JP4649663B2 - 光波面測定方法および装置 - Google Patents
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Description
2 光源
3 偏光子
4 半波長板
5 レンズ
6 偏光ビームスプリッタ
7 レンズ
8 部分反射鏡
9 4分の1波長板
10 ファブリ・ペロ干渉計
11 4分の1波長板
12 全反射鏡
13 レンズ
14 部分反射鏡
15 CCDカメラ
16 電気光学変調器
17 ピエゾ素子
18 レンズ
19 光検出器
20 ダブルバランストミキサ
21 高周波発振器
22 位相シフト回路
23 ローパスフィルタ
24 サーボ回路
Claims (2)
- 2枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計に光を入射させて入射光とし、前記入射光のうち前記ファブリ・ペロ干渉計の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、前記ファブリ・ペロ干渉計と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、前記透過光と前記反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて前記入射光の波面の収差を検出する構成であることを特徴とする光波面測定装置。
- 2枚以上の鏡から構成されるファブリ・ペロ干渉計に光を入射させて入射光とし、前記入射光のうち前記ファブリ・ペロ干渉計の最低次の空間モードと共振する成分を透過させて透過光とし、前記ファブリ・ペロ干渉計と共振せず反射された収差を含む空間成分を反射光とし、前記透過光と前記反射光を干渉させることで収差の情報を含む干渉縞を形成させて前記入射光の波面の収差を検出することを特徴とする光波面測定方法。
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JP2006171246A JP4649663B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 光波面測定方法および装置 |
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JP2006171246A JP4649663B2 (ja) | 2006-06-21 | 2006-06-21 | 光波面測定方法および装置 |
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JP2005512075A (ja) * | 2001-12-10 | 2005-04-28 | ザイゴ コーポレーション | 位相シフト干渉分析の方法及びシステム |
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