JP4968253B2 - Droplet discharge head and droplet discharge apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the droplet discharge head including a piezoelectric actuator having a structure which prevents deformation at the piezoelectric deformation parts of adjoining discharge energy imparting parts from interfering with each other even if the energy imparting parts are arranged densely, and to provide a wiring structure suitable for such a droplet discharge head. <P>SOLUTION: On the flexible wiring board 30 of the droplet discharge head 1, the second electric potential feeding line 74 and the second power supply wiring 33 which impart a potential to a drive IC 50 have a common wiring part at least partially, the first electric potential feeding line 28 and the first power supply wiring 31 are arranged on the opposite sides of the common wiring part with a space from each other, and a connection line is provided to connect the first electric potential feeding line 28 and the first power supply wiring 31 while jumping over the common wiring part. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&amp;INPIT

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド、及びこれを備えた液滴吐出装置に関するものである。   The present invention relates to a droplet discharge head and a droplet discharge apparatus including the same.

一般的なインクジェット記録装置は、往復走査するキャリッジと、このキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドとを備えている。液滴吐出ヘッドは、液滴を吐出する複数のノズルと共通液体室からノズルに至る複数の個別液体流路が形成された流路ユニットと、個別液体流路内の液体に吐出エネルギーを付与する吐出エネルギー付与部と、駆動信号を生成する駆動IC及び吐出エネルギー付与部に駆動信号を供給する信号回路や電源配線が設けられた配線ユニットとを備えている。このような吐出エネルギー付与部としては、例えば、個別液体流路に備えた圧力室の容積を変化させることにより圧力室内の液体に吐出エネルギーとしての圧力を付加する圧電アクチュエータが知られている。   A general ink jet recording apparatus includes a carriage that reciprocates and a droplet discharge head mounted on the carriage. The droplet discharge head applies discharge energy to the liquid in the individual liquid channel and the channel unit in which a plurality of nozzles for discharging droplets, a plurality of individual liquid channels from the common liquid chamber to the nozzles are formed, and A discharge energy application unit, a drive IC that generates a drive signal, and a wiring unit provided with a signal circuit and a power supply wiring that supply the drive signal to the discharge energy application unit. As such a discharge energy applying unit, for example, a piezoelectric actuator is known that applies pressure as discharge energy to the liquid in the pressure chamber by changing the volume of the pressure chamber provided in the individual liquid flow path.

圧電アクチュエータは、例えば、特許文献1に示されるように、各圧力室に対向する位置に設けられた個別電極と、複数の圧力室に跨る共通電極と、複数の個別電極と共通電極とによって挟まれた圧電シートを備えている。そして、個別電極及び共通電極に挟まれた圧電シートの部分は分極されることにより活性化されており、この活性化された圧電シートと、これを挟む個別電極及び共通電極が、圧力室に液滴の吐出圧を付与する吐出エネルギー付与部となっている。このように構成された圧電アクチュエータは、各吐出エネルギー付与部と各圧力室とが対応するように流路ユニットに接合されている。   For example, as shown in Patent Document 1, a piezoelectric actuator is sandwiched between individual electrodes provided at positions facing each pressure chamber, a common electrode straddling a plurality of pressure chambers, and a plurality of individual electrodes and a common electrode. Provided with a piezoelectric sheet. The portion of the piezoelectric sheet sandwiched between the individual electrode and the common electrode is activated by being polarized, and the activated piezoelectric sheet and the individual electrode and the common electrode sandwiching the piezoelectric sheet are liquidated in the pressure chamber. It is a discharge energy applying unit that applies a droplet discharge pressure. The piezoelectric actuator configured as described above is joined to the flow path unit so that each discharge energy applying unit and each pressure chamber correspond to each other.

また、前記配線ユニットは、駆動信号を生成する駆動ICと、圧電アクチュエータの個別電極に駆動信号を付与するための信号配線や、共通電極に電位を付与する電源配線などが設けられたフレキシブル配線基板を備えている。このフレキシブル配線基板は、圧電アクチュエータの上面に固定されている。   In addition, the wiring unit includes a flexible wiring board provided with a driving IC for generating a driving signal, a signal wiring for applying a driving signal to the individual electrodes of the piezoelectric actuator, a power supply wiring for applying a potential to the common electrode, and the like. It has. This flexible wiring board is fixed to the upper surface of the piezoelectric actuator.

上記のような液滴吐出ヘッドの製造時に行われる圧電アクチュエータの分極に関して、特許文献1には、駆動ICから個別電極に正の電位(30V)を付与するとともに、負電源から共通電極に負の電位(−40V)を付与することで、これらの電極に挟まれた圧電変形部に高電圧(70V)を印加して圧電変形部を分極する方法が記載されている。この分極方法によれば、駆動ICに掛かる負荷が小さくなり、駆動ICの保護を図ることができる。
特開2002−160372号公報
Regarding the polarization of the piezoelectric actuator performed at the time of manufacturing the droplet discharge head as described above, Patent Document 1 discloses that a positive potential (30 V) is applied from the drive IC to the individual electrode, and a negative power source is applied to the common electrode. A method is described in which a high voltage (70 V) is applied to a piezoelectric deformation portion sandwiched between these electrodes by applying a potential (−40 V) to polarize the piezoelectric deformation portion. According to this polarization method, the load applied to the drive IC is reduced, and the drive IC can be protected.
JP 2002-160372 A

インクジェット記録装置に対して、印字の高解像度化及び高速化の要望がある。印字の高解像度化及び高速化は、液滴吐出ヘッドの流路ユニットが備えるノズル数を増大することにより実現可能である。しかし、液滴吐出ヘッドの大きさを維持しながらノズル数を増やすと、流路ユニットにノズルが高密度で配置されるため、各ノズルに対応する吐出エネルギー付与部も圧電アクチュエータに高密度で配置されることとなる。このように、吐出エネルギー付与部が密に配置された圧電アクチュエータを備える液滴吐出ヘッドでは、隣接する吐出エネルギー付与部の圧電変形部(圧電シート)の変形が相互に干渉しないようにするための構造が必要となっている。   There is a demand for high resolution and high speed printing of ink jet recording apparatuses. High resolution and high speed printing can be realized by increasing the number of nozzles provided in the flow path unit of the droplet discharge head. However, if the number of nozzles is increased while maintaining the size of the droplet discharge head, the nozzles are arranged at a high density in the flow path unit, so that the discharge energy applying portions corresponding to each nozzle are also arranged at a high density in the piezoelectric actuator. Will be. As described above, in the droplet discharge head including the piezoelectric actuator in which the discharge energy applying portions are densely arranged, the deformation of the piezoelectric deformation portion (piezoelectric sheet) of the adjacent discharge energy applying portion is prevented from interfering with each other. A structure is needed.

そこで、本発明では、吐出エネルギー付与部を密に配置しても、隣接する吐出エネルギー付与部の圧電変形部の変形が相互に干渉しないようにするための構造を備えた圧電アクチュエータを具備する液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。併せて、このような液滴吐出ヘッドに好適な配線構造を提案する。   Therefore, in the present invention, even when the discharge energy applying portions are arranged densely, the liquid including the piezoelectric actuator having a structure for preventing the deformation of the piezoelectric deformation portions of the adjacent discharge energy applying portions from interfering with each other. An object is to provide a droplet discharge head. In addition, a wiring structure suitable for such a droplet discharge head is proposed.

本発明の液滴吐出ヘッドは、共通液体室から圧力室を介してノズルに至る複数の個別液体流路を有する流路ユニットと、前記流路ユニットに積層固定されて前記個別液体流路の各々に対して個別に液体の吐出圧を与える圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに接合されて少なくとも第一電位と第二電位とをとりえる駆動信号を前記圧電アクチュエータに付与する駆動ICを設けた配線基板とを、備えた液滴吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室に対応して設けられた複数の個別電極と、前記複数の個別電極に対応して設けられて前記複数の個別電極の前記流路ユニット側に第一圧電層を介して積層された前記個別電極より一回り小さい複数の上部定電位電極と、前記複数の個別電極に対応して設けられて前記上部定電位電極に第二圧電層を介して積層された複数の下部定電位電極と、前記複数の下部定電位電極の全てに接続された第一接続電極と、前記複数の上部定電位電極の全てに接続された第二接続電極とを、備え、前記配線基板は、前記複数の個別電極に対応して設けられた複数の個別電極接続ランドと、前記第一接続電極に対応して設けられた第一接続ランドと、前記第二接続電極に対応して設けられた第二接続ランドと、前記駆動ICに記録信号を入力するための記録信号入力線と、前記駆動ICから記録信号に対応して生成された前記駆動信号を前記複数の個別接続端子に出力するための複数の駆動信号出力線と、前記駆動ICに第一電位及び第二電位を供給する第一電位供給線及び第二電位供給線と、前記第一接続ランドに接続されて前記複数の下部定電位電極に対して第一電位を付与する第一電源配線と、前記第二接続ランドに接続されて前記複数の上部定電位電極に対して第二電位を付与する第二電源配線とを、備え、前記配線基板上において、前記第二電位供給線と前記第二電源配線とは少なくとも一部に共通配線部分を有し、前記第一電位供給線と前記第一電源配線とは前記共通配線部分を間に挟んで互いに離間して配置されるとともに、前記第一電位供給線と前記第一電源配線とを接続する接続線が設けられているものである。   The droplet discharge head of the present invention includes a flow path unit having a plurality of individual liquid flow paths extending from a common liquid chamber to a nozzle via a pressure chamber, and each of the individual liquid flow paths stacked and fixed to the flow path unit. A wiring board provided with a piezoelectric actuator that individually applies a liquid discharge pressure to the piezoelectric actuator, and a driving IC that is bonded to the piezoelectric actuator and applies a driving signal that takes at least a first potential and a second potential to the piezoelectric actuator The piezoelectric actuator includes a plurality of individual electrodes provided corresponding to the plurality of pressure chambers, and a plurality of the plurality of individual electrodes provided corresponding to the plurality of individual electrodes. A plurality of upper constant potential electrodes that are slightly smaller than the individual electrodes stacked on the flow path unit side of the individual electrodes via a first piezoelectric layer, and provided corresponding to the plurality of individual electrodes. A plurality of lower constant potential electrodes stacked on the upper constant potential electrode via a second piezoelectric layer, a first connection electrode connected to all of the plurality of lower constant potential electrodes, and the plurality of upper constant potentials A second connection electrode connected to all of the electrodes, the wiring board corresponding to the plurality of individual electrode connection lands provided corresponding to the plurality of individual electrodes, and corresponding to the first connection electrode A first connection land provided; a second connection land provided corresponding to the second connection electrode; a recording signal input line for inputting a recording signal to the driving IC; and a recording signal from the driving IC. A plurality of drive signal output lines for outputting the drive signals generated corresponding to the plurality of individual connection terminals, a first potential supply line for supplying a first potential and a second potential to the drive IC, and To the second potential supply line and the first connection land A first power supply wiring that is applied to apply a first potential to the plurality of lower constant potential electrodes, and a second potential applied to the plurality of upper constant potential electrodes connected to the second connection land. A second power supply line, and the second potential supply line and the second power supply line at least partially have a common wiring part on the wiring board, the first potential supply line and the first power supply line. The power supply wiring is arranged so as to be separated from each other with the common wiring portion interposed therebetween, and a connection line for connecting the first potential supply line and the first power supply wiring is provided.

上記構成の液滴吐出ヘッドでは、圧電アクチュエータにおいて圧電変形部を密に配置しても、隣接する圧電変形部の間の変形を相殺するように圧電変形部が変形するので、隣接する圧電変形部の変形が相互に干渉しない。また、第二電位供給線と第二電源配線とは少なくとも一部に共通配線部分を有するので、これらの配線と接続される端子数やコネクタ数が少なくなり、コストダウンに寄与することができる。さらに、配線基板での配線面積を低減することができるため、配線基板の大きさを縮小することができ、コストダウン及び小型化に寄与することができる。   In the droplet discharge head having the above configuration, even if the piezoelectric deformation portions are densely arranged in the piezoelectric actuator, the piezoelectric deformation portions are deformed so as to cancel the deformation between the adjacent piezoelectric deformation portions. The deformations do not interfere with each other. Further, since the second potential supply line and the second power supply wiring have a common wiring portion at least in part, the number of terminals and connectors connected to these wirings can be reduced, which can contribute to cost reduction. Furthermore, since the wiring area on the wiring board can be reduced, the size of the wiring board can be reduced, which can contribute to cost reduction and downsizing.

前記第一電源配線は、前記配線基板の端縁に沿って配置され、前記第二電源配線及び第二電位供給線の共通配線部分は、前記第一電源配線と平行してその内側に配置されていることがよい。   The first power supply wiring is disposed along an edge of the wiring board, and the common wiring portion of the second power supply wiring and the second potential supply line is disposed in parallel to the first power supply wiring. It is good to have.

さらに、前記第一電位供給線は、前記第二電位供給線と平行してその内側に配置されていることがよい。   Further, it is preferable that the first potential supply line is disposed in parallel with the second potential supply line.

また、前記圧電アクチュエータにおいて、前記複数の個別電極は前記配線基板と接合される面の略中央部に配置され、前記第一接続電極は前記配線基板と接合される面の第一方向に延びる対向する二辺の縁に沿って配置され、前記第二接続電極は前記第一接続電極が設けられた前記第一方向に延びる対向する二辺の縁において前記第一接続電極を前記第一方向の両側から挟むように配置され、前記配線基板において、前記第一接続ランドと前記第二接続ランドとは、前記圧電アクチュエータが積層される接続範囲において前記第一接続電極と前記第二接続電極と対応するように前記第一方向に並んで配置されるとともに、前記第一接続ランドは第一電源配線よりも内側に配置されていることが望ましい。 Further, in the piezoelectric actuator, the plurality of individual electrodes are arranged at a substantially central portion of a surface to be bonded to the wiring board, and the first connection electrode is opposed to the first direction of the surface to be bonded to the wiring board. are arranged along the two sides of the edge of the second connection electrode of the first connection electrode is the at the edge of two sides facing extending in the first direction provided first connection electrode said first direction In the wiring board, the first connection land and the second connection land correspond to the first connection electrode and the second connection electrode in a connection range where the piezoelectric actuators are stacked. As described above, it is desirable that the first connection lands are arranged in the first direction, and the first connection land is arranged inside the first power supply wiring.

また、本発明の液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドに有色液体を供給する液体供給源と、前記液滴吐出ヘッドを保持するキャリッジと、前記キャリッジを往復走査可能に支持する本体フレームとを、備えるものである。   The droplet discharge device of the present invention includes a droplet discharge head, a liquid supply source that supplies a colored liquid to the droplet discharge head, a carriage that holds the droplet discharge head, and a reciprocating scan of the carriage. And a main body frame that supports the body.

本発明は、以下に示すような効果を奏する。   The present invention has the following effects.

本発明によれば、液滴吐出ヘッドが備える圧電アクチュエータにおいて、圧電変形部を密に配置しても隣接する圧電変形部の変形を相互不干渉とすることができる。さらに、駆動ICに駆動電位を付与する第二電位供給線と上部定電位電極に電位を付与する第二電源配線とが少なくとも一部に共通配線部分を有することで、液滴吐出ヘッドのコストダウン及び小型化に寄与することができる。   According to the present invention, in the piezoelectric actuator provided in the droplet discharge head, even when the piezoelectric deformation portions are densely arranged, the deformation of the adjacent piezoelectric deformation portions can be made non-interfering. In addition, the second potential supply line for applying a driving potential to the driving IC and the second power supply wiring for applying a potential to the upper constant potential electrode at least partially have a common wiring portion, thereby reducing the cost of the droplet discharge head. And it can contribute to size reduction.

以下、本発明の好ましい実施の形態を図面を参照しながら説明する。なお、以下では全ての図を通じて同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複説明を省略する。また、以下において、液滴を吐出する側を下面および下方向とし、その反対側を上面および上方向とする。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the same or corresponding elements are denoted by the same reference symbols throughout the drawings, and redundant description thereof is omitted. In the following description, the side from which droplets are ejected is referred to as a lower surface and a downward direction, and the opposite side is referred to as an upper surface and an upward direction.

[実施の形態1]
まず、本発明の実施の形態1に係る液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であるインクジェット記録装置100の構成の概要を、図1を用いて説明する。図1は本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の平面図である。
[Embodiment 1]
First, an outline of the configuration of an inkjet recording apparatus 100 that is a droplet discharge apparatus including the droplet discharge head according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a plan view of an ink jet recording apparatus provided with a droplet discharge head according to an embodiment of the present invention.

インクジェット記録装置100は、例えば、単独のプリンタ装置としてだけでなく、コピー機能、スキャナ機能、ファクシミリ機能等を備えた多機能装置(MFD:Multi Function Device)のプリンタ機能としても適用することができるものである。図1に示すように、インクジェット記録装置100は、本体フレーム2の内部に、主走査方向(以下、「Y方向」という。)に沿って往復走査するキャリッジ3と、このキャリッジ3に搭載された液滴吐出ヘッド1を備えている。   The ink jet recording apparatus 100 can be applied not only as a single printer apparatus but also as a printer function of a multi-function device (MFD) having a copy function, a scanner function, a facsimile function, and the like. It is. As shown in FIG. 1, an ink jet recording apparatus 100 is mounted inside a main body frame 2, and a carriage 3 that reciprocates along a main scanning direction (hereinafter referred to as “Y direction”), and the carriage 3. A droplet discharge head 1 is provided.

キャリッジ3は、本体フレーム2内にY方向に沿って平行状に設けられた後ガイド軸6と前ガイド軸7とに摺動自在に支持されるとともに、キャリッジ駆動モータ17と無端帯であるタイミングベルト18とにより、Y方向へ往復移動するように構成されている。キャリッジ3には、本体フレーム2内に設けられた4色の有色液体(例えば、ブラック、イエロー、マゼンタ、及びシアンのインク)の各液体供給源5a〜5dから液体供給管14a〜14dを介して供給された有色液体が貯留され、ここから、液滴吐出ヘッド1に有色液体が色毎に独立して供給される。   The carriage 3 is slidably supported by a rear guide shaft 6 and a front guide shaft 7 that are provided in parallel in the Y direction in the main body frame 2, and is a timing that is an endless belt with the carriage drive motor 17. The belt 18 is configured to reciprocate in the Y direction. In the carriage 3, four color liquids (for example, black, yellow, magenta, and cyan ink) provided in the main body frame 2 are supplied from liquid supply sources 5 a to 5 d through liquid supply pipes 14 a to 14 d. The supplied colored liquid is stored, and from here, the colored liquid is independently supplied to the droplet discharge head 1 for each color.

そして、被記録媒体である記録用紙Paが、図示しない公知の記録用紙搬送機構により、Y方向と直交する方向(以下、「X方向」という。)に沿って、液滴吐出ヘッド1の下面側を水平状に搬送され、この記録用紙Paに対して、Y方向に移動する液滴吐出ヘッド1のノズルから下向きに有色液体(インク)の液滴が吐出されて、記録用紙Paに印字される。   Then, the recording paper Pa, which is a recording medium, is placed on the lower surface side of the droplet discharge head 1 along a direction perpendicular to the Y direction (hereinafter referred to as “X direction”) by a known recording paper transport mechanism (not shown). The droplets of colored liquid (ink) are ejected downward from the nozzles of the droplet ejection head 1 moving in the Y direction on the recording paper Pa and printed on the recording paper Pa. .

〔液滴吐出ヘッド1〕
次に、液滴吐出ヘッド1の構成について、図2〜7を用いて説明する。図2は実施の形態1に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図、図3はヘッド本体のX方向の一部断面図、図4はヘッド本体のY方向の一部断面図、図5は実施の形態1に係る圧電アクチュエータの平面図、図6は実施の形態1に係る配線ユニットの底面図、図7は配線ユニットの断面図である。
[Droplet discharge head 1]
Next, the configuration of the droplet discharge head 1 will be described with reference to FIGS. 2 is an exploded perspective view showing the configuration of the droplet discharge head according to Embodiment 1, FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the head body in the X direction, and FIG. 4 is a partial cross-sectional view of the head body in the Y direction. 5 is a plan view of the piezoelectric actuator according to the first embodiment, FIG. 6 is a bottom view of the wiring unit according to the first embodiment, and FIG. 7 is a cross-sectional view of the wiring unit.

図2〜4に示すように、液滴吐出ヘッド1は、共通液体室であるマニホールド81から圧力室83を介してノズル85に至る複数の個別液体流路が形成されている流路ユニット11と、複数のノズル85のうち所定のノズル85から選択的に液滴を吐出するように個別液体流路の各々に対応して設けられた複数の吐出エネルギー付与部40を有する圧電アクチュエータ12と、この圧電アクチュエータ12の吐出エネルギー付与部40に駆動信号を供給する信号回路や電源配線が設けられた配線ユニット13とを、下方から順に積層して備えている。この液滴吐出ヘッド1では、積層固定された流路ユニット11と圧電アクチュエータ12とで、ヘッド本体15が構成されている。   As shown in FIGS. 2 to 4, the droplet discharge head 1 includes a flow path unit 11 in which a plurality of individual liquid flow paths are formed from a manifold 81 that is a common liquid chamber to a nozzle 85 via a pressure chamber 83. A piezoelectric actuator 12 having a plurality of ejection energy applying portions 40 provided corresponding to each of the individual liquid channels so as to selectively eject droplets from a predetermined nozzle 85 among the plurality of nozzles 85, and A signal circuit for supplying a drive signal to the ejection energy application unit 40 of the piezoelectric actuator 12 and a wiring unit 13 provided with power supply wiring are sequentially stacked from below. In this droplet discharge head 1, a head main body 15 is composed of a flow path unit 11 and a piezoelectric actuator 12 which are stacked and fixed.

〔流路ユニット11〕
まず、流路ユニット11について説明する。流路ユニット11は、複数のプレート部材の積層体であって、その下面には複数のノズル85が開口している。複数のノズル85は、X方向に延びる一又は複数の列を成している。1つのノズル列に並ぶ複数のノズル85は、互いに所定間隔をおいて配置されて同色の液滴が吐出される。このノズル列は、Y方向に適宜間隔で配置されて、ノズル85から吐出される液体の色ごとに6列ずつ設けられている。
[Flow path unit 11]
First, the flow path unit 11 will be described. The flow path unit 11 is a laminated body of a plurality of plate members, and a plurality of nozzles 85 are opened on the lower surface thereof. The plurality of nozzles 85 form one or more rows extending in the X direction. The plurality of nozzles 85 arranged in one nozzle row are arranged at a predetermined interval from each other and eject droplets of the same color. The nozzle rows are arranged at appropriate intervals in the Y direction, and six rows are provided for each color of liquid ejected from the nozzle 85.

流路ユニット11の内部には、有色液体を色別に貯留する共通液体室であるマニホールド81と、マニホールド81と各ノズル85とを連通する個別液体流路とが形成されている。個別液体流路は、各ノズル85に対応して設けられて液体を一時的に貯留する圧力室83、マニホールド81と圧力室83とを連通する絞り部82、及びノズル85と圧力室83とを連通するディセンダ孔84などの各空間で構成されている。   Inside the flow path unit 11 are formed a manifold 81 that is a common liquid chamber for storing colored liquids by color, and individual liquid flow paths that connect the manifold 81 and the nozzles 85. The individual liquid flow path is provided corresponding to each nozzle 85 and includes a pressure chamber 83 that temporarily stores liquid, a throttle portion 82 that communicates the manifold 81 and the pressure chamber 83, and the nozzle 85 and the pressure chamber 83. Each space includes a descender hole 84 and the like that communicate with each other.

流路ユニット11の上面には液体供給源5a〜5d(図1)に接続されている液体供給口14が液体の色別に設けられている。液タンクから各液体供給口19に供給された有色液体は、流路ユニット11内のマニホールド81に流入し、絞り部82を介して圧力室83に至る。圧力室83内の液体は、該圧力室83内が吐出圧を受けることによってディセンダ孔84を通じてノズル85から吐出される。   On the upper surface of the flow path unit 11, liquid supply ports 14 connected to the liquid supply sources 5a to 5d (FIG. 1) are provided for each liquid color. The colored liquid supplied from the liquid tank to each liquid supply port 19 flows into the manifold 81 in the flow path unit 11 and reaches the pressure chamber 83 via the throttle portion 82. The liquid in the pressure chamber 83 is discharged from the nozzle 85 through the descender hole 84 when the pressure chamber 83 receives the discharge pressure.

〔圧電アクチュエータ12〕
次に、圧電アクチュエータ12について説明する。図2〜図5に示すように、圧電アクチュエータ12は、基板となるボトム層24上に、上部圧電層21と下部圧電層22との上下二層の圧電層23を積層して備えている。圧電層23は、例えばPZT等の圧電材料で構成された圧電シートで形成されている。以下、圧電層23の積層方向を「Z方向」という。
[Piezoelectric actuator 12]
Next, the piezoelectric actuator 12 will be described. As shown in FIGS. 2 to 5, the piezoelectric actuator 12 includes two upper and lower piezoelectric layers 23, an upper piezoelectric layer 21 and a lower piezoelectric layer 22, stacked on a bottom layer 24 serving as a substrate. The piezoelectric layer 23 is formed of a piezoelectric sheet made of a piezoelectric material such as PZT. Hereinafter, the stacking direction of the piezoelectric layers 23 is referred to as “Z direction”.

上部圧電層21の上部側には、各圧力室83に1対1で対応する複数の個別電極42が設けられている。上部圧電層21と下部圧電層22との間には、各個別電極42(圧力室83)に1対1で対応する複数の上部定電位電極46が設けられている。下部圧電層22とボトム層24との間には、X方向に並ぶ複数の圧力室83に跨る複数の下部定電位電極47が形成されている。この個別電極42と下部定電位電極47との間に挟まれた圧電層23の部分が吐出エネルギー付与部40の圧電変形部であって、この吐出エネルギー付与部40の圧電変形部が変形することによって圧力室83の液体に吐出圧を付与することができる。   On the upper side of the upper piezoelectric layer 21, a plurality of individual electrodes 42 corresponding to the respective pressure chambers 83 are provided. Between the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22, a plurality of upper constant potential electrodes 46 corresponding to each individual electrode 42 (pressure chamber 83) are provided. A plurality of lower constant potential electrodes 47 straddling a plurality of pressure chambers 83 arranged in the X direction are formed between the lower piezoelectric layer 22 and the bottom layer 24. The portion of the piezoelectric layer 23 sandwiched between the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47 is a piezoelectric deformation portion of the discharge energy applying portion 40, and the piezoelectric deformation portion of the discharge energy applying portion 40 is deformed. Thus, the discharge pressure can be applied to the liquid in the pressure chamber 83.

複数の個別電極42は、圧力室83と対向するように上部圧電層21の上にX方向に略一定間隔で並設され、この個別電極42の列はY方向には千鳥状にずれて配置されている。個別電極42の一部分はY方向に突出して、この突出部は配線ユニット13が備える個別電極接続ランド60に接続される接続端子41となっている。   The plurality of individual electrodes 42 are juxtaposed on the upper piezoelectric layer 21 at substantially constant intervals on the upper piezoelectric layer 21 so as to face the pressure chamber 83, and the rows of the individual electrodes 42 are shifted in a staggered manner in the Y direction. Has been. A part of the individual electrode 42 projects in the Y direction, and this projecting portion serves as a connection terminal 41 connected to the individual electrode connection land 60 provided in the wiring unit 13.

複数の上部定電位電極46は、下部圧電層22の上であって、個別電極42とZ方向に対応する位置に設けられている。圧電アクチュエータ12に具備される全ての上部定電位電極46は電気的に接続されていて、全ての上部定電位電極46に対して共通の電位が付与される。   The plurality of upper constant potential electrodes 46 are provided on the lower piezoelectric layer 22 at positions corresponding to the individual electrodes 42 in the Z direction. All the upper constant potential electrodes 46 included in the piezoelectric actuator 12 are electrically connected, and a common potential is applied to all the upper constant potential electrodes 46.

下部定電位電極47は、X方向に並ぶ複数の圧力室83に跨る帯状に形成され、この複数の帯状の電極がY方向に並んでいる。圧電アクチュエータ12に具備される全ての下部定電位電極47は電気的に接続されていて、全ての下部定電位電極47に対して共通の電位が付与される。   The lower constant potential electrode 47 is formed in a strip shape extending over a plurality of pressure chambers 83 arranged in the X direction, and the plurality of strip electrodes are arranged in the Y direction. All the lower constant potential electrodes 47 provided in the piezoelectric actuator 12 are electrically connected, and a common potential is applied to all the lower constant potential electrodes 47.

これらの電極42,46,47において、上部定電位電極46のX方向の長さは、個別電極42のX方向の長さよりも短い。従って、個別電極42のX方向の略中央部では、個別電極42、上部定電位電極46、及び下部定電位電極47がZ方向に重複している。このように圧電アクチュエータ12において三層の電極42,46,47がZ方向に重複している部分の個別電極42と上部定電位電極46に挟まれた上部圧電層21の部分を、以下、「第一活性部36」という。また、三層の電極42,46,47がZ方向に重複している部分の上部定電位電極46と下部定電位電極47に挟まれた上部圧電層21の部分を、以下、「第三活性部38」という。   In these electrodes 42, 46 and 47, the length of the upper constant potential electrode 46 in the X direction is shorter than the length of the individual electrode 42 in the X direction. Therefore, the individual electrode 42, the upper constant potential electrode 46, and the lower constant potential electrode 47 overlap in the Z direction at a substantially central portion in the X direction of the individual electrode 42. In this way, the portion of the upper piezoelectric layer 21 sandwiched between the individual electrode 42 and the upper constant potential electrode 46 where the three layers of electrodes 42, 46, 47 overlap in the Z direction in the piezoelectric actuator 12 is hereinafter referred to as “ It is referred to as “first active part 36”. The portion of the upper piezoelectric layer 21 sandwiched between the upper constant potential electrode 46 and the lower constant potential electrode 47 where the three layers of electrodes 42, 46, 47 overlap in the Z direction is hereinafter referred to as “third active potential”. Part 38 ".

一方、個別電極42のX方向の両端部では、個別電極42と下部定電位電極47とがZ方向に重複しており、これらの電極の間に上部定電位電極46が存在しない。このように圧電アクチュエータ12においてZ方向に重複している個別電極42及び下部定電位電極47に挟まれた圧電層23の部分を、以下、「第二活性部37,37」という。これらの活性部36,37,38はコンデンサとしての機能を有し、これらの活性部36,37,38のうち、第一活性部36と第二活性部37とは液滴吐出時に掛かる電圧の方向と同じ方向に分極されて活性化されている。   On the other hand, at both ends of the individual electrode 42 in the X direction, the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47 overlap in the Z direction, and the upper constant potential electrode 46 does not exist between these electrodes. The portion of the piezoelectric layer 23 sandwiched between the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47 overlapping in the Z direction in the piezoelectric actuator 12 is hereinafter referred to as “second active portions 37, 37”. These active portions 36, 37, and 38 have a function as a capacitor. Among these active portions 36, 37, and 38, the first active portion 36 and the second active portion 37 have a voltage applied during droplet discharge. It is polarized and activated in the same direction as the direction.

圧電アクチュエータ12の上面には、Y方向の両端縁に沿って第一接続電極43と第二接続電極44とが形成されている。第二接続電極44は、圧電アクチュエータ12の上面の四隅にそれぞれ配置されており、第一接続電極43はX方向に並ぶ2つの第二接続電極44,44に挟まれるように配置されている。第一接続電極43は、上部圧電層21及び下部圧電層22をZ方向に貫通したスルーホールに充填された導電性材料を介して、下部定電位電極47と電気的に接続されている。また、第二接続電極44は、上部圧電層21をZ方向に貫通したスルーホールに充填された導電性材料を介して、上部定電位電極46と電気的に接続されている。   A first connection electrode 43 and a second connection electrode 44 are formed on the upper surface of the piezoelectric actuator 12 along both end edges in the Y direction. The second connection electrodes 44 are respectively arranged at the four corners of the upper surface of the piezoelectric actuator 12, and the first connection electrode 43 is arranged so as to be sandwiched between two second connection electrodes 44, 44 arranged in the X direction. The first connection electrode 43 is electrically connected to the lower constant potential electrode 47 through a conductive material filled in a through hole penetrating the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22 in the Z direction. The second connection electrode 44 is electrically connected to the upper constant potential electrode 46 through a conductive material filled in a through hole penetrating the upper piezoelectric layer 21 in the Z direction.

〔配線ユニット13〕
次に、配線ユニット13について説明する。図2、図6及び図7に示すように、配線ユニット13は、電気絶縁性を有する可撓性の合成樹脂材から成るフレキシブル配線基板30と、このフレキシブル配線基板30に搭載された2つの駆動IC50,50を備えている。フレキシブル配線基板30は、駆動IC50,50が実装された第一のフレキシブル配線基板としてのCOF(チップ・オン・フィルム)30aと、COF30aの記録信号入力線71の数と対応する配線数を有する平行な配線パターンが形成された第二のフレキシブル配線基板としてのFFC(フレキシブル・フラット・ケーブル)30b,30bとから構成されている。これらの第一および第二のフレキシブル配線基板は、いずれも配線がプリントされたプリント基板である。
[Wiring unit 13]
Next, the wiring unit 13 will be described. As shown in FIGS. 2, 6, and 7, the wiring unit 13 includes a flexible wiring board 30 made of a flexible synthetic resin material having electrical insulation, and two drives mounted on the flexible wiring board 30. ICs 50 and 50 are provided. The flexible wiring board 30 has a number of wires corresponding to the number of COFs (chip-on-film) 30a as the first flexible wiring board on which the drive ICs 50 and 50 are mounted and the number of recording signal input lines 71 of the COF 30a. FFC (flexible flat cable) 30b, 30b as a second flexible wiring board on which a simple wiring pattern is formed. These first and second flexible wiring boards are both printed boards on which wiring is printed.

フレキシブル配線基板30は、電気絶縁性を有する可撓性の合成樹脂材(例えば、ポリイミド樹脂)をベース材58としている。このベース材58の片面には、銅箔層57が形成され、この銅箔層57には複数の個別電極接続ランド60、及び複数の定電位電極接続ランド32,34そして複数の配線パターン71,72,31,33がフォトレジスト等により形成されている。そして、銅箔層57の表面が、電気絶縁性を有する可撓性の合成樹脂(例えば、ポリイミド樹脂)からなるカバー層56で被覆されている。ベース材58の個別電極接続ランド60及び定電位電極接続ランド32,34と重複する部位には孔があけられて、この孔内に露出する個別電極接続ランド60及び定電位電極接続ランド32,34にハンダバンプ63が固着されている。   The flexible wiring board 30 uses a flexible synthetic resin material (for example, polyimide resin) having electrical insulation as a base material 58. A copper foil layer 57 is formed on one surface of the base material 58. The copper foil layer 57 has a plurality of individual electrode connection lands 60, a plurality of constant potential electrode connection lands 32, 34, and a plurality of wiring patterns 71, 72, 31, 33 are formed of a photoresist or the like. And the surface of the copper foil layer 57 is coat | covered with the cover layer 56 which consists of flexible synthetic resin (for example, polyimide resin) which has electrical insulation. A hole is formed in a portion of the base material 58 that overlaps with the individual electrode connection land 60 and the constant potential electrode connection land 32, 34, and the individual electrode connection land 60 and the constant potential electrode connection land 32, 34 exposed in the hole. Solder bumps 63 are fixed to each other.

フレキシブル配線基板30の、図6中の二点差線29で囲まれた部分には、圧電アクチュエータ12が接合される。個別電極接続ランド60は、圧電アクチュエータ12の表面に設けられた接続端子41とZ方向に対応する位置に設けられ、個別電極接続ランド60は、ハンダバンプ63を介して接続端子41と電気的に接続されている。さらに、個別電極接続ランド60は、駆動IC50,50の出力側と駆動信号出力線72で接続されている。かかる構成により、駆動IC50,50で生成された駆動信号が、駆動信号出力線72と個別電極接続ランド60とを介して各吐出エネルギー付与部40の接続端子41に付与される。   The piezoelectric actuator 12 is joined to the portion of the flexible wiring board 30 that is surrounded by the two-dot chain line 29 in FIG. The individual electrode connection land 60 is provided at a position corresponding to the connection terminal 41 provided on the surface of the piezoelectric actuator 12 in the Z direction, and the individual electrode connection land 60 is electrically connected to the connection terminal 41 via the solder bump 63. Has been. Further, the individual electrode connection land 60 is connected to the output side of the drive ICs 50, 50 by a drive signal output line 72. With this configuration, the drive signals generated by the drive ICs 50 and 50 are applied to the connection terminals 41 of the ejection energy application units 40 via the drive signal output lines 72 and the individual electrode connection lands 60.

また、定電位電極接続ランド32,34のうち、第二接続ランド34は圧電アクチュエータ12の第二接続電極44とZ方向に対応する位置に設けられ、第一接続ランド32は圧電アクチュエータ12の第一接続電極43とZ方向に対応する位置に設けられている。そして、第二接続ランド34はハンダバンプ63を介して第二接続電極44と電気的に接続され、第一接続ランド32はハンダバンプ63を介して第一接続電極43と電気的に接続されている。さらに、定電位電極接続ランド32,34は、フレキシブル配線基板30に設けられた第一電源配線31又は第二電源配線33を介して、電源と接続されている。かかる構成により、電源配線31,33及び定電位電極接続ランド32,34を介して、上部定電位電極46と下部定電位電極47とに電源電圧が付与される。   Of the constant potential electrode connection lands 32 and 34, the second connection land 34 is provided at a position corresponding to the second connection electrode 44 of the piezoelectric actuator 12 in the Z direction, and the first connection land 32 is the first connection land 32 of the piezoelectric actuator 12. The connection electrode 43 is provided at a position corresponding to the Z direction. The second connection land 34 is electrically connected to the second connection electrode 44 via the solder bump 63, and the first connection land 32 is electrically connected to the first connection electrode 43 via the solder bump 63. Further, the constant potential electrode connection lands 32 and 34 are connected to a power source via a first power supply line 31 or a second power supply line 33 provided on the flexible wiring board 30. With this configuration, a power supply voltage is applied to the upper constant potential electrode 46 and the lower constant potential electrode 47 via the power supply wires 31 and 33 and the constant potential electrode connection lands 32 and 34.

フレキシブル配線基板30に設けられた接続ランド60,32,34の群のX方向の両側には、駆動IC50,50が設けられている。駆動IC50には、印字データを入力するための記録信号入力線71と、駆動信号を出力するための駆動信号出力線72とが接続されている。そして、記録信号入力線71からの記録信号を受けた駆動IC50は、その記録信号に対応させて少なくとも第一電位と第二電位とをとりえる駆動信号を生成し、駆動信号出力線72を通じて圧電アクチュエータ12の吐出エネルギー付与部40に駆動信号を付与する。   Drive ICs 50 and 50 are provided on both sides in the X direction of the group of connection lands 60, 32 and 34 provided on the flexible wiring board 30. A recording signal input line 71 for inputting print data and a driving signal output line 72 for outputting a driving signal are connected to the driving IC 50. Then, the driving IC 50 that has received the recording signal from the recording signal input line 71 generates a driving signal that can take at least the first potential and the second potential in correspondence with the recording signal, and outputs a piezoelectric signal through the driving signal output line 72. A drive signal is applied to the discharge energy applying unit 40 of the actuator 12.

第一電源配線31は、フレキシブル配線基板30のY方向の両端縁に沿ってX方向に延びている。フレキシブル配線基板30の圧電アクチュエータ12と接合される範囲29のX方向の略中央部において、第一電源配線31は内側へ突出して、この突出部に複数の第一接続ランド32が設けられている。つまり、第一接続ランド32は、第一電源配線31よりも内側に配置されている。この第一電源配線31は、圧電アクチュエータ12の下部定電位電極47に第一電位を付与するVSS3配線である。 The first power supply wiring 31 extends in the X direction along both ends of the flexible wiring board 30 in the Y direction. The first power supply wiring 31 protrudes inward at a substantially central portion in the X direction of the range 29 to be joined to the piezoelectric actuator 12 of the flexible wiring board 30, and a plurality of first connection lands 32 are provided in the protruding portion. . That is, the first connection land 32 is arranged on the inner side than the first power supply wiring 31. The first power supply wiring 31 is a VSS3 wiring that applies a first potential to the lower constant potential electrode 47 of the piezoelectric actuator 12.

また、フレキシブル配線基板30において、各第一電源配線31,31の内側には、X方向に延びる4本の第二電源配線33,33,,が配線されている。第二電源配線33は、圧電アクチュエータ12の上部定電位電極46に第二電位を付与するVDD3配線である。 In the flexible wiring board 30, four second power supply wires 33, 33, which extend in the X direction, are wired inside the first power supply wires 31, 31. The second power supply wiring 33 is a V DD3 wiring that applies a second potential to the upper constant potential electrode 46 of the piezoelectric actuator 12.

第二電源配線33は、フレキシブル配線基板30のY方向の両端に沿ってそれぞれ2本ずつ設けられている。そして、Y方向に並ぶ2つの第二電源配線33,33の間は、駆動IC50,50の高電位側入力部と接続された第二電位供給線74で繋がれている。この第二電位供給線74は、駆動IC50,50に第一電位よりも高電位である第二電位を付与するVDD2配線である。 Two second power supply wirings 33 are provided along both ends of the flexible wiring board 30 in the Y direction. The two second power supply wires 33 arranged in the Y direction are connected by a second potential supply line 74 connected to the high potential side input portion of the drive ICs 50, 50. The second potential supply line 74 is a V DD2 wiring that applies a second potential that is higher than the first potential to the drive ICs 50 and 50.

上述の圧電アクチュエータ12の吐出エネルギー付与部40へ第二電位を付与する第二電源配線33と、駆動IC50へ第二電位を付与する第二電位供給線74とは、フレキシブル配線基板30上において、少なくとも一部に共通配線部分を有している。なお、この共通配線部分は、第二電源配線33から第二電位供給線74が分岐するまでの配線部分である。このように、第二電源配線33と第二電位供給線74とが共通配線部分を有することによれば、これらの配線と接続される端子数やコネクタ数が少なくなり、コストダウンに寄与することができる。さらに、フレキシブル配線基板30での電源配線面積を低減することができるため、フレキシブル配線基板30の大きさを縮小することができ、コストダウン及び小型化に寄与することができる。   On the flexible wiring board 30, the second power supply wiring 33 that applies the second potential to the ejection energy applying unit 40 of the piezoelectric actuator 12 and the second potential supply line 74 that applies the second potential to the driving IC 50 are At least a portion has a common wiring portion. This common wiring portion is a wiring portion from the second power supply wiring 33 until the second potential supply line 74 branches. Thus, when the second power supply wiring 33 and the second potential supply line 74 have a common wiring portion, the number of terminals and connectors connected to these wirings is reduced, which contributes to cost reduction. Can do. Furthermore, since the power supply wiring area in the flexible wiring board 30 can be reduced, the size of the flexible wiring board 30 can be reduced, which can contribute to cost reduction and downsizing.

さらに、Y方向に並ぶ2つの第二電源配線33,33と、これに接続された第二電位供給線74により形成された略U字状の内側に沿って、駆動IC50,50の低電位側入力部と接続された第一電位供給線28が配線されている。第一電位供給線28の更に内側には、一端が駆動IC50に接続された記録信号入力線71が複数配置されている。第一電位供給線28は、駆動IC50,50に第一電位(グランド電位)を付与するVSS2配線である。この第一電位供給線28と第一電源配線31とは、第二電源配線33と第一電位供給線28の共通配線部分を跨ぐ例えばジャンパ線からなる接続線70により電気的に接続されて共通の電位(例えば、接地されて0V)とされている。 Furthermore, the low potential side of the drive ICs 50 and 50 along the substantially U-shaped inner side formed by the two second power supply wires 33 and 33 arranged in the Y direction and the second potential supply line 74 connected thereto. A first potential supply line 28 connected to the input unit is wired. A plurality of recording signal input lines 71 having one end connected to the drive IC 50 are arranged further inside the first potential supply line 28. The first potential supply line 28 is V SS2 wiring for imparting a first potential (ground potential) to the drive IC50,50. The first potential supply line 28 and the first power supply line 31 are electrically connected by a connection line 70 made of, for example, a jumper line across the common wiring portion of the second power supply line 33 and the first potential supply line 28 and shared. Potential (for example, 0V when grounded).

〔インクジェット記録装置100の駆動回路〕
ここで、インクジェット記録装置100全体の電気回路について説明する。図8はインクジェット記録装置の駆動回路図である。
[Driving Circuit for Inkjet Recording Apparatus 100]
Here, an electrical circuit of the entire inkjet recording apparatus 100 will be described. FIG. 8 is a drive circuit diagram of the ink jet recording apparatus.

図8に示すように、インクジェット記録装置100の本体側に設けられた本体側基板90及びヘッド基板91と、液滴吐出ヘッド1に設けられた駆動IC50及び圧電アクチュエータ12とは、互いに接続されている。本体側基板90には制御回路93と制御信号用電源94と吐出用電源95とが搭載されている。本体側基板90は、液滴吐出ヘッド1を搭載したキャリッジ3の外側の静止位置に設置され、ヘッド基板91は、駆動IC50及び圧電アクチュエータ12とともにキャリッジ3に搭載されている。   As shown in FIG. 8, the main body side substrate 90 and the head substrate 91 provided on the main body side of the ink jet recording apparatus 100, and the drive IC 50 and the piezoelectric actuator 12 provided on the droplet discharge head 1 are connected to each other. Yes. A control circuit 93, a control signal power supply 94, and a discharge power supply 95 are mounted on the main body side substrate 90. The main body side substrate 90 is installed at a stationary position outside the carriage 3 on which the droplet discharge head 1 is mounted, and the head substrate 91 is mounted on the carriage 3 together with the drive IC 50 and the piezoelectric actuator 12.

駆動IC50は、データ出力部96と、ドライバ部97とを備えている。駆動IC50のデータ出力部96は、シフトレジスタ106、Dフリップフロップ107及びANDゲート108を各々吐出エネルギー付与部40の数(ノズル85、圧力室83の数)に対応して備えている。また、ドライバ部97は、データ出力部96が出力した駆動データを圧電アクチュエータ12の吐出エネルギー付与部40を駆動するための電圧に変換して個別電極42へ出力するためのドライバ回路110を、吐出エネルギー付与部40の数に対応して備えている。   The drive IC 50 includes a data output unit 96 and a driver unit 97. The data output unit 96 of the drive IC 50 includes shift registers 106, D flip-flops 107, and AND gates 108 corresponding to the number of ejection energy applying units 40 (number of nozzles 85 and pressure chambers 83). Further, the driver unit 97 discharges a driver circuit 110 for converting the drive data output from the data output unit 96 into a voltage for driving the discharge energy applying unit 40 of the piezoelectric actuator 12 and outputting the voltage to the individual electrode 42. Corresponding to the number of energy applying units 40.

本体側基板90の制御回路93は、駆動IC50のデータ出力部96に所定の記録情報に基づきイネーブル、印字データ、クロック、ストローブ信号等の制御信号を出力するもので、その制御信号を出力するために制御信号配線98を介してデータ出力部96に配線接続されている。本体側基板90の制御信号用電源94は、データ出力部96に電圧(例えば、5ボルト)を供給するもので、駆動用配線VDD1とアース用配線VSS1とを介してデータ出力部96に接続されている。また、本体側基板90の吐出用電源95は、ドライバ部97に電圧(例えば、30ボルト)を供給するもので、駆動電圧を印加する駆動用のVDD2配線とアース用のVSS2配線とを介してドライバ部97に接続されている。また、VDD2配線とVSS2配線とには、ヘッド基板91上において電解コンデンサ109がバイパス接続されており、この電解コンデンサ109はドライバ部97に供給する電荷を貯え、ドライバ部97に瞬時の大電流が流れた場合の電圧降下の発生を抑制している。 The control circuit 93 of the main body side substrate 90 outputs control signals such as enable, print data, clock, and strobe signal to the data output unit 96 of the driving IC 50 based on predetermined recording information, and outputs the control signals. Are connected to the data output section 96 via the control signal wiring 98. The control signal power supply 94 of the main body side substrate 90 supplies a voltage (for example, 5 volts) to the data output unit 96, and is supplied to the data output unit 96 through the drive wiring V DD1 and the ground wiring V SS1. It is connected. Further, the discharge power source 95 of the main body side substrate 90 supplies a voltage (for example, 30 volts) to the driver unit 97, and includes a driving V DD2 wiring for applying a driving voltage and a grounding VSS2 wiring. Via the driver unit 97. Further, an electrolytic capacitor 109 is bypass-connected on the head substrate 91 to the V DD2 wiring and the VSS2 wiring, and the electrolytic capacitor 109 stores the charge supplied to the driver unit 97, and the driver unit 97 has a large instantaneous moment. Occurrence of voltage drop when current flows is suppressed.

圧電アクチュエータ12が備える各吐出エネルギー付与部40には、コンデンサとして機能する3つの活性部36,37,38が設けられている。下部定電位電極47にはVSS3配線が接続されており、このVSS3配線は吐出用電源95に接続されたVSS2配線とフレキシブル配線基板30上で接続線70により結線されている。かかる構成により、吐出用電源95から、VSS2配線,VSS3配線を通じて低い側の電位(第一電位)が下部定電位電極47に付与される。 Each discharge energy applying unit 40 included in the piezoelectric actuator 12 is provided with three active units 36, 37, and 38 that function as capacitors. The lower constant electric potential electrode 47 are connected V SS3 wiring, the V SS3 wires are connected by a connecting line 70 on V SS2 wiring and the flexible wiring board 30 connected to the discharge power supply 95. With this configuration, a lower potential (first potential) is applied from the discharge power supply 95 to the lower constant potential electrode 47 through the V SS2 wiring and the V SS3 wiring.

一方、上部定電位電極46にはVDD3配線が接続されており、このVDD3配線は、吐出用電源95に接続された駆動用VDD2配線とフレキシブル配線基板30上で結線されている。かかる構成により、吐出用電源95から、VDD2配線,VDD3配線を通じて高い側の電位(第二電位)が上部定電位電極46に付与される。 On the other hand, the V DD3 wiring is connected to the upper constant potential electrode 46, and this V DD3 wiring is connected to the driving V DD2 wiring connected to the ejection power supply 95 on the flexible wiring board 30. With this configuration, a higher potential (second potential) is applied to the upper constant potential electrode 46 from the discharge power supply 95 through the V DD2 wiring and the V DD3 wiring.

〔液滴吐出ヘッド1の動作〕
次に、上記構成の液滴吐出ヘッド1の動作について説明する。図9は吐出エネルギー付与部の駆動のタイミングチャート図である。
[Operation of the droplet discharge head 1]
Next, the operation of the droplet discharge head 1 having the above configuration will be described. FIG. 9 is a timing chart of driving of the discharge energy applying unit.

図9に示すように、液滴吐出ヘッド1の待機時及び駆動時に関わらず、上部定電位電極46には、VDD2配線,VDD3配線を通じて第二電位(例えば、30V)が常時付与され、下部定電位電極47には、VSS2配線,VSS3配線を通じて第一電位(例えば、0V)が常時付与されている。 As shown in FIG. 9, regardless of when the droplet discharge head 1 is on standby or when it is driven, a second potential (for example, 30 V) is always applied to the upper constant potential electrode 46 through the V DD2 wiring and the V DD3 wiring. A first potential (for example, 0 V) is always applied to the lower constant potential electrode 47 through the V SS2 wiring and the V SS3 wiring.

駆動IC50のデータ出力部96のシフトレジスタ106及びDフリップフロップ107のリセット信号がLの状態にあるとき、周知のように、制御回路93のイメージメモリから印字データ(吐出ありのとき0、吐出なしのとき1)がシリアルに読み出されてシフトレジスタ106に入力される。シフトレジスタ106では、この印字データが1つの液滴吐出ヘッド1のノズル85の数に対応するパラレルデータに変換される。さらに、パラレルデータに変換された印字データは、Dフリップフロップ107にラッチされ、ストローブ信号に同期してANDゲート108に出力される。   As is well known, when the reset signal of the shift register 106 and the D flip-flop 107 of the data output unit 96 of the driving IC 50 is in the L state, the print data (0 when ejection is present, no ejection) from the image memory of the control circuit 93, as is well known. 1) is read out serially and input to the shift register 106. In the shift register 106, the print data is converted into parallel data corresponding to the number of nozzles 85 of one droplet discharge head 1. Further, the print data converted into parallel data is latched by the D flip-flop 107 and output to the AND gate 108 in synchronization with the strobe signal.

そして、待機時の駆動IC50では、データ出力部96の各ANDゲート108に対してLのイネーブル信号が付与されており、駆動IC50はドライバ部97の各ドライバ回路110をオフさせ、VSS2配線を通じて第一電位を個別電極42に付与する。 In the standby drive IC 50, an L enable signal is given to each AND gate 108 of the data output unit 96, and the drive IC 50 turns off each driver circuit 110 of the driver unit 97 and passes through the VSS 2 wiring. A first potential is applied to the individual electrode 42.

従って、待機時の吐出エネルギー付与部40では、個別電極42と下部定電位電極47とに第一電位が付与され、上部定電位電極46が第二電位が付与されていることとなる。これにより、分極方向と同じ方向に電圧が印加されている第一活性部36の上部圧電層21が圧力室83に向かうZ方向に伸張してX方向に収縮する(図3、参照)。このとき、下部圧電層22はボトム層24に接合されているので、上部圧電層21と下部圧電層22との間でX方向への歪みに差が生じる。このようにして圧電層23とボトム層24とが、圧力室83に向かうZ方向へ突出変形し、圧力室83の容積が低下する。   Therefore, in the ejection energy application unit 40 during standby, the first potential is applied to the individual electrode 42 and the lower constant potential electrode 47, and the second potential is applied to the upper constant potential electrode 46. As a result, the upper piezoelectric layer 21 of the first active portion 36 to which a voltage is applied in the same direction as the polarization direction expands in the Z direction toward the pressure chamber 83 and contracts in the X direction (see FIG. 3). At this time, since the lower piezoelectric layer 22 is bonded to the bottom layer 24, a difference in distortion in the X direction occurs between the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22. In this way, the piezoelectric layer 23 and the bottom layer 24 project and deform in the Z direction toward the pressure chamber 83, and the volume of the pressure chamber 83 decreases.

一方、駆動時の駆動IC50では、ANDゲート108にHのイネーブル信号が所定時間だけ付与される。このとき、Dフリップフロップ107にラッチされたデータが吐出なしの1ならば、駆動IC50は、そのデータに対応するドライバ回路110のオフを継続する。一方、Dフリップフロップ107にラッチされたデータが吐出ありの0ならば、駆動IC50は、そのデータに対応するドライバ回路110をオンし、VDD2配線を通じて第二電位を個別電極42に付与する。そして、所定時間経過後にANDゲート108にLのイネーブル信号が付与され、駆動IC50は、各ドライバ回路110をオフさせ、VSS2配線を介して第一電位を個別電極42に付与する。 On the other hand, in the driving IC 50 at the time of driving, the H enable signal is given to the AND gate 108 for a predetermined time. At this time, if the data latched in the D flip-flop 107 is “1” indicating no ejection, the driving IC 50 continues to turn off the driver circuit 110 corresponding to the data. On the other hand, if the data latched in the D flip-flop 107 is 0 with ejection, the driving IC 50 turns on the driver circuit 110 corresponding to the data, and applies the second potential to the individual electrode 42 through the V DD2 wiring. Then, after a predetermined time elapses, an L enable signal is applied to the AND gate 108, and the drive IC 50 turns off each driver circuit 110 and applies the first potential to the individual electrode 42 via the VSS2 wiring.

上述の通り、駆動される吐出エネルギー付与部40の個別電極42と上部定電位電極46とには第二電位が付与され、下部定電位電極47には第一電位が付与される。このとき、分極方向と平行に電圧が印加されない第一活性部36の上部圧電層21は変形から回復し、分極方向と平行に電圧が印加されている第二活性部37,37は、圧力室83に向かうZ方向に伸張してX方向に収縮しようとする。これにより、第二活性部37,37の圧電層23が圧力室83から離れる方向に反るように変形して、圧力室83の容積が増大し、マニホールド81から圧力室83に液体が吸い込まれる。   As described above, the second potential is applied to the individual electrode 42 and the upper constant potential electrode 46 of the driven ejection energy applying unit 40, and the first potential is applied to the lower constant potential electrode 47. At this time, the upper piezoelectric layer 21 of the first active part 36 to which no voltage is applied in parallel to the polarization direction recovers from deformation, and the second active parts 37 and 37 to which voltage is applied in parallel to the polarization direction It tries to expand in the Z direction toward 83 and contract in the X direction. As a result, the piezoelectric layer 23 of the second active portion 37, 37 is deformed so as to warp away from the pressure chamber 83, the volume of the pressure chamber 83 increases, and the liquid is sucked into the pressure chamber 83 from the manifold 81. .

そして、吐出エネルギー付与部40を駆動してから所定時間経過後には、待機時と同じ電位が各電極42,46,47に付与される。このとき、待機時と同様に、第一活性部36に分極方向と平行に電圧が印加されて、圧電層23とボトム層24とが圧力室83に向かうZ方向へ突出変形し、圧力室83の容積が一気に減少する。これにより、ノズル85から液体が吐出する。   Then, after a predetermined time has elapsed since the ejection energy applying unit 40 was driven, the same potential as that during standby is applied to the electrodes 42, 46 and 47. At this time, as in the standby state, a voltage is applied to the first active portion 36 in parallel with the polarization direction, and the piezoelectric layer 23 and the bottom layer 24 project and deform in the Z direction toward the pressure chamber 83, and the pressure chamber 83. The volume of is reduced at once. Thereby, the liquid is discharged from the nozzle 85.

上述のように動作する液滴吐出ヘッド1では、第二活性部37が第一活性部36の変位を抑制するように変位するので、圧電アクチュエータの吐出エネルギー付与部を高密度化しても、隣接する吐出エネルギー付与部の圧電変形部の変形の相互不干渉が実現されている。   In the droplet discharge head 1 operating as described above, the second active portion 37 is displaced so as to suppress the displacement of the first active portion 36. Therefore, even if the discharge energy applying portion of the piezoelectric actuator is increased in density, Mutual non-interference of the deformation of the piezoelectric deformation portion of the ejection energy applying portion is realized.

〔分極方法〕
次に、液滴吐出ヘッド1が備える圧電アクチュエータ12の分極方法について説明する。図10は分極時の液滴吐出ヘッドの回路図、図11は分極第一段階の圧電アクチュエータの断面図、図12は分極第二段階の圧電アクチュエータの断面図である。
[Polarization method]
Next, a polarization method of the piezoelectric actuator 12 included in the droplet discharge head 1 will be described. FIG. 10 is a circuit diagram of a droplet discharge head during polarization, FIG. 11 is a cross-sectional view of a piezoelectric actuator at a first stage of polarization, and FIG. 12 is a cross-sectional view of a piezoelectric actuator at a second stage of polarization.

液滴吐出ヘッド1の製造工程において、流路ユニット11に圧電アクチュエータ12を重合し、更に、圧電アクチュエータ12の接続端子41及び表面定電位電極44,43を配線ユニット13の接続ランド60,32,34にハンダで接合したあと、圧電アクチュエータ12の圧電層23の分極が行われる。ここでは、この分極の工程を説明する。   In the manufacturing process of the droplet discharge head 1, the piezoelectric actuator 12 is superposed on the flow path unit 11, and the connection terminals 41 and the surface constant potential electrodes 44, 43 of the piezoelectric actuator 12 are connected to the connection lands 60, 32, After being joined to 34 with solder, the piezoelectric layer 23 of the piezoelectric actuator 12 is polarized. Here, this polarization process will be described.

図10に示すように、分極装置は、分極用電圧の一部を発生する分極用回路113と、分極用電圧の残りの部分を発生するための電源112と、イネーブル信号およびリセット信号等の信号を発生する信号発生回路111とを、備えている。電源112は、圧電アクチュエータ12の駆動電源と同等のものである。   As shown in FIG. 10, the polarization device includes a polarization circuit 113 that generates a part of the polarization voltage, a power supply 112 that generates the remaining part of the polarization voltage, and signals such as an enable signal and a reset signal. A signal generation circuit 111 for generating The power source 112 is equivalent to the driving power source for the piezoelectric actuator 12.

各回路111,113及び電源112は、フレキシブル配線基板30上に形成された各配線や各信号線の端子部分に接続されている。分極用回路113は、全ての吐出エネルギー付与部40の下部定電位電極47を共通接続したVSS3配線と、全てのドライバ部97に付与される共通電位のアース側に共通接続したVSS2配線との間に分極用電圧を印加するための回路で、負電源VCC2と、スイッチSW1とからなる。また、VDD1配線とVSS1配線との間、及びVDD2配線とVSS2配線との間には、前述した吐出動作を行うための電源と同等の電源112が接続されている。なお、このとき、VSS3配線とVSS2配線との間には、接続線70が設けられていない。 The circuits 111 and 113 and the power source 112 are connected to the terminals of the wirings and signal lines formed on the flexible wiring board 30. The polarization circuit 113 includes a V SS3 wiring commonly connected to the lower constant potential electrodes 47 of all ejection energy applying units 40, and a V SS2 wiring commonly connected to the ground side of the common potential applied to all the driver units 97. A circuit for applying a polarization voltage between the negative power source VCC2 and the switch SW1. Further, a power supply 112 equivalent to the power supply for performing the above-described discharge operation is connected between the V DD1 wiring and the V SS1 wiring and between the V DD2 wiring and the V SS2 wiring. At this time, the connection line 70 is not provided between the V SS3 wiring and the V SS2 wiring.

上述の構成の回路を用いて、全ての吐出エネルギー付与部40の圧電層23の分極が行われる。分極を開始する際には、スイッチSW1はG側(負電源VCC2をVSS3配線に接続しない側)とされ、上部定電位電極46にはVDD2配線,VDD3配線を介して第二電位(例えば、30V)が付与されている。 Polarization of the piezoelectric layers 23 of all the ejection energy applying units 40 is performed using the circuit having the above-described configuration. When starting the polarization, the switch SW1 is the G side (negative supply V CC2 of the side not connected to V SS3 wiring), the second potential to the upper constant electric potential electrode 46 through the V DD2 wiring, V DD3 wiring (For example, 30V) is given.

この状態において、シフトレジスタ106及びDフリップフロップ107のリセット信号をHとし、シフトレジスタ106及びDフリップフロップ107の全データを吐出あり0の状態にする。そして、イネーブル信号をLからHに立ち上げると、ANDゲート108の出力がHとなり、全てのドライバ回路110が吐出エネルギー付与部40への通電を開始する。これにより、個別電極42にはVDD2配線を介して第二電位(例えば、30V)が付与される。 In this state, the reset signal of the shift register 106 and the D flip-flop 107 is set to H, and all the data of the shift register 106 and the D flip-flop 107 are set to the discharge zero state. When the enable signal rises from L to H, the output of the AND gate 108 becomes H, and all the driver circuits 110 start energizing the ejection energy applying unit 40. As a result, a second potential (for example, 30 V) is applied to the individual electrode 42 via the V DD2 wiring.

ここで、スイッチSW1をN側に切り替えると、下部定電位電極47にVSS3配線を介して負電源VCC2から負の電位(ここでは−30V)が付与される。これにより、図11に示すように、第二活性部37に60Vの分極電圧が印加され、第三活性部38に30Vの分極電圧が印加されて、第二活性部37と第三活性部38との第一段階の分極が行われてこれらが活性化される。なお、ここで第三活性部38に生じる電界は、第二活性部37に生じる電界のおよそ2倍の強さとなる。 Here, when the switch SW1 is switched to the N side, a negative potential (-30V in this case) is applied to the lower constant potential electrode 47 from the negative power supply VCC2 via the VSS3 wiring. Accordingly, as shown in FIG. 11, a polarization voltage of 60 V is applied to the second active part 37, and a polarization voltage of 30 V is applied to the third active part 38, so that the second active part 37 and the third active part 38 are applied. These are activated by the first stage polarization. Here, the electric field generated in the third active portion 38 is approximately twice as strong as the electric field generated in the second active portion 37.

続いて、ANDゲート108に付与するイネーブル信号をHからLに切り替えると、ANDゲート108の出力がLとなり、全てのドライバ回路110が吐出エネルギー付与部40への通電を停止する。これにより、個別電極42にはVSS2配線を介して第一電位(例えば、0V)が付与される。ここで、スイッチSW1をG側に切り替えると、下部定電位電極47にVSS2配線,VSS3配線を介して第一電位が付与される。このとき、図12に示すように、第一活性部36に30Vの分極電圧が印加され、第三活性部38に30Vの分極電圧が印加されて、第一活性部36と第三活性部38との第二段階の分極が行われてこれらが活性化される。 Subsequently, when the enable signal applied to the AND gate 108 is switched from H to L, the output of the AND gate 108 becomes L, and all the driver circuits 110 stop energizing the ejection energy applying unit 40. As a result, a first potential (for example, 0 V) is applied to the individual electrode 42 via the VSS2 wiring. Here, when the switch SW1 is switched to the G side, the first potential is applied to the lower constant potential electrode 47 via the V SS2 wiring and the V SS3 wiring. At this time, as shown in FIG. 12, a polarization voltage of 30 V is applied to the first active part 36, and a polarization voltage of 30 V is applied to the third active part 38, and the first active part 36 and the third active part 38 These are activated by the second stage polarization.

そして所定時間経過後に、電源112からの通電を停止すると、吐出エネルギー付与部40の圧電変形部に掛かる電圧がゼロとなる。こうして分極が完了したのち、分極用回路113等を含む分極装置をフレキシブル配線基板30から取り外し、接続線70で第一電位供給線28と第一電源配線31とを結線し、液滴吐出ヘッド1をインクジェット記録装置100のキャリッジ3に取り付ける。   When the energization from the power source 112 is stopped after a predetermined time has elapsed, the voltage applied to the piezoelectric deformation portion of the ejection energy applying portion 40 becomes zero. After the polarization is completed in this way, the polarization device including the polarization circuit 113 and the like is removed from the flexible wiring board 30, the first potential supply line 28 and the first power supply line 31 are connected by the connection line 70, and the droplet discharge head 1. Is attached to the carriage 3 of the inkjet recording apparatus 100.

上述の通り、流路ユニット11と圧電アクチュエータ12とのハンダ付けによる接合を行なったあとに分極を行なうことによれば、分極の劣化を抑制することができる。しかも分極に用いる電圧は、吐出用の電源電圧に対し、駆動IC50から電位を供給する個別電極42とは逆側の、下部定電位電極47の電位を下げることにより行われるので、駆動IC50に極端に高い電圧が掛かることはなく、駆動IC50が分極中に故障することを防止できる。さらに、第一段階と第二段階との二段階に分けて分極を行うことにより、第一活性部36と第二活性部37との境界部分において電界の相殺が生じないため、これらの境界部分での分極が弱められることがない。   As described above, when polarization is performed after the flow path unit 11 and the piezoelectric actuator 12 are joined by soldering, deterioration of polarization can be suppressed. In addition, the voltage used for polarization is generated by lowering the potential of the lower constant potential electrode 47 on the side opposite to the individual electrode 42 that supplies the potential from the drive IC 50 with respect to the discharge power supply voltage. Therefore, it is possible to prevent the drive IC 50 from failing during polarization. Furthermore, by performing polarization in two stages of the first stage and the second stage, the electric field is not canceled at the boundary part between the first active part 36 and the second active part 37. The polarization at is not weakened.

[実施の形態2]
本発明の実施の形態2について説明する。本実施の形態2に係る液滴吐出ヘッド1及びインクジェット記録装置100は、実施の形態1で説明したものと比較して、液滴吐出ヘッド1に具備される圧電アクチュエータ12の表面定電位電極44,43の構成と、これに対応するフレキシブル配線基板30の配線パターンが異なる。そこで、以下では、圧電アクチュエータ12の表面定電位電極44,43との配置と、これに対応するフレキシブル配線基板30の配線パターンについてのみ説明し、他の部分の説明については省略する。
[Embodiment 2]
A second embodiment of the present invention will be described. Compared with the liquid droplet ejection head 1 and the inkjet recording apparatus 100 according to the second embodiment, the surface constant potential electrode 44 of the piezoelectric actuator 12 included in the liquid droplet ejection head 1 is compared with that described in the first embodiment. , 43 and the wiring pattern of the flexible wiring board 30 corresponding thereto are different. Therefore, in the following, only the arrangement of the surface constant potential electrodes 44 and 43 of the piezoelectric actuator 12 and the wiring pattern of the flexible wiring board 30 corresponding thereto will be described, and description of other parts will be omitted.

まず、圧電アクチュエータ12の表面定電位電極44,43の構成について説明する。図13は実施の形態2に係る圧電アクチュエータの平面図である。   First, the configuration of the surface constant potential electrodes 44 and 43 of the piezoelectric actuator 12 will be described. FIG. 13 is a plan view of the piezoelectric actuator according to the second embodiment.

図13に示すように、圧電アクチュエータ12の上面には、Y方向の両端縁に沿って第二接続電極44と第一接続電極43とが形成されている。第一接続電極43は、圧電アクチュエータ12の上面の四隅にそれぞれ配置されており、第二接続電極44はX方向に並ぶ2つの第一接続電極43,43に挟まれるように配置されている。第二接続電極44は、上部圧電層21をZ方向に貫通したスルーホールに充填された導電性材料を介して、上部定電位電極46と電気的に接続されている。また、第一接続電極43は、上部圧電層21及び下部圧電層22をZ方向に貫通したスルーホールに充填された導電性材料を介して、下部定電位電極47と電気的に接続されている。   As shown in FIG. 13, the second connection electrode 44 and the first connection electrode 43 are formed on the upper surface of the piezoelectric actuator 12 along both end edges in the Y direction. The first connection electrodes 43 are respectively arranged at the four corners of the upper surface of the piezoelectric actuator 12, and the second connection electrodes 44 are arranged so as to be sandwiched between two first connection electrodes 43, 43 arranged in the X direction. The second connection electrode 44 is electrically connected to the upper constant potential electrode 46 through a conductive material filled in a through hole penetrating the upper piezoelectric layer 21 in the Z direction. The first connection electrode 43 is electrically connected to the lower constant potential electrode 47 through a conductive material filled in a through hole penetrating the upper piezoelectric layer 21 and the lower piezoelectric layer 22 in the Z direction. .

以下、配線ユニット13の配線パターンについて説明する。図14は実施の形態2に係る配線ユニットの底面図である。   Hereinafter, the wiring pattern of the wiring unit 13 will be described. FIG. 14 is a bottom view of the wiring unit according to the second embodiment.

図14に示すように、フレキシブル配線基板30の、図14中の二点差線29で囲まれた部分には、圧電アクチュエータ12が接合される。フレキシブル配線基板30この二点差線29で囲まれた範囲の略中央において、複数の個別電極接続ランド60が設けられている。そして、これら複数の個別電極接続ランド60のY方向両側に、定電位電極接続ランド32,34が設けられている。   As shown in FIG. 14, the piezoelectric actuator 12 is joined to the portion of the flexible wiring board 30 surrounded by the two-dot chain line 29 in FIG. 14. The flexible wiring board 30 is provided with a plurality of individual electrode connection lands 60 in the approximate center of the range surrounded by the two-point difference line 29. The constant potential electrode connection lands 32 and 34 are provided on both sides of the plurality of individual electrode connection lands 60 in the Y direction.

第一接続ランド32は、フレキシブル配線基板30において、圧電アクチュエータ12の第一接続電極43とZ方向に対応する位置に設けられている。即ち、フレキシブル配線基板30の圧電アクチュエータ12が接合される範囲(図14中の二点差線29で囲まれた範囲)の四隅に第一接続ランド32が配置されている。そして、定電位電極接続ランド32は、ハンダバンプ63を介して圧電アクチュエータ12の第一接続電極43と電気的に接続されている。   The first connection land 32 is provided on the flexible wiring board 30 at a position corresponding to the first connection electrode 43 of the piezoelectric actuator 12 in the Z direction. In other words, the first connection lands 32 are arranged at the four corners of the range (the range surrounded by the two-dot chain line 29 in FIG. 14) to which the piezoelectric actuator 12 of the flexible wiring board 30 is joined. The constant potential electrode connection land 32 is electrically connected to the first connection electrode 43 of the piezoelectric actuator 12 via the solder bump 63.

一方、第二接続ランド34は、圧電アクチュエータ12の第二接続電極44とZ方向に対応する位置に設けられている。即ち、第二接続ランド34は、フレキシブル配線基板30において、Y方向の端辺に沿って並ぶ第一接続ランド32の群の間に配置されている。そして、第二接続ランド34は、ハンダバンプ63を介して圧電アクチュエータ12の第二接続電極44と電気的に接続されている。   On the other hand, the second connection land 34 is provided at a position corresponding to the second connection electrode 44 of the piezoelectric actuator 12 in the Z direction. That is, the second connection lands 34 are arranged between the groups of the first connection lands 32 arranged along the edge in the Y direction on the flexible wiring board 30. The second connection land 34 is electrically connected to the second connection electrode 44 of the piezoelectric actuator 12 via the solder bump 63.

フレキシブル配線基板30には、Y方向の両端縁に沿ってX方向に延びる4本の第一電源配線31,31,,が設けられている。各第一電源配線31は、フレキシブル配線基板30の圧電アクチュエータ12が接合される範囲の四隅に分散して配置された各第一接続ランド32の群と接続されている。この第一電源配線31は、圧電アクチュエータ12の下部定電位電極47に第一電位(グランド電位)を付与するVSS3配線である。 The flexible wiring board 30 is provided with four first power supply wires 31, 31, extending in the X direction along both end edges in the Y direction. Each first power supply wiring 31 is connected to a group of first connection lands 32 arranged in a distributed manner at the four corners of the range where the piezoelectric actuator 12 of the flexible wiring board 30 is joined. The first power supply wiring 31 is a VSS3 wiring that applies a first potential (ground potential) to the lower constant potential electrode 47 of the piezoelectric actuator 12.

また、フレキシブル配線基板30に設けられた第一電源配線31の内側に沿って、X方向に延びる第二電源配線33,33が設けられている。フレキシブル配線基板30の圧電アクチュエータ12が接合される範囲のX方向の略中央において、第二電源配線33の一部が外側へ突出して、この突出部に複数の第二接続ランド34が設けられている。この第二電源配線33は、圧電アクチュエータ12の上部定電位電極46に第二電位を付与するVDD3配線である。 Further, second power supply wires 33 and 33 extending in the X direction are provided along the inside of the first power supply wire 31 provided on the flexible wiring board 30. A portion of the second power supply wiring 33 protrudes outward at the approximate center in the X direction in the range where the piezoelectric actuator 12 of the flexible wiring board 30 is joined, and a plurality of second connection lands 34 are provided at the protruding portion. Yes. The second power supply wiring 33 is a V DD3 wiring that applies a second potential to the upper constant potential electrode 46 of the piezoelectric actuator 12.

そして、Y方向に並ぶ2つの第二電源配線33,33の間は、駆動IC50,50の高電位側入力部と接続された第二電位供給線74で繋がれている。この第二電位供給線74は、駆動IC50,50に第二電位(駆動電位)を付与するVDD2配線である。 The two second power supply wires 33 arranged in the Y direction are connected by a second potential supply line 74 connected to the high potential side input portion of the drive ICs 50, 50. The second potential supply line 74 is a V DD2 wiring that applies a second potential (drive potential) to the drive ICs 50 and 50.

上述の圧電アクチュエータ12の吐出エネルギー付与部40へ第二電位を付与する第二電源配線33と、駆動IC50へ第二電位を付与する第二電位供給線74とは、フレキシブル配線基板30上において、少なくとも一部に共通配線部分を有している。なお、この共通配線部分は、第二電源配線33から第二電位供給線74が分岐するまでの配線部分である。このように、第二電源配線33と第二電位供給線74とが共通配線部分を有することによれば、これらの配線と接続される端子数やコネクタ数が少なくなり、コストダウンに寄与することができる。さらに、フレキシブル配線基板30での電源配線面積を低減することができるため、フレキシブル配線基板30の大きさを縮小することができ、コストダウン及び小型化に寄与することができる。   On the flexible wiring board 30, the second power supply wiring 33 that applies the second potential to the ejection energy applying unit 40 of the piezoelectric actuator 12 and the second potential supply line 74 that applies the second potential to the driving IC 50 are At least a portion has a common wiring portion. This common wiring portion is a wiring portion from the second power supply wiring 33 until the second potential supply line 74 branches. Thus, when the second power supply wiring 33 and the second potential supply line 74 have a common wiring portion, the number of terminals and connectors connected to these wirings is reduced, which contributes to cost reduction. Can do. Furthermore, since the power supply wiring area in the flexible wiring board 30 can be reduced, the size of the flexible wiring board 30 can be reduced, which can contribute to cost reduction and downsizing.

さらに、Y方向に並ぶ2つの第二電源配線33,33と、これに接続された第二電位供給線74により形成された略U字状の内側に沿って、駆動IC50,50の低電位側入力部と接続された第一電位供給線28が配線されている。第一電位供給線28の更に内側には、一端が駆動IC50に接続された記録信号入力線71が複数配置されている。第一電位供給線28は、駆動IC50,50に第一電位(グランド電位)を付与するVSS2配線である。この第一電位供給線28と第一電源配線31とは、接続線70により電気的に接続されて共通の電位(例えば、接地されて0V)とされている。 Furthermore, the low potential side of the drive ICs 50 and 50 along the substantially U-shaped inner side formed by the two second power supply wires 33 and 33 arranged in the Y direction and the second potential supply line 74 connected thereto. A first potential supply line 28 connected to the input unit is wired. A plurality of recording signal input lines 71 having one end connected to the drive IC 50 are arranged further inside the first potential supply line 28. The first potential supply line 28 is V SS2 wiring for imparting a first potential (ground potential) to the drive IC50,50. The first potential supply line 28 and the first power supply wiring 31 are electrically connected by a connection line 70 to have a common potential (for example, grounded to 0 V).

上述の通り、実施の形態2に係る液滴吐出ヘッド1では、実施の形態1に係る液滴吐出ヘッド1と比較して、圧電アクチュエータ12の表面に配置される第二接続電極44と第一接続電極43の位置が逆転している。これに応じて、配線ユニット13のフレキシブル配線基板30に形成される第一電源配線31及び第二電源配線33,33の形状が変化している。但し、インクジェット記録装置100の駆動回路の構成並びに液滴吐出ヘッド1の動作方法、及び圧電アクチュエータ12の分極方法は、実施の形態1と実施の形態2とで同一である。   As described above, in the droplet discharge head 1 according to the second embodiment, the second connection electrode 44 and the first connection electrode 44 arranged on the surface of the piezoelectric actuator 12 are compared with the droplet discharge head 1 according to the first embodiment. The position of the connection electrode 43 is reversed. Accordingly, the shapes of the first power supply wiring 31 and the second power supply wirings 33 and 33 formed on the flexible wiring board 30 of the wiring unit 13 are changed. However, the configuration of the drive circuit of the inkjet recording apparatus 100, the operation method of the droplet discharge head 1, and the polarization method of the piezoelectric actuator 12 are the same in the first embodiment and the second embodiment.

なお、上述した各実施の形態において、接続線70は、FFC30bの裏面(駆動IC50が搭載された面と反対の面)に、予めプリントされた配線として設けてもよい。
具体的には、第一電位供給線28と第一電源配線31にそれぞれスルーホールを通じて導通する2つの配線を、FFC30bの裏面に互いに近接して位置するよう形成しておき、ハンダなどをポイント付着するだけで両者の導通がとれるように構成すればよい。これによれば、ジャンパ線を後付けする場合よりも導通作業が簡易化し、また、誤って他の配線と短絡することも確実に回避することができる。
In each of the above-described embodiments, the connection line 70 may be provided as a preprinted wiring on the back surface of the FFC 30b (the surface opposite to the surface on which the drive IC 50 is mounted).
Specifically, two wirings that are electrically connected to the first potential supply line 28 and the first power supply wiring 31 through the through holes are formed so as to be positioned close to each other on the back surface of the FFC 30b, and solder or the like is attached to the point. What is necessary is just to comprise so that both can be connected only by doing. According to this, conduction work can be simplified as compared with the case where a jumper wire is retrofitted, and it is possible to reliably avoid a short circuit with other wirings by mistake.

本発明は、例えば、インクジェットヘッドなどの液滴吐出ヘッド、及びこの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置に適用することができる。   The present invention can be applied to, for example, a droplet discharge head such as an ink jet head and a droplet discharge apparatus including the droplet discharge head.

本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置の平面図である。1 is a plan view of an ink jet recording apparatus including a droplet discharge head according to an embodiment of the present invention. 実施の形態1に係る液滴吐出ヘッドの構成を示す分解斜視図である。2 is an exploded perspective view showing a configuration of a droplet discharge head according to Embodiment 1. FIG. ヘッド本体のX方向の一部断面図である。It is a partial cross section figure of the X direction of a head main part. ヘッド本体のY方向の一部断面図である。It is a partial cross section figure of the Y direction of a head main part. 実施の形態1に係る圧電アクチュエータの平面図である。3 is a plan view of the piezoelectric actuator according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態1に係る配線ユニットの底面図である。4 is a bottom view of the wiring unit according to Embodiment 1. FIG. 配線ユニットの断面図である。It is sectional drawing of a wiring unit. インクジェット記録装置の駆動回路図である。It is a drive circuit diagram of an inkjet recording device. 吐出エネルギー付与部の駆動のタイミングチャート図である。It is a timing chart figure of a drive of a discharge energy grant part. 分極時の液滴吐出ヘッドの回路図である。It is a circuit diagram of a droplet discharge head at the time of polarization. 分極第一段階の圧電アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the piezoelectric actuator of a polarization 1st step. 分極第二段階の圧電アクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the piezoelectric actuator of a polarization 2nd step. 実施の形態2に係る圧電アクチュエータの平面図である。6 is a plan view of a piezoelectric actuator according to Embodiment 2. FIG. 実施の形態2に係る配線ユニットの底面図である。5 is a bottom view of a wiring unit according to Embodiment 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1 液滴吐出ヘッド
2 本体フレーム
3 キャリッジ
11 流路ユニット
12 圧電アクチュエータ
13 配線ユニット
15 ヘッド本体
21 上部圧電層
22 下部圧電層
23 圧電シート
24 基板
28 第一電位供給線(VSS2配線)
30 フレキシブル配線基板
31 第一電源配線(VSS3配線)
32 第一接続ランド
33 第二電源配線(VDD3配線)
34 第二接続ランド
41 接続端子
42 個別電極
43 第一接続電極
44 第二接続電極
50 駆動IC
60 個別電極接続ランド
63 ハンダバンプ
71 記録信号入力線
72 駆動信号出力線
74 第二電位供給線(VDD2配線)
70 接続線
81 マニホールド
82 絞り部
83 圧力室
84 ディセンダ孔
85 ノズル
100 インクジェット記録装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Droplet discharge head 2 Main body frame 3 Carriage 11 Flow path unit 12 Piezoelectric actuator 13 Wiring unit 15 Head main body 21 Upper piezoelectric layer 22 Lower piezoelectric layer 23 Piezoelectric sheet 24 Substrate 28 First potential supply line ( VSS2 wiring)
30 Flexible wiring board 31 First power supply wiring ( VSS3 wiring)
32 First connection land 33 Second power supply wiring (V DD3 wiring)
34 Second connection land 41 Connection terminal 42 Individual electrode 43 First connection electrode 44 Second connection electrode 50 Driving IC
60 Individual electrode connection land 63 Solder bump 71 Recording signal input line 72 Drive signal output line 74 Second potential supply line (V DD2 wiring)
Reference Signs List 70 connecting line 81 manifold 82 restricting portion 83 pressure chamber 84 descender hole 85 nozzle 100 ink jet recording apparatus

Claims (5)

共通液体室から圧力室を介してノズルに至る複数の個別液体流路を有する流路ユニットと、前記流路ユニットに積層固定されて前記個別液体流路の各々に対して個別に液体の吐出圧を与える圧電アクチュエータと、前記圧電アクチュエータに接合されて少なくとも第一電位と第二電位とをとりえる駆動信号を前記圧電アクチュエータに付与する駆動ICを設けた配線基板とを、備えた液滴吐出ヘッドであって、
前記圧電アクチュエータは、
前記複数の圧力室に対応して設けられた複数の個別電極と、前記複数の個別電極に対応して設けられて前記複数の個別電極の前記流路ユニット側に第一圧電層を介して積層された前記個別電極より一回り小さい複数の上部定電位電極と、前記複数の個別電極に対応して設けられて前記上部定電位電極に第二圧電層を介して積層された複数の下部定電位電極と、前記複数の下部定電位電極の全てに接続された第一接続電極と、前記複数の上部定電位電極の全てに接続された第二接続電極とを、備え、
前記配線基板は、
前記複数の個別電極に対応して設けられた複数の個別電極接続ランドと、前記第一接続電極に対応して設けられた第一接続ランドと、前記第二接続電極に対応して設けられた第二接続ランドと、前記駆動ICに記録信号を入力するための記録信号入力線と、前記駆動ICから記録信号に対応して生成された前記駆動信号を前記複数の個別接続端子に出力するための複数の駆動信号出力線と、前記駆動ICに第一電位及び第二電位を供給する第一電位供給線及び第二電位供給線と、前記第一接続ランドに接続されて前記複数の下部定電位電極に対して第一電位を付与する第一電源配線と、前記第二接続ランドに接続されて前記複数の上部定電位電極に対して第二電位を付与する第二電源配線とを、備え、
前記配線基板上において、前記第二電位供給線と前記第二電源配線とは少なくとも一部に共通配線部分を有し、前記第一電位供給線と前記第一電源配線とは前記共通配線部分を間に挟んで互いに離間して配置されるとともに、前記第一電位供給線と前記第一電源配線とを接続する接続線が設けられている、
液滴吐出ヘッド。
A flow path unit having a plurality of individual liquid flow paths from the common liquid chamber to the nozzles via the pressure chamber, and a liquid discharge pressure individually stacked on the flow path unit and individually fixed to the individual liquid flow paths. And a wiring board provided with a drive IC that is bonded to the piezoelectric actuator and that provides the piezoelectric actuator with a drive signal that can take at least a first electric potential and a second electric potential. Because
The piezoelectric actuator is
A plurality of individual electrodes provided corresponding to the plurality of pressure chambers and a plurality of individual electrodes provided corresponding to the plurality of individual electrodes and laminated on the flow path unit side of the plurality of individual electrodes via a first piezoelectric layer A plurality of upper constant potential electrodes that are slightly smaller than the individual electrodes, and a plurality of lower constant potentials provided corresponding to the plurality of individual electrodes and stacked on the upper constant potential electrodes via a second piezoelectric layer. An electrode, a first connection electrode connected to all of the plurality of lower constant potential electrodes, and a second connection electrode connected to all of the plurality of upper constant potential electrodes,
The wiring board is
The plurality of individual electrode connection lands provided corresponding to the plurality of individual electrodes, the first connection land provided corresponding to the first connection electrode, and the second connection electrode For outputting a second connection land, a recording signal input line for inputting a recording signal to the driving IC, and the driving signal generated from the driving IC corresponding to the recording signal to the plurality of individual connection terminals. A plurality of drive signal output lines, a first potential supply line and a second potential supply line for supplying a first potential and a second potential to the drive IC, and a plurality of lower constants connected to the first connection land. A first power supply wiring that applies a first potential to the potential electrode; and a second power supply wiring that is connected to the second connection land and applies a second potential to the plurality of upper constant potential electrodes. ,
On the wiring board, the second potential supply line and the second power supply wiring have at least a common wiring portion, and the first potential supply line and the first power supply wiring have the common wiring portion. The first electric potential supply line and the first power supply wiring are connected to each other, and arranged to be spaced apart from each other.
Droplet discharge head.
前記第一電源配線は、前記配線基板の端縁に沿って配置され、
前記第二電源配線及び第二電位供給線の共通配線部分は、前記第一電源配線と平行してその内側に配置されている、
請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。
The first power supply wiring is disposed along an edge of the wiring board,
The common wiring portion of the second power supply line and the second potential supply line is disposed in parallel to the first power supply line,
The droplet discharge head according to claim 1.
前記第一電位供給線は、前記第二電位供給線と平行してその内側に配置されている、
請求項2に記載の液滴吐出ヘッド。
The first potential supply line is disposed in parallel to the second potential supply line,
The droplet discharge head according to claim 2 .
前記圧電アクチュエータにおいて、
前記複数の個別電極は前記配線基板と接合される面の略中央部に配置され、前記第一接続電極は前記配線基板と接合される面の第一方向に延びる対向する二辺の縁に沿って配置され、前記第二接続電極は前記第一接続電極が設けられた前記第一方向に延びる対向する二辺の縁において前記第一接続電極を前記第一方向の両側から挟むように配置され、
前記配線基板において、
前記第一接続ランドと前記第二接続ランドとは、前記圧電アクチュエータが積層される接続範囲において前記第一接続電極と前記第二接続電極と対応するように前記第一方向に並んで配置されるとともに、前記第一接続ランドは第一電源配線よりも内側に配置されている、
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
In the piezoelectric actuator,
The plurality of individual electrodes are arranged at a substantially central portion of a surface bonded to the wiring board, and the first connection electrode extends along two opposite edges extending in a first direction of the surface bonded to the wiring board. The second connection electrode is arranged so as to sandwich the first connection electrode from both sides in the first direction at the edges of two opposite sides extending in the first direction where the first connection electrode is provided. ,
In the wiring board,
The first connection land and the second connection land are arranged side by side in the first direction so as to correspond to the first connection electrode and the second connection electrode in a connection range where the piezoelectric actuators are stacked. In addition, the first connection land is disposed inside the first power supply wiring,
The droplet discharge head according to any one of claims 1 to 3.
請求項1〜4の何れか一項に記載の液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドに有色液体を供給する液体供給源と、
前記液滴吐出ヘッドを保持するキャリッジと、
前記キャリッジを往復走査可能に支持する本体フレームとを、備えた、
液滴吐出装置。
The liquid droplet ejection head according to any one of claims 1 to 4,
A liquid supply source for supplying a colored liquid to the droplet discharge head;
A carriage for holding the droplet discharge head;
A main body frame that supports the carriage in a reciprocating manner;
Droplet discharge device.
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