JP4654875B2 - 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 - Google Patents
単結晶製造装置及び単結晶製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4654875B2 JP4654875B2 JP2005303089A JP2005303089A JP4654875B2 JP 4654875 B2 JP4654875 B2 JP 4654875B2 JP 2005303089 A JP2005303089 A JP 2005303089A JP 2005303089 A JP2005303089 A JP 2005303089A JP 4654875 B2 JP4654875 B2 JP 4654875B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- heating coil
- induction heating
- nozzle
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 222
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 82
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 130
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims description 119
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 75
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 47
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 41
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 41
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 40
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 38
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 37
- 238000007667 floating Methods 0.000 claims description 34
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 19
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 17
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000003405 preventing effect Effects 0.000 claims description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 12
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 12
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 9
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 7
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 6
- 238000013316 zoning Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000008710 crystal-8 Substances 0.000 description 4
- 150000003376 silicon Chemical class 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004857 zone melting Methods 0.000 description 1
Images
Description
先ず、原料結晶棒1を、チャンバー20内に設置された上軸3の上部保持治具4に保持する。一方、直径の小さい単結晶の種(種結晶)8を、原料結晶棒1の下方に位置する下軸5の下部保持治具6に保持する。
これらのガスを吹き付けることで、スリット部近傍の温度を低下させ荷電粒子の発生を抑制するとともに、スリットに発生した荷電粒子をガスで吹き飛ばすことで除去する。
これらのガスを吹き付けることで、スリット部近傍の温度を低下させ荷電粒子の発生を抑制するとともに、スリットに発生した荷電粒子をガスで吹き飛ばすことで除去する。
本発明者らは、直径150mm以上、特には直径200mm以上の大口径の単結晶をFZ法により製造する際、単結晶の品質を劣化させる原因について鋭意検討を重ねた。その結果、大口径の単結晶をFZ法により製造しようとすると、誘導加熱コイルスリット、特にコイル外周部のスリットで放電が発生するという問題が生じることに気づいた。
以上のことから、本発明者らは、ノズルから誘導加熱コイルのスリット部にガスを吹き付けることで、誘導加熱コイルのスリットで生じる放電を効果的に防止することができ、これにより、大口径であっても、高品質の単結晶を安定して製造することができることに想到し、本発明を完成させた。
図1は、本発明に係わるFZ法による単結晶製造装置の一例を示す概略図である。
このFZ単結晶製造装置40は、原料結晶棒1及び育成単結晶棒2を収容するチャンバー20と、前記原料結晶棒1と育成単結晶棒2の間に浮遊帯域10を形成するための熱源となる誘導加熱コイル7を有する。そして、誘導加熱コイル7のスリット近傍にガス吹き付けのためのノズル11が設置されている。この他、チャンバー20内には、原料結晶棒1を保持する上部保持治具4、種結晶8を保持する下部保持治具6、原料結晶棒1を上下移動、回転させるための上軸3、育成単結晶棒を上下移動、回転させるための下軸5などが配置されている。
先ず、シリコン原料棒(多結晶棒、あるいは一度ゾーンを行ったFZ結晶、CZ法で作製した単結晶棒等)の溶融を開始する部分をコーン形状に加工し、加工歪みを除去するために表面のエッチングを行う。その後、図1に示すFZ法による単結晶製造装置40のチャンバー20内にシリコン原料棒1を収容し、チャンバー20内に設置された上軸3の上部保持治具4にネジ等で固定する。一方、下軸5の下部保持治具6にはシリコン単結晶からなる種結晶8を取り付ける。
(実施例1)
直径170mmのCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として、FZ法によりゾーニングを行い、直径205mm、直胴長さ50cmのシリコン単結晶を製造した。
このシリコン単結晶の製造の際には、図1に示す単結晶製造装置を用いた。誘導加熱コイルは内側の第一加熱コイルの外径を170mm、外側の第二加熱コイルの外径を280mmのパラレルコイルとし、炉内圧を0.18MPa、Arガス流量を30L/min、チャンバー内窒素ガス濃度を0.1%、成長速度を2.2mm/min、偏芯量を12mmとした。
そして、FZ法によるシリコン単結晶の育成を7回実施した。その結果、7回中、誘導加熱コイルのスリットで放電が2回発生し、ノントラブルは5回であった。
直径170mmのCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として、FZ法によりゾーニングを行い、直径205mm、直胴長さ50cmのシリコン単結晶を製造した。
このシリコン単結晶の製造の際には、図1に示す単結晶製造装置を用いた。誘導加熱コイルは内側の第一加熱コイルの外径を170mm、外側の第二加熱コイルの外径を280mmのパラレルコイルとし、炉内圧を0.18MPa、Arガス流量を30L/min、チャンバー内窒素ガス濃度を0.1%、成長速度を2.2mm/min、偏芯量を12mmとした。
そして、FZ法によるシリコン単結晶の育成を12回実施した。その結果、12回中、誘導加熱コイルのスリットで放電が発生せず、全てノントラブルであった。
直径170mmのCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として、FZ法によりゾーニングを行い、直径205mm、直胴長さ50cmのシリコン単結晶を製造した。
このシリコン単結晶の製造の際には、図1に示す単結晶製造装置を用いた。誘導加熱コイルは内側の第一加熱コイルの外径を170mm、外側の第二加熱コイルの外径を280mmのパラレルコイルとし、炉内圧を0.18MPa、Arガス流量を30L/min、チャンバー内窒素ガス濃度を0.1%、成長速度を2.2mm/min、偏芯量を12mmとした。
そして、FZ法によるシリコン単結晶の育成を6回実施した。その結果、6回中、誘導加熱コイルのスリットで放電が発生せず、全てノントラブルであった。
直径170mmのCZシリコン単結晶をシリコン原料棒として、FZ法によりゾーニングを行い、直径205mm、直胴長さ50cmのシリコン単結晶を製造した。
このシリコン単結晶の製造の際には、図2に示す単結晶製造装置を用いた。誘導加熱コイルは内側の第一加熱コイルの外径を170mm、外側の第二加熱コイルの外径を280mmのパラレルコイルとし、炉内圧を0.18MPa、Arガス流量を30L/min、チャンバー内窒素ガス濃度を0.1%、成長速度を2.2mm/min、偏芯量を12mmとした。
そして、FZ法によるシリコン単結晶の育成を10回実施した。その結果、10回中、誘導加熱コイルのスリットで全て放電が発生した。
一方、比較例1では、誘導加熱コイルのスリットで頻繁に放電が発生したため、単結晶化率が低くなり、実質上、大口径の単結晶を製造することができなかった。
3…上軸、 4…上部保持治具、 5…下軸、 6…下部保持治具、
7,7a…誘導加熱コイル、 8…種結晶、 9…絞り部、 10…浮遊帯域、
11…ガス吹き付け用ノズル、 12…スリット、
12a,12b…対向面、 13a,13b…電源端子、 14…内周面、
15…外周面、 17…ガス導入部、
18…ノズル先端部、 19…絶縁部材、 20…チャンバー、
30…従来のFZ単結晶製造装置、
40…本発明のFZ単結晶製造装置。
Claims (14)
- FZ法による単結晶製造装置であって、少なくとも、原料結晶棒及び育成単結晶棒を収容するチャンバーと、前記原料結晶棒と前記育成単結晶棒の間に浮遊帯域を形成する熱源となりスリットを有する誘導加熱コイルと、該誘導加熱コイルのスリットでの放電を防ぐための前記誘導加熱コイルのスリット部にArガス又は窒素ガスを吹き付けるノズルを具備するものであることを特徴とする単結晶製造装置。
- 前記ガスを吹き付けるノズルの材質が、石英、窒化珪素、酸化アルミニウムのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の単結晶製造装置。
- 前記ノズルの先端位置が、前記育成単結晶棒の外径よりも外側であり、且つ前記ガスを吹き付けるノズルの先端と前記誘導加熱コイルの距離が、前記ノズルの先端から前記育成単結晶棒の固液界面までの距離よりも小さいものであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の単結晶製造装置。
- 前記誘導加熱コイルのスリットに、絶縁部材を設けたものであることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の単結晶製造装置。
- 前記製造する単結晶が、シリコン単結晶であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の単結晶製造装置。
- 前記製造する単結晶が、直径150mm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の単結晶製造装置。
- 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の単結晶製造装置を用いてFZ法により単結晶を製造することを特徴とする単結晶製造方法。
- 原料結晶棒を誘導加熱コイルで加熱して浮遊帯域を形成し、前記浮遊帯域を移動させることで単結晶棒を育成するFZ法による単結晶製造方法であって、少なくとも、ノズルにより前記誘導加熱コイルのスリット部にArガス又は窒素ガスを吹き付けることで該誘導加熱コイルのスリットでの放電を防いで単結晶棒を育成することを特徴とする単結晶製造方法。
- 前記ガスを吹き付けるノズルの材質を、石英、窒化珪素、酸化アルミニウムのいずれかとすることを特徴とする請求項8に記載の単結晶製造方法。
- 前記誘導加熱コイルのスリット部に吹き付けるガスの流量を、10ml/min〜1l/minとすることを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の単結晶製造方法。
- 前記ノズルの先端位置を、前記育成単結晶棒の外径よりも外側とし、且つ前記ガスを吹き付けるノズルの先端と前記誘導加熱コイルの距離を、前記ノズルの先端から前記育成単結晶棒の固液界面までの距離よりも小さくすることを特徴とする請求項8乃至請求項10のいずれか1項に記載の単結晶製造方法。
- 前記誘導加熱コイルのスリットに、絶縁部材を設けることを特徴とする請求項8乃至請求項11のいずれか1項に記載の単結晶製造方法。
- 前記製造する単結晶を、シリコン単結晶とすることを特徴とする請求項8乃至請求項12のいずれか1項に記載の単結晶製造方法。
- 前記製造する単結晶を、直径150mm以上とすることを特徴とする請求項8乃至請求項13のいずれか1項に記載の単結晶製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005303089A JP4654875B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005303089A JP4654875B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007112640A JP2007112640A (ja) | 2007-05-10 |
JP4654875B2 true JP4654875B2 (ja) | 2011-03-23 |
Family
ID=38095163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005303089A Active JP4654875B2 (ja) | 2005-10-18 | 2005-10-18 | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4654875B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5126267B2 (ja) * | 2010-03-25 | 2013-01-23 | 信越半導体株式会社 | シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶製造装置 |
WO2012114375A1 (ja) * | 2011-02-23 | 2012-08-30 | 信越半導体株式会社 | N型シリコン単結晶の製造方法及びリンドープn型シリコン単結晶 |
KR101427219B1 (ko) | 2012-09-17 | 2014-08-14 | (주) 다애테크 | 뷰포트 및 이를 포함하는 사파이어 잉곳 제조장치 |
DE102012022965B4 (de) * | 2012-11-19 | 2018-12-06 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Vorrichtung für das tiegelfreie Zonenziehen von Kristallstäben |
JP6471683B2 (ja) * | 2015-12-07 | 2019-02-20 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3048114A1 (de) * | 1980-12-19 | 1982-07-29 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum tiegelfreien zonenschmelzen |
US4650541A (en) * | 1984-09-12 | 1987-03-17 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Apparatus and method for the horizontal, crucible-free growth of silicon sheet crystals |
JP3127981B2 (ja) * | 1995-01-31 | 2001-01-29 | 信越半導体株式会社 | 高周波誘導加熱装置 |
-
2005
- 2005-10-18 JP JP2005303089A patent/JP4654875B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007112640A (ja) | 2007-05-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102782817B (zh) | 等离子体处理装置及方法 | |
EP0863545A2 (en) | Monocrystalline ceramic electrostatic chuck | |
JP4654875B2 (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
US20160358793A1 (en) | Plasma processing apparatus and method, and method of manufacturing electronic device | |
JP2010520644A (ja) | 半導体グレードシリコンのプラズマ溶射 | |
JP5245129B2 (ja) | 石英ガラスルツボの製造方法 | |
JP5343272B2 (ja) | 単結晶半導体製造装置および製造方法 | |
WO2014045547A1 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JP4581977B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2013093264A (ja) | プラズマ処理装置及び方法 | |
JP2006169060A (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
JP4604700B2 (ja) | 単結晶製造装置及び単結晶製造方法 | |
WO2012101969A1 (ja) | 多結晶シリコン製造用反応炉および多結晶シリコンの製造方法 | |
WO2013125208A1 (ja) | 多結晶シリコン棒の製造方法 | |
JP6379355B2 (ja) | プラズマ処理装置及び方法、電子デバイスの製造方法 | |
JP2008247737A (ja) | シリコン単結晶の製造装置及び製造方法並びにシリコンウェーハ | |
TWI789542B (zh) | 芯線持具、矽製造裝置及矽製造方法 | |
JP5505365B2 (ja) | 誘導加熱コイルにおける放電防止用絶縁部材及びこれを用いた単結晶製造装置並びに単結晶製造方法 | |
JP2008260671A (ja) | 単結晶引上装置 | |
JP4569090B2 (ja) | 単結晶の製造方法及び単結晶、並びに単結晶の製造装置 | |
EP1201795B1 (en) | Semiconductor single crystal pulling apparatus | |
JP5413421B2 (ja) | 誘導結合型プラズマ処理装置及び方法 | |
WO2007007479A1 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP2013093266A (ja) | プラズマ処理装置及び方法 | |
JPH09227289A (ja) | シリコン単結晶製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080718 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100709 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101124 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101207 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4654875 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |