JP4729760B2 - 極微細構造およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、微細構造およびその製造方法に関し、特に、固体表面上に展開された一次元の分子マスクを用いた高密度の極微細構造およびその製造方法を対象とする。
【0002】
【従来の技術】
Si基板などの固体表面上に回路パターンなどの微細構造を形成する方法として、従来は、露光装置を用いたPEP(Photo Engraving Process:写真蝕刻プロセス)やEB(Electron Beam)装置などを用いた走査プローブ法が広く採用されてきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、露光装置では解像度に限界があるため、デザインルールをさらに小さくすることは困難である。
【0004】
これに対して走査プローブ法は、荷電粒子ビームを基板に照射することによりパターンを描画するため、解像度においては優れるが、ビーム走査による直接描画であるため、微細パターンの形成には長い処理時間が必要となる。従って、大面積での処理を高いスループットで実現しようとすると、極微細化を達成することができなかった。
【0005】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、高いスループットで高密度が実現された極微細構造およびその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、以下の手段により上記課題の解決を図る。
【0007】
即ち、本発明によれば、
ダングリングボンドを有する第1の物質でなる層を表面に有する基板上に、上記ダングリングボンドと結合する第2の物質を供給し、上記ダングリングボンドが残存する線状の活性領域を選択的に形成する第1の工程と、フラーレン分子を蒸着させて上記残存するダングリングボンドと結合させ、上記活性領域に一次元分子マスクを形成する第2の工程と、上記フラーレン分子と結合する力が相互に結合する力よりもはるかに小さい第3の物質を上記基板上に堆積させる第3の工程と、上記第3の物質を活性化させて上記一次元分子マスクの領域間に移動させ、上記フラーレン分子を露出させる第4の工程と、を備える極微細構造の製造方法が提供される。
【0008】
本発明にかかる極微細構造の製造方法によれば、ダングリングボンドが残存する線状の活性領域を選択的に形成し、さらに、この活性領域にフラーレン分子を蒸着させるので、リソグラフィ技術を用いることなく、一次元分子マスクを形成することができる。
【0009】
また、上記フラーレン分子と結合する力が相互に結合する力よりもはるかに小さい第3の物質を上記基板上に堆積させた後に、この第3の物質を活性化させるので、上記第3の物質が上記一次元分子マスクの領域間に移動して上記フラーレン分子が露出する。この結果、上記第3の物質の形状は、あたかも上記一次元分子マスクの領域を谷底とするキャニオン形状となる。このように、非常に簡易な製造工程により、高密度の極微細構造が高いスループットで提供される。
【0010】
上述した極微細構造の製造方法において、上記活性領域は、上記第1の物質でなる層の表面に形成された段差の側面領域であると良い。
【0011】
また、上記第1の工程は、上記第1の物質の原子が移動を始める第1の温度以上であって上記第1の物質が蒸発を始める第2の温度未満の範囲の温度条件での熱処理工程を含むことが望ましい。
【0012】
上記熱処理工程は、所望の密度の上記活性領域が得られるように上記温度条件を制御する工程を含むと好適である。
【0013】
上記第1の温度以上で上記第2の温度未満の範囲内において、温度が低いほど上記活性領域の密度は高くなり、この一方、温度が高いほど上記活性領域の密度は低くなる。これは、温度が低いと、上記第2の物質の拡散距離が短くなり、既に第2の物質が蒸着した領域上にさらに蒸着する前に、未だ第2の物質が蒸着していない領域における上記第1の物質のダングリングボンドと結合しようとするからである。
【0014】
上記熱処理工程は、上記第1の物質を供給する間に実行される工程と、上記第1の物質を供給した後に実行される工程とを含む。
【0015】
また、上述した極微細構造の製造方法においては、上記活性領域が所望の密度を有するまで上記第1ないし第3の工程を繰り返すことが望ましい。
【0016】
上記第2の工程は、上記一次元分子マスクを形成した後に、上記第2の物質を除去する工程を含むと良い。
【0017】
さらに、上記第1の物質は、導体または半導体であると好適である。
【0018】
また、本発明によれば、
ダングリングボンドによる線状の活性領域を有し、導体または半導体である第1の物質でなる第1の層を表面に含む基板と、上記活性領域に配設されて上記ダングリングボンドと結合したフラーレン分子と、上記第1の層の領域のうち上記フラーレン分子を除く不活性領域上に選択的に形成されてテーパ状の側面を有する第2の物質でなる第3の層と、を備える極微細構造が提供される。
【0019】
上述の極微細構造において、上記線状の活性領域は、上記第1の層の表面に形成された段差の側面領域であると好適である。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態のいくつかについて図面を参照しながら説明する。なお、以下の各図においては同一の部分に同一の参照番号を付してその説明を省略する。
【0021】
(1)極微細構造の実施形態
図1は、本発明にかかる極微細構造の実施の一形態を示す略示断面図である。同図に示す極微細構造1は、Si(111)7×7の基板11と、基板11上に蒸着されたフラーレンC6031と、基板11上に形成された単結晶Si層42とを備える。基板11の表面には、段差STが形成され、この段差STの側面に接するようにフラーレンC6031が蒸着される。また、Si層42は、基板11の領域のうちフラーレンC6031が蒸着された領域を除く領域上に形成されている。
【0022】
図2は、図1に示す極微細構造1の表面構造の一部(200nm×200nm)を走査トンネル顕微鏡(Scanning Tunneling Microscope:以下、単にSTMという)で観察した場合の画像(以下、STM画像という)である。同図に示すように、あたかもフラーレンC6031が蒸着された領域を谷底とするキャニオンをなすように、Si層42が形成され、基板11に平行な面に沿った頂部の切断面の面積は、底部の切断面の面積よりも小さくなっている。
【0023】
本実施形態においては、Si層42は台形の断面形状を有するように形成されているが、例えばほぼ3角形の断面形状を有するように頂部を尖らせて形成することにより、ディスプレイ装置内の電界放射デバイスとしての用途が考えられる。
【0024】
(2)極微細構造の製造方法の実施形態
次に、本発明にかかる極微細構造の製造方法の実施の形態のいくつかを図面を参照しながら説明する。
【0025】
(a)第1の実施形態
図3、図6、図7、図10および図11は、図1に示す極微細構造の製造方法を説明する略示断面図である。
【0026】
まず、図3に示すように、Si(111)7×7の基板11を準備する。基板11は、以後の全工程において10−8〜10−9Paの高真空中で処理される。
【0027】
図4は、基板11の表面における原子構造を説明する模式図である。同図に示すように、基板11のSi(111)7×7表面は、いわゆるアドアトムと呼ばれるSiが吸着していたり、コーナホール13が形成されているなど、複雑な構造を有する。ここで、図4のA−A線に沿って切断することにより、Si原子がダングリングボンドを有するように以下の表面処理を行なう。
【0028】
まず、基板11の温度を200℃〜700℃の範囲まで上げ、この温度条件下でAgを蒸着させる。Ag原子は、その拡散距離に応じて移動し、図4のA−A線に沿った端面(または切断面)上に吸着することによって安定する。このとき、図4のアドアトムおよび矢印で示した剰余のSi原子は、基板11の表面にアイランド(島)をなすように相互に結合し、アイランドの表面を図4および図5のA−A線に沿った端面と等価にすることによって、アイランドの表面にも安定にAg原子が吸着できる。この結果、図5に示すように、基板11の表面に段差STが形成される。Ag原子が基板11表面のダングリングボンドに結合することにより形成されたAg層は不活性領域となるが、段差STへのAg原子吸着は不完全または不安定であるために段差STは活性領域となる。これにより、図6に示すように、段差STの部分(側面)のみに活性領域を残して基板11の表面がAg層21でなる不活性領域となる。段差ST部分の活性領域は、平面視において線状の閉ループの集合体となる。このように、本実施形態によれば、フォトリソグラフィの技術を用いることなく、線状の活性領域を形成することができる。
【0029】
Ag原子の拡散距離は、温度に依存し、温度が高ければ、Ag原子が広い範囲を移動して既に段差がある部分でSi原子と結合する確率が高くなる。この一方、温度が低ければ、既にある段差部分に到達する前にSi原子のダングリングボンドと結合する。これにより、新たな段差STが形成される。このように、段差の密度は、温度で制御することができる。なお、このような温度制御は、Ag原子蒸着時の基板11の温度に限らず、蒸着後の熱処理で実行しても良い。
【0030】
次に、基板11の温度を約200℃とし、この温度でフラーレンC6031を基板11上に蒸着させる。フラーレンC6031は、図7に示すように、段差ST部分の活性領域に飛び出しているSi原子のダングリングボンド1個〜数個に結合する。この結果、平面視において閉ループの集合体をなす一次元分子マスクが形成される。
【0031】
図8および図9は、このようにして形成された一次元分子マスクの一例のSTM画像である。図8と図9の紙面左側の図とは、200nm×200nmの領域を観察したものである。図9の紙面右側の挿入図から、Ag1分子の幅(1nm)を有する一次元分子マスクが形成されていることが分かる。
【0032】
次に、図10に示すように、基板11上の不活性領域を形成しているAg層21を除去することによりSi層を露出させる。Ag層21を除去するための最も適切な方法は、基板11を700℃の温度で約1分間加熱することである。加熱の方法は、どのような方法を用いても良い。
【0033】
次に、図11に示すように、基板11上の全面にアモルファスシリコン層41を形成する。アモルファスシリコン層41の表面には、基板11の表面形状に応じて凹凸が形成される。基板11上にアモルファスシリコン層41を形成した場合における基板11の表面を示すSTM画像の一例を図12に示す。観察領域は、200nm×200nmである。
【0034】
その後は、約300℃〜約400℃の温度で数分間アモルファスシリコン層41を熱アニールすることにより、アモルファスシリコンを結晶化させ、図1および図2に示す極微細構造1を取得することができる。
【0035】
図13は、熱アニール処理を実行して得られた極微細構造1の表面のSTM画像の一例を示す。観察領域は、図12と同様の200nm×200nmである。また、図14は、図13に示す極微細構造1が熱アニール処理により単結晶化していることを確認するために、その表面をさらに高倍率で観察した場合のSTM画像を示す。観察領域は、3nm×4.4nmである。なお、図14で観察される整然とした輝点の配置は、作製した極微細構造1が単結晶シリコンであることを示している。
【0036】
(b)第2の実施形態
次に、本発明にかかる極微細構造の製造方法の第2の実施の形態について図面を参照しながら説明する。本実施形態の特徴は、上述した第1の実施形態において図6、図7および図10に示す工程を所望の段差密度が得られるまで繰り返すことにより所望の密度の一次元分子マスクを形成する点にある。その他の工程については、上述した第1の実施形態とほぼ同一であるので、以下では相異点を中心に説明する。なお、本実施形態においても全工程が10−8〜10−9Paの高真空中で処理される。
【0037】
まず、上述した第1の実施形態と同様に、Si(111)7×7の基板11を準備する。(図3参照)。
【0038】
次に、Ag蒸着およびフラーレンC6031蒸着の工程に移行する(図6、図7および図10参照)。上述した第1の実施形態においては、この一連の工程を一回のみ実行したが、本実施形態では、3回繰り返すことにより一次元分子マスクの高密度化を実現する。
【0039】
図15は、本実施形態により、Ag蒸着およびフラーレンC6031蒸着の工程を3回繰り返して得られた一次元分子マスクを観察した場合のSTM画像の一例であり、観察領域は200nm×200nmである。また、図16は、図15に示す一次元分子マスクをさらに高倍率で観察した場合のSTM画像であり、観察領域は、3.7nm×3.7nmである。図9および図15の各STM画像における一次元分子マスクの分布状態を対比しても明らかなように、Ag蒸着およびフラーレンC6031蒸着の工程を3回繰り返した場合の段差密度は、同様の工程を一回のみ実行した場合の段差密度よりも格段に高くなっていることが分かる。
【0040】
その後は、基板11上の全面にアモルファスシリコン層41を形成し(図11参照)、さらに、約300℃〜約400℃の温度で数分間熱アニールすることにより、アモルファスシリコン41を結晶化させ、さらに高密度の極微細構造2を取得する(図示せず)。
【0041】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記形態に限るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上述した実施形態では、基板11としてSi(111)7×7基板を用いたが、これに限らず、ダングリングボンドが存在する結晶方位の半導体層または金属層であれば、例えばSi(001)基板、Ge(111)基板、Ge(001)基板やGaAs(111)基板なども用いることができる。
【0042】
また、基板11上に線状の活性領域を得るためにSi(111)7×7上にAgを蒸着したが、上述のダングリングボンドと結合する物質であれば、Ag以外に例えば水素(H)、スズ(Sn)、金(Au)などを基板の種類に応じて用いることも可能である。
【0043】
また、一次元分子マスクを形成する材料であるフラーレンについても、C60に限ることなく、例えばC70、C76、C78、C64なども使用可能である。また、分子そのものの安定性に鑑みてフラーレンを選択したが、活性領域のダングリングボンドと結合し、かつ、その後に基板上に成長させまたは堆積させる物質層との間で良好な結合関係を有しないものであればフラーレン以外の物質も一次元分子マスク形成用の材料として利用可能である。
【0044】
【発明の効果】
以上詳述したとおり、本発明によれば、フォトリソグラフィ技術を用いることなく、基板上に一次元分子マスクを形成するので、高密度の極微細構造を高いスループットで提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にかかる極微細構造の実施の一形態を示す略示断面図である。
【図2】図1に示す極微細構造の表面構造を示すSTM画像である。
【図3】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する略示断面図である。
【図4】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する模式図である。
【図5】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する模式図である。
【図6】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する略示断面図である。
【図7】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する略示断面図である。
【図8】図1〜図7に示された製造方法により形成された一次元分子マスクの一例のSTM画像である。
【図9】図1〜図7に示された製造方法により形成された一次元分子マスクの一例のSTM画像である。
【図10】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する略示断面図である。
【図11】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第1の実施の形態を説明する略示断面図である。
【図12】図11に示す工程によりアモルファスシリコン層を形成した場合における基板の表面を示すSTM画像の一例である。
【図13】熱アニール処理を実行して得られた極微細構造の表面を示すSTM画像の一例である。
【図14】アモルファスシリコン層が熱アニール処理により単結晶化されたことを確認するために、図13に示す極微細構造の表面をさらに高倍率で観察した場合のSTM画像である。
【図15】本発明にかかる極微細構造の製造方法の第2の実施の形態により得られた一次元分子マスクを観察した場合のSTM画像の一例である。
【図16】図15に示す一次元分子マスクを図15のSTM画像よりもさらに高倍率で観察した場合のSTM画像である。
【符号の説明】
1,2 極微細構造
11 Si(111)7×7基板
21 Ag層
31 フラーレンC60
41 アモルファスシリコン層
42 単結晶Si層
ST 段差
Claims (6)
- Si基板を200℃〜700℃に加熱してAgを蒸着させて、前記Si基板の表面にSi原子のアイランドを形成し、前記アイランドの段差以外の前記Si基板の表面にAg原子を吸着させ、前記段差のダングリングボンドを残存させる第1の工程と、
フラーレン分子を蒸着させて前記残存するダングリングボンドと結合させ、前記段差の活性領域に一次元分子マスクを形成した後に、Agを除去する第2の工程と、
アモルファスシリコンを前記基板上に堆積させる第3の工程と、
前記アモルファスシリコンを熱アニールして前記一次元分子マスクの領域間に移動させ、前記フラーレン分子を露出させる第4の工程と、
を備える極微細構造の製造方法。 - 前記第1の工程は、所望の密度の前記活性領域が得られるように前記Si基板の温度を制御する熱処理工程を含むことを特徴とする請求項1に記載の極微細構造の製造方法。
- 前記熱処理工程は、前記Si基板にAgを蒸着させた後に実行されることを特徴とする請求項2に記載の極微細構造の製造方法。
- 前記第1および第2の工程は、前記活性領域が所望の密度を有するまで繰り返されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の極微細構造の製造方法。
- Si原子からなり、段差にダングリングボンドによる線状の活性領域を有するアイランドを有するSi基板と、
前記活性領域に配設されて前記ダングリングボンドと結合したフラーレン分子と、
前記Si基板上の領域のうち前記フラーレン分子を除く不活性領域上に選択的に形成されてテーパ状の側面を有するSi層と、
を備える極微細構造。 - 前記線状の活性領域は、前記段差の側面領域であることを特徴とする請求項5に記載の極微細構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002075863A JP2002075863A (ja) | 2002-03-15 |
JP4729760B2 true JP4729760B2 (ja) | 2011-07-20 |
Family
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Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP4729760B2 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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