JP4664967B2 - シリコン鋳造装置およびシリコン基板の製造方法 - Google Patents
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Description
このため、凝固したシリコンインゴットを冷却するために設定した温度勾配が消失し、溶融シリコンの固液界面における形状が過度に下方向に突出した半円球形状、または円錐形状となり、未凝固のシリコン融液部の中心部が深くなる。
第1の構成では、加熱手段が複数段の加熱炉からなり、当該加熱炉が耐火物で構成されること、または冷却手段が複数段で構成され、冷却水を流通させる冷却管構造であることが望ましい。
第2の構成では、加熱手段が複数段の熱遮蔽炉からなり、当該熱遮蔽炉が伝熱を遮蔽する遮蔽板を配置して構成されていること、または断熱手段が耐火物で構成され、または/および加熱手段の間隙を形成する空間で構成され、複数段に配置されることが望ましい。
また、本発明のシリコン基板の製造方法によれば、上記残留歪および残留応力を減少させたシリコンインゴットから切り出すことにより、光電変換効率に優れる太陽電池用シリコン基板を得ることができる。
図2は、実施例1で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。
図3は、実施例2で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。
図4は、実施例3で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。
図5は、比較例で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。
図6は、実施例1〜3および比較例で用いたシリコン鋳造装置の加熱手段における温度分布を示す図である。
これにより、適切な温度制御が可能であり、凝固インゴットを冷却するために最適な温度勾配を付与することができる。このため、溶融シリコンの固液界面における形状を安定して平坦にでき、残留歪および残留応力を減少させたシリコンインゴットを鋳造することができるとともに、インゴットの凝固速度を速めることができる。
このため、断熱手段によって隔離された各加熱手段において温度制御が可能になり、シリコンインゴットの引き下げ方向に沿って温度勾配を有効に付与できる。これにより、溶融シリコンの固液界面における形状を安定的に平坦化でき、残留歪および残留応力を減少させたシリコンインゴットを鋳造することができるとともに、インゴットの凝固速度を速めることができる。
図2は、実施例1で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。実施例1では、冷却坩堝6とこれを取り囲む誘導コイル7を設置して、冷却坩堝6の直下から凝固シリコン12の引き下げ方向に沿って1〜8段の加熱手段15と1〜8段の冷却手段17とを交互に設置した。図2において、冷却坩堝や冷却手段での冷却水の取り入れ・取り出し、誘導電源と誘導コイルの連結、加熱手段や冷却手段の取り付け、発熱体の取り付けと電気的連結等の詳細な図示は省略した。後述する図3〜5においても同様とする。
また、1〜8段目の冷却手段17には毎分5リットルの冷却水を循環させたが、冷却水の入口温度と出口温度の差は、1段目の冷却手段17では2℃、他の段の冷却手段17では1℃以下であった。
太陽電池の製作工程では水素パッシベーション技術を用いて、それぞれのシリコン基板から太陽電池を製作した。実施例1で製作された太陽電池の光電変換効率の平均値は、14.8%であった。
図3は、実施例2で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。実施例2では、冷却坩堝6とこれを取り囲む誘導コイル7を設置して、冷却坩堝6の直下に凝固シリコン12の引き下げ方向に沿って加熱手段15と断熱手段18を交互に設置した。
実施例1の場合と同様に、太陽電池の製作工程では水素パッシベーション技術を用いて、それぞれのシリコン基板から太陽電池を製作した。実施例2で製作された太陽電池の光電変換効率の平均値は、14.8%であった。
図4は、実施例3で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段等)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。実施例3では、冷却坩堝6とこれを取り囲む誘導コイル7を設置して、冷却坩堝6の直下に凝固シリコン12の引き下げ方向に沿って、加熱手段15、並びに断熱手段18および断熱手段としての空間20を交互に設置した。
実施例1の場合と同様に、太陽電池の製作工程では水素パッシベーション技術を用いて、それぞれのシリコン基板から太陽電池を製作した。実施例2で製作された太陽電池の光電変換効率の平均値は、14.8%であった。
図5は、比較例で採用したシリコン鋳造装置の要部(冷却坩堝および加熱手段)の部分断面の構成を模式的に説明する図である。比較例では、冷却坩堝6とこれを取り囲む誘導コイル7を設置して、冷却坩堝6の直下に凝固シリコン12の引き下げ方向に沿って8段の加熱手段15を配置した。
すなわち、1段目の加熱炉では約4kWであり、2段目〜6段目までの5つの加熱炉ではまったく電力消費はなく、7段目の加熱炉では約1kW、8段目の加熱炉では約2kWが消費された。
実施例1の場合と同様に、太陽電池の製作工程では水素パッシベーション技術を用いて、それぞれのシリコン基板から太陽電池を製作した。比較例で製作された太陽電池の光電変換効率の平均値は、14.2%であった。
上述の実施例の結果から明らかなように、本発明で規定するシリコン鋳造装置を用いた実施例1〜3では、比較的速い鋳造速度を確保できるとともに(毎分1.7〜2.0mm)、得られたシリコンインゴットから作製された太陽電池の光電変換効率はいずれも優れた値であった(いずれも14.8%)。
図6は、実施例1〜3および比較例で用いたシリコン鋳造装置の加熱手段における温度分布を示す図である。加熱手段における温度測定は、加熱手段(加熱炉、または熱遮蔽炉)の高さ方向の中心位置であり、凝固シリコンの側面と発熱体との中間位置に配置した熱電対によって測定した。図6に示す温度分布は、鋳造されたシリコンインゴットが1段目の加熱炉から8段目の加熱炉に至る全体の距離を超えて引き下げられた時点における温度測定結果に基づいて示す。図中では、冷却坩堝の直下からの引き下げ距離(cm)も併せて示している。
これは、熱遮蔽炉では輻射熱の伝播によって熱移動するために温度変化に対する応答速度が速いことに起因している。したがって、熱遮蔽炉の応答性は、耐火物固有の大きな熱伝達抵抗を利用する耐火物による加熱炉が温度変化に対し応答速度が緩慢であることと好対照となる。さらに、実施例2、3では、熱遮蔽炉の温度変化に対する応答性と、各熱遮蔽炉間に設けられた断熱手段による遮断効果によって、1〜8段目の熱遮蔽炉における温度制御が容易になる。
また、本発明のシリコン基板の製造方法によれば、上記残留歪および残留応力を減少させたシリコンインゴットから切り出すことにより、光電変換効率に優れる太陽電池用シリコン基板を得ることができる。これにより、太陽電池用の多結晶シリコンインゴットの製造に広く適用することができる。
Claims (8)
- 軸方向の少なくとも一部が周方向で複数に分割された導電性の冷却坩堝と、この冷却坩堝を取り囲む誘導コイルを設け、電磁誘導により溶融したシリコンを下方に引き下げて凝固させるシリコンの鋳造装置において、
前記冷却坩堝の下方で、かつ同芯に、前記凝固シリコンに対する加熱手段と冷却手段とを単数組または複数組で交互に配置し、前記冷却坩堝の直下に加熱手段を設置することを特徴とするシリコン鋳造装置。 - 前記加熱手段が複数段の加熱炉からなり、当該加熱炉が耐火物で構成されていることを特徴とする請求項1に記載のシリコン鋳造装置。
- 前記冷却手段が複数段で構成され、冷却水を流通させる冷却管構造であることを特徴とする請求項1または2に記載のシリコン鋳造装置。
- 軸方向の少なくとも一部が周方向で複数に分割された導電性の冷却坩堝と、この冷却坩堝を取り囲む誘導コイルを設け、電磁誘導により溶融したシリコンを下方に引き下げて凝固させるシリコンの鋳造装置において、
前記冷却坩堝の下方で、かつ同芯に、前記凝固シリコンに対する加熱手段とこの加熱手段からの伝熱を遮蔽する断熱手段とを単数組または複数組で交互に配置し、前記冷却坩堝の直下に断熱手段を設置することを特徴とするシリコン鋳造装置。 - 前記加熱手段が複数段の熱遮蔽炉からなり、当該熱遮蔽炉が伝熱を遮蔽する熱遮蔽板を配置して構成されていることを特徴とする請求項4に記載のシリコン鋳造装置。
- 前記断熱手段が耐火物で構成され、前記冷却坩堝の下方で複数段に配置されることを特徴とする請求項4または5に記載のシリコン鋳造装置。
- 前記断熱手段が耐火物で構成され、または/および前記加熱手段の間隙を形成する空間で構成され、前記冷却坩堝の下方で複数段に配置されることを特徴とする請求項4または5に記載のシリコン鋳造装置。
- 前記請求項1〜7のいずれかに記載のシリコン鋳造装置を用いて多結晶シリコンインゴットを育成した後、当該シリコンインゴットから切り出して太陽電池用シリコン基板を得ることを特徴とするシリコン基板の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005040236 | 2005-02-17 | ||
JP2005040236 | 2005-02-17 | ||
PCT/JP2006/302604 WO2006088037A1 (ja) | 2005-02-17 | 2006-02-15 | シリコン鋳造装置およびシリコン基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2006088037A1 JPWO2006088037A1 (ja) | 2008-07-03 |
JP4664967B2 true JP4664967B2 (ja) | 2011-04-06 |
Family
ID=36916441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007503670A Expired - Fee Related JP4664967B2 (ja) | 2005-02-17 | 2006-02-15 | シリコン鋳造装置およびシリコン基板の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4664967B2 (ja) |
WO (1) | WO2006088037A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008156166A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Sumco Solar Corp | シリコンインゴットの鋳造方法および切断方法 |
JP5141020B2 (ja) * | 2007-01-16 | 2013-02-13 | 株式会社Sumco | 多結晶シリコンの鋳造方法 |
UA95131C2 (uk) * | 2009-08-25 | 2011-07-11 | Частное Акционерное Общество «Пиллар» | Спосіб одержання зливків мультикристалічного кремнію індукційним методом |
US10766777B2 (en) | 2009-11-20 | 2020-09-08 | Consarc Corporation | Method for electromagnetic casting of silicon in a conductive crucible using a highest- and lowest-disposed induction coil |
JP2012036059A (ja) * | 2010-08-11 | 2012-02-23 | Sumco Corp | シリコンの電磁鋳造装置 |
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-
2006
- 2006-02-15 WO PCT/JP2006/302604 patent/WO2006088037A1/ja active Application Filing
- 2006-02-15 JP JP2007503670A patent/JP4664967B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2006088037A1 (ja) | 2008-07-03 |
WO2006088037A1 (ja) | 2006-08-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100914 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101108 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110107 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |