JP4862259B2 - Resistive paste and multilayer wiring board - Google Patents

Resistive paste and multilayer wiring board Download PDF

Info

Publication number
JP4862259B2
JP4862259B2 JP2004354674A JP2004354674A JP4862259B2 JP 4862259 B2 JP4862259 B2 JP 4862259B2 JP 2004354674 A JP2004354674 A JP 2004354674A JP 2004354674 A JP2004354674 A JP 2004354674A JP 4862259 B2 JP4862259 B2 JP 4862259B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
norbornene
resistor
resin
resistance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2004354674A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2006164755A (en
Inventor
賢也 橘
均 川口
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Bakelite Co Ltd filed Critical Sumitomo Bakelite Co Ltd
Priority to JP2004354674A priority Critical patent/JP4862259B2/en
Publication of JP2006164755A publication Critical patent/JP2006164755A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4862259B2 publication Critical patent/JP4862259B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Description

本発明は、抵抗ペーストおよび多層配線板に関する。   The present invention relates to a resistance paste and a multilayer wiring board.

電子機器の小型化や回路の高速化に対応するため、従来、電子基板に搭載されていた抵抗体は、高性能化され、電子基板に内蔵される構造となってきている(例えば、特許文献1参照。)。   In order to cope with the downsizing of electronic devices and the speeding up of circuits, the resistor mounted on the electronic substrate has been improved in performance and has a structure built into the electronic substrate (for example, Patent Documents). 1).

従来、プリント配線板に抵抗体を形成する方法としては、銀、銅およびカーボンなどの導電性粉末を用い、それに、熱硬化性樹脂および溶剤を加えてペースト状に混合した抵抗ペーストを、塗布又は印刷する方法が、一般的に知られている。   Conventionally, as a method of forming a resistor on a printed wiring board, a conductive paste such as silver, copper and carbon is used, and a resistance paste mixed with a thermosetting resin and a solvent in a paste form is applied or applied. A method of printing is generally known.

さらに、従来の抵抗ペーストは、一般的に、特定の構造および平均分子量等を有するエポキシ樹脂およびフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂、導電粉、有機溶剤および添加剤等を混合し混練して製造している。(例えば、特許文献2参照。)。   Furthermore, conventional resistance pastes are generally manufactured by mixing and kneading thermosetting resins such as epoxy resins and phenol resins having a specific structure and average molecular weight, conductive powders, organic solvents, and additives. ing. (For example, refer to Patent Document 2).

特開平7−335403号公報JP 7-335403 A 特開平5−175004号公報JP-A-5-175004

しかしながら、特定の構造および平均分子量等を有するエポキシ樹脂およびフェノール樹脂等の熱硬化性樹脂を含む抵抗ペーストは、印刷形成後の加熱硬化において、例えば、通常行われる150〜250℃の温度で30〜60分間程度の硬化時間では、硬化促進剤を使用しても熱硬化性樹脂の未反応基が残存してしまい、そのため、配線板のはんだ耐熱試験、煮沸試験等の試験工程により、抵抗変化率の値が大きく変化するという欠点が生じる。この対策として、酸性又はアルカリ性の強い硬化促進剤の使用及びその量の増量と、硬化温度を高くして硬化時間を長くするという方法があるが、この方法でも十分な効果が得られるものではなかった。   However, a resistance paste including a thermosetting resin such as an epoxy resin and a phenol resin having a specific structure and an average molecular weight is, for example, 30- In the curing time of about 60 minutes, unreacted groups of the thermosetting resin remain even when a curing accelerator is used. Therefore, the resistance change rate is determined by a test process such as a solder heat resistance test or a boiling test of a wiring board. There is a disadvantage that the value of fluctuates greatly. As a countermeasure, there is a method of increasing the curing time by using a highly acidic or alkaline curing accelerator and increasing the amount thereof, but this method does not provide a sufficient effect. It was.

本発明は、はんだ耐熱試験、煮沸試験等による抵抗変化率の値の変化が小さく、信頼性に優れた抵抗ペーストを提供することである。
また、本発明は、はんだ耐熱試験、煮沸試験等による抵抗変化率の値の変化が小さく、信頼性に優れた抵抗体を提供することである。
また、電気特性の安定性および信頼性が良好な多層配線板を提供できる。
An object of the present invention is to provide a resistance paste having a small change in resistance change rate due to a solder heat resistance test, a boiling test or the like, and having excellent reliability.
Another object of the present invention is to provide a resistor having a small change in resistance change rate due to a solder heat resistance test, a boiling test or the like, and having excellent reliability.
In addition, it is possible to provide a multilayer wiring board with good stability and reliability of electrical characteristics.

このような目的は、下記(1)〜()記載の本発明により達成される。
(1)下記化学式(1)で表されるブチル基を有するノルボルネンと下記化学式(2)で表されるトリエトシキシシリル基を有するノルボルネンとからなるポリノルボルネン樹脂の共重合体である環状オレフィン系樹脂中に、5nm以上25μm以下の粒径を有する導電性粒子と、無機フィラーとして5nm以上25μm以下の粒径を有するシリカフィラーとを分散させてなる抵抗ペースト。

Figure 0004862259
Figure 0004862259
(2)前記導電性粒子は、炭素材料粉末および/または金属粉末である第(1)項に記載の抵抗ペースト。
(3)前記導電性粒子は、カーボンブラックである第(1)項または第(2)項に記載の抵抗ペースト。
)前記ポリノルボルネン樹脂の共重合体は、ブチル基を有するノルボルネン90mol%とトリエトシキシシリル基を有するノルボルネン10mol%とからなる第(1)項ないし第(3)項のいずれかに記載の抵抗ペースト。
)前記抵抗ペーストは、0.1Pa・s以上100Pa・s以下の粘度を有するものである第(1)項ないし第(4)項のいずれかに記載の抵抗ペースト。
)第(1)項ないし第(5)項のいずれかに記載の抵抗ペーストで構成される抵抗体を内蔵した多層配線板。
Such an object is achieved by the present invention described in the following (1) to ( 6 ).
(1) Cyclic olefin type which is a copolymer of polynorbornene resin composed of norbornene having a butyl group represented by the following chemical formula (1) and norbornene having a triethoxysilyl group represented by the following chemical formula (2) A resistance paste obtained by dispersing conductive particles having a particle diameter of 5 nm to 25 μm and silica filler having a particle diameter of 5 nm to 25 μm as an inorganic filler in a resin.
Figure 0004862259
Figure 0004862259
(2) The resistance paste according to item (1), wherein the conductive particles are carbon material powder and / or metal powder.
(3) The resistance paste according to (1) or (2), wherein the conductive particles are carbon black.
( 4 ) The copolymer of polynorbornene resin according to any one of items (1) to (3), comprising 90 mol% of norbornene having a butyl group and 10 mol% of norbornene having a triethoxysilyl group. Resistance paste.
( 5 ) The resistive paste according to any one of (1) to (4) , wherein the resistive paste has a viscosity of 0.1 Pa · s to 100 Pa · s.
( 6 ) A multilayer wiring board incorporating a resistor composed of the resistor paste according to any one of (1) to (5) .

本発明によれば、はんだ耐熱試験、煮沸試験等による抵抗変化率の値の変化が小さく信頼性に優れた抵抗ペーストを提供することができる。
また、本発明は、はんだ耐熱試験、煮沸試験等による抵抗変化率の値の変化が小さく、信頼性に優れた抵抗体を提供することができる
また、本発明は、前記抵抗体を内蔵することにより、多層配線板の製造工程における熱履歴による抵抗変化を小さくできることから初期設定どおりの抵抗体を有する電気特性の安定性および信頼性が良好な多層配線板を提供できる。
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the resistance paste with the small change of the value of resistance change by a solder heat test, a boiling test, etc. can be provided, and it was excellent in reliability.
In addition, the present invention can provide a resistor having a small change in resistance change rate due to a solder heat resistance test, a boiling test, etc., and excellent in reliability. Also, the present invention incorporates the resistor. As a result, the resistance change due to the thermal history in the manufacturing process of the multilayer wiring board can be reduced, so that it is possible to provide a multilayer wiring board having excellent stability and reliability of electrical characteristics having a resistor as initially set.

本発明は、環状オレフィン系樹脂中に、導電性粒子を分散させてなる抵抗ペーストである。本発明において、バインダー樹脂として、環状オレフィン系樹脂を用いることにより、耐熱性・吸湿性・信頼性に優れた抵抗ペーストを得ることができる。   The present invention is a resistance paste in which conductive particles are dispersed in a cyclic olefin-based resin. In the present invention, by using a cyclic olefin resin as the binder resin, a resistance paste excellent in heat resistance, hygroscopicity, and reliability can be obtained.

本発明に用いる環状オレフィン樹脂としては、例えば、シクロヘキセン、シクロオクテン等の単環体、ノルボルネン、ノルボルナジエン、ジシクロペンタジエン、ジヒドロジシクロペンタジエン、テトラシクロドデセン、トリシクロペンタジエン、ジヒドロトリシクロペンタジエン、テトラシクロペンタジエン、ジヒドロテトラシクロペンタジエン等の多環体、これらのモノマーに官能基が結合した置換体などの環状オレフィンモノマーの重合体を挙げることができる。   Examples of the cyclic olefin resin used in the present invention include monocyclic compounds such as cyclohexene and cyclooctene, norbornene, norbornadiene, dicyclopentadiene, dihydrodicyclopentadiene, tetracyclododecene, tricyclopentadiene, dihydrotricyclopentadiene, tetra Examples thereof include polymers of cyclic olefin monomers such as polycyclic compounds such as cyclopentadiene and dihydrotetracyclopentadiene, and substituted products in which a functional group is bonded to these monomers.

このような環状オレフィンモノマーの重合体には、例えば、環状オレフィンモノマーの(共)重合体、環状オレフィンモノマ−とα−オレフィン類等の共重合可能な他のモノマ−との共重合体、およびこれらの共重合体の水素添加物等が挙げられる。これらの公知の重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体、交互共重合体等が挙げられる。これら環状オレフィン系樹脂は、公知の重合法により製造することが可能であり、その重合方法には付加重合法と開環重合法とが挙げられる。前記環状オレフィン系樹脂の中でも、一般に、ノルボルネン系樹脂は、その主鎖骨格が脂環構造であるため低吸湿性を有する。   Such polymers of cyclic olefin monomers include, for example, (co) polymers of cyclic olefin monomers, copolymers of cyclic olefin monomers and other monomers capable of copolymerization such as α-olefins, and the like. Examples thereof include hydrogenated products of these copolymers. Examples of these known polymers include random copolymers, block copolymers, and alternating copolymers. These cyclic olefin-based resins can be produced by a known polymerization method, and examples of the polymerization method include an addition polymerization method and a ring-opening polymerization method. Among the cyclic olefin-based resins, generally, norbornene-based resins have low hygroscopicity because their main chain skeleton has an alicyclic structure.

環状オレフィン系樹脂の付加重合体としては、例えば、(1)ノルボルネン系モノマーを付加(共)重合して得られるノルボルネン型モノマーの付加(共)重合体、(2)ノルボルネン系モノマーとエチレンやα−オレフィン類との付加共重合体、(3)ノルボルネン系モノマーと非共役ジエン、および必要に応じて他のモノマーとの付加共重合体が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。このうち、ノルボルネン系モノマーを重合(特に、付加(共)重合)することによって得られたポリマーが好ましいが、本発明はなんらこれに限定されるものではない。   Examples of addition polymers of cyclic olefin resins include (1) addition (co) polymers of norbornene monomers obtained by addition (co) polymerization of norbornene monomers, (2) norbornene monomers and ethylene or α -Addition copolymers with olefins, (3) addition copolymers with norbornene monomers and nonconjugated dienes, and other monomers as required. These resins can be obtained by all known polymerization methods. Among these, polymers obtained by polymerizing norbornene-based monomers (particularly addition (co) polymerization) are preferred, but the present invention is not limited thereto.

このような環状オレフィン系樹脂の付加重合体は、金属触媒による配位重合またはラジカル重合によって得られる。このうち、配位重合においては、モノマーを、遷移金属触媒存在下、溶液中で重合することによってポリマーが得られる(NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science:part B,Polymer Physics, Vol.37, 3003−3010(1999))。
配位重合に用いる金属触媒として代表的なニッケルと白金触媒は、PCT WO 9733198とPCT WO 00/20472に述べられている。配位重合用金属触媒の例としては、(トルエン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(メシレン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、(ベンゼン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(テトラヒドロ)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(エチルアセテート)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル、ビス(ジオキサン)ビス(パーフルオロフェニル)ニッケル等の公知の金属触媒が挙げられる。
Such an addition polymer of a cyclic olefin resin is obtained by coordination polymerization or radical polymerization using a metal catalyst. Among them, in coordination polymerization, a polymer is obtained by polymerizing monomers in a solution in the presence of a transition metal catalyst (NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science: part B, Polymer Physics, Vol. 1). 37, 3003-3010 (1999)).
Representative nickel and platinum catalysts as metal catalysts for coordination polymerization are described in PCT WO 9733198 and PCT WO 00/20472. Examples of metal catalysts for coordination polymerization include (toluene) bis (perfluorophenyl) nickel, (mesylene) bis (perfluorophenyl) nickel, (benzene) bis (perfluorophenyl) nickel, bis (tetrahydro) bis ( Known metal catalysts such as perfluorophenyl) nickel, bis (ethyl acetate) bis (perfluorophenyl) nickel, and bis (dioxane) bis (perfluorophenyl) nickel may be mentioned.

また、ラジカル重合技術については、Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons,13,708(1998)に述べられている。
一般的にはラジカル重合はラジカル開始剤の存在下、温度を50℃〜150℃に上げ、モノマーを溶液中で反応させる。ラジカル開始剤としてはアゾビスイソブチロニトリル(AIBN)、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウリル、アゾビスイソカプトロニトリル、アゾビスイソレロニトリル、t−ブチル過酸化水素等である。
The radical polymerization technique is described in Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons, 13, 708 (1998).
Generally, in radical polymerization, the temperature is raised to 50 ° C. to 150 ° C. in the presence of a radical initiator, and the monomer is reacted in a solution. Examples of the radical initiator include azobisisobutyronitrile (AIBN), benzoyl peroxide, lauryl peroxide, azobisisocapronitrile, azobisisoleronitrile, t-butyl hydrogen peroxide, and the like.

環状オレフィン系樹脂の開環重合体としては、例えば、(4)ノルボルネン系モノマーの開環(共)重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(5)ノルボルネン系モノマーとエチレンやα−オレフィン類との開環共重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂、(6)ノルボルネン系モノマーと非共役ジエン、または他のモノマーとの開環共重合体、および必要に応じて該(共)重合体を水素添加した樹脂が挙げられる。これらの樹脂は公知のすべての重合方法で得ることができる。   Examples of the ring-opening polymer of the cyclic olefin resin include, for example, (4) a ring-opening (co) polymer of a norbornene-based monomer, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary, (5) norbornene A ring-opening copolymer of an ethylene monomer and ethylene or α-olefins, and a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary, (6) a norbornene monomer and a non-conjugated diene, or another monomer And a resin obtained by hydrogenating the (co) polymer if necessary. These resins can be obtained by all known polymerization methods.

このような環状オレフィン系樹脂の開環重合体は、公知の開環重合法により、チタンやタングステン化合物を触媒として、少なくとも一種以上のノルボルネン系モノマ−を開環(共)重合して開環(共)重合体を製造し、次いで、必要に応じて、通常の水素添加方法により、前記開環(共)重合体中の炭素−炭素二重結合を水素添加して、熱可塑性飽和ノルボルネン系樹脂を製造することによって得られる。   Such a ring-opening polymer of a cyclic olefin resin is formed by ring-opening (co) polymerizing at least one or more norbornene monomers using a known ring-opening polymerization method using titanium or a tungsten compound as a catalyst. A co-polymer is produced, and then, if necessary, a carbon-carbon double bond in the ring-opened (co) polymer is hydrogenated by a conventional hydrogenation method to obtain a thermoplastic saturated norbornene resin. It is obtained by manufacturing.

前記付加重合および開環重合に用いる重合溶媒としては、炭化水素や芳香族溶媒が挙げられる。炭化水素溶媒の例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタンやシクロヘキサンなどであるがこれに限定されない。芳香族溶媒の例としては、ベンゼン、トルエン、キシレンやメシチレンなどであるがこれに限定されない。ジエチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチルアセテート、エステル、ラクトン、ケトンやアミドも使用できる。これら溶剤を単独や混合しても重合溶媒として使用できる。   Examples of the polymerization solvent used for the addition polymerization and ring-opening polymerization include hydrocarbons and aromatic solvents. Examples of the hydrocarbon solvent include pentane, hexane, heptane, and cyclohexane, but are not limited thereto. Examples of the aromatic solvent include, but are not limited to, benzene, toluene, xylene and mesitylene. Diethyl ether, tetrahydrofuran, ethyl acetate, esters, lactones, ketones and amides can also be used. These solvents can be used alone or as a polymerization solvent.

本発明における環状オレフィン系樹脂の分子量は、開始剤とモノマーの比を変えたり、重合時間を変えたりすることにより制御することができる。上記の配位重合が用いられる場合、米国特許No.6,136,499に開示されるように、分子量を連鎖移動触媒の使用により制御することができる。この発明においては、エチレン、プロピレン、1−ヘキサン、1−デセンや4−メチル−1−ペンテン、などα−オレフィンが分子量制御するのに適当である。   The molecular weight of the cyclic olefin resin in the present invention can be controlled by changing the ratio of the initiator and the monomer or changing the polymerization time. When the above coordination polymerization is used, US Pat. As disclosed in US Pat. No. 6,136,499, the molecular weight can be controlled through the use of a chain transfer catalyst. In the present invention, α-olefins such as ethylene, propylene, 1-hexane, 1-decene and 4-methyl-1-pentene are suitable for controlling the molecular weight.

前記環状オレフィン系樹脂は、側鎖に重合可能な官能基を有しているものを用いることができる。また、前記重合可能な官能基は、これらの官能基を含む有機基であっても良く、例えば、前記官能基と、アルキル基、エーテル基およびエステル基などの基で構成される基が挙げられる。これにより、前記誘電体ペーストから樹脂層を形成した場合に基材との密着性や耐熱性などの特性を向上することができる。
前記官能基としては、例えば、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エステル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、シリル基、エポキシ基(グリシジルエーテル基)等が挙げられる。前記側鎖に重合可能な官能基を有している環状オレフィン系樹脂は、下記に記載の側鎖に重合可能な官能基を有する環状オレフィンモノマーの重合体、またはそれと他の環状オレフィンモノマーとの共重合体であっても良い。
As the cyclic olefin resin, one having a polymerizable functional group in the side chain can be used. Further, the polymerizable functional group may be an organic group containing these functional groups, and examples thereof include a group composed of the functional group and a group such as an alkyl group, an ether group, and an ester group. . Thereby, when a resin layer is formed from the said dielectric paste, characteristics, such as adhesiveness with a base material and heat resistance, can be improved.
Examples of the functional group include a hydroxyl group, a carboxyl group, an ester group, an acryloyl group, a methacryloyl group, a silyl group, and an epoxy group (glycidyl ether group). The cyclic olefin-based resin having a polymerizable functional group in the side chain is a polymer of a cyclic olefin monomer having a polymerizable functional group in the side chain described below, or other cyclic olefin monomer. A copolymer may also be used.

前記側鎖に重合可能な官能基を有する環状オレフィンモノマーとしては、具体的に、5−ノルボルネン−2−メタノール、酢酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、プロピオン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、酪酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、吉草酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプロン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプリル酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、カプリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、ラウリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、ステアリン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、オレイン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、リノレン酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸、5−ノルボルネン−2−カルボン酸メチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸エチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸t−ブチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸i−ブチルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸トリメチルシリルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸トリエチルシリルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸イソボニルエステル、5−ノルボルネン−2−カルボン酸2−ヒドロキシエチルエステル、5−ノルボルネン−2−メチル−2−カルボン酸メチルエステル、ケイ皮酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、5−ノルボルネン−2−メチルエチルカルボネ−ト、5−ノルボルネン−2−メチルn−ブチルカルボネ−ト、5−ノルボルネン−2−メチルt−ブチルカルボネ−ト、5−メトキシ−2−ノルボルネン、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−メチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−エチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−n−ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−n−プロピルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−i−ブチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−i−プロピルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−ヘキシルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−オクチルエステル、(メタ)アクリル酸5−ノルボルネン−2−デシルエステル、5−トリメトキシシリル−2−ノルボルネン、5−トリエトキシシリル−2−ノルボルネン、5−(2−トリメトキシシリルエチル)−2−ノルボルネン、5−(2−トリエトキシシリルエチル)−2−ノルボルネン、5−(3−トリメトキシプロピル)−2−ノルボルネン、5−(4−トリメトキシブチル)−2−ノルボルネン、5−トリメチルシリルメチルエーテル−2−ノルボルネン、5−メチルグリシジルエーテル−2−ノルボルネンなどが挙げられる。これらの環状オレフィンモノマーを重合した付加重合体、およびこれらの環状オレフィンモノマーと他の環状オレフィンモノマーとの付加共重合体が最も好ましい。これにより、より耐熱性に優れることができる。   Specific examples of the cyclic olefin monomer having a polymerizable functional group in the side chain include 5-norbornene-2-methanol, acetic acid 5-norbornene-2-methyl ester, propionic acid 5-norbornene-2-methyl ester, Butyric acid 5-norbornene-2-methyl ester, valeric acid 5-norbornene-2-methyl ester, caproic acid 5-norbornene-2-methyl ester, caprylic acid 5-norbornene-2-methyl ester, capric acid 5-norbornene-2 -Methyl ester, lauric acid 5-norbornene-2-methyl ester, stearic acid 5-norbornene-2-methyl ester, oleic acid 5-norbornene-2-methyl ester, linolenic acid 5-norbornene-2-methyl ester, 5- Norbornene-2-carboxylic acid, 5-no Boronene-2-carboxylic acid methyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid ethyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid t-butyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid i-butyl ester, 5-norbornene- 2-carboxylic acid trimethylsilyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid triethylsilyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid isobornyl ester, 5-norbornene-2-carboxylic acid 2-hydroxyethyl ester, 5-norbornene-2 -Methyl-2-carboxylic acid methyl ester, cinnamic acid 5-norbornene-2-methyl ester, 5-norbornene-2-methylethyl carbonate, 5-norbornene-2-methyl n-butyl carbonate, 5- Norbornene-2-methyl t-butyl Carbonate, 5-methoxy-2-norbornene, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-methyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-ethyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2 -N-butyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-n-propyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-i-butyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-i -Propyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-hexyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-octyl ester, (meth) acrylic acid 5-norbornene-2-decyl ester, 5-trimethoxy Silyl-2-norbornene, 5-triethoxysilyl-2-norbornene, 5- (2 -Trimethoxysilylethyl) -2-norbornene, 5- (2-triethoxysilylethyl) -2-norbornene, 5- (3-trimethoxypropyl) -2-norbornene, 5- (4-trimethoxybutyl)- Examples include 2-norbornene, 5-trimethylsilylmethyl ether-2-norbornene, and 5-methylglycidyl ether-2-norbornene. Most preferred are addition polymers obtained by polymerizing these cyclic olefin monomers, and addition copolymers of these cyclic olefin monomers with other cyclic olefin monomers. Thereby, it can be more excellent in heat resistance.

前記重合可能な官能基の置換量は、特に限定されないが、前記環状オレフィン系樹脂全体の3〜70モル%が好ましく、特に5〜40モル%が好ましい。置換量が前記範囲内であると、特に誘電率に優れる。また、このような側鎖に重合可能な官能基を有する環状オレフィン系樹脂は、例えば、1)前記環状オレフィン系樹脂に重合開始可能な官能基を有する化合物を変性反応により導入することによって、2)重合開始可能な官能基を有する単量体を重合することによって、3)重合開始可能な官能基を有する単量体を共重合体成分として他の成分と共重合することによって、または4)エステル基等の重合可能な官能基を有する単量体を共重合成分として共重合した後、エステル基を加水分解することによって得ることができる。   The substitution amount of the polymerizable functional group is not particularly limited, but is preferably 3 to 70 mol%, particularly preferably 5 to 40 mol%, based on the entire cyclic olefin resin. When the substitution amount is within the above range, the dielectric constant is particularly excellent. In addition, the cyclic olefin-based resin having a functional group polymerizable in such a side chain is, for example, 1) by introducing a compound having a functional group capable of initiating polymerization into the cyclic olefin-based resin by a modification reaction. By polymerizing a monomer having a functional group capable of initiating polymerization, 3) by copolymerizing a monomer having a functional group capable of initiating polymerization with other components as a copolymer component, or 4) It can be obtained by copolymerizing a monomer having a polymerizable functional group such as an ester group as a copolymerization component and then hydrolyzing the ester group.

さらに、環状オレフィンモノマーと共重合可能な不飽和モノマーとしては、エチレン、プロピレン、1−ブテン、1−ペンテン、1−ヘキセン、3−メチル−1−ブテン、3−メチル−1−ペンテン、3−エチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ペンテン、4−メチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ヘキセン、4,4−ジメチル−1−ペンテン、4−エチル−1−ヘキセン、3−エチル−1−ヘキセン、1−オクテン、1−デセン、1−ドデセン、1−テトラデセン、1−ヘキサデセン、1−オクタデセンおよび1−エイコセン等の炭素数2〜20のエチレン又はα−オレフィン、1,4−ヘキサジエン、4−メチル−1,4−ヘキサジエン、5−メチル−1,4−ヘキサジエンおよび1,7−オクタジエン等の非共役ジエン等が挙げられる。   Further, unsaturated monomers copolymerizable with cyclic olefin monomers include ethylene, propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 3-methyl-1-butene, 3-methyl-1-pentene, 3- Ethyl-1-pentene, 4-methyl-1-pentene, 4-methyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-hexene, 4,4-dimethyl-1-pentene, 4-ethyl-1-hexene, Ethylene or α-olefin having 2 to 20 carbon atoms such as 3-ethyl-1-hexene, 1-octene, 1-decene, 1-dodecene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene and 1-eicocene; Non-conjugated dienes such as 1,4-hexadiene, 4-methyl-1,4-hexadiene, 5-methyl-1,4-hexadiene and 1,7-octadiene And the like.

次に、ノルボルネン系樹脂の付加(共)重合体について説明する。
前記側鎖に重合可能な官能基を有しているノルボルネン系樹脂は、具体的には下記式(1)で表される繰り返し単位を有していることが好ましい。
Next, the addition (co) polymer of norbornene resin will be described.
Specifically, the norbornene-based resin having a polymerizable functional group in the side chain preferably has a repeating unit represented by the following formula (1).

Figure 0004862259
Figure 0004862259

式(1)中のXは、それぞれ独立して−CH2−、−CH2CH2−または−O−を示す。R1〜R4は、それぞれ独立して水素、または、ヒドロキシル基、カルボキシル基、エステル基、アクリロイル基、メタクリロイル基、シリル基、エポキシ基およびこれらの官能基を含む有機基から選ばれた1種以上の基を示し、少なくとも1つは官能基または該官能基を含む有機基を示す。nは0〜5の整数を示し、その繰り返しは異なっていても良い。上記官能基を含む有機基としては、前記官能基と、アルキル基、エーテル基、エステル基などの基で構成される基が挙げられる。 X in the formula (1) independently represents —CH 2 —, —CH 2 CH 2 — or —O—. R 1 to R 4 are each independently one selected from hydrogen or a hydroxyl group, carboxyl group, ester group, acryloyl group, methacryloyl group, silyl group, epoxy group, and an organic group containing these functional groups. The above groups are shown, and at least one of them represents a functional group or an organic group containing the functional group. n represents an integer of 0 to 5, and the repetition may be different. Examples of the organic group containing the functional group include groups composed of the functional group and groups such as an alkyl group, an ether group, and an ester group.

また、前記側鎖に重合可能な官能基を有しているノルボルネン系樹脂は、さらに、側鎖に重合可能な官能基を有するノルボルネン型モノマーと、下記式(2)で表されるモノマーとの付加共重合体であることが好ましい。これにより、密着性と電気特性とのバランスが特に優れる樹脂層を得ることができる。   The norbornene-based resin having a polymerizable functional group in the side chain further includes a norbornene-type monomer having a polymerizable functional group in the side chain and a monomer represented by the following formula (2): An addition copolymer is preferred. Thereby, it is possible to obtain a resin layer that is particularly excellent in the balance between adhesion and electrical characteristics.

Figure 0004862259
Figure 0004862259

式(2)中のXは、それぞれ独立して−CH2−、−CH2CH2−または−O−を示す。R1〜R4は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜12の直鎖もしくは分岐したアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、ビニル基、アリル基、アラルキル基、環状脂肪族基またはアリール基から選ばれた1種以上の置換基を示す。nは0〜5の整数を示し、その繰り返しは異なっていても良い。
前記アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基およびドデシル基等が挙げられ、アルケニル基の具体例としては、ビニル基、アリル基、ブチニル基およびシクロヘキセニル基等が挙げられ、アルキニル基の具体例としては、エチニル基、1−プロピニル基、2−プロピニル基、1−ブチニル基および2−ブチニル基等が挙げられ、前記環状脂肪族基の具体例としては、シクロヘキシル基、シクロペンチル基およびメチルシクロヘキシル基等が挙げられ、アリール基の具体例としては、フェニル基、ナフチル基およびアントラセニル基等が挙げられ、アラルキル基の具体例としてはベンジル基およびフェネチル基等が挙げられるが、本発明は何らこれらに限定されない。
X in formula (2) independently represents —CH 2 —, —CH 2 CH 2 — or —O—. R 1 to R 4 are each independently a hydrogen atom, a linear or branched alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, an alkenyl group, an alkynyl group, a vinyl group, an allyl group, an aralkyl group, a cyclic aliphatic group, or an aryl group. 1 or more substituents selected from a group are shown. n represents an integer of 0 to 5, and the repetition may be different.
Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, pentyl group, hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, decyl group and dodecyl group. Specific examples of the group include vinyl group, allyl group, butynyl group and cyclohexenyl group. Specific examples of the alkynyl group include ethynyl group, 1-propynyl group, 2-propynyl group, 1-butynyl group and the like. 2-butynyl group and the like, specific examples of the cycloaliphatic group include cyclohexyl group, cyclopentyl group and methylcyclohexyl group, and specific examples of the aryl group include phenyl group, naphthyl group and anthracenyl group. Specific examples of the aralkyl group include a benzyl group and a phenethyl group. But are lower, the present invention is in no way limited thereto.

前記環状オレフィン系樹脂の重量平均分子量は、特に限定されないが、1,000〜1,000,000が好ましく、特に5,000〜500,000が好ましく、最も10,000〜250,000が好ましい。重量平均分子量(Mw)が前記範囲内であると、耐熱性、成形物表面の平滑性等の特性がバランスに優れる。
前記重量平均分子量は、例えば、シクロヘキサン又はトルエンを有機溶剤とするゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー(GPC)で測定されるポリスチレン換算で評価することができる。
The weight average molecular weight of the cyclic olefin resin is not particularly limited, but is preferably 1,000 to 1,000,000, particularly preferably 5,000 to 500,000, and most preferably 10,000 to 250,000. When the weight average molecular weight (Mw) is within the above range, the properties such as heat resistance and smoothness of the surface of the molded article are excellent in balance.
The weight average molecular weight can be evaluated, for example, in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC) using cyclohexane or toluene as an organic solvent.

前記環状オレフィン系樹脂の分子量分布[重量平均分子量:Mwと、数平均分子量:Mnとの比(Mw/Mn)]は、特に限定されないが、5以下が好ましく、特に4以下が好ましく、特に1〜3が好ましい。分子量分布が前記範囲内であると、電気特性に特に優れる。
前記分子量分布を測定する方法としては、例えば、シクロヘキサンまたはトルエンを有機溶剤とするGPCで測定することができる。
また、上記方法で、重量平均分子量や分子量分布が測定できない環状オレフィン系樹脂の場合には、通常の溶融加工法により、樹脂層を形成し得る程度の溶融粘度や重合度を有するものを使用することができる。前記環状オレフィン系樹脂のガラス転移温度は、使用目的に応じて適宜選択できるが、通常50℃以上、好ましくは70℃以上、より好ましくは100℃以上、さらに好ましくは125℃以上である。
The molecular weight distribution of the cyclic olefin-based resin [the ratio of the weight average molecular weight: Mw to the number average molecular weight: Mn (Mw / Mn)] is not particularly limited, but is preferably 5 or less, particularly preferably 4 or less, particularly 1 ~ 3 is preferred. When the molecular weight distribution is within the above range, the electrical characteristics are particularly excellent.
As a method for measuring the molecular weight distribution, for example, it can be measured by GPC using cyclohexane or toluene as an organic solvent.
In addition, in the case of a cyclic olefin resin in which the weight average molecular weight and molecular weight distribution cannot be measured by the above method, those having a melt viscosity and a degree of polymerization that can form a resin layer are used by a normal melt processing method. be able to. Although the glass transition temperature of the said cyclic olefin resin can be suitably selected according to a use purpose, it is 50 degreeC or more normally, Preferably it is 70 degreeC or more, More preferably, it is 100 degreeC or more, More preferably, it is 125 degreeC or more.

前記一般式(1)で表される構造を有するノルボルネン系樹脂において、置換基R1、R2、R3、およびR4は、目的に応じて、その置換基の種類と該置換基を有する繰り返し単位の割合を調整することにより、特性を好ましいものとすることができ、特に上記付加共重合体とすると好ましいものを得ることができる。例えば、前記一般式(1)を用いて説明すると、Xは−CH2−とし、R1〜R3は水素とし、nは0の場合、R4として、例えば、前記アルキル基を導入した繰返し単位を有する場合、可とう性に優れるポリノルボルネン樹脂フィルムを得ることができるので好ましい。また、これらの置換基として、トリメトキシシリル基、またはトリエトキシシリル基などのシリル基を導入した繰返し単位を有する場合、銅などの金属との密着性が向上するので好ましい。ただし、トリエトキシシリル基、トリメトキシシリル基の割合が多い場合、ポリノルボルネン樹脂の誘電正接が大きくなることがあるため、トリエトキシシリル基および/またはトリメトキシシリル基を有するノルボルネンの繰り返し単位は、一般式(1)で表されるノルボルネン1分子において、5〜80mol%の範囲にすることが好ましい。さらに好ましくは5〜50mol%である。 In the norbornene-based resin having the structure represented by the general formula (1), the substituents R 1 , R 2 , R 3 , and R 4 have the type of the substituent and the substituent depending on the purpose. By adjusting the proportion of the repeating unit, the characteristics can be made preferable, and particularly when the above addition copolymer is used, a preferable one can be obtained. For example, when using the general formula (1), when X is —CH 2 —, R 1 to R 3 are hydrogen, and n is 0, as R 4 , for example, repetition of introduction of the above alkyl group When it has a unit, since the polynorbornene resin film excellent in flexibility can be obtained, it is preferable. Moreover, it is preferable to have a repeating unit introduced with a silyl group such as a trimethoxysilyl group or a triethoxysilyl group as these substituents because adhesion with a metal such as copper is improved. However, when the ratio of triethoxysilyl group and trimethoxysilyl group is large, the dielectric loss tangent of the polynorbornene resin may increase, so the repeating unit of norbornene having a triethoxysilyl group and / or trimethoxysilyl group is In 1 molecule of norbornene represented by the general formula (1), it is preferably in the range of 5 to 80 mol%. More preferably, it is 5-50 mol%.

中でも、特に、可とう性、密着性および誘電特性が良好な樹脂フィルムを得る上で、上記付加重合体において、n−ブチル基を有するノルボルネン90mol%とトリエトシキシシリル基を有するノルボルネン10mol%からなるポリノルボルネン、未置換(置換基が水素原子)ノルボルネン90mol%とトリエトシシリル基を有するノルボルネン10mol%からなるポリノルボルネン、および未置換ノルボルネン75mol%とn−ヘキシル基を有するノルボルネン25mol%からなるポリノルボルネンが好ましい。   In particular, in order to obtain a resin film having good flexibility, adhesion and dielectric properties, in the above addition polymer, norbornene having 90 mol% having an n-butyl group and norbornene having 10 mol% having a triethoxysilyl group can be used. Polynorbornene comprising 90 mol% unsubstituted (substituent is a hydrogen atom) norbornene having 10 mol% norbornene having a triethosylsilyl group, and polynorbornene having 25 mol% norbornene having 75 mol% unsubstituted norbornyl and n-hexyl group. preferable.

また、前記側鎖にトリエトキシシリル基、トリメトキシシリル基の替わりにエポキシ基を有するノルボルネン5〜95モル%、好ましくは、20〜80モル%、さらに好ましくは30〜70%の割合で使用する場合、基材との密着性を向上することができる。   Further, norbornene having an epoxy group in place of the triethoxysilyl group and trimethoxysilyl group in the side chain is used in a proportion of 5 to 95 mol%, preferably 20 to 80 mol%, more preferably 30 to 70%. In this case, the adhesion with the substrate can be improved.

本発明の抵抗ペーストに用いる導電性粒子としては、例えば、アセチレンブラック、ファーネスブラック、サーマルブラックおよびケッチェンブラック等のカーボンブラックや、天然黒鉛および人造黒鉛などの黒鉛類、などの炭素材料粉末、銀粉および銅紛などの金属粉末などが挙げられる。
これらの中でも、カーボンブラックが好ましい。これにより、抵抗変化率の低い抵抗体を得ることができる。
前記導電性粒子の粒径としては、5nm以上25μm以下であることが好ましく、特に30nm以上5μm以下が好ましい。粒径が前記範囲内であると、樹脂中の分散性が良好であり、また、抵抗ペーストの印刷性が向上する。
Examples of the conductive particles used in the resistance paste of the present invention include carbon material powders such as carbon black such as acetylene black, furnace black, thermal black and ketjen black, and graphites such as natural graphite and artificial graphite, silver powder, and the like. And metal powders such as copper powder.
Among these, carbon black is preferable. Thereby, a resistor with a low rate of resistance change can be obtained.
The conductive particles preferably have a particle size of 5 nm to 25 μm, particularly preferably 30 nm to 5 μm. When the particle size is within the above range, the dispersibility in the resin is good, and the printability of the resistance paste is improved.

前記導電性粒子の含有量は、作製する抵抗体の抵抗値によって調整することができるが、例えば、本発明抵抗ペーストに含まれる樹脂固形成分100重量部に対して、0.1〜50重量部が好ましく、さらに好ましくは2〜10重量部の範囲である。本発明抵抗ペーストは面積抵抗を10mΩ/□〜100MΩ/□まで調整することができる。   The content of the conductive particles can be adjusted by the resistance value of the resistor to be produced. For example, the content of the conductive particles is 0.1 to 50 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin solid component contained in the resistor paste of the present invention. Is more preferable, and the range of 2 to 10 parts by weight is more preferable. The resistance paste of the present invention can adjust the sheet resistance from 10 mΩ / □ to 100 MΩ / □.

本発明に用いる無機フィラーとしては、例えば、炭酸カルシウム、アルミナ、酸化チタン、酸化マグネシウム、マイカ、炭酸アルミニウム、水酸化アルミニウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム、アエロジル、球状シリカ、溶融シリカ、破砕シリカ、ヒュームドシリカ、硫酸バリウム、ガラス短繊維やホウ酸アルミニウムや炭化ケイ素等の各種ウィスカ等があり、単独または2種以上を併用することができる。好ましい無機フィラーは、アエロジル等のシリカフィラーがあげられる。   Examples of the inorganic filler used in the present invention include calcium carbonate, alumina, titanium oxide, magnesium oxide, mica, aluminum carbonate, aluminum hydroxide, magnesium silicate, aluminum silicate, aerosil, spherical silica, fused silica, crushed silica, There are various types of whiskers such as fumed silica, barium sulfate, short glass fibers, aluminum borate and silicon carbide, and these can be used alone or in combination of two or more. A preferred inorganic filler is a silica filler such as Aerosil.

前記無機フィラーの粒径としては、5nm以上25μm以下が好ましく、更に好ましくは30nm〜5μmである。粒径が5nm未満の場合は、増粘効果が大きくなり抵抗ペーストの粘度を制御することが困難になることがあり、25μm以上の場合は印刷後の抵抗の表面平滑性が損なわれることがある。   As a particle size of the said inorganic filler, 5 nm or more and 25 micrometers or less are preferable, More preferably, they are 30 nm-5 micrometers. When the particle size is less than 5 nm, the thickening effect is increased and it may be difficult to control the viscosity of the resistance paste. When the particle size is 25 μm or more, the surface smoothness of the resistance after printing may be impaired. .

無機フィラーの含有量は、本発明抵抗ペーストに含まれる樹脂固形成分100重量部に対して2〜60重量部が好ましく、さらに好ましくは10〜40重量部の範囲である。前記含有量は、抵抗体の形状保持や抵抗体製造における抵抗ペーストの印刷性を向上する上で、前記下限値以上が好ましく、抵抗体と金属などの密着性を向上する上で、前記上限値以下が好ましい。   The content of the inorganic filler is preferably 2 to 60 parts by weight, more preferably 10 to 40 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the resin solid component contained in the resistance paste of the present invention. The content is preferably equal to or higher than the lower limit in order to improve the resistance of the resistor and the resistance paste printing in the production of the resistor, and the upper limit in order to improve the adhesion between the resistor and the metal. The following is preferred.

本発明の抵抗ペーストにおいて、上記以外の成分として、架橋剤、カップリング剤、希釈剤、難燃剤等を含んでいてもよい。
上記架橋剤としては、ビスアジド、パーオキサイド、脂肪族ポリアミン、脂環族ポリアミン、芳香族ポリアミン、酸無水物、ジカルボン酸、多価フェノールおよびポリアミド等が挙げられ、例えば、4,4’−ビスアジドベンザル(4−メチル)シクロヘキサンノン、4,4’−ジアジドカルコン、2,6−ビス(4’−アジドベンザル)シクロヘキサノン、2,6−ビス(4’−アジドベンザル)−4−メチル−シクロヘキサノン、4,4’−ジアジドジフェニルスルホン、4,4’−ジアジドジフェニルメタンおよび2,2’−ジアジドスチルベンなどのビスアジド;α,α’−ビス(t−ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルクミルパーオキサイド、ジ−t−ブチルパーオキサイドおよび2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキサイド)ヘキシン−3などのパーオキサイド;ヘキサメチレンジアミン、トリエチレンテトラミンおよびジエチレントリアミン、テトラエチレンペンタミンなどの脂肪族ポリアミン;ジアミノシクロヘキサン、3(4),8(9)−ビス(アミノメチル)トリシクロ〔5,2,1,02,6〕デカン、1,3−(ジアミノメチル)シクロヘキサン、メンセンジアミン、イソホロンジアミン、N−アミノエチルピペラジン、ビス(4−アミノ−3−メチルシクロヘキシル)メタンおよびビス(4−アミノシクロヘキシル)メタンなどの脂環族ポリアミン;4,4’−ジアミノジフェニルエ−テル、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,3−ジイソプロピルベンゼン、α,α’−ビス(4−アミノフェニル)−1,4−ジイソプロピルベンゼン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフォンおよびメタフェニレンジアミン等の芳香族ポリアミン類;無水フタル酸、無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸無水物、ナジック酸無水物、1,2−シクロヘキサンジカルボン酸無水物、無水マレイン酸変性ポリプロピレンおよび無水マレイン酸変性環状オレフィン系樹脂等の酸無水物類;フマル酸、フタル酸、マレイン酸、トリメリット酸およびハイミック酸等のジカルボン酸類;フェノ−ルノボラック樹脂およびクレゾ−ルノボラック樹脂等の多価フェノ−ル類;ナイロン−6、ナイロン−66、ナイロン−610、ナイロン−11、ナイロン−612、ナイロン−12、ナイロン−46、メトキシメチル化ポリアミド、ポリヘキサメチレンジアミンテレフタルアミドおよびポリヘキサメチレンイソフタルアミド等のポリアミド類;等が挙げられる。これらは、一種でも二種以上の混合物として使用しても良い。均一に分散させやすく好ましい。
また、必要に応じて硬化助剤を配合して、架橋反応の効率を高めることも可能である。前記架橋剤の配合量は、とくに制限はないが、架橋反応を効率良く反応させ、かつ、得られる架橋物の電気特性や、耐水性および耐湿性などの物性面から、環状オレフィン系樹脂100重量部に対して0.1〜50重量部が好ましく、より好ましくは1〜10重量部の範囲である。
The resistance paste of the present invention may contain a crosslinking agent, a coupling agent, a diluent, a flame retardant, etc. as components other than those described above.
Examples of the crosslinking agent include bisazides, peroxides, aliphatic polyamines, alicyclic polyamines, aromatic polyamines, acid anhydrides, dicarboxylic acids, polyhydric phenols and polyamides. For example, 4,4′-bisazide Benzal (4-methyl) cyclohexaneone, 4,4′-diazidochalcone, 2,6-bis (4′-azidobenzal) cyclohexanone, 2,6-bis (4′-azidobenzal) -4-methyl-cyclohexanone, Bisazides such as 4,4′-diazidodiphenylsulfone, 4,4′-diazidodiphenylmethane and 2,2′-diazidostilbene; α, α′-bis (t-butylperoxy) diisopropylbenzene, dicumylper Oxide, 2,5-dimethyl-2,5-bis (t-butylperoxy) hexane, t-butylkumi Peroxides such as peroxide, di-t-butyl peroxide and 2,5-dimethyl-2,5-bis (t-butyl peroxide) hexyne-3; hexamethylenediamine, triethylenetetramine and diethylenetriamine, tetraethylenepenta aliphatic polyamines such as amine; diaminocyclohexane, 3 (4), 8 (9) - bis (aminomethyl) tricyclo [5,2,1,0 2,6] decane, 1,3- (diaminomethyl) cyclohexane, Cycloaliphatic polyamines such as mensendiamine, isophoronediamine, N-aminoethylpiperazine, bis (4-amino-3-methylcyclohexyl) methane and bis (4-aminocyclohexyl) methane; 4,4′-diaminodiphenyl ether Tellurium, 4,4′-diaminodiphenylmethane, , Α′-bis (4-aminophenyl) -1,3-diisopropylbenzene, α, α′-bis (4-aminophenyl) -1,4-diisopropylbenzene, 4,4′-diaminodiphenylsulfone and metaphenylene Aromatic polyamines such as diamines; phthalic anhydride, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic anhydride, nadic anhydride, 1,2-cyclohexanedicarboxylic anhydride, maleic anhydride modified polypropylene and maleic anhydride modified cyclic Acid anhydrides such as olefinic resins; dicarboxylic acids such as fumaric acid, phthalic acid, maleic acid, trimellitic acid and hymic acid; polyhydric phenols such as phenol novolac resin and cresol novolac resin; nylon 6, nylon-66, nylon-610, nylon-1 1, polyamides such as nylon-612, nylon-12, nylon-46, methoxymethylated polyamide, polyhexamethylenediamine terephthalamide, and polyhexamethyleneisophthalamide; These may be used alone or as a mixture of two or more. It is preferable because it can be dispersed uniformly.
Moreover, it is also possible to mix | blend a hardening adjuvant as needed and to raise the efficiency of a crosslinking reaction. The blending amount of the crosslinking agent is not particularly limited, but the weight of the cyclic olefin-based resin is 100 wt% from the viewpoint of the electrical properties of the resulting crosslinked product, physical properties such as water resistance and moisture resistance, and the like. The amount is preferably 0.1 to 50 parts by weight, more preferably 1 to 10 parts by weight with respect to parts.

本発明に用いるカップリング剤としては、1分子中に、アルコキシシリル基と、アルキル基、エポキシ基、ビニル基およびフェニル基等の有機官能基と、を有するシラン化合物全般が挙げられ、例えば、エチルトリエトキシシラン、プロピルトリエトキシシランおよびブチルトリエトキシシランなどのアルキル基を有するシラン;、フェニルトリエトキシシラン、ベンジルトリエトキシシランおよびフェネチルトリエトキシシランなどのフェニル基を有するシラン;、ブテニルトリエトキシシラン、プロペニルトリエトキシシランおよびビニルトリメトキシシラン等のビニル基を有するシラン;、γ−(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン等のメタクリル基を有するシラン;、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシランおよびγ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のアミノ基を有するシラン;、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシランおよびβ−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン等のエポキシ基を有するシラン;、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプト基を有するシラン;等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。又、これらは単独でも混合して用いても良い。   Examples of the coupling agent used in the present invention include all silane compounds having an alkoxysilyl group and an organic functional group such as an alkyl group, an epoxy group, a vinyl group, and a phenyl group in one molecule. Silanes having an alkyl group such as triethoxysilane, propyltriethoxysilane and butyltriethoxysilane; Silanes having a phenyl group such as phenyltriethoxysilane, benzyltriethoxysilane and phenethyltriethoxysilane; and butenyltriethoxysilane Silanes having vinyl groups such as propenyltriethoxysilane and vinyltrimethoxysilane; silanes having methacrylic groups such as γ- (methacryloxypropyl) trimethoxysilane; γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β ( Ami Ethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane and silanes having amino groups such as γ-ureidopropyltriethoxysilane; γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane and β -(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane and other silanes having an epoxy group; γ-mercaptopropyltrimethoxysilane and other silanes having a mercapto group; and the like. Absent. These may be used alone or in combination.

本発明に用いる希釈剤としては、例えば、メチルエチルケトンおよびシクロヘキサノンなどのケトン類;、トルエンおよびキシレンなどの芳香族炭化水素類;、メタノール、イソプロパノールおよびシクロヘキサノールなどのアルコール類;、シクロヘキサンおよびメチルシクロヘキサンなどの脂環式炭化水素;、石油エーテルおよび石油ナフサなどの石油系溶剤;、セロソルブおよびブチルセロソルブなどのセロソルブ類;、カルビトール、メチルカルビトールおよびブチルカルビトールなどのカルビトール類;、酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテートおよびブチルカルビトールアセテートなどの酢酸エステル類;などを挙げることができる。
これらの中でも、カルビトール類、酢酸エステル類の中から選ばれる1種以上が好ましい。これにより、抵抗ペーストの印刷性・硬化物の表面平滑性を向上することができる。
Examples of the diluent used in the present invention include ketones such as methyl ethyl ketone and cyclohexanone; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; alcohols such as methanol, isopropanol and cyclohexanol; cyclohexane and methylcyclohexane Alicyclic hydrocarbons; petroleum solvents such as petroleum ether and petroleum naphtha; cellosolves such as cellosolve and butylcellosolve; carbitols such as carbitol, methylcarbitol and butylcarbitol; ethyl acetate, butyl acetate And acetic acid esters such as cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate and butyl carbitol acetate.
Among these, at least one selected from carbitols and acetates is preferable. Thereby, the printability of the resistance paste and the surface smoothness of the cured product can be improved.

本発明の抵抗ペーストの製造方法としては、例えば、導電性粒子以外の上記各種成分および適当な量の希釈剤を混合容器に入れ、均一なワニスになるまで、十分にかき混ぜて、次いで、導電性粒子を加えて、これを混合し樹脂組成物とし、該樹脂組成物を、高圧衝突式分散方式、ロールミル方式、高速回転分散方式、ビーズミル方式、高速せん断分散方式、および自転公転式分散方式などの分散方式を用いて、分散させる方法が挙げられるが、これら方法に限定されない。   As a method for producing the resistance paste of the present invention, for example, the above-mentioned various components other than the conductive particles and an appropriate amount of diluent are put into a mixing container, and sufficiently stirred until a uniform varnish is obtained. Particles are added and mixed to form a resin composition. The resin composition is divided into a high-pressure collision dispersion method, a roll mill method, a high-speed rotation dispersion method, a bead mill method, a high-speed shear dispersion method, and a rotation and revolution dispersion method. Although the method of making it disperse | distribute using a dispersion system is mentioned, It is not limited to these methods.

ここで得られる抵抗ペーストは、粘度が0.1Pa・sから100Pa・sであることが好ましく、これにより、抵抗体の製造において、種々印刷方法を適用することができる。本発明における粘度としては、E型粘度計で測定する、通常のズリ粘度で測定することができる。   The resistance paste obtained here preferably has a viscosity of 0.1 Pa · s to 100 Pa · s, whereby various printing methods can be applied in the production of the resistor. The viscosity in the present invention can be measured by a normal shear viscosity measured with an E-type viscometer.

また、本発明の抵抗ペーストは、10mΩ/□〜100MΩ/□の面積抵抗を有するものであることが好ましい。
上記抵抗値の測定方法としては、プレシジョンインピーダンスアナライザ(アジレントテクノロジー製)を用いて抵抗値を測定し、本発明の抵抗ペーストで構成される抵抗素子の厚み・アスペクト比より面積抵抗を換算した。
The resistance paste of the present invention preferably has a sheet resistance of 10 mΩ / □ to 100 MΩ / □.
As a method for measuring the resistance value, the resistance value was measured using a precision impedance analyzer (manufactured by Agilent Technologies), and the sheet resistance was converted from the thickness / aspect ratio of the resistance element composed of the resistance paste of the present invention.

本発明の抵抗体は、例えば、基板に形成された下部銅電極上に、上記で得た抵抗体ペーストを、印刷法や塗布法などの方法により、基板に形成された下部銅電極上に、所望の厚みに抵抗体層を形成し、これを加熱して硬化させて製造することができる。
また、前記抵抗体の両端に導体層(導体電極)を形成することにより抵抗体素子とすることができる。前記抵抗体素子において、例えば、両側の導体層には、銀ペーストなどの導電性ペーストを印刷形成したものや、金および銅などの金属を蒸着形成することも考えられる。また、銅などのの金属をメッキにより形成することも可能である。
The resistor of the present invention, for example, on the lower copper electrode formed on the substrate, the resistor paste obtained above on the lower copper electrode formed on the substrate by a method such as a printing method or a coating method, A resistor layer can be formed in a desired thickness, and this can be heated and cured to produce.
Moreover, it can be set as a resistor element by forming a conductor layer (conductor electrode) in the both ends of the said resistor. In the resistor element, for example, a conductive paste such as a silver paste or a metal such as gold or copper may be vapor-deposited on the conductive layers on both sides. It is also possible to form a metal such as copper by plating.

前記抵抗体層の形成方法としては、スクリーン印刷およびステンシル印刷などによる印刷方法や、ディスペンサー、スピンコート、インクジェットおよびスプレーなどによる塗布方法や、アプリケータ、バーコータ、ナイフコータ、カーテンコータ、ダイコータおよびグラビアコータなどによる製膜方法をとることができるが、これらに限定されない。
抵抗体層の厚みとしては、多層配線板の用途に合わせ使用される電圧に耐えうるような厚み、またピンホールが形成されないような厚みを確保できれば問題ない。また、抵抗体を硬化させるときの温度は、抵抗体樹脂系の硬化温度および多層配線板の耐熱性を考慮して設定することが可能で、本発明の樹脂系の場合150℃〜300℃が好ましく、160℃〜220℃がより好ましい。
Examples of the method for forming the resistor layer include a printing method such as screen printing and stencil printing, a coating method such as dispenser, spin coating, ink jetting, and spraying, an applicator, a bar coater, a knife coater, a curtain coater, a die coater, and a gravure coater. However, it is not limited to these.
There is no problem as long as the thickness of the resistor layer can secure a thickness that can withstand the voltage used in accordance with the use of the multilayer wiring board and a thickness that does not form a pinhole. The temperature at which the resistor is cured can be set in consideration of the curing temperature of the resistor resin system and the heat resistance of the multilayer wiring board. In the case of the resin system of the present invention, the temperature is 150 ° C to 300 ° C. Preferably, 160 ° C to 220 ° C is more preferable.

上記で得た本発明の抵抗体について、抵抗ペーストよりなる層中のフィラーの分散性については、層の断面を、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡の測定で得られた画像を処理することにより、それぞれの体積比およびフィラー間の距離を定量化することが可能である。   For the resistor of the present invention obtained above, the dispersibility of the filler in the layer made of the resistance paste is processed with the cross section of the layer and the image obtained by measurement with a scanning electron microscope or transmission electron microscope. Thus, it is possible to quantify the volume ratio and the distance between the fillers.

次に、本発明の抵抗体を内蔵した多層配線板の製造方法について説明する。図1は、本発明の実施形態である多層配線板の製造方法の一例を説明するための図で、図1(e)は得られる多層配線板の構造を示す断面図である。
まず、コア基板として、FR−4の両面金属箔(銅箔)付き絶縁基板103に、ドリル機で開孔して開孔部102を設けた後、無電解めっきにより、開孔部102にめっきを行い、前記絶縁基板の両面の金属箔間の導通を図り、次いで、前記金属箔をエッチングすることにより導体回路層101を形成して、配線形成両面基板109を得る(図1(a))。導体回路層101の材質としては、この製造方法に適するものであれば、どのようなものでも良いが、導体回路の形成においてエッチングや剥離などの方法により除去可能であることが好ましく、前記エッチングにおいては、これに使用される薬液などに耐性を有するものが好ましい。そのような導体回路層101の材質としては、例えば、銅、銅合金、42合金およびニッケル等が挙げられる。特に、銅箔、銅板および銅合金板は、電解めっき品や圧延品を選択できるだけでなく、様々な厚みのものを容易に入手できるため、導体回路層101として使用するのに好ましい。
Next, the manufacturing method of the multilayer wiring board which incorporated the resistor of this invention is demonstrated. FIG. 1 is a view for explaining an example of a method for manufacturing a multilayer wiring board according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 (e) is a cross-sectional view showing the structure of the resulting multilayer wiring board.
First, an insulating substrate 103 with a double-sided metal foil (copper foil) of FR-4 as a core substrate is provided with an opening 102 by opening with a drill machine, and then plated on the opening 102 by electroless plating. The conductive circuit layer 101 is formed by etching the metal foil to obtain a wiring-formed double-sided substrate 109 (FIG. 1A). . The material of the conductor circuit layer 101 may be any material as long as it is suitable for this manufacturing method, but is preferably removable by a method such as etching or peeling in the formation of the conductor circuit. Are preferably resistant to the chemicals used in this. Examples of the material of the conductor circuit layer 101 include copper, copper alloy, 42 alloy, nickel, and the like. In particular, the copper foil, the copper plate, and the copper alloy plate are preferable for use as the conductor circuit layer 101 because not only electrolytic plated products and rolled products can be selected, but also various thicknesses can be easily obtained.

次に、抵抗体の電極として上記絶縁基板103上の任意の位置に、銀ペーストを印刷し電極104を形成する(図1(a))。電極の形成方法としては、スクリーン印刷およびステンシル印刷などによる印刷方法や、ディスペンサー、インクジェットおよびスプレーなどによる塗布方法などが挙げられる。   Next, silver paste is printed at any position on the insulating substrate 103 as a resistor electrode to form an electrode 104 (FIG. 1A). Examples of the electrode forming method include a printing method such as screen printing and stencil printing, and a coating method such as dispenser, ink jet, and spray.

次に、電極104上に、上記抵抗ペーストを印刷し、抵抗体105を形成する(図1(b))。抵抗体の形成方法としては、スクリーン・ステンシルなどの印刷方法や、ディスペンサー・インクジェット・スプレー塗布方法などが挙げられる。   Next, the resistor paste is printed on the electrode 104 to form the resistor 105 (FIG. 1B). Examples of the method of forming the resistor include a printing method such as a screen stencil, a dispenser, an inkjet, and a spray coating method.

次に、導体回路層101上に、絶縁層用樹脂組成物を用いて、絶縁層106を形成する(図1(c))。絶縁層106を形成する方法としては、塗布法やフィルム積層法などが挙げられ、前記塗布法としては、例えば、カーテンコータ、バーコータ、コンマコータ、ナイフコータ、グラビアコータ、ダイコータ、スピンコータ、印刷機、真空印刷機およびディスペンサーなどの装置を用いて、絶縁層用樹脂組成物を、絶縁層を形成する面に塗布して、塗膜を形成し、該塗膜を、乾燥機、窒素乾燥機および真空乾燥機などを用いて、乾燥・硬化して、絶縁層を形成する方法が挙げられる。前記フィルム積層方法としては、絶縁層用樹脂組成物を用いて、ポリエステルフィルムなどの基材の上に、上記同様にして塗膜を形成し、これを、乾燥して支持基材付きフィルム(絶縁膜)を作製し、これを、絶縁層を形成する面に、真空プレス、常圧ラミネーター、真空ラミネータ−およびベクレル式積層装置等を用いて、フィルムを積層して、絶縁層を形成する方法が挙げられ、また、ポリエステルフィルムなどの樹脂基材に替えて、金属基材の上に、上記同様にして絶縁膜を形成し、金属層付きフィルム(絶縁膜)を作製し、これを積層して、絶縁層を形成する方法などが挙げられる。前記金属層付きフィルムにおいては、該金属層を導体回路として加工することができる。
前記絶縁層用樹脂組成物としては、配線板の絶縁層に用いられものでよく、例えば、上記環状オレフィン系樹脂、ポリイミド樹脂およびエポキシ樹脂などの絶縁樹脂を含むものが挙げられ、要求される特性に応じて適宜選択されるが、例えば、耐熱性および誘電率などの特性を要求される場合、上記ノルボルネン系樹脂の付加(共)重合体が好ましい。
上記絶縁層を加熱硬化する温度としては、150℃〜300℃の範囲が好ましい。特に、150℃〜250℃が好ましい。また、絶縁層を複数層設ける場合は、一層目の絶縁層を加熱して、半硬化させ、該絶縁層上に、一層ないし複数の絶縁層を形成し、半硬化の絶縁層を実用上問題ない程度に、再度加熱硬化させることにより、絶縁層間および絶縁層と導体回路間の密着力を向上させることができる。この場合の半硬化の温度は、150℃〜250℃が好ましく、150℃〜200℃がより好ましい。
また、前記絶縁層を形成後に、絶縁層の表面にプラズマ処理を施すことで、絶縁層間および絶縁層と導体回路間の密着力を向上させることができる。プラズマ処理のガスとして、酸素、アルゴン、フッ素、フッ化炭素および窒素などのガスを、一種もしくは複数種混合して用いることができる。また、プラズマ処理は複数回実施しても良い。
Next, the insulating layer 106 is formed on the conductor circuit layer 101 using the resin composition for the insulating layer (FIG. 1C). Examples of a method for forming the insulating layer 106 include a coating method and a film lamination method. Examples of the coating method include a curtain coater, a bar coater, a comma coater, a knife coater, a gravure coater, a die coater, a spin coater, a printing machine, and a vacuum printing. Using an apparatus such as a machine and a dispenser, the insulating layer resin composition is applied to the surface on which the insulating layer is to be formed to form a coating film, and the coating film is applied to a dryer, a nitrogen dryer, and a vacuum dryer. Etc., and a method of forming an insulating layer by drying and curing. As the film laminating method, a coating film is formed on a substrate such as a polyester film using the resin composition for an insulating layer in the same manner as described above, and this is dried and a film with a supporting substrate (insulating) A film) is formed on the surface on which the insulating layer is formed using a vacuum press, a normal pressure laminator, a vacuum laminator, a Becquerel type laminating apparatus, or the like, to form an insulating layer. In addition, instead of a resin base material such as a polyester film, an insulating film is formed on a metal base material in the same manner as described above, and a film with a metal layer (insulating film) is produced and laminated. And a method of forming an insulating layer. In the film with a metal layer, the metal layer can be processed as a conductor circuit.
The insulating layer resin composition may be used for an insulating layer of a wiring board, and includes, for example, those containing an insulating resin such as the cyclic olefin resin, polyimide resin and epoxy resin, and required characteristics. For example, when properties such as heat resistance and dielectric constant are required, an addition (co) polymer of the norbornene-based resin is preferable.
The temperature for heat curing the insulating layer is preferably in the range of 150 ° C to 300 ° C. In particular, 150-250 degreeC is preferable. In the case where a plurality of insulating layers are provided, the first insulating layer is heated and semi-cured to form one or more insulating layers on the insulating layer. It is possible to improve the adhesion between the insulating layer and between the insulating layer and the conductor circuit by heating and curing again to such an extent that it does not occur. In this case, the semi-curing temperature is preferably 150 ° C to 250 ° C, more preferably 150 ° C to 200 ° C.
Further, after the insulating layer is formed, the surface of the insulating layer is subjected to plasma treatment, whereby the adhesion between the insulating layers and between the insulating layer and the conductor circuit can be improved. As the plasma treatment gas, one or a mixture of gases such as oxygen, argon, fluorine, carbon fluoride, and nitrogen can be used. Further, the plasma treatment may be performed a plurality of times.

次に、絶縁層106に、レーザーを照射して、ビアホール107を形成する(図1(d))。前記レーザーとしては、エキシマレーザー、UVレーザーおよび炭酸ガスレーザーなどが使用でき、前記レーザーによるビアホールの開孔においては、絶縁層の材質が感光性・非感光性に関係なく、微細なビアホールを容易に形成することができるので、微細加工が必要とされる場合に、特に好ましい。また、ビアホール107の形成方法としては、上記レーザーを照射する方法以外に、レーザーおよびプラズマなどによるドライエッチング、ケミカルエッチング等を用いることができる。また、絶縁層106を感光性の樹脂により作製した場合には、絶縁層106を選択的に感光し、現像することでビアホール107を形成することもできる。   Next, the insulating layer 106 is irradiated with a laser to form a via hole 107 (FIG. 1D). As the laser, an excimer laser, a UV laser, a carbon dioxide gas laser, or the like can be used. When a via hole is opened by the laser, a fine via hole can be easily formed regardless of whether the material of the insulating layer is photosensitive or non-photosensitive. Since it can be formed, it is particularly preferable when microfabrication is required. As a method for forming the via hole 107, in addition to the laser irradiation method, dry etching, chemical etching, or the like using a laser or plasma can be used. In the case where the insulating layer 106 is made of a photosensitive resin, the via hole 107 can be formed by selectively exposing and developing the insulating layer 106.

次に、第二の導体回路層108を形成する(図1(e))。第二の導体回路層108の形成方法としては、公知の方法であるセミアディティブ法などで形成することができる。これらの方法により、多層配線板を製造することができる。   Next, the second conductor circuit layer 108 is formed (FIG. 1E). The second conductor circuit layer 108 can be formed by a known method such as a semi-additive method. A multilayer wiring board can be manufactured by these methods.

(実施例)
以下、本発明を実施例および比較例に基づき詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものでは無い。
(Example)
EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated in detail based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to this.

[樹脂組成物の作製]
室温で導電性カーボンブラック1g(平均粒径30nm)と球状シリカフィラー5g(平均粒径5μm)をポリノルボルネン20g(プロメラス社製、アバトレル(ブチルノルボルネン90mol%とトリエトキシシランノルボルネン10mol%の共重合体))とジエチレングリコールモノメチルエーテル20gの混合溶液に投入し、遊星回転式混練装置によりプレ攪拌を行った。攪拌終了後、3本ロールミルにて十分に混練を行い、目的とする抵抗ペーストを得た。
[Preparation of resin composition]
Copolymer of 1 g of conductive carbon black (average particle size 30 nm) and 5 g of spherical silica filler (average particle size 5 μm) at room temperature and 20 g of polynorbornene (manufactured by Promelas, abaterol (90 mol% of butyl norbornene and 10 mol% of triethoxysilane norbornene) )) And 20 g of diethylene glycol monomethyl ether, and pre-stirring was performed with a planetary rotary kneader. After the completion of stirring, the mixture was sufficiently kneaded with a three-roll mill to obtain a target resistance paste.

[抵抗体評価用基板の作製]
図2の(a),(b)に示す図は、それぞれ(a)測定端子・電極形成基板、(b)抵抗体付き評価基板である。
FR−4両面銅張り積層板(ELC4765、住友ベークライト株式会社製)に、感光性レジストフィルム(AUS308、太陽インク製造株式会社製)をラミネートし、測定のための端子および電極を形成したマスクをかけ、露光機により露光した。
露光後現像し、余分なレジストを取り除いた。その後、エッチングを行い、銅を取り除き、更にレジストを取り除くことにより、測定のための銅の端子201および長さ5mm・幅2.5mm抵抗体用の電極202、4mm・幅2.0mm抵抗体用の電極203、3mm・幅1.5mm抵抗体用の電極204を形成した基板(図2(a))を得た。
[Preparation of substrate for resistor evaluation]
2A and 2B are (a) a measurement terminal / electrode formation substrate and (b) an evaluation substrate with a resistor, respectively.
A FR-4 double-sided copper-clad laminate (ELC4765, manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd.) is laminated with a photosensitive resist film (AUS308, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.), and a mask on which terminals and electrodes for measurement are formed is applied. Then, exposure was performed using an exposure machine.
After exposure, development was performed to remove excess resist. Thereafter, etching is performed to remove copper, and further to remove the resist, so that a copper terminal 201 for measurement and an electrode 202 for length 5 mm and width 2.5 mm resistor, 4 mm and width 2.0 mm for resistor A substrate (FIG. 2A) on which an electrode 204 for a resistor 203, 3 mm and a width 1.5 mm was formed was obtained.

上記で得た抵抗ペーストを、スクリーン印刷機で、上記基板の電極と一致するように印刷し、180℃で3時間加熱することにより、樹脂を硬化し、抵抗体層の片側に導電体層がある抵抗体205付き基板(図2(b))を得た。このとき、面積抵抗を、後から算出できるように、抵抗体の厚みを厚み計で測定した。本実施例の場合、厚みは30μmであった。
このようにして、抵抗体評価用基板を作製した。
The resistor paste obtained above is printed with a screen printer so as to coincide with the electrode of the substrate, and heated at 180 ° C. for 3 hours to cure the resin, and the conductor layer is formed on one side of the resistor layer. A substrate with a resistor 205 (FIG. 2B) was obtained. At this time, the thickness of the resistor was measured with a thickness meter so that the sheet resistance could be calculated later. In the case of this example, the thickness was 30 μm.
In this way, a resistor evaluation substrate was produced.

導電性粒子として、粒径が24μmの黒鉛粒子を用いた以外は、実施例1と同様にした。   Example 1 was performed except that graphite particles having a particle size of 24 μm were used as the conductive particles.

導電性粒子として、粒径が13nmの導電性カーボンブラックを用いた以外は、実施例1と同様にした。   The same procedure as in Example 1 was performed except that conductive carbon black having a particle size of 13 nm was used as the conductive particles.

無機フィラーとして、平均粒径が9μmであるシリカフィラーを使用した以外は、実施例1と同様にした。   The same procedure as in Example 1 was performed except that a silica filler having an average particle size of 9 μm was used as the inorganic filler.

無機フィラーとして、平均粒径が0.5μmであるシリカフィラーを使用した以外は、実施例1と同様にした。   The same procedure as in Example 1 was performed except that a silica filler having an average particle size of 0.5 μm was used as the inorganic filler.

(比較例1)
導電性粒子として、粒径が27μmのグラファイトを用いた以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 1)
Example 1 was performed except that graphite having a particle size of 27 μm was used as the conductive particles.

(比較例2)
導電性粒子として、粒径が3nmの導電性カーボンブラックを用いた以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 2)
The same procedure as in Example 1 was performed except that conductive carbon black having a particle size of 3 nm was used as the conductive particles.

(比較例3)
無機フィラーとして、平均粒径が30μmであるシリカフィラーを使用した以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 3)
The same procedure as in Example 1 was performed except that a silica filler having an average particle size of 30 μm was used as the inorganic filler.

(比較例4)
平均粒径が3nmであるシリカフィラーを使用した以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 4)
Example 1 was repeated except that a silica filler having an average particle diameter of 3 nm was used.

(比較例5)
環状オレフィン樹脂の替わりにビスフェノールF型液状エポキシ樹脂を用い、硬化促進剤として2−フェニル4−メチルイミダゾールをエポキシ樹脂に対して5wt%添加した以外は、実施例1と同様にした。
(Comparative Example 5)
A bisphenol F type liquid epoxy resin was used in place of the cyclic olefin resin, and the same procedure as in Example 1 was carried out except that 5-phenyl 4-methylimidazole was added as a curing accelerator to the epoxy resin.

各実施例および比較例で得られた抵抗体について、以下の評価を行った。評価項目を内容と共に示す。得られた結果を表1に示す。
[はんだ耐熱性]
上記で作製した抵抗体評価用基板を、260℃に加熱したはんだ浴槽に5秒間浸漬した。この操作を5サイクル行った後、抵抗変化率を測定した。なお、プレシジョンLCRメーター 4284A(ヒューレット・パッカード社製)により面積抵抗値を測定し、抵抗変化率を算出した。
[煮沸試験]
上記で作製した抵抗体評価用基板を、100℃に沸騰した沸騰水に2時間浸漬、ついで室温放置22時間を1サイクルとし、これを5サイクル行った。その後、抵抗変化率を測定した。
[ホットオイル試験]
上記で作製した抵抗体評価用基板を、260℃に加熱したオイル槽に10秒間浸漬、ついで20℃の水槽に10秒間浸漬を1サイクルとし、これを100サイクル行った。その後、抵抗変化率を測定した。
The following evaluation was performed about the resistor obtained by each Example and the comparative example. The evaluation items are shown together with the contents. The obtained results are shown in Table 1.
[Solder heat resistance]
The resistor evaluation substrate prepared above was immersed in a solder bath heated to 260 ° C. for 5 seconds. After performing this operation for 5 cycles, the resistance change rate was measured. In addition, the area resistance value was measured with a Precision LCR meter 4284A (manufactured by Hewlett-Packard Company), and the resistance change rate was calculated.
[Boiling test]
The resistor evaluation substrate prepared above was immersed in boiling water boiled to 100 ° C. for 2 hours, and then allowed to stand at room temperature for 22 hours, which was taken as 5 cycles. Thereafter, the resistance change rate was measured.
[Hot oil test]
The resistor evaluation substrate prepared above was immersed in an oil tank heated to 260 ° C. for 10 seconds, and then immersed in a 20 ° C. water tank for 10 seconds for one cycle, and this was performed for 100 cycles. Thereafter, the resistance change rate was measured.

Figure 0004862259
Figure 0004862259

表1に示すように実施例1〜5において、本発明抵抗体ははんだ耐熱試験、煮沸試験等による抵抗変化率が小さく、信頼性に優れる。   As shown in Table 1, in Examples 1 to 5, the resistor of the present invention has a small resistance change rate by a solder heat resistance test, a boiling test, etc., and is excellent in reliability.

本発明の多層配線板とその製造方法を説明するための断面図である。It is sectional drawing for demonstrating the multilayer wiring board of this invention, and its manufacturing method. 本発明の抵抗体評価用の基板を銅配線側から見た図である。It is the figure which looked at the board | substrate for resistor evaluation of this invention from the copper wiring side.

符号の説明Explanation of symbols

101 導体回路層
102 開孔部
103 絶縁基板
104 抵抗体電極
105 抵抗体
106 絶縁層
107 ビアホール
108 第二の導体回路層
109 配線形成両面基板
201 測定端子
202 長さ5mm・幅2.5mm抵抗体用電極
203 長さ4mm・幅2.0mm抵抗体用電極
204 長さ3mm・幅1.5mm抵抗体用電極
205 抵抗体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 101 Conductor circuit layer 102 Opening part 103 Insulating substrate 104 Resistor electrode 105 Resistor 106 Insulating layer 107 Via hole 108 2nd conductor circuit layer 109 Wiring formation double-sided board 201 Measuring terminal 202 For length 5mm and width 2.5mm resistor Electrode 203 4 mm long and 2.0 mm wide electrode 204 for resistor body 3 mm long and 1.5 mm wide electrode 205 for resistor body

Claims (6)

下記化学式(1)で表されるブチル基を有するノルボルネンと下記化学式(2)で表されるトリエトシキシシリル基を有するノルボルネンとからなるポリノルボルネン樹脂の共重合体である環状オレフィン系樹脂中に、5nm以上25μm以下の粒径を有する導電性粒子と、無機フィラーとして5nm以上25μm以下の粒径を有するシリカフィラーとを分散させてなる抵抗ペースト。
Figure 0004862259
Figure 0004862259
In a cyclic olefin resin which is a copolymer of a polynorbornene resin composed of norbornene having a butyl group represented by the following chemical formula (1) and norbornene having a triethoxysilyl group represented by the following chemical formula (2) A resistance paste obtained by dispersing conductive particles having a particle size of 5 nm to 25 μm and silica filler having a particle size of 5 nm to 25 μm as an inorganic filler.
Figure 0004862259
Figure 0004862259
前記導電性粒子は、炭素材料粉末および/または金属粉末である請求項1に記載の抵抗ペースト。   The resistance paste according to claim 1, wherein the conductive particles are carbon material powder and / or metal powder. 前記導電性粒子は、カーボンブラックである請求項1または2に記載の抵抗ペースト。   The resistance paste according to claim 1, wherein the conductive particles are carbon black. 前記ポリノルボルネン樹脂の共重合体は、ブチル基を有するノルボルネン90mol%とトリエトシキシシリル基を有するノルボルネン10mol%とからなる請求項1ないしのいずれかに記載の抵抗ペースト。 The resistance paste according to any one of claims 1 to 3 , wherein the copolymer of the polynorbornene resin comprises 90 mol% of norbornene having a butyl group and 10 mol% of norbornene having a triethoxysilyl group. 前記抵抗ペーストは、0.1Pa・s以上100Pa・s以下の粘度を有するものである請求項1ないしのいずれかに記載の抵抗ペースト。 The resistor paste is one which has a 100 Pa · s or less viscosity than 0.1 Pa · s according to claim 1 to the resistance paste according to any one of 4. 請求項1ないしのいずれかに記載の抵抗ペーストで構成される抵抗体を内蔵した多層配線板。 A multilayer wiring board having a built-in resistor composed of the resistive paste according to any one of claims 1 to 5 .
JP2004354674A 2004-12-07 2004-12-07 Resistive paste and multilayer wiring board Expired - Fee Related JP4862259B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004354674A JP4862259B2 (en) 2004-12-07 2004-12-07 Resistive paste and multilayer wiring board

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004354674A JP4862259B2 (en) 2004-12-07 2004-12-07 Resistive paste and multilayer wiring board

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006164755A JP2006164755A (en) 2006-06-22
JP4862259B2 true JP4862259B2 (en) 2012-01-25

Family

ID=36666520

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004354674A Expired - Fee Related JP4862259B2 (en) 2004-12-07 2004-12-07 Resistive paste and multilayer wiring board

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4862259B2 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100979111B1 (en) 2008-06-20 2010-08-31 전자부품연구원 Thermally cured low resistance paste for thick film resistor
KR100986708B1 (en) * 2008-07-28 2010-10-11 전자부품연구원 Curable paste for thick film resistor

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61163601A (en) * 1985-01-16 1986-07-24 ソニー株式会社 Carbon paste for high resistance
JPS62266805A (en) * 1986-05-15 1987-11-19 ダイヤ電子株式会社 Manufacture of printed resistance element
JPH06103642B2 (en) * 1987-03-16 1994-12-14 タムラ化研株式会社 Printed resistor and manufacturing method thereof
JPS6459801A (en) * 1987-08-29 1989-03-07 Ibiden Co Ltd Carbon resin printing resistance paste
JPH01184901A (en) * 1988-01-20 1989-07-24 Sumitomo Bakelite Co Ltd Coating material for electric resistor
JPH0786753A (en) * 1993-09-16 1995-03-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacture of multilayer circuit board provided with built-in resistor
JP3117175B2 (en) * 1994-02-09 2000-12-11 アルプス電気株式会社 Resistor
JP3534127B2 (en) * 1995-01-20 2004-06-07 日本ゼオン株式会社 Norbornene-based addition copolymer
JP4024384B2 (en) * 1998-05-29 2007-12-19 松下電器産業株式会社 Resistor paste
JP4714955B2 (en) * 1999-09-29 2011-07-06 日本ゼオン株式会社 Cyclic olefin addition polymer and process for producing the same
US20050154105A1 (en) * 2004-01-09 2005-07-14 Summers John D. Compositions with polymers for advanced materials

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006164755A (en) 2006-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101564179B1 (en) Structure containing conductor circuit, method for manufacturing same, and heat-curable resin composition
KR100480547B1 (en) Dry film containing cycloolefinic polymers, laminates and multilayer laminated boards using the same, and process for producing multilayer laminated boards
JP4997766B2 (en) Resin composition, method for producing the same, and resin film
WO1999001519A1 (en) Adhesive for semiconductor components
JP2006237506A (en) Magnetic material paste, inductor, and multilayer wiring board
KR100580887B1 (en) Alicyclic resin composition
JP2004277726A (en) Resin composition and method for manufacturing the same
JP2007177073A (en) Resin composition, laminated body, wiring board, and manufacturing method of wiring board
JP4862259B2 (en) Resistive paste and multilayer wiring board
JP2012214608A (en) Curable resin composition, film, laminate, and cured product
JP2006107770A (en) Dielectric paste, capacitor, and substrate
JP2012214610A (en) Curable resin composition, film, laminate, and cured product
JP5417680B2 (en) Resin composition, laminate, wiring board and method for manufacturing wiring board
JP4687196B2 (en) Wiring board
JP2006152173A (en) Resin composition, resin layer, carrier material with resin layers and circuit board
JP2012160741A (en) Resin composition, laminate, wiring board, and wiring board manufacturing method
JP2006120326A (en) Dielectric paste, dielectric, and capacitor
JP2006278994A (en) Resin composition, laminated body, wiring board, and manufacturing method thereof
JP5298883B2 (en) COMPOSITE MATERIAL AND METHOD FOR PRODUCING COMPOSITE MATERIAL
JP5087819B2 (en) Resin composition, laminate, wiring board and method for manufacturing wiring board
JP2007103683A (en) Resin composition, laminated body, wiring board, and manufacturing method therefor
JP4894138B2 (en) Resin composition, resin layer, carrier material with resin layer, and circuit board
JP2006104302A (en) Resin composition and application thereof
JP2006102753A (en) Thermosetting flux, flux sheet, and multilayer printed circuit board
JP2006096925A (en) Resin composition, resin layer, carrier material with resin layer and circuit board

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070626

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20091120

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20091208

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100201

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101102

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20111011

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111024

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141118

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees