JP4697211B2

JP4697211B2 - Conveying robot having substrate alignment mechanism and semiconductor manufacturing apparatus or substrate inspection apparatus having the same

Info

Publication number: JP4697211B2
Application number: JP2007271304A
Authority: JP
Inventors: 健一元永; 英成尾野
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2007-10-18
Filing date: 2007-10-18
Publication date: 2011-06-08
Anticipated expiration: 2027-10-18
Also published as: JP2009099845A

Description

本発明は半導体製造装置及び基板検査装置に使用され、該装置において半導体、液晶、及びレチクルといった矩形の基板をアライメントする機構を備えた搬送ロボットに関する。 The present invention relates to a transfer robot that is used in a semiconductor manufacturing apparatus and a substrate inspection apparatus, and includes a mechanism for aligning rectangular substrates such as semiconductors, liquid crystals, and reticles.

半導体や液晶の、製造装置、露光装置、及び基板検査装置において（以下、まとめて半導体製造装置と記載する）、特に半導体ウェハ、液晶、及びレチクル（フォトマスク）といった基板を搬送する際、一般的に搬送ロボットが使用されている。この搬送ロボットが、例えばレチクルを搬送し、これをケースに置きにいく動作を考えた場合、レチクルに対するケースの間口は非常にせまく、レチクルとケース内壁との隙間が片側約１ｍｍ程度であるため、レチクルを搬送ロボットのハンドに対してアライメント（前後、左右の整列）してからでなければケースとレチクルとの干渉が発生する恐れがある。すなわち、搬送ロボットのハンドに対して精密に正しい位置にレチクルを搭載する必要がある。そのため搬送ロボットは、レチクルをケースへ受渡す前に、搬送ロボット近傍に設置されたアライメント機構へレチクルを一旦搬送し、アライメントさせた後にレチクルをケースへ搬送していた。 In semiconductor and liquid crystal manufacturing apparatuses, exposure apparatuses, and substrate inspection apparatuses (hereinafter collectively referred to as semiconductor manufacturing apparatuses), especially when transporting substrates such as semiconductor wafers, liquid crystals, and reticles (photomasks) A transfer robot is used. For example, when this transport robot transports a reticle and puts it in a case, the gap between the reticle and the inner wall of the case is about 1 mm on one side. Unless the reticle is aligned with the hand of the transfer robot (front-rear, left-right alignment), there is a risk of interference between the case and the reticle. That is, it is necessary to mount the reticle precisely at the correct position with respect to the hand of the transfer robot. Therefore, the transfer robot once transfers the reticle to an alignment mechanism installed in the vicinity of the transfer robot before delivering the reticle to the case, aligns the reticle, and then transfers the reticle to the case.

この従来例の搬送ロボット及びそのアライメント動作を説明するのが図９である。同図（ａ）は搬送ロボットがハンド３１にレチクルＲを搭載し、搬送ロボットの近傍に設けられているアライメント機構３２にレチクルＲを搬送している状態を示す斜視図である。アライメント機構３２は、レチクルＲの左右方向（ハンドの長手方向に直角な水平方向）に移動可能なＲアーム３３の先端にローラ３３ａを１個有し、同じくレチクルＲの左右方向に移動可能なＬアーム３４の先端にローラ３４ａ及び３４ｂを２個有している。また、レチクルＲの前後方向（ハンドの長手方向に沿う水平方向）に移動可能なＢアーム３５の先端にローラ３５ａを１個有し、同じくレチクルＲの前後方向に移動可能なＦアーム３６の先端にローラ３６ａ及び３６ｂを２個有している。それぞれのローラは円柱状になっている。そして、各アームがレチクルＲに近接することによって円柱の側面がレチクルＲの４側面と当接するよう構成されている。
同図（ａ）のように、まず搬送ロボットはアライメント機構３２の直下にハンド３１を位置させ、ハンド３１を上昇させる。一方、アライメント機構３２は、レチクルＲに対して各アームを近接させ、各ローラをレチクルＲに当接させ、レチクルＲをハンド３１に対して前後左右に整列させてアライメントを行う。そして、同図（ｂ）のように、各アームをレチクルＲから遠ざけ、レチクルＲの把持を開放する。そして、搬送ロボットはハンド３１を下降させ、同図（ｄ）のようにケースもしくは所望の位置へとレチクルＲを搬送する。
ここで、同図（ｄ）のように、搬送ロボットにとってアライメント機構３２よりもより前方にレチクルＲを搬送する必要がある場合などは、アライメント機構３２が同図（ｃ）の矢印ように上昇するか、あるいは上記のように搬送ロボットのハンド３１が十分下降しなければ、レチクルＲとアライメント機構３２とが干渉する。そのため、アライメント機構３２、もしくはハンド３１のどちらかを昇降させるための機構が必要となっている。搬送ロボットには通常、ハンドを昇降させる昇降機構を有しているものが多いが、それを備えないものがある。この場合、昇降機構をアライメント機構側に追加する必要があるが、アライメント機構のサイズが大きくなってしまう。
また、アライメント機構を搬送ロボットのハンドに搭載すれば、アライメント動作を搬送ロボット自身で行うことができ、上記のようにアライメント機構までレチクルを搬送するステップを削減できるが、前後左右のアライメントを可能にするアライメント機構をハンドに搭載するとハンドのサイズが大きくなってしまい、ハンドがレチクルのケースに侵入できないという問題が発生する。
またレチクルは非常に高価なものであるが、従来の搬送ロボットは、上記のようにレチクルをアライメント機構でアライメントしてもらうので、ハンドはレチクルを載置するだけの構成のものが多く、高速でレチクルを搬送させると落下させてしまう恐れがあり、レチクルの高速搬送が困難であった。 FIG. 9 illustrates this conventional transfer robot and its alignment operation. FIG. 4A is a perspective view showing a state where the transport robot mounts the reticle R on the hand 31 and transports the reticle R to the alignment mechanism 32 provided in the vicinity of the transport robot. The alignment mechanism 32 has one roller 33a at the tip of an R arm 33 that can move in the left-right direction of the reticle R (horizontal direction perpendicular to the longitudinal direction of the hand), and L that is also movable in the left-right direction of the reticle R. Two rollers 34 a and 34 b are provided at the tip of the arm 34. Further, the front end of the B arm 35 that can move in the front-rear direction of the reticle R (horizontal direction along the longitudinal direction of the hand) has one roller 35a, and the front end of the F arm 36 that can also move in the front-rear direction of the reticle R. Have two rollers 36a and 36b. Each roller is cylindrical. Each arm is brought close to the reticle R so that the side surface of the cylinder comes into contact with the four side surfaces of the reticle R.
As shown in FIG. 5A, the transport robot first positions the hand 31 directly below the alignment mechanism 32 and raises the hand 31. On the other hand, the alignment mechanism 32 performs alignment by bringing each arm close to the reticle R, bringing each roller into contact with the reticle R, and aligning the reticle R with the hand 31 in the front, rear, left, and right directions. Then, as shown in FIG. 5B, each arm is moved away from the reticle R, and the gripping of the reticle R is released. The transport robot then lowers the hand 31 and transports the reticle R to the case or a desired position as shown in FIG.
Here, as shown in FIG. 6D, when the reticle R needs to be transported forward of the alignment mechanism 32 for the transport robot, the alignment mechanism 32 moves up as indicated by the arrow in FIG. Alternatively, if the hand 31 of the transfer robot does not sufficiently descend as described above, the reticle R and the alignment mechanism 32 interfere with each other. Therefore, a mechanism for raising or lowering either the alignment mechanism 32 or the hand 31 is necessary. Many transfer robots usually have an elevating mechanism that elevates and lowers the hand, but some do not include it. In this case, it is necessary to add an elevating mechanism to the alignment mechanism side, but the size of the alignment mechanism becomes large.
In addition, if the alignment mechanism is mounted on the hand of the transfer robot, the alignment operation can be performed by the transfer robot itself, reducing the step of transferring the reticle to the alignment mechanism as described above, but enabling front-rear and left-right alignment When the alignment mechanism to be mounted is mounted on the hand, the size of the hand increases, which causes a problem that the hand cannot enter the reticle case.
In addition, reticles are very expensive, but conventional transport robots require reticles to be aligned by the alignment mechanism as described above, so many of the hands are simply configured to place reticles at high speed. If the reticle is transported, it may drop, making it difficult to transport the reticle at high speed.

そこで、本発明の目的は、上述した従来の問題点を解消する搬送ロボットを提供することである。即ち、以下の課題を解消することを目的とする。
まず、従来のようにアライメント機構までレチクルを搬送する必要がない搬送ロボットを提供することである。また、搬送ロボットやアライメント機構に必ずしも昇降軸を持たせなくてもレチクルとアライメント機構とが干渉することなくアライメント動作を可能とする機構を提供することである。また、コンパクトなアライメント機構を提供することである。また、レチクルを安全に高速に運ぶことを可能にする搬送ロボットを提供することである。また、少ない数のセンサでアライメント機構の動作状態を監視することが可能な搬送ロボットを提供することである。 Therefore, an object of the present invention is to provide a transfer robot that solves the above-described conventional problems. That is, it aims at solving the following problems.
First, it is to provide a transfer robot that does not need to transfer a reticle to an alignment mechanism as in the prior art. It is another object of the present invention to provide a mechanism that enables an alignment operation without interfering between the reticle and the alignment mechanism without necessarily providing the transport robot and the alignment mechanism with a lift axis. Another object is to provide a compact alignment mechanism. Another object of the present invention is to provide a transfer robot that can safely carry a reticle at high speed. It is another object of the present invention to provide a transfer robot that can monitor the operation state of the alignment mechanism with a small number of sensors.

上記問題を解決するため、本発明は、次のように構成したのである。
請求項１記載の発明は、連結された複数のアームと、前記複数のアームの最先端に設けられて矩形基板を搭載可能なハンドと、を備え、前記複数のアームの動作によって前記ハンドに搭載された前記矩形基板を所望の位置へ搬送する搬送ロボットにおいて、前記ハンドを前記最先端のアームの延在方向に前後移動させるハンド駆動機構と、前記ハンド駆動機構によって前記最先端のアーム上にスライドさせた前記矩形基板の側面に当接して前記矩形基板を前記ハンドに対してアライメントするアライメント機構と、を備え、前記アライメント機構が、前記最先端のアームの左右に位置するＲアーム及びＬアームと、前記最先端のアームに収容され、前記ＲアームとＬアームとを左右方向に互いに接近または離反させるアライメント駆動機構と、前記Ｒアーム及びＬアームに設けられ、これらアームが互いに接近したとき、前記矩形基板の左右側面と当接する少なくとも３つの左右側当接部と、前記Ｒアームの左右の動作を検知する第１のセンサと、前記Ｌアームの左右の動作を検知する第２のセンサと、を少なくとも備え、前記第１のセンサ及び第２のセンサが、前記左右側当接部の左右になす距離Ｆが前記矩形基板の左右の幅Ｅよりも小さいとき、前記第１のセンサがＯＦＦされ、かつ前記第２のセンサがＯＮされるよう設けられ、前記距離Ｆが前記幅Ｅと同じであるとき、前記第１のセンサ及び前記第２のセンサがいずれもＯＦＦされるよう設けられ、前記距離Ｆが前記幅Ｅより大きく、かつ前記距離Ｆが前記アライメント駆動機構による最大の離反距離よりも小さいとき、前記第１のセンサはＯＮされ、かつ前記第２のセンサはＯＦＦされるよう設けられ、前記距離Ｆが前記最大の離反距離であるとき、前記第１のセンサと前記第２のセンサがいずれもＯＮされるよう設けられていること、を特徴とする搬送ロボットとするものである。
請求項２記載の発明は、前記アライメント機構が、前記ハンドに搭載されたプッシャー機構によって前後し、前記矩形基板の基端側側面と当接可能な少なくとも１つの基端側当接部と、前記Ｒアーム及びＬアームに設けられ、これらアームが互いに接近したとき、前記矩形基板の先端側側面に対向するよう位置し、これらアームが互いに離反したとき、前記ハンド駆動機構によって前後する前記矩形基板が間を通過できるよう位置する、少なくとも２つの先端側当接部と、をさらに備えること、を特徴とする請求項１記載の搬送ロボットとするものである。
請求項３記載の発明は、前記アライメント機構が、前記基端側当接部の前後の動作を検知する第３のセンサと第４のセンサとをさらに備え、前記第３のセンサ及び第４のセンサが、前記基端側当接部と前記先端側当接部の前後になす距離Ｌが前記矩形基板Ｒの前後の幅Ｋよりも大きく、かつ前記距離Ｌが前記プッシャー機構による最大の離反距離のとき、前記第３のセンサと前記第４のセンサがいずれもＯＮされるよう設けられ、前記距離Ｌが前記幅Ｋよりも大きく、かつ前記距離Ｌが前記プッシャー機構による最大の離反距離よりも小さいとき、前記第３のセンサはＯＦＦされ、かつ前記第４のセンサはＯＮされるよう設けられ、前記距離Ｌと前記幅Ｋとが同じであるとき、前記第３のセンサと前記第４のセンサがいずれもＯＦＦされるよう設けられ、前記距離Ｌが前記幅Ｋよりも小さいとき、前記第３のセンサはＯＮされ、かつ前記第４のセンサはＯＦＦされるよう設けられていること、を特徴とする請求項２記載の搬送ロボットとするものである。
請求項４記載の発明は、前記第１のセンサ乃至第４のセンサの信号を組み合わせ、前記矩形基板が前後あるいは左右に斜めに把持されていることを検知すること、を特徴とする請求項３記載の搬送ロボットとするものである。
請求項５記載の発明は、請求項１乃至４いずれかに記載の搬送ロボットを備えたこと、を特徴とする半導体製造装置または基板検査装置とするものである。
In order to solve the above problem, the present invention is configured as follows.
The invention according to claim 1 includes a plurality of arms connected to each other and a hand that is provided at the forefront of the plurality of arms and can mount a rectangular substrate, and is mounted on the hands by the operations of the plurality of arms. In the transfer robot for transferring the rectangular substrate to a desired position, a hand drive mechanism for moving the hand back and forth in the extending direction of the most advanced arm, and a slide on the most advanced arm by the hand drive mechanism An alignment mechanism that contacts the side surface of the rectangular substrate and aligns the rectangular substrate with respect to the hand, and the alignment mechanism includes an R arm and an L arm that are positioned on the left and right of the most advanced arm. An alignment drive mechanism that is housed in the most advanced arm and moves the R arm and the L arm toward or away from each other in the left-right direction; Provided in the R arm and the L arm, and when the arms approach each other, at least three left and right side abutting portions that abut on the left and right side surfaces of the rectangular substrate, and a left and right operation of the R arm are detected. At least a second sensor for detecting the left and right movements of the L arm, and the distance F between the first sensor and the second sensor on the left and right of the left and right abutting portions is rectangular. When the width E is smaller than the width E of the substrate, the first sensor is turned off and the second sensor is turned on. When the distance F is equal to the width E, the first sensor When the distance F is larger than the width E and the distance F is smaller than the maximum separation distance by the alignment drive mechanism, the front sensor and the second sensor are both turned off. When the first sensor is turned on and the second sensor is turned off, and the distance F is the maximum separation distance, both the first sensor and the second sensor are turned on. It is set as the conveyance robot characterized by being provided .
The invention according to claim 2 is characterized in that the alignment mechanism is moved back and forth by a pusher mechanism mounted on the hand, and at least one base end side contact portion capable of contacting the base end side surface of the rectangular substrate; Provided in the R arm and the L arm, when these arms approach each other, they are positioned so as to face the side surface on the front end side of the rectangular substrate, and when these arms are separated from each other, the rectangular substrate moved back and forth by the hand drive mechanism is Situated to allow pass between, is to the conveying robot according to claim 1, wherein, further comprising at least two extremities side abutment portion.
According to a third aspect of the present invention, the alignment mechanism further includes a third sensor and a fourth sensor that detect an operation before and after the proximal end contact portion, and the third sensor and the fourth sensor A distance L between the sensor and the front end side contact portion and the front end side contact portion is larger than the front and rear width K of the rectangular substrate R, and the distance L is the maximum separation distance by the pusher mechanism. At this time, the third sensor and the fourth sensor are both turned on, the distance L is larger than the width K, and the distance L is larger than the maximum separation distance by the pusher mechanism. When the distance L is smaller, the third sensor is turned off and the fourth sensor is turned on. When the distance L and the width K are the same, the third sensor and the fourth sensor All sensors are turned off Provided, when the distance L is smaller than the width K, wherein the third sensor is turned ON, and the fourth sensor that is provided so as to be turned OFF, according to claim 2, wherein This is a transfer robot.
Fourth aspect of the present invention, combines the signal of the first sensor to fourth sensor, according to claim 3, wherein the rectangular substrate is possible to detect that it is gripped obliquely in the longitudinal or lateral, characterized The transfer robot is as described.
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a semiconductor manufacturing apparatus or a substrate inspection apparatus including the transfer robot according to any one of the first to fourth aspects .

以上、本発明によれば以下の効果を得ることができる。
本発明によれば、最先端のアームにハンドを前後移動させるハンド駆動機構を備え、また、最先端のアームに矩形基板の側面を把持して矩形基板をハンドに対してアライメントするアライメント機構を備えたので、最先端のアーム上でアライメントが完了する。よって、従来のようにアライメント機構まで矩形基板を搬送する必要がなく、スループットの短縮が図れる。
本発明によれば、アライメント機構で矩形基板を把持したまま所望の位置までこれを搬送し、その後、ハンド駆動機構でハンドを前方に突出させることができるので、矩形基板を安全に高速に運ぶことを可能にさせる。
本発明によれば、コンパクトなアライメント機構を提供するとともに、搬送ロボット本体やアライメント機構に必ずしも昇降軸を持たせなくとも、アライメント機構と矩形基板が干渉することなくアライメント動作を可能とする。
本発明によれば、アライメント機構から矩形基板が落下しにくく、レチクルなど高価な矩形基板の落下を防止することができる。
本発明によれば、アライメント駆動機構を簡単に構成でき、これによりアライメント機構をコンパクトに構成できる。
本発明によれば、少ない数のセンサでアライメント機構の動作状態を監視することを可能とする。
本発明によれば、少ない数のセンサで矩形基板の斜めの状態を検知することができる。
本発明によれば、装置内にアライメント機構を別に設ける必要が無く、フットプリント及びスループットに有利な半導体製造装置や検査装置を構成できる。 As described above, according to the present invention, the following effects can be obtained.
According to the present invention, the most advanced arm is provided with a hand drive mechanism that moves the hand back and forth, and the most advanced arm is equipped with an alignment mechanism that grips the side surface of the rectangular substrate and aligns the rectangular substrate with the hand. Therefore, alignment is completed on the most advanced arm. Therefore, it is not necessary to transport the rectangular substrate to the alignment mechanism as in the prior art, and throughput can be shortened.
According to the present invention, the rectangular substrate can be conveyed to a desired position while being gripped by the alignment mechanism, and then the hand can be protruded forward by the hand driving mechanism, so that the rectangular substrate can be safely and rapidly conveyed. Make it possible.
According to the present invention, a compact alignment mechanism is provided, and an alignment operation can be performed without causing the alignment mechanism and the rectangular substrate to interfere with each other even if the transport robot body and the alignment mechanism do not necessarily have a lifting shaft.
According to the present invention, it is difficult for the rectangular substrate to drop from the alignment mechanism, and it is possible to prevent an expensive rectangular substrate such as a reticle from falling.
According to the present invention, the alignment drive mechanism can be configured easily, and thereby the alignment mechanism can be configured compactly.
According to the present invention, it is possible to monitor the operation state of the alignment mechanism with a small number of sensors.
According to the present invention, an oblique state of a rectangular substrate can be detected with a small number of sensors.
According to the present invention, it is not necessary to separately provide an alignment mechanism in the apparatus, and it is possible to configure a semiconductor manufacturing apparatus and inspection apparatus that are advantageous in footprint and throughput.

以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は本発明の搬送ロボットを示す斜視図である。搬送ロボットは、基台１によって半導体製造装置内に設置される。基台１から直上するボディ２は、図示しないボディ２内部の昇降機構によって昇降する。第１アーム３の基端は、ボディ２の上面に水平方向に回転可能に支持されている。第１アーム３の先端には、第２アーム４の基端が水平方向に回転可能に支持されている。第２アーム４の先端には、第３アーム５の基端が水平方向に回転可能に支持されている。第３アーム５には、その延在する方向に沿って直動するハンド６が設けられている。ハンド６は、レチクル及び液晶基板など矩形の基板Ｒが搭載できるように形成されている。また、第３アーム５の先端には、アライメント機構７が搭載されている。以上の構成により、搬送ロボットは、ボディ２とともに第１アーム３より上のアーム部を基台１に対して昇降させる昇降軸Ｚと、第１アーム３より上のアーム部をボディ２に対して旋回させる旋回軸θと、第３アーム５及びハンド６を旋回軸θを中央に対して放射線状に伸縮させる伸縮軸Ｒと、加えて、ハンド６を第３アーム５の延在方向に沿って第３アーム５に対して前後させる直動軸ＡＳと、を備えている。
なお、昇降軸Ｚはボディ２とともに昇降させるのではなく、第１アーム３より上のアーム部のみを昇降させるよう構成する場合もある。また、伸縮軸Ｒについては、第２アーム４が第１アーム３に対して任意の位置に回転自在に制御され、第３アーム５及びハンド６が第２アーム４に対して任意の位置に回転自在に制御されるよう構成してもよい。また、第１アーム３とボディ２との間に、さらに第１アーム３と同様な別のアームを備えてもよい。いずれにしても、本発明の搬送ロボットは、複数のアームで構成されたアーム部の最先端のアームに、以下で説明するアライメント機構を搭載するものである。
以下説明の便宜上、第３アーム５の延在方向（矢印Ａの方向）を前後方向とし、アライメント機構７が設けられている第３アーム５の先端側に向かう方向を前方向とする。また、該前方向に向かって左右を左右方向とする。 FIG. 1 is a perspective view showing a transfer robot according to the present invention. The transfer robot is installed in the semiconductor manufacturing apparatus by the base 1. The body 2 directly above the base 1 is moved up and down by a lifting mechanism inside the body 2 (not shown). The base end of the first arm 3 is supported on the upper surface of the body 2 so as to be rotatable in the horizontal direction. The proximal end of the second arm 4 is supported at the distal end of the first arm 3 so as to be rotatable in the horizontal direction. The proximal end of the third arm 5 is supported at the distal end of the second arm 4 so as to be rotatable in the horizontal direction. The third arm 5 is provided with a hand 6 that moves linearly along the extending direction. The hand 6 is formed so that a rectangular substrate R such as a reticle and a liquid crystal substrate can be mounted. An alignment mechanism 7 is mounted on the tip of the third arm 5. With the above configuration, the transfer robot moves the arm part above the first arm 3 together with the body 2 up and down with respect to the base 1 and the arm part above the first arm 3 with respect to the body 2. A turning axis θ for turning, a telescopic axis R for extending and retracting the third arm 5 and the hand 6 radially about the turning axis θ, and in addition, the hand 6 along the extending direction of the third arm 5 And a linear motion axis AS that moves back and forth with respect to the third arm 5.
In some cases, the elevating axis Z is not raised and lowered together with the body 2 but only the arm portion above the first arm 3 is raised and lowered. Further, with respect to the telescopic axis R, the second arm 4 is controlled to be freely rotated to an arbitrary position with respect to the first arm 3, and the third arm 5 and the hand 6 are rotated to an arbitrary position with respect to the second arm 4. You may comprise so that it may be controlled freely. Further, another arm similar to the first arm 3 may be provided between the first arm 3 and the body 2. In any case, the transfer robot according to the present invention is configured to mount an alignment mechanism described below on the most advanced arm of an arm portion constituted by a plurality of arms.
For convenience of explanation, the extending direction of the third arm 5 (the direction of the arrow A) is the front-rear direction, and the direction toward the tip side of the third arm 5 on which the alignment mechanism 7 is provided is the front direction. Further, the left and right directions are the left and right directions toward the front direction.

次に、本発明の特徴である第３アーム５、ハンド６、及びアライメント機構７について説明する。図２（ａ）は、ハンド６、第３アーム５、及び第３アーム５の先端に設けられたアライメント機構７の斜視図である。同図（ｂ）は第３アーム５らの側面図である。図のように、第３アーム５の上面には平板状のハンド６が第３アーム５の上面に沿うように位置している。ハンド６は本実施例では二股のフォーク形状をなしていて、二股の部分にレチクルなど矩形基板Ｒを搭載できるようになっている。ハンド６は、第３アーム５の左側面から突出したのち上方に延在するハンドベース６ａの先端に支持されている。ハンドベース６ａは、第３アーム５の左側面に形成されたスリット６ｂから突出している。スリット６ｂは第３アーム５の内部に通じた貫通穴であり、第３アーム５の延在方向に長い長穴である。ハンドベース６ｂは、第３アーム５に収容されたハンド駆動機構によって駆動され、スリット６ｂに沿い、第３アーム５の延在方向に、第３アーム５に対して前後する。従って、ハンド６もハンドベース６ｂとともに第３アーム５の延在方向に沿って第３アーム５に対して前後する。つまり図中の矢印Ａの方向に移動可能である。また、ハンド６は、後述するアライメント機構７によって搭載している矩形基板Ｒをアライメントするため、少なくとも矩形基板Ｒがアライメント機構７によってアライメントしうる位置まで後方に十分移動でき、かつ、少なくとも矩形基板Ｒの基端側がアライメント機構７のローラ８ｂ、９ｃらよりも十分前方に突出する位置まで移動できるよう構成されている。
なお、図示しないハンド駆動機構については、例えば本出願人による特願２００７−０６４４８１に記載されている機構を用いればよい。また、これに限らず、リニアモータを第３アーム５に収容してハンド６を駆動させたり、第３アーム５に回転型モータとボールネジとを組み合わせた機構を収納してハンド６を同様に駆動させたりすることが考えられる。 Next, the third arm 5, the hand 6, and the alignment mechanism 7 that are features of the present invention will be described. FIG. 2A is a perspective view of the hand 6, the third arm 5, and the alignment mechanism 7 provided at the tip of the third arm 5. FIG. 4B is a side view of the third arm 5 and the like. As shown in the drawing, a flat plate-like hand 6 is positioned along the upper surface of the third arm 5 on the upper surface of the third arm 5. In this embodiment, the hand 6 has a bifurcated fork shape, and a rectangular substrate R such as a reticle can be mounted on the bifurcated portion. The hand 6 is supported by the tip of a hand base 6 a that protrudes from the left side surface of the third arm 5 and extends upward. The hand base 6 a protrudes from a slit 6 b formed on the left side surface of the third arm 5. The slit 6 b is a through hole that communicates with the inside of the third arm 5, and is a long hole that is long in the extending direction of the third arm 5. The hand base 6b is driven by a hand drive mechanism housed in the third arm 5, and moves back and forth with respect to the third arm 5 along the slit 6b in the extending direction of the third arm 5. Therefore, the hand 6 also moves back and forth with respect to the third arm 5 along the extending direction of the third arm 5 together with the hand base 6b. That is, it can move in the direction of arrow A in the figure. Further, since the hand 6 aligns the rectangular substrate R mounted by the alignment mechanism 7 to be described later, at least the rectangular substrate R can sufficiently move backward to a position where the alignment substrate 7 can align, and at least the rectangular substrate R The base end side of the alignment mechanism 7 can be moved to a position that protrudes sufficiently forward from the rollers 8b and 9c of the alignment mechanism 7.
As a hand drive mechanism (not shown), for example, a mechanism described in Japanese Patent Application No. 2007-064481 by the present applicant may be used. Not limited to this, a linear motor is housed in the third arm 5 to drive the hand 6, or a mechanism combining a rotary motor and a ball screw is housed in the third arm 5 to similarly drive the hand 6. It is possible to make it.

第３アーム５の左右の側面からは、その側面に設けられた開口穴からＲアーム８とＬアーム９とが突出している。
Ｒアーム８は第３アーム５の右側面から突出したあと上方に延在し、さらにその先端に、矩形基板の右側面に沿うように水平方向に延在する部分を有している。Ｒアーム８先端の矩形基板右側面に沿った水平部分には、ローラ８ａが設けられている。ローラ８ａは鉛直方向に回転軸を有する円筒状のローラであって、その側面が矩形基板右側面と対向している。また、Ｒアーム８先端の矩形基板右側面に沿った水平部分は、矩形基板の先端側に延在したあと矩形基板の先端側側面に沿って屈曲するように若干量延在している。Ｒアーム８の矩形基板の先端側側面に沿って若干量延在する部分にはローラ８ｂが設けられている。ローラ８ｂもローラ８ａと同一の構成であって、鉛直方向に回転軸を有する円筒状のローラである。
Ｌアーム９は第３アーム５の左側面から突出したあと上方に延在し、さらにその先端に、矩形の左側面に沿うように水平方向に延在する部分を有している。Ｌアーム９先端の矩形基板左側面に沿った水平部分には、ローラ９ａとローラ９ｂとが設けられている。ローラ９ａ、９ｂは上記ローラ８ａらと同一の構成であって、矩形基板左側面に対して円筒の側面が対向している。また、Ｌアーム９先端の矩形基板左側面に沿った水平部分は、矩形基板の先端側に延在したあと矩形基板の先端側側面に沿って屈曲するように若干量延在している。Ｌアーム９の矩形基板の先端側側面に沿って若干量延在する部分にはローラ９ｃが設けられている。ローラ９ｃは上記ローラ８ａらと同一の構成であって、鉛直方向に回転軸を有する円筒状のローラである。
上記Ｒアーム８とＬアーム９とを前方からみたとき、矩形基板の左右の幅をＥとすると、上記ローラ８ｂ、９ｃの円筒の側面のそれぞれの内側がなす距離Ｍは、Ｅよりもやや長くなっている（Ｍ＞Ｅ）。従って、第３アーム５に対してハンド６とともに矩形基板が前後に移動しても矩形基板と干渉することがない。
一方、Ｒアーム８とＬアーム９とは、第３アーム５に収容されているアライメント駆動機構によって互いに左右から近接するように駆動される。アライメント駆動機構については後述するが、このアライメント駆動機構の作用によって上記ローラ８ａ、９ａ、９ｂが、それぞれ矩形基板の左右側面に対して円筒の側面が当接するよう駆動される。また、このとき同時に、上記ローラ８ｂ、９ｃの円筒の側面のそれぞれの内側がなす距離ＭがＥよりも小さくなるよう駆動される。つまり、ローラ８ｂ、９ｃのそれぞれの円筒の半径ｒ１、ｒ２とすると（ｒ１＋ｒ２）＋Ｍ＜Ｅとなるまでローラ８ｂ、９ｃは移動する。すなわち、前方からみたとき、ローラ８ｂ、９ｃのそれぞれの円筒の垂直軸が、矩形基板の左右の側面よりも十分内側となる位置まで移動する。そして、後述するプッシャー機構１０のローラ１０ａによって前方に押されてきた矩形基板の先端側側面の左右端付近に対して、ローラ８ｂ、９ｃの円筒側面がそれぞれ当接する。
一方、ハンド６の基端側にはプッシャー機構１０が設けられている。プッシャー機構１０は図示しない例えばエアシリンダによってプッシャ１０ａを前後方向に駆動する。プッシャ１０ａはハンド６の左右のほぼ中心に位置する。プッシャ１０ａの先端にはローラ１０ｂが設けられている。ローラ１０ｂは上記ローラ８ａらと同一の構成であって、矩形基板基端側側面のほぼ中央部分に対して円筒の側面が対向していて、プッシャー機構１０によって前後に移動して矩形基板基端側側面と当接可能である。
なお、上記ローラ８ａらは、図２（ｃ）のように、矩形基板側面と当接した際、矩形基板が上側にずれて落下するのを防止するためローラ上部に突起がつくこともある。 From the left and right side surfaces of the third arm 5, an R arm 8 and an L arm 9 protrude from an opening hole provided on the side surface.
The R arm 8 protrudes from the right side surface of the third arm 5 and extends upward, and further has a portion extending in the horizontal direction along the right side surface of the rectangular substrate at the tip. A roller 8a is provided in a horizontal portion along the right side surface of the rectangular substrate at the tip of the R arm 8. The roller 8a is a cylindrical roller having a rotation axis in the vertical direction, and its side surface faces the right side surface of the rectangular substrate. Further, the horizontal portion along the right side surface of the rectangular substrate at the tip of the R arm 8 extends a little so as to bend along the side surface on the front end side of the rectangular substrate after extending to the front end side of the rectangular substrate. A roller 8b is provided in a portion of the R arm 8 that extends a little along the side surface on the front end side of the rectangular substrate. The roller 8b has the same configuration as the roller 8a, and is a cylindrical roller having a rotation axis in the vertical direction.
The L arm 9 protrudes from the left side surface of the third arm 5 and extends upward, and further has a portion extending in the horizontal direction along the left side surface of the rectangle. A roller 9 a and a roller 9 b are provided in a horizontal portion along the left side of the rectangular substrate at the tip of the L arm 9. The rollers 9a and 9b have the same configuration as the roller 8a and the like, and the cylindrical side faces the left side of the rectangular substrate. Further, the horizontal portion along the left side surface of the rectangular substrate at the tip of the L arm 9 extends a little so as to bend along the side surface on the front end side of the rectangular substrate after extending to the front end side of the rectangular substrate. A roller 9c is provided on a portion of the L arm 9 that extends a little along the front end side surface of the rectangular substrate. The roller 9c has the same configuration as the roller 8a and the like, and is a cylindrical roller having a rotation axis in the vertical direction.
When the R arm 8 and the L arm 9 are viewed from the front, and the left and right width of the rectangular substrate is E, the distance M formed between the inner sides of the cylindrical sides of the rollers 8b and 9c is slightly longer than E. (M> E). Therefore, even if the rectangular substrate moves back and forth with the hand 6 with respect to the third arm 5, it does not interfere with the rectangular substrate.
On the other hand, the R arm 8 and the L arm 9 are driven so as to be close to each other from the left and right by an alignment driving mechanism housed in the third arm 5. Although the alignment drive mechanism will be described later, the rollers 8a, 9a, and 9b are driven by the operation of the alignment drive mechanism so that the cylindrical side faces the left and right sides of the rectangular substrate. At the same time, the rollers 8b and 9c are driven such that the distance M formed by the inner sides of the cylindrical side surfaces of the rollers 8b and 9c is smaller than E. That is, if the radii r1 and r2 of the respective cylinders of the rollers 8b and 9c are set, the rollers 8b and 9c move until (r1 + r2) + M <E. That is, when viewed from the front, the vertical axes of the respective cylinders of the rollers 8b and 9c are moved to a position that is sufficiently inward of the left and right side surfaces of the rectangular substrate. The cylindrical side surfaces of the rollers 8b and 9c come into contact with the vicinity of the left and right ends of the front side surface of the rectangular substrate that has been pushed forward by a roller 10a of the pusher mechanism 10 described later.
On the other hand, a pusher mechanism 10 is provided on the proximal end side of the hand 6. The pusher mechanism 10 drives the pusher 10a in the front-rear direction by, for example, an air cylinder (not shown). The pusher 10a is located at the approximate center of the left and right of the hand 6. A roller 10b is provided at the tip of the pusher 10a. The roller 10b has the same configuration as the roller 8a and the like, and the side surface of the cylinder is opposed to the substantially central portion of the side surface on the base end side of the rectangular substrate. It can contact the side surface.
As shown in FIG. 2C, the rollers 8a and the like may have protrusions on the upper part of the roller to prevent the rectangular substrate from being displaced upward and falling when abutting against the side surface of the rectangular substrate.

次に、上記Ｒアーム８及びＬアーム９を駆動するアライメント駆動機構について図３により説明する。図３（ａ）は第３アーム５の正面断面図であり、アライメント駆動機構のみについて説明するため一部を省略した模式図となっている。Ｒアーム８の基端部には、ラック１１ａが設けられている。ラック１１ａの歯は図のように左右方向に延在している。Ｒアーム８は図示しない例えばリニアガイドなどの直動案内機構によって第３アーム５に対して左右方向に精密に案内される。また、ラック１１ａの歯と係合するようにピニオン１２が設けられている。ピニオン１２の下側でラック１１ａと係合している。ピニオン１２は図示しない例えばベアリングなどの軸受によって第３アーム５に対して回転可能に支持されている。ピニオン１２の回転軸は第３アーム５の延在方向と同じである。また、Ｌアーム９の基端部には、ラック１１ｂが設けられている。ラック１１ｂの歯もラック１１ｂと同様に左右方向に延在している。Ｌアーム９も図示しない例えばリニアガイドなどの直動案内機構によって第３アーム５に対して左右方向に精密に案内される。ラック１１ｂの歯は、ピニオン１２の上側で係合している。一方、Ｒアーム８の基端部には、エアシリンダ１３の可動部が接続されている。エアシリンダ１３はＲアーム８を左右方向から押引する。従って、エアシリンダ１３の動作により、Ｒアーム８は左右に動作するとともに、ラック１１及びピニオン１２の作用により、Ｒアーム８と同時にかつ左右反対方向にＬアーム９が動作する。つまり、Ｒアーム８とＬアーム９とは、以上のアライメント駆動機構によって互いに左右で接近及び離反するように駆動される。なお、エアシリンダ１９のような直動型の駆動源に代えて、例えば回転型モータや回転型エアシリンダの回転型の駆動源によって直接ピニオン１２を回転させてもよい。 Next, an alignment drive mechanism for driving the R arm 8 and the L arm 9 will be described with reference to FIG. FIG. 3A is a front sectional view of the third arm 5, and is a schematic diagram in which a part is omitted in order to explain only the alignment drive mechanism. A rack 11 a is provided at the base end of the R arm 8. The teeth of the rack 11a extend in the left-right direction as shown in the figure. The R arm 8 is precisely guided in the left-right direction with respect to the third arm 5 by a linear guide mechanism such as a linear guide (not shown). A pinion 12 is provided so as to engage with the teeth of the rack 11a. The lower side of the pinion 12 is engaged with the rack 11a. The pinion 12 is rotatably supported with respect to the third arm 5 by a bearing such as a bearing (not shown). The rotation axis of the pinion 12 is the same as the extending direction of the third arm 5. A rack 11 b is provided at the base end of the L arm 9. Similarly to the rack 11b, the teeth of the rack 11b extend in the left-right direction. The L arm 9 is also accurately guided in the left-right direction with respect to the third arm 5 by a linear guide mechanism such as a linear guide (not shown). The teeth of the rack 11 b are engaged on the upper side of the pinion 12. On the other hand, a movable portion of the air cylinder 13 is connected to the base end portion of the R arm 8. The air cylinder 13 pushes and pulls the R arm 8 from the left and right directions. Therefore, the R arm 8 moves left and right by the operation of the air cylinder 13, and the L arm 9 operates simultaneously with the R arm 8 and in the left and right opposite directions by the action of the rack 11 and the pinion 12. That is, the R arm 8 and the L arm 9 are driven so as to approach and separate from each other on the left and right by the above alignment driving mechanism. Note that the pinion 12 may be directly rotated by a rotary drive source such as a rotary motor or a rotary air cylinder, for example, instead of the direct drive type drive source such as the air cylinder 19.

また、以上のアライメント駆動機構は、例えば図３（ｂ）のように構成してもよい。図３（ｂ）はアライメント機構の別の実施例を説明する上面図であり、簡易的な模式図として示している。図のように、第３アーム５の内部にはＡプーリ１４とＢプーリ１５とが、第３アーム５に対して例えば図示しないベアリングなどの軸受によって回転可能に支持されている。Ａプーリ１４とＢプーリ１５とにはベルト１６が巻装されている。一方、Ｒアーム８の基端部が、ベルト１６の直線状に張られた部分に接続されている。また、Ｌアーム９の基端部が、Ｒアーム８の基端部が接続されている部分と対向するベルト１６の直線状に張られた部分に接続されている。一方、Ｒアーム８の基端部には、図示しないが上記で説明したエアシリンダ１９の可動部が接続されている。エアシリンダ１３はＲアーム８を左右方向から押引する。Ｒアーム８とＬアーム９とは、上述したように図示しない例えばリニアガイドなどの直動案内機構によって第３アーム５に対して左右方向に精密に案内されている。従って、エアシリンダ１３の動作により、Ｒアーム８は左右に動作するとともに、各プーリとベルト１６の作用により、Ｒアーム８と同時にかつ左右反対方向にＬアーム９が動作する。なお、上記同様、エアシリンダ１３のような直動型の駆動源に代えて、例えば回転型モータや回転型エアシリンダの回転型の駆動源によって直接Ａプーリ１４或いはＢプーリ１５を回転させてもよい。 Further, the above alignment driving mechanism may be configured as shown in FIG. FIG. 3B is a top view for explaining another embodiment of the alignment mechanism, and is shown as a simple schematic diagram. As shown in the figure, an A pulley 14 and a B pulley 15 are rotatably supported in the third arm 5 by a bearing such as a bearing (not shown). A belt 16 is wound around the A pulley 14 and the B pulley 15. On the other hand, the base end portion of the R arm 8 is connected to a linearly stretched portion of the belt 16. Further, the base end portion of the L arm 9 is connected to a linearly stretched portion of the belt 16 that faces the portion to which the base end portion of the R arm 8 is connected. On the other hand, although not shown, the movable portion of the air cylinder 19 described above is connected to the base end portion of the R arm 8. The air cylinder 13 pushes and pulls the R arm 8 from the left and right directions. As described above, the R arm 8 and the L arm 9 are precisely guided in the left-right direction with respect to the third arm 5 by a linear guide mechanism such as a linear guide (not shown). Therefore, the R arm 8 moves left and right by the operation of the air cylinder 13, and the L arm 9 operates simultaneously with the R arm 8 and in the opposite direction by the action of each pulley and the belt 16. Similarly to the above, instead of the direct drive type drive source such as the air cylinder 13, the A pulley 14 or the B pulley 15 may be directly rotated by a rotary type drive source such as a rotary motor or a rotary type air cylinder. Good.

また、以上のアライメント駆動機構は、例えば図３（ｃ）のように構成してもよい。図３（ｃ）はアライメント機構のさらなる別の実施例を説明する上面図であり、簡易的な模式図として示している。図のように、第３アーム５の内部にはリンクバー１７が第３アーム５に対して例えば図示しないベアリングなどの軸受によって回転可能に支持されている。リンクバー１７はその中央部で回転可能に支持されている。リンクバー１７の一端には、リンクバー１７ａの一端が回転可能に支持されている。一方、Ｒアーム８の基端部がリンクバー１７ａの他端と回転可能に接続されている。またリンクバー１７の他端には、リンクバー１７ｂの一端が回転可能に支持されている。一方、Ｌアーム９の基端部がリンクバー１７ｂの他端と回転可能に接続されている。また、Ｒアーム８の基端部には、図示しないが上記で説明したエアシリンダ１３の可動部が接続されている。エアシリンダ１３はＲアーム８を左右方向に押引する。Ｒアーム８とＬアーム９とは、上述したように図示しない例えばリニアガイドなどの直動案内機構によって第３アーム５に対して左右方向に精密に案内されている。従って、エアシリンダ１３の動作により、Ｒアーム８は左右に動作するとともに、リンクバーの作用により、Ｒアーム８と同時にかつ左右反対方向にＬアーム９が動作する。なお、上記同様、エアシリンダ１３のような直動型の駆動源に代えて、例えば回転型モータや回転型エアシリンダの回転型の駆動源によって直接リンクバー１７の中央部を回転させてもよい。 Further, the above alignment driving mechanism may be configured as shown in FIG. FIG. 3C is a top view for explaining still another embodiment of the alignment mechanism, and is shown as a simple schematic diagram. As shown in the figure, a link bar 17 is supported inside the third arm 5 so as to be rotatable with respect to the third arm 5 by a bearing such as a bearing (not shown). The link bar 17 is rotatably supported at the center thereof. One end of the link bar 17a is rotatably supported at one end of the link bar 17. On the other hand, the base end portion of the R arm 8 is rotatably connected to the other end of the link bar 17a. The other end of the link bar 17 is rotatably supported at one end of the link bar 17b. On the other hand, the base end portion of the L arm 9 is rotatably connected to the other end of the link bar 17b. In addition, although not shown, the movable portion of the air cylinder 13 described above is connected to the base end portion of the R arm 8. The air cylinder 13 pushes and pulls the R arm 8 in the left-right direction. As described above, the R arm 8 and the L arm 9 are precisely guided in the left-right direction with respect to the third arm 5 by a linear guide mechanism such as a linear guide (not shown). Therefore, the R arm 8 moves left and right by the operation of the air cylinder 13, and the L arm 9 operates simultaneously with the R arm 8 and in the opposite direction by the action of the link bar. Similarly to the above, instead of the direct drive type drive source such as the air cylinder 13, the central portion of the link bar 17 may be directly rotated by a rotary type drive source such as a rotary motor or a rotary type air cylinder. .

次に、以上で構成された第３アーム５、ハンド６、及びアライメント機構７の動作について図４を使って説明する。図４（ａ）〜（ｃ）は第３アーム５、ハンド６、及びアライメント機構７の動作を説明する図である。わかり易くするため、（ａ）のみ上面図を用いている。（ｂ）（ｃ）は斜視図である。
まず搬送ロボットは同図（ｃ）のように第３アーム５に対してハンド６を前方にスライドさせ、上述したＲθＺなどの各軸を動作させて矩形基板Ｒをハンド６に載置させる。このとき、アライメント駆動機構によりＲアーム８とＬアーム９とは左右方向で離反している。また、プッシャー機構１０によりプッシャ１０ａは後方に位置している。
その後、同図（ａ）のように第３アーム５に対してハンド６を後方にスライドさせ、さらにＲアーム８とＬアーム９とをアライメント駆動機構によって駆動させ、互いに左右から近接させる。このときローラ８ａ、９ａ、９ｂが、それぞれ矩形基板の左右側面に当接する。このとき、矩形基板Ｒは左右方向においてハンド６に対して整列（アライメント）される。また、Ｒアーム８とＬアーム９とが近接してローラ８ａ、９ａ、９ｂがそれぞれ矩形基板の左右側面に当接したとき、ローラ８ｂ、９ｃは矩形基板の先端側側面に対して微量の隙間をもって対向している。このあと、プッシャー機構１０の作用によってローラ１０ｂが前方に突出されると、矩形基板Ｒはハンド６上を微量に滑りながら前方に押し出され、一方、ローラ８ａ、９ａ、９ｂは矩形基板Ｒの左右側面に当接しながら回転し、矩形基板Ｒはその先端側側面がローラ８ｂ、９ｃと当接するまで移動する。このとき、矩形基板Ｒは前後方向においてハンド６に対して整列（アライメント）される。
その後、同図（ｂ）のように再びプッシャー機構１０によってローラ１０ｂを後方に下げて矩形基板Ｒの前後の把持を開放し、さらにアライメント駆動機構によってＲアーム８とＬアーム９とが左右に離反するように移動させ、矩形基板Ｒの左右の把持も開放する。
そして、再び同図（ｃ）のように第３アーム５に対してハンド６を前方にスライドさせ、上述したＲθＺなどの各軸を動作して、例えばレチクルのケースなどの隙間のせまい載置場所に矩形基板Ｒを搬送する。 Next, operations of the third arm 5, the hand 6, and the alignment mechanism 7 configured as described above will be described with reference to FIG. 4A to 4C are views for explaining the operations of the third arm 5, the hand 6, and the alignment mechanism 7. FIG. For ease of understanding, the top view is used only for (a). (B) and (c) are perspective views.
First, the transfer robot slides the hand 6 forward with respect to the third arm 5 as shown in FIG. 3C, and moves each axis such as RθZ described above to place the rectangular substrate R on the hand 6. At this time, the R arm 8 and the L arm 9 are separated in the left-right direction by the alignment drive mechanism. Also, the pusher mechanism 10 positions the pusher 10a rearward.
Thereafter, the hand 6 is slid rearward with respect to the third arm 5 as shown in FIG. 5A, and the R arm 8 and the L arm 9 are driven by the alignment drive mechanism so as to approach each other from the left and right. At this time, the rollers 8a, 9a, and 9b abut on the left and right side surfaces of the rectangular substrate, respectively. At this time, the rectangular substrate R is aligned with the hand 6 in the left-right direction. Further, when the R arm 8 and the L arm 9 are close to each other and the rollers 8a, 9a, and 9b are in contact with the left and right side surfaces of the rectangular substrate, the rollers 8b and 9c have a slight gap with respect to the front side surface of the rectangular substrate. Are facing each other. Thereafter, when the roller 10b is protruded forward by the action of the pusher mechanism 10, the rectangular substrate R is pushed forward while sliding a small amount on the hand 6, while the rollers 8a, 9a, 9b are left and right of the rectangular substrate R. The rectangular substrate R rotates while being in contact with the side surface, and moves until the side surface of the rectangular substrate R contacts the rollers 8b and 9c. At this time, the rectangular substrate R is aligned with the hand 6 in the front-rear direction.
Thereafter, as shown in FIG. 5B, the pusher mechanism 10 again lowers the roller 10b to release the front and rear grips of the rectangular substrate R, and further the alignment drive mechanism separates the R arm 8 and the L arm 9 left and right. The left and right grips of the rectangular substrate R are also released.
Then, the hand 6 is slid forward with respect to the third arm 5 again as shown in FIG. 5C, and the axes such as the above-described RθZ are operated, for example, a narrow mounting place such as a reticle case. The rectangular substrate R is transferred to the substrate.

ここで、ローラ８ａ、８ｂ、９ａ、９ｂ、９ｃ、及び１０ｂについて補足する。各ローラは上記のようにアライメントを行うため、当然ながら上記で説明した実施例以外の配置が考えられる。すなわち、例えば、Ｒアーム８とＬアーム９とが左右入れ替わってもよい。また、左右方向のアライメントを行うローラ８ａ、９ａ、９ｂは、本実施例のように３箇所あればアライメントを行えるが、これ以上あってもよい。同じく、前後方向のアライメントを行うローラ８ｂ、９ｃ、１０ｂもこれ以上あってもよい。ただし、ローラ８ｂ、９ｃについては、図５のように、アライメント駆動機構によってＲアーム８とＬアーム９とが左右に離反した際、ハンド６に搭載された矩形基板Ｒがハンド６とともに第３アーム５に対して前後動作しても、矩形基板Ｒの左右の側面と干渉しない程度の隙間αを必要とし、なおかつアライメント駆動機構によってＲアーム８とＬアーム９とが左右に近接した際、矩形基板Ｒの先端側側面に対向する位置まで移動するよう構成されなければならないので、配置及びローラの個数については注意を要する。なお、図５は第３アーム５、ハンド６、及びアライメント機構７の上面図である。 Here, it supplements about roller 8a, 8b, 9a, 9b, 9c, and 10b. Since each roller is aligned as described above, it is of course possible to arrange other than the embodiment described above. That is, for example, the R arm 8 and the L arm 9 may be switched left and right. Further, the rollers 8a, 9a, and 9b that perform alignment in the left-right direction can be aligned if there are three positions as in this embodiment, but there may be more than this. Similarly, there may be more rollers 8b, 9c, and 10b that perform alignment in the front-rear direction. However, for the rollers 8b and 9c, as shown in FIG. 5, when the R arm 8 and the L arm 9 are separated from each other by the alignment drive mechanism, the rectangular substrate R mounted on the hand 6 is moved together with the hand 6 to the third arm. When the front and rear movements with respect to 5 require a gap α that does not interfere with the left and right side surfaces of the rectangular substrate R, and the R arm 8 and the L arm 9 approach the left and right by the alignment drive mechanism, the rectangular substrate Care must be taken with respect to the arrangement and the number of rollers, since it must be configured to move to a position facing the side surface on the tip side of R. 5 is a top view of the third arm 5, the hand 6, and the alignment mechanism 7. FIG.

次に、上記で説明したアライメント機構７の左右の動作状態を監視する機構について説明する。本発明のアライメント機構７では、以下のように透過型センサを用い、センサの遮光、投光の状態を組み合わせて、Ｒアーム８とＬアーム９とが左右から矩形基板Ｒを挟んでいる状態、挟んでいない状態、各アームが動作中の状態、各アームが開いている状態の４通りの状態を監視することができるよう構成されている。
Ｒアーム８とＬアーム９の動作状態を監視するため、第３アーム５内には図６のように少なくとも２個のセンサ１８ａ、１８ｂが配置されている。図６は第３アーム５の正面断面図であり、アライメント駆動機構の監視機構について説明するため一部を省略した模式図としている。センサ１８ａ、１８ｂは光透過型のセンサであって、第３アーム５内に固定されている。各センサの光軸は前後方向に向かっている。一方、Ｒアーム８にはドグ１９ａが取り付けられている。ドグ１９ａは平板状の部材であり、Ｒアーム８とともに動作する。ドグ１９ａはセンサ１８ａの光軸を遮光可能な位置に取り付けられている。同様に、Ｌアーム９にはドグ１９ｂが取り付けられている。ドグ１９ｂも平板状の部材であり、Ｌアーム９とともに動作する。ドグ１９ｂはセンサ１８ｂの光軸を遮光可能な位置に取り付けられている。 Next, a mechanism for monitoring the left and right operation states of the alignment mechanism 7 described above will be described. In the alignment mechanism 7 of the present invention, a transmissive sensor is used as described below, and the R arm 8 and the L arm 9 sandwich the rectangular substrate R from the left and right by combining the light shielding and light projecting states of the sensor. It is configured to be able to monitor four states: a state where no arm is sandwiched, a state where each arm is operating, and a state where each arm is open.
In order to monitor the operating states of the R arm 8 and the L arm 9, at least two sensors 18a and 18b are arranged in the third arm 5 as shown in FIG. FIG. 6 is a front cross-sectional view of the third arm 5, and is a schematic diagram in which a part is omitted in order to explain the monitoring mechanism of the alignment drive mechanism. The sensors 18 a and 18 b are light transmissive sensors and are fixed in the third arm 5. The optical axis of each sensor is directed in the front-rear direction. On the other hand, a dog 19 a is attached to the R arm 8. The dog 19 a is a flat member and operates together with the R arm 8. The dog 19a is attached at a position where the optical axis of the sensor 18a can be shielded. Similarly, a dog 19 b is attached to the L arm 9. The dog 19b is also a flat plate member and operates with the L arm 9. The dog 19b is attached at a position where the optical axis of the sensor 18b can be shielded.

さらに、各センサと各ドグは、以下の条件を全て満たすような位置に設置される。このことを図７を使って説明する。図７の各図は各アームの状態のパターンを示す（ａ）〜（ｄ）図と、そのときの各センサの信号状態を示す（ｘ）図である。ここでは、各センサの信号状態がＯＮの場合を投光、ＯＦＦの場合を遮光として説明する。同図（ａ）〜（ｄ）は図６同様、第３アーム５の正面断面図であって各アームが動作したときの状態を示している。
まず、同図（ａ）のように、Ｒアーム８とＬアーム９とが最も近接していて、ローラ８ａの円筒側面の内側とローラ９ａ、９ｂの円筒側面の内側とがなす距離Ｆが、ここでは図示しないハンド６に搭載されるべき矩形基板Ｒの左右の幅Ｅよりも小さいとき、すなわちＥ＞Ｆのとき、センサ１８ａがＯＦＦ（遮光）されるようドグ１９ａは設けられ、かつ、センサ１８ｂがＯＮ（投光）されるようドグ１９ｂは設けられる。
また、同図（ｂ）のように、Ｒアーム８とＬアーム９とを近接させ、ローラ８ａの円筒側面の内側とローラ９ａ、９ｂの円筒側面の内側とが矩形基板Ｒの左右側面とそれぞれ当接する位置のとき、すなわちＥ＝Ｆのとき、センサ１８ａとセンサ１８ｂがいずれもＯＦＦ（遮光）されるようドグ１９ａと１９ｂとは設けられる。
また、同図（ｃ）のようにＲアーム８とＬアーム９とが若干近接しているとき、すなわちＥ＜ＦかつＦ＜ＭＡＸのとき、センサ１８ａはＯＮ（投光）されるようドグ１９ａは設けられ、かつ、センサ１８ｂはＯＦＦ（遮光）されるようドグ１９ｂは設けられる。
また、同図（ｄ）のように、Ｒアーム８とＬアーム９とを最も離反させたとき、すなわちＥ＜ＦかつＦ＝ＭＡＸのとき、センサ１８ａとセンサ１８ｂがいずれもＯＮ（投光）されるようドグ１９ａと１９ｂとは設けられる。 Further, each sensor and each dog are installed at positions that satisfy all of the following conditions. This will be described with reference to FIG. Each figure of FIG. 7 is a diagram (a) to (d) showing patterns of states of the respective arms, and (x) a diagram showing signal states of the sensors at that time. Here, the case where the signal state of each sensor is ON is described as light projection, and the case where it is OFF is described as light shielding. 6A to 6D are front sectional views of the third arm 5 as in FIG. 6, and show a state when each arm operates.
First, as shown in FIG. 5A, the R arm 8 and the L arm 9 are closest to each other, and the distance F formed between the inside of the cylindrical side surface of the roller 8a and the inside of the cylindrical side surface of the rollers 9a and 9b is Here, when it is smaller than the left and right width E of the rectangular substrate R to be mounted on the hand 6 (not shown), that is, when E> F, the dog 19a is provided so that the sensor 18a is turned off (shielded), and the sensor The dog 19b is provided so that 18b is turned on (light projection).
Further, as shown in FIG. 5B, the R arm 8 and the L arm 9 are brought close to each other, and the inside of the cylindrical side surface of the roller 8a and the inside of the cylindrical side surface of the rollers 9a and 9b are respectively the left and right side surfaces of the rectangular substrate R. The dogs 19a and 19b are provided so that both the sensor 18a and the sensor 18b are turned off (light-shielded) at the contact position, that is, when E = F.
Further, when the R arm 8 and the L arm 9 are slightly close to each other as shown in FIG. 10C, that is, when E <F and F <MAX, the dog 18a is turned on (projected). And a dog 19b is provided so that the sensor 18b is turned off (shielded).
Further, as shown in FIG. 4D, when the R arm 8 and the L arm 9 are most separated, that is, when E <F and F = MAX, both the sensor 18a and the sensor 18b are ON (light projection). The dogs 19a and 19b are provided as described above.

以上の条件を満たすよう各センサと各ドグが設けられることにより、本発明のアライメント機構は矩形基板Ｒに対して以下の判断をする。
図７（ａ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｘ）のＡで示す範囲である。つまり、センサ１８ｂの信号がＯＮでセンサ１８ａの信号がＯＦＦ状態のＡ区間の場合、矩形基板Ｒを各アームのローラが把持していない（矩形基板が無い）と認識する。
同図（ｂ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｘ）のＢで示す範囲である。つまり、センサ１８ｂの信号がＯＦＦでセンサ１８ａの信号もＯＦＦ状態のＢ区間の場合、矩形基板Ｒを各アームのローラが把持していると認識する。
同図（ｃ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｘ）のＣで示す範囲である。つまり、センサ１８ｂの信号がＯＦＦでセンサ１８ａの信号がＯＮ状態のＣ区間の場合、各アームが動作中であると認識する。
同図（ｄ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｘ）のＤで示す範囲である。つまり、センサ１８ｂの信号がＯＮでセンサ１８ａの信号もＯＮ状態のＤ区間の場合、各アームが最も離反してそれぞれ左右端に到達したと認識する。 By providing each sensor and each dog so as to satisfy the above conditions, the alignment mechanism of the present invention makes the following determination on the rectangular substrate R.
In the state of FIG. 7A, the signal state of each sensor indicates the range indicated by A in FIG. That is, in the A section where the signal of the sensor 18b is ON and the signal of the sensor 18a is OFF, the rectangular substrate R is recognized as not being held by the rollers of each arm (there is no rectangular substrate).
In the state shown in FIG. 5B, the signal state of each sensor indicates the range indicated by B in FIG. That is, when the signal of the sensor 18b is OFF and the signal of the sensor 18a is also in the B section, it is recognized that the roller of each arm is holding the rectangular substrate R.
In the state of (c) in the figure, the range indicated by C in (x) shows the state of the signal of each sensor. That is, when the signal of the sensor 18b is OFF and the signal of the sensor 18a is ON, it is recognized that each arm is operating.
In the state of (d) in the figure, the signal state of each sensor indicates the range indicated by D in (x) of the same figure. That is, when the signal of the sensor 18b is ON and the signal of the sensor 18a is also in the D section, it is recognized that each arm has been most separated and has reached the left and right ends.

次に、アライメント機構７の前後方向の動作状態を監視する機構について説明する。本発明のアライメント機構７では、上記の左右方向の動作状態を監視する構成と同様に、以下のように透過型センサを用い、センサの遮光、投光の状態を組み合わせて、プッシャー機構１０のローラ１０ｂが、矩形基板Ｒを押している状態、押していない状態、プッシャー機構１０が動作中の状態、プッシャー機構１０のローラ１０ｂが後方に引いた状態の４通りの状態を監視することが出来るよう構成されている。
プッシャー機構１０の動作状態を監視するため、プッシャー機構１０には図８（ｇ）〜（ｊ）の各図が示すように少なくとも２個の透過型のセンサ２０ａ、２０ｂが前後に配置されている。図８（ｇ）〜（ｊ）は第３アーム５、ハンド６、及びアライメント機構７の側面図であり、特にプッシャー機構１０を説明のために一部断面にした簡易的な図である。センサ２０ａ、２０ｂはハンド６上に固定されている。各センサの光軸は左右方向に向いている。一方、プッシャ１０ａにはドグ２１が取り付けられている。ドグ２１はプッシャ１０ａと共に前後に動く。ドグ２１は平板状の部材であり、前後方向に延在する。さらにドグ２１は手前から順に第１突起２１ａと第２突起２１ｂとが形成されて、これらの突起の間には隙間が形成されている。各センサの光軸に対して第１突起及び第２突起がセンサ２０ａ及び２０ｂのいずれかの光軸を遮光可能になっている。 Next, a mechanism for monitoring the operation state of the alignment mechanism 7 in the front-rear direction will be described. In the alignment mechanism 7 according to the present invention, similarly to the configuration for monitoring the operation state in the left-right direction, a roller of the pusher mechanism 10 is used by combining the light-shielding and light-projecting states of the sensor as follows. 10b is configured to be able to monitor four states: a state where the rectangular substrate R is pressed, a state where the rectangular substrate R is not pressed, a state where the pusher mechanism 10 is operating, and a state where the roller 10b of the pusher mechanism 10 is pulled backward. ing.
In order to monitor the operating state of the pusher mechanism 10, the pusher mechanism 10 is provided with at least two transmissive sensors 20a and 20b at the front and rear as shown in FIGS. 8 (g) to 8 (j). . FIGS. 8G to 8J are side views of the third arm 5, the hand 6, and the alignment mechanism 7. In particular, the pusher mechanism 10 is partially simplified for explanation. The sensors 20 a and 20 b are fixed on the hand 6. The optical axis of each sensor is directed in the left-right direction. On the other hand, a dog 21 is attached to the pusher 10a. The dog 21 moves back and forth with the pusher 10a. The dog 21 is a flat plate-like member and extends in the front-rear direction. Further, the dog 21 is formed with a first protrusion 21a and a second protrusion 21b in order from the front, and a gap is formed between these protrusions. The first protrusion and the second protrusion can shield one of the optical axes of the sensors 20a and 20b with respect to the optical axis of each sensor.

さらに、各センサと各ドグは、以下の条件を全て満たすような位置に設置される。このことを図８各図を使って説明する。図８の各図はプッシャー機構１０の状態のパターンを示す（ｇ）〜（ｊ）図と、そのときの各センサの信号状態とを示す（ｙ）図である。ここでは、各センサの信号状態がＯＮの場合を投光、ＯＦＦの場合を遮光として説明する。
まず、同図（ｇ）のように、ローラ１０ｂが最も後方に位置していて、ローラ１０ｂの円筒の前方側側面からローラ８ｂ、９ｃの円筒の後方側側面までの距離Ｌが、ここでは図示しないハンド６に搭載されるべき矩形基板Ｒの前後の幅Ｋよりも小さいとき、すなわちＫ＜ＬかつＬ=ＭＡＸのとき、センサ２０ａとセンサ２０ｂがいずれもＯＮ（投光）されるような位置にドグ２１の第１突起２１ａと第２突起２１ｂとは設けられる。
また、同図（ｈ）のように、ローラ１０ｂが前方に若干位置しているとき、すなわちＫ＜ＬかつＬ＜ＭＡＸのとき、センサ２０ａはＯＦＦ（遮光）されるような位置にドグ２１の第１突起２１ａは設けられ、かつ、センサ２０ｂはＯＮ（投光）されるような位置にドグ２１の第２突起２１ｂは設けられる。
また、同図（ｉ）のように、ローラ１０ｂが矩形基板Ｒの基端側側面と当接して矩形基板Ｒを前方に押し出し、さらに矩形基板Ｒの先端側側面とローラ８ｂ、９ｃとが当接している位置のとき、すなわちＫ＝Ｌのとき、センサ２０ａとセンサ２０ｂがいずれもＯＦＦ（遮光）されるような位置にドグ２１の第１突起２１ａと第２突起２１ｂとは設けられる。
また、同図（ｊ）のように、ローラ１０ｂが最も前方に位置しているとき、すなわちＫ＞Ｌのとき、センサ２０ａはＯＮ（投光）されるような位置にドグ２１の第１突起２１ａは設けられ、かつ、こセンサ２０ｂはＯＦＦ（遮光）されるようドグ３２の第２突起２１ｂは形成される。 Further, each sensor and each dog are installed at positions that satisfy all of the following conditions. This will be described with reference to FIG. 8 is a diagram (g) to (j) showing the pattern of the state of the pusher mechanism 10, and a diagram (y) showing the signal state of each sensor at that time. Here, the case where the signal state of each sensor is ON is described as light projection, and the case where it is OFF is described as light shielding.
First, as shown in FIG. 5G, the distance L from the front side surface of the cylinder of the roller 10b to the rear side surface of the cylinders of the rollers 8b and 9c is illustrated here. The position at which both the sensor 20a and the sensor 20b are turned on (projected) when the width K is smaller than the width K before and after the rectangular substrate R to be mounted on the hand 6 that is not to be mounted, that is, when K <L and L = MAX. The first protrusion 21a and the second protrusion 21b of the dog 21 are provided.
Further, as shown in FIG. 9H, when the roller 10b is slightly positioned forward, that is, when K <L and L <MAX, the sensor 20a is turned off (shielded). The first protrusion 21a is provided, and the second protrusion 21b of the dog 21 is provided at a position where the sensor 20b is turned on (light projection).
Further, as shown in FIG. 5I, the roller 10b abuts against the side surface on the base end side of the rectangular substrate R to push the rectangular substrate R forward, and the distal side surface of the rectangular substrate R and the rollers 8b and 9c contact each other. When in contact with each other, that is, when K = L, the first protrusion 21a and the second protrusion 21b of the dog 21 are provided at positions where both the sensor 20a and the sensor 20b are turned off (shielded).
Further, as shown in FIG. 6 (j), when the roller 10b is located at the foremost position, that is, when K> L, the first protrusion of the dog 21 is positioned so that the sensor 20a is turned on (projected). 21 a is provided, and the second protrusion 21 b of the dog 32 is formed so that the sensor 20 b is turned off (shielded).

以上の条件を満たすようプッシャー機構１０の各センサと各ドグが設けられることにより、本発明のアライメント機構は矩形基板Ｒに対して以下の判断をする。
図８（ｇ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｙ）のＧで示す範囲である。つまり、センサ２０ａの信号がＯＮでセンサ２０ｂの信号もＯＮ状態のＧ区間の場合、プッシャ１０ａが最も後方（手前）に位置していると認識する。
同図（ｈ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｙ）のＨで示す範囲である。つまり、センサ２０ａの信号がＯＦＦでセンサ２０ｂの信号がＯＮ状態のＨ区間の場合、プッシャ１０ａが動作中であると認識する。
同図（ｉ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｙ）のＩで示す範囲である。つまり、センサ２０ａの信号がＯＦＦでセンサ２０ｂの信号がＯＦＦ状態のＩ区間の場合、ローラ１０ｂとローラ８ｂ、９ｃとが矩形基板Ｒを把持していると認識する。
同図（ｊ）の状態のとき、各センサの信号の状態を示すのが同図（ｙ）のＪで示す範囲である。つまり、センサ２０ａの信号がＯＮでセンサ２０ｂの信号がＯＦＦ状態のＪ区間の場合、ローラ１０ｂとローラ８ｂ、９ｃとが矩形基板Ｒを把持していない（矩形基板が無い）と認識する。 By providing each sensor and each dog of the pusher mechanism 10 so as to satisfy the above conditions, the alignment mechanism of the present invention makes the following determination on the rectangular substrate R.
In the state of FIG. 8 (g), the range indicated by G in FIG. 8 (y) indicates the signal state of each sensor. That is, when the signal of the sensor 20a is ON and the signal of the sensor 20b is also in the G section, it is recognized that the pusher 10a is located at the rearmost (front side).
In the state shown in FIG. 11H, the signal state of each sensor indicates the range indicated by H in FIG. That is, when the signal of the sensor 20a is OFF and the signal of the sensor 20b is in the H section, the pusher 10a is recognized as operating.
In the state of (i) in the same figure, the range indicated by I in (y) shows the state of the signal of each sensor. That is, in the I section where the signal of the sensor 20a is OFF and the signal of the sensor 20b is OFF, it is recognized that the roller 10b and the rollers 8b and 9c are holding the rectangular substrate R.
In the state of (j) in the figure, the range indicated by J in (y) shows the signal state of each sensor. That is, in the J section where the signal of the sensor 20a is ON and the signal of the sensor 20b is OFF, the roller 10b and the rollers 8b and 9c recognize that the rectangular substrate R is not gripped (there is no rectangular substrate).

そして、上記で説明したアライメント機構７の左右の動作状態を監視する機構と前後の動作状態を監視する機構とを組み合わせ、例えば、図７（ｘ）のＢのセンサ信号と図８（ｙ）のＩのセンサ信号とが得られたとき、アライメント機構７が正確に矩形基板Ｒを把持してアライメントが行われたと判断する。また、例えば、図７（ｘ）のＢのセンサ信号が得られたのに、一方、図８（ｙ）のＪのセンサ信号が得られた場合は、正確にアライメントが行われず、さらに矩形基板Ｒが前後方向に傾斜して把持されていると判断する。同様に、図８（ｙ）のＩのセンサ信号が得られたのに、一方、図７（ｘ）のＡのセンサ信号がえられた場合は、正確にアライメントが行われず、さらに矩形基板Ｒが左右方向に傾斜して把持されていると判断する。また、図７（ｘ）のＢのセンサ信号と図８（ｙ）のＩのセンサ信号とが得られ、アライメント機構７が正確に矩形基板Ｒを把持してアライメントが行われたと判断できた場合は、場合に応じて、すべてのローラによる把持状態を維持したまま矩形基板Ｒを搬送すれば、高速で基板の搬送が可能である。
Then, a mechanism for monitoring the left and right operation states of the alignment mechanism 7 described above and a mechanism for monitoring the front and rear operation states are combined, for example, the sensor signal B in FIG. 7 (x) and the one in FIG. 8 (y). When the I sensor signal is obtained, the alignment mechanism 7 determines that the alignment is performed by accurately grasping the rectangular substrate R. Further, for example, when the sensor signal B in FIG. 7 (x) is obtained, but the sensor signal J in FIG. 8 (y) is obtained, the alignment is not performed accurately, and the rectangular substrate is further obtained. It is determined that R is held while being inclined in the front-rear direction. Similarly, when the sensor signal I of FIG. 8 (y) is obtained, but the sensor signal A of FIG. 7 (x) is obtained, alignment is not performed accurately, and the rectangular substrate R Is determined to be held while being inclined in the left-right direction. Further, when the sensor signal B in FIG. 7 (x) and the sensor signal I in FIG. 8 (y) are obtained, and the alignment mechanism 7 can accurately determine that the alignment has been performed by holding the rectangular substrate R. According to circumstances, if the rectangular substrate R is transported while maintaining the gripping state by all the rollers, the substrate can be transported at a high speed.

本発明の搬送ロボットを示す斜視図The perspective view which shows the conveyance robot of this invention （ａ）は本発明の搬送ロボットの第３アームより上のみの斜視図、（ｂ）は（ａ）の側面図(A) is a perspective view only above the third arm of the transfer robot of the present invention, (b) is a side view of (a). （ａ）は本発明の搬送ロボットのアライメント機構を示す第３アームの正面断面図、（ｂ）（ｃ）は（ａ）のその他の実施例を示す図(A) is front sectional drawing of the 3rd arm which shows the alignment mechanism of the conveyance robot of this invention, (b) (c) is a figure which shows the other Example of (a). 本発明の搬送ロボットのアライメント機構の動作を説明する斜視図The perspective view explaining operation | movement of the alignment mechanism of the conveyance robot of this invention 本発明の搬送ロボットの第３アームより上のみの上面図Top view only above the third arm of the transfer robot of the present invention 本発明の第３アームの正面断面図Front sectional view of the third arm of the present invention 本発明のアライメント機構の左右の各アームの状態のパターンを示す図と、そのときの各センサの信号状態を示す図The figure which shows the pattern of the state of each arm on either side of the alignment mechanism of this invention, and the figure which shows the signal state of each sensor at that time 本発明のアライメント機構のプッシャーの状態のパターンを示す図と、そのときの各センサの信号状態を示す図The figure which shows the pattern of the state of the pusher of the alignment mechanism of this invention, and the figure which shows the signal state of each sensor at that time 従来の搬送ロボットとアライメント機構との動作を説明する斜視図The perspective view explaining operation | movement of the conventional conveyance robot and an alignment mechanism.

Explanation of symbols

Ｒ矩形基板
１基台
２ボディ
３第１アーム
４第２アーム
５第３アーム
６ハンド
６ａハンドベース
６ｂスリット
７アライメント機構
８Ｒアーム
８ａ，ｂローラ
９Ｌアーム
９ａ，ｂ，ｃローラ
１０プッシャー機構
１０ａプッシャ
１０ｂローラ
１１ラック
１２ピニオン
１３エアシリンダ
１４主プーリ
１５従プーリ
１６ベルト
１７リンクバー
１８センサ
１９ドグ
２０センサ
２１ドグ
３１ハンド
３２アライメント機構
３３Ｒアーム
３４Ｌアーム
３５Ｂアーム
３６Ｆアーム R rectangular substrate 1 base 2 body 3 first arm 4 second arm 5 third arm 6 hand 6a hand base 6b slit 7 alignment mechanism 8 R arm 8a, b roller 9 L arm 9a, b, c roller 10 pusher mechanism 10a Pusher 10b Roller 11 Rack 12 Pinion 13 Air cylinder 14 Main pulley 15 Sub pulley 16 Belt 17 Link bar 18 Sensor 19 Dog 20 Sensor 21 Dog 31 Hand 32 Alignment mechanism 33 R arm 34 L arm 35 B arm 36 F arm

Claims

A plurality of arms connected to each other, and a hand provided at the forefront of the plurality of arms, on which a rectangular substrate can be mounted, and the rectangular substrate mounted on the hand by the operation of the plurality of arms is desired. In the transfer robot that transfers to the position,
A hand drive mechanism for moving the hand back and forth in the extending direction of the most advanced arm;
An alignment mechanism that contacts the side surface of the rectangular substrate slid onto the most advanced arm by the hand drive mechanism and aligns the rectangular substrate with respect to the hand, and
The alignment mechanism is
An R arm and an L arm located on the left and right of the most advanced arm;
An alignment drive mechanism that is housed in the most advanced arm and moves the R arm and the L arm toward or away from each other in the left-right direction;
Provided on the R arm and the L arm, and when these arms approach each other, at least three left and right contact portions that contact the left and right side surfaces of the rectangular substrate;
A first sensor for detecting left and right movements of the R arm;
A second sensor for detecting left and right movements of the L arm;
Comprising at least
The first sensor and the second sensor are
Provided that the first sensor is turned off and the second sensor is turned on when the distance F between the left and right contact portions is smaller than the left and right width E of the rectangular substrate;
When the distance F is the same as the width E, the first sensor and the second sensor are both turned off.
When the distance F is larger than the width E and the distance F is smaller than the maximum separation distance by the alignment driving mechanism, the first sensor is turned on and the second sensor is turned off. And
When the distance F is the maximum separation distance, the first sensor and the second sensor are both turned on.
A transfer robot characterized by

The alignment mechanism is
Back and forth by a pusher mechanism mounted on the hand, and at least one proximal end contact portion capable of contacting the proximal end side surface of the rectangular substrate;
The rectangular substrate which is provided on the R arm and the L arm, and is positioned so as to face the side surface on the front end side of the rectangular substrate when the arms approach each other, and is moved back and forth by the hand drive mechanism when the arms are separated from each other At least two tip side abutting portions positioned so as to be able to pass between,
Further comprising
The transfer robot according to claim 1 .

The alignment mechanism is
Further comprising a third sensor and a fourth sensor for detecting an operation before and after the base end side contact portion;
The third sensor and the fourth sensor are
When the distance L formed before and after the base end side contact portion and the front end side contact portion is larger than the width K before and after the rectangular substrate R, and the distance L is the maximum separation distance by the pusher mechanism, The third sensor and the fourth sensor are both turned on,
When the distance L is larger than the width K and the distance L is smaller than the maximum separation distance by the pusher mechanism, the third sensor is turned off and the fourth sensor is turned on. And
When the distance L and the width K are the same, the third sensor and the fourth sensor are both turned off,
When the distance L is smaller than the width K, the third sensor is turned on and the fourth sensor is turned off.
The transfer robot according to claim 2 .

Combining the signals of the first sensor to the fourth sensor to detect that the rectangular substrate is held diagonally in the front-rear direction or the left-right direction;
The transfer robot according to claim 3 .

Comprising the transfer robot according to claim 1;
A semiconductor manufacturing apparatus or substrate inspection apparatus.