JP5039476B2 - 真空処理装置、及び真空処理装置の調整方法 - Google Patents
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本発明では、従来は制御機器の設置される場所に配置されていた第1電源部(21a)及び第2電源部(21b)を、それぞれ第1整合部(13a)及び第2整合部(13b)に一体化して製膜室(6)に結合している。加えて、一体化により筐体、冷却機構等が共通化できるので、従来のように別体で構成するよりも大幅に小型化できる。それらのため、制御機器側の設置スペースを大幅に削減することが出来る。特に、複数の給電点を有する放電電極を用い、複数の給電点の各々に対して別々の電源部を設けている場合、その設置スペース削減効果は極めて大きい。また、第1電源部(21a)及び第2電源部(21b)は、それぞれ第1整合部(13a)及び第2整合部(13b)と実質的に一体化され、同一の筐体に収まるので、従来両者を接続していた同軸ケーブルが不要となり、頑丈な銅板、銅線等を用いることが出来る。その結果、同軸ケーブルによる電力損失を低減することができる。更に、同軸ケーブルが不要となるので、電力系のコネクタ数が大幅に少なくなり、コネクタ部分でのトラブルを著しく抑制することが出来る。特に、複数の給電点の各々に対して別々の電源部を設けている場合、及び、高周波電力に対して位相変調を行うような特殊な給電方法を用いる場合、安定した給電を実現するという観点で同軸ケーブル及びコネクタ部分の削減効果は極めて大きい。
本発明では、第1高周波アンプ(23、23a)に接続された第1高周波給電路(25)や、第2高周波アンプ(23、23a)に接続された第2高周波給電路(25)が、従来のような同軸ケーブルを用いる必要が無く、頑丈な銅板、銅線等を用いることが出来る。その結果、同軸ケーブルによる電力損失を低減することができる。更に、同軸ケーブルが不要となるので、電力系のコネクタ数が大幅に少なくなり、コネクタ部分でのトラブルを著しく抑制することが出来る。
本発明では、第1高周波アンプ(23a)及び第2高周波アンプ(23a)に本来含まれるはずの一次アンプ(23b)(例示:ドライブアンプ(23b))を、例えば設置スペースの増加なしに制御装置(30)に組み込むことが出来る。それにより、第1高周波アンプ(23a)及び第2高周波アンプ(23a)を小型化することが出来る。
本発明では、従来は制御機器の設置される場所に配置されていた第1直流電源(24)及び第2直流電源(24)を、それぞれ第1整合部(13a)及び第2整合部(13b)に一体化された第1電源部(21a)や第2電源部(21b)に備えている。従って、制御機器側の設置スペースを更に大幅に削減することが出来る。
本発明では、第1高周波給電路(25)及び第2高周波給電路(25)の電気長が、アンプ効率が高くなる負荷インピーダンスとなるように設定されているので、第1高周波アンプ(23、23a)や第2高周波アンプ(23、23a)を高効率で運転することが出来る。
本発明では、第1高周波給電路(25)及び第2高周波給電路(25)の電気長が、異常発振しない負荷インピーダンスとなるように設定されているので、第1高周波アンプ(23、23a)や第2高周波アンプ(23、23a)を安定的に運転することが出来る。
本発明では、第1高周波給電路(25)及び第2高周波給電路(25)が短く且つ同軸ケーブルを用いていないこと、同軸ケーブルが少ないのでコネクタ部分も少ないこと等の理由から、第1高周波給電路(25)及び第2高周波給電路(25)がノイズの影響をほとんど受けることがない。そのため、この位置に配置された方向性結合器(22)は、高周波電力における進行電力及び反射電力を正確に計測することが出来る。それにより、異常振動を発生した場合、直ちに把握することが出来る。
なお、真空処理装置において、第1電源部(21a)は、第1高周波給電路(25)を介して第1整合部(13a)に接続された第1高周波アンプ(23、23a)を備えていても良い。第2電源部(21b)は、第2高周波給電路(25)を介して第2整合部(13b)に接続された第2高周波アンプ(23、23a)を備え、第1高周波アンプ(23a)及び第2高周波アンプ(23a)は、アンプの初段部分としての一次アンプ(23b)を外部に有する。
(1)商用電源を用いて制御部(30)で発生させた高周波と第1直流電源(24)を用いて、第1電源部(21a)で高出力な高周波電力を供給する。
(2)第1電源部(21a)は、第1高周波アンプ(23)または一次アンプ(23b)+第1高周波アンプ(23a)と、第1高周波給電路(25)と、第1方向性結合器(22)で構成される。
(3)第1高周波アンプ(23)または一次アンプ(23b)+第1高周波アンプ(23a)において、出力を増加させる。
(4)第1高周波給電路(25)を介して送電する。
(5)第1方向性結合器(22)により、高周波電力における進行電力及び反射電力を正確に計測する。
(6)第1電源部(21a)から送電された高周波電力は、第1整合部(13a)により、高周波電力を放電電極(3)にある第1給電点(43)へ向けて出力し、第1給電点(43)側のインピーダンスの整合を取る。
以下詳細に説明する。
高周波電源21aa〜21ha、21ab〜21hbは、放電電極3a〜3hに対応して設けられている。それぞれ高周波給電伝送路12a、12bを含む各機器を介して、放電電極3a〜3hの給電点43、44へ高周波電力を供給する。その高周波電力は、高高周波(VHF(Very High Frequency)を有し、10〜800MHzが好ましく、より好ましくは30〜800MHzであり、後述の位相変調の特性が発揮できる60MHzが最も好ましい。この理由として周波数が増加すると電極を伝播する高周波電力の減衰が大きくなり、電圧定在波の形が位相変調に適しない形になってしまうためである。このような高周波にすると、プラズマの電子温度が下がり、膜質が向上する。加えて、プラズマの密度が増加するので、製膜速度を向上させることができる。
高周波電源21は、DC電源24、高周波アンプ23、及び方向性結合器(進行/反射電力計)22を備える。DC電源24は、商用電力を直流(DC)電力に変換して、電源配線26を介して高周波アンプ23へ出力する。高周波アンプ23は、1次アンプと2次アンプとを含む。1次アンプは、例えば、アンプにおける初段部分であり、低パワー(例示:0〜5W)であるが、パワー調整が可能である。ドライブアンプに例示される。2次アンプは、例えば、アンプにおける初段に続く部分であり、ゲインは概ね固定(例示:100倍)されているが、高パワーを出力することが可能である。ファイナルアンプに例示される。高周波アンプ23は、DC電源24の直流電力出力が電力源となり、1次アンプの高周波を2次アンプで増幅して、所望の高周波電力に変換する。そして、その高周波電力を高周波給電路25を介して整合器13へ出力する。方向性結合器22は、高周波給電路25と整合器13との間にあり、高周波給電路25を通る高周波電力の進行電力及び反射電力を計測する。計測された値は、その進行電力及び反射電力を表示するメータに表示される。制御部30は、高周波電源21の高周波アンプ23を制御信号S1で制御する。
なお、この場合、後述の図7のように高周波アンプ23の1次アンプを制御部30に含ませても良い。1次アンプは、制御部30に設置スペース(容積)のほとんど増加なしに組み込むことが出来る。
図6は、本発明の真空処理装置のプラズマ発生用の給電システムの他の構成を示す概略図である。給電システムは、制御機器側に設けられた制御部30及びDC電源24と、製膜室6側に設けられた高周波電源21A及び整合器13とで構成される。この給電システムは、給電点毎に設けられている。
まず、高周波アンプ23(23a)の製作又は改造後、その高周波アンプ23(23a)の特性として異常発振領域(図10に対応)及び発振効率(図11に対応)を計測する。それにより、例えば、図14のようなスミスチャートが得られる。図14は、高周波アンプから見た負荷インピーダンスと高周波アンプの特性との関係を示すスミスチャートである。中心点、曲線A、領域B、「高」、「中」、「低」は、図10及び図11と同じである。得られたスミスチャートを参照して、異常発振がなく且つ効率が良い負荷インピーダンスを選定する。すなわち、スミスチャート上で、異常発振領域に入らず、効率が中程度以上(又は設定された基準値以上)から最高値までの範囲で、反射電力の小さい負荷インピーダンスになるように設定する。図14の例では、領域Bに入らず、「中」近傍から「高」近傍までの範囲で、中心点に近い範囲において設定する。例えば、図中の領域Cである。高周波アンプ23(23a)の回路構成の相違によってこの特性は変化する。そのため、新規に設計した高周波アンプに対してはその都度計測が必要である。
次に、製作された高周波アンプ23(23a)を、高周波電源21aa〜ha、21ab〜hbの高周波アンプとして、図5〜図7のいずれかの形態で、実際に製膜室6に取り付ける。そして、製膜室6内には製膜時と同様の原料ガスを導入した上で、高周波電力を、位相変調を行いながら負荷(高周波給電路25−整合器13−高周波給電伝送路12−放電電極3)に供給して、DC電源24の出力電流(DC電流)を計測する。このとき、位相変調を行っているので、負荷のインピーダンスは変動して、スミスチャート上のある経路を周期的に動くことになる。DC電源24の出力電流は、その経路上の各点で測定される。さらに、高周波位相(物理的には高周波給電路25のケーブル長(電気長))を変えた上で、同様に、DC電源24の出力電流の大きさを計測する。それにより、例えば、図15のようなグラフが得られる。図15は、高周波給電路25のケーブル長とDC電源の出力電流との関係を示すグラフである。縦軸はDC電源24の出力電流の電流値、横軸は高周波給電路25のケーブル長である。この図から、出力電流の電流値が最小となる点を探索する。電流値が最小となる点が効率最大点となる。そして、高周波給電路25の電気長が、高周波給電路25の電気長で変化する高周波アンプ23(23a)の効率の最大値と最小値の巾を100%とした時に、当該効率が50%以上になるように設定する。より好ましくは当該効率が80%以上となる電気長であり、更に好ましくは効率最大となる点の電気長である。
続いて、ステップS02で算出した高周波給電路25の電気長の範囲から、例えば、出力電流の電流値が最小となる最小点の高周波位相を選定し、全高周波電源21aa〜ha、21ab〜hbに反映させる。図15の場合、ステップS02で算出した高周波給電路25の電気長の範囲である0mより大きく0.5m以下、又は、1.5m以上2.2m以下から、出力電流の電流値が最小となる最小点の高周波位相として、ケーブル長0.2m(0.056λ)を選定する。そして、そのケーブル長0.2m(0.056λ)を全高周波電源21aa〜ha、21ab〜hbに設定する。
高周波位相が確実に設定・固定できるように高周波電源21(高周波アンプ23(23a))と整合器13とは一体化(1つの金属箱の中に収める)し、負荷インピーダンスが変化しないように製膜室6の放電電極3に対して位置決めし、固定する。
以上により、高周波電源の調整方法が終了する。
なお、第1セル層91と第2セル層92との間に、透明電極層(中間コンタクト層)93を設けてもよい。透明電極層93を設けた場合、透明電極層93で基板側からの入射光の一部が反射され、第1セル層91での光吸収率が向上し、発電電流を増加させることができる。
2 対向電極
3、3a、3b、3c、3d、3e、3f、3g、3h 放電電極
4 防着板
5 均熱板
6、106 製膜室
7 支持部
8 基板
11 均熱板保持機構
12a、12b 高周波給電伝送路
13a、13aa、13ba、13ca、13da、13ea、13fa、13ga、13ha、13b、13ab、13bb、13cb、13db、13eb、13fb、13gb、13hb、113 整合器
14a、14b、114 高周波給電伝送路
15a、15b 熱媒体供給管
16a、16b 原料ガス配管
21a、21aa、21ba、21ca、21da、21ea、21fa、21ga、21ha、21b、21ab、21bb、21cb、21db、21eb、21fb、21gb、21hb、21A、21B、121 高周波電源
22、122 方向性結合器(進行/反射電力計)
23、23a、123 高周波アンプ
23b 1次アンプ
24、124 DC電源
25、125 高周波給電路
26 電源配線
30、130 制御部
31 高真空排気部
32、34 弁
35 低真空排気部
36 支持部
37 台
43、44 給電点(端部)
Claims (8)
- 第1給電点と第2給電点とを有する放電電極と、
前記放電電極と離間されて対面配置され、被処理基板を保持可能な保持電極と、
前記放電電極と前記保持電極とを内部に含む製膜室と、
第1高周波電力を供給する第1電源部と、
前記第1高周波電力の電圧波形の位相に対して、電圧波形の位相が時間的に相対的に変化する第2高周波電力を供給する第2電源部と、
前記第1高周波電力を前記第1給電点へ向けて出力し、前記第1給電点側のインピーダンスの整合を取る第1整合部と、
前記第2高周波電力を前記第2給電点へ向けて出力し、前記第2給電点側のインピーダンスの整合を取る第2整合部と
を具備し、
前記第1電源部と前記第1整合部とは一体として前記製膜室に結合され、
前記第2電源部と前記第2整合部とは一体として前記製膜室に結合され、
前記第1電源部は、第1高周波給電路を介して前記第1整合部に接続された第1高周波アンプを備え、
前記第2電源部は、第2高周波給電路を介して前記第2整合部に接続された第2高周波アンプを備え、
前記第1高周波アンプ及び前記第2高周波アンプは、アンプの初段部分としての一次アンプを外部に有する真空処理装置。 - 請求項1に記載の真空処理装置において、
前記第1電源部は、前記第1高周波アンプに接続された第1直流電源を更に備え、
前記第2電源部は、前記第2高周波アンプに接続された第2直流電源を更に備える真空処理装置。 - 請求項1又は2に記載の真空処理装置において、
前記第1高周波給電路の電気長は、前記第1高周波給電路の電気長で変化する前記第1高周波アンプの効率の最大値と最小値の巾を100とした時に、当該効率が最小値+50以上になるように設定され、
前記第2高周波給電路の電気長は、前記第2高周波給電路の電気長で変化する前記第2高周波アンプの効率の最大値と最小値の巾を100とした時に、当該効率が最小値+50以上になるように設定される真空処理装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記第1高周波給電路の電気長は、前記第1高周波アンプから見た負荷インピーダンスと前記第1高周波アンプの特性との関係を示すスミスチャートに基づいて、前記第1高周波アンプの特性上発生する異常発振領域を回避するように該負荷インピーダンスが設定された後、前記第1高周波電力及び前記第2高周波電力が前記放電電極へ向けて供給されて、測定された出力電流の電流値が最小となる点に基づいて設定され、
前記第2高周波給電路の電気長は、前記第2高周波アンプから見た負荷インピーダンスと前記第2高周波アンプの特性との関係を示すスミスチャートに基づいて、前記第2高周波アンプの特性上発生する異常発振領域を回避するように該負荷インピーダンスが設定された後、前記第1高周波電力及び前記第2高周波電力が前記放電電極へ向けて供給されて、測定された出力電流の電流値が最小となる点に基づいて設定される真空処理装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空処理装置において、
前記第1電源部は、前記第1高周波給電路と前記第1整合部との間に第1方向性結合器を更に備え、
前記第2電源部は、前記第2高周波給電路と前記第2整合部との間に第2方向性結合器を更に備える真空処理装置。 - 真空処理装置の調整方法であって、
ここで、前記真空処理装置は、
第1給電点と第2給電点とを有する放電電極と、
前記放電電極と離間されて対面配置され、被処理基板を保持可能な保持電極と、
前記放電電極と前記保持電極とを内部に含む製膜室と、
第1高周波電力を供給する第1電源部と、
前記第1高周波電力の電圧波形の位相に対して、電圧波形の位相が時間的に相対的に変化する第2高周波電力を供給する第2電源部と、
前記第1高周波電力を前記第1給電点へ向けて出力し、前記第1給電点側のインピーダンスの整合を取る第1整合部と、
前記第2高周波電力を前記第2給電点へ向けて出力し、前記第2給電点側のインピーダンスの整合を取る第2整合部と
を具備し、
前記第1電源部と前記第1整合部とは一体として前記製膜室に結合され、
前記第2電源部と前記第2整合部とは一体として前記製膜室に結合され、
前記第1電源部は、第1高周波給電路を介して前記第1整合部に接続された第1高周波アンプを備え、
前記第2電源部は、第2高周波給電路を介して前記第2整合部に接続された第2高周波アンプを備え、
前記第1高周波アンプ及び前記第2高周波アンプは、アンプの初段部分としての一次アンプを外部に有し、
前記真空処理装置の調整方法は、
(a)前記第1電源部の第1高周波アンプと前記第1整合部との間の第1高周波給電路の電気長を、前記第1高周波給電路の電気長で変化する前記第1高周波アンプの効率の最大値と最小値の巾を100%とした時に、当該効率が50%以上になるように調整するステップと、
(b)前記第2電源部の第2高周波アンプと前記第2整合部との間の第2高周波給電路の電気長を、前記第2高周波給電路の電気長で変化する前記第2高周波アンプの効率の最大値と最小値の巾を100%とした時に、当該効率が50%以上になるように調整するステップと
を具備する真空処理装置の調整方法。 - 請求項6に記載の真空処理装置の調整方法において、
(c)前記第1高周波給電路の電気長を、前記第1高周波アンプから見た負荷インピーダンスと前記第1高周波アンプの特性との関係を示すスミスチャートに基づいて、前記第1高周波アンプの特性上発生する異常発振領域を回避するように該負荷インピーダンスが設定された後、前記第1高周波電力及び前記第2高周波電力が前記放電電極へ向けて供給されて、測定された出力電流の電流値が最小となる点に基づいて調整するステップと、
(d)前記第2高周波給電路の電気長を、前記第2高周波アンプから見た負荷インピーダンスと前記第2高周波アンプの特性との関係を示すスミスチャートに基づいて、前記第2高周波アンプの特性上発生する異常発振領域を回避するように該負荷インピーダンスが設定された後、前記第1高周波電力及び前記第2高周波電力が前記放電電極へ向けて供給されて、測定された出力電流の電流値が最小となる点に基づいて調整するステップと
を更に具備する真空処理装置の調整方法。 - 請求項6又は7に記載の真空処理装置の調整方法において、
前記(c)ステップは、
(c1)前記第1高周波給電路と前記第1整合部との間の第1方向性結合器で、前記第1高周波アンプの異常発振を検知したとき、前記第1高周波給電路の電気長を所定の範囲内の長さだけ延長するステップを更に備え、
前記(d)ステップは、
(d1)前記第2高周波給電路と前記第2整合部との間の第2方向性結合器で、前記第2高周波アンプの異常発振を検知したとき、前記第2高周波給電路の電気長を所定の範囲内の長さだけ延長するステップを更に備える真空処理装置の調整方法。
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