JP4773096B2 - 基板帯電ダメージを抑制するための方法 - Google Patents
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Description
Claims (62)
- プラズマ処理システムにおいて基板に対する帯電ダメージを抑制する方法であって、
前記プラズマ処理システムに第1の電力を結合して第1のプラズマを使用して前記基板にエッチング処理を実施する工程と、
前記エッチング処理の後に、前記プラズマ処理システムに第2の電力を結合する工程と、前記第2の電力は、前記第1の電力より低くさせて、前記プラズマ処理システムの少なくとも1つの露出面からの1よりも大きい二次電子収率に対応するように、および前記第1の電力の印加によって生じる前記プラズマ処理システムの前記少なくとも1つの露出面上の負の電荷の蓄積を減少させるように選択されることと、
前記第2の電力を結合する工程の後に、前記第2の電力より低い第3の電力を前記プラズマ処理システムに結合して前記基板にアッシング処理を実施する工程と、
を具備する方法。 - 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は繰り返されない。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力を結合する工程は、前記プラズマを消すことがないように、前記第1の電力を結合する工程に続く。
- 請求項1に記載の方法において、
前記第1の電力を結合する工程に対応する前記第1のプラズマを消す工程と、
第2のプラズマを生成する工程と、前記第2のプラズマは前記第2の電力を結合する工程によって生成することと、
を更に具備する。 - 請求項1に記載の方法において、前記第3の電力を結合する工程は、前記第1のプラズマを消すことがないように、前記第2の電力を結合する工程に続く。
- 請求項5に記載の方法において、
前記第2の電力を結合する工程に対応する前記第2のプラズマを消す工程と、
前記プラズマ処理システムに前記第3の電力を結合する工程と、前記第3の電力を結合する工程は第3のプラズマを生成することと、
を更に具備する。 - 請求項1に記載の方法において、前記第1の電力は約1000Wより大きい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第3の電力は約500Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、前記基板上の負の電荷の蓄積を減少させるように選択される。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、電極上の負の電荷の蓄積を減少させるように選択される。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、基板ホルダ上の負の電荷の蓄積を減少させるように選択される。
- 請求項1に記載の方法において、前記少なくとも1つの露出面はシリコンを具備する。
- 請求項1に記載の方法において、前記露出面の少なくとも1つはアルミナを具備する。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、約80Wより大きく且つ約1310Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、約115Wより大きく且つ約1060Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、約205Wより大きく且つ約840Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、約260Wより大きく且つ約640Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記第2の電力は、約400Wより大きく且つ約640Wより小さい。
- 請求項1に記載の方法において、前記1よりも大きい二次電子収率はεminからεmaxの電子エネルギの範囲に対応し、前記第2の電力は(ε/C)2に対応し、ここで、εは前記範囲内の電子エネルギを具備し、Cは定数を具備する。
- 請求項19に記載の方法において、前記定数は約10から20範囲の値である。
- 請求項20に記載の方法において、前記定数は約14である。
- 請求項19に記載の方法において、前記最小電子エネルギは約125eVであり、前記最大電子エネルギは約500eVである。
- 請求項19に記載の方法において、前記電子エネルギの範囲は、ピーク電子エネルギεpeakを更に具備し、前記ピーク電子エネルギは二次電子収率のピークに対応する。
- 請求項23に記載の方法において、前記ピーク電子エネルギは約250eVである。
- 請求項23に記載の方法において、前記第2の電力は、約[ピーク電子エネルギ−10%]から[ピーク電子エネルギ+50%]の範囲の電子エネルギに対応する。
- 請求項23に記載の方法において、前記第2の電力は、約[ピーク電子エネルギ−20%]から[ピーク電子エネルギ+60%]の範囲の電子エネルギに対応する。
- プラズマ処理チャンバ内の露出面上の負の電荷を減少させる方法であって、
前記プラズマ処理チャンバ内にイオン化ガスを導入する工程と、
前記イオン化ガスに第1の電力を結合して前記プラズマ処理チャンバ内でエッチング処理を実施する工程と、
前記イオン化ガスに中間電力を結合することによりプラズマを生成する工程と、前記中間電力は、前記第1の電力より低くさせて、前記露出面の少なくとも1つからの二次電子収率が1よりも大きくなるようにすることと、
前記中間電力を結合する工程の後に、前記中間電力より低い後処理の電力を前記イオン化ガスに結合して前記プラズマ処理チャンバ内でアッシング処理を実施する工程と、
を具備する方法。 - 請求項27に記載の方法において、前記露出面は少なくとも1つの基板ホルダ表面を具備する。
- 請求項27に記載の方法において、前記露出面は少なくとも1つの電極表面を具備する。
- 請求項27に記載の方法において、前記露出面は少なくとも1つのシリコン表面を具備する。
- 請求項27に記載の方法において、前記露出面の少なくとも1つはシリコンを具備する。
- 請求項27に記載の方法において、前記露出面の少なくとも1つはアルミナを具備する。
- 請求項27に記載の方法において、前記中間電力は、約80Wより大きく且つ約1310Wより小さい。
- 請求項27に記載の方法において、前記中間電力は、約260Wより大きく且つ約640Wより小さい。
- プラズマ処理システムにおいて基板に対する帯電ダメージを抑制する方法であって、
イオン化ガスを導入する工程と、
前記プラズマ処理システムに第1の電力を結合して前記イオン化ガスからプラズマを生成する工程と、
前記基板を前記プラズマに晒してエッチングする工程と、
前記プラズマを消す工程と、
前記プラズマを消す工程の後に、前記プラズマ処理システムに中間電力を結合することにより前記基板を処理する工程と、前記中間電力は、前記第1の電力より低くさせて、前記基板表面からの1よりも大きい二次電子収率に対応させ、および前記プラズマ処理システムにおいて前記プラズマに晒される基板表面上の負の電荷の蓄積を減少させることと、
前記中間電力を結合する工程の後に、前記中間電力より低い後処理の電力を前記イオン化ガスに結合して前記プラズマ処理チャンバ内でアッシング処理を実施する工程と、
を具備する方法。 - 請求項35に記載の方法において、前記中間電力は、約80Wより大きく且つ約1310Wより小さい。
- 請求項35に記載の方法において、前記中間電力は、約115Wより大きく且つ約1060Wより小さい。
- 請求項35に記載の方法において、前記中間電力は、約205Wより大きく且つ約840Wより小さい。
- 請求項35に記載の方法において、前記中間電力は、約260Wより大きく且つ約640Wより小さい。
- 請求項35に記載の方法において、前記中間電力は、約400Wより大きく且つ約640Wより小さい。
- 請求項35に記載の方法において、前記1よりも大きい二次電子収率はεminからεmaxの電子エネルギの範囲に対応し、前記第2の電力は(ε/C)2に対応し、ここで、εは前記範囲内の電子エネルギを具備し、Cは定数を具備する。
- 請求項41に記載の方法において、前記定数は約10から20範囲の値である。
- 請求項42に記載の方法において、前記定数は約14である。
- 請求項41に記載の方法において、前記最小電子エネルギは約125eVであり、前記最大電子エネルギは約500eVである。
- 請求項41に記載の方法において、前記電子エネルギの範囲は、ピーク電子エネルギεpeakを更に具備し、前記ピーク電子エネルギは二次電子収率のピークに対応する。
- 請求項45に記載の方法において、前記ピーク電子エネルギは約250eVである。
- 請求項45に記載の方法において、前記中間電力は、約[ピーク電子エネルギ−10%]から[ピーク電子エネルギ+50%]の範囲の電子エネルギに対応する。
- 請求項45に記載の方法において、前記中間電力は、約[ピーク電子エネルギ−20%]から[ピーク電子エネルギ+60%]の範囲の電子エネルギに対応する。
- プラズマ処理システムにおいて基板に対する帯電ダメージを抑制する方法であって、
前記プラズマ処理システム内の少なくとも1つの露出面を特定する工程と、
前記少なくとも1つの露出面の少なくとも1つの上に二次電子エミッタ表面を提供する工程と、前記二次電子エミッタ表面は、所定のエネルギレベル範囲で1よりも大きい二次電子収率を有することが可能な材料を具備することと、
前記プラズマ処理システムにイオン化ガスを導入する工程と、
前記プラズマ処理システムに第1の電力を結合して前記イオン化ガスからプラズマを生成する工程と、
エッチング処理として前記基板を前記プラズマに晒す工程と、
前記プラズマ処理システムに第1の電力より低い中間電力を結合することにより前記基板を処理する工程と、前記中間電力は、前記所定のエネルギレベル範囲内のエネルギレベルに対応することと、
前記中間電力を結合する工程の後に、前記中間電力より低い後処理の電力を前記イオン化ガスに結合して前記プラズマ処理チャンバ内でアッシング処理を実施する工程と、
を具備する方法。 - プラズマ処理システムにおいて基板に対する帯電ダメージを抑制する方法であって、
前記基板をプラズマに晒す工程と、
前記プラズマ処理システムに第1の電力を結合することにより前記基板をエッチング処理する工程と、
前記プラズマ処理システムに第2の電力を結合する工程と、前記第2の電力を結合する工程が第2のプラズマを生成し、前記第2の電力は、前記第1の電力より低くさせて、前記プラズマに晒される1つ以上の表面の少なくとも1つからの1よりも大きい二次電子収率に対応するように、および前記プラズマ処理システム内の前記プラズマに前記晒される1つ以上の表面上の電荷の蓄積を減少させるように選択されることと、
前記第2の電力を結合する工程の後に、前記第2の電力より低い第3の電力を前記プラズマ処理システムに結合して前記基板に後処理であるアッシング処理を実施する工程と、前記後処理であるアッシング処理は、前記基板のエッチング処理とは異なることと、
を具備する方法。 - 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力を結合する工程は、前記プラズマを消すことがないように、前記第1の電力を結合する工程に続く。
- 請求項50に記載の方法において、前記第1の電力を結合する工程が終了し且つ前記プラズマが消され、そして、前記第2の電力を結合する工程が第2のプラズマを生成する。
- 請求項50に記載の方法において、前記第3の電力を結合する工程は、前記プラズマを消すことがないように、前記第2の電力を結合する工程に続く。
- 請求項50に記載の方法において、前記第3の電力を結合する工程は、前記第2のプラズマを消すことがないように、前記第2の電力を結合する工程に続く。
- 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力を結合する工程が終了し且つ前記第2のプラズマが消され、そして、前記第3の電力を結合する工程が第3のプラズマを生成する。
- 請求項50に記載の方法において、前記基板の処理中、前記プラズマ処理システムに前記第1の電力を結合する工程と、前記プラズマ処理システムに前記第2の電力を結合する工程とを交互に行う。
- 請求項50に記載の方法において、前記第1の電力は約1000Wより大きい。
- 請求項50に記載の方法において、前記第3の電力は約500Wより小さい。
- 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力は50Wより大きく且つ1500Wより小さい。
- 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力は約600Wである。
- 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力は、前記プラズマ処理システム内の前記プラズマに晒される1つ以上の表面上の負の電荷の蓄積を減少させるように選択される。
- 請求項50に記載の方法において、前記第2の電力は、前記プラズマ処理システム内の前記プラズマに晒される1つ以上の表面上の正の電荷の蓄積を減少させるように選択される。
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