52a. The bent portion 52b is provided in an annular shape along the outer periphery of one end surface of the support main body portion 52a. The knob 52c is bent from the outer peripheral edge of the bent portion 52b to the side opposite to the support main body 52a and protrudes toward the resin valve upper body 3 side. The knob 52c is provided in an annular shape.

このような第３実施形態の流体制御弁５１は、リング体５２の摘み部５２ｃを摘んで、屈曲部５２ｂをダイアフラム弁体４の周縁部４ｃに突き当てるように、リング体５２をダイアフラム弁体４の装着溝３４に装着し、周縁部４ｃの第１凸部３１を補強する。そして、リング体５２の摘み部５２ｃを外壁１８の内周面に沿わせるようにして、ダイアフラム弁体４の周縁部４ｃを樹脂製弁本体２の環状溝１６に装着する。つまり、第１凸部３１を第１環状溝１６ａに嵌合させ、第２凸部３２を第２環状溝１６ｂに圧入する。そして、屈曲部５２ｂを押さえるように、樹脂製弁上体３を樹脂製弁本体２に連結し、摘み部５２ｃを樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３とダイアフラム弁体４との間で挟み込んで位置決め保持する。   In the fluid control valve 51 of the third embodiment, the ring body 52 is fixed to the diaphragm valve body so that the knob 52c of the ring body 52 is picked and the bent portion 52b is abutted against the peripheral edge 4c of the diaphragm valve body 4. 4 is mounted in the mounting groove 34 to reinforce the first convex portion 31 of the peripheral edge portion 4c. Then, the peripheral edge 4 c of the diaphragm valve body 4 is mounted in the annular groove 16 of the resin valve main body 2 so that the knob 52 c of the ring body 52 is along the inner peripheral surface of the outer wall 18. That is, the first convex portion 31 is fitted into the first annular groove 16a, and the second convex portion 32 is press-fitted into the second annular groove 16b. Then, the resin valve upper body 3 is connected to the resin valve main body 2 so as to hold the bent portion 52b, and the knob 52c is connected between the resin valve main body 2, the resin valve upper body 3, and the diaphragm valve body 4. Position and hold with.

従って、第３実施形態の流体制御弁５１は、リング体５２が屈曲し、第１実施形態のリング体３５に比べて剛性を向上させている。そのため、流体制御弁５１は、樹脂製弁本体２が第１凸部３１を内向きに押圧しても、リング体５２が変形しにくい。よって、第３実施形態の流体制御弁５１によれば、シール面の変形をより確実に阻止できる。   Therefore, in the fluid control valve 51 of the third embodiment, the ring body 52 is bent, and the rigidity is improved as compared with the ring body 35 of the first embodiment. Therefore, in the fluid control valve 51, even if the resin valve main body 2 presses the first convex portion 31 inward, the ring body 52 is not easily deformed. Therefore, according to the fluid control valve 51 of the third embodiment, the deformation of the seal surface can be more reliably prevented.

しかも、第３実施形態の流体制御弁５１は、リング体５２が、樹脂製弁本体２の外壁１８と樹脂製弁上体３の外周面との間に摘み部５２ｃを挟み込まれている。そのため、リング体５２は、支持本体部５２ａに内向きの力が作用しても、支持本体部５２ａが屈曲部５２ｂ及び摘み部５２ｃを介して樹脂製弁上体３に対して位置決めされ、第１凸部３１を補強し続ける。よって、第３実施形成の流体制御弁５１によれば、第１凸部３１の横ずれを防ぎ、シール位置がずれ難い。   Moreover, in the fluid control valve 51 of the third embodiment, the ring body 52 has a knob 52c sandwiched between the outer wall 18 of the resin valve main body 2 and the outer peripheral surface of the resin valve upper body 3. Therefore, the ring body 52 is positioned with respect to the resin valve upper body 3 via the bent portion 52b and the knob portion 52c, even if an inward force is applied to the support body portion 52a. Continue to reinforce one convex portion 31. Therefore, according to the fluid control valve 51 of the third embodiment, the lateral displacement of the first convex portion 31 is prevented, and the seal position is not easily displaced.

また、第３実施形態の流体制御弁５１は、摘み部５２ｃを摘んでリング体５２をダイアフラム弁体４の周縁部４ｃに装着するので、リング体５２の取扱性が良い。   Moreover, since the fluid control valve 51 of the third embodiment picks the knob 52c and attaches the ring body 52 to the peripheral edge 4c of the diaphragm valve body 4, the handling of the ring body 52 is good.

（第４実施形態）
続いて、本発明の流体制御弁に係る第４実施形態について説明する。図６は、本発明の第４実施形態に係る流体制御弁６１における樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間のシール部拡大断面図である。
第４実施形態の流体制御弁６１は、リング体６２が断面コの字形状をなし、シール面の内側に加えて外側を支持する点が、第１実施形態と相違し、その他の点は第１実施形態と共通する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点は図面に第１実施形態と同じ符号を付し、説明を適宜省略する。 (Fourth embodiment)
Then, 4th Embodiment which concerns on the fluid control valve of this invention is described. FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 3 in the fluid control valve 61 according to the fourth embodiment of the present invention.
The fluid control valve 61 of the fourth embodiment is different from the first embodiment in that the ring body 62 has a U-shaped cross section and supports the outside in addition to the inside of the seal surface. Common to one embodiment. Therefore, here, it demonstrates centering on the point which is different from 1st Embodiment, the point which is common in 1st Embodiment attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing, and abbreviate | omits description suitably.

リング体６２は、ダイアフラム弁体４より硬い樹脂や金属、セラミック等の材料を環状に形成したものである。リング体６２は、内側支持部６２ａと外側支持部６２ｃとを結合部６２ｂで結合し、断面がコの字形に屈曲している。内側支持部６２ａは、第１実施形態のリング体３５と同様に構成されている。外側支持部６２ｃは、先端部が内側支持部６２ａの先端部より突き出さないように設けられている。   The ring body 62 is formed by annularly forming a material such as resin, metal, or ceramic harder than the diaphragm valve body 4. In the ring body 62, the inner support portion 62a and the outer support portion 62c are connected by a connecting portion 62b, and the cross section is bent in a U shape. The inner support part 62a is configured similarly to the ring body 35 of the first embodiment. The outer support portion 62c is provided such that the tip portion does not protrude from the tip portion of the inner support portion 62a.

ダイアフラム弁体６３は、周縁部６３ｃを除き、第１実施形態のダイアフラム弁体４と同様に構成されている。周縁部６３ｃは、第２凸部３２に装着溝６５が形成されている。装着溝６５は、周縁部６３ｃの樹脂製弁上体３側の端面に開口し、第１凸部３１に設けた装着溝３４より浅く形成されている。装着溝６５の溝幅は、リング体６２の外側支持部６２ｃの肉厚方向の幅寸法以下に設定されている。つまり、装着溝６５は、内周面と外周面に外側支持部６２ｃの内周面と外周面が当接する。   The diaphragm valve body 63 is configured similarly to the diaphragm valve body 4 of the first embodiment except for the peripheral edge portion 63c. The peripheral portion 63 c has a mounting groove 65 formed in the second convex portion 32. The mounting groove 65 opens to the end surface of the peripheral edge 63c on the resin valve upper body 3 side, and is formed shallower than the mounting groove 34 provided in the first convex portion 31. The groove width of the mounting groove 65 is set to be equal to or less than the width dimension in the thickness direction of the outer support portion 62 c of the ring body 62. That is, in the mounting groove 65, the inner peripheral surface and the outer peripheral surface of the outer support portion 62c are in contact with the inner peripheral surface and the outer peripheral surface.

このような第４実施形態の流体制御弁６１は、リング体６２の結合部６２ｂがダイアフラム弁体６３の周縁部６３ｃに当接するまで、内側支持部６２ａと外側支持部６２ｃを周縁部６３ｃの装着溝３４，６５に挿入する。内側支持部６２ａと外側支持部６２ｃは、装着溝３４，６５に隙間無く嵌め込まれ、第１及び第２凸部３１，３２を補強する。ダイアフラム弁体６３は、第１凸部３１が第１環状溝１６ａに隙間無く嵌め込まれ、第２凸部３２が第２環状溝１６ｂに圧入されて圧入代３２ａを押し潰される。よって、流体制御弁６１は、圧入代３２ａを押し潰してシールするシール面の外側と内側に、リング体６２の内側支持部６２ａと外側支持部６２ｃが配置される。   In the fluid control valve 61 according to the fourth embodiment, the inner support portion 62a and the outer support portion 62c are attached to the peripheral portion 63c until the coupling portion 62b of the ring body 62 contacts the peripheral portion 63c of the diaphragm valve body 63. Insert into grooves 34 and 65. The inner support part 62a and the outer support part 62c are fitted into the mounting grooves 34 and 65 without a gap, and reinforce the first and second convex parts 31 and 32. In the diaphragm valve body 63, the first convex portion 31 is fitted into the first annular groove 16a without any gap, and the second convex portion 32 is press-fitted into the second annular groove 16b to crush the press-fit allowance 32a. Therefore, in the fluid control valve 61, the inner support portion 62a and the outer support portion 62c of the ring body 62 are disposed on the outer side and the inner side of the seal surface that crushes and seals the press-fitting allowance 32a.

流体制御弁６１は、例えば、樹脂製弁本体２が熱膨張した場合、環状壁１９が内側と外側の何れに倒れ込むかわからないことがある。この場合でも、流体制御弁６１は、リング体６２の内側支持部６２ａと外側支持部６２ｃが第１及び第２凸部３１，３２を補強して環状壁１９の倒れ込みを防止し、環状溝１６（第１及び第２環状溝１６ａ，１６ｂ）の変形を防止する。つまり、シール面が変形しない。よって、第４実施形態の流体制御弁６１によれば、樹脂製弁本体２が熱膨張等によって変形しようとしても、シールの均一性を維持し、安定したシールを行うことができる。   For example, when the resin valve main body 2 is thermally expanded, the fluid control valve 61 may not know whether the annular wall 19 falls into the inner side or the outer side. Even in this case, in the fluid control valve 61, the inner support portion 62a and the outer support portion 62c of the ring body 62 reinforce the first and second convex portions 31 and 32 to prevent the annular wall 19 from falling, and the annular groove 16 The deformation of the (first and second annular grooves 16a, 16b) is prevented. That is, the sealing surface is not deformed. Therefore, according to the fluid control valve 61 of the fourth embodiment, even if the resin valve main body 2 is deformed due to thermal expansion or the like, the uniformity of the seal can be maintained and a stable seal can be performed.

また、第４実施形態の流体制御弁６１は、リング体６２がコの字型に屈曲して剛性を向上させているので、シール面の変形を、より確実に阻止できる。   Further, in the fluid control valve 61 of the fourth embodiment, the ring body 62 is bent in a U-shape to improve the rigidity, so that the deformation of the seal surface can be more reliably prevented.

（第５実施形態）
続いて、本発明の流体制御弁に係る第５実施形態について説明する。図７は、本発明の第５実施形態に係る流体制御弁７１における樹脂製弁本体７２と樹脂製弁上体３との間のシール部拡大断面図である。
第５実施形態の流体制御弁７１は、ダイアフラム弁体７３が、第１及び第２凸部３１，３２に加え、第３凸部７４を備え、それに対応して、樹脂製弁本体７２の環状溝７２ｂが第１及び第２環状溝１６ａ，１６ｂに加え、第３環状溝７２ｃを備える点が第１実施形態と相違する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点には図面に第１実施形態と同一符号を付し、適宜説明を省略する。 (Fifth embodiment)
Next, a fifth embodiment according to the fluid control valve of the present invention will be described. FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of the seal portion between the resin valve main body 72 and the resin valve upper body 3 in the fluid control valve 71 according to the fifth embodiment of the present invention.
In the fluid control valve 71 of the fifth embodiment, the diaphragm valve body 73 includes a third convex portion 74 in addition to the first and second convex portions 31 and 32, and the resin valve main body 72 has an annular shape corresponding thereto. The difference from the first embodiment is that the groove 72b includes a third annular groove 72c in addition to the first and second annular grooves 16a and 16b. Therefore, here, it demonstrates centering on a different point from 1st Embodiment, and attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing in the point which is common in 1st Embodiment, and abbreviate | omits description suitably.

ダイアフラム弁体７３は、周縁部７３ｃを除き、第１実施形態のダイアフラム弁体４と同じ構成を備える。周縁部７３ｃは、第２凸部３２の外側に、第３凸部７４が形成されている。第３凸部７４は、第１凸部３１と同様に形成されている。第３凸部７４には、リング体７６を装着するための装着溝７５が、第１凸部３１の装着溝３４と同様に形成されている。   The diaphragm valve body 73 has the same configuration as the diaphragm valve body 4 of the first embodiment except for the peripheral edge portion 73c. The peripheral edge 73 c has a third protrusion 74 formed outside the second protrusion 32. The third convex portion 74 is formed in the same manner as the first convex portion 31. A mounting groove 75 for mounting the ring body 76 is formed in the third convex portion 74 in the same manner as the mounting groove 34 of the first convex portion 31.

樹脂製弁本体７２は、ダイアフラム弁体７３の周縁部７３ｃに対応する環状溝７２ｂが形成されている。環状溝７２ｂは、第２環状溝１６ｂの外側に、第３環状溝７２ｃが形成されている。樹脂製弁本体７２は、第１環状溝１６ａの外周面と第３環状溝７２ｃの内周面とを構成する環状壁７２ａが設けられている。そして、その環状壁７２ａには、第２環状溝１６ｂが形成されている。   The resin valve main body 72 has an annular groove 72 b corresponding to the peripheral edge 73 c of the diaphragm valve body 73. The annular groove 72b is formed with a third annular groove 72c outside the second annular groove 16b. The resin valve body 72 is provided with an annular wall 72a that constitutes the outer peripheral surface of the first annular groove 16a and the inner peripheral surface of the third annular groove 72c. A second annular groove 16b is formed in the annular wall 72a.

リング体７６は、ダイアフラム弁体７３より硬い樹脂や金属、セラミック等の材料を環状に成形したものである。リング体７６は、ダイアフラム弁体７３の装着溝３４，７５に隙間無く嵌合する内側支持部７６ａと外側支持部７６ｃとを結合部７６ｂで接続したものである。つまり、リング体７６は、断面略コの字型に屈曲されている。リング体７６は、内側支持部７６ａと外側支持部７６ｃと反対向きに、摘み部７６ｄ，７６ｄがそれぞれ設けられ、樹脂製弁上体３側に突き出している。   The ring body 76 is formed by annularly molding a material such as resin, metal, or ceramic that is harder than the diaphragm valve body 73. The ring body 76 is formed by connecting an inner support portion 76a and an outer support portion 76c, which are fitted in the mounting grooves 34 and 75 of the diaphragm valve body 73 without a gap, by a coupling portion 76b. That is, the ring body 76 is bent into a substantially U-shaped cross section. The ring body 76 is provided with knobs 76d and 76d opposite to the inner support 76a and the outer support 76c, respectively, and protrudes toward the resin valve upper body 3 side.

このような流体制御弁７１は、高温薬液制御時に、樹脂製弁本体７２が熱膨張したチューブ１１０，１１１に押圧されたり、樹脂製弁本体７２自身が熱膨張することがある。この場合、環状壁７２ａは、内側又は外側の何れかに倒れ込もうとする。しかし、ダイアフラム弁体７３の周縁部７３ｃは、内側支持部７６ａと外側支持部７６ｃが第１及び第３凸部３１，７４に補強されて、環状壁７２ａの内側と外側を支持する。そのため、樹脂製弁保体２は、環状溝７２ｂ（第１〜第３環状溝１６ａ，１６ｂ，７２ｃ）が周縁部７３ｃ（第１及び第３凸部３１，７４）に支持されて変形せず、真円状態を維持する。つまり、シール面が変形しない。よって、第５実施形態の流体制御弁７１によれば、高温薬液制御時でもシールの均一性を確保して、安定したシールを行うことができる。   Such a fluid control valve 71 may be pressed by the tubes 110 and 111 in which the resin valve main body 72 is thermally expanded, or the resin valve main body 72 itself may be thermally expanded during high-temperature chemical control. In this case, the annular wall 72a tends to fall into either the inside or the outside. However, the peripheral edge portion 73c of the diaphragm valve body 73 supports the inner side and the outer side of the annular wall 72a with the inner support portion 76a and the outer support portion 76c being reinforced by the first and third convex portions 31 and 74. Therefore, the resin valve holder 2 is not deformed because the annular groove 72b (first to third annular grooves 16a, 16b, 72c) is supported by the peripheral edge portion 73c (first and third convex portions 31, 74). , Maintain a perfect circle. That is, the sealing surface is not deformed. Therefore, according to the fluid control valve 71 of the fifth embodiment, the seal uniformity can be ensured and stable sealing can be performed even during high temperature chemical control.

特に、流体制御弁７１は、リング体７６が屈曲されて剛性を向上させているので、シール面の変形を、より確実に阻止できる。   In particular, the fluid control valve 71 can prevent the deformation of the seal surface more reliably because the ring body 76 is bent to improve the rigidity.

また、第５実施形態の流体制御弁７１は、シール面の外側において第３凸部７４を第３環状溝７２ｃに隙間無く嵌め込んでいるので、万が一、シール面から微小な漏れが生じても、その漏れを最小限に抑えることができる。   Further, in the fluid control valve 71 of the fifth embodiment, the third convex portion 74 is fitted in the third annular groove 72c without a gap on the outer side of the seal surface, so even if a minute leak occurs from the seal surface. , That leakage can be minimized.

また、第５実施形態の流体制御弁７１は、リング体７６に摘み部７６ｄ，７６ｄを設けたので、リング体７６の取扱性が良い。
しかも、第５実施形態の流体制御弁７１は、リング体７６の摘み部７６ｄ，７６ｄが樹脂製弁上体３に嵌め込まれて係止されているので、樹脂製弁本体２及びダイアフラム弁体４が樹脂製弁上体３に対して位置ずれし、流体漏れが発生するのを防止できる。 Further, in the fluid control valve 71 of the fifth embodiment, since the knobs 76d and 76d are provided in the ring body 76, the handleability of the ring body 76 is good.
Moreover, in the fluid control valve 71 of the fifth embodiment, since the knobs 76d and 76d of the ring body 76 are fitted and locked in the resin valve upper body 3, the resin valve main body 2 and the diaphragm valve body 4 are engaged. Can be prevented from being displaced with respect to the resin valve upper body 3 and fluid leakage.

（第６実施形態）
続いて、本発明の流体制御弁に係る第６実施形態について説明する。図８は、本発明の第６実施形態に係る流体制御弁８１における樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間のシール部拡大断面図である。
第６実施形態の流体制御弁８１は、リング体８２の断面が楔形である点が第１実施形態のリング体３５と相違し、その他の点は第１実施形態と共通する。よって、ここでは、第１実施形態と相違する点を中心に説明し、第１実施形態と共通する点には図面に第１実施形態と同一符号を付し、説明を適宜省略する。 (Sixth embodiment)
Then, 6th Embodiment which concerns on the fluid control valve of this invention is described. FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between the resin valve main body 2 and the resin valve upper body 3 in the fluid control valve 81 according to the sixth embodiment of the present invention.
The fluid control valve 81 of the sixth embodiment is different from the ring body 35 of the first embodiment in that the cross-section of the ring body 82 is wedge-shaped, and the other points are common to the first embodiment. Therefore, here, it demonstrates centering on a different point from 1st Embodiment, and attaches | subjects the same code | symbol as 1st Embodiment to drawing in the point which is common in 1st Embodiment, and abbreviate | omits description suitably.

リング体８２は、ダイアフラム弁体４より硬い樹脂や金属、セラミック等の材料を環状に形成したものである。リング体８２は、外周面（シール側の面）に外側テーパ８３が設けられ、断面形状を樹脂製弁本体２側から樹脂製弁上体３側へ肉厚になる楔形にされている。流体制御弁８１は、ダイアフラム弁体４の周縁部４ｃを樹脂製弁本体２の環状溝１６に嵌合させた後、リング体８２を肉厚の薄い側からダイアフラム弁体４の装着溝３４に押し込んで装着し、周縁部４ｃの強度を補強する。リング体８２は、装着溝３４をシール面側に押し広げて、第１凸部３１の外周面を第１環状溝１６ａの外周面に圧着させ、第１凸部３１の位置ずれを防ぐ。   The ring body 82 is formed by annularly forming a material such as resin, metal, or ceramic that is harder than the diaphragm valve body 4. The ring body 82 is provided with an outer taper 83 on the outer peripheral surface (the surface on the seal side), and has a wedge shape whose cross-sectional shape is thick from the resin valve body 2 side to the resin valve upper body 3 side. In the fluid control valve 81, after the peripheral edge 4c of the diaphragm valve body 4 is fitted into the annular groove 16 of the resin valve body 2, the ring body 82 is inserted into the mounting groove 34 of the diaphragm valve body 4 from the thin side. Push in and attach to reinforce the strength of the peripheral edge 4c. The ring body 82 pushes and widens the mounting groove 34 toward the seal surface, and crimps the outer peripheral surface of the first convex portion 31 to the outer peripheral surface of the first annular groove 16a, thereby preventing the positional deviation of the first convex portion 31.

このような流体制御弁８１は、リング体８２の断面を先細りにした楔形にしたので、リング体８２を装着溝３４に装着しやすい。
また、流体制御弁８１は、リング体８２が、環状壁１９の基端部よりも環状壁１９の先端部に第１凸部３１を強く押し当て、環状壁１９の先端部内側を強く補強するので、環状壁１９が倒れ込み難い。 Since such a fluid control valve 81 has a wedge shape with a tapered cross-section of the ring body 82, the ring body 82 can be easily mounted in the mounting groove 34.
Further, in the fluid control valve 81, the ring body 82 strongly presses the first convex portion 31 against the distal end portion of the annular wall 19 rather than the proximal end portion of the annular wall 19, and strongly reinforces the inner side of the distal end portion of the annular wall 19. Therefore, it is difficult for the annular wall 19 to fall down.

図９は、図８に示すリング体８２の変形例である。
流体制御弁８１Ａは、リンク体８２Ａがダイアフラム弁体４の周縁部４ｃに装着されている。リング体８２Ａは、内周面（シール側と反対側の面）にも内側テーパ８４が形成され、断面形状が樹脂製弁本体２側より樹脂製弁上体３側を肉厚にした楔形をなす。このようなリング体８２Ａは、肉厚が薄い端面からダイアフラム弁体４の装着溝３４に押し込まれて装着される。リング体８２Ａは、装着溝３４を内外の両側に押し広げ、第１凸部３１の内周面と外周面を第１環状溝１６ａの内周面と外周面に圧着させて、第１凸部３１の位置ずれを防ぐ。 FIG. 9 is a modification of the ring body 82 shown in FIG.
The fluid control valve 81 </ b> A has a link body 82 </ b> A attached to the peripheral edge portion 4 c of the diaphragm valve body 4. The ring body 82A has an inner taper 84 formed on the inner peripheral surface (the surface opposite to the seal side), and the cross-sectional shape is a wedge shape in which the resin valve upper body 3 side is thicker than the resin valve body 2 side. Eggplant. Such a ring body 82 </ b> A is mounted by being pushed into the mounting groove 34 of the diaphragm valve body 4 from the end face having a small thickness. The ring body 82A spreads the mounting groove 34 to both the inner and outer sides, and presses the inner peripheral surface and outer peripheral surface of the first convex portion 31 to the inner peripheral surface and outer peripheral surface of the first annular groove 16a, thereby the first convex portion. 31 position shift is prevented.

リング体８２Ａは、内周面に内側テーパ８４を備えることにより、リング体８２よりも装着溝３４に装着しやすい。その上、リング体８２Ａは、環状壁１９と内壁１７との間で突っ張り、環状壁１９及び内壁１７の倒れ込みを防ぎやすい。  The ring body 82A is easier to mount in the mounting groove 34 than the ring body 82 by providing the inner taper 84 on the inner peripheral surface. In addition, the ring body 82A is stretched between the annular wall 19 and the inner wall 17, and it is easy to prevent the annular wall 19 and the inner wall 17 from falling down.

尚、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。   In addition, this invention is not limited to the said embodiment, Various application is possible.

（１）例えば、上記実施形態では、流体制御弁１を半導体製造工程に使用したが、使用用途はこれに限定されないことを言うまでもない。 (1) For example, in the said embodiment, although the fluid control valve 1 was used for the semiconductor manufacturing process, it cannot be overemphasized that a use application is not limited to this.

（２）例えば、上記実施形態では、流体制御弁１はノーマルオープンタイプのエアオペレイト式開閉弁であるが、ノーマルクローズタイプのエアオペレイト式開閉弁としてもよい。また、流体制御弁１は、流量調整弁、手動弁、電磁弁等であっても良い。 (2) For example, in the above embodiment, the fluid control valve 1 is a normally open type air operated on / off valve, but may be a normally closed type air operated on / off valve. The fluid control valve 1 may be a flow rate adjustment valve, a manual valve, a solenoid valve, or the like.

（３）例えば、上記実施形態では、ダイアフラム弁体４の周縁部４ｃに第１凸部３１と第２凸部３２を設け、第１及び第２凸部３１，３２の間に環状凹部３３を形成した。これに対して、例えば、周縁部が１個の凸状であって、環状凹部３３を備えないダイアフラム弁体（例えば、図１０参照）に、リング体３５を装着して、周縁部を補強しても良い。 (3) For example, in the said embodiment, the 1st convex part 31 and the 2nd convex part 32 are provided in the peripheral part 4c of the diaphragm valve body 4, and the cyclic | annular recessed part 33 is provided between the 1st and 2nd convex parts 31 and 32. FIG. Formed. On the other hand, for example, a ring body 35 is attached to a diaphragm valve body (for example, see FIG. 10) having a single convex shape at the peripheral edge and not provided with the annular recess 33 to reinforce the peripheral edge. May be.

（４）上記第３実施形態では、摘み部５２ｃを環状に設けたが、摘み部を断続的に設けてもよい。この場合には、樹脂製弁上体３に摘み部を挿入する孔を形成し、リング体の回転を防止するようにしてもよい。 (4) In the third embodiment, the knob 52c is provided in an annular shape, but the knob may be provided intermittently. In this case, a hole for inserting the knob may be formed in the resin valve upper body 3 to prevent the ring body from rotating.

（５）上記第３，第５実施形態では、リング体５２，７６を樹脂製弁上体３と別個に設けたが、リング体５２，７６を樹脂製弁上体３にインサート成形したり接着させる等して、リング体５２，７６を樹脂製弁上体３と一体的に設けてもよい。

（６）上記第１，３〜６実施形態では、樹脂製弁上体３の材質を樹脂にしたが、例えば、高圧制御流体を制御するために操作エアが高いような場合には、樹脂製弁上体の材質を金属にしても良い。 (5) In the third and fifth embodiments, the ring bodies 52 and 76 are provided separately from the resin valve upper body 3, but the ring bodies 52 and 76 are insert-molded or bonded to the resin valve upper body 3. For example, the ring bodies 52 and 76 may be provided integrally with the resin valve upper body 3.

(6) In the first to third embodiments, the material of the resin valve upper body 3 is resin. However, for example, when the operation air is high to control the high-pressure control fluid, the resin valve upper body 3 is made of resin. The material of the valve upper body may be a metal.

本発明の第１実施形態に係る流体制御弁の断面図であって、弁開状態を示す。It is sectional drawing of the fluid control valve which concerns on 1st Embodiment of this invention, Comprising: A valve open state is shown. 図１に示すＡ部の拡大図である。It is an enlarged view of the A section shown in FIG. 図１に示す流体制御弁をＢ方向から見た図である。但し、図面を見やすくするために、開口部と、第１及び第２環状溝と、第１及び第２環状溝に嵌合するダイアフラム弁体の第１及び第２凸部のみを記載する。It is the figure which looked at the fluid control valve shown in FIG. 1 from the B direction. However, in order to make the drawing easy to see, only the opening, the first and second annular grooves, and the first and second convex portions of the diaphragm valve body that fits into the first and second annular grooves are described. 本発明の第２実施形態に係る流体制御弁における樹脂製弁本体と樹脂製弁上体との間のシール部拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between a resin valve main body and a resin valve upper body in a fluid control valve according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第３実施形態に係る流体制御弁における樹脂製弁本体と樹脂製弁上体との間のシール部拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between a resin valve main body and a resin valve upper body in a fluid control valve according to a third embodiment of the present invention. 本発明の第４実施形態に係る流体制御弁における樹脂製弁本体と樹脂製弁上体との間のシール部拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between a resin valve main body and a resin valve upper body in a fluid control valve according to a fourth embodiment of the present invention. 本発明の第５実施形態に係る流体制御弁における樹脂製弁本体と樹脂製弁上体との間のシール部拡大断面図である。FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view of a seal portion between a resin valve main body and a resin valve upper body in a fluid control valve according to a fifth embodiment of the present invention. 本発明の第６実施形態に係る流体制御弁における樹脂製弁本体と樹脂製弁上体との間のシール部拡大断面図である。It is an enlarged sectional view of a seal part between a resin valve body and a resin valve upper body in a fluid control valve according to a sixth embodiment of the present invention. 図８に示すリング体の変形例である。It is a modification of the ring body shown in FIG. 従来の流体制御弁の断面図である。It is sectional drawing of the conventional fluid control valve. 図１０に示す流体制御弁をＣ方向から見た図であって、環状溝の変形を点線で示す。但し、図面を見やすくするために、図面上ではボディの外形を簡略化して示すと共に、環状溝とその環状溝に嵌合するダイアフラム弁体の周縁部のみを記載する。It is the figure which looked at the fluid control valve shown in FIG. 10 from C direction, Comprising: A deformation | transformation of an annular groove is shown with a dotted line. However, in order to make the drawing easy to see, the external shape of the body is simplified in the drawing, and only the annular groove and the peripheral edge portion of the diaphragm valve body fitted in the annular groove are described.

符号の説明Explanation of symbols

１，４１，５１，６１，７１，８１ 流体制御弁
２、７２ 樹脂製弁本体
３，４３ 樹脂製弁上体
４、６３，７３ ダイアフラム弁体
４ａ 弁体部
４ｂ 薄膜部
４ｃ，６３ｃ，７３ｃ 周縁部
１１ 入力ポート
１２ 出力ポート
１４ 開口部
１５ 弁座
１６ 環状溝
１６ａ 第１環状溝
１６ｂ 第２環状溝
３１ 第１凸部
３２ 第２凸部
３５，４２，５２，６２，７６，８２，８２Ａ リング体
５２ｃ，７６ｄ 摘み部 1, 41, 51, 61, 71, 81 Fluid control valve 2, 72 Resin valve body 3, 43 Resin valve upper body 4, 63, 73 Diaphragm valve body 4a Valve body portion 4b Thin film portions 4c, 63c, 73c Part 11 input port 12 output port 14 opening 15 valve seat 16 annular groove 16a first annular groove 16b second annular groove 31 first convex part 32 second convex part 35, 42, 52, 62, 76, 82, 82A ring Body 52c, 76d knob

Claims (7)

入力ポートと出力ポートとに連通する開口部を備える樹脂製弁本体と、前記開口部の内壁に設けられた弁座と、前記樹脂製弁本体の上面に連結される樹脂製弁上体と、前記樹脂製弁本体と前記樹脂製弁上体との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体とを備える流体制御弁において、
前記樹脂製弁本体は、前記開口部の外側に環状溝が形成されており、
前記ダイアフラム弁体は、
外縁に沿って肉厚に設けられ、前記環状溝に嵌合して径方向にシールを行う周縁部を含み、前記周縁部の前記樹脂製弁上体側から前記周縁部の肉厚方向に装着溝が形成されており、
前記ダイアフラム弁体より硬い材料を環状に形成したリング体が、前記樹脂製弁上体側から前記装着溝内へ挿入されて前記周縁部に装着され、前記周縁部の径方向のシール面を支持して前記シール面の変形を阻止する
ことを特徴とする流体制御弁。 A resin valve body having an opening communicating with the input port and the output port; a valve seat provided on an inner wall of the opening; a resin valve upper body coupled to an upper surface of the resin valve body; In a fluid control valve comprising a resin diaphragm valve body sandwiched between the resin valve main body and the resin valve upper body,
The resin valve body has an annular groove formed outside the opening,
The diaphragm valve body is
Provided thickness along an outer edge, said annular groove comprises a peripheral portion for sealing with the mating radially, the mounting of a resin valve body side wall thickness direction of the peripheral edge groove of the peripheral portion Is formed,
A ring body in which a material harder than the diaphragm valve body is formed in an annular shape is inserted into the mounting groove from the resin valve upper body side and mounted on the peripheral edge, and supports the radial seal surface of the peripheral edge. A fluid control valve characterized in that it prevents deformation of the sealing surface . 請求項１に記載する流体制御弁において、
前記リング体は軸線方向断面形状が屈曲している
ことを特徴とする流体制御弁。 The fluid control valve according to claim 1,
The fluid control valve according to claim 1, wherein the ring body has a bent cross section in the axial direction. 請求項１又は請求項２に記載する流体制御弁において、
前記リング体は、断面形状が楔形である
ことを特徴とする流体制御弁。 In the fluid control valve according to claim 1 or 2,
The fluid control valve according to claim 1, wherein the ring body has a wedge shape in cross section. 請求項１乃至請求項３の何れか一つに記載する流体制御弁において、
前記リング体は前記樹脂製弁上体側に突き出す摘み部を有する
ことを特徴とする流体制御弁。 In the fluid control valve according to any one of claims 1 to 3,
The fluid control valve according to claim 1, wherein the ring body has a knob portion protruding toward the resin valve upper body. 請求項１又は請求項３に記載する流体制御弁において、
前記リング体は、前記樹脂製弁上体に一体的に設けられている
ことを特徴とする流体制御弁。 In the fluid control valve according to claim 1 or claim 3,
The fluid control valve according to claim 1, wherein the ring body is provided integrally with the resin valve upper body. 請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載する流体制御弁において、
前記周縁部は、
前記リング体が装着される環状の第１凸部と、
前記第１凸部の外側に設けられた環状の第２凸部と、を有し、
前記環状溝は、
前記第１凸部が嵌合する第１環状溝と、
前記第２凸部が嵌合して、第２凸部が当接する面でシールする第２環状溝と、を有することを特徴とする流体制御弁。 The fluid control valve according to any one of claims 1 to 5,
The peripheral portion is
An annular first convex portion to which the ring body is attached;
An annular second convex portion provided outside the first convex portion,
The annular groove is
A first annular groove into which the first convex portion is fitted;
A fluid control valve comprising: a second annular groove that fits the second convex portion and seals at a surface with which the second convex portion abuts. 請求項６に記載する流体制御弁において、
前記第１凸部は、前記第２凸部より前記樹脂製弁本体側へ突出しており、
前記リング体は、前記周縁部の前記樹脂製弁上体側から前記第２凸部の先端位置より深い位置まで前記第１凸部に装着されている
ことを特徴とする流体制御弁。 The fluid control valve according to claim 6,
The first convex portion protrudes from the second convex portion to the resin valve body side,
The fluid control valve according to claim 1, wherein the ring body is attached to the first convex portion from the resin valve upper body side of the peripheral portion to a position deeper than a tip position of the second convex portion.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5048710B2 (en) * 2009-04-08 2012-10-17 Ｃｋｄ株式会社 Fluid control valve
US20120055555A1 (en) * 2010-03-04 2012-03-08 Bio-Rad Laboratories, Inc. Diaphragm valve
JP5214660B2 (en) * 2010-04-02 2013-06-19 Ｃｋｄ株式会社 Fluid control valve
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JP5331831B2 (en) * 2011-01-31 2013-10-30 Ｃｋｄ株式会社 Fluid control valve
JP5982375B2 (en) 2011-07-29 2016-08-31 Ckd株式会社 Fluid control valve
JP5964139B2 (en) 2012-05-30 2016-08-03 株式会社フジキン Diaphragm and diaphragm valve
DE102012025411A1 (en) * 2012-12-20 2014-07-10 Borgwarner Inc. Recirculation valve of an exhaust gas turbocharger compressor
JP6267882B2 (en) * 2013-07-08 2018-01-24 株式会社ミツバ Vehicle washer valve device and vehicle washer device
JP6377430B2 (en) * 2014-06-25 2018-08-22 パーパス株式会社 solenoid valve
KR101616940B1 (en) * 2015-07-22 2016-04-29 주식회사 세바 valve with a guide for preventing water leakage by deformation
DE102016009402A1 (en) * 2016-08-02 2018-02-08 Wabco Europe Bvba Diaphragm valve assembly
DE102017128996A1 (en) * 2017-12-06 2019-06-06 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Membrane for a diaphragm valve
TWI692593B (en) 2018-09-05 2020-05-01 和正豐科技股份有限公司 Diaphragm valve structure and thermal isolation method of the diaphragm valve

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6124768Y2 (en) * 1977-09-16 1986-07-25
JP3823143B2 (en) * 1997-01-24 2006-09-20 株式会社本山製作所 Diaphragm valve
JP3867995B2 (en) * 2002-02-25 2007-01-17 シーケーディ株式会社 Chemical control valve

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