JP4741245B2 - イオン加速装置 - Google Patents
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Description
図2は、多段式の装置を示している。
Claims (8)
- イオン化室と電極装置と磁石装置とを備えたイオン加速装置であって、
−イオン化室が長手方向にイオンの出射開口を有していて、長手方向に対して直交する横方向で少なくとも1つの側壁により仕切られており、出射開口から間隔を置いて配置された供給開口を介してイオン化室内に作業ガスが導入可能であり、
−電極装置が少なくとも1つのカソードとアノードとを有していて、イオン化室内で、正に帯電された作業ガスイオンを出射開口の方向に加速させるための電界を発生させるようになっており、
−磁石装置がイオン化室内に、長手方向で、該長手方向に対してほぼ平行な磁界方向を有する少なくとも1つの第2の種類の長手方向区分と、該第2の種類の長手方向区分に隣接し、しかも第2の種類の長手方向区分に比べて大きな、長手方向に対して直角な磁界成分を有する第1の種類の長手方向区分とを有する磁界を発生させるようになっており、
−互いに向かい合って位置する壁面の間の壁間隔が、第2の種類の長手方向区分において、第1の種類の長手方向区分におけるよりも小さく形成されている
形式のものにおいて、
第2の種類の長手方向区分において、長手方向に延びる壁形状が、イオン化室に向かって単調に曲げられた湾曲を有している
ことを特徴とするイオン加速装置。 - 第2の種類の長手方向区分における最小の壁間隔が、第1の種類の長手方向区分における最大の壁間隔よりも少なくとも15%だけ小さく形成されている、請求項1記載のイオン加速装置。
- 第2の種類の長手方向区分における最小の壁間隔が、第1の種類の長手方向区分における最大の壁間隔よりも少なくとも25%だけ小さく形成されている、請求項2記載のイオン加速装置。
- 第1の種類の長手方向区分と第2の種類の長手方向区分とが複数個設けられていて、前記長手方向にそれぞれ交互に連続している、請求項1から3までのいずれか1項記載のイオン加速装置。
- 第1の種類の長手方向区分において、磁界の長手方向成分の方向転換が生じる、請求項1から4までのいずれか1項記載のイオン加速装置。
- 第2の種類の長手方向区分における室壁が、少なくとも部分的に中間電極により形成されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のイオン加速装置。
- イオン化室の、長手方向で見て出射開口とは反対の側の端部にアノードが配置されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のイオン加速装置。
- カソードが一次電子源として形成されていて、イオン化室の外部で出射開口に対して側方にずらされて配置されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のイオン加速装置。
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