JP4876812B2 - In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof - Google Patents
In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof Download PDFInfo
- Publication number
- JP4876812B2 JP4876812B2 JP2006252643A JP2006252643A JP4876812B2 JP 4876812 B2 JP4876812 B2 JP 4876812B2 JP 2006252643 A JP2006252643 A JP 2006252643A JP 2006252643 A JP2006252643 A JP 2006252643A JP 4876812 B2 JP4876812 B2 JP 4876812B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- light receiving
- color sensor
- vehicle
- cut filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Lighting Device Outwards From Vehicle And Optical Signal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Description
本発明は、車載用カラーセンサに係り、例えば、車両灯(テールランプ、ヘッドランプ)の検出性能を維持したまま、近赤外域光を使う他のアプリケーションにも適用できる車載用カラーセンサに関する。 The present invention relates to an in-vehicle color sensor, for example, an in-vehicle color sensor that can be applied to other applications using near-infrared light while maintaining detection performance of vehicle lights (tail lamps, head lamps).
夜間走行時に車載撮像装置を用いて車両前方を撮像して先行車のテールランプや対向車のヘッドランプを検出し、自車のヘッドランプのハイビーム/ロービーム状態を切り換える等の配光制御技術がある。このような制御を行うためには、車両灯(テールランプ、ヘッドランプ)と橙色の反射板等の外乱光を感度良く判別する必要がある。 There is a light distribution control technique such as imaging the front of a vehicle using an in-vehicle imaging device during night driving, detecting a tail lamp of a preceding vehicle or a head lamp of an oncoming vehicle, and switching a high beam / low beam state of the head lamp of the own vehicle. In order to perform such control, it is necessary to discriminate ambient light such as vehicle lights (tail lamps, head lamps) and orange reflectors with high sensitivity.
光源の色に着目した判別方法の従来例としては、2色もしくは3色の配色比を検出する技術がある(例えば、特許文献1)。
しかし、判別感度を向上させるためにカラー撮像素子の近赤外分光感度域をカットしているため、雨滴センサ(レインセンサ)や夜間監視用カメラなど近赤外域の分光感度が求められるアプリケーションには応用できなかった。これは、ルームミラー近傍に搭載されるセンサ群の機能集約をし、搭載スペースの節約を図る上での弊害となっている。 However, the near-infrared spectral sensitivity range of the color image sensor has been cut to improve the discrimination sensitivity. For applications that require near-infrared spectral sensitivity, such as raindrop sensors or night surveillance cameras. Could not be applied. This is a detrimental effect in consolidating the functions of the sensor group mounted in the vicinity of the room mirror and saving the mounting space.
また、2色以上の可視域と近赤外域の分光感度を同一撮像素子で得る上での課題がある。汎用カラーフィルタは近赤外域の分光感度を有するため、一般的には別途、近赤外光カットガラスを重ねるか、撮像素子自身の分光感度特性を可視域に限定する設計とするかのいずれかである。いずれにせよ、カラー撮像素子の画素単位で近赤外感度の有/無を付与することには工夫の余地があった。 In addition, there is a problem in obtaining the spectral sensitivity in the visible region and near infrared region of two or more colors with the same image sensor. General-purpose color filters have spectral sensitivity in the near-infrared region. Generally, either a separate infrared-cut glass or a design that limits the spectral sensitivity characteristics of the image sensor itself to the visible region is used. It is. In any case, there is room for improvement in providing the presence / absence of near-infrared sensitivity in units of pixels of the color image sensor.
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、その目的は、可視領域の光のセンシングのみならず近赤外域の光のセンシングにも容易に対応可能な車載用カラーセンサおよびその製造方法を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide an in-vehicle color sensor that can easily accommodate not only visible light sensing but also near-infrared light sensing, and a method for manufacturing the same. It is to provide.
上記の課題を解決するために、請求項1に記載の発明では、基板と、前記基板の上面に多数配列され、紫外域と可視域と近赤外域の光の量に応じた電気信号を出力する受光素子と、隣接する前記受光素子のうちの第1の受光素子の上に、赤色光を選択的に通過させる
赤色フィルタを介して配置された第1の近赤外光カットフィルタと、前記隣接する受光素子のうちの第2の受光素子の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタを介して配置された第2の近赤外光カットフィルタと、前記隣接する受光素子のうちの第3の受光素子の上に配置された可視光カットフィルタと、前記第1の近赤外光カットフィルタ、第2の近赤外光カットフィルタおよび可視光カットフィルタの上に配置された紫外線カットガラス板と、を備え、前記受光素子は、1つの前記第1の受光素子および2つの前記第2の受光素子および1つの前記第3の受光素子の4つの受光素子を基本単位として前記基板の上面に配列されていることを要旨とする。
In order to solve the above-described problems, in the invention described in claim 1, a plurality of substrates are arranged on the upper surface of the substrate, and electrical signals corresponding to the amounts of light in the ultraviolet region, visible region, and near infrared region are output. And a first near-infrared light cut filter disposed on a first light-receiving element of the adjacent light-receiving elements through a red filter that selectively allows red light to pass through, A second near-infrared light cut filter disposed on a second light-receiving element among the adjacent light-receiving elements via a green filter that selectively transmits green light; and A visible light cut filter disposed on the third light receiving element, and an ultraviolet light disposed on the first near infrared light cut filter, the second near infrared light cut filter, and the visible light cut filter. and a cut glass plate, said light receiving element Includes gist that it is arranged on the upper surface of the substrate the four light receiving elements of one of said first light receiving element and the two second light-receiving element and one of said third light-receiving elements as a basic unit To do.
請求項1に記載の発明によれば、可視領域の光が入った場合には、第1の受光素子において赤色光が検出され、第2の受光素子において緑色光が検出される。また、近赤外域の光が入った場合には、第3の受光素子において近赤外域の光が検出される。よって、可視領域の光のセンシングのみならず近赤外域の光のセンシングにも容易に対応可能な車載用カラーセンサを提供することができる。 According to the first aspect of the present invention, when light in the visible region enters, red light is detected by the first light receiving element and green light is detected by the second light receiving element. Further, when near-infrared light enters, the third light receiving element detects near-infrared light. Therefore, it is possible to provide an in-vehicle color sensor that can easily cope with not only visible light sensing but also near infrared light sensing.
請求項2に記載のように、請求項1に記載の車載用カラーセンサにおいて、前記第1の近赤外光カットフィルタおよび第2の近赤外光カットフィルタは、前記紫外線カットガラス板の下面に形成されてなるものとしてもよい。 The in-vehicle color sensor according to claim 1, wherein the first near-infrared light cut filter and the second near-infrared light cut filter are formed on a lower surface of the ultraviolet cut glass plate. It is good also as what is formed.
請求項3に記載のように、請求項2に記載の車載用カラーセンサにおいて、前記基板と前記紫外線カットガラス板との間に可視光硬化型接着剤を介在させてなると、容易に貼り合せを行うことができる。
As described in claim 3, in the on-vehicle color sensor according to
請求項4に記載のように、請求項1に記載の車載用カラーセンサにおいて、前記第1〜第3の受光素子以外の前記基板上に配列された受光素子に、色フィルタもカットフィルタも介さずに前記紫外線カットガラス板を通して光を受光するようにしてなると、可視域と近赤外域の光を検出することができる。 According to a fourth aspect of the present invention, in the on-vehicle color sensor according to the first aspect, the light receiving elements arranged on the substrate other than the first to third light receiving elements are provided with a color filter and a cut filter. If light is received through the ultraviolet cut glass plate, light in the visible region and near infrared region can be detected.
請求項5に記載のように、請求項1または2に記載の車載用カラーセンサにおいて、前記第1の近赤外光カットフィルタおよび前記第2の近赤外光カットフィルタおよび前記可視光カットフィルタは薄膜よりなると、容易に配置することができる。 As set forth in claim 5, claim 1 or in vehicle color sensor according to 2, wherein the first near-infrared light cut filter and the second near-infrared light cut filter and the visible light cut filter If it consists of a thin film, it can arrange | position easily.
請求項6に記載のように、請求項5に記載の車載用カラーセンサの製造方法であって、
基板の上面に第1の受光素子と第2の受光素子と第3の受光素子とを多数配列するとともに、そのうちの第1の受光素子の上に赤色フィルタを、また第2の受光素子の上に緑色フィルタを形成する第1工程と、前記基板上に、前記赤色フィルタおよび緑色フィルタの上を含めてSOG膜を全面に形成する第2工程と、前記SOG膜上に近赤外光カットフィルタ用の薄膜をパターニングするとともに、前記SOG膜上に可視光カットフィルタ用の薄膜をパターニングする第3工程と、を含み、前記第1工程では、1つの前記第1の受光素子および2つの前記第2の受光素子および1つの前記第3の受光素子の4つの受光素子を基本単位として前記基板の上面に配列するものであると、請求項5に記載の車載用カラーセンサを製造することができ、さらに、SOG膜により製造プロセスにおいて赤色フィルタおよび緑色フィルタを薬液から保護することができる。
As described in
A large number of first light receiving elements, second light receiving elements, and third light receiving elements are arranged on the upper surface of the substrate, a red filter is disposed on the first light receiving element, and the second light receiving element is disposed on the second light receiving element. A first step of forming a green filter on the substrate, a second step of forming an SOG film on the entire surface of the substrate including the red filter and the green filter , and a near-infrared light cut filter on the SOG film. with patterned thin films of use, the third step of patterning the thin film for the visible light cut filter on the SOG film, only contains, in the first step, one of the first light receiving element and the two said 6. The on-vehicle color sensor according to claim 5 , wherein the four light receiving elements of the second light receiving element and the one third light receiving element are arranged on the upper surface of the substrate as a basic unit. Can Furthermore, it is possible to a red filter and a green filter to protect against chemical in the production process by SOG film.
請求項7に記載のように、請求項6に記載の車載用カラーセンサの製造方法において、前記第1工程において基板の上面に電極パッドを形成し、第3工程後に、前記電極パッド上の前記SOG膜を除去して電極パッドを露出する第4工程を含むようにすると、電極パッドを備えた車載用カラーセンサを容易に製造できる。 According to a seventh aspect of the present invention, in the on-vehicle color sensor manufacturing method according to the sixth aspect , an electrode pad is formed on the upper surface of the substrate in the first step, and the third step on the electrode pad is formed after the third step. If the fourth step of exposing the electrode pad by removing the SOG film is included, an in-vehicle color sensor including the electrode pad can be easily manufactured.
請求項8に記載のように、請求項6または7に記載の車載用カラーセンサの製造方法において、前記第3工程における近赤外光カットフィルタ用の薄膜は蒸着により形成したり、請求項9に記載のように、請求項6,7,8のいずれか1項に記載の車載用カラーセンサの製造方法において、前記第3工程における可視光カットフィルタ用の薄膜は蒸着により形成するとよい。
As described in
(第1の実施の形態)
以下、本発明を具体化した第1の実施形態を図面に従って説明する。
本実施形態においては車両用ライト制御装置に適用しており、図1には全体の概略構成を示す。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The present embodiment is applied to a vehicle light control device, and FIG.
図1において、車両1のルームミラー2の裏面には車載用カラーセンサ(撮像装置)3が設けられている。この車載用カラーセンサ3により、車両1の進行方向における前方を撮像することができるようになっている。車載用カラーセンサ3はマイクロプロセッサ4に接続され、車載用カラーセンサ3により撮像された撮像データがマイクロプロセッサ4に送られる。マイクロプロセッサ4は当該撮像データから各種の処理を実行して撮像データから先行車のテールランプや対向車のヘッドランプを検出することができるようになっている。
In FIG. 1, an in-vehicle color sensor (imaging device) 3 is provided on the back surface of the
マイクロプロセッサ4にはライト制御用の電子制御装置(ECU)5が接続されている。電子制御装置5にてヘッドランプ6を制御することができる。つまり、電子制御装置5はマイクロプロセッサ4による前方の車両(先行車のテールランプ、対向車のヘッドランプ)の有無に基づいてヘッドランプ6をハイビーム/ロービームに制御するようになっている。
An electronic control unit (ECU) 5 for light control is connected to the
図2は、車載用カラーセンサ3の光学系の構成図である。図2において、レンズ7の焦点位置にカバーガラス付撮像素子8が配置され、車両前方からの光がレンズ7を通してカバーガラス付撮像素子8に集光する。
FIG. 2 is a configuration diagram of an optical system of the in-vehicle color sensor 3. In FIG. 2, an
図3は、車載用カラーセンサ3のカバーガラス付撮像素子8の斜視図である。図3において、車載用カラーセンサ3のカバーガラス付撮像素子8は多数の画素9を有している。
図4(a)は車載用カラーセンサのカバーガラス付撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。図4において、カバーガラスとしての紫外線カットガラス板50およびカットフィルタ40,41,42,43を取り外して撮像素子だけの状態を図5に示し、(a)は車載用カラーセンサの撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。
FIG. 3 is a perspective view of the
4A is a plan view of an image sensor with a cover glass of a vehicle-mounted color sensor, FIG. 4B is a longitudinal sectional view taken along line AA in FIG. 4A, and FIG. It is a longitudinal cross-sectional view in the BB line. In FIG. 4, the ultraviolet
図5においてフィルタ30,31,32を除去した状態を図6に示し、(a)は車載用カラーセンサの撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。
FIG. 6 shows a state in which the
図6において、基板10の上面に、符号20,21,22,23で示すごとく紫外域と可視域と近赤外域の光の量に応じた電気信号を出力する受光素子が縦横に多数配列されている。受光素子(20〜23)にて画素が構成され、各受光素子(20〜23)として、シリコンフォトダイオードを用いている。
In FIG. 6, on the upper surface of the
ここで、隣接する受光素子について、隣接する縦2つ横2つの計4つの受光素子を1ユニット(図4参照)として説明する。つまり、隣接する4つの受光素子は4つの受光素子を1単位として各単位で皆同じ構成である。 Here, regarding the adjacent light receiving elements, a total of four light receiving elements adjacent to each other in two vertical and two horizontal directions will be described as one unit (see FIG. 4). That is, the four adjacent light receiving elements have the same configuration in each unit with the four light receiving elements as one unit.
図5において、受光素子20の上に、赤色光を選択的に通過させる赤色フィルタ30が配置されている。受光素子21の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタ31が形成されている。受光素子22の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタ32が形成されている。
In FIG. 5, a
図4において、基板10の上方には紫外線カットガラス板50が基板10と対向して配置されている。紫外線カットガラス板50の下面には近赤外光カットフィルタ40,41,42および可視光カットフィルタ43が形成されている。近赤外光カットフィルタ40は赤色フィルタ30の上に配置されている。近赤外光カットフィルタ41は緑色フィルタ31の上に配置されている。近赤外光カットフィルタ42は緑色フィルタ32の上に配置されている。可視光カットフィルタ43は受光素子23の上に配置されている。
In FIG. 4, an ultraviolet
このようにして、受光素子20の上に、赤色光を選択的に通過させる赤色フィルタ30を介して近赤外光カットフィルタ40が配置されている。また、受光素子21,22の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタ31,32を介して近赤外光カットフィルタ41,42が配置されている。さらに、受光素子23の上に、可視光カットフィルタ43が配置されている。さらにその上に紫外線カットガラス板50が基板10と対向するように全面に配置されている。
In this way, the near-infrared light cut
よって、車外から入射した光は紫外線カットガラス板50により紫外域の光がカットされ、さらに、近赤外光カットフィルタ40により近赤外域の光がカットされ、赤色フィルタ30を通して赤色光が受光素子20において光電変換される。また、車外から入射した光は紫外線カットガラス板50により紫外域の光がカットされ、さらに、近赤外光カットフィルタ41,42により近赤外域の光がカットされ、緑色フィルタ31,32を通して緑色光が受光素子21,22において光電変換される。さらには、車外から入射した光は紫外線カットガラス板50により紫外域の光がカットされ、可視光カットフィルタ43により可視光がカットされて近赤外光が受光素子23において光電変換される。
Therefore, the light incident from the outside of the vehicle is cut in the ultraviolet region by the ultraviolet
このように、カバーガラス付のカラー撮像素子の基本4ピクセルの画素配置構造が、可視域のレッド(R)と、グリーン(G)と、グリーン(G)と、近赤外域のインフラレッド(IR)となっている。また、カバーガラスとして紫外線カットガラス板50を用いることにより色フィルタ材料が紫外線により劣化するのを防止できる(耐UV性を向上できる)。
As described above, the basic four-pixel arrangement structure of the color imaging element with a cover glass has a visible red (R), green (G), green (G), and near-infrared infrared red (IR). ). Moreover, it can prevent that a color filter material deteriorates with an ultraviolet-ray by using the ultraviolet-ray
このようにして、汎用カラーフィルタを用いる撮像素子においてレッド(R)とグリーン(G)用の画素には付随する近赤外域をカットする必要があり、近赤外(IR)用画素には可視域カットをする必要がある。そのため、紫外線カットガラス板50に近赤外光カットフィルタと可視光カットフィルタを形成し、所望のカラー特性を有するカバーガラス付撮像素子を実現している。
In this way, in an image sensor using a general-purpose color filter, it is necessary to cut the near infrared region associated with red (R) and green (G) pixels, and visible to near infrared (IR) pixels. It is necessary to cut the area. Therefore, a near-infrared light cut filter and a visible light cut filter are formed on the ultraviolet
次に、車両用ライト制御装置の作用について説明する。
今、夜間において図7に示すように橙色の反射板64が設置されている道路を走行し、先行車65および対向車67が在り、テールランプ66およびヘッドランプ68が点灯している。車載用カラーセンサ3により撮像してマイクロプロセッサ4で処理することにより、図8に示すように、赤色光を抽出して先行車のテールランプ66を検出することができ、これにより夜間走行において先行車が在ることを認識できる。
Next, the operation of the vehicle light control device will be described.
Now, at night, as shown in FIG. 7, the vehicle travels on the road where the
つまり、対向車のヘッドランプ68は比較的明るいため認識しやすいが、先行車のテールランプ66は暗いため橙色の反射板64や他の外乱光を他車のテールランプと誤認識しやすいが、本実施形態においてはテールランプが赤色であることを利用して先行車のテールランプと他の光とを識別することができる(テールランプの赤色光と、外乱光である白色や橙色の光とを判別することができる)。
In other words, the
特に、緑色光と赤色光の比をとることにより赤色光か否かをより正確に把握することができる。赤色光については赤色光の出力に比べ緑色光の出力が小さく、それ以外の光、例えば白色光については緑色光の出力と赤色光の出力の比が「1」に近い値をとり、これにより、白色光や反射板からの橙色の光と、先行車のテールランプからの赤色光とを判別することができる。 In particular, by taking the ratio of green light to red light, it is possible to more accurately determine whether the light is red light. For red light, the output of green light is small compared to the output of red light, and for other light, for example white light, the ratio of the output of green light to the output of red light is close to “1”. It is possible to discriminate between white light and orange light from the reflector and red light from the tail lamp of the preceding vehicle.
この結果に基づいて自車のヘッドランプ6を制御する。例えば、夜間において自車の前方に車両(先行車や対向車)が在ると、自車のヘッドランプをロービームにする。
このようにして、先行車65のテールランプ66、対向車67のヘッドランプ68を検出してヘッドランプ6の配光制御が行われる。その機能を有するカラー撮像素子の画素配置構造として、従来例としては可視域の赤(R)、緑(G)、青(B)となっており、近赤外域を有していなかったが、本実施形態においては、基本4ピクセルの配置を可視域の赤(R)、緑(G)、緑(G)、近赤外域(IR)としている。このようにカラーセンサの分光感度を赤(R)、緑(G)、近赤外域(IR)とすることにより、周囲車両のテールランプ、ヘッドランプの検出性能を維持したまま、雨滴センサ(レインセンサ)や夜間監視用カメラなどの近赤外域の分光感度を必要とするアプリケーション群にも適用することができる。夜間監視用カメラとして使用する場合には、自車のヘッドランプから近赤外成分を含んだ光を発して、その反射光を受光してモニター(表示器)に表示させる。あるいは、自車のヘッドランプとは別の投光器から近赤外光を自車の前方に発して、その反射光を受光してモニター(表示器)に表示させる。また、雨滴センサ(レインセンサ)として使用する場合には車室内の投光器から近赤外光をフロントガラスに発してフロントガラスに付いた雨滴からの反射光を受光して雨滴を検出する。このとき、近赤外光を用いることにより夜間であっても雨滴を正確に検出することができる。
Based on this result, the
In this way, the light distribution control of the
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(1)図4に示したように、基板10と、基板10の上面に多数配列され、紫外域と可視域と近赤外域の光の量に応じた電気信号を出力する受光素子(20,21,22,23)と、隣接する受光素子のうちの第1の受光素子20の上に、赤色光を選択的に通過させる赤色フィルタ30を介して配置された第1の近赤外光カットフィルタ40と、隣接する受光素子のうちの第2の受光素子21,22の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタ31,32を介して配置された第2の近赤外光カットフィルタ41,42と、隣接する受光素子のうちの第3の受光素子23の上に配置された可視光カットフィルタ43と、第1の近赤外光カットフィルタ40、第2の近赤外光カットフィルタ41,42および可視光カットフィルタ43の上に配置された紫外線カットガラス板50と、を備えた。これにより、可視領域の光が入った場合には、第1の受光素子20において赤色光が検出され、第2の受光素子21,22において緑色光が検出される。また、近赤外域の光が入った場合には、第3の受光素子23において近赤外域の光が検出される。よって、可視領域の光のセンシングのみならず近赤外域の光のセンシングにも容易に対応可能な車載用カラーセンサを提供することができる。また、小型化を図るとともにカラー撮像素子の画素単位でIR感度の有/無を付与することができる。
(第2の実施の形態)
次に、第2の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(1) As shown in FIG. 4, the
(Second Embodiment)
Next, the second embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment.
図9には、図4に代わる本実施形態における車載用カラーセンサを示し、(a)は車載用カラーセンサのカバーガラス付撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。 FIG. 9 shows an in-vehicle color sensor according to this embodiment instead of FIG. 4, (a) is a plan view of an image sensor with a cover glass of the in-vehicle color sensor, and (b) is an A- It is a longitudinal cross-sectional view in the A line, (c) is a longitudinal cross-sectional view in the BB line of (a).
図9において、紫外線カットガラス板50と基板10(受光素子および色フィルタを形成した基板)が貼り合わされている。基板10と紫外線カットガラス板50との間に可視光硬化型接着剤60が介在されている。つまり、ガラス板50と基板10を貼合せるプロセスにおいては、両者の相対的位置決めの後、速やかに接着硬化する必要があるが、ガラス板に紫外線カットガラス板を使用する場合、紫外線硬化型接着剤が使えないので、可視光硬化型接着剤60を使用する。これにより、容易に貼り合せを行うことができる。
In FIG. 9, an ultraviolet
可視光硬化型接着剤60として、具体的には、東亞合成社製ラックストラックシリーズ(アクリルベース材料の接着剤)を挙げることができる。
(第1の比較例)
次に、第1の比較例を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
Specific examples of the visible light
( First comparative example )
Next, a first comparative example will be described focusing on differences from the first embodiment.
図10には、図4に代わる本比較例における車載用カラーセンサを示し、(a)は車載用カラーセンサのカバーガラス付撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。 FIG. 10 shows an in-vehicle color sensor in this comparative example instead of FIG. 4, (a) is a plan view of an image sensor with a cover glass of the in-vehicle color sensor, and (b) is an A- It is a longitudinal cross-sectional view in the A line, (c) is a longitudinal cross-sectional view in the BB line of (a).
図4に示した第1実施形態においては基本4ピクセルの配置を可視域の赤(R)、緑(G)、緑(G)、近赤外域(IR)としていたが、図10に示す本比較例においては基本4ピクセルの配置を可視域の赤(R)、緑(G)、青(B)、近赤外域(IR)としている。 In the first embodiment shown in FIG. 4, the arrangement of the basic four pixels is red (R), green (G), green (G), and near infrared (IR) in the visible range. In the comparative example , the arrangement of four basic pixels is set to red (R), green (G), blue (B), and near-infrared (IR) in the visible range.
つまり、基板10の上面において隣接する受光素子のうちの受光素子24の上に、青色光を選択的に通過させる青色フィルタ34を形成するとともに、その上に近赤外光カットフィルタ44を配置している。
That is, the
このように、隣接する受光素子のうちの第4の受光素子24の上に、青色光を選択的に通過させる青色フィルタ34を介して配置された第3の近赤外光カットフィルタ44とを、さらに備えた構成としてもよく、これにより、青色を検出することができる。
(第3の実施の形態)
次に、第3の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
In this manner, the third near-infrared light cut
( Third embodiment)
Next, the third embodiment will be described focusing on the differences from the first embodiment.
図11には、図4に代わる本実施形態における車載用カラーセンサを示し、(a)は車載用カラーセンサのカバーガラス付撮像素子の平面図であり、(b)は(a)のA−A線での縦断面図であり、(c)は(a)のB−B線での縦断面図である。 FIG. 11 shows an in-vehicle color sensor according to this embodiment instead of FIG. 4, (a) is a plan view of an image sensor with a cover glass of the in-vehicle color sensor, and (b) is an A- It is a longitudinal cross-sectional view in the A line, (c) is a longitudinal cross-sectional view in the BB line of (a).
図4における可視光カットフィルタ43の配置パターンを変更して、図11においては受光素子25の上には可視光カットフィルタを設けていない。つまり、第1〜第3の受光素子以外の基板10上に配列された受光素子25に、色フィルタもカットフィルタも介さずに紫外線カットガラス板50を通して光を受光するように構成した。
The arrangement pattern of the visible light cut
これにより、受光素子25は紫外線カットガラス板50を通して受光して、紫外域以外の可視域および近赤外域の光の量に応じた信号を出力することになる。つまり、可視域と近赤外域の光を検出することができる。この受光素子25の出力を日射センサとして使用できる。即ち、近赤外域と可視域についての全波長域の分光感度を有する光センサとして利用してオートエアコンシステムに適用できる。
(第4の実施の形態)
次に、第4の実施形態を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
Accordingly, the
( Fourth embodiment)
Next, the fourth embodiment will be described with a focus on differences from the first embodiment.
図12は、本実施形態における車載用カラーセンサのカバーガラス付撮像素子の縦断面図である。
図12において、基板10の上面の受光素子20の上に赤色フィルタ30を介して近赤外光カットフィルタ40が配置されている。また、受光素子21,22の上に緑色フィルタ31,32を介して近赤外光カットフィルタ41,42が配置されている。受光素子23の上に可視光カットフィルタ43が配置されている。近赤外光カットフィルタ40,41,42および可視光カットフィルタ43の上に紫外線カットガラス板50が配置されている。
FIG. 12 is a longitudinal sectional view of the image sensor with a cover glass of the in-vehicle color sensor in the present embodiment.
In FIG. 12, a near-infrared light cut
ここで、基板10上において、受光素子20,21,22,23上には、SOG(Spin On Glass)膜72が形成され、その上に近赤外光カットフィルタ40,41,42および可視光カットフィルタ43が配置されている。近赤外光カットフィルタ40,41,42および可視光カットフィルタ43は薄膜よりなる。また、基板10の上面に電極パッド73が形成されている。
Here, on the
なお、図12においては受光素子20,21,22,23は基板10上において横一列に並べたが、これは説明のためであり、その配置は図4と同じである。
次に、本実施形態における車載用カラーセンサの製造方法を説明する。
In FIG. 12, the
Next, a method for manufacturing an in-vehicle color sensor in the present embodiment will be described.
図13(a)に示すように、基板10の上に受光素子20,21,22,23および電極パッド73を形成するとともに、受光素子20の上に赤色フィルタ30を、また受光素子21,22の上に緑色フィルタ31,32を夫々形成する。
As shown in FIG. 13A, the
そして、図13(b)に示すように、基板10の上にSOG膜72を全面に形成する。さらに、図13(c)に示すように、基板10上のSOG膜72の上にレジスト74を塗布する(全面に形成する)。引き続き、図13(d)に示すように、レジスト74をパターニングして近赤外光カット領域を除去する。
Then, as shown in FIG. 13B, an
そして、図13(e)に示すように、基板10上(レジスト74の上)に近赤外光カットフィルタ用薄膜75を蒸着にて全面に形成する。さらに、図14(a)に示すように、リフトオフにてレジスト74を除去して所定領域に近赤外光カットフィルタ用薄膜75を残す。即ち、受光素子20,21,22上に、近赤外光カットフィルタ用薄膜75を配置する。
Then, as shown in FIG. 13E, a near infrared light cut filter
引き続き、図14(b)に示すように、基板10上(近赤外光カットフィルタ用薄膜75の上)にレジスト76を塗布する(全面に形成する)。そして、図14(c)に示すように、レジスト76をパターニングして可視光カット領域を除去する。さらに、図14(d)に示すように、基板10上(レジスト76の上)に可視光カットフィルタ用薄膜77を蒸着にて全面に形成する。さらに、図15(a)に示すように、リフトオフにて不要領域の可視光カットフィルタ用薄膜77を除去して所定領域に可視光カットフィルタ用薄膜77を残す。即ち、受光素子23上に可視光カットフィルタ用薄膜77を配置する。
Subsequently, as shown in FIG. 14B, a resist 76 is applied on the substrate 10 (on the near infrared light cut filter thin film 75) (formed on the entire surface). Then, as shown in FIG. 14C, the resist 76 is patterned to remove the visible light cut region. Further, as shown in FIG. 14D, a visible light cut filter
続いて、図15(b)に示すように、基板10上(可視光カットフィルタ用薄膜77の上)にレジスト78を塗布する(全面に形成する)。そして、図16に示すように、レジスト78をパターニングして電極パッド配置領域を除去した後に、レジスト78をマスクとしてドライエッチングを行って電極パッド73を露出させる。そして、レジスト78を剥離して除去した後に紫外線カットガラス板50を配置すると、図12に示す車載用カラーセンサが得られる。
Subsequently, as shown in FIG. 15B, a resist 78 is applied on the substrate 10 (on the visible light cut filter thin film 77) (formed on the entire surface). Then, as shown in FIG. 16, after the resist 78 is patterned to remove the electrode pad placement region, dry etching is performed using the resist 78 as a mask to expose the
このような製造工程において、近赤外光カットフィルタ用の薄膜75や可視光カットフィルタ用の薄膜77をフォトプロセスにて形成する際に、SOG膜72を介在させているので、色フィルタ30,31,32が薬液によるダメージを受けない。
In such a manufacturing process, since the
なお、近赤外光カットフィルタの薄膜構成は酸化アルミ膜(Al2O3)を第1層とし、酸化チタン膜(TiO2)とシリコン酸化膜(SiO2)を交互に所定の膜厚で積層してもよい。また、可視光カットフィルタの薄膜構成はシリコン膜(Si)とシリコン酸化膜(SiO2)を交互に積層してもよい。 Note that the thin-film configuration of the near-infrared light cut filter has an aluminum oxide film (Al 2 O 3 ) as the first layer, and a titanium oxide film (TiO 2 ) and a silicon oxide film (SiO 2 ) alternately with a predetermined film thickness. You may laminate. The visible light cut filter may have a thin film configuration in which silicon films (Si) and silicon oxide films (SiO 2 ) are alternately stacked.
上記実施形態によれば、以下のような効果を得ることができる。
(2)図12に示したように、近赤外光カットフィルタ40,41,42および可視光カットフィルタ43は薄膜よりなるので、半導体プロセスにて容易に車載用カラーセンサを製作できる(容易に配置することができる)。
According to the above embodiment, the following effects can be obtained.
(2) As shown in FIG. 12, since the near-infrared light cut filters 40, 41, and 42 and the visible light cut
(3)特に、車載用カラーセンサの製造方法として、図13(a)に示すように、基板10の上面に受光素子(20,21,22,23)を多数配列するとともに、そのうちの第1の受光素子20の上に赤色フィルタ30を、また第2の受光素子21,22の上に緑色フィルタ31,32を形成し(第1工程)、図13(b)に示すように、赤色フィルタ30および緑色フィルタ31,32上を含めた基板10上に、SOG膜72を全面に形成し(第2工程)、図15(a)に示すように、SOG膜72上に近赤外光カットフィルタ用の薄膜75をパターニングするとともに、SOG膜72上に可視光カットフィルタ用の薄膜77をパターニングした(第3工程)。よって、(2)の構造の車載用カラーセンサを製造することができる。また、SOG膜72により製造プロセスにおいて赤色フィルタ30および緑色フィルタ31,32を薬液から保護することができる。
(3) In particular, as a method for manufacturing an in-vehicle color sensor, a number of light receiving elements (20, 21, 22, 23) are arranged on the upper surface of the
(4)ここで、図13(a)に示すように、第1工程において基板10の上面に電極パッド73を形成し、図16に示したように、第3工程後に、電極パッド73上のSOG膜72を除去して電極パッド73を露出する第4工程を含むものであるので、電極パッド73を備えた車載用カラーセンサを容易に製造できる。
(第2の比較例)
次に、第2の比較例を、第1の実施形態との相違点を中心に説明する。
(4) Here, as shown in FIG. 13A, the
( Second comparative example )
Next, a second comparative example will be described focusing on differences from the first embodiment.
図17には本比較例における車載用カラーセンサの撮像素子の縦断面図を示す。
図17の本比較例においては、色フィルタ、カットフィルタおよびカットガラス板を用いないで、カラーセンサの構造で分光感度をもたせている。
FIG. 17 shows a longitudinal sectional view of an image sensor of the in-vehicle color sensor in this comparative example .
In this comparative example of FIG. 17, the spectral sensitivity is given by the structure of the color sensor without using the color filter, the cut filter, and the cut glass plate.
P型シリコン基板90の表層部において深いN型不純物拡散領域91が形成されている。P型シリコン基板90は第1導電型の不純物拡散領域となる第1導電型のシリコン基板であり、本例ではP型が第1導電型であり、N型が第2導電型である。
A deep N-type
P型シリコン基板90におけるN型不純物拡散領域91内での表層部にはN型不純物拡散領域91よりも浅いP型不純物拡散領域92が形成されている。P型シリコン基板90におけるP型不純物拡散領域92内での表層部にはP型不純物拡散領域92よりも浅いN型不純物拡散領域93が形成されている。P型シリコン基板90におけるN型不純物拡散領域93の内部での表層部にはN型不純物拡散領域93よりも浅いP型不純物拡散領域94が形成されている。
A P-type
よって、N型不純物拡散領域91の底面とP型シリコン基板90とのPN接合部よりも浅い位置に、P型不純物拡散領域92の底面とN型不純物拡散領域91とのPN接合部がある。このPN接合部よりも浅い位置に、N型不純物拡散領域93の底面とP型不純物拡散領域92とのPN接合部がある。このPN接合部よりも浅い位置に、P型不純物拡散領域94の底面とN型不純物拡散領域93とのPN接合部がある。
Therefore, there is a PN junction between the bottom of the P-type
P型シリコン基板90とN型不純物拡散領域91との間には電流測定器95が配置されている。N型不純物拡散領域91とP型不純物拡散領域92との間には電流測定器96が配置されている。P型不純物拡散領域92とN型不純物拡散領域93との間には電流測定器97が配置されている。N型不純物拡散領域93とP型不純物拡散領域94との間には電流測定器98が配置されている。
A
そして、P型シリコン基板90の上方から光がP型シリコン基板90に照射される(受光する)。すると、N型不純物拡散領域91の底面とP型シリコン基板90とのPN接合部においてIR光子による電流が流れ、これが第1の電流測定器95にて検出される。P型不純物拡散領域92の底面とN型不純物拡散領域91とのPN接合部において赤色光子による電流が流れ、これが第2の電流測定器96にて検出される。N型不純物拡散領域93の底面とP型不純物拡散領域92とのPN接合部において緑色光子による電流が流れ、これが第3の電流測定器97にて検出される。P型不純物拡散領域94の底面とN型不純物拡散領域93とのPN接合部において青色光子による電流が流れ、これが第4の電流測定器98にて検出される。これにより、必要な分光感度を持たせることができる。
Then, the P-
図17に代わり図18のように、図17でのP型不純物拡散領域94をなくして、近赤外光と赤色光と緑色光を検出するようにしてもよい。
上記比較例によれば、以下のような効果を得ることができる。
As shown in FIG. 18 instead of FIG. 17, the P-type
According to the comparative example , the following effects can be obtained.
(5)P型シリコン基板90の表層部にP型の第1の不純物拡散領域91が形成されるとともに、不純物拡散領域91においてシリコン基板90の表層部に不純物拡散領域91よりも浅いP型の第2の不純物拡散領域92が形成され、さらに、不純物拡散領域92においてシリコン基板90の表層部に不純物拡散領域92よりも浅いN型の第3の不純物拡散領域93が形成され、不純物拡散領域91の底面とシリコン基板90との界面にて近赤外光を光電変換するための最も深い第1のPN接合部が形成されるとともに、不純物拡散領域92の底面と不純物拡散領域91との界面にて赤色光を光電変換するための2番目に深い第2のPN接合部が形成され、不純物拡散領域93の底面と不純物拡散領域92との界面にて緑色光を光電変換するための3番目に深い第3のPN接合部が形成されてなる。これにより、可視領域の光が入った場合には、第2のPN接合部において赤色光が検出され、第3のPN接合部において緑色光が検出される。また、近赤外域の光が入った場合には、第1のPN接合部において近赤外域の光が検出される。よって、可視領域の光のセンシングのみならず近赤外域の光のセンシングにも容易に対応可能な車載用カラーセンサを提供することができる。
(5) A P-type first
(6)ここで、図17に示すように、第3の不純物拡散領域93においてシリコン基板90の表層部に不純物拡散領域93よりも浅いP型の第4の不純物拡散領域94が、さらに形成され、不純物拡散領域94の底面と不純物拡散領域93との界面にて青色光を光電変換するための最も浅い第4のPN接合部が形成されているので、青色光を検出することができる。
(6) Here, as shown in FIG. 17, a P-type fourth
なお、前記実施形態は以下のように変更してもよい。
基本4ピクセルで可視域の赤(R)、緑(G)、緑(G)、近赤外域(IR)としたり、基本4ピクセルで可視域の赤(R)、緑(G)、青(B)、近赤外域(IR)としたが、これに限ることなく、基本3ピクセルで可視域の赤(R)、緑(G)、近赤外域(IR)としてもよい。
In addition, you may change the said embodiment as follows.
Basic 4 pixels are visible red (R), green (G), green (G), near infrared (IR), and basic 4 pixels are visible red (R), green (G), blue ( B) The near infrared region (IR) is used. However, the present invention is not limited to this, and red (R), green (G), and near infrared region (IR) in the visible region may be formed with three basic pixels.
また、上述したように車載用カラーセンサはライト制御装置や雨滴センサ(夜間監視用カメラ)などについて述べたが、これに限らず、他の、可視領域の光をセンシングするシステムと近赤外域の光をセンシングするシステムに適用してもよい。 In addition, as described above, the on-vehicle color sensor has been described with respect to the light control device, the raindrop sensor (night monitoring camera), etc., but is not limited thereto, and other systems for sensing light in the visible region and the near infrared region. You may apply to the system which senses light.
10…基板、20…受光素子、21…受光素子、22…受光素子、23…受光素子、24…受光素子、25…受光素子、30…赤色フィルタ、31…緑色フィルタ、32…緑色フィルタ、34…青色フィルタ、40…近赤外光カットフィルタ、41…近赤外光カットフィルタ、42…近赤外光カットフィルタ、43…可視光カットフィルタ、44…近赤外光カットフィルタ、50…紫外線カットガラス板、60…可視光硬化型接着剤、72…SOG膜、73…電極パッド、75…近赤外光カットフィルタ用薄膜、77…可視光カットフィルタ用薄膜、90…P型シリコン基板、91…N型不純物拡散領域、92…P型不純物拡散領域、93…N型不純物拡散領域、94…P型不純物拡散領域。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記基板(10)の上面に多数配列され、紫外域と可視域と近赤外域の光の量に応じた電気信号を出力する受光素子(20,21,22,23)と、
隣接する前記受光素子のうちの第1の受光素子(20)の上に、赤色光を選択的に通過させる赤色フィルタ(30)を介して配置された第1の近赤外光カットフィルタ(40)と、
前記隣接する受光素子のうちの第2の受光素子(21,22)の上に、緑色光を選択的に通過させる緑色フィルタ(31,32)を介して配置された第2の近赤外光カットフィルタ(41,42)と、
前記隣接する受光素子のうちの第3の受光素子(23)の上に配置された可視光カットフィルタ(43)と、
前記第1の近赤外光カットフィルタ(40)、第2の近赤外光カットフィルタ(41,42)および可視光カットフィルタ(43)の上に配置された紫外線カットガラス板(50)と、
を備え、前記受光素子は、1つの前記第1の受光素子(20)および2つの前記第2の受光素子(21,22)および1つの前記第3の受光素子(23)の4つの受光素子を基本単位として前記基板(10)の上面に配列されていることを特徴とする車載用カラーセンサ。 A substrate (10);
A plurality of light receiving elements (20, 21, 22, 23) that are arranged on the upper surface of the substrate (10) and output an electrical signal corresponding to the amount of light in the ultraviolet region, visible region, and near infrared region;
A first near-infrared light cut filter (40) disposed on a first light receiving element (20) of the adjacent light receiving elements via a red filter (30) that selectively allows red light to pass therethrough. )When,
Second near-infrared light disposed on the second light-receiving element (21, 22) of the adjacent light-receiving elements via a green filter (31, 32) that selectively transmits green light. A cut filter (41, 42);
A visible light cut filter (43) disposed on a third light receiving element (23) of the adjacent light receiving elements;
An ultraviolet cut glass plate (50) disposed on the first near infrared light cut filter (40), the second near infrared light cut filter (41, 42) and the visible light cut filter (43); ,
The light receiving elements include four light receiving elements including one first light receiving element (20), two second light receiving elements (21, 22), and one third light receiving element (23). An in-vehicle color sensor , wherein the base unit is arranged on the upper surface of the substrate (10) .
前記第1の近赤外光カットフィルタ(40)および第2の近赤外光カットフィルタ(41,42)は、前記紫外線カットガラス板(50)の下面に形成されてなる
車載用カラーセンサ。 The in-vehicle color sensor according to claim 1,
The first near-infrared light cut filter (40) and the second near-infrared light cut filter (41, 42) are on-vehicle color sensors formed on the lower surface of the ultraviolet cut glass plate (50).
前記基板(10)と前記紫外線カットガラス板(50)との間に可視光硬化型接着剤(60)を介在させてなる
車載用カラーセンサ。 The in-vehicle color sensor according to claim 2,
A vehicle-mounted color sensor in which a visible light curable adhesive (60) is interposed between the substrate (10) and the ultraviolet cut glass plate (50).
前記第1〜第3の受光素子以外の前記基板(10)上に配列された受光素子(25)に、色フィルタもカットフィルタも介さずに前記紫外線カットガラス板(50)を通して光を受光するようにしてなる
車載用カラーセンサ。 The in-vehicle color sensor according to claim 1,
The light receiving elements (25) arranged on the substrate (10) other than the first to third light receiving elements receive light through the ultraviolet cut glass plate (50) without passing through color filters or cut filters. An in-vehicle color sensor.
前記第1の近赤外光カットフィルタ(40)および前記第2の近赤外光カットフィルタ(41,42)および前記可視光カットフィルタ(43)は薄膜よりなる
車載用カラーセンサ。 The in-vehicle color sensor according to claim 1 or 2,
The first near-infrared light cut filter (40), the second near-infrared light cut filter (41, 42), and the visible light cut filter (43) are in-vehicle color sensors made of a thin film.
基板(10)の上面に第1の受光素子(20)と第2の受光素子(21,22)と第3の受光素子(23)とを多数配列するとともに、そのうちの第1の受光素子(20)の上に赤色フィルタ(30)を、また第2の受光素子(21,22)の上に緑色フィルタ(31,32)を形成する第1工程と、
前記基板(10)上に、前記赤色フィルタ(30)および緑色フィルタ(31,32)の上を含めてSOG膜(72)を全面に形成する第2工程と、
前記SOG膜(72)上に近赤外光カットフィルタ用の薄膜(75)をパターニングするとともに、前記SOG膜(72)上に可視光カットフィルタ用の薄膜(77)をパターニングする第3工程と、
を含み、前記第1工程では、1つの前記第1の受光素子(20)および2つの前記第2の受光素子(21,22)および1つの前記第3の受光素子(23)の4つの受光素子を基本単位として前記基板(10)の上面に配列することを特徴とする車載用カラーセンサの製造方法。 It is a manufacturing method of the color sensor for vehicles according to claim 5 ,
A large number of first light receiving elements (20), second light receiving elements (21, 22) and third light receiving elements (23) are arranged on the upper surface of the substrate (10), and the first light receiving elements ( A first step of forming a red filter (30) on 20) and a green filter (31, 32) on the second light receiving element (21, 22);
A second step of forming an SOG film (72) on the entire surface of the substrate (10) including the red filter (30) and the green filter (31, 32);
A third step of patterning a thin film (75) for a near-infrared light cut filter on the SOG film (72) and patterning a thin film (77) for a visible light cut filter on the SOG film (72); ,
Only contains, in the first step, one of the first light receiving element (20) and two of said second light receiving element (21, 22) and one of the third light receiving element 4 (23) A method for manufacturing an in-vehicle color sensor, wherein light receiving elements are arranged as basic units on the upper surface of the substrate (10) .
前記第1工程において基板(10)の上面に電極パッド(73)を形成し、第3工程後に、前記電極パッド(73)上の前記SOG膜(72)を除去して電極パッド(73)を露出する第4工程を含む
車載用カラーセンサの製造方法。 In the manufacturing method of the in-vehicle color sensor according to claim 6 ,
In the first step, an electrode pad (73) is formed on the upper surface of the substrate ( 10 ). After the third step, the SOG film (72) on the electrode pad (73) is removed to remove the electrode pad (73). A method for manufacturing an in-vehicle color sensor including the exposed fourth step.
前記第3工程における近赤外光カットフィルタ用の薄膜(75)は蒸着により形成してなる
車載用カラーセンサの製造方法。 In the manufacturing method of the in-vehicle color sensor according to claim 6 or 7 ,
A thin film (75) for a near-infrared light cut filter in the third step is a method for manufacturing an on-vehicle color sensor formed by vapor deposition.
前記第3工程における可視光カットフィルタ用の薄膜(77)は蒸着により形成してなる
車載用カラーセンサの製造方法。 In the manufacturing method of the vehicle-mounted color sensor of any one of Claim 6 , 7 , 8 ,
The method for manufacturing an in-vehicle color sensor, wherein the visible light cut filter thin film (77) in the third step is formed by vapor deposition.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006252643A JP4876812B2 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof |
US11/889,534 US20080067330A1 (en) | 2006-09-19 | 2007-08-14 | Color sensor for vehicle and method for manufacturing the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006252643A JP4876812B2 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008076084A JP2008076084A (en) | 2008-04-03 |
JP4876812B2 true JP4876812B2 (en) | 2012-02-15 |
Family
ID=39348332
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006252643A Expired - Fee Related JP4876812B2 (en) | 2006-09-19 | 2006-09-19 | In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4876812B2 (en) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102124392A (en) | 2008-08-19 | 2011-07-13 | 罗姆股份有限公司 | Camera |
JP4647004B2 (en) * | 2008-11-25 | 2011-03-09 | シャープ株式会社 | Photodetection semiconductor device and mobile device |
JP5368369B2 (en) * | 2010-04-28 | 2013-12-18 | 株式会社デンソー | In-vehicle imaging device and in-vehicle image processing device |
JP6003396B2 (en) * | 2012-08-23 | 2016-10-05 | マツダ株式会社 | Imaging device, in-vehicle monitoring device, and object detection method |
JP6011409B2 (en) * | 2012-09-18 | 2016-10-19 | 株式会社デンソー | Image sensor |
US8975594B2 (en) * | 2012-11-09 | 2015-03-10 | Ge Aviation Systems Llc | Mixed-material multispectral staring array sensor |
JP2014103347A (en) * | 2012-11-22 | 2014-06-05 | Sharp Corp | Light receiving element |
JP6160167B2 (en) * | 2013-03-28 | 2017-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | Spectroscopic sensor and manufacturing method thereof |
JP6517519B2 (en) * | 2015-01-26 | 2019-05-22 | 株式会社小糸製作所 | Vehicle detection device |
JP6355862B2 (en) * | 2016-05-19 | 2018-07-11 | 三菱電機株式会社 | Solid-state imaging device and image sensor |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2864040B2 (en) * | 1990-04-24 | 1999-03-03 | アマノ株式会社 | Scheduling time clock |
JPH06205159A (en) * | 1993-01-01 | 1994-07-22 | Canon Inc | Picture reader |
JP3078458B2 (en) * | 1993-10-22 | 2000-08-21 | キヤノン株式会社 | Image sensor filter, image sensor and image information processing device |
JP2005026314A (en) * | 2003-06-30 | 2005-01-27 | Sanyo Electric Co Ltd | Method of manufacturing solid-state imaging device |
DE10335190A1 (en) * | 2003-07-30 | 2005-03-03 | Daimlerchrysler Ag | Sensor arrangement with a plurality of types of optical sensors |
DE502005003754D1 (en) * | 2004-05-25 | 2008-05-29 | Vdo Automotive Ag | MONITORING UNIT NEBST ASSISTANCE SYSTEM FOR MOTOR VEHICLES |
-
2006
- 2006-09-19 JP JP2006252643A patent/JP4876812B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008076084A (en) | 2008-04-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4876812B2 (en) | In-vehicle color sensor and manufacturing method thereof | |
US9944293B2 (en) | Object detection apparatus, moving body device control system and program thereof | |
CN103221805B (en) | The raindrop on glass pane are detected by means of video camera and illuminator | |
US9706177B2 (en) | Image processing system, vehicle including the same, image processing method, and computer program product | |
JP2013031054A (en) | Image pickup device and object detection device incorporating the same and optical filter and manufacturing method thereof | |
US9470791B2 (en) | Light guide member having a curvatured detection face, object detection apparatus, and vehicle | |
JP2013190416A (en) | Deposit detection device and in-vehicle equipment controller including the same | |
JP7303884B2 (en) | Vehicle window with anisotropic optical sensor | |
JP5936098B2 (en) | Imaging apparatus, object detection apparatus including the same, and optical filter | |
US9494685B2 (en) | Light guide member, object detection apparatus, and vehicle | |
JP5656131B2 (en) | Imaging unit and installation method thereof | |
JP5858327B2 (en) | IMAGING DEVICE, OBJECT DETECTION DEVICE HAVING THE SAME, AND POLARIZING FILTER | |
EP2919156A2 (en) | Image processing apparatus, vehicle-mounted device control system, method of image processing, image processsing programm, and carrier medium | |
WO2020218074A1 (en) | Image capturing system and image capturing element | |
JP2013095315A (en) | Inside rear view mirror device with built-in imaging device, and vehicle equipped with the same | |
JP2015031564A (en) | Deposit detection device, and equipment control system for transfer device | |
JP2016146583A (en) | Imaging device, mobile apparatus control system and program | |
JP6701542B2 (en) | Detection device, mobile device control system, and detection program | |
JP5845820B2 (en) | Imaging unit and vehicle equipped with the same | |
JP2005233726A (en) | Illuminance detector | |
JP2007300054A (en) | Vehicle-mounted vehicle recognition device | |
US8354700B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing an image sensor | |
JP2015169567A (en) | Deposit detection device, mobile device control system, and deposit detection program |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110322 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111101 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111114 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4876812 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141209 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |