JP4670005B2 - メタルマスク、スクリーン印刷版及びはんだバンプ形成方法 - Google Patents
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Description
従って前記文献に開示されたしたいずれのクリームはんだ印刷用のマスクも高密度、高精細印刷には必ずしも十分とは言えず、その更なる改良が求められている。
印刷用の開口部を有し、電鋳法により作られたニッケル又はニッケル合金からなる印刷用メタルマスクであって、X
線回折により測定したメタルの結晶の配向性において、( 1 11 ) 面、( 2 0 0 ) 面及び( 2 2 0 ) 面のピーク強度の合計に対する( 2 2 0
) 面のピーク強度比が0.12 以上、0 . 4未満であることを特徴とするメタルマスク、及び
開口部の大きさが20〜500μmである前記メタルマスク、及び
厚さが20〜100μmである前記いずれかのメタルマスク、及び
前記のいずれかのメタルマスクを紗を介して金属枠に貼り付けてなるスクリーン印刷版、及び
前記のスクリーン印刷版を用いてクリームはんだを印刷してなるはんだバンプ形成方法、である。
本発明のメタルマスクは電鋳法により作られたニッケル、又はニッケル合金からなり、ニッケル合金としては、ニッケルを主成分とし、コバルト、鉄、クロム、タングステン、錫、銅、バナジウム、リン、ホウ素等の合金が挙げられる。勿論本発明のメタルマスクには電鋳の際にメッキ浴に添加した光沢剤、高硬度化剤等の添加剤を含有していても構わない。
この際用いられる感光性樹脂としては、光、特に紫外線に感光するものであればよく、液状であっても、所謂ドライフィルムレジストと称される固形状であってもよい。又、感光性樹脂を積層するには、塗布やラミネートすればよい。感光性樹脂を露光する際、通常は配線パターンが描かれた樹脂マスク又はガラスマスクを通して紫外線露光が行われる。本発明においては、開口部のテーパー、壁面の平滑さからマスクとしてはガラスマスクが好ましい。更に、マスクを使用せずに、紫外線レーザー、例えば半導体紫外線レーザーの光を感光性樹脂層に直接照射して配線パターン状に走査し露光を行う、所謂直接描画も好ましい。
前記したメタルマスクと樹脂フィルムを積層したメタルマスクの製造方法としては、導電性金属をスパッターしたポリイミドフィルム、又は導電性金属を貼り合わせたポリイミドフィルムに印刷用の開口部の加工を行った後、ニッケルメッキを行うことによっても作ることができる。
又、本発明の作用効果をより発現させるために、本発明のメタルマスクをフッ素樹脂微粒子を含有する金属メッキ被膜で被覆したり、プラズマフッ素処理等を行ってもよい。
以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。ただし、本発明は、これらの実施例により限定されるものではない。
該メタルマスクのX線回折装置(JDX−3530、日本電子(株)製)により測定したニッケルピーク強度の合計に対する(220)面のピーク強度比は0.25であった。
〔比較例1〕
〔比較例2〕
結果は、(220)面のピーク強度比は0.67、又印刷結果は比較例1と同じようにクリームはんだの滲みが発生し、且つはんだバンプに欠けが生じた。
Claims (5)
- 印刷用の開口部を有し、電鋳法により作られたニッケル又はニッケル合金からなる印刷用メタルマスクであって、X
線回折により測定したメタルの結晶の配向性において、(111)面、(200)面及び(220)面のピーク強度の合計に対する(220)面のピーク強度比が0.12以上、0.4未満であることを特徴とするメタルマスク。 - 開口部の大きさが20〜500μmである請求項1記載のメタルマスク。
- 厚さが20〜100μmである請求項1又は2いずれか記載のメタルマスク。
- 請求項1〜3いずれか記載のメタルマスクを紗を介して金属枠に貼り付けてなるスクリーン印刷版。
- 請求項4記載のスクリーン印刷版を用いてクリームはんだを印刷してなるはんだバンプ形成方法。
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