JP4973747B2 - Transport vehicle system - Google Patents
Transport vehicle system Download PDFInfo
- Publication number
- JP4973747B2 JP4973747B2 JP2010038082A JP2010038082A JP4973747B2 JP 4973747 B2 JP4973747 B2 JP 4973747B2 JP 2010038082 A JP2010038082 A JP 2010038082A JP 2010038082 A JP2010038082 A JP 2010038082A JP 4973747 B2 JP4973747 B2 JP 4973747B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- loop
- transport vehicle
- loops
- vehicle system
- article
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G35/06—Mechanical conveyors not otherwise provided for comprising a load-carrier moving along a path, e.g. a closed path, and adapted to be engaged by any one of a series of traction elements spaced along the path
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67727—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using a general scheme of a conveying path within a factory
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
本発明は、搬送車システム、特に、複数の処理装置間を軌道に沿って走行する搬送車を有する搬送車システムに関する。 The present invention relates to a transport vehicle system, and more particularly to a transport vehicle system having a transport vehicle that travels between a plurality of processing devices along a track.
従来、予め定まった経路と、経路上に設けられた複数のステーションと、経路に沿って走行して物品を搬送する複数の搬送車とを有する搬送車システムが知られている。搬送車システムでは、ステーションと搬送車との間では、荷つかみ(搬送車にステーションから物品が積み込まれること)や、荷おろし(搬送車からステーションに物品が積み出されること)が行われる。 2. Description of the Related Art Conventionally, a transport vehicle system having a predetermined route, a plurality of stations provided on the route, and a plurality of transport vehicles that travel along the route and transport articles is known. In the transport vehicle system, between the station and the transport vehicle, cargo grasping (loading of articles from the station to the transport vehicle) and unloading (loading of articles from the transport vehicle to the station) is performed.
搬送車システムの代表例としては、半導体工場の搬送システムで用いられる天井搬送車システムが知られている。天井搬送車システムは、天井に設けられた軌道と、軌道に沿って走行可能な天井搬送車とから構成されている。天井搬送車は、主に、軌道に係合する走行部と、半導体ウェハが積まれたFOUPを保持可能な保持部と、保持部を上下に移動させるための移動機構とを有している。 As a representative example of the transport vehicle system, an overhead transport vehicle system used in a transport system of a semiconductor factory is known. The ceiling transport vehicle system includes a track provided on the ceiling and a ceiling transport vehicle that can travel along the track. The overhead transport vehicle mainly includes a traveling unit that engages with the track, a holding unit that can hold a FOUP loaded with semiconductor wafers, and a moving mechanism that moves the holding unit up and down.
さらに、近年、天井搬送車は、荷物を横方向に移動する横方向移動機構を有している。搬送車システムは、横方向移動用の一時保管ポートを採用しており、これにより従来のストッカに比べて、簡便かつ迅速に一時保管運用が可能になっている(例えば、特許文献1を参照。)。 Furthermore, in recent years, the overhead transport vehicle has a lateral movement mechanism that moves the luggage laterally. The transport vehicle system employs a temporary storage port for lateral movement, which enables a simple and quick temporary storage operation as compared with a conventional stocker (see, for example, Patent Document 1). ).
前記搬送車システムでは、経路の側方に一時保管ポートが採用されているが、条件によっては搬送車システム全体の搬送効率を高めるのには十分ではない場合がある。 In the transport vehicle system, a temporary storage port is employed on the side of the route, but depending on conditions, it may not be sufficient to increase the transport efficiency of the entire transport vehicle system.
本発明の課題は、搬送車システムにおいて物品の搬送効率を高めることにある。 The subject of this invention is improving the conveyance efficiency of articles | goods in a conveyance vehicle system.
本発明に係る搬送車システムは、複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、軌道と、搬送車と、載置台とを備えている。軌道は、複数の処理装置に隣接する複数のループを有する。搬送車は、複数のループを一方通行で走行することで物品を搬送する。載置台は、ループの内側においてループの両側部分に近接して配置され、ループの長手方向に一列に並んで配置された第1載置台および第2載置台を有している。第1載置台および第2載置台は、ループの両側部分の片側に向かって開いた第1開口部およびループの両側部分の反対側に向かって開いた第2開口部をそれぞれ有する。
このシステムでは、載置台がループ内において両側の軌道に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有しているので、物品の仮置き時に、目的とする処理装置の近傍にありしかも当該処理装置に向かって開いた開口部を有する載置台を選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。
A transport vehicle system according to the present invention is a transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing devices, and includes a track, a transport vehicle, and a mounting table. The trajectory has a plurality of loops adjacent to a plurality of processing devices. A conveyance vehicle conveys articles | goods by driving | running a some loop by one way. The mounting table has a first mounting table and a second mounting table that are arranged in the loop in the vicinity of both side portions of the loop and arranged in a line in the longitudinal direction of the loop. The first mounting table and the second mounting table each have a first opening that opens toward one side of both side portions of the loop and a second opening that opens toward the opposite side of both side portions of the loop.
In this system, the mounting table has a first opening and a second opening that are open toward the tracks on both sides in the loop, so that it is in the vicinity of the target processing apparatus when temporarily placing the article. Moreover, a mounting table having an opening that opens toward the processing apparatus can be selected. As a result, the conveyance efficiency of the article is improved.
第1載置台および第2載置台はループ内で直線状に配置されていてもよい。
このシステムでは、ループの幅を最小限に設定できる。
The first mounting table and the second mounting table may be arranged linearly in the loop.
In this system, the loop width can be set to a minimum.
搬送車システムは、複数のループに接続され、複数のループ間で物品の移動を中継できる自動倉庫をさらに備えていてもよい。
このシステムでは、複数のループの間で、物品を自動倉庫に保管することができる。したがって、例えば、生産スケジュールを外れた物品を載置台に置く必要が無くなる。また、自動倉庫は経路異常時の迂回路として機能する。
The transport vehicle system may further include an automatic warehouse that is connected to a plurality of loops and that can relay the movement of articles between the plurality of loops.
In this system, articles can be stored in an automated warehouse between multiple loops. Therefore, for example, it is not necessary to place an article out of the production schedule on the mounting table. In addition, the automatic warehouse functions as a detour when a route is abnormal.
軌道は床面より下方に配置されていてもよい。
このシステムでは、軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。
The track may be arranged below the floor surface.
In this system, since the track does not protrude above the floor surface, the track is less likely to become an obstacle when the worker moves beyond the track.
搬送車システムは、軌道を覆い、床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えていてもよい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、作業車が軌道を越えて移動する際に軌道を破損するおそれがない。
The conveyance vehicle system may further include a protective cover that covers the track and is disposed in parallel with the floor surface.
In this system, since the floor surface is flattened by the protective cover, there is no possibility of damaging the track when the work vehicle moves beyond the track.
処理装置は、物品を直接移動可能に連結された第1処理装置および第2処理装置を含んでいてもよい。複数のループは、第1処理装置の入口および第2処理装置の出口にそれぞれ配置された入口側ループおよび出口側ループを含んでいてもよい。
このシステムでは、物品は、入口側ループにある搬送車から第1処理装置に移動させられ、さらに第2処理装置に直接移動させられる。最後に、物品は、第2処理装置から出口側ループにある搬送車に移動させられる。このように複数の処理装置同士を接続することで、搬送車システム全体における搬送回数が少なくなる。
The processing apparatus may include a first processing apparatus and a second processing apparatus that are coupled so that the article can be directly moved. The plurality of loops may include an inlet-side loop and an outlet-side loop disposed at the inlet of the first processing apparatus and the outlet of the second processing apparatus, respectively.
In this system, the article is moved from the transport vehicle in the entrance-side loop to the first processing apparatus, and is further moved directly to the second processing apparatus. Finally, the article is moved from the second processing device to the transport vehicle in the exit side loop. By connecting a plurality of processing devices in this way, the number of times of transport in the entire transport vehicle system is reduced.
複数のループは、平行に並んだ複数の第1のループと、複数の第1のループの第1端部間を連結するように配置された第2のループを有していてもよい。複数の第1のループの第2端部側には、ループは設けられていなくてもよい。
このシステムでは、複数の第1のループの第2端部間を連結するループが設けられていないので、複数の第1のループ間に装置を搬入することまたは複数の第1のループ間から装置を搬出することが容易になる。
The plurality of loops may include a plurality of first loops arranged in parallel and a second loop arranged to connect the first ends of the plurality of first loops. A loop may not be provided on the second end side of the plurality of first loops.
In this system, since a loop for connecting the second ends of the plurality of first loops is not provided, it is possible to carry in the apparatus between the plurality of first loops or to connect the apparatus from between the plurality of first loops. It becomes easy to carry out.
複数のループは、平行に並んだ複数の第1のループと、複数の第1のループの第1端部間を連結するように配置された第2のループと、複数の第1のループの第2端部間を連結するように配置された第3のループとを有していてもよい。第3のループを構成する軌道は、床面より下方に配置されていてもよい。
このシステムでは、第3のループを構成する軌道が床面より上方に突出していないので、作業者が軌道を越えて移動する際に軌道が障害になりにくい。
The plurality of loops include a plurality of first loops arranged in parallel, a second loop arranged to connect between first ends of the plurality of first loops, and a plurality of first loops. You may have the 3rd loop arrange | positioned so that between 2nd edge parts may be connected. The track constituting the third loop may be arranged below the floor surface.
In this system, since the track constituting the third loop does not protrude above the floor surface, the track is unlikely to become an obstacle when the operator moves beyond the track.
搬送車システムは、第3のループを構成する軌道を覆い、床面と平行に配置される保護カバーをさらに備えていてもよい。
このシステムでは、保護カバーによって床面が平坦になっているので、複数の第1のループ間に装置を搬入することまたは複数の第1のループ間から装置を搬出することが容易になる。
The conveyance vehicle system may further include a protective cover that covers the track constituting the third loop and is disposed in parallel with the floor surface.
In this system, since the floor surface is flattened by the protective cover, it is easy to carry in the apparatus between the plurality of first loops or carry out the apparatus from between the plurality of first loops.
本発明に係る搬送車システムでは、載置台がループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有しているので、物品の搬送効率が向上する。 In the transport vehicle system according to the present invention, since the mounting table has the first opening and the second opening that are open toward both side portions of the loop in the loop, the transport efficiency of the articles is improved.
(1)搬送車システム
図1を用いて、本発明に係る搬送車システム1を説明する。図1は、本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図である。この実施形態では、搬送車システム1は、大型の液晶を製造する液晶製造工場に採用されている。液晶製造工場には、複数の処理装置2および検査装置4が配置されている。
(1) Carrier vehicle system A
搬送車システム1は、複数の処理装置2間で物品(例えば、複数の基板を収容したカセット)を搬送するシステムであって、軌道3と、搬送車5と、自動倉庫7と、複数のバッファ9とを有している。搬送車システム1では、軌道3は複数のループ(周回路)を有しており、搬送車5は各ループを一方通行で走行するようになっている。
The
軌道3は、第1〜第4ループ11,13,15,17を有している。第1〜第3ループ11、13、15は一方向に長く延びており、そのため直線状の両側部分と両端にあるカーブとを有している。第1〜第3ループ11、13,15は、互いに平行に並んで延びている。第4ループ17は、第1〜第3ループ11,13,15の片側端間を延びるように配置されている。この実施形態では、第1〜第3ループ11,13,15の第4ループ17と反対側には、軌道が設けられていない。したがって、第1〜第4ループ11,13,15,17間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。
The
第1ループ11は、複数の第1ショートカット用連結部19を設けることで、第1小ループ11a、第2小ループ11b、第3小ループ11cを実現している。第2ループ13は、複数の第2ショートカット用連結部21を設けることで、第4小ループ13a、第5小ループ13b、第6小ループ13cを実現している。第3ループ15は、複数の第3ショートカット用連結部23を設けることで、第7小ループ15a、第8小ループ15b、第9小ループ15cを実現している。
The first loop 11 is provided with a plurality of first
第4ループ17は、第4ショートカット用連結部25を設けることで、第10小ループ17a、第11小ループ17bを実現している。第10小ループ17aは、複数の連結部27によって、第1ループ11および第2ループ13に連結されている。第11小ループ17bは、連結部28によって、第3ループ15に連結されている。
The
複数の処理装置2は、第1〜第4ループ11,13,15,17の外側に多数並んで配置されている。処理装置2の構成や種類は公知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。
A plurality of the
複数の処理装置2の一種類としては、各ループ間に連続して配置された連続処理装置29が設けられている。連続処理装置29は、第1ループ11と第2ループ13との間、および第2ループ13と第3ループ15の間に配置されている。連続処理装置29は、物品を直接移動可能に連結して配置された第1処理装置29aおよび第2処理装置29bを含んでいる。例えば、第1処理装置29aはエッチング装置であり、第2処理装置29bは剥離装置である。したがって、物品は、第1ループ11にある搬送車5から第1処理装置29aの入口ステーション36に搬入・処理され、次に第2処理装置29bに搬入・処理され、最後に第2ループ13の出口ステーション38にある搬送車5に搬出される。以上に述べたように、複数の処理装置2間に搬送軌道が設けられていないので、搬送車システム1全体での搬送工程数が少なくなる。
As one type of the plurality of
自動倉庫7は、第1ループ11と第2ループ13との間に配置されている。自動倉庫7は、物品を載置可能な複数の棚と、クレーンとを有している。自動倉庫7の構成は公知であるので、ここでは説明を省略する。自動倉庫7は、第1ループ11と第2ループ13が延びる方向に長く延びており、第1ループ11側に延びる第1ステーション31と、第2ループ13側に延びる第2ステーション33とを有している。これにより、自動倉庫7は、第1ループ11または第2ループ13を走行する搬送車5との間で物品を出し入れ可能である。
なお、この実施形態では、複数の検査装置4は、自動倉庫7に接続される形態で自動倉庫7の周囲に配置されている。ただし、検査装置の位置は特に限定されない。
The
In this embodiment, the plurality of
複数のバッファ9は、物品を処理装置2間で搬送する際の仮置き場所として機能する載置台である。複数のバッファ9は、第1〜第4ループ11〜17内、より具体的には各小ループ内に配置されている。バッファ9は、ループの長手方向に沿って長く形成されており、後述するように、開口部が設けられた複数の収納部を有している。第1〜第9小ループ11a、11b、11c、13a、13b、13c、15a、15b、15c内には、それぞれ4つのバッファ9が配置されている。第10小ループ17a内には、6つのバッファ9が配置されている。第11小ループ17b内には、4つのバッファ9が一列にかつ直線状に配置されている。
図4を用いて、第1バッファ9Aと第2バッファ9Bの配置および構造について詳細に説明する。図4は、図1の部分拡大図である。各小ループ内では、第1バッファ9Aと第2バッファ9Bとが交互に配置されている。第1バッファ9Aと第2バッファ9Bは、基本的な構造は同じであるが、開口部の向きが逆になっている。図4に示すように、第1小ループ11a内において、第1バッファ9Aは、3台の第1の単位バッファ85を有している。第1の単位バッファ85は、隣接する軌道、具体的には第1小ループ11aの一方の直線部分を向いた第1開口部85aを有している。第2バッファ9Bは、3台の第2の単位バッファ86を有している。第2の単位バッファ86は、隣接する軌道、具体的には第1小ループ11aの他方の直線部分に向いた第2開口部86aを有している。以上より、第1バッファ9Aの第1開口部85aと第2バッファ9Bの第2開口部86aは、第1小ループ11a内で反対側を向いている。以上の結果、第1バッファ9Aに対しては第1小ループ11aの第1サイドからのアクセスが可能であり、第2バッファ9Bに対しては第1小ループ11aの第2サイドからのアクセスが可能になっている。このように小ループのいずれのサイドからもアクセス可能なバッファが1つの小ループ内に確保されているので、搬送車5とバッファ9との間での移載が短時間で実行可能である。
The plurality of
The arrangement and structure of the
以上の構成により、各処理装置2に隣接するループ内にバッファ9があり、特に、ループの両側部分に向かってそれぞれ開口する開口部を有するバッファ9があることになる。したがって、2つの処理装置2間で物品を搬送する際には、通常は、2つのコマンドで搬送を実現することができる。具体的には、第1のコマンドによって、搬送車5が出発地である処理装置2から物品を搬出し、目的地である処理装置2の近傍のバッファ9に搬送する。第2のコマンドによって、搬送車5が物品をバッファ9から目的地である処理装置2に搬送する。このように搬送車5の2回の動きによって物品の搬送が完了するので、搬送車システム1における物品の搬送スループットが向上する。
With the above configuration, there is a
図5を用いて、搬送車システム1の変形例として、停止場所を確保したレイアウトを説明する。図5は、軌道の変形例を示す搬送車システムの部分模式平面図である。
図5では、処理装置2の一部が取り除かれて、その箇所に、第7小ループ15aから延びるバイパス89が配置されている。バイパス89は、両端が第7小ループ15aに接続されており、その中間部が所定長さの直線状になって第7小ループ15aの直線部分に対して平行になっている。バイパス89には、複数台の搬送車5が停止可能になっている。なお、バイパス89の配置位置、形状は、この実施形態に限定されない。また、バイパス89の停車可能台数は一台でもよい。
点検またはメンテナンスが必要な搬送車5は、バイパス89に入って、直線部分で停止する。その状態で作業者が搬送車5を点検またはメンテナンスする。以上より、点検又はメンテナンス作業によって、処理装置2間を搬送する搬送車5の作業を停止させることがない。つまり、搬送車システム1におけるダウンタイムを低減または無くすことができる。
The layout which secured the stop place is demonstrated as a modification of the
In FIG. 5, a part of the
The
(2)搬送車
図2および図3を用いて、搬送車5の構造について説明する。図2は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図3は、搬送車の模式平面図である。
図2においては紙面直交方向が搬送車5の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。図3においては紙面上下方向が搬送車5の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。
図2には、床面32と天井面34が示され、さらに、搬送車5、バッファ9、処理装置2のステーション2aが示されている。搬送車5、バッファ9、処理装置2のステーション2aの上面は、概ね同じ高さであり、天井面34に近接している。
(2) Conveyor vehicle The structure of the
In FIG. 2, the direction orthogonal to the paper surface is the conveyance direction of the
In FIG. 2, a
搬送車5は、処理装置2のステーション間でガラス基板やカセット等の物品を搬送するための搬送手段である。搬送車5は、本体35と、走行部37と、ローラコンベア39と、プッシュプル移載装置41と、ミニエンバイロメント機構43とを有している。
本体35は、概ね箱形形状を有している。
走行部37は、本体35の左右前後に設けられた車輪45と、車輪45に接続された走行モータ131(図7)と、走行モータ131に設けられたエンコーダ139(図7)を有している。車輪45が走行するレール47は、図2から明らかなように、床面32に形成された凹部32a内に配置されており、床面32より下方に配置されている。
The
The
The traveling
なお、図14に示すように、搬送車5が走行しない箇所のレール47の上には、保護カバー70を置くことができる。保護カバー70は、レール47を覆い、床面32と平行に配置される。保護カバー70によって床面32が平坦になっているので、作業者がレール47を越えて移動する際にレール47を破損するおそれがない。
As shown in FIG. 14, a
ローラコンベア39は、本体35の上面に転動可能に設けられてており、搬送車5の支持面を構成している。図2および図3に示すように、ローラコンベア39のローラ39aは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能である。なお、ローラコンベア39は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア39のローラ39aはすべてフリーローラ(自律的には駆動しないローラ)であり、ローラの列は単に物品のガイド部材を構成している。したがって、物品を移載する際の抵抗を減らすことができ、重量のある物品の移載に適している。このように搬送車5の支持面は転動自在なローラからなるローラコンベア39であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。
The
プッシュプル移載装置41は、ローラコンベア39のローラ列上の物品を押し引きして移動させる進退装置である。プッシュプル移載装置41は、左右方向に伸縮可能なアーム機構51と、アーム機構51に設けられたフック部材53と、アーム機構51を上下・左右・進退させるプッシュプル駆動機構133(図7)とを有している。図2に示す状態では、プッシュプル移載装置41は、ローラコンベア39より下方に配置されている。なお、プッシュプル移載装置41は、物品の荷重を支持する必要がないので、構成が簡単である。したがって、搬送車5の軽量化が実現される。
フック部材53は、アーム機構51の最上段のアームからさらに左右方向両側に延びる第1部分53aと、第1部分53bの端部から上方に延びる第2部分53bとを有している。第2部分53b同士の左右方向距離は、物品の左右方向長さよりわずかに長くなっている。
The push-
The
ミニエンバイロメント機構43は、筐体55と、一対のシャッタ57と、FFU(Fan Filter Unit)59とを有している。ミニエンバイロメント機構43は、搬送車5において物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。筐体55は、本体35の上部および前後に設けられ、所定の空間を遮蔽している。筐体55の左右両側には開口部が形成されており、開口部には一対のシャッタ57が設けられている。シャッタ57は、シャッタ駆動モータ135(図7)によって開閉動作が可能である。図2に示す状態では、一対のシャッタ57は、筐体55内の空間を外部から遮蔽している。FFU59は、筐体55内にクリーンエアを供給するための装置であり、FFU駆動モータ137(図7)によって駆動される。
The
(3)バッファ
図2を用いて、バッファ9(図4の第1の単位バッファ85、第2の単位バッファ86に相当)の構造を説明する。
バッファ9は、例えば、第1小ループ11aの内側において両側部分に近接して配置されている。バッファ9は、載置台61と、ローラコンベア63と、ミニエンバイロメント機構65とを有している。
(3) Buffer The structure of the buffer 9 (corresponding to the
For example, the
載置台61は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア63は、載置台61の上面に転動可能に設けられており、バッファ9の載置面を構成している。ローラコンベア63は、搬送車5のローラコンベア39と同一高さである。ローラコンベア63のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア63は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア63のローラはすべてフリーローラである。このようにバッファ9の載置面は転動自在なローラからなるローラコンベア63であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。
The mounting table 61 has a generally box shape. The
ミニエンバイロメント機構65は、カバー67と、FFU69とを有している。ミニエンバイロメント機構65は、バッファ9においてカバー67内すなわち物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。カバー67は、載置台61の上部に設けられ、所定の空間を遮蔽している。カバー67の軌道側には、開口部67a(図4の第1開口部85a、第2開口部86aに相当)が形成されている。この実施形態では、カバーは物品の上方だけに配置されているが、カバーは、物品の上方と左右だけに配置されていてもよいし、物品の上方と左右と奥に配置されていてもよい。この実施形態では開口部にシャッタは設けられていないが、必要に応じてシャッタを設けてもよい。FFU69は、筐体55内にクリーンエアを供給することで、載置された物品の周囲の清浄度を高めるための装置である。FFU69は、FFU駆動モータ137(図7)によって駆動される。
The
(4)ステーション
図2を用いて、処理装置2のステーション2aについて説明する。ステーション2aは、載置台71と、ローラコンベア73とを有している。
(4) Station The
載置台71は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア73は、載置台71の上面に転動可能に設けられている。ローラコンベア73のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア73は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア73のローラはすべてフリーローラである。
The mounting table 71 has a generally box shape. The
(5)制御構成
図6を用いて、搬送車システム1の制御系120を説明する。図6は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。
(5) Control configuration The
制御系120は、製造コントローラ121と、物流コントローラ123と、自動倉庫コントローラ125と、搬送車コントローラ127とを有している。
The
物流コントローラ123は、自動倉庫コントローラ125および搬送車コントローラ127の上位のコントローラである。搬送車コントローラ127は、複数の搬送車5を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷下ろし位置に関する指令を含んでいる。
The
製造コントローラ121は、処理装置2との間で通信することができる。処理装置2は、処理が終了した物品の搬送要求(荷つかみ要求・荷下ろし要求)を製造コントローラ121に送信する。
The
製造コントローラ121は、処理装置2からの搬送要求を物流コントローラ123に送信し、物流コントローラ123は報告を製造コントローラ121に送信する。
The
物流コントローラ123は、製造コントローラ121から搬送要求を受けると、自動倉庫7での入庫や出庫が伴っている場合、所定のタイミングで入庫や出庫指令を自動倉庫コントローラ125へ送信する。そして、自動倉庫コントローラ125は、これに応じて入庫や出庫指令を自動倉庫7へ送信する。物流コントローラ123は、さらに、製造コントローラ121から搬送要求を受け取ると、それを搬送指令に変換し、搬送車5への搬送指令割り付け動作を行う。
When the
搬送車コントローラ127は、搬送指令を作成するために各搬送車5と連続的に通信して、各搬送車5から送信された位置データをもとにその位置情報を得ている。
The
図7を用いて、搬送車5の搬送車内コントローラ129について説明する。図7は、搬送車内のコントローラの構成を示すブロック図である。
The
搬送車内コントローラ129は、CPU、RAM、ROM等からなりプログラムを実行するコンピュータである。搬送車内コントローラ129のメモリには、ルートマップが保存されている。搬送車5は、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標(エンコーダ139(後述)によって求めた座標)とを比較しながら走行を続ける。
The
搬送車内コントローラ129には、走行モータ131、プッシュプル駆動機構133、シャッタ駆動モータ135、FFU駆動モータ137、エンコーダ139が接続されている。
A
(6)搬送車システムの動作
図2および図8〜図13を用いて、搬送車システム1における動作を説明する。図8〜図13は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図2の状態では、搬送車5は、物品C1を載置した状態で、バッファ9と処理装置2のステーション2aとの間に停止している。ステーション2aには、物品C2が載置されている。この状態から、搬送車5は、物品C1をバッファ9に降ろして、次に物品C2をステーション2aから積み込む。以下、その動作を詳細に説明する。
(6) Operation of Transport Vehicle System The operation of the
図2の状態から、搬送車5において、シャッタ駆動モータ135が駆動されることで、バッファ9側のシャッタ57が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構133の昇降機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51が上昇される。その結果、フック部材53の第2部分53bが物品C1の左右方向両側に配置される。アーム機構51の上昇後の状態を図8に示す。
From the state of FIG. 2, the
図8の状態から、搬送車5において、プッシュプル駆動機構133のスライド機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51がバッファ9側にスライドされる。これにより、物品C1はフック部材53の第2部分53bに押されて、搬送車5からバッファ9内に搬送される。具体的には、物品C1は、ローラコンベア39およびローラコンベア63上を滑って移動する。物品C1の移動後の状態を図9に示す。
From the state of FIG. 8, in the
図9の状態から、搬送車5において、プッシュプル駆動機構133の昇降機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51が下降される。その結果、フック部材53の第2部分53bが物品C1の左右方向両側より下方に配置される。次に、プッシュプル駆動機構133のスライド機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51が搬送車5側にスライドされる。これにより、アーム機構51が搬送車5内に戻る。最後に、シャッタ駆動モータ135が駆動されて、バッファ9側のシャッタ57が閉じられる。シャッタ57が閉じられた状態を図10に示す。
From the state of FIG. 9, in the
以上に説明したように、搬送車5はバッファ9の側方に停止して、プッシュプル移載装置41によって本体35とバッファ9との間で物品を移動させる。物品は、プッシュプル移載装置41から力が作用すると、ローラコンベア39とローラコンベア63の上を移動する。このようにして、簡単な構造で、重量物の移載が可能になっている。
As described above, the
図10の状態から、搬送車5において、シャッタ駆動モータ135が駆動されることで、ステーション2a側のシャッタ57が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構133のスライド機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51がバッファ9側にスライドされる。アーム機構51のスライド後の状態を図11に示す。
From the state shown in FIG. 10, the
図11の状態から、搬送車5において、プッシュプル駆動機構133の昇降機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51が上昇される。その結果、フック部材53の第2部分53bが物品C2の左右方向両側に配置される。アーム機構51が上昇した状態を図12に示す。
From the state shown in FIG. 11, the lift mechanism (not shown) of the push-
図12の状態から、プッシュプル駆動機構133のスライド機構が駆動されて、アーム機構51が搬送車5側にスライドされる。これにより、アーム機構51が搬送車5内に戻る。また、物品C2は、フック部材53の第2部分53bに押されて、ステーション2aから搬送車5内に搬送される。具体的には、物品C2は、ローラコンベア73およびローラコンベア39上を滑って移動する。さらに、プッシュプル駆動機構133の昇降機構(図示せず)が駆動されて、アーム機構51が下降される。その結果、フック部材53の第2部分53bが物品C2の左右方向両側より下方に配置される。最後に、シャッタ駆動モータ135が駆動されて、ステーション2a側のシャッタ57が閉じられる。シャッタ57が閉じられた状態を図13に示す。
以上により、一連の移載動作が終了する。
From the state of FIG. 12, the slide mechanism of the push-
Thus, a series of transfer operations is completed.
(7)他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
(7) Other Embodiments Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention.
(A)上記の実施形態では、異なる側に向いた開口部をそれぞれが複数有する第1バッファ9Aと第2バッファ9Bが1つずつ交互に設けられているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
バッファは、ループ内において、ループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有していれば、どのような構造であってもよい。例えば、一方の種類のバッファが連続して配置されていてもよい。さらには、開口部を1つだけ有しているバッファが用いられていてもよい。つまり、バッファの形状、それぞれのバッファの連続数については特に限定されない。
以上の構造によって、バッファがループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第1開口部および第2開口部を有している。したがって、物品をバッファ9に搬入するときに、目的とする処理装置2の近傍にありしかも当該処理装置2に向かって開いた開口部を有するバッファを選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。
(A) In the above embodiment, the
The buffer may have any structure as long as it has a first opening and a second opening that are open toward both sides of the loop. For example, one type of buffer may be continuously arranged. Furthermore, a buffer having only one opening may be used. That is, the shape of the buffer and the number of consecutive buffers are not particularly limited.
With the above structure, the buffer has a first opening and a second opening that are open toward the both side portions of the loop in the loop. Therefore, when the article is carried into the
(B)ループ内で複数のバッファ9は直線状に配置されていなくてもよい。ただし、ループの幅を極端に大きくしないためには、複数のバッファ9は一列で配置されていることが好ましい。なお、バッファ9が直線状に配置されている場合は、ループの幅を最小限に設定できる。
(B) The plurality of
(C)図15に示す搬送車システムでは、軌道3は、前記実施形態の構造に加えて、第1〜第3ループ11,13,15の第4ループ17と反対側に、第5ループ77を有している。
(C) In the transport vehicle system shown in FIG. 15, the
第5ループ77は、第5ショートカット連結部79を設けることで、第12小ループ77a、第13小ループ77bを実現している。第12小ループ77aは、複数の連結部81によって、第1ループ11および第2ループ13に連結されている。第13小ループ77bは、連結部83によって、第3ループ15に連結されている。
第1〜第5ループ11,13,15,17、77のレールは、前記実施形態で説明したように床面32の凹部32a内に収納されている。この実施形態では、例えば通常時には、第5ループ77のレールの上に保護カバーをかけておく。保護カバーを配置することで床面32が平坦になるので、第1〜第4ループ11,13,15,17間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。また、作業者が第5ループ77を越えて移動する際にレールを破損するおそれがない。そして、例えば非常時には、保護カバーを外して搬送車5を第5ループ77上で走行させるようにできる。
The
The rails of the first to
この実施形態では、第5ループ77内には、バッファは設けられていない。ただし、必要に応じてバッファを配置してもよい。
In this embodiment, no buffer is provided in the
(D)図16〜図19を用いて、バッファにおける物品収容能力を高めた他の実施形態を説明する。図16は、本発明のさらに他の実施形態が採用された搬送車システムの部分断面図である。図17は、載置台の模式平面図である。図18は、載置台の部分側面図である。図19は、搬送車システムの部分断面図である。 (D) Another embodiment in which the article accommodation capacity in the buffer is increased will be described with reference to FIGS. FIG. 16 is a partial cross-sectional view of a transport vehicle system in which still another embodiment of the present invention is adopted. FIG. 17 is a schematic plan view of the mounting table. FIG. 18 is a partial side view of the mounting table. FIG. 19 is a partial cross-sectional view of the transport vehicle system.
図16および図17に示すように、バッファ91は、ローラコンベア93と、支持機構95とを有している。
ローラコンベア93は、前記実施形態と同様であるが、各ローラ93a間には所定の隙間が確保されている。ローラコンベア93は、ローラ93aを支持する支持部93b、支柱93c、および支持棒93dをさらに有している。支持部93bは、ローラ93aを直接支持する部分であり、ローラ93aが並べられた方向に延びている。支持部93bは、ローラ93aの他のローラ列に対向する側の端部を回転自在に支持している。支柱93cは、支持部93bを所定高さに維持している。支持棒93dは、支柱93cから斜めに延びてローラ93aの他のローラ列と反対側の端部を回転自在に支持している。つまり、ローラ93aの他のローラ列と反対側には支柱は設けられていない。
As shown in FIGS. 16 and 17, the
The
支持機構95は、ローラコンベア93上の物品をローラコンベア93より上方に移動させるための機構であり、支持部材97と、駆動機構99と有している。支持部材97は、一対のローラコンベア93を上下方向にそれぞれ通過して物品を支持可能な一対の部材であり、図17に示すように、基枠101と、基枠101から延びる複数の細い支持部103とを有している。各基枠101は、各ローラコンベア93の前後方向外側に配置され、ローラコンベア93の各ローラ93aが並んだ方向に延びている。図16および図17に示すように、複数の支持部103は、ローラコンベア93のローラ93a間に延びている。支持部103の上面は、平坦な面であり、ローラ93aの上面より下方に配置されている。駆動機構99は、支持部材97を駆動するための機構であり、支柱105と、昇降モータ(図示せず)と、チェーン(図示せず)とを有している。支柱105は、例えば四隅に設けられて上下方向に延びており、図18に示すように、支持部材97の基枠101の両端を上下動可能に支持する。昇降モータ(図示せず)は、チェーン(図示せず)を介して支持部材97を上下動させることができる。
The
この実施形態では、支柱105が高く延びているので、それに伴い、バッファ91のカバー67の天井部も高くなっており、さらに天井面34もバッファ91に対応する部分が高くなっている。
In this embodiment, since the
この搬送車システムでは、物品がローラコンベア93上に置かれた後に、昇降モータ(図示せず)がチェーン(図示せず)を巻き上げることで支持部材97を上昇させる。すると、複数の支持部103がローラコンベア93のローラ93a間を通って上方に移動する。これにより、図18に示すように、支持部材97の支持部103が物品Cを持ち上げ、それにより物品Cがローラコンベア93のローラ93aから離れる。最終的には、図19に示すように、物品Cはバッファ91内で最も高い位置で複数の支持部103によって支持される。この状態で、ローラコンベア93上には次の物品を搬入可能な空間が確保される。以上のようにして、バッファ91内に2個の物品が搬入可能である。つまり、バッファ91における物品収容能力が高くなっている。
なお、物品を持ち上げるための支持部材の形状は前記実施形態に限定されない。支持部材は例えば梯子形状であってもよい。
(E)本体35のローラコンベア39とバッファ9のローラコンベア63は、物品Cの移載時に同一高さであればよい。つまり、いずれか又は両方の面が高さを変更可能であり、搬送車5の走行中または停止中には両方の面の高さが異なっていてもよい。
In this transport vehicle system, after an article is placed on the
The shape of the support member for lifting the article is not limited to the above embodiment. The support member may be, for example, a ladder shape.
(E) The
本発明は、複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムに広く適用できる。 The present invention can be widely applied to a transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing apparatuses.
1 搬送車システム
2 処理装置
2a ステーション
3 軌道
4 検査装置
5 搬送車
7 自動倉庫
9 バッファ
9A 第1バッファ
9B 第2バッファ
11 第1ループ(第1のループ)
11a 第1小ループ
11b 第2小ループ
11c 第3小ループ(入口側ループ)
13 第2ループ(第2のループ)
13a 第4小ループ
13b 第5小ループ
13c 第6小ループ(出口側ループ)
15 第3ループ(第1のループ)
15a 第7小ループ
15b 第8小ループ
15c 第9小ループ
17 第4ループ(第2のループ)
17a 第10小ループ
17b 第11小ループ
19 第1ショートカット用連結部
21 第2ショートカット用連結部
23 第3ショートカット用連結部
25 第4ショートカット用連結部
27 連結部
28 連結部
29 連続処理装置
29a 第1処理装置
29b 第2処理装置
31 第1ステーション
32 床面
32a 凹部
33 第2ステーション
34 天井面
35 本体
37 走行部
39 ローラコンベア
39a ローラ
41 プッシュプル移載装置
43 ミニエンバイロメント機構
45 車輪
47 レール
51 アーム機構
53 フック部材
53a 第1部分
53b 第2部分
55 筐体
57 シャッタ
59 FFU
61 載置台
63 ローラコンベア
65 ミニエンバイロメント機構
67 カバー
67a 開口部
69 FFU
70 保護カバー
71 載置台
73 ローラコンベア
77 第5ループ(第3のループ)
77a 第12小ループ
77b 第13小ループ
79 第5ショートカット用連結部
81 連結部
83 連結部
120 制御系
121 製造コントローラ
123 物流コントローラ
125 自動倉庫コントローラ
127 搬送車コントローラ
129 搬送車内コントローラ
131 走行モータ
133 プッシュプル駆動機構
135 シャッタ駆動モータ
137 FFU駆動モータ
139 エンコーダ
DESCRIPTION OF
11a 1st small loop 11b 2nd
13 Second loop (second loop)
13a 4th small loop 13b 5th small loop 13c 6th small loop (exit side loop)
15 Third loop (first loop)
15a 7th
17a 10th
61
70
77a 12th
Claims (9)
前記複数の処理装置に隣接する複数のループを有する軌道と、
前記複数のループを一方通行で走行することで前記物品を搬送する搬送車と、
前記ループの内側において前記ループの両側部分に近接して配置され、前記ループの長手方向に一列に並んで配置された第1載置台および第2載置台を有しており、前記第1載置台および前記第2載置台は、前記ループの前記両側部分の片側に向かって開いた第1開口部および前記ループの前記両側部分の反対側に向かって開いた第2開口部をそれぞれ有する、載置台と、
を備えた搬送車システム。 A transport vehicle system for transporting articles between a plurality of processing devices,
A trajectory having a plurality of loops adjacent to the plurality of processing devices;
A transport vehicle that transports the article by traveling the loops in one way;
The first mounting table has a first mounting table and a second mounting table that are arranged in the loop inside and adjacent to both side portions of the loop and arranged in a line in the longitudinal direction of the loop. And the second mounting table has a first opening that opens toward one side of the both side portions of the loop and a second opening that opens toward the opposite side of the both side portions of the loop. When,
Car carrier system equipped with.
前記複数のループは、前記第1処理装置の入口および前記第2処理装置の出口にそれぞれ配置された入口側ループおよび出口側ループを含んでいる、請求項1〜5のいずれかに記載の搬送車システム。 The processing apparatus includes a first processing apparatus and a second processing apparatus that are arranged so that the article can be directly moved,
The transfer according to any one of claims 1 to 5, wherein the plurality of loops include an inlet-side loop and an outlet-side loop disposed at an inlet of the first processing apparatus and an outlet of the second processing apparatus, respectively. Car system.
前記複数の第1のループの第2端部側には、ループは設けられていない、請求項1に記載の搬送車システム。 The plurality of loops includes a plurality of first loops arranged in parallel, and a second loop arranged to connect between the first ends of the plurality of first loops,
The carrier system according to claim 1, wherein no loop is provided on a second end side of the plurality of first loops.
前記3のループを構成する軌道は、床面より下方に配置されている、請求項1に記載の搬送車システム。 The plurality of loops include a plurality of first loops arranged in parallel, a second loop disposed so as to connect between first ends of the plurality of first loops, and the plurality of first loops. A third loop arranged to connect between the second ends of the loops of
The transport vehicle system according to claim 1, wherein the track constituting the three loops is disposed below the floor surface.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038082A JP4973747B2 (en) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | Transport vehicle system |
CN201010547578.0A CN102161417B (en) | 2010-02-24 | 2010-11-12 | Transporting vehicle system |
KR1020100112589A KR101414530B1 (en) | 2010-02-24 | 2010-11-12 | Transporting vehicle system |
TW100102077A TWI466809B (en) | 2010-02-24 | 2011-01-20 | Transport system |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010038082A JP4973747B2 (en) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | Transport vehicle system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011173673A JP2011173673A (en) | 2011-09-08 |
JP4973747B2 true JP4973747B2 (en) | 2012-07-11 |
Family
ID=44462933
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010038082A Expired - Fee Related JP4973747B2 (en) | 2010-02-24 | 2010-02-24 | Transport vehicle system |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4973747B2 (en) |
KR (1) | KR101414530B1 (en) |
CN (1) | CN102161417B (en) |
TW (1) | TWI466809B (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5648865B2 (en) * | 2012-06-18 | 2015-01-07 | 株式会社ダイフク | Ceiling transport vehicle and goods transport facility |
EP2786948B1 (en) * | 2013-04-04 | 2017-03-15 | Knapp AG | Warehouse with a transport system provided with a magnetically driven shuttles |
AT516404B1 (en) * | 2015-03-04 | 2016-05-15 | Knapp Ag | Shelf warehouse with a roundabout on a closed guideway |
WO2018139098A1 (en) * | 2017-01-27 | 2018-08-02 | 村田機械株式会社 | Article transferring device |
JP6965646B2 (en) * | 2017-09-06 | 2021-11-10 | 株式会社ダイフク | Transport vehicle and transport equipment |
JP6874698B2 (en) * | 2018-01-10 | 2021-05-19 | 株式会社ダイフク | Goods storage equipment |
JP6644819B2 (en) * | 2018-02-09 | 2020-02-12 | 本田技研工業株式会社 | Transfer work equipment |
CN111383977A (en) * | 2019-05-30 | 2020-07-07 | 乐清市芮易经济信息咨询有限公司 | Automatic change semiconductor wafer cleaning equipment of multiple operation |
CN111736540B (en) * | 2020-03-20 | 2021-10-15 | 北京京东乾石科技有限公司 | Goods sorting control method and device, electronic equipment and storage medium |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1159829A (en) | 1997-08-08 | 1999-03-02 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor wafer cassette conveyer, stocker used in semiconductor wafer cassette conveyer, and stocker in/out stock work control method/device used in semiconductor wafer cassette conveyer |
CN1224237A (en) * | 1998-01-23 | 1999-07-28 | 日本电气株式会社 | Work transfer method and system |
JP2000355403A (en) * | 1999-06-17 | 2000-12-26 | Murata Mach Ltd | Transfer system |
TWI256372B (en) | 2001-12-27 | 2006-06-11 | Tokyo Electron Ltd | Carrier system of polishing processing body and conveying method of polishing processing body |
JP3991852B2 (en) * | 2002-12-09 | 2007-10-17 | 村田機械株式会社 | Ceiling carrier system |
US6990721B2 (en) * | 2003-03-21 | 2006-01-31 | Brooks Automation, Inc. | Growth model automated material handling system |
JP2006290491A (en) * | 2005-04-07 | 2006-10-26 | Murata Mach Ltd | Carrying vehicle system |
JP2007191235A (en) * | 2006-01-17 | 2007-08-02 | Murata Mach Ltd | Overhead traveling vehicle system |
JP4389225B2 (en) * | 2006-01-30 | 2009-12-24 | 村田機械株式会社 | Transport system |
JP5266683B2 (en) * | 2007-08-03 | 2013-08-21 | 村田機械株式会社 | Transport system and teaching method in the transport system |
JP2009076578A (en) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Nikon Corp | Workpiece processing system, workpiece processing method, exposure apparatus, exposure method, coater/developer, coating/developing method and device manufacturing method |
CN101234677B (en) * | 2008-02-19 | 2010-07-28 | 姜广峻 | Goods sorting and split charging equipment, and method thereof |
-
2010
- 2010-02-24 JP JP2010038082A patent/JP4973747B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-11-12 KR KR1020100112589A patent/KR101414530B1/en not_active IP Right Cessation
- 2010-11-12 CN CN201010547578.0A patent/CN102161417B/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-01-20 TW TW100102077A patent/TWI466809B/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20110097599A (en) | 2011-08-31 |
CN102161417B (en) | 2015-04-01 |
JP2011173673A (en) | 2011-09-08 |
CN102161417A (en) | 2011-08-24 |
TWI466809B (en) | 2015-01-01 |
TW201139252A (en) | 2011-11-16 |
KR101414530B1 (en) | 2014-07-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4973747B2 (en) | Transport vehicle system | |
KR102041391B1 (en) | Temporary storage system | |
TWI729078B (en) | Handling system | |
TWI468328B (en) | Automatic warehouse | |
JP4967318B2 (en) | Stocker | |
US8977387B2 (en) | System and method for overhead cross-system transportation | |
US9548230B2 (en) | Temporary storage device, transport system, and temporary storage method | |
US8757955B2 (en) | Storage, transporting system and storage set | |
TWI465359B (en) | Transport system | |
CN108290687B (en) | Storage device and transport system | |
TW201904854A (en) | Handling system and handling method | |
JP2008019017A (en) | Article storage device | |
JP4127138B2 (en) | Transport system | |
JP5028871B2 (en) | Maintenance station | |
TW202233466A (en) | Overhead storage system | |
JP2000124284A (en) | Transfer apparatus | |
KR20090009529A (en) | Article containing apparatus | |
JP5181809B2 (en) | Processing system and transfer method | |
JP2009012965A (en) | Stocker device | |
JP2004352376A (en) | Carrier system |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120313 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120326 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120420 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
A072 | Dismissal of procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A072 Effective date: 20121015 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |