JP4955949B2 - 検査方法及び検査装置 - Google Patents
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Description
2 基板
3 バンプ
4 半導体装置
5 ステージ
6 加熱手段
7 測定手段
8 判定手段
Claims (5)
- 電極上に設けたバンプを接合して半導体素子を基板にフリップチップ実装して成る半導体装置の接合部を検査する検査方法であって、半導体素子に電流を流して半導体素子の自己発熱によって半導体素子を加熱するステップと、加熱された半導体素子のバンプ接合面の裏面から放射される赤外線を赤外線撮像素子を介して取り込み、半導体素子の前記裏面の温度分布を測定するステップと、半導体素子で発生した熱がバンプを介して基板へと放熱されることを利用して、測定された温度分布に基づいてバンプの接合状態の良否を判定するステップとを有することを特徴とする検査方法。
- 前記半導体素子に電流を流して半導体素子の自己発熱によって半導体素子を加熱するステップの前に、半導体装置の基板の温度を一定に維持するステップを有することを特徴とする請求項1記載の検査方法。
- 電極上に設けたバンプを接合して半導体素子を基板にフリップチップ実装して成る半導体装置の接合部を検査する検査装置であって、半導体装置の基板を固定するステージと、半導体素子に電流を流して半導体素子の自己発熱によって半導体素子を加熱する加熱手段と、加熱された半導体素子のバンプ接合面の裏面から放射される赤外線を赤外線撮像素子を介して取り込み、半導体素子の前記裏面の温度分布を測定する測定手段と、半導体素子で発生した熱がバンプを介して基板へと放熱されることを利用して、測定された温度分布に基づいてバンプの接合状態の良否を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする検査装置。
- 前記ステージに固定された基板の温度を一定にする恒温手段を備えたことを特徴とする請求項3記載の検査装置。
- 前記測定手段は、赤外線サーモグラフィと、赤外線サーモグラフィの赤外線の入力部に設けられて半導体素子及びバンプの接合部から放射される赤外線の波長のみを通過させるフィルタとを備えたことを特徴とする請求項3又は4記載の検査装置。
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