JP5048266B2 - 放熱基板とその製造方法 - Google Patents
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Description
(a) 高い熱伝導性を有するだけでなく、
(b) 動作時の熱応力を緩和するために、SiCと熱膨張係数が近いこと(SiCの熱膨張係数は4.2×10-6/K)
も求められる。ところが、従来の金属基板は、いずれも、熱膨張係数が5×10-6/K以上であって、SiCとの熱膨張係数の差が大きいことから、前記(b)を満足することができず、SiC半導体素子用の放熱基板としては適していない。
"THERMAL DIFFUSIVITY OF SILICON-SILICON CARBIDE COMPOSITES", E. SCAFE et al., Advanced Structural Inorganic Composites, P. Vincenzini (Editor), Elsevier Science Published B. V., (1991).
(ii) 微小な空孔が複数、面状に集中して存在する、直径が1.0〜2.0mmの面粗れ状の部位。
(iii) 微小な空孔が複数、線状に繋がって形成された、長さが1.0〜2.0mmのき裂状の部位。
(i) 直径0.3〜1.0mmの空孔、または前記空孔にSiが充てんされたSi溜り、
(ii) 微小な空孔が複数、面状に集中して存在する、直径が1.0〜2.0mmの面粗れ状の部位、および
(iii) 微小な空孔が複数、線状に繋がって形成された、長さが1.0〜2.0mmのき裂状の部位、
の各欠陥のうち、少なくとも1つの欠陥の、単位面積あたりの存在個数が1個/50cm 2 以下であることを特徴とする放熱基板である。
(i) 直径0.3〜1.0mmの空孔、または前記空孔にSiが充てんされたSi溜り、
(ii) 微小な空孔が複数、面状に集中して存在する、直径が1.0〜2.0mmの面粗れ状の部位、および
(iii) 微小な空孔が複数、線状に繋がって形成された、長さが1.0〜2.0mmのき裂状の部位、
の各欠陥の存在個数を著しく減少させて、半導体素子との間での熱伝達の効率を、飛躍的に改善することが可能となる。
〈三次元網目状構造体の作製〉
α−SiC粉末〔SiC:99.0重量%、Si:0.15重量%、C:0.05重量%、平均粒径:45μm〕と、有機バインダと、前記有機バインダを溶解しうる溶媒とを、最終製品である放熱基板における、SiとSiCの重量比WSi/WSiCが20/80となる空隙を有する三次元網目状構造体を形成できる重量比で混合してスラリーを調製し、前記スラリーを噴霧乾燥等して顆粒化した後、スリップキャスト法によって成形して、縦250mm×横200mm×厚み5mmの平板状の成形体を得た。
VSiC=WSiC/ρSiC (1)
によって、三次元網目状構造体に占めるSiCの体積VSiCを求めた。次に、前記体積VTotal、VSiCと、Siの理論密度ρSiとから、式(2):
WSi=(VTotal−VSiC)/ρSi (2)
によって、前記三次元網目状構造体の空隙中に、溶浸法によって充てんされるSiの重量WSiを求めた。そして、前記Siの重量WSiと、三次元網目状構造体を形成するSiC系セラミックスの重量/WSiCとの重量比WSi/WSiCを求めたところ20/80となることが確認された。
前記三次元網目状構造体の上に、165gの、Siの平板〔純度:99.9重量%〕を載置した状態で、真空装置のチャンバ内に設置したカーボンシートの上に、カーボン製の治具を用いて、前記カーボンシートの上方に、高さ方向に1mmの空間を設けた状態で保持させた。
AlとSiCとの複合体の、チャンバ内への設置量を、Siと三次元網目状構造体との複合体1に対して、重量比で0.05(実施例2)、0.1(実施例3)、0.5(実施例4)、0.8(実施例5)としたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
溶浸時のチャンバ内の温度を1500℃(実施例6)、1800℃(実施例7)としたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
溶浸時のチャンバ内の圧力を2Pa(実施例8)、10Pa(実施例9)、1020Pa(実施例10)、2040Pa(実施例11)としたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
AlとSiCとの複合体の、チャンバ内への設置量を、Siと三次元網目状構造体との複合体1に対して、重量比で0.05とし、かつ溶浸時のチャンバ内の圧力を2Paとしたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
溶浸後の複合体を、研削、放電加工、研磨加工等の工程を経て、縦5cm×横10cm×厚み1mmの平板状に切り出す加工をしたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
溶浸後の複合体を、研削、放電加工、研磨加工等の工程を経て、縦20cm×横20cm×厚み1mmの平板状に切り出す加工をしたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
非酸化性ガスとして、N2ガスを、チャンバ内に供給すると共に、AlとSiCとの複合体の、チャンバ内への設置量を、Siと三次元網目状構造体との複合体1に対して、重量比で0.2(実施例15)、0.1(実施例16)、0.5(実施例17)としたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
非酸化性ガスとして、N2ガスを、チャンバ内に供給すると共に、AlとSiCとの複合体の、チャンバ内への設置量を、Siと三次元網目状構造体との複合体1に対して、重量比で0.1とし、かつ溶浸時のチャンバ内の圧力を10Paとしたこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
チャンバ内に、AlとSiCとの複合体を設置しなかったこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
溶浸後の複合体を、研削、放電加工、研磨加工等の工程を経て、縦20cm×横20cm×厚み1mmの平板状に切り出す加工をしたこと以外は、比較例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
非酸化性ガスとして、N2ガスを、チャンバ内に供給すると共に、チャンバ内に、AlとSiCとの複合体を設置しなかったこと以外は、実施例1と同様にして、複数個の放熱基板を得た。
放熱基板の搭載面を、実体顕微鏡を用いて、倍率20倍で撮影した顕微鏡写真に写された、(i)〜(iii)のいずれかの条件に当てはまる欠陥の個数を、各欠陥ごとに、個別に計数した結果の、同条件で製造した10個の放熱基板での平均値を、前記搭載面の単位面積(50cm2)あたりの個数に換算して、(i)〜(iii)の各欠陥の、前記単位面積あたりの存在個数と、合計の個数を求めた。
放熱基板の酸素含有量を、先に説明した、酸素・窒素分析装置〔(株)堀場製作所製のEMGA−620W〕を用いた不活性ガス融解−赤外線吸収法によって測定した。
放熱基板の熱伝導率を、レーザーフラッシュ法によって測定した。
Claims (8)
- 半導体素子を搭載するための搭載面を備えると共に、SiC系セラミックスからなる三次元網目状構造体の空隙が、Siによって充てんされた複合構造を有し、熱伝導率が150W/m・K以上である放熱基板であって、酸素含有量が7ppm以下で、かつ前記搭載面における、下記(i)〜(iii):
(i) 直径0.3〜1.0mmの空孔、または前記空孔にSiが充てんされたSi溜り、
(ii) 微小な空孔が複数、面状に集中して存在する、直径が1.0〜2.0mmの面粗れ状の部位、および
(iii) 微小な空孔が複数、線状に繋がって形成された、長さが1.0〜2.0mmのき裂状の部位、
の各欠陥のうち、少なくとも1つの欠陥の、単位面積あたりの存在個数が1個/50cm 2 以下であることを特徴とする放熱基板。 - 搭載面の表面積が50〜1000cm2である請求項1に記載の放熱基板。
- 熱伝導率が200W/m・K以上である請求項1または2に記載の放熱基板。
- 少なくとも搭載面が、めっき層によって被覆されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の放熱基板。
- めっき層の、半導体素子を搭載する領域以外の領域が、レジスト被膜によって被覆されている請求項4に記載の放熱基板。
- SiC系セラミックスからなる三次元網目状構造体に、加熱して溶融させたSiの融液を含浸させた後、冷却して前記融液を固化させる工程を含む、放熱基板の製造方法であって、前記工程を、三次元網目状構造体、およびSiと非接触の状態で配設した、Siの溶融温度以上の温度環境下で、前記Siよりも酸素と結びつきやすい酸素吸収体の存在下、非酸化性雰囲気中で行うことを特徴とする放熱基板の製造方法。
- 酸素吸収体として、Alを用いる請求項6に記載の放熱基板の製造方法。
- 酸素吸収体として、Alと、SiC系セラミックスとの複合体を用いる請求項6または7に記載の放熱基板の製造方法。
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