JP4980549B2 - モジュールクリーンルームフィルター装置 - Google Patents
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Description
(発明の分野)
本発明は、一般にエアーフィルター支持装置に関し、特に、空気中の粒子の数を最小にしなければならないクリーンルーム用モジュールエアーフィルターのステムに関する。
【0002】
(関連技術の説明)
クリーンルームは一般に、電子、医療、及び製薬産業のような多くの産業で使用され、空気中の粒子の数を規定限度まで減らしている。最も一般的なアプローチでは、平らなフィルター層が部屋の天井又は側壁から吊り下げられ、フィルターは天井又は側壁の全域にわたって延びる。空気は、プレナムからフィルターを通してルームのオープンスペースの中に導かれ、次いでルームの吹出し口を通ってプレナムに戻される。フィルターエレメントは通常、各フィルターエレメントの周囲フレーム全体に係合するグリッドのような支持要素によって支持される。加えて、グリッド要素とフィルターパネル要素との間にエアーシールガスケット又はシールジェルを位置決めさせることが必要である。周知のグリッド支持装置は必ずしも効果的に働くとは限らないので、クリーンルーム用の改良フィルター装置及び又は支持装置を提供するために、非常に多くの試みがなされてきた。
【0003】
マドルジュニアの米国特許第5329739号では、4つのフィルターユニットのクラスターが、各コーナーの上に重なる回転可能なディスクによって、それぞれのコーナーの交点で一緒に支持される、クリーンルームフィルター装置が説明されている。各ディスクは、天井のような支持面から吊り下げられ、4つのコーナーに設けられたフレームの孔と整合可能な孔を有し、それによって垂直な位置決めピンが、支持ディスクにねじ込まれ、フィルターパネルのそれぞれのコーナーに入り込んで、フィルターパネルを適所に保持する。垂直な位置決めピンは、ディスクを回転させようとするときに引っ込められ、ディスクに形成されたパイ形の切欠き部分がフィルターパネルコーナーと整合するので、フィルターパネルを、隣接したフィルターパネルのどれをも妨げずに、残りのフィルターパネルの平面から挿入したり、取り外したりすることができる。位置決めピンは、ディスクが全支持位置に戻されるとき、ディスクの開口部がフィルターパネルフレームの開口部と整合して再び差し込まれる。シールストリップで支持されたジェルシーラントがフィルターユニットを、未ろ過空気漏れがないようにシールする。
【0004】
ジーンソーらの米国特許第5871556号は、個々のフィルターユニットが自己支持し、個々にたやすく取り付け及び取り外し可能で、グリッド及び他の多ユニット支持手段がないように、分配されていないサスペンションアセンブリーによって単独で支持されるクリーンルーム天井を開示している。分配されていないサスペンションアセンブリーは、ディバイダーの各側で別々のフィルターパック間の各フィルターユニットの中央に取り付けられる。
【0005】
しかしながら、クリーンルーム用の改良された簡易なフィルター支持装置を提供することが、依然として望ましい。
【0006】
(発明の概要)
本発明は、天井又は側壁に使用され、それほど高価ではなく、よりよく機能し、且つ取り付けがより早い、クリーンルームフィルター支持装置を提供する。
本発明は、現在入手できるどれよりも融通性のある支持装置を提供し、それぞれ独自に完備した、すなわち、分離できる上ハウジング又は蓋パネルと、容積制御又は遮断ダンパーと、骨組フィルターエレメント又はパネルと、を含む複数の個々のフィルターモジュールを含む。さらに、照明取付器具及びディフューザーパネル、又はエーロフォイルフレーム手段が加えられている。
本発明は、複数の間隔を隔てた支持部材を含み、これらの支持部材は、個々のフィルターモジュールがコーナーで、交差点で、或いは壁で合う場合には、個々のフィルターモジュールのコーナーを支持するように、天井又は他の支持面から吊り下げられる。各支持要素は、支持ロッドと、分離可能な蓋パネル又はブロワーハウジングを有する又は有しないフィルターモジュールを横方向に支持するための1つ又は2つ以上のユニークな支持ブラケットと、を含む。各フィルターモジュールは、一連のフィルターモジュールがユニークな支持ブラケットに一緒に固着されるとき、フィルターパネルを支持するように、十分に剛いフィルターフレームを含む。各フィルターモジュールは少なくとも底部で独立に支持され、そして、各フィルターモジュールを、隣接したフィルターモジュールに影響を及ぼすことなく、ルーム内に取り付けたり、ルーム内から取り外したりすることができる。
【0007】
本発明のフィルターモジュールは、一体の又は分離可能な蓋パネルを有しても良いし、及び又はダクテッドフィルタータイプ、ファン動力式フィルタータイプ、又は圧力プレナムタイプのものであってもよい。あらゆる変形物を、本発明の天井フィルター装置内で交換したり、混合したりしてもよい。各フィルターモジュールの上面又は蓋パネルは、ダクテッド式か、ファン動力式か、圧力プレナムに直接連結されるかのいずれにせよ、フィルターエレメントから独立している又は分離でき、そして、フィルターエレメントに先立って取り付けられるのがよい。分離可能な蓋パネルを使用するとき、蓋パネルは、下方のクリーンルームスペースと上方のプレナムスペースとの間に仕切りを形成する。これらの分離可能な蓋パネルの使用によって、ルームのクリーンスペースの隔離を達成するのに要する時間は、他の周知のフィルター装置の場合よりも短い。ダクテッドフィルターモジュール変形例に関する供給エアーダクト工作物は、各モジュールの蓋パネルの上側に直接取り付けられ、かくして、分離可能な蓋パネルオプションを使用するとき、ダクト連結部をモジュールのフィルターエレメントから独立させる。
好ましくは、各ダクテッドフィルターモジュール蓋パネルは、バランス及び微調整のために供給空気の量を変えるために、支持ダクト連結部にダンパーを有する。フィルターアセンブリー又はモジュール全体が完成しているとき、しっかりと固定された分離可能な蓋パネルは、装置全体を構造ダイヤフラムにし、それによって、さらなる地震支持体の要求を減らす。ダンパーの使用によって1つ又は2つ以上の個々のモジュールを単に遮断することによって装置が作動状態のまま、フィルターモジュールの各々を、ルーム内に挿入したり、ルーム内から取り外したりすることができる。
【0008】
隣接した分離可能な蓋パネルの間の隙間及び又はフィルターモジュールの間の隙間がシールされる。そして、分離可能な蓋パネルとフィルターエレメントとの間の接合部が、ガスケット又はジェルシーラントでシールされる。
【0009】
したがって、クリーンルーム用の改良された簡易なエアーフィルターステムを提供することが、本発明の一般的な目的である。
個々のモジュールからなる改良された簡易なクリーンルームエアーフィルター装置を提供することが、本発明の特定な目的である。
分離可能な蓋パネル及びフィルターエレメントを有する分離フィルターモジュールからなる改良された簡易なクリーンルームエアーフィルター装置を提供することが、本発明の他の特定な目的である。
さらに、フィルターモジュール、及び又は分離可能な蓋パネル、又はブロワーハウジング及びフィルターエレメントを横方向に取り付ける、1つ又は2つ以上の間隔を隔てた支持ブラケットを有する、オーバーヘッド天井或いは他の支持構造物から吊り下げられた支持ロッドを利用する、改良された簡易なクリーンルームエアーフィルター装置を提供することが本発明の他の特定な目的である。
本発明のこれらの及び他の目的は、天井又は他の支持面に固着され、各々、1つ又は2つ以上の支持ブラケットを取り付けた複数の間隔を隔てた支持ロッドによって支持された、複数のフィルターモジュールを有するエアーフィルター装置を提供することによって達成される。
各フィルターモジュールは、分離可能な又は分離可能でない蓋パネルを含み、空気を空気供給装置から送風するための手段を有する。フィルターパネルを保持した剛体フレームを有するフィルターエレメントが蓋パネルで保持され、支持ブラケットに横方向に固着される。蓋パネルが分離できるとき、蓋パネルは、それらのコーナーが、4つの間隔を隔てた支持ロッドの上位置に保持された別々の支持ブラケットによって支持され、分離可能な蓋パネルは、各蓋パネルの下に挿入されたフィルターエレメントを有する。分離可能な蓋パネルは上支持ブラケットに横方向に固着され、そして、フィルターエレメントは、4つの支持ロッドのそれぞれの下支持ブラケットに横方向に固着される。隣接した蓋パネル及びフィルターエレメントは、同じ方法で、エアーフィルター装置を形成するように取り付けられる。本発明の一実施形態では、照明灯はフィルターエレメントに固着され、ディフューザーパネルは、支持ロッドの下ブラケットに固着されたアームによって照明灯の下に固着される。或いは、フィルターフレームは、隣接したフィルターモジュールの間の下接合部を閉じるように形成された下縁を含む。
【0010】
新しいと考えられている本発明の目的及び特徴は、特別に添付クレームに記載されている。本発明は、さらなる目的及び利点と共に、構成及び操作方法の両方について、添付図面に関して考慮される以下の説明の参照によって最も理解される。
【0011】
(好ましい実施形態の説明)
以下の説明は、当業者が発明をし、且つこれを使用することができるように提供され、発明を実施する、発明者によって考えられた最良の形態を述べている。しかしながら、本発明の一般的な原理が、いくつかの図全体を通じて、全体的に10で指示された、改良且つ簡易なモジュールエアーフィルター装置を備えるように、ここに特別に定義されているので、様々な変形例が当業者にとってたやすく理解できよう。
【0012】
今、図面に目を向けると、本発明のモジュールエアーフィルター天井装置の好ましい実施形態が、図1乃至図5及び図8と関連して説明されている。しかしながら、本発明のエアーフィルター装置を側壁に取り付けてもよいことを理解すべきである。
【0013】
まず、図1に目を向けると、オーバーヘッドモジュールフィルター装置10の部分が示されており、このオーバーヘッドモジュールフィルター装置10は、1つ又は2つ以上の支持ブラケット14を保持する、複数の間隔を隔てたねじ山付支持ロッド12を有する。限定のためでなく、説明のためだけに、間隔を隔てた上下支持ブラケット14を有する支持ロッド12が示されている。支持ブラケット14は、異なっていてもよいし、或いは等しくてもよいが、便宜のため上下支持ブラケットと呼ばれる。
ロッド12は、天井、或いは他の支持構造物から支持され、隣接したフィルターモジュール16をその各コーナーで支持ブラケット14によって支持するように間隔を隔てている。
各フィルターモジュール16は、好ましくは、金属でできた上ぶた或いはパネル18、及びフィルターエレメント19からなる。上部パネル18は、図1に示すように分離できてもよいし、或いは図9及び図10に示すように分離できなくてもよい。
各蓋パネル18は、好ましくは、隙間空間25内のダクト23からの空気流のための中心開口部20を含む。
開口部20は、好ましくは、エアーダクト23或いは上部パネル18の上のプレナム25からの空気の流れを調整するダンパー22を含む。
さらなる実施形態では、上部パネル18の代わりに、図6に示すように、ファン24を有する傾斜した上部パネル、すなわちブロワーハウジング18’を使用してもよい。
【0014】
支持ブラケット14の各々は、互いに90度をなして延びている、複数のアーム26を有し、各アームには2つ又は3つ以上の間隔を隔てた孔28,29が形成されている。図1に示すように、ブラケット14’’がコーナー30に取り付けられるとき、2つのアーム26だけが要求され、或いはブラケット14’が壁32に取り付けられる場合には、3つのアームだけが要求される。
【0015】
図2に示すように、別々の蓋パネル18の下に取り付けられるフィルターエレメント19は、好ましくは金属で作られた外側フレーム21を含み、ディバイダー40によって分離されたフィルター媒体又はフィルターパネル27を有する。
【0016】
まず、複数の分離可能な上部パネル18又は18’を、各上部パネルの各コーナーの1つの整合したコーナー孔33の中に挿入される、ピン、ねじ等のような固着要素31によって、上ブラケット14,14’又は14’’の各コーナーの孔28の1つに上部パネルを横方向に取り付けることによって、適所に固着する(図1及び図2参照)。分離可能な上部パネル18を、上ブラケット14,14’,14’’に、全域にわたって適所に固着した後、又は少なくとも1つの分離可能な上部パネルを適所に固着した後、次いでフィルターエレメント19を、下ブラケット14に横方向に固着することによって、蓋パネル又はパネル18の下に適所に固着する。さらに固着要素34を、フィルターフレーム21の下端の各コーナーに形成された孔36を介して、下ブラケット14,14’,14’’の上孔の中に横方向に挿入する(図2参照)。
【0017】
図3に示すように、エアーフィルター装置が完成したとき、管形照明灯を有する照明取付器具38を、各フィルターフレーム21のフィルター媒体又はパックを分離する中央梁又はディバイダー40の下フランジに沿って固着することによって、十分大きいフィルターモジュール19に加えるのがよい。各照明取付器具38を、周知のやり方で電気接続し、各ディバイダー40は、それぞれの管形照明灯を取付器具(図5参照)から取り外すときに工具44を挿入する、中央配置の孔又は開口部42を含む。工具44は、ダンパー22と協働する内端46を含み、開位置と閉位置との間のダンパーの調節を可能にし、エアーダクト23から、又は圧力プレナムからフィルターパネル19を通る空気の流れを調整する。
【0018】
1つ又は2つ以上の分離可能な上板18の代わりに、ファンモータ24(図6参照)を有する上板18’を使用してもよい。
【0019】
図4乃至図6に示すように、照明取付器具38を加えた後、L形要素48のストラップを、固着要素49によって、下ブラケット14の下孔29に加え、ディフューザーパネル50をL形要素48に固着するのがよい。ディフューザーパネル50は、好ましくは、図4の矢印51で示すように、一端を中心に下方に回転できるように取り付けられる。各ディフューザーパネル50は、上位置に固着され、空気及び光を下方の清浄な空間に通す複数の孔又は開口部52を含む。
【0020】
今、図7及び図8に目を向けて、フィルターモジュール16を上部でシールするための手段を説明する。各フィルターフレーム21は、その内側の上周縁に形成された上溝又はトラフ54を含む。ガスケット又はシールゲルのようなシール手段56が上溝に入れられている。上部パネル18は、好ましくは内方にオフセットされた下縁部分58を含み、下縁部分58はシール手段56と協働して、各フィルターモジュール16の上周縁を積極的にシールし、加圧空気がフィルターモジュールの外に漏れるのを防ぐ。所望ならば、ディフューザーパネル50及び保持ストラップ48を省いてもよく、空力学的に形成された要素又はブラケット60を各フィルターモジュール16の一部分として形成してもよいし、或いは各フィルターモジュール16の下縁に固着してもよい。固着要素62が隣接要素60を下ブラケットに固着するのに使用される。各要素60は好ましくは、隣接したフィルターモジュール16の間の空間をさらにシールするために、隣接したパネルのシール要素と協働するシール要素64を含む。
【0021】
今、図9及び図10に目を向けると、非分離蓋パネル18をフィルターフレーム21の上部に取り付けるための手段が図示されている。これらの実施形態では、上支持ブラケット14は使用されず、上部パネル18は、リベット等でフレーム21に直接連結される。フィルターモジュール16は下支持ブラケット14に横方向にのみ固着される。
【0022】
当業者は、上述の好ましい実施形態の種々の適用及び修正を本発明の範囲及び精神から逸脱することなく行うことができることを認識するだろう。それゆえ、本発明を添付の特許請求の範囲における請求項の範囲内でここで特別に説明した以外で実施してもよいことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 支持面から吊り下げられ、且つ上支持ブラケットに固着された複数の分離可能な蓋パネルを有する、複数の支持ロッド及び支持ブラケットを示す、部分的に分解された、部分斜視図である。
【図2】 支持ロッドの上支持ブラケットによって適所に支持された、複数の分離可能な蓋パネルを示し、且つ分離可能な蓋パネルの下に適所に固着された2つのフィルターエレメントと、さらなる分離可能な蓋パネルの下に適所に挿入すべき第3フィルターエレメントをさらに示す、部分斜視図である。
【図3】 すべてのフィルターエレメント及び又はモジュールを適所に有し、フィルターエレメント及び又はモジュールの下に適所に挿入される或いは挿入すべき複数の照明灯を有する本発明のフィルター装置を示す、さらなる部分斜視図である。
【図4】 クリーンルームの内側から見た、フィルターエレメント及び又はモジュールと照明灯の下に回転可能に保持された複数のディフューザーパネルを示す、さらなる部分斜視図である。
【図5】 図4の線5−5による拡大断面図である。
【図6】 ファン動力式蓋ハウジング又はパネルを示す図5の拡大断面図と同様なさらなる拡大断面図である。
【図7】 本発明のフィルターフレーム部分の拡大断面図である。
【図8】 本発明のフィルターフレーム部分の拡大断面図である。
【図9】 本発明のフィルターフレーム部分の拡大断面図である。
【図10】 本発明のフィルターフレーム部分の拡大断面図である。
Claims (10)
- モジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置において、
少なくとも1つのモジュールと、複数の支持ブラケットとを有し、
前記モジュールの各々は、複数のコーナーをもった蓋パネルを有し、
前記支持ブラケットは、前記支持ブラケットの中心軸線から外側に突出する複数のアームを有し、
前記支持ブラケットのうちの少なくとも1つは、前記モジュールの複数のコーナーの各々のところに配置され、
前記モジュールは、前記モジュールと前記アームとの間に横方向に通る固着要素によって、前記支持ブラケットの前記アームに連結され、
2以上のモジュールは、前記支持ブラケットの前記複数のアームの各々に独立して連結することができるようになっていて、
前記支持ブラケットは、支持ロッドによって支持面に固着され、
前記蓋パネルのうちの少なくとも1つは、その蓋パネルに設けられた空気流開口部を有しており、
前記モジュール又は前記複数のモジュールは、空気流開口部を有する蓋パネルからなり、かつ、フィルターエレメントを含み、前記フィルターエレメントは、前記蓋パネルと整列しており、シール手段が、前記フィルターエレメントと、前記蓋パネルとの間に設けられており、
前記フィルターエレメントは、フレームの中に設けたフィルター媒体からなり、前記フレームは、複数のコーナーを有している、
ことを特徴とする、モジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。 - 空気流開口部を有する前記蓋パネル又は複数の前記蓋パネルは、圧縮空気供給部に連結され、かつ、前記空気流開口部を通る空気の流れを調整し、拡散させるためのダンパーを含むことを特徴とする、請求項1に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 空気流開口部を有する前記蓋パネル又は複数の前記蓋パネルは、前記空気流開口部を通る空気の流れを引き起こすためのファンを有することを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 前記フィルターエレメントは、前記フィルター媒体を1つのフィルターフレームの中で2つの別個の媒体パックに分離するための中央のディバイダーを含むことを特徴とする、請求項1から請求項3の何れか1項に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 前記フィルターエレメントは、前記フィルター媒体を1つのフィルターフレームの中で2つの別個の媒体パックに分離するための中央のディバイダーを含み、
前記ディバイダーは、前記ディバイダーに形成された孔又は開口部を有し、ダンパーを調節するために、前記孔又は開口部に工具を挿入することができるように構成される、
ことを特徴とする、請求項2に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。 - 前記フィルターエレメントの前記ディバイダーに固着された照明取付器具をさらに有することを特徴とする、請求項4又は請求項5に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 前記蓋パネルおよび前記フィルターエレメントは、分離可能であり、かつ、独立して前記支持ブラケットに固着されることを特徴とする、請求項1から請求項6の何れか1項に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 分離可能な前記蓋パネルと前記フィルターエレメントとの間の前記シール手段は、ガスケット又はシールゲルのいずれかであることを特徴とする、請求項7に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 前記フィルターエレメントの排出側で前記支持ブラケットに固着されたディフューザーパネルをさらに含むことを特徴とする、請求項1から請求項8の何れか1項に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
- 前記モジュールは、複数の空気流開口部を有する複数の蓋パネルと、それらと整列した複数のフィルターエレメントからなり、前記蓋パネルと、前記フィルターエレメントは、互いに恒久的にシールされており、前記モジュールは、前記モジュールのフィルターフレームと、前記支持ブラケットの前記アームとの間に横方向に通る固着要素だけによって、前記支持ブラケットに連結されることを特徴とする、請求項1、2、3、4、5、6、9の何れか1項に記載のモジュール方式のクリーンルームエアーフィルター装置。
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