JP4645752B2 - Control method and a droplet discharge apparatus of the droplet discharge device - Google Patents

Control method and a droplet discharge apparatus of the droplet discharge device Download PDF

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JP4645752B2 JP2009141202A JP2009141202A JP4645752B2 JP 4645752 B2 JP4645752 B2 JP 4645752B2 JP 2009141202 A JP2009141202 A JP 2009141202A JP 2009141202 A JP2009141202 A JP 2009141202A JP 4645752 B2 JP4645752 B2 JP 4645752B2
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和巳 有賀
秀範 臼田
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セイコーエプソン株式会社
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本発明は、加圧ポンプの間欠駆動により、所定の作動圧力範囲を維持するように機能液タンクを加圧して、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液の加圧供給を行う加圧供給動作と、描画領域にセットされた描画対象物に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより機能液滴を吐出させて、描画を行う描画動作と、を実行する液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器に関する。 The present invention is pressurized by the intermittent driving of the pressure pump pressurizes the functional liquid tank so as to maintain a predetermined operating pressure range, the functional liquid functional liquid ejecting a functional liquid droplet from the tank drops functional liquid discharge head pressure a pressurized feed operation for the pressure supply, the drawing object which is set in the drawing area, while relatively moving the functional liquid droplet ejecting heads, the functional liquid droplet by driving the functional liquid droplet ejecting heads by discharging control method of the droplet discharge device to perform a drawing operation to draw a droplet ejection apparatus, a method of manufacturing an electro-optical device, an electro-optical device, and an electronic apparatus.

液滴吐出装置の一種として知られる従来のインクジェット記録装置(液滴吐出装置)の中には、エアーポンプを用いてインクタンク(機能液タンク)を加圧することにより、インクタンクに貯留されたインク(機能液)を、インクジェット記録ヘッド(機能液滴吐出ヘッド)に加圧供給するインク供給装置(機能液供給装置)を備えたものがある。 The ink in the conventional ink jet recording apparatus, known as a type of droplet discharge device (liquid droplet discharge apparatus), by pressurizing the ink tank (function liquid tank) using an air pump, which is stored in the ink tank (functional liquid), the ink jet recording head (functional liquid droplet ejecting heads) are those with pressurized supplies ink supply device (functional liquid supply device).

インク供給装置では、インクタンクとインクジェット記録ヘッドとの間にサブタンクが介設されており、インクタンクから圧送されたインクは一旦サブタンクに貯留されてから、インクジェット記録ヘッドに供給されるようになっている。 In the ink supply apparatus, the ink tank and the sub tank is interposed between the ink jet recording head, since the temporarily stored in the sub tank ink which is pumped from an ink tank, is supplied to the ink jet recording head there. サブタンクには、インク残量を検出する変位検出手段が設けられており、サブタンク内のインク残量に応じて、インクタンクからインクが供給される。 The sub-tank, the displacement detecting means for detecting the remaining amount of ink is provided with, depending on the amount of ink remaining in the sub tank, the ink is supplied from the ink tank. これにより、サブタンク内の圧力は一定の範囲に保たれ、インクジェット記録ヘッドに供給されるインクの圧力変動が抑えられるようになっている。 Thus, the pressure in the sub tank is kept constant in the range, so that the pressure fluctuation of the ink supplied to the ink jet recording head is suppressed.

特開2001−162834号公報 JP 2001-162834 JP

そして、従来のインクジェット記録装置は、変位検出手段がある一定値を検出すると、インクタンクから機能液が加圧供給される構成となっており、印刷中であっても、変位検出手段が一定値を検出すれば、インクジェット記録ヘッドにインクが加圧供給される。 The conventional ink jet recording apparatus detects a certain value displacement detector, the functional liquid from the ink tank has a structure which is supplied under pressure, even during printing, the displacement detector is constant value by detecting the ink jet recording head is supplied under pressure. しかしながら、印刷中のインクジェット記録ヘッドにインクを加圧供給すると、加圧ポンプのON−OFFによりインクジェット記録ヘッド内のヘッド内流路に圧力変動(脈動)が生じ、インク滴の吐出が不安定になって、印刷品質に悪影響を及ぼす惧れが生じる。 However, the ink jet recording head during printing when the pressure supply, pressure fluctuations head flow path in the ink jet recording head (pulsation) is caused by ON-OFF of the pressure pump, unstable ejection of ink droplets now, the Re adversely affect fear is generated in the printing quality.

そこで、本発明は、印刷品質を低下させることなく、機能液滴吐出ヘッドにインクを加圧供給することができる液滴吐出装置の制御方法、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、および電子機器を提供することを課題としている。 The present invention, without reducing the printing quality control method of the functional liquid droplet ejecting heads droplet ejection apparatus capable of pressure supplying ink to the droplet ejection apparatus, a method of manufacturing an electro-optical device, electro It has an object to provide an optical device, and electronic equipment.

本発明は、所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを加圧して、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液の加圧供給を行う加圧供給動作と、描画領域にセットされた描画対象物に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより機能液滴を吐出させて、描画を行う描画動作と、を実行する液滴吐出装置の制御方法において、機能液タンク内の圧力が作動圧力の下限圧力以下か否かを検出する圧力検出工程と、機能液タンク内の圧力が下限圧力以下のときに、機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であるか否かを確認する描画動作確認工程と、描画動作中でないと確認されたときに、機能液タンクを作動圧力の上限圧力まで加圧する第1加圧制 The present invention, in order to maintain the predetermined operating pressure, pressurize the functional liquid tank by a pressure pump performs pressurized supply of the functional liquid to the functional liquid droplet discharge head for discharging the functional liquid droplet from the functional liquid tank a pressure supply operation, the drawing object which is set in the drawing area, while relatively moving the functional liquid droplet ejecting heads, by ejecting functional liquid droplets by driving the functional liquid droplet ejecting heads, a method of controlling a droplet discharge device to perform a drawing operation for drawing, a pressure detecting step of pressure of the functional liquid in the tank to detect whether more than the lower limit pressure of the hydraulic pressure, the pressure of the functional liquid in the tank when: the lower limit pressure, a drawing operation check step of the functional liquid droplet ejection head checks whether is in drawing operation, when it is confirmed that not in drawing operation, the upper limit pressure of the working pressure the functional liquid tank the first pressurization to pressurize up to 工程と、を備えたことを特徴とする。 Characterized by comprising the steps, a.

また、本発明は、所定の作動圧力を維持するために、加圧ポンプにより機能液タンクを加圧して、機能液タンクから機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドに機能液の加圧供給を行う加圧供給動作と、描画領域にセットされた描画対象物に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させながら、機能液滴吐出ヘッドを駆動することにより機能液滴を吐出させて、描画を行う描画動作と、を実行する液滴吐出装置において、機能液タンク内の圧力が作動圧力の下限圧力以下か否かを検出する圧力検出手段と、機能液タンク内の圧力が下限圧力以下ときに、機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であるか否かを確認する描画動作確認手段と、描画動作中でないと確認されたときに、機能液タンクを作動圧力の上限圧力まで加圧する第1加圧制御手段 Further, in order to maintain the predetermined operating pressure, pressurize the functional liquid tank by a pressure pump, a pressurized supply of the functional liquid functional liquid to the functional liquid droplet discharge head for discharging the functional liquid droplet from the tank a pressurized feed operation for, the drawing object which is set in the drawing area, while relatively moving the functional liquid droplet ejection head, is ejected function liquid droplets by driving the functional liquid droplet ejecting heads Te, the droplet discharge apparatus for performing a drawing operation to draw, and pressure detecting means for pressure of the functional liquid in the tank to detect whether more than the lower limit pressure of the hydraulic pressure, the pressure of the functional liquid in the tank is lower when the pressure below the drawing operation confirmation means functional liquid droplet ejection head checks whether is in drawing operation, when it is confirmed that not in drawing operation, pressurized functional liquid tank to limit the pressure of the working pressure the first pressure control means for pressurizing 、を備えたことを特徴とする。 , Characterized by comprising a.

これらの構成によれば、機能液タンク内の圧力が作動圧力の下限圧力以下の場合に、機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であるか否かを確認し、描画動作中でないときに、機能液タンクを作動圧力の上限圧力まで加圧して、作動圧力を維持するようにしている。 According to these configurations, when the pressure of the functional liquid in the tank is less than the lower limit pressure of the hydraulic pressure, the functional liquid droplet ejection head checks whether is in drawing operation, when not in drawing operation, function It pressurizes the liquid tank to the upper limit pressure of the hydraulic pressure, so as to maintain the operating pressure. すなわち、機能液滴吐出ヘッドの非描画動作中に機能液の加圧供給が為されるので、機能液の加圧供給が描画結果に影響を与えることがなく、機能液滴吐出ヘッドにより、高精度な描画を行うことが可能である。 That is, since the function liquid dropwise pressure supply of the functional liquid in the non-drawing operation of the ejection head is made, without a pressurized supply of the functional liquid affect the drawing result, the functional liquid droplet ejecting heads, high it is possible to perform accurate drawing.

この場合、描画動作中の機能液滴吐出ヘッドは、描画移動領域内を相対的に移動しながら、描画移動領域内に位置する描画領域に機能液滴を吐出させており、描画動作中であると確認され、かつ機能液滴吐出ヘッドが描画領域に臨んでいることが確認されたときには、機能液滴吐出ヘッドが描画領域から外れるのを待って、描画動作を中断すると共に機能液タンクを前記上限圧力まで加圧し、描画動作中であると確認され、機能液滴吐出ヘッドが描画領域に臨んでいないことが確認されたときには、描画動作を中断して機能液タンクを上限圧力まで加圧する第2加圧制御工程と、第2加圧工程の後に、描画動作を再開させる描画再開工程と、をさらに備えることが好ましい。 In this case, the functional liquid droplet ejection heads in the drawing operation while relatively moving the drawing movement area, and by ejecting functional liquid droplet drawing region located drawing movement area, is in drawing operation identified as, and when the functional liquid droplet ejection head is confirmed that faces the drawing area, awaiting the functional liquid droplet ejection head from coming off the drawing area, the functional liquid tank while interrupting the drawing operation pressurized to the upper limit pressure, determined to be during a drawing operation, when the functional liquid droplet ejection head is not facing the drawing area is confirmed, the pressurize the functional liquid tank to interrupt the drawing operation to the upper limit pressure and 2 pressurization control step, after about a second pressing step, preferably further comprises a drawing resuming step of resuming the drawing operation, the.

また、この場合、描画動作中の前記機能液滴吐出ヘッドは、描画移動領域内を相対的に移動しながら、描画移動領域内に位置する描画領域に機能液滴を吐出させており、描画動作中であると確認され、かつ機能液滴吐出ヘッドが描画領域に臨んでいることが確認されたときには、機能液滴吐出ヘッドが描画領域から外れるのを待って、描画動作を中断すると共に機能液タンクを上限圧力まで加圧し、描画動作中であると確認され、機能液滴吐出ヘッドが描画領域に臨んでいないことが確認されたときには、描画動作を中断して機能液タンクを上限圧力まで加圧する第2加圧制御手段と、描画動作を中断して機能液タンクを上限圧力まで加圧した後に、描画動作を再開させる描画再開手段と、をさらに備えることが好ましい。 In this case, the functional liquid droplet ejection head during drawing operation while relatively moving the drawing movement area, and by ejecting functional liquid droplet drawing region located drawing movement area, the drawing operation confirmed to be in, and when the functional liquid droplet ejection head is confirmed that faces the drawing area, the functional liquid droplet ejection head waiting for out of the drawing area, the functional fluid with interrupting the drawing operation pressurizing the tank to the upper limit pressure, determined to be during a drawing operation, when the functional liquid droplet ejection head is not facing the drawing area is confirmed, pressurized functional liquid tank to interrupt the drawing operation to the upper limit pressure a second pressure control means for pressurizing, the functional liquid tank to suspend the drawing operation after pressurized to the upper limit pressure, preferably further comprises a drawing resuming means for resuming the drawing operation, the.

これらの構成によれば、機能液タンク内の圧力が作動圧力の下限圧力以下の場合で、かつ機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であると確認された場合には、機能液滴吐出ヘッドの位置を確認してから、加圧を行うようになっている。 According to these configurations, when the pressure of the functional liquid in the tank is less than the lower limit pressure of the hydraulic pressure, and when the functional liquid droplet ejection head is determined to be during a drawing operation, functional liquid droplet ejecting heads position after confirming is adapted to perform pressure. そして、機能液滴吐出ヘッドが描画領域に臨んでいないときに機能液の加圧供給を行うようにしているため、描画対象物に対する描画結果に、機能液の加圧供給が与える影響を極力抑えられるようになっている。 Then, since the function liquid droplet ejection head is configured to perform a pressurized supply of the functional liquid when not facing the drawing area, the drawing result of rendering target objects, minimizing the pressurized pressure supply Affects functional liquid It has become as to be.

この場合、第2加圧制御工程は、上限圧力に代えて、当該上限圧力より低い描画動作中圧力で加圧することが好ましい。 In this case, the second pressurization control process, in place of the upper limit pressure, it is preferable to pressurize a low drawing operation in a pressure than the upper limit pressure.

また、この場合、第2加圧制御手段は、上限圧力に代えて、当該上限圧力より低い描画動作中圧力で加圧することが好ましい。 In this case, the second pressure control means, in place of the upper limit pressure, it is preferable to pressurize a low drawing operation in a pressure than the upper limit pressure.

これらの構成によれば、描画動作が確認された場合の加圧上限圧力は、作動圧力の上限圧力よりも低い描画動作中圧力とされるため、描画動作の中断前および再開後における機能液のヘッド内圧力(機能液滴吐出ヘッドのヘッド内流路での圧力)の変動を小さくすることができ、描画動作中断中に行った機能液の加圧供給が、描画動作再開後の描画結果に悪影響を及ぼすことを有効に防止することができる。 According to these configurations, the pressurized upper limit pressure when the drawing operation is confirmed, because it is a low drawing operation in pressure than the upper limit pressure of the working pressure, of the functional liquid after interruption before and resuming drawing operation the variation in head pressure (the pressure in the head flow passage of the functional liquid droplet ejecting heads) can be made small, a pressurized supply of the functional liquid made during the drawing operation interrupted, the drawing operation restart after the drawing result it is possible to effectively prevent the adverse effects.

この場合、機能液滴吐出ヘッドに臨んで、当該機能液滴吐出ヘッドをメンテナンスするメンテナンス手段と、メンテナンス手段に対して、機能液滴吐出ヘッドを相対的に移動させるヘッド移動手段と、ヘッド移動手段を制御して、加圧供給動作中の機能液滴吐出ヘッドをメンテナンス手段に臨ませる移動制御手段と、をさらに備えていることが好ましい。 In this case, it faces the functional liquid droplet ejecting heads, and maintenance means for maintaining the functional liquid droplet ejection head, a head moving means for moving relative to the maintenance unit, the functional liquid droplet ejecting heads, head moving means and it controls the preferably further comprises a movement control means for exposing the functional liquid droplet ejection heads in the pressurized feed operation to the maintenance unit.

この構成によれば、加圧供給動作中の機能液滴吐出ヘッドをメンテナンス手段に臨ませることができ、加圧供給動作中の機能液滴吐出ヘッドに対してメンテナンスを行うことができ、加圧供給動作中の機能液滴吐出ヘッドを適切な状態に維持することができる。 According to this configuration, it is possible to face the functional liquid droplet ejection heads in the pressurized feed operation to the maintenance unit, it is possible to perform maintenance for the functional liquid droplet ejection heads in the pressurized feed operation, pressure it is possible to maintain the functional liquid droplet ejection heads in the feed operation to the appropriate state.

そして、この場合のメンテナンス手段は、機能液滴吐出ヘッドのノズル面を封止するキャッピング手段、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吸引する吸引手段、および機能液滴吐出ヘッドのノズル面をワイピングシートで払拭するワイピング手段の少なくとも1以上であることが好ましい。 Then, the maintenance unit in this case, the functional droplet capping means for sealing the nozzle surface of the ejection head, the functional droplet suction means for sucking from the discharge nozzles of the discharge head, and the functional liquid droplet ejection wiping sheet the nozzle surface of the head in is preferably a wiping means for wiping at least 1 or more.

本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。 Method of manufacturing an electro-optical device of the present invention, using a liquid droplet ejection apparatus described above, and forming a film forming part by the functional liquid droplet on the substrate.

また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。 Further, the electro-optical device of the present invention, using a liquid droplet ejection apparatus described above, characterized in that the formation of the film forming section by the functional liquid droplet on the substrate.

これらの構成によれば、高精度な描画を実現可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。 According to these configurations, since it is manufactured by using a droplet discharge apparatus that can realize highly precise drawing, it is possible to manufacture a highly reliable electro-optical device. なお、電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、PDP装置、電子放出装置等が考えられる。 As the electro-optical device (flat panel display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, PDP apparatus, it can be considered an electron emission device or the like. なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)やSED(Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置を含む概念である。 The electron-emitting device, a so-called FED (Field Emission Display) or SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display) is a concept including device. さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。 Further, as the electro-optical device, metal wiring formation, lens formation, resist formation and encompasses apparatus a light diffuser formation or the like.

本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。 Electronic device of the present invention is characterized by mounting the electro-optical device described above.

この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。 In this case, the electronic apparatus, a cellular phone equipped with so-called flat panel display, other personal computers, various electric products corresponds to this.

本発明の第1実施形態にかかるインクジェットプリンタの外観斜視図である。 It is an external perspective view of an ink jet printer according to a first embodiment of the present invention. ロール紙カバー、開閉カバー、カートリッジカバーを開放したときの、本発明の第1実施形態にかかるインクジェットプリンタの外観斜視図である。 Roll paper cover, cover, when opening the cartridge cover is an external perspective view of an ink jet printer according to a first embodiment of the present invention. インクジェットヘッド(機能液滴吐出ヘッド)の外観斜視図である。 It is an external perspective view of an ink jet head (function liquid droplet ejection head). インクジェットプリンタの模式説明図である。 It is a schematic explanatory view of an ink jet printer. インクカートリッジの説明図である。 It is an explanatory view of an ink cartridge. 圧力調整弁の模式説明図である。 It is a schematic explanatory view of a pressure regulating valve. インクジェットプリンタの制御ブロック図である。 It is a control block diagram of the inkjet printer. 加圧ポンプの駆動方法についての説明図である。 It is an illustration of a method for driving the pressure pump. 追い加圧タイミング制御処理の一連のフローを示したフローチャートである。 Chasing is a flowchart showing a series of flows of pressurized timing control process. 本発明の第2実施形態にかかる液滴吐出装置を模式的に示した模式平面図である。 The droplet discharge device according to a second embodiment of the present invention is a schematic plan view schematically showing. である。 It is. 液滴吐出装置の主制御系について説明したブロック図である。 It is a block diagram for explaining the main control system of the droplet discharge device. カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。 It is a flowchart for explaining the color filter manufacturing process. (a)〜(e)は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。 (A) ~ (e) are schematic cross-sectional view of a color filter shown in order of manufacturing steps. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 A schematic configuration of a liquid crystal device using the color filter according to the present invention is a fragmentary cross-sectional view illustrating. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第2の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 A schematic configuration of a liquid crystal device of the second example using a color filter according to the present invention is a fragmentary cross-sectional view illustrating. 本発明を適用したカラーフィルタを用いた第3の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。 A schematic configuration of a third example a liquid crystal device using a color filter according to the present invention is a fragmentary cross-sectional view illustrating. 有機EL装置である表示装置の要部断面図である。 It is a fragmentary cross-sectional view of a display device is an organic EL device. 有機EL装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。 It is a flowchart for explaining a manufacturing process of an organic EL device display. 無機物バンク層の形成を説明する工程図である。 Is a process diagram illustrating the formation of the inorganic bank layer. 有機物バンク層の形成を説明する工程図である。 Is a process diagram illustrating the formation of the organic bank layer. 正孔注入/輸送層を形成する過程を説明する工程図である。 It is a process diagram illustrating a process of forming the hole injection / transport layer. 正孔注入/輸送層が形成された状態を説明する工程図である。 Is a process diagram illustrating the state where the hole injection / transport layer is formed. 青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。 It is a process diagram illustrating a process of forming a blue luminescent layer. 青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 Is a process diagram illustrating the state where the blue light emitting layer is formed. 各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。 It is a process diagram illustrating a state in which the light-emitting layer is formed for each color. 陰極の形成を説明する工程図である。 Is a process diagram illustrating the formation of the cathode. プラズマ型表示装置(PDP装置)である表示装置の要部分解斜視図である。 Exploded perspective view of an essential part of the display device is a plasma display apparatus (PDP apparatus). 電子放出装置(FED装置)である表示装置の要部断面図である。 Is a fragmentary cross-sectional view of a display device is an electron emission device (FED device). 表示装置の電子放出部廻りの平面図(a)およびその形成方法を示す平面図(b)である。 Is a plan view of an electron emission portion around the display device (a) and a plan view showing the forming method (b).

以下、添付の図面を参照して、本発明の第1実施形態にかかり、液滴吐出装置の一種であるインクジェットプリンタについて説明する。 Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, relates to a first embodiment of the present invention will be described an inkjet printer which is a type of droplet discharge device. このインクジェットプリンタは、パソコン等のホストコンピュータに接続して用いる大型カラープリンタであり、ホストコンピュータから転送された印刷データに基づいて、インクジェット方式により印刷対象物となるロール紙に印刷を行うものである。 The inkjet printer is a large color printer using to connect to a host computer such as a personal computer, based on the print data transferred from the host computer, and performs printing on the roll paper to be printed object by an inkjet method .

図1および図2に示すように、インクジェットプリンタ1は、インクジェットヘッド41(後述する)を有するプリンタ本体2と、プリンタ本体2を支持する支持スタンド3と、を備えている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet printer 1 includes a printer main body 2 having an ink jet head 41 (described later), and a support stand 3 for supporting the printer body 2, the.

プリンタ本体2は、装置ケース11で外郭を覆われており、その上部後方には、ロール紙Rを着脱させるためのロール紙カバー12が開閉自在に設けられていると共に、ロール紙カバー12の前方からプリンタ本体2の正面にかけては、内部を大きく開放する開閉カバー13が着脱自在に設けられている。 Printer body 2 is covered with the outer in the apparatus case 11, the upper portion thereof backward, the roll paper cover 12 for attaching and detaching the roll paper R is openably provided, forwardly of the roll paper cover 12 toward the front of the printer body 2 from the cover 13 to open a large internal it is detachably provided. また、装置ケース11には、インクカートリッジ81を着脱するためのカートリッジカバー17も形成されている。 Further, the apparatus casing 11, the cartridge cover 17 for attaching and detaching the ink cartridge 81 is also formed. さらに、プリンタ本体2の正面には、印刷済みのロール紙Rを排紙させる排紙口14が、開閉カバー13の下側に位置して形成されている。 Further, on the front of the printer body 2, the sheet discharge port 14 to discharge the printed roll paper R, it is formed positioned on the lower side of the cover 13.
ロール紙カバー12の内側には、ロール紙Rを着脱自在に収容するロール紙収容部15が形成され、ロール紙Rを装填してこれを繰出す繰出しリール16が設けられている。 Inside the roll paper cover 12, it is formed the roll paper accommodating portion 15 for accommodating the roll paper R to detachably, supply reel 16 for paying out this by loading the roll paper R is provided.
一方、開閉カバー13の内側には、繰出されたロール紙Rを排紙口14まで送る送り経路(図示省略)が形成されており、この送り経路に沿って、ロール紙Rに印刷を行うための印刷手段21が設けられている。 On the other hand, inside the cover 13, the feed path to send the roll sheet R fed out to the discharge port 14 (not shown) are formed, along the feed path, for printing on the roll paper R printing means 21 are provided.

このインクジェットプリンタ1は、基本的な構成として、インクジェットヘッド41を有し、ロール紙Rに印刷を行うための印刷手段21と、ロール紙Rを送り経路に沿って送る送り手段22と、インクカートリッジ81を有し、インクジェットヘッド41にインクを供給するインク供給手段23と、インクジェットヘッド41のメンテナンスに供するメンテナンス手段24と、これら各手段を相互に関連させながら制御することにより、インクジェットプリンタ1全体を制御する制御手段25と、を備えている(図7参照)。 The inkjet printer 1 includes, as a basic configuration, includes an inkjet head 41, a printing unit 21 for printing on the roll paper R, the feeding means 22 for sending along the feed path to the roll paper R, the ink cartridge has 81, an ink supply means 23 for supplying ink to the inkjet head 41, a maintenance unit 24 to be subjected to maintenance of the inkjet head 41, by controlling while associating them each unit to each other, the entire inkjet printer 1 and a control unit 25 for controlling, (see Figure 7). そして、インク供給手段23によりインクジェットヘッド41にインクを供給しながら、印刷手段21および送り手段22を同期して駆動させることにより、ロール紙Rに画像を印刷するようになっている。 Then, while supplying ink to the inkjet head 41 by the ink supply means 23, by synchronously driving the printing means 21 and feeding means 22, so as to print an image on the roll paper R.

印刷手段21は、インクジェットヘッド41を搭載したヘッドユニット31と、ヘッドユニット31を移動自在に支持し、ヘッドユニット31を移動させるヘッド移動機構32と、を備えている。 Printing means 21, a head unit 31 provided with the ink jet head 41, and movably supporting the head unit 31, and a head moving mechanism 32 for moving the head unit 31, a.

ヘッドユニット31は、インク(滴)を吐出する複数のインクジェットヘッド41をキャリッジ42に搭載して構成されている。 The head unit 31 includes a plurality of inkjet heads 41 for ejecting ink (droplets) are formed by mounting on the carriage 42. 図3に示すように、インクジェットヘッド41は、インク供給手段23からインクの供給を受ける接続針52が設けられたインク導入部51と、インク導入部51の下方に連なり、供給されたインクを吐出させるためのヘッド本体53と、を備えている。 As shown in FIG. 3, the inkjet head 41, the ink inlet portion 51 of the connecting needle 52 is provided for receiving a supply of ink from the ink supply means 23, continuous to the lower side of the ink inlet portion 51, discharging ink supplied a head body 53 for causing comprises a. ヘッド本体53は、多数(360個)の吐出ノズル57が開口したノズル面56を有するノズルプレート54およびピエゾ圧電素子が組み込まれたケース55から構成されており、インクジェットヘッド41では、ケース55内のピエゾ圧電素子の収縮により吐出ノズル57からインク滴を吐出するようになっている。 Head body 53 is composed of a case 55 in which the nozzle plate 54 and the piezoelectric element is incorporated with the nozzle surface 56 of the discharge nozzle 57 has an opening of a number (360), the ink jet head 41, the casing 55 It is adapted to eject ink droplets from the ejection nozzle 57 due to contraction of the piezoelectric element.

なお、図3に示した本実施形態のインクジェットヘッド41は、いわゆる2連のものであり、インク導入部51には、個別にインクが供給される2つの接続針52が設けられていると共に、ノズルプレート54(ノズル面56)には、各接続針52からインクが個別に供給されるノズル列が2列形成されている。 Incidentally, the ink jet head 41 of this embodiment shown in FIG. 3 is a so-called twin, the ink inlet portion 51, together with two connection needles 52 ink individually supplied are provided, the nozzle plate 54 (nozzle surface 56), the ink has a nozzle string supplied individually formed two rows from each connecting needle 52. 各ノズル列は、多数(180個)の吐出ノズル57を等ピッチに配置させたものであり、相互に半ピッチ(約70μm)分位置ずれして形成されている。 Each nozzle row, which was arranged at equal pitches discharge nozzles 57 of the plurality (180) are formed shifted half a pitch (approximately 70 [mu] m) partial position to each other. したがって、インクジェットヘッド41では、各ノズル列に異なる種類のインクを供給して、2種類のインクを吐出させることも可能であるし、2列のノズル列を合わせ、半ピッチ間隔でインクを吐出させる(高解像度の描画を行わせる)ことも可能である。 Therefore, the ink jet head 41, and supplying different types of ink to each nozzle row, two kinds of inks to be also possible to eject, combined two nozzle rows to eject ink at half pitch intervals (to perform drawing of a high resolution), it is also possible.

キャリッジ42は、複数のインクジェットヘッド41を位置決めした状態で保持しており、複数のインクジェットヘッド41をキャリッジ42に位置決め固定すると、キャリッジ42には、各インクジェットヘッド41のノズル列から成る所定の描画ラインが形成される。 The carriage 42 is held in a state of positioning the plurality of inkjet heads 41, when positioned and fixed a plurality of inkjet heads 41 on the carriage 42, the carriage 42 a predetermined drawing line consisting of the nozzle array of the inkjet head 41 There is formed. 描画ラインとは、ロール紙Rの送り方向(Y軸方向)に連続し、かつ同一色のインクが供給されるノズル列(吐出ノズル57)の並びであり、本実施形態では、インク供給手段23で供給される4色(4個)のインクに対応して、キャリッジ42上に4本の描画ラインが形成されるようになっている。 And drawing line is a sequence of consecutive in the feeding direction of the roll paper R (Y axis direction), and a nozzle array ink of the same color is supplied (the discharge nozzle 57), in the present embodiment, the ink supply means 23 in corresponding to the ink of the supplied four colors (four), so that the four draw lines on the carriage 42 is formed.

ヘッド移動機構32は、ヘッドユニット31(キャリッジ42)をロール紙Rの送り方向(Y軸方向)に直交するX軸方向(主走査方向)に移動させるためのものであり、キャリッジモータ(図示省略)と、キャリッジモータの動力を伝達してヘッドユニット31をX軸方向に移動させる動力伝達機構(図示省略)と、ヘッドユニット31をX軸方向に対してスライド自在に支持すると共に、X軸方向に延在してその移動をガイドするガイド部材62と、を備えている。 Head moving mechanism 32 is for moving the head unit 31 (the carriage 42) in the X-axis direction orthogonal to the feeding direction of the roll paper R (Y axis direction) (the main scanning direction), a carriage motor (not shown a), a power transmission mechanism for transmits power of a carriage motor to move the head unit 31 in the X-axis direction (not shown), together with the head unit 31 slidably supporting the X-axis direction, X-axis direction includes a guide member 62 for guiding the movement, the extends.

キャリッジモータは、正逆回転可能なDCサーボモータで構成されている。 The carriage motor is a positive reverse rotatable DC servo motors. 動力伝達機構は、一対のプーリと、一対のプーリ間に架け渡され、送り経路に対してインクジェットヘッド41のノズル面56が平行となるようにキャリッジ42の基部を固定したタイミングベルトと、を有している(いずれも図示省略)。 The power transmission mechanism is used, the number and a pair of pulleys, bridged between a pair of pulleys, the timing belt with a fixed base of the carriage 42 so that the nozzle surface 56 of the ink jet head 41 is parallel to the feed path, the It is (all not shown). 一方のプーリにはキャリッジモータが接続されており、キャリッジモータが正逆回転すると、タイミングベルトを介してヘッドユニット31に動力が伝達され、ガイド部材62を案内にして、キャリッジ42がX軸方向に往復動する。 The one pulley is connected to the carriage motor, the carriage motor is forward or reverse rotation, the power is transmitted to the head unit 31 via a timing belt, and the guide member 62 to guide the carriage 42 in the X-axis direction It reciprocates.

なお、ヘッド移動機構32は、予め設定されたヘッド移動領域64内でヘッドユニット31を往復動させるように構成されている。 The head moving mechanism 32 is constituted with a head unit 31 by the head moving region 64. which is set in advance so as to reciprocate. 本実施形態では、ヘッド移動領域64の図示右側の端に当たる位置が、ヘッドユニット31のホーム位置に設定されており、この位置を基準位置として、ヘッドユニット31の移動位置が把握される。 In the present embodiment, position corresponding to the right side end of the head moving region 64 are set to the home position of the head unit 31, the position as a reference position, the movement position of the head unit 31 is grasped.

具体的には、インクジェットプリンタ1には、ヘッドユニット31のホーム位置を検出するホーム位置検出センサ65が設けられていると共に、キャリッジ42に搭載されたフォトセンサと、ガイド部材62に並設され、X軸方向に延在するリニアスケールと、から成るX軸リニアエンコーダー66が設けられており、ホーム位置検出センサでヘッドユニット31のホーム位置を検出してから、フォトセンサでリニアスケールに設けられた多数の検出線を順次検出していくことにより、ヘッド移動領域64内を移動するヘッドユニット31の移動位置を把握するようになっている。 Specifically, the inkjet printer 1, the home position detecting sensor 65 for detecting the home position of the head unit 31 is provided, and the photosensor mounted on the carriage 42, it is arranged in the guide member 62, a linear scale extending in the X-axis direction, X-axis linear encoder 66 is provided consisting of, from the detection of the home position of the head unit 31 at the home position detection sensor, provided in the linear scale by the photosensor by sequentially detect multiple detection line, so as to grasp the movement position of the head unit 31 for moving the head moving region 64.

送り手段22は、ロール紙収容部15に収容されたロール紙Rを繰り出すと共に、繰出したロール紙Rを送り経路に沿って送るためのものであり、ロール紙Rを繰出し送りするための駆動源となる送りモータ(図示省略)と、送り経路に臨んで配設されると共に、動力伝達機構(図示省略)を介して送りモータに接続され、ロール紙Rを繰出し送りする送りローラ(図示省略)と、を備えている。 Feeding means 22, as well as feeding the roll sheet R housed in the roll paper accommodating section 15 is for sending along the path sends a roll sheet R began Repetitive driving source for feeding feed the roll paper R become feed motor and (not shown), while being disposed facing the feed path, is connected to the feed motor through a power transmission mechanism (not shown), feed rollers (not shown) for feeding feed the roll paper R It has a, and. なお、ヘッド移動領域64内には、セットされたロール紙Rの幅に対応して印刷領域が設定されており、ロール紙Rは、送り手段22によりこの印刷領域を通過するように送られてゆく。 Note that the head moving area 64, a printing area corresponding to the width of the set paper roll R is set, the roll paper R is fed by feeding means 22 to pass through the printing area go.

このインクジェットプリンタ1では、ヘッド移動機構32を駆動してヘッドユニット31をX軸方向に移動させながら、複数のインクジェットヘッド41を選択的に駆動することにより、ロール紙Rにインク滴を吐出させる主走査と、送り手段22を駆動して行われるロール紙Rの送りである副走査と、を繰り返し行うことにより、ロール紙Rに所望の画像を描画させてゆく。 In the inkjet printer 1, while drives the head moving mechanism 32 moves the head unit 31 in the X-axis direction, by selectively driving a plurality of ink jet heads 41, the main ejecting ink droplets onto the roll paper R and scanning, a sub-scan is a feed of the roll paper R to be performed by driving the feeding means 22, by performing repeatedly, Yuku by drawing a desired image on the roll paper R.

図4に示すように、インク供給手段23は、イエロー(Y)、マゼンタ(M)、シアン(C)、およびブラック(B)のインクをそれぞれ貯留した4個のインクカートリッジ81と、4個のインクカートリッジ81を収容するカートリッジホルダ82と、各インクカートリッジ81にエアーを供給することによりインクカートリッジ81を加圧して、各インクカートリッジ81のインクを加圧送液させる加圧手段83と、(4個の)インクカートリッジ81と(複数の)インクジェットヘッド41とを配管接続する複数本(本実施形態では4本)の給液チューブ84と、を備えている。 As shown in FIG. 4, the ink supply means 23, yellow (Y), magenta (M), cyan (C), and black and four ink cartridges 81 ink were respectively storing (B), four a cartridge holder 82 for accommodating the ink cartridge 81, the ink cartridge 81 is pressurized, the ink pressurizing means 83 for pressurizing the pumping liquid of each ink cartridge 81 by supplying air to the ink cartridge 81, (4 ) of the ink cartridge 81 (the a plurality of) the ink-jet head 41 in a plurality of (in this embodiment that the pipe connection includes a liquid supply tube 84 of four), the.

図5に示すように、各インクカートリッジ81は、インクを貯留したインクパック91と、インクパック91を収容したカートリッジケース93と、を有している。 As shown in FIG. 5, the ink cartridge 81 includes an ink pack 91 storing the ink, and a cartridge case 93 which accommodates the ink pack 91, the. インクパック91は、2枚の長方形の(可撓性の)フィルムシートを重ね合わせて熱溶着した袋状のものに、インクを供給する樹脂製の供給口92を取り付けたものであり、変形可能に構成されている。 The ink pack 91 is, in one of the two rectangular (flexible) film sheet superimposed thermally welded bag-like, which was fitted with a feed opening 92 of the resin supplying ink, deformable It is configured. カートリッジケース93は、インクパック91を密閉状態で収容していると共に、加圧手段83のエアー配管113(後述する)に連通するエアー供給口(図示省略)が設けられている。 The cartridge case 93, together with the housing the ink pack 91 in a sealed state, an air supply port communicating with the air pipe 113 (described later) of the pressing means 83 (not shown) is provided. すなわち、エアー供給口がカートリッジケース93内にエアーを供給すると、インクパック91の周囲にエアーが供給され、インクパックを外側から加圧する。 That is, when the air supply port to supply air to the cartridge case 93 in, air is supplied around the ink pack 91, pressurizing the ink pack from the outside.

カートリッジホルダ82は、インクジェットヘッド41のノズル面よりも低い位置に固定的に設置されている。 Cartridge holder 82 is fixedly installed at a position lower than the nozzle surface of the inkjet head 41. カートリッジホルダ82は、所定の色のインクカートリッジ81を装着するための4個のカートリッジ装着部101を有している。 The cartridge holder 82 has four cartridge mounting portion 101 for mounting a predetermined color ink cartridge 81. 各カートリッジ装着部101には、接続アダプタ(図示省略)が設けられており、カートリッジ装着部101にインクカートリッジ81を装着すると、接続アダプタを介して、エアー配管113とカートリッジケース93とが気密状態に接続される。 Each cartridge mounting portion 101, the connection adapter (not shown) is disposed, when mounting the ink cartridge 81 to the cartridge mounting portion 101, via the connection adapter, an air pipe 113 and the cartridge case 93 is airtight It is connected.

加圧手段83は、各インクカートリッジ81(カートリッジケース93)にエアーを供給するエアー供給機構111を備えている。 Pressurizing means 83 is provided with an air supply mechanism 111 for supplying air to the ink cartridge 81 (cartridge case 93). エアー供給機構111は、エアーを各インクカートリッジ81に供給して、これを加圧する単一の加圧ポンプ112と、加圧ポンプ112および各インクカートリッジ81を接続するエアー配管113(エアー流路)と、エアー配管113に介設したレギュレータ114と、レギュレータ114の下流側に位置するエアー配管113に介設され、エアー流路内の圧力を検出することにより、インクパック91に作用する加圧力を検出する圧力センサ115と、を備えている。 Air supply mechanism 111 supplies air to the ink cartridge 81, air pipe 113 to be connected to a single pressure pump 112 to pressurize it, the pressure pump 112 and the ink cartridge 81 (air channel) If a regulator 114 which is interposed in the air pipe 113, is interposed an air pipe 113 located downstream of the regulator 114, by detecting the pressure of the air flow path, the pressure acting on the ink pack 91 It includes a pressure sensor 115 for detecting a.

加圧ポンプ112は、ダイヤフラム式のものが用いられており、ポンプ室の一部を構成するダイヤフラムに対して、動力伝達機構を介してポンプモータ(ステッピングモータ)の動力を伝達することにより、ポンプ室の容積を増減させて、エアーの吸い込み・供給を行っている(いずれも図示省略)。 Pressurizing pump 112 is is used as a diaphragm type, with respect to a diaphragm constituting a part of the pump chamber, by transmitting the power of the pump motor (stepping motor) via a power transmission mechanism, a pump increase or decrease the chamber volume, it is carried out suction and supply of air (all not shown). 加圧ポンプ112を駆動すると、エアー配管113を介してエアーが供給され、カートリッジケース93内が加圧される。 Driving the pressurizing pump 112, air is supplied through the air pipe 113, the cartridge case 93 in is pressurized. これにより、インクカートリッジ81に収容されたインクパック91が加圧され、インクパック91に貯留するインクが加圧供給される。 Thus, the ink pack 91 housed in the ink cartridge 81 is pressurized, ink stored in the ink pack 91 is supplied under pressure.

エアー配管113は、一端を加圧ポンプ112に接続されていると共に、他端は各カートリッジ装着部101に配設された4個の接続アダプタを直列に接続しており、単一の加圧ポンプ112から供給されるエアーを、接続アダプタを介して4個の各インクカートリッジ81(カートリッジケース93)に供給する。 Air piping 113, with which is connected at one end to the pressure pump 112, the other end is connected to four connection adapters arranged in the cartridge mounting unit 101 in series, a single pressure pump the air supplied from the 112, and supplies the four ink cartridges 81 (the cartridge case 93) via the connection adapter.

レギュレータ114は、加圧ポンプ112のエアー供給に起因して、エアー流路内の圧力(カートリッジケース93の加圧力)が予め設定した所定の上限圧力を超えないようにするための安全弁(逃がし弁)である。 Regulator 114, due to the air supply of the pressure pump 112, air passage of the pressure relief valve so that (pressure of the cartridge case 93) does not exceed a predetermined upper limit preset pressure (relief valve ) it is. なお、レギュレータ114には、ソレノイド114aが設けられており、インクジェットプリンタ1の非稼動時等には、エアー流路内を大気開放するように構成されている。 Incidentally, the regulator 114 is solenoid 114a is provided in the non-operation or the like of the inkjet printer 1, is configured to atmosphere opens the air flow path.

圧力センサ115は、フォトカプラ等で構成されたON/OFFセンサであり、エアー流路内の圧力が設定圧力に達しているか否かを検出する。 The pressure sensor 115 is ON / OFF sensor configured photocoupler or the like to detect whether the pressure of the air flow path has reached the set pressure. 詳細は後述するが、圧力センサ115は、制御手段25に接続されており、圧力センサ115の検出結果に基づいて、制御手段25が加圧ポンプ112を駆動することにより、インクカートリッジ81から供給されるインクのインク供給圧力が所定の作動圧力内に保たれる。 Although details will be described later, the pressure sensor 115 is connected to the control means 25, based on the detection result of the pressure sensor 115, the control unit 25 drives the pressurizing pump 112 is supplied from the ink cartridge 81 an ink supply pressure of the ink is maintained within a predetermined operating pressure that.

各給液チューブ84は、その一端がインクジェットヘッド41の接続針52に接続され、他端がインクカートリッジ81の供給口92に接続されている。 Each liquid supply tube 84 has one end connected to a connection needle 52 of the ink jet head 41, the other end is connected to the supply port 92 of the ink cartridge 81. 4本の給液チューブ84は、図外のケーブル担持体(ケーブルベア:登録商標)にまとめて収容されており、ヘッドユニット31(キャリッジ42)の移動に追従にして移動する。 The four liquid supply tube 84, an unillustrated cable carrier: housed together in (Cableveyor registered trademark), to move in the following the movement of the head unit 31 (the carriage 42).

なお、図4に示すように、インクジェットヘッド41を搭載したキャリッジ42には、インクカートリッジ81から供給されるインクの圧力を調整するための複数の圧力調整弁121が搭載されており、給液チューブ84には、圧力調整弁121が介設されている。 As shown in FIG. 4, the carriage 42 mounting the ink jet head 41, a plurality of pressure regulating valve 121 for regulating the pressure of ink supplied from the ink cartridge 81 is mounted, the liquid supply tube the 84, the pressure regulating valve 121 is interposed.

図6に示すように、圧力調整弁121は、バルブハウジング122内に、インクカートリッジ81に連なる1次室123と、インクジェットヘッド41に連なる2次室124と、1次室123および2次室124を連通する連通流路125とを形成したものであり、2次室124の1の面には外部に面してダイヤフラム126(樹脂フィルム)が設けられ、連通流路125にはダイヤフラム126により開閉動作する弁体127が設けられている。 As shown in FIG. 6, the pressure regulating valve 121 is in the valve housing 122, a primary chamber 123 communicating with the ink cartridge 81, a secondary chamber 124 communicating with the ink jet head 41, the primary chamber 123 and secondary chamber 124 the is obtained by forming a communication passage 125 which communicates, on the first face of the secondary chamber 124 diaphragm 126 (resin film) is provided facing the outside, opened and closed by the diaphragm 126 in the communication flow path 125 the valve body 127 is provided for operation.

インクカートリッジ81から1次室123に導入された機能液は、2次室124を介してインクジェットヘッド41に供給されるが、このとき、ダイヤフラム126に作用する大気圧が調整基準圧力として、連通流路125に設けられた弁体127を開閉させることにより、2次室124内の圧力調整が行われる。 Functional liquid introduced from the ink cartridge 81 into the primary chamber 123 is fed to the ink jet head 41 through the secondary chamber 124, as this time, the atmospheric pressure is adjusted reference pressure acting on the diaphragm 126, communicating fluid by opening and closing the valve body 127 provided on the road 125, the pressure adjustment of the secondary chamber 124 is performed. この場合、弁座となる2次室124側の連通流路の開口縁に離接する弁体本体127aと、ダイヤフラム126と、の面積比に応じて、インクパック91側(1次側)のインクの圧力変動を抑えることができるため、インクジェットヘッド41には、圧力変動の極めて少ない安定した圧力のインクを供給可能である。 In this case, the valve body 127a in contact away the opening edge of the communicating passage of the secondary chamber 124 side serving as a valve seat, according to the area ratio of the diaphragm 126, the ink in the ink pack 91 side (primary side) it is possible to suppress the pressure fluctuation, the inkjet head 41 can be supplied very little stable ink pressure in the pressure fluctuations. すなわち、インクカートリッジ81から供給されるインクの供給圧は、所定の作動圧力に保たれているが、この圧力調整弁121により、さらにその圧力変動量を小さくすることが可能である。 That is, the supply pressure of ink supplied from the ink cartridge 81 is being maintained at a predetermined operating pressure, the pressure regulating valve 121, it is possible to further reduce the pressure variation. また、インクパック91側で発生するインクの脈動等も、弁体127で縁切りされるため、これを吸収することが可能である(ダンパー機能)。 Further, the pulsation of the ink generated in the ink pack 91 side, because it is edge cutting by the valve body 127, it is possible to absorb this (damper function).

メンテナンス手段24は、インクジェットヘッド41を吸引する吸引手段131と、インクジェットヘッド41からの吐出を受けるためのフラッシング手段132と、を備えている。 Maintenance means 24 is provided with a suction means 131 for sucking the ink jet head 41, the flushing means 132 for receiving a discharge from the ink jet head 41, a.

吸引手段131は、インクジェットヘッド41のノズル面に密着可能に構成したキャップ141を介して、インクジェットヘッド41に吸引ポンプ等からの吸引力を作用させることにより、吐出ノズル57からインクを強制的に排出させるものであり、吐出ノズル57の目詰まりを解消/防止するために用いられる。 Suction means 131 through the cap 141 in close contact configured to be capable of the nozzle surface of the inkjet head 41, by applying a suction force from a suction pump or the like to the ink jet head 41, forcibly discharging ink from the discharge nozzles 57 It is intended to be used to eliminate / prevent clogging of the discharge nozzle 57. また、吸引手段131(のキャップ141)は、インクジェットヘッド41を保管するためにも用いられ、インクジェットプリンタ1の非稼動時には、キャップ141をインクジェットヘッド41のノズル面56に密着させて、吐出ノズル57の乾燥を防止する。 The suction means 131 (cap 141) is also used to store ink jet head 41, at the time of non-operation of the ink jet printer 1, it makes good contact with the cap 141 to the nozzle surface 56 of the ink jet head 41, discharge nozzles 57 to prevent drying. なお、吸引手段131は、ホーム位置に臨んで配設されており、ホーム位置に臨んだヘッドユニット31のインクジェットヘッド41に対してキャップ141を密着させることができるようになっている(図4参照)。 Incidentally, the suction means 131, facing the home position are arranged, and is capable of adhering the cap 141 relative to the inkjet head 41 of the head unit 31 that faces the home position (see FIG. 4 ).

フラッシング手段132は、インクジェットヘッド41からの吐出を受けるフラッシング受け部151を有している。 Flushing means 132 has a flushing receiving section 151 which receives the discharge from the inkjet head 41. フラッシング受け部151は、吸引手段131の設置領域を除いた上記のヘッド移動領域64に亘り、インクジェットヘッド41の移動軌跡を包含するように設けられた凹溝であり、ヘッドユニット31がいずれの位置に臨んでも、インクジェットヘッド41からの吐出を受けるように構成されている。 Flushing receiving section 151, over the above-mentioned head moving region 64 excluding the installation area of ​​the suction unit 131, a groove which is provided so as to cover the movement locus of the ink jet head 41, position the head unit 31 is either also faces the, and is configured to receive discharge from the ink jet head 41. これにより、インクジェットヘッド41から捨て吐出されたインク滴はもちろんのこと、ロール紙Rの端からはみ出したインク滴もフラッシング受け部151で受けられるようになっている(図4参照)。 Thus, ink droplets ejected discarded from the inkjet head 41 is, of course, so that the ink droplets off the edge of the roll paper R also received by the flushing receiving section 151 (see FIG. 4).

なお、ここにいう「捨て吐出」とは、インクジェットヘッド41の吐出ノズル57内で(気化等により)粘度が増したインクを排出すると共に、吐出ノズル57に状態の良い新たなインクを供給するために、インクジェットヘッド41の(全)吐出ノズル57からインクを吐出させるものであり、捨て吐出を行うことにより、インクジェットヘッド41を適切な状態に維持することができるようになっている。 As used herein, the term "discard discharge" (by the vaporization, etc.) in the discharge nozzles 57 of the inkjet head 41 with viscosity to discharge the ink of increased, to supply a good new ink of state to the discharge nozzle 57 in, which ink is ejected from (all) the discharge nozzle 57 of the inkjet head 41, by performing the discard discharge, thereby making it possible to maintain the inkjet head 41 to the proper state.

制御手段25は、インクジェットプリンタ1の各手段に接続されており、インクジェットプリンタ1全体を統括的に制御している。 Control means 25 is connected to each unit of the ink jet printer 1, and overall control of the inkjet printer 1. また、制御手段25には、ユーザとのインタフェースとして、ディスプレイ(図示省略)や各種インジケータ等が備えられている。 The control unit 25, as an interface with the user, a display (not shown) and various indicators, etc. are provided.

次に、図7を参照して、インクジェットプリンタ1の主制御系について説明する。 Next, with reference to FIG. 7, the main control system of the ink jet printer 1. 同図に示すように、インクジェットプリンタ1は、プリンタインタフェース161を有し、ホストコンピュータから送信された印刷データ(画像データや印刷制御データ)および各種指令を入力すると共に、インクジェットプリンタ1内部における各種データをホストコンピュータに出力するためのデータ入出力部162と、上記したX軸リニアエンコーダー66や圧力センサ115等を有し、各種検出を行う検出部163と、印刷手段21および送り手段22を有し、ロール紙Rに印刷を行うための印刷部164と、インク供給手段23を有し、インクを加圧供給するためのインク供給部165と、メンテナンス手段24を有し、インクジェットヘッド41を保守するためのメンテナンス部168と、インクジェットヘッド41を駆動する As shown in the figure, the ink-jet printer 1 has a printer interface 161, inputs the print data (image data and print control data) and various commands transmitted from the host computer, the inkjet printer 1 various inside data the data output unit 162 for outputting to the host computer, has such X-axis linear encoder 66 and the pressure sensor 115 as described above, a detection unit 163 for performing various detections, a printing unit 21 and the feed unit 22 , a printing unit 164 for printing on the roll paper R, an ink supply unit 23, the ink supply portion 165 for pressurized supply ink has a maintenance unit 24, maintains the inkjet head 41 and the maintenance unit 168 for, driving the ink jet head 41 ッドドライバ171や、キャリッジモータを駆動するキャリッジモータドライバ172、送りモータを駆動する送りモータドライバ173、加圧ポンプ112を駆動するためのポンプ駆動ドライバ174等、各部を駆動する各種ドライバを有する駆動部166と、これら各部に接続され、インクジェットプリンタ1全体の制御を行う制御部167と、を備えている。 Ddodoraiba 171 and carriage motor driver 172, a feed motor driver 173, etc. pump driver 174 for driving the pressure pump 112, a drive unit 166 having various drivers for driving each unit for driving the feed motor for driving the carriage motor When connected to these units, and a control unit 167 that performs overall control of the inkjet printer 1, a.

制御部167は、一時的に記憶可能な記憶領域を有する他、制御処理のための作業領域として使用されるRAM181と、各種記憶領域を有し、制御プログラムや制御データ(色変換テーブルや文字修飾テーブル等)を記憶するROM182と、各種データを演算処理するCPU183、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が組み込まれると共に、時間制御を行うためのタイマー185が組み込まれた周辺制御回路(P−CON)184、これらを互いに接続するバス186、が備えられている。 Control unit 167 temporarily addition to having a storable memory area, a RAM181 used as a work area for control processes, has various storage areas, control programs and control data (color conversion table and the character modification a ROM182 for storing a table or the like), CPU 183 arithmetically processes the various data, the logic circuit for handling interface signals with peripheral circuits incorporated, peripheral control circuit timer 185 is incorporated for performing time control ( P-CON) 184, connect them to each other to the bus 186, are provided.

なお、RAM181には、後述の追い加圧算出方法で用いられる各種データ(例えば、カートリッジケース93の加圧可能容積、単位インク滴数あたりのインク体積等)が記憶されていると共に、各吐出ノズル57から吐出されたインク滴数をカウントするインク滴カウンタ(図示省略)が設けられている。 Note that the RAM 181, various data used in the process out chase pressurized pressure calculation will be described later (e.g., pressurizable volume of the cartridge case 93, the ink volume per unit ink droplet number, etc.) with are stored, the discharge nozzles ink drop counter (not shown) is provided for counting the number of ink droplets ejected from the 57. また、ROM182には、加圧ポンプ112を駆動制御するための駆動制御プログラムが記憶されており、追い加圧時間の算出も、この駆動制御プログラムに従って行われる。 Further, the ROM 182, the drive control program for controlling driving the pressurizing pump 112 is stored, also calculated between follow pressurization is carried out in accordance with the drive control program.

制御部167では、P−CON184を介して各部から入力された各種データやRAM181内の各種データを、ROM182に記憶された制御プログラム等に従ってCPU183に演算処理させ、その処理結果をP−CON184を介して各部に出力することにより、各部を制御している。 In the control unit 167, various kinds of data in various data and RAM181 input from each unit via the P-CON184, then processing the CPU183 in accordance with the control program and the like stored in the ROM 182, the processing result via the P-CON184 by outputting to each part Te, and controls the respective units.

例えば、制御部167には、加圧手段83の圧力センサ115が接続されており、制御部167は、圧力センサ115の検出結果に基づいて、エアー供給機構111(加圧ポンプ112)を間欠的に駆動することにより、インクカートリッジ81の加圧力、すなわちインクカートリッジ81から供給するインクの供給圧力を、予め設定した作動圧力(Pmin〜Pmax)内に調整している。 For example, the control unit 167, the pressure sensor 115 of the pressurizing means 83 is connected, the control unit 167, based on the detection result of the pressure sensor 115, an intermittent air supply mechanism 111 (the pressure pump 112) a by driving, pressure of the ink cartridge 81, i.e., the supply pressure of the ink supplied from the ink cartridge 81 is adjusted in advance in the set operating pressure (Pmin~Pmax).

より具体的には、圧力センサ115は、作動圧力の下限圧力Pminを検出するように設定されており、初期加圧時も含めて、制御部167は、圧力センサ115が下限圧力Pminを検出した後(圧力検出工程)、加圧ポンプ112の駆動により、加圧力(インクの供給圧力)が作動圧力の下限圧力Pminから作動圧力の上限圧力Pmaxに到達するまでの時間を追い加圧時間T(sec)として算出するようになっている。 More specifically, the pressure sensor 115 is set to detect the lower limit pressure Pmin operating pressure, even the initial pressurization, including the control unit 167, the pressure sensor 115 detects a lower limit pressure Pmin after (the pressure detecting step), by driving the pressurizing pump 112, to follow the time until pressure (supply pressure of ink) reaches the upper limit pressure Pmax of the working pressure from the lower limit pressure Pmin of the hydraulic pressure pressing time T ( sec) which is to be calculated as. そして、算出した追い加圧時間、加圧ポンプ112を駆動させる(ポンプ駆動工程)ことにより、インクカートリッジ81の加圧力を作動圧力に調整している。 Then, among the calculated follow pressurization, by driving the pressurizing pump 112 (pump drive process), which adjusts the pressure of the ink cartridge 81 to the operating pressure.

なお、インクジェットヘッド41には、所定量(体積)の機能液滴の吐出が補償される機能液の圧力として、補償圧力範囲が予め設定されており、上記作動圧力は、この補償圧力範囲を満たすように設定されている。 Incidentally, the inkjet head 41, as the pressure of the functional liquid discharged functional liquid droplet is compensated in a predetermined amount (volume), the compensation pressure range is set in advance, the operating pressure meets this compensation pressure range It is set to.

ここで、追い加圧時間算出方法について説明する。 Here, chase pressing time calculation method will be described. 本実施形態では、加圧ポンプ112の単位時間当たりのエアー供給量A(ml/sec)と、下限圧力Pminを上限圧力Pmaxに到達させるのに必要な必要エアー量B(ml)と、の商として、追い加圧時間Tを算出するようになっており、追い加圧時間算出方法は、単位時間当たりのエアー供給量Aを測定するエアー供給量測定工程と、必要エアー量Bを算出する必要エアー量算出工程と、測定した単位時間当たりのエアー供給量Aおよび算出した必要エアー量Bに基づいて、追い加圧時間Tを算出する追い加圧時間算出工程と、を備えている。 In this embodiment, the air supply amount per unit time of the pressurizing pump 112 A (ml / sec), required air amount B (ml) needed to reach the lower limit pressure Pmin at the upper limit pressure Pmax, the quotient of as is adapted to calculate the chase squeezing time T, chasing pressing time calculation method, the air supply amount measuring step of measuring the air supply amount a per unit time, required to calculate the required amount of air B It includes an air amount calculation step, based on the air supply amount a and the calculated required air amount B per unit measured time, follow the chase pressing time calculating step calculates the squeezing time T, the.

エアー供給量測定工程は、加圧ポンプ112で大気開放状態のカートリッジケース93を上限圧力Pmaxまで加圧する初期加圧において、カートリッジケース93の加圧力が初期加圧を開始してから下限圧力Pminに到達するまでの到達時間t(sec)と、到達時間tの間に加圧ポンプ112が供給したエアー供給量a(ml)と、を除算して、単位時間当たりのエアー供給量Aを算出する。 Air supply amount measuring step, at an initial pressure for pressing the cartridge case 93 open to the atmosphere until the upper limit pressure Pmax in the pressure pump 112, the pressure of the cartridge case 93 has started an initial pressurization to a lower limit pressure Pmin and the arrival time until arriving t (sec), and air supply amount a of the pressurizing pump 112 is supplied between the arrival time t (ml), by dividing the calculated air supply amount a per unit time .

到達時間tは、制御部167(P−CON184)に組み込まれたタイマー185を用いて、初期加圧のために加圧ポンプ112の駆動を開始してから、圧力センサ115が下限圧力Pminを検出するまでの時間を時間tとして計測する。 Arrival time t, using a timer 185 incorporated in the control unit 167 (P-CON184), for initial pressurization from the start of the driving of the pressurizing pump 112, the pressure sensor 115 detects a lower limit pressure Pmin to measure the time until as time t.

エアー供給量aは、ボイル・シャルルの法則に従い、初期加圧開始時におけるカートリッジケース93の加圧容積と、到達時間t内における加圧力の圧力変化量と、に基づいて算出する。 Air supply amount a, in accordance with the law of Boyle-Charles, the pressurized volume of the cartridge case 93 at the initial stage pressurization, the pressure variation of the pressure in the arrival time t, is calculated on the basis of. 加圧容積は、カートリッジケース93の加圧可能容積(ml)(すなわちカートリッジケース93の容積からインクエンド時のインクパック91の容積を減算したもの)から初期加圧開始時にインクパック91に残留するインク体積(ml)を減算することにより算出する。 Pressurized volume is remaining in the pressurizable volume (ml) ink pack 91 from (i.e. minus the volume of the ink pack 91 at the time of ink end of the volume of the cartridge case 93) at the start of the initial pressurization of the cartridge case 93 calculated by subtracting the ink volume (ml). この場合、インクパック91に残留するインク体積は、予め設定(記憶)されているインクフル時のインク体積、単位インク滴数あたりのインク体積、およびインクカウンタのカウンタ値に基づいた演算処理により算出される。 In this case, the ink volume remaining in the ink pack 91 is calculated by the previously set (stored) on the ink volume during Inkufuru is, the ink volume per unit ink droplet number, and arithmetic processing based on the counter value of the ink counter that.

なお、本実施形態において、エアー供給量測定工程は、インクジェットプリンタ1の電源をОNする毎に行われる。 In the present embodiment, the air supply amount measuring step is performed on the power of the inkjet printer 1 each time the ON.

必要エアー量算出工程は、エアー供給量aの算出方法と同様であり、下限圧力Pminが検出されたときのカートリッジケース93の加圧容積Vを算出すると共に、算出した加圧容積Vにおいて、下限圧力が上限圧力Pmaxに到達するのに必要な必要エアー量Bを、ボイル・シャルルの法則に基づいて算出する。 Required air amount calculation step is the same as the method of calculating the air supply amount a, and calculates the pressurized volume V of the cartridge case 93 when the lower limit pressure Pmin is detected, the calculated pressurized volume V, lower limit the necessary amount of air B necessary for the pressure to reach the upper limit pressure Pmax, is calculated on the basis of the law of Boyle-Charles.

追い加圧時間算出工程は、算出した単位時間当たりのエアー供給量Aと算出した必要エアー量Bとを除算して、追い加圧時間Tを算出する。 Follow pressurizing time calculating step, by dividing the calculated required air quantity and the calculated air supply amount A per unit time B, and calculates the inter-chase pressurization T. なお、エアー供給量測定工程で算出された単位時間当たりのエアー供給量Aは、RAM181に記憶されるようになっており、初期加圧後は、RAM181に記憶されたエアー供給量Aを用いて追い加圧時間Tを算出するようになっている。 Incidentally, the air supply amount A per unit calculated time air supply amount measuring step is adapted to be stored in the RAM 181, the initial after pressing, using an air supply amount A which is stored in the RAM 181 chase and calculates the pressurizing time T. この場合、RAM181に記憶されたエアー供給量Aは、エアー供給量測定工程が行われる度に更新される。 In this case, the air supply amount A which is stored in the RAM 181, is updated every time the air supply amount measuring step.

ところで、インクジェットヘッド41から吐出されるインク滴は極めて微細であり、インクジェットヘッド41は供給されるインクの圧力変動の影響を受けやすい。 However, ink droplets ejected from the inkjet head 41 is very fine, the inkjet head 41 is sensitive to pressure fluctuations of ink supplied. そして、本実施形態のインクジェットプリンタ1では、インクジェットヘッド41に、一定の圧力範囲(Pmin〜Pmax)を有する作動圧で加圧供給のインクがされるようになっており、印刷動作中(インク滴の吐出中)のインクジェットヘッド41にインクが加圧供給されると、加圧ポンプ112のON−OFF時等にヘッド内流路に圧力変動が生じ、インク滴の吐出が不安定になる惧れが生じる。 Then, the inkjet printer 1 of this embodiment, the inkjet head 41, is adapted to be pressurized pressure supply of the ink at the operating pressure with constant pressure range (Pmin~Pmax), during the printing operation (ink droplets When ink jet head 41 is supplied under pressure of in discharge), the pressure fluctuation in head flow path oN-OFF or the like of the pressurizing pump 112 is generated, a fear that ejection of ink droplets becomes unstable It occurs.

そこで、本実施形態では、制御部167により、上記加圧手段83(加圧ポンプ112)の駆動制御を行い、ロール紙Rに対してインクジェットヘッド41が印刷動作中である場合には、インクの加圧供給、すなわち追い加圧を行わないようにしている。 Therefore, in this embodiment, the control unit 167 performs the drive control of the pressurizing means 83 (pressure pump 112), when the ink jet head 41 relative to the roll paper R is in printing operation, the ink is not carried out the pressurized feed, i.e. follow pressure.

具体的には、作動圧力が降下して圧力センサ115により作動圧力の下限圧力Pminが検出されると、追い加圧タイミング制御処理により、ロール紙Rに印刷動作中のインクジェットヘッド41にインクが加圧供給されないよう、どのタイミングで追い加圧を開始させるかを設定し、この設定に従って、追い加圧を行うようにしている。 Specifically, the lower limit pressure Pmin of the working pressure detected by the pressure sensor 115 operating pressure is lowered, by chasing pressure timing control process, ink is pressurized to the inkjet head 41 in the printing operation on the roll paper R so that it is not pressure supply, to set whether to initiate follow pressure at which timing, in accordance with this setting, and to perform the follow pressurization.

ここで、図9を参照して、追い加圧タイミング制御処理について説明する。 Referring now to FIG. 9 will be described to follow pressurizing timing control process. 下限圧力Pminが検出され、追い加圧タイミング制御処理が開始されると、先ず、インクジェットヘッド41が印刷動作中であるか否かを確認するために、印刷処理のための印刷制御信号(例えば、ホストコンピュータから受信した印刷データを印刷するためのインク吐出信号)が送信されているか否かを確認する(S11)。 Lower limit pressure Pmin is detected and follow pressurizing timing control process is started, first, in order to ink jet head 41 to check whether the printing operation, the print control signals for the printing process (e.g., ink ejection signal for printing the print data received from the host computer) to confirm whether or not it is transmitted (S11). ここで、印刷制御信号が送信されていなければ(S11:No)、印刷処理中でないと判断(S12)し、加圧ポンプ112を駆動させ追い加圧を開始させる(S17)。 In this case, no print control signal has not been transmitted (S11: No), it is determined (S12) and not in the printing process, to start chasing pressure drives the pressurizing pump 112 (S17). 印刷処理中でないと判断される場合の一例としては、印刷待機状態や、吸引手段131によるインクジェットヘッド41の吸引処理中等が挙げられる。 An example of when it is determined that not printing process, and print standby state, and a suction process moderate the inkjet head 41 by the suction means 131.

一方、印刷制御信号が送信され(S11:Yes)、印刷処理中であると判断(S13)された場合、X軸リニアエンコーダー66に基づいて、ロール紙Rが位置する印刷領域に、ヘッド移動領域64を往復移動するヘッドユニット31(インクジェットヘッド41)が臨んでいるか否かを確認する(S14)。 On the other hand, the print control signal is transmitted (S11: Yes), if it is determined (S13) to be in the printing process, based on the X-axis linear encoders 66, a printing area in which the roll paper R is located, the head moving region 64 head unit 31 to reciprocate checks whether (inkjet head 41) confronts (S14). このように、ヘッドユニット31の位置を確認することにより、フラッシング手段132に捨て吐出を行っているのか、ロール紙Rに印刷のための吐出を行っているのかを判別することが可能である。 Thus, by confirming the position of the head unit 31, whether they perform ejection abandoned flushing means 132, it is possible to determine whether they perform ejection for printing on the roll paper R.

そして、インクジェットヘッド41が印刷領域に臨んでいない場合には(S14:No)、ロール紙Rに対して、インクジェットヘッド41が印刷動作中ではないと判断し、印刷処理を一時的に中断させる(S16)と共に、追い加圧を開始させる(S17)。 In a case where the inkjet head 41 does not face the printing area (S14: No), relative to the roll paper R, and determines that the ink jet head 41 is not in printing operation, temporarily interrupts the printing process ( with S16), and starts the follow pressurization (S17). また、インクジェットヘッド41が印刷領域に臨んでいる場合には(S14:Yes)、ロール紙Rに対して、インクジェットヘッド41が印刷動作中であると判断し、インクジェットヘッド41が印刷領域を外れるのを待ってから(S15)、印刷処理を一時的に中断させる(S16)と共に、追い加圧を開始させる(S17)。 Further, if the inkjet head 41 faces the printing area (S14: Yes), relative to the roll paper R, and determines that the ink jet head 41 is in printing operation, the ink jet head 41 is out of the print area the wait (S15), temporarily interrupts the printing process with (S16), and starts the follow pressurization (S17). そして、いずれの場合(S18:Yes)も、追い加圧が終了すると、中断していた印刷処理を再開させるようにし(S19)、追い加圧タイミング制御処理を終了させる。 Then, in either case (S18: Yes) even when the follow pressurization is completed, so as to resume the printing process that has been suspended (S19), to terminate the follow pressurizing timing control process.

なお、印刷処理が確認された状態で追い加圧を行う場合、作動圧力の上限圧力Pmaxに代えて、上限圧力Pmaxよりも低い圧力に設定された印刷時設定圧力まで加圧するようにしても良い。 In the case of performing follow pressurized in a state in which the printing process is confirmed, in place of the upper limit pressure Pmax of the working pressure, it may be pressurized to print setting pressure set to a pressure lower than the upper limit pressure Pmax . これにより、追い加圧前のインクジェットヘッド41のヘッド内流路と、追い加圧後のインクジェットヘッド41のヘッド内流路と、の圧力差を小さくすることができ、描画処理再開時における追い加圧の影響を抑えることができる。 Thus, the flow passage of the ink jet head 41 before pressurization chasing head, follow the head flow path of the ink jet head 41 after pressurization, it is possible to reduce the pressure difference, pressure follow during drawing process restarts it is possible to suppress the influence of pressure.

また、印刷処理が確認された状態で追い加圧を行う場合、追い加圧中におけるインクジェットヘッド41の乾燥を防止するため、メンテナンス手段24により、追い加圧中のインクジェットヘッド41にメンテナンスを行うことが好ましい。 Also, when performing follow pressurized in a state in which the printing process is confirmed, to prevent drying of the ink jet head 41 in the follow pressurization, the maintenance unit 24, to perform maintenance on the ink-jet head 41 during pressurization chase It is preferred. 例えば、印刷処理が中断された後、キャリッジモータ61を駆動してインクジェットヘッド41をホーム位置まで移動させ、吸引手段131のキャップ141によりノズル面をキャッピングする。 For example, after the printing process is interrupted, it drives the carriage motor 61 to move the inkjet head 41 to the home position, capping the nozzle surface with a cap 141 of the suction unit 131.

以上のように、本実施形態のインクジェットプリンタ1では、ロール紙Rに対してインクジェットヘッド41が印刷動作中であるときに、インクの加圧供給が行われることがないので、印刷結果にインクの加圧供給により生じる圧力変動の悪影響を及ぼすことがなく、高精度の印刷を行うことが可能である。 As described above, the inkjet printer 1 of this embodiment, when the ink jet head 41 relative to the roll paper R is in the printing operation, because a pressurized supply of ink is that there is no carried out, the print result in ink not adversely affect the pressure variation caused by the pressurized feed, it is possible to perform printing with high accuracy.

なお、追い加圧タイミング制御処理は、ROM182に記憶されている追い加圧タイミング制御処理を実行させるための制御プログラムに従って行われており、請求項にいう「圧力検出手段」、「描画動作確認手段」、「第1加圧制御手段」、「第2加圧制御手段」、「描画再開手段」は、制御部167の各手段が、制御プログラムに従って協働することにより機能している。 Incidentally, follow pressurizing timing control process is performed according to a control program for executing a follow pressurizing timing control process is stored in the ROM 182, in the claims "pressure detecting means", "drawing operation confirmation means "," first pressurization control unit "," second pressurization control unit "," drawing resuming means "each means of the control unit 167, and functions by cooperating in accordance with the control program.

次に、本発明の第2実施形態にかかる液滴吐出装置について説明する。 It will now be described droplet discharge device according to a second embodiment of the present invention. この液滴吐出装置は、いわゆるフラットディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、機能材料を溶剤に溶解させた機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入し、液滴吐出法(インクジェット法を応用した)により、R(赤)・G(緑)・B(青)の3色から成る液晶表示装置のカラーフィルタの着色層や、有機EL装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。 The droplet discharge device is intended to be incorporated into a production line of a so-called flat display, the functional material introduced the functional liquid dissolved in a solvent in the functional liquid droplet ejecting heads, by applying the droplet discharge method (ink jet method by) forms an R (red) · G (green) · B (colored layer and a color filter of a liquid crystal display device of three colors of blue), such as a light emitting element to be each pixel of the organic EL device .

図10に示すように、液滴吐出装置201は、機台202と、機台202上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド252を有する描画装置203と、機台202上で描画装置203に添設させたヘッド保守装置204と、機能液滴吐出ヘッド252に機能液を供給する機能液供給装置205と、各装置を制御する図外の制御装置206と、を備えている。 As shown in FIG. 10, the droplet discharge apparatus 201 includes a machine base 202, is widely placed all over the machine base 202, a drawing device 203 having the functional liquid droplet ejecting heads 252, drawn on a machine base 202 a head maintenance device 204 is additionally provided to the apparatus 203, and a functional liquid droplet ejecting heads 252 functional liquid supply device 205 supplies the functional liquid to, and an unillustrated control device 206 for controlling each device. そして、液滴吐出装置201では、制御装置206による制御に基づいて、描画装置203が、図外のワーク移載ロボットから導入されたワークに対して、描画処理を行うと共に、ヘッド保守装置204が機能液滴吐出ヘッド252に対して適宜保守処理(メンテナンス)を行うようになっている。 Then, in the droplet ejection apparatus 201, based on control by the control unit 206, the rendering apparatus 203, relative to the introduced workpiece from an unillustrated workpiece transfer robot, performs rendering processing, the head maintenance unit 204 and it performs the appropriate maintenance process (maintenance) to the functional liquid droplet ejecting heads 252.

描画装置203は、主走査方向(X軸方向)に延在するX軸テーブル211と、X軸テーブル211に直交するY軸テーブル212と、Y軸テーブル212に移動自在に取り付けられたメインキャリッジ213と、メインキャリッジ213に支持され、(複数の)機能液滴吐出ヘッド252を搭載したヘッドユニット214と、を備えている。 Drawing apparatus 203 includes an X-axis table 211 which extends in the main scanning direction (X axis direction), a Y-axis table 212 orthogonal to the X-axis table 211, a main carriage 213 movably mounted on the Y-axis table 212 When, is supported by the main carriage 213, and a, a head unit 214 equipped with function liquid droplet ejection head 252 (s).

X軸テーブル211は、X軸方向の駆動系を構成するX軸モータ(図示省略)駆動のX軸スライダ221に、ワークWをセットするセットテーブル222を移動自在に搭載して構成されている。 X-axis table 211, the X-axis motor (not shown) drive the X-axis slider 221 constituting the X-axis direction of the drive system is constituted by mounting movably set table 222 for setting the workpiece W. セットテーブル222は、ワークWを吸着セットする吸着テーブル223と、吸着テーブル223にセットしたワークWの位置をθ軸方向に補正するθテーブル224と、を有している。 Set table 222 includes a suction table 223 for attracting set the workpiece W, and θ table 224 for correcting the position of the workpiece W which is set to the suction table 223 in the θ-axis direction. なお、機台202には、X軸方向を移動するセットテーブル222の移動位置を把握するためのX軸リニアセンサ225が設けられている。 Note that the machine base 202, X-axis linear sensor 225 for grasping the moving position of the set table 222 which moves the X-axis direction is provided.

Y軸テーブル212は、X軸テーブル211と略同様に構成されており、Y軸方向の駆動系を構成するY軸モータ(図示省略)駆動のY軸スライダ231を有し、メインキャリッジ213をY軸方向に移動自在に搭載している。 Y-axis table 212 is substantially the same structure as the X-axis table 211 has a Y-axis motor (not shown) driven Y-axis slider 231 constituting the Y-axis direction of the driving system, the main carriage 213 Y It is freely mounted axially. また、Y軸テーブル212に並設するように、Y軸方向を移動するヘッドユニット214の移動位置を把握するためのY軸リニアセンサ232が設けられている。 Further, as arranged in the Y-axis table 212, Y-axis linear sensor 232 for grasping the movement position of the head unit 214 that moves the Y-axis direction is provided. なお、Y軸テーブル212は、機台202上に立設した左右の支柱235を介して、機台202上に配設されたX軸テーブル211およびヘッド保守装置204を跨ぐように配設されており、X軸テーブル211およびY軸テーブル212が交わるエリアがワークWの描画を行う描画エリア、Y軸テーブル212およびヘッド保守装置204が交わるエリアが機能液滴吐出ヘッド252に対する保守動作を行う保守エリアとなっている。 Incidentally, Y-axis table 212, via the left and right strut 235 erected on the machine base 202, is positioned across the X-axis table 211 and the head maintenance device 204 disposed on the machine base 202 cage, maintenance area drawing area to area X-axis table 211 and the Y-axis table 212 intersect for drawing the workpiece W, the area of ​​the Y-axis table 212 and the head maintenance device 204 intersects performs maintenance operations on the functional liquid droplet ejecting heads 252 It has become.

メインキャリッジ213は、ヘッドユニット214を支持するキャリッジ本体241と、キャリッジ本体241を介して、ヘッドユニット214のθ方向に対する位置補正を行うためのθ回転機構242と、θ回転機構242を介して、キャリッジ本体241(ヘッドユニット214)をY軸テーブル212に支持させる略I字状の吊設部材(図示省略)と、で構成されている。 Main carriage 213 includes a carriage body 241 which supports the head unit 214, via the carriage body 241, the θ rotation mechanism 242 for performing positional correction for the θ direction of the head unit 214, via the θ rotation mechanism 242, substantially I-shaped hanger member for supporting the carriage body 241 (head unit 214) to the Y-axis table 212 and (not shown), in being configured.

ヘッドユニット214は、ヘッドプレート251にヘッド保持部材(図示省略)を介して機能液滴吐出ヘッド252を搭載させて構成されている。 The head unit 214 is constituted by mounting a functional liquid droplet ejection head 252 through the head holding member (not shown) in the head plate 251. 機能液滴吐出ヘッド252は、上記したインクジェットヘッド41と同様の方式で構成されているため、ここでの説明は省述する。 Functional liquid droplet ejection head 252, because it is composed in the same manner as the inkjet head 41 described above, described herein are saving predicates.

描画処理時における描画装置203の一連の動作について説明すると、先ず、θ回転機構242を介してヘッドユニット214の位置補正が行われると共に、θテーブル224を介してセットテーブル222にセットされたワークWの位置補正が行われる。 Referring to a series of operations of the drawing device 203 at the time of drawing processing, first, the position correction of the head unit 214 is performed via the θ rotation mechanism 242, is set on the set table 222 through the θ table 224 the workpiece W position correction of is carried out. 次に、X軸テーブル211が駆動して、ワークWを主走査(X軸)方向に往復動させる。 Next, by driving the X-axis table 211, the workpiece W main scanning (X-axis) is reciprocated in the direction. ワークWの往動と同期して、複数の機能液滴吐出ヘッド252が駆動し、ワークWに対する機能液滴の選択的な吐出動作が行われる。 In synchronism with the forward movement of the workpiece W, and driving a plurality of functional liquid droplet ejecting heads 252, selective discharge operation of the functional liquid droplet with respect to the workpiece W is performed. ワークWの往動が終了すると、Y軸テーブル212が駆動して、ヘッドユニット214を副走査(Y軸)方向に移動させる。 When the forward movement of the workpiece W is completed, Y-axis table 212 is driven to move the head unit 214 sub-scanning (Y-axis) direction. そして、ワークWの主走査方向へ復動と機能液滴吐出ヘッド252の駆動が再び行われる。 Then, the drive of the backward and the functional liquid droplet ejection head 252 in the main scanning direction of the workpiece W is performed again. このように、描画処理では、ワークWのX軸方向への移動とこれに同期した機能液滴吐出ヘッド252の吐出駆動(主走査)と、ヘッドユニット214のY軸方向への移動(副走査)と、を交互に繰り返すことにより、ワークWに対して所定の描画パターンを描画してゆく。 Thus, in the drawing process, the movement of the ejection driving of the moving and functional liquid droplet ejecting heads 252 in synchronization with this in the X-axis direction of the workpiece W (main scanning), the Y-axis direction of the head unit 214 (sub-scanning ) and, by alternately repeating, it slides into draw predetermined drawing pattern on a workpiece W.

ヘッド保守装置204は、機台202上に載置された移動テーブル261と、フラッシングユニット262と、吸引ユニット263と、ワイピングユニット264と、を備えている。 Head maintenance device 204 includes a moving table 261 that is placed on the machine base 202, a flushing unit 262, the suction unit 263, and a wiping unit 264, a. 移動テーブル261は、X軸方向に移動可能に構成されている。 Moving table 261 is movable in the X-axis direction. 吸引ユニット263およびワイピングユニット264は、X軸方向に並んで移動テーブル261上に設置されており、機能液滴吐出ヘッド252の保守時には、移動テーブル261が駆動され、吸引ユニット263およびワイピングユニット264が適宜保守エリアに臨む構成となっている。 Suction unit 263 and the wiping unit 264 is installed on the moving table 261 arranged in the X-axis direction, at the time of maintenance of the functional liquid droplet ejecting heads 252, the moving table 261 is driven, the suction unit 263 and the wiping unit 264 and it has a configuration which faces the appropriate maintenance area.

フラッシングユニット262は、(1枚の)ワークWに対する一連の描画処理中において、ヘッドユニット214の全機能液滴吐出ヘッド252から捨て吐出(フラッシング)される機能液と、描画処理中にワークWからはみ出した機能液を受けるためのものであり、吸着テーブル223のY軸方向に平行な一対の辺(周縁)に沿うように設けられた一対の描画フラッシングボックス271を有している。 Flushing unit 262, during the series of drawing processing for the (one) workpiece W, a functional liquid is discharged (flushing) discard from all the functional liquid droplet ejection heads 252 of the head unit 214, the workpiece W during the drawing process It is for receiving a protruding functional liquid, has a pair of drawing flushing boxes 271 provided along the sides (periphery) of the pair parallel to the Y-axis direction of the suction table 223. したがって、吸着テーブル223を介してワークWをX軸方向に往復動させると、(1回の主走査により、ヘッドユニット214がワークWに臨む直前およびヘッドユニット214がワークWから離間した直後のいずれの場合においても)ヘッドユニット214の全機能液滴吐出ヘッド252を順次描画フラッシングボックス271に臨ませることができ、ワークWに対する描画動作の直前・直後に行われる捨て吐出の機能液を適切に受けることができる。 Thus, when reciprocating the workpiece W in the X-axis direction through the suction table 223, (by one main scan, one head unit 214 is immediately before and the head unit 214 face the workpiece W is separated from the workpiece W sequentially face to be able to draw the flushing box 271, properly receive the function liquid ejection discarded performed immediately before and immediately after the drawing operation for the workpiece W to all the functional liquid droplet ejection head 252 also) the head unit 214 in the case of be able to.

吸引ユニット263は、上述の吸引手段131に相当するものであり、機能液滴吐出ヘッド252のノズル面に密着させるキャップ281と、キャップ281を介して機能液滴吐出ヘッド252を吸引可能な単一の吸引ポンプ等を備えている。 Suction unit 263 is equivalent to the suction means 131 described above, the cap 281 to come into close contact with the nozzle surface of the functional liquid droplet ejecting heads 252, a single can suck the functional liquid droplet ejecting heads 252 through the cap 281 and a suction pump or the like.

ワイピングユニット264は、洗浄液を噴霧したワイピングシート291で機能液滴吐出ヘッド252のノズル面に付着した汚れを払拭するためのものであり、ロール状に巻回したワイピングシート291を繰り出しながら巻き取ってゆく巻取りユニット292と、繰り出したワイピングシート291に洗浄液を散布する洗浄液供給ユニット293と、洗浄液が散布されたワイピングシート291でノズル面を拭取る拭取りユニット294と、を備えている。 Wiping unit 264 is intended for wiping dirt adhering to the nozzle surface of the functional liquid droplet ejecting heads 252 in wiping sheet 291 was sprayed cleaning liquid, wound while feeding the wiping sheet 291 wound into a roll a take-up unit 292 Yuku includes a cleaning liquid supply unit 293 for spraying a cleaning liquid to the wiping sheet 291 extends and a wiping unit 294 Ru wiping the nozzle surface with a wiping sheet 291 washing solution is sprayed, the.

機能液供給装置205は、R・G・B3色の機能液に対応する3個の機能液タンク301と、3個の機能液タンク301を収容するタンクホルダ302と、機能液タンク301の機能液を機能液滴吐出ヘッド252に加圧送液する加圧手段303と、3個の機能液タンク301と機能液滴吐出ヘッド252とを配管接続する複数本(本実施形態では3本)の給液チューブ304と、インクジェットプリンタ1のものと同様に構成され、各給液チューブ304に介設された圧力調整弁305と、を備えている。 Functional liquid supply device 205 includes a tank holder 302 for accommodating the three functional liquid tank 301 corresponding to the functional liquid R · G · B3 colors, three functional liquid tank 301, the functional liquid functional liquid tank 301 a functional liquid droplet ejection pressurizing means 303 for pressurizing pumping fluid to the head 252, the liquid supply three functional liquid tank 301 and the functional liquid droplet ejection head 252 and a plurality of connecting pipes (three in this embodiment) the tube 304, are configured similarly to those of the inkjet printer 1 is provided with a pressure regulating valve 305 which is interposed into each liquid supply tube 304, a.

機能液供給装置205は、上述のインク供給手段と略同様に構成されており、機能液タンク301はカートリッジ形式のものが採用されている。 Functional liquid supply device 205 is configured substantially similar to the ink supply unit described above, the functional liquid tank 301 is employed as a cartridge format. タンクホルダ302には、各機能液タンク301を収容する機能液収容部(図示省略)が設けられ、各機能液収容部には、機能液タンク301とエアー配管323とを接続する接続アダプタ(図示省略)が配設されている。 The tank holder 302, the functional liquid storage portion for storing the functional liquid tank 301 (not shown) are mounted on the respective functional liquid storage unit, the connection adapter for connecting the functional liquid tank 301 and the air pipe 323 (shown shown) are arranged. また、加圧手段303は、接続アダプタを介して各機能液タンク301にエアーを供給するエアー供給機構321を有し、エアー供給機構321を構成する単一の加圧ポンプ322を駆動すると、エアー配管323を介して各機能液タンク301にエアーが供給される。 The pressure means 303, via a connection adapter to the functional liquid tank 301 has an air supply mechanism 321 for supplying the air, driving a single pressure pump 322 constituting the air supply mechanism 321, air air is supplied to each functional liquid tank 301 through a pipe 323. この場合も、エアー配管323には、ソレノイド付きレギュレータ324および圧力センサ325が介設されており、エアー配管323内が所定の作動圧力に維持されるように構成されている。 Again, the air pipe 323, the solenoid with the regulator 324 and the pressure sensor 325 is interposed and is configured in the air piping 323 is maintained at a predetermined operating pressure.

制御装置206は、パソコン等で構成され、データ入力、各種設定を行うための入力手段(キーボード等)や、入力データ・各種設定状態等を視認するためのディスプレイ等を備えている(いずれも図示省略)。 Controller 206 is constituted by a personal computer or the like, data input, input means for making various settings (keyboard, etc.) and includes a display or the like for viewing input data various settings such as (all not omitted).

図11を参照しながら液滴吐出装置201の主制御系について説明する。 With reference to FIG. 11 will be described a main control system of the droplet discharge device 201. 液滴吐出装置201は、描画装置203を有する描画部331と、ヘッド保守装置204を有するヘッド保守部332と、機能液供給装置205を有する機能液供給部333と、描画装置203、ヘッド保守装置204および機能液供給装置205の各種センサを有し、各種検出を行う検出部334と、各部を駆動する各種ドライバ(描画装置203を駆動するための描画ドライバ341、ヘッド保守装置204を駆動するためのヘッド保守ドライバ342、機能液供給装置を駆動するための機能液供給ドライバ343等)を有する駆動部335と、各部に接続され、液滴吐出装置201全体の制御を行う制御部336(制御装置206)と、を備えている。 Droplet discharge device 201 includes a drawing unit 331 with a drawing device 203, a head maintenance unit 332 having a head maintenance device 204, the functional fluid supply unit 333 having the functional liquid supply device 205, the rendering apparatus 203, the head maintenance device 204 and has various sensors of the functional liquid supply device 205, a detection unit 334 for performing various detections, render driver 341 for driving the various drivers (drawing device 203 for driving the respective units, for driving the head maintenance device 204 head maintenance driver 342, the functional fluid drive unit 335 having the functional liquid supply driver 343, etc.) for driving the feeding device, is connected to each part, a control unit 336 for controlling the entire liquid droplet discharging apparatus 201 (control unit and 206), and a.

制御部336は、描画装置203およびヘッド保守装置204等を接続するためのインタフェース351、および描画装置203、ヘッド保守装置204、機能液供給装置205からの各種データ等を記憶すると共に、各種データを処理するためのプログラム等を記憶するハードディスク352が備えられている以外は、上述のインクジェットプリンタ1の制御部336と略同様に構成され、RAM353、ROM354、CPU355、タイマー356、内部バス357と、を備えている。 Control unit 336, interface 351, and a drawing device 203 for connecting the drawing device 203 and a head maintenance device 204, etc., the head maintenance unit 204 stores various data and the like from the functional liquid supply device 205, various data except that a hard disk 352 which stores programs and the like for processing are provided, are substantially the same structure as controller 336 of the inkjet printer 1 described above, RAM 353, ROM 354, CPU 355, a timer 356, an internal bus 357, a It is provided.

本実施形態の液滴吐出装置201も、上述のインクジェットプリンタ1と同様の制御が行われている。 Droplet discharge device 201 of the present embodiment also, the same control as the inkjet printer 1 described above have been made. すなわち、制御部336が加圧ポンプ322の駆動制御を行うことにより、機能液タンク301から供給される機能液の供給圧力が、予め設定した作動圧力内に調整されると共に、ワークWに描画動作中の機能液滴吐出ヘッド252のヘッド内流路に圧力変動を生じさせないため、機能液滴吐出ヘッド252がワークWに描画動作中のときには、機能液の加圧供給が行われないようになっている。 That is, when the control unit 336 performs drive control of the pressure pump 322, the supply pressure of the functional liquid supplied from the functional liquid tank 301 is adjusted to the working pressure set in advance, the image drawing operation on the workpiece W since the head flow path of the functional liquid droplet ejecting heads 252 in not causing pressure fluctuations, when the functional liquid droplet ejection head 252 is in drawing operation on the workpiece W is adapted to a pressurized supply of the functional liquid is not carried out ing. そして、描画処理を中断して機能液の加圧供給を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド252を(X軸テーブル211またはY軸テーブル212を駆動させることにより、ヘッドユニット214をフラッシングユニット262または保守エリアに臨ませて、ヘッド保守装置204でメンテナンスするようになっており、加圧供給が終了するまでの待ち時間を利用して、機能液滴吐出ヘッド252をメンテナンスできるようになっている。したがって、液滴吐出装置201は、描画パターンを極めて高精度に描画することが可能である。 When performing the pressurized feed of the functional liquid to interrupt the drawing process, the functional liquid droplet ejection head 252 by driving the (X-axis table 211 or Y-axis table 212, flushing the head units 214 units 262 or to face the maintenance area, which is adapted to maintain the head maintenance device 204, by using the waiting time until a pressurized supply is completed, to be able to maintain the functional liquid droplet ejecting heads 252 . Thus, the droplet discharge apparatus 201 is capable of drawing the drawing pattern very high precision.

次に、本実施形態の液滴吐出装置201を用いて製造される電気光学装置(フラットパネルディスプレイ)として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機EL装置、プラズマディスプレイ(PDP装置)、電子放出装置(FED装置、SED装置)、更にこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。 Next, as an electro-optical device manufactured using the liquid droplet ejection device 201 of the present embodiment (Flat Panel Display), a color filter, a liquid crystal display device, an organic EL device, a plasma display (PDP device), the electron-emitting device ( FED device, SED device), a further example an active matrix substrate or the like is formed comprising these display devices will be described for these structures and a manufacturing method thereof. なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板を言う。 Note that the active matrix substrate, say a thin film transistor, and a source line electrically connected to the thin film transistor, the substrate in which the data lines are formed.

先ず、液晶表示装置や有機EL装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。 First, a method for manufacturing a color filter incorporated in a liquid crystal display device or an organic EL device or the like. 図12は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図13は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ600(フィルタ基体600A)の模式断面図である。 Figure 12 is a flow chart, FIG. 13 showing a manufacturing process of a color filter is a schematic cross-sectional view of a color filter 600 of the present embodiment shown in the order of manufacturing steps (filter base 600A).
まず、ブラックマトリクス形成工程(S101)では、図13(a)に示すように、基板(W)601上にブラックマトリクス602を形成する。 First, the black matrix forming step (S101), as shown in FIG. 13 (a), to form a black matrix 602 on the substrate (W) 601. ブラックマトリクス602は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。 The black matrix 602 is formed of a chromium metal, a laminate of metallic chromium and chromium oxide, or a resin black. 金属薄膜からなるブラックマトリクス602を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。 To form the black matrix 602 made of a metal thin film can be used in a sputtering method, an evaporation method, or the like. また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス602を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。 In the case of forming the black matrix 602 made of a resin thin film, a gravure printing method, a photoresist method, or a thermal transfer method, or the like.

続いて、バンク形成工程(S102)において、ブラックマトリクス602上に重畳する状態でバンク603を形成する。 Then, in the bank forming step (S102), forming the bank 603 in a state superimposed on the black matrix 602. 即ち、まず図13(b)に示すように、基板601及びブラックマトリクス602を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層604を形成する。 That is, first, as shown in FIG. 13 (b), a resist layer 604 made of a negative transparent photosensitive resin so as to cover the substrate 601 and the black matrix 602. そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム605で被覆した状態で露光処理を行う。 Then, the exposure process in a state coated with the mask film 605 formed to the upper surface thereof in a matrix pattern.
さらに、図13(c)に示すように、レジスト層604の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層604をパターニングして、バンク603を形成する。 Furthermore, as shown in FIG. 13 (c), by patterning the resist layer 604 by the unexposed portions of the resist layer 604 is etched to form the bank 603. なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。 In the case of forming a black matrix by resin black becomes possible to use the black matrix and the bank.
このバンク603とその下のブラックマトリクス602は、各画素領域607aを区画する区画壁部607bとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド252により着色層(成膜部)608R、608G、608Bを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。 The black matrix 602 between the bank 603 thereunder, the colored layer by the functional liquid droplet ejecting heads 252 in the partition wall portion 607b, and the post of the colored layer forming step for partitioning the pixel areas 607a (film forming section) 608R, 608 g, defining the landing area of ​​the functional liquid droplet in forming 608B.

以上のブラックマトリクス形成工程及びバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体600Aが得られる。 Through the black matrix forming step and the bank forming step, the filter base 600A is obtained.
なお、本実施形態においては、バンク603の材料として、塗膜表面が疎液(疎水)性となる樹脂材料を用いている。 In the present embodiment, as the material of the bank 603, the coating surface is used lyophobic (hydrophobic) made resin material. そして、基板(ガラス基板)601の表面が親液(親水)性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク603(区画壁部607b)に囲まれた各画素領域607a内への液滴の着弾位置精度が向上する。 Then, the surface of the substrate (glass substrate) 601 are the lyophilic (hydrophilic) properties, for droplets into each pixel region 607a surrounded by the bank 603 (partition wall portion 607b) in the colored layer forming step described below landing position accuracy is improved.

次に、着色層形成工程(S103)では、図13(d)に示すように、機能液滴吐出ヘッド252によって機能液滴を吐出して区画壁部607bで囲まれた各画素領域607a内に着弾させる。 Next, the colored layer forming step (S103), as shown in FIG. 13 (d), the functional liquid droplet ejecting heads 252 function liquid in each pixel region 607a which is surrounded by the partition wall portion 607b by ejecting droplets by to land. この場合、機能液滴吐出ヘッド252を用いて、R・G・Bの3色の機能液(フィルタ材料)を導入して、機能液滴の吐出を行う。 In this case, by using the functional liquid droplet ejecting heads 252, by introducing three colors of functional liquid R · G · B (filter material), and the ejection of functional liquid droplets. なお、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。 As the three-color arrangement pattern of R · G · B, a stripe arrangement, a mosaic arrangement, a delta arrangement, or the like.

その後、乾燥処理(加熱等の処理)を経て機能液を定着させ、3色の着色層608R、608G、608Bを形成する。 Thereafter, a drying process (such as heating) to fix the functional liquid, the three colors of colored layers 608R, 608 g, to form a 608B. 着色層608R、608G、608Bを形成したならば、保護膜形成工程(S104)に移り、図13(e)に示すように、基板601、区画壁部607b、および着色層608R、608G、608Bの上面を覆うように保護膜609を形成する。 Colored layers 608R, 608 g, if the formation of the 608B, moved to the protective film forming step (S104), as shown in FIG. 13 (e), the substrate 601, the partition wall portion 607b, and the colored layers 608R, 608 g, of 608B forming a protective film 609 to cover the top surface.
即ち、基板601の着色層608R、608G、608Bが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜609が形成される。 That is, the colored layers 608R of the substrate 601, 608 g, after the protective film coating solution to the entire surface 608B is formed is discharged, the protective film 609 is formed through the drying process.
そして、保護膜609を形成した後、カラーフィルタ600は、次工程の透明電極となるITO(Indium Tin Oxide)などの膜付け工程に移行する。 Then, after forming a protective film 609, the color filter 600 shifts to the membrane with processes such as ITO as the transparent electrode of the next step (Indium Tin Oxide).

図14は、上記のカラーフィルタ600を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置(液晶装置)の概略構成を示す要部断面図である。 Figure 14 is a fragmentary cross-sectional view showing a schematic structure of a passive matrix liquid crystal device (liquid crystal device) as an example of a liquid crystal display device using the color filter 600. この液晶装置620に、液晶駆動用IC、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。 This liquid crystal device 620, a liquid crystal driving IC, a backlight, by mounting the supplementary elements such as the support, a transmissive liquid crystal display device as a final product is obtained. なお、カラーフィルタ600は図13に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。 Since the color filter 600 is the same as that shown in FIG. 13, the same reference numerals are assigned to the corresponding parts, and a description thereof will be omitted.

この液晶装置620は、カラーフィルタ600、ガラス基板等からなる対向基板621、及び、これらの間に挟持されたSTN(Super Twisted Nematic)液晶組成物からなる液晶層622により概略構成されており、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置している。 The liquid crystal device 620, a color filter 600, a counter substrate 621 made of a glass substrate or the like, and are schematic configuration of a liquid crystal layer 622 made of STN (Super Twisted Nematic) liquid crystal composition sandwiched between them, the color the filter 600 is arranged in the upper side of FIG.
なお、図示していないが、対向基板621およびカラーフィルタ600の外面(液晶層622側とは反対側の面)には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板621側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。 Although not shown, the counter substrate 621 and the color filter 600 outer surface (the liquid crystal layer 622 side surface opposite) arranged polarizing plates in each, also of the polarizing plate positioned on the counter substrate 621 side outside, the backlight is disposed.

カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層側)には、図14において左右方向に長尺な短冊状の第1電極623が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極623のカラーフィルタ600側とは反対側の面を覆うように第1配向膜624が形成されている。 The upper protective layer 609 of the color filter 600 (liquid crystal layer side), the first electrode 623 in the lateral direction long strip 14 is formed with a plurality at predetermined intervals, the color of the first electrode 623 the filter 600 side first alignment film 624 so as to cover the surface on the opposite side.
一方、対向基板621におけるカラーフィルタ600と対向する面には、カラーフィルタ600の第1電極623と直交する方向に長尺な短冊状の第2電極626が所定の間隔で複数形成され、この第2電極626の液晶層622側の面を覆うように第2配向膜627が形成されている。 On the other hand, the color filter 600 and a surface facing the counter substrate 621, second electrode 626 direction elongated strip perpendicular to the first electrode 623 of the color filter 600 is formed a plurality at predetermined intervals, the first the second alignment layer 627 is formed so as to cover the surface of the liquid crystal layer 622 side of the second electrode 626. これらの第1電極623および第2電極626は、ITOなどの透明導電材料により形成されている。 The first electrode 623 and the second electrode 626 thereof is formed by a transparent conductive material such as ITO.

液晶層622内に設けられたスペーサ628は、液晶層622の厚さ(セルギャップ)を一定に保持するための部材である。 Spacer 628 provided in the liquid crystal layer 622 is a member for holding the thickness of the liquid crystal layer 622 (cell gap) constant. また、シール材629は液晶層622内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。 The sealing member 629 is a member for preventing the leakage liquid crystal composition in the liquid crystal layer 622 to the outside. なお、第1電極623の一端部は引き回し配線623aとしてシール材629の外側まで延在している。 One end portion of the first electrode 623 extends to the outside of the sealing member 629 as lead wiring 623a.
そして、第1電極623と第2電極626とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。 Then, a portion of pixels with the first electrode 623 and the second electrode 626 intersect, the portion serving as the pixel colored layer 608R of the color filters 600, 608 g, 608B are configured to be positioned.

通常の製造工程では、カラーフィルタ600に、第1電極623のパターニングおよび第1配向膜624の塗布を行ってカラーフィルタ600側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板621に、第2電極626のパターニングおよび第2配向膜627の塗布を行って対向基板621側の部分を作成する。 In a typical manufacturing process, the color filter 600, thereby creating a portion of the color filter 600 side performs coating of the patterned and the first alignment film 624 of the first electrode 623, separately on the counter substrate 621 to this, the second make a portion of the opposite substrate 621 side performs application of the patterning of electrodes 626 and the second alignment film 627. その後、対向基板621側の部分にスペーサ628およびシール材629を作り込み、この状態でカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる。 Thereafter, the portions of the counter substrate 621 side of building the spacers 628 and the sealant 629, bonding the portions of the color filter 600 side in this state. 次いで、シール材629の注入口から液晶層622を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。 Then, the liquid crystal constituting the liquid crystal layer 622 from the inlet of the sealing material 629 is injected, to close the inlet. その後、両偏光板およびバックライトを積層する。 Then, laminated both the polarizers and the backlight.

実施形態の液滴吐出装置201は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料(機能液)を塗布すると共に、対向基板621側の部分にカラーフィルタ600側の部分を貼り合わせる前に、シール材629で囲んだ領域に液晶(機能液)を均一に塗布することが可能である。 The liquid droplet ejection apparatus 201 of the embodiment, for example, while applying a spacer material (functional liquid) for forming the cell gap of the above, before bonding the portion of the color filter 600 side portion of the counter substrate 621 side, the sealing member the region surrounded by 629 can be uniformly applied liquid (functional liquid). また、上記のシール材629の印刷を、機能液滴吐出ヘッド252で行うことも可能である。 Also, the printing of the sealing material 629 can be performed by the functional liquid droplet ejecting heads 252. さらに、第1・第2両配向膜624,627の塗布を機能液滴吐出ヘッド252で行うことも可能である。 Furthermore, it is also possible to perform the coating of the first and second double-alignment layer 624,627 in the functional liquid droplet ejection head 252.

図15は、本実施形態において製造したカラーフィルタ600を用いた液晶装置の第2の例の概略構成を示す要部断面図である。 Figure 15 is a fragmentary cross-sectional view showing a schematic configuration of a second example of a liquid crystal device using a color filter 600 manufactured in this embodiment.
この液晶装置630が上記液晶装置620と大きく異なる点は、カラーフィルタ600を図中下側(観測者側とは反対側)に配置した点である。 That the liquid crystal device 630 is significantly different from the liquid crystal device 620 is that arranged on the (opposite to the observer side) of the color filter 600 in the figure below.
この液晶装置630は、カラーフィルタ600とガラス基板等からなる対向基板631との間にSTN液晶からなる液晶層632が挟持されて概略構成されている。 The liquid crystal device 630, the liquid crystal layer 632 made of STN liquid crystal is sandwiched are schematic configuration between the counter substrate 631 composed of the color filter 600 and the glass substrate. なお、図示していないが、対向基板631およびカラーフィルタ600の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。 Although not shown, polarizing plates or the like are disposed respectively on the outer surface of the counter substrate 631 and the color filter 600.

カラーフィルタ600の保護膜609上(液晶層632側)には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第1電極633が所定の間隔で複数形成されており、この第1電極633の液晶層632側の面を覆うように第1配向膜634が形成されている。 The upper protective layer 609 of the color filter 600 (the liquid crystal layer 632 side), the first electrode 633 in the depth direction of the drawing elongated strip is formed with a plurality at predetermined intervals, the liquid crystal of the first electrode 633 the first alignment film 634 is formed so as to cover the surface of the layer 632 side.
対向基板631のカラーフィルタ600と対向する面上には、カラーフィルタ600側の第1電極633と直交する方向に延在する複数の短冊状の第2電極636が所定の間隔で形成され、この第2電極636の液晶層632側の面を覆うように第2配向膜637が形成されている。 The color filter 600 facing the on the surface of the counter substrate 631, a plurality of strip-shaped second electrodes 636 extending in a direction orthogonal to the first electrode 633 of the color filter 600 side is formed at a predetermined interval, the the second alignment layer 637 is formed so as to cover the surface of the liquid crystal layer 632 side of the second electrode 636.

液晶層632には、この液晶層632の厚さを一定に保持するためのスペーサ638と、液晶層632内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材639が設けられている。 The liquid crystal layer 632, a spacer 638 for holding the thickness of the liquid crystal layer 632 constant, a seal member 639 is provided for the liquid crystal composition in the liquid crystal layer 632 is prevented from leaking to the outside there.
そして、上記した液晶装置620と同様に、第1電極633と第2電極636との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ600の着色層608R、608G、608Bが位置するように構成されている。 Then, as in the liquid crystal device 620 described above, the first electrode 633 are intersections pixels between the second electrode 636, a portion serving as a pixel, a colored layer 608R of the color filters 600, 608 g, is 608B position It is configured to.

図16は、本発明を適用したカラーフィルタ600を用いて液晶装置を構成した第3の例を示したもので、透過型のTFT(Thin Film Transistor)型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。 Figure 16 shows a third example in which the liquid crystal device using the color filter 600 according to the present invention, exploded perspective view illustrating a transmission-type TFT a schematic configuration of (Thin Film Transistor) type liquid crystal device it is.
この液晶装置650は、カラーフィルタ600を図中上側(観測者側)に配置したものである。 The liquid crystal device 650 is obtained by arranging the color filter 600 in the upper side of FIG.

この液晶装置650は、カラーフィルタ600と、これに対向するように配置された対向基板651と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ600の上面側(観測者側)に配置された偏光板655と、対向基板651の下面側に配設された偏光板(図示せず)とにより概略構成されている。 The liquid crystal device 650 includes a color filter 600, a counter substrate 651 which are arranged so as to face thereto, and a liquid crystal layer (not shown) interposed therebetween, the upper surface side of the color filter 600 (observer side) and placed polarizer 655, it is schematically constituted by a polarizer disposed on the lower side of the counter substrate 651 (not shown).
カラーフィルタ600の保護膜609の表面(対向基板651側の面)には液晶駆動用の電極656が形成されている。 Electrode 656 for driving the liquid crystal on the surface (the surface of the counter substrate 651 side) of the protective film 609 of the color filter 600 are formed. この電極656は、ITO等の透明導電材料からなり、後述の画素電極660が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。 The electrode 656 is made of a transparent conductive material such as ITO, and has a whole surface electrode covering the entire area where the pixel electrode 660 described later is formed. また、この電極656の画素電極660とは反対側の面を覆った状態で配向膜657が設けられている。 Further, an alignment film 657 while covering the surface on the opposite side is provided with a pixel electrode 660 of the electrode 656.

対向基板651のカラーフィルタ600と対向する面には絶縁層658が形成されており、この絶縁層658上には、走査線661及び信号線662が互いに直交する状態で形成されている。 The color filter 600 and the opposing surfaces of the opposite substrate 651 is formed an insulating layer 658, on the insulating layer 658, the scanning lines 661 and signal lines 662 are formed in a state orthogonal to each other. そして、これらの走査線661と信号線662とに囲まれた領域内には画素電極660が形成されている。 The pixel electrode 660 is formed on the scanning lines 661 and signal lines 662 and in a region surrounded by. なお、実際の液晶装置では、画素電極660上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。 In an actual liquid crystal device, and the seed layer is provided on the pixel electrode 660, it is not shown.

また、画素電極660の切欠部と走査線661と信号線662とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ663が組み込まれて構成されている。 Further, the cutout portion and the portion enclosed by the scanning lines 661 and signal lines 662 of the pixel electrode 660, a source electrode, a drain electrode, a semiconductor, and a thin film transistor 663 and a gate electrode is formed is incorporated . そして、走査線661と信号線662に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ663をオン・オフして画素電極660への通電制御を行うことができるように構成されている。 And it is configured so as to perform energization control of the pixel electrodes 660 of thin film transistors 663 are turned on and off by the signal applied to the scanning lines 661 and the signal line 662.

なお、上記の各例の液晶装置620,630,650は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。 The liquid crystal device 620,630,650 of each example above, although the transmission type arrangement, by providing a reflective layer or a semitransparent reflective layer, a reflective type liquid crystal device or a transflective liquid crystal device of it is also possible.

次に、図17は、有機EL装置の表示領域(以下、単に表示装置700と称する)の要部断面図である。 Next, FIG. 17, the display area of ​​the organic EL device (hereinafter, simply referred to as a display device 700) is a fragmentary cross-sectional view of.

この表示装置700は、基板(W)701上に、回路素子部702、発光素子部703及び陰極704が積層された状態で概略構成されている。 The display device 700 includes, over a substrate (W) 701, it is schematically configured in a state where the circuit element portion 702, the light emitting element 703 and a cathode 704 are stacked.
この表示装置700においては、発光素子部703から基板701側に発した光が、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるとともに、発光素子部703から基板701の反対側に発した光が陰極704により反射された後、回路素子部702及び基板701を透過して観測者側に出射されるようになっている。 In the display device 700, light emitted from the light-emitting element 703 on the substrate 701 side, while being emitted circuit element portion 702 and the substrate 701 to the observer side transmission opposite from the light emitting element portion 703 of the substrate 701 after light emitted to the side is reflected by the cathode 704, and is emitted to the observer side passes through the circuit element portion 702 and the substrate 701.

回路素子部702と基板701との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜706が形成され、この下地保護膜706上(発光素子部703側)に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜707が形成されている。 Between the circuit element portion 702 and the substrate 701 is formed a base protective film 706 made of a silicon oxide film, the island-shaped semiconductor film 707 made of polycrystalline silicon on the base protective film 706 (the light emitting element 703 side) There has been formed. この半導体膜707の左右の領域には、ソース領域707a及びドレイン領域707bが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。 The left and right regions of the semiconductor film 707, are formed by the source region 707a and drain region 707b are high-concentration positive-ion implantation. そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域707cとなっている。 The central portion of the cation is not implanted becomes a channel region 707c.

また、回路素子部702には、下地保護膜706及び半導体膜707を覆う透明なゲート絶縁膜708が形成され、このゲート絶縁膜708上の半導体膜707のチャネル領域707cに対応する位置には、例えばAl、Mo、Ta、Ti、W等から構成されるゲート電極709が形成されている。 Further, the circuit element section 702, base protective film 706 and the semiconductor film 707 transparent gate insulating film 708 covering the is formed, at a position corresponding to the channel region 707c of the semiconductor film 707 on the gate insulating film 708, For example Al, Mo, Ta, Ti, a gate electrode 709 composed of W or the like are formed. このゲート電極709及びゲート絶縁膜708上には、透明な第1層間絶縁膜711aと第2層間絶縁膜711bが形成されている。 On this gate electrode 709 and the gate insulating film 708, the first interlayer insulating film 711a and the second interlayer insulating film 711b transparency is formed. また、第1、第2層間絶縁膜711a、711bを貫通して、半導体膜707のソース領域707a、ドレイン領域707bにそれぞれ連通するコンタクトホール712a,712bが形成されている。 Further, the first and second interlayer insulating films 711a, through the 711b, the source region of the semiconductor film 707 707a, the contact holes 712a respectively communicating with the drain region 707b, 712b are formed.

そして、第2層間絶縁膜711b上には、ITO等からなる透明な画素電極713が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極713は、コンタクトホール712aを通じてソース領域707aに接続されている。 Then, on the second interlayer insulating film 711b, the transparent pixel electrode 713 made of ITO or the like is formed by patterning into a predetermined shape, the pixel electrode 713 is connected to the source region 707a through the contact holes 712a .
また、第1層間絶縁膜711a上には電源線714が配設されており、この電源線714は、コンタクトホール712bを通じてドレイン領域707bに接続されている。 Further, on the first interlayer insulating film 711a and the power supply line 714 is arranged, the power supply line 714 is connected to the drain region 707b via a contact hole 712b.

このように、回路素子部702には、各画素電極713に接続された駆動用の薄膜トランジスタ715がそれぞれ形成されている。 Thus, the circuit element portion 702, the thin film transistor 715 for driving connected to the respective pixel electrodes 713 are formed.

上記発光素子部703は、複数の画素電極713上の各々に積層された機能層717と、各画素電極713及び機能層717の間に備えられて各機能層717を区画するバンク部718とにより概略構成されている。 The light emitting element section 703, and the functional layer 717 laminated on each of the plurality of pixel electrodes 713, the bank 718 for partitioning the functional layer 717 provided between the pixel electrodes 713 and the functional layer 717 It is schematic configuration.
これら画素電極713、機能層717、及び、機能層717上に配設された陰極704によって発光素子が構成されている。 These pixel electrodes 713, functional layers 717, and light-emitting element is constituted by a cathode 704 that is disposed upon the functional layer 717. なお、画素電極713は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極713の間にバンク部718が形成されている。 The pixel electrode 713 is formed by patterning into a substantially rectangular shape in plan view, the bank portion 718 between the pixel electrode 713 is formed.

バンク部718は、例えばSiO、SiO 2 、TiO 2等の無機材料により形成される無機物バンク層718a(第1バンク層)と、この無機物バンク層718a上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層718b(第2バンク層)とにより構成されている。 Bank unit 718, for example SiO, and SiO 2, the inorganic bank layer is formed of an inorganic material such as TiO 2, 718a (first bank layer), stacked on the inorganic bank layer 718a, an acrylic resin, such as polyimide resin heat resistance, is constituted by the organic bank layer 718b of trapezoidal cross section is formed by a superior resist solvent resistance (second bank layer). このバンク部718の一部は、画素電極713の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。 Some of the bank portion 718 is formed in a state of riding on the periphery of the pixel electrode 713.
そして、各バンク部718の間には、画素電極713に対して上方に向けて次第に拡開した開口部719が形成されている。 Further, between the bank portions 718, the opening 719 is formed which is expanded gradually upward relative to the pixel electrode 713.

上記機能層717は、開口部719内において画素電極713上に積層状態で形成された正孔注入/輸送層717aと、この正孔注入/輸送層717a上に形成された発光層717bとにより構成されている。 The functional layer 717 constituting the hole injection / transport layer 717a formed in a stacked state on the pixel electrode 713 in the opening 719, by a hole injection / transport layer 717a light emitting layer formed on 717b It is. なお、この発光層717bに隣接してその他の機能を有する他の機能層を更に形成しても良い。 The other functional layers may also be further formed having other functions adjacent to the light emitting layer 717b. 例えば、電子輸送層を形成する事も可能である。 For example, it is possible to form an electron transport layer.
正孔注入/輸送層717aは、画素電極713側から正孔を輸送して発光層717bに注入する機能を有する。 The hole injection / transport layer 717a has a function of injecting the light-emitting layer 717b and transport holes from the pixel electrode 713 side. この正孔注入/輸送層717aは、正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物(機能液)を吐出することで形成される。 The hole injection / transport layer 717a is formed by discharging a first composition containing a hole injecting / transporting layer formation material (functional liquid). 正孔注入/輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。 As the hole injecting / transporting layer formation material, a known material.

発光層717bは、赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の何れかに発光するもので、発光層形成材料(発光材料)を含む第2組成物(機能液)を吐出することで形成される。 Emitting layer 717b is a red (R), green (G), or one that emits either blue (B), discharging a second composition containing the light-emitting layer forming material (light emitting material) (the functional liquid) It is formed by. 第2組成物の溶媒(非極性溶媒)としては、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層717bの第2組成物に用いることにより、正孔注入/輸送層717aを再溶解させることなく発光層717bを形成することができる。 As the solvent (nonpolar solvent) of the second composition, it is preferable to use insoluble known material to the hole injecting / transporting layer 717a, the second composition of such non-polar solvents emitting layer 717b the use, it is possible to form the light-emitting layer 717b without remelting the hole injection / transport layer 717a.

そして、発光層717bでは、正孔注入/輸送層717aから注入された正孔と、陰極704から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。 Then, in the light emitting layer 717b, the holes injected from the hole injection / transport layer 717a, the electrons injected from the cathode 704 is configured and an emission layer.

陰極704は、発光素子部703の全面を覆う状態で形成されており、画素電極713と対になって機能層717に電流を流す役割を果たす。 Cathode 704 is formed so as to cover the entire surface of the light emitting element section 703, it serves to flow a current to the functional layer 717 paired with the pixel electrode 713. なお、この陰極704の上部には図示しない封止部材が配置される。 Incidentally, a sealing member (not shown) is disposed on top of the cathode 704.

次に、上記の表示装置700の製造工程を図18〜図26を参照して説明する。 Will now be described with reference to FIGS. 18 to 26 the manufacturing process of the display device 700.
この表示装置700は、図18に示すように、バンク部形成工程(S111)、表面処理工程(S112)、正孔注入/輸送層形成工程(S113)、発光層形成工程(S114)、及び対向電極形成工程(S115)を経て製造される。 The display device 700 includes, as shown in FIG. 18, the bank portion forming step (S111), a surface treatment step (S112), the hole injection / transporting layer formation step (S113), the light-emitting layer forming step (S114), and the counter It is produced through the electrode forming step (S115). なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。 Incidentally, the production process in some cases other steps are omitted as needed rather than limited to those illustrated, also when it is added also.

まず、バンク部形成工程(S111)では、図19に示すように、第2層間絶縁膜711b上に無機物バンク層718aを形成する。 First, the bank portion forming step (S111), as shown in FIG. 19, to form the inorganic bank layer 718a on the second interlayer insulating film 711b. この無機物バンク層718aは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。 The inorganic bank layer 718a is formed by forming an inorganic film forming position, it is formed by patterning the inorganic film by a photolithography technique or the like. このとき、無機物バンク層718aの一部は画素電極713の周縁部と重なるように形成される。 At this time, a part of the inorganic bank layer 718a is formed so as to overlap the peripheral portion of the pixel electrode 713.
無機物バンク層718aを形成したならば、図20に示すように、無機物バンク層718a上に有機物バンク層718bを形成する。 Once formed the inorganic bank layer 718a, as shown in FIG. 20, to form the organic bank layer 718b on the inorganic bank layer 718a. この有機物バンク層718bも無機物バンク層718aと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。 The organic bank layer 718b is also formed by patterning the same so photolithography technique and the inorganic bank layer 718a and the like.
このようにしてバンク部718が形成される。 The bank 718 is formed as described above. また、これに伴い、各バンク部718間には、画素電極713に対して上方に開口した開口部719が形成される。 Along with this, between the bank portions 718, the opening 719 that opens upward with respect to the pixel electrode 713 is formed. この開口部719は、画素領域を規定する。 The opening 719 defines a pixel region.

表面処理工程(S112)では、親液化処理及び撥液化処理が行われる。 In the surface treatment step (S112), lyophilic treatment and lyophobic treatment is performed. 親液化処理を施す領域は、無機物バンク層718aの第1積層部718aa及び画素電極713の電極面713aであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。 The area for receiving a lyophilic treatment is an electrode surface 713a of the first lamination portion 718aa and the pixel electrode 713 of the inorganic bank layer 718a, these regions, for example, surface treatment lyophilic by plasma treatment using oxygen as a process gas It is. このプラズマ処理は、画素電極713であるITOの洗浄等も兼ねている。 The plasma treatment also serves cleaning or the like of ITO as the pixel electrode 713.
また、撥液化処理は、有機物バンク層718bの壁面718s及び有機物バンク層718bの上面718tに施され、例えば4フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理(撥液性に処理)される。 Further, liquid repellent treatment is applied to the top surface 718t of the walls 718s and the organic bank layer 718b of the organic bank layer 718b, the process on the surface fluorination (liquid repellency by plasma treatment, for example, tetrafluoromethane a process gas ) by the.
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド252を用いて機能層717を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部719から溢れ出るのを防止することが可能となる。 By performing this surface treatment step, landing in forming the functional layer 717 by using the functional liquid droplet ejecting heads 252, the functional liquid droplet on the pixel region, it is possible to more reliably landed, also in the pixel region function liquid droplets it is possible to prevent the overflow from the opening 719.

そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体700Aが得られる。 By the above processes, the display device substrate 700A is obtained. この表示装置基体700Aは、図10に示した液滴吐出装置201のセットテーブル222に載置され、以下の正孔注入/輸送層形成工程(S113)及び発光層形成工程(S114)が行われる。 The display device substrate 700A is placed on the set table 222 of the droplet ejection device 201 shown in FIG. 10, the following hole injecting / transporting layer formation step (S113) and the light-emitting layer forming step (S114) is performed .

図21に示すように、正孔注入/輸送層形成工程(S113)では、機能液滴吐出ヘッド252から正孔注入/輸送層形成材料を含む第1組成物を画素領域である各開口部719内に吐出する。 As shown in FIG. 21, the hole injection / In transporting layer formation step (S113), the functional liquid droplet ejection head 252 from the hole injection / transport layer formation material the openings 719 of the first composition is a pixel region including a to discharge within. その後、図22に示すように、乾燥処理及び熱処理を行い、第1組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極(電極面713a)713上に正孔注入/輸送層717aを形成する。 Thereafter, as shown in FIG. 22, and a drying treatment and heat treatment to evaporate the polar solvent contained in the first composition, to form the hole injection / transport layer 717a on the pixel electrode (electrode surface 713a) 713.

次に発光層形成工程(S114)について説明する。 Next will be described the light emitting layer forming step (S114). この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入/輸送層717aの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第2組成物の溶媒として、正孔注入/輸送層717aに対して不溶な非極性溶媒を用いる。 In the light-emitting layer forming step, as described above, in order to prevent the redissolution of the hole injection / transport layer 717a, as a solvent of the second composition used in forming the light-emitting layer, hole injection / transport layer 717a using non-polar solvents insoluble in.
しかしその一方で、正孔注入/輸送層717aは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717a上に吐出しても、正孔注入/輸送層717aと発光層717bとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層717bを均一に塗布できない虞がある。 However, on the other hand, the hole injection / transport layer 717a has a low affinity for non-polar solvents, even by discharging a second composition comprising a non-polar solvent on the hole injection / transport layer 717a, the hole injection / transport layer 717a and the light emitting layer 717b and either can not be brought into close contact with, or there is a risk that can not be uniformly applied emitting layer 717b.
そこで、非極性溶媒ならびに発光層形成材料に対する正孔注入/輸送層717aの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理(表面改質処理)を行うことが好ましい。 Therefore, in order to increase the affinity of the nonpolar solvent and the surface of the hole injection / transport layer 717a to the light emitting layer formation material, it is preferable to perform the surface treatment (surface modification treatment) before the light emitting layer formation. この表面処理は、発光層形成の際に用いる第2組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入/輸送層717a上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。 This surface treatment, the surface modifier is a non-polar solvent and the same solvent or solvent the like of the second composition used in forming the light-emitting layer was applied onto the hole injection / transport layer 717a, it carried out by drying.
このような処理を施すことで、正孔注入/輸送層717aの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第2組成物を正孔注入/輸送層717aに均一に塗布することができる。 By performing such processing, the surface of the hole injection / transport layer 717a is likely familiar with the nonpolar solvent, in the subsequent steps, the hole injection / transport layer a second composition containing the light-emitting layer forming material it can be uniformly applied to 717a.

そして次に、図23に示すように、各色のうちの何れか(図23の例では青色(B))に対応する発光層形成材料を含有する第2組成物を機能液滴として画素領域(開口部719)内に所定量打ち込む。 Then, as shown in FIG. 23, one pixel region of the second composition (in the example of FIG. 23 blue (B)) containing a luminescent layer forming material corresponding to the functional liquid droplet of each color ( implanting a predetermined amount to the opening 719) within. 画素領域内に打ち込まれた第2組成物は、正孔注入/輸送層717a上に広がって開口部719内に満たされる。 The second composition implanted in the pixel region is filled in the opening 719 spreads on the hole injection / transport layer 717a. なお、万一、第2組成物が画素領域から外れてバンク部718の上面718t上に着弾した場合でも、この上面718tは、上述したように撥液処理が施されているので、第2組成物が開口部719内に転がり込み易くなっている。 Incidentally, even if the second composition have landed on the upper surface 718t of the bank portion 718 deviates from the pixel region, the top surface 718t, since the liquid repellent treatment is applied as described above, the second composition object has become easy Korogarikomi in the opening 719.

その後、乾燥工程等を行う事により、吐出後の第2組成物を乾燥処理し、第2組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図24に示すように、正孔注入/輸送層717a上に発光層717bが形成される。 Thereafter, by performing a drying step or the like, the second composition after ejection is dried process, the nonpolar solvent contained in the second composition is evaporated, as shown in FIG. 24, the hole injection / transport layer 717a emitting layer 717b is formed in the upper. この図の場合、青色(B)に対応する発光層717bが形成されている。 In this figure, the light emitting layer 717b is formed corresponding to blue (B).

同様に、機能液滴吐出ヘッド252を用い、図25に示すように、上記した青色(B)に対応する発光層717bの場合と同様の工程を順次行い、他の色(赤色(R)及び緑色(G))に対応する発光層717bを形成する。 Similarly, using the functional liquid droplet ejecting heads 252, as shown in FIG. 25, are sequentially subjected to the same steps as in the light emitting layer 717b corresponding to the above-described blue (B), other colors (red (R) and forming a light-emitting layer 717b corresponding to green (G)). なお、発光層717bの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。 Note that the order of formation of the light-emitting layer 717b is not limited to the illustrated sequence, or may be formed in any order. 例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決める事も可能である。 For example, it is possible to determine the order of forming in accordance with the light-emitting layer forming material. また、R・G・Bの3色の配列パターンとしては、ストライブ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。 Further, examples of arrangement patterns for the three colors of R · G · B, a stripe arrangement, a mosaic arrangement, delta arrangement, or the like.

以上のようにして、画素電極713上に機能層717、即ち、正孔注入/輸送層717a及び発光層717bが形成される。 As described above, the functional layer 717 on the pixel electrode 713, i.e., the hole injection / transport layer 717a and the light-emitting layer 717b is formed. そして、対向電極形成工程(S115)に移行する。 Then, the process proceeds to the counter electrode forming step (S115).

対向電極形成工程(S115)では、図26に示すように、発光層717b及び有機物バンク層718bの全面に陰極704(対向電極)を、例えば蒸着法、スパッタ法、CVD法等によって形成する。 In the counter electrode forming step (S115), as shown in FIG. 26, the cathode 704 (counter electrode) on the entire surface of the light emitting layer 717b and the organic bank layer 718b, such as vapor deposition, sputtering, formed by CVD method or the like. この陰極704は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。 The cathode 704 is, in this embodiment, for example, a calcium layer and an aluminum layer are stacked.
この陰極704の上部には、電極としてのAl膜、Ag膜や、その酸化防止のためのSiO 2 、SiN等の保護層が適宜設けられる。 At the top of the cathode 704, Al film as the electrode, Ag film and a protective layer of SiO 2, SiN, or the like for its antioxidant is appropriately provided.

このようにして陰極704を形成した後、この陰極704の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置700が得られる。 After forming the cathode 704 in this manner, by performing other processes such as sealing treatment and wiring process for sealing with a sealing member upper portion of the cathode 704, the display device 700 is obtained.

次に、図27は、プラズマ型表示装置(PDP装置:以下、単に表示装置800と称する)の要部分解斜視図である。 Next, FIG. 27, a plasma display device (PDP device: hereinafter, simply referred to as a display device 800) is an exploded perspective view of an essential part. なお、同図では表示装置800を、その一部を切り欠いた状態で示してある。 Incidentally, the display device 800 in the figure, is shown in a state of partly cut away.
この表示装置800は、互いに対向して配置された第1基板801、第2基板802、及びこれらの間に形成される放電表示部803を含んで概略構成される。 The display device 800 includes a first substrate 801, second substrate 802 discharge display unit 803, and is formed between these, which are arranged opposite to each other. 放電表示部803は、複数の放電室805により構成されている。 Discharge display unit 803 is constituted by a plurality of discharge chambers 805. これらの複数の放電室805のうち、赤色放電室805R、緑色放電室805G、青色放電室805Bの3つの放電室805が組になって1つの画素を構成するように配置されている。 Of the plurality of discharge chambers 805, red discharge chamber 805R, green discharge chamber 805G, are arranged such three discharge chambers 805 of the blue discharge chamber 805B constitutes one pixel in pairs.

第1基板801の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極806が形成され、このアドレス電極806と第1基板801の上面とを覆うように誘電体層807が形成されている。 The upper surface of the first substrate 801 address electrodes 806 in stripes are formed at predetermined intervals, the dielectric layer 807 so as to cover the address electrodes 806 and the upper surface of the first substrate 801 is formed. 誘電体層807上には、各アドレス電極806の間に位置し、且つ各アドレス電極806に沿うように隔壁808が立設されている。 On the dielectric layer 807 is located between the address electrodes 806, barrier ribs 808 as and along the address electrodes 806 is erected. この隔壁808は、図示するようにアドレス電極806の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極806と直交する方向に延設された図示しないものを含む。 The partition wall 808 includes as extending on both sides in the width direction of the address electrodes 806 as shown, those not shown is extended in a direction perpendicular to the address electrodes 806.
そして、この隔壁808によって仕切られた領域が放電室805となっている。 A region partitioned by the partition wall 808 is in the discharge chamber 805.

放電室805内には蛍光体809が配置されている。 Phosphor 809 is disposed in the discharge chamber 805. 蛍光体809は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室805Rの底部には赤色蛍光体809Rが、緑色放電室805Gの底部には緑色蛍光体809Gが、青色放電室805Bの底部には青色蛍光体809Bが各々配置されている。 Phosphor 809 of red (R), green (G), and emits fluorescent light of any color of blue (B), red phosphors 809R at the bottom of the red discharge chamber 805R has a green discharge chamber 805G the bottom green phosphor 809G is, on the bottom of the blue discharge chamber 805B are arranged each blue phosphor 809B.

第2基板802の図中下側の面には、上記アドレス電極806と直交する方向に複数の表示電極811が所定の間隔で縞状に形成されている。 The figure below the surface of the second substrate 802, a plurality of display electrodes 811 in a direction perpendicular to the address electrodes 806 are formed in stripes at a predetermined interval. そして、これらを覆うように誘電体層812、及びMgOなどからなる保護膜813が形成されている。 Then, a protective film 813 made of a dielectric layer 812, and MgO so as to cover is formed.
第1基板801と第2基板802とは、アドレス電極806と表示電極811が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。 The first substrate 801 and the second substrate 802 are bonded so as to face in a state where the display electrode 811 and the address electrodes 806 are perpendicular to each other. なお、上記アドレス電極806と表示電極811は図示しない交流電源に接続されている。 Incidentally, the address electrodes 806 and the display electrodes 811 are connected to an AC power source, not shown.
そして、各電極806,811に通電することにより、放電表示部803において蛍光体809が励起発光し、カラー表示が可能となる。 By energizing the electrodes 806,811, the phosphor 809 is excited to emit light, thereby enabling color display in the discharge display section 803.

本実施形態においては、上記アドレス電極806、表示電極811、及び蛍光体809を、図10に示した液滴吐出装置201を用いて形成することができる。 In this embodiment, the address electrodes 806, display electrodes 811, and the phosphor 809 can be formed using the droplet ejection apparatus 201 shown in FIG. 10. 以下、第1基板801におけるアドレス電極806の形成工程を例示する。 It is exemplified below step of forming the address electrodes 806 in the first substrate 801.
この場合、第1基板801を液滴吐出装置201のセットテーブル222に載置された状態で以下の工程が行われる。 In this case, the following steps are performed in a state where the first substrate 801 is placed on the set table 222 of the droplet discharge device 201.
まず、機能液滴吐出ヘッド252により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。 First, the functional liquid droplet ejecting heads 252, to land on the address electrode forming area liquid material containing a conductive film wiring forming material (functional liquid) as a function liquid droplet. この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。 The liquid material is, as the conductive film wiring forming material is obtained by dispersing in a dispersion medium conductive particles such as metal. この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、又はニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。 As the conductive fine particles, gold, silver, copper, palladium, or or metal fine particles containing nickel, a conductive polymer or the like is used.

補充対象となる全てのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極806が形成される。 If all of the address electrode forming region to be replenished subject replenishment of the liquid material is completed, the address electrodes 806 is formed by causing a liquid material after the ejection drying processes, evaporate the dispersion medium contained in the liquid material .

ところで、上記においてはアドレス電極806の形成を例示したが、上記表示電極811及び蛍光体809についても上記各工程を経ることにより形成することができる。 Incidentally, in the above has been illustrated in the formation of the address electrodes 806 can be formed by undergoing the above steps for the display electrodes 811 and the phosphors 809.
表示電極811の形成の場合、アドレス電極806の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料(機能液)を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。 For formation of the display electrodes 811, as in the case of the address electrodes 806, to land in the display electrode forming area liquid material containing a conductive film wiring forming material (functional liquid) as a function liquid droplet.
また、蛍光体809の形成の場合には、各色(R,G,B)に対応する蛍光材料を含んだ液体材料(機能液)を機能液滴吐出ヘッド252から液滴として吐出し、対応する色の放電室805内に着弾させる。 In the case of formation of a phosphor 809, ejecting each color (R, G, B) a liquid material containing a fluorescent material corresponding to the (functional liquid) droplets from the functional liquid droplet ejecting heads 252, corresponding to land the color of the discharge chamber 805.

次に、図28は、電子放出装置(FED装置あるいはSED装置ともいう:以下、単に表示装置900と称する)の要部断面図である。 Next, FIG. 28, the electron-emitting device (also referred to as a FED device or SED device: hereinafter, simply referred to as a display device 900) is a fragmentary cross-sectional view of. なお、同図では表示装置900を、その一部を断面として示してある。 Incidentally, the display device 900 in the drawing, there is shown a part of a cross-section.
この表示装置900は、互いに対向して配置された第1基板901、第2基板902、及びこれらの間に形成される電界放出表示部903を含んで概略構成される。 The display device 900 is made up of a first substrate 901, second substrate 902 field emission display unit 903 and is formed between these, which are arranged opposite to each other. 電界放出表示部903は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部905により構成されている。 The field emission display unit 903 is composed of a plurality of electron emission portions 905 arranged in a matrix.

第1基板901の上面には、カソード電極906を構成する第1素子電極906aおよび第2素子電極906bが相互に直交するように形成されている。 On the upper surface of the first substrate 901, a first element electrode 906a and the second element electrode 906b constituting the cathode electrode 906 is formed so as to be perpendicular to each other. また、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bで仕切られた部分には、ギャップ908を形成した導電性膜907が形成されている。 Further, the partitioned portion in the first element electrode 906a and the second element electrode 906b, a conductive film 907 which forms a gap 908 is formed. すなわち、第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907により複数の電子放出部905が構成されている。 That is, the first element electrode 906a, a plurality of electron emitting portion 905 by the second element electrode 906b and the conductive film 907 is formed. 導電性膜907は、例えば酸化パラジウム(PdO)等で構成され、またギャップ908は、導電性膜907を成膜した後、フォーミング等で形成される。 Conductive film 907, for example, a palladium oxide (PdO) or the like, and the gap 908, after forming a conductive film 907 is formed by forming or the like.

第2基板902の下面には、カソード電極906に対峙するアノード電極909が形成されている。 The lower surface of the second substrate 902, an anode electrode 909 facing the cathode electrode 906 is formed. アノード電極909の下面には、格子状のバンク部911が形成され、このバンク部911で囲まれた下向きの各開口部912に、電子放出部905に対応するように蛍光体913が配置されている。 The lower surface of the anode electrode 909, lattice-shaped bank portion 911 is formed, downwardly of each opening 912 surrounded by the bank portions 911, a phosphor 913 is disposed so as to correspond to the electron emission portion 905 there. 蛍光体913は、赤(R)、緑(G)、青(B)の何れかの色の蛍光を発光するもので、各開口部912には、赤色蛍光体913R、緑色蛍光体913Gおよび青色蛍光体913Bが、上記した所定のパターンで配置されている。 Phosphor 913 of red (R), green (G), and emits fluorescent light of any color of blue (B), the respective openings 912, red phosphor 913R, the green phosphor 913G, and the blue phosphor 913B are arranged in a predetermined pattern above.

そして、このように構成した第1基板901と第2基板902とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。 Then, the first substrate 901 of this configuration and the second substrate 902 are bonded with a small gap therebetween. この表示装置900では、導電性膜(ギャップ908)907を介して、陰極である第1素子電極906aまたは第2素子電極906bから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極909に形成した蛍光体913に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。 In the display device 900, through the conductive film (gap 908) 907, electrons jumping out of the first element electrode 906a and the second element electrode 906b is a cathode, the phosphor 913 formed on the anode electrode 909 is an anode rely excited to emit light, it is possible to color display.

この場合も、他の実施形態と同様に、第1素子電極906a、第2素子電極906b、導電性膜907およびアノード電極909を、液滴吐出装置201を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体913R,913G,913Bを、液滴吐出装置201を用いて形成することができる。 In this case, as in the other embodiments, the first element electrode 906a, the second element electrode 906b, a conductive film 907 and the anode electrode 909, it is possible to be formed by using a droplet discharge device 201, each color phosphors 913R, 913G, and 913B, may be formed by using a droplet discharge device 201.

第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907は、図29(a)に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図29(b)に示すように、予め第1素子電極906a、第2素子電極906bおよび導電性膜907を作り込む部分を残して、バンク部BBを形成(フォトリソグラフィ法)する。 The first element electrode 906a, the second element electrode 906b and the conductive film 907 has a planar shape shown in FIG. 29 (a), in the case of forming them, as shown in FIG. 29 (b) to advance the first element electrode 906a, leaving a part to fabricate a second element electrode 906b and the conductive film 907, forming a bank part BB to (photolithography). 次に、バンク部BBにより構成された溝部分に、第1素子電極906aおよび第2素子電極906bを形成(液滴吐出装置201によるインクジェット法)し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜907を形成(液滴吐出装置201によるインクジェット法)する。 Then, the configured groove portion by the bank unit BB, a first element electrode 906a and the second element electrode 906b is formed (an inkjet method with the liquid droplet ejection device 201), the film formation was carried out and the solvent was dried after forming a conductive film 907 (ink-jet method by the droplet discharge device 201). そして、導電性膜907を成膜後、バンク部BBを取り除き(アッシング剥離処理)、上記のフォーミング処理に移行する。 Then, after forming a conductive film 907, removing the bank portion BB (ashing exfoliation process), the process proceeds to the above-described forming process. なお、上記の有機EL装置の場合と同様に、第1基板901および第2基板902に対する親液化処理や、バンク部911,BBに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。 As in the case of the above-described organic EL device, and lyophilic processing on the first substrate 901 and second substrate 902, it is possible to perform the liquid-repelling treatment for the bank section 911, BB, preferred.

また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。 As other electro-optical devices, metal wiring formation, lens formation, resist formation and light diffuser forming or the like of the apparatus can be considered. 上記した液滴吐出装置201を各種の電気光学装置(デバイス)の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。 By using the droplet ejection apparatus 201 described above in the manufacture of various types of electro-optical device (device), it is possible to produce a variety of electro-optical devices efficiently.

1 インクジェットプリンタ 23 インク供給手段 25 制御手段 41 インクジェットヘッド 81 インクカートリッジ 112 加圧ポンプ 115 圧力センサ 121 圧力調整弁 167 制御部。 1 inkjet printer 23 ink supply means 25 control means 41 inkjet head 81 ink cartridge 112 pressure pump 115 pressure sensor 121 pressure regulating valve 167 control unit.

Claims (6)

  1. 機能液タンクを加圧し機能液吐出ヘッドへ機能液を供給する液滴吐出装置の制御方法であって、 The functional liquid tank A method of controlling a pressurized functional liquid supplying liquid droplet ejection apparatus the functional liquid to the discharge head,
    前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であるか否かを確認する描画動作確認工程と、 A drawing operation check step of the functional liquid droplet ejection head checks whether is in drawing operation,
    前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中ではないと確認した時に、前記機能液タンクを予め設定した上限圧力まで加圧する非描画動作中加圧工程と、 When the functional liquid droplet ejecting heads is confirmed not to be in drawing operation, and a non-drawing operation in pressurizing step of pressurizing to the upper limit pressure is set to the functional liquid tank in advance,
    前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中だと確認した時に、前記機能液滴吐出ヘッドが描画領域を外れてから前記上限圧力より低い圧力まで加圧する描画動作中加圧工程と When the functional liquid droplet ejection head is sure that during a drawing operation, and the functional liquid droplet ejecting heads drawing operation in pressurizing step of pressurizing from outside the drawing area to a pressure lower than the upper limit pressure
    を備えることを特徴とする液滴吐出装置の制御方法。 The method of the droplet discharge device, characterized in that it comprises a.
  2. 前記機能液タンクはケースに収納されており、前記ケース内にエアーを供給することにより前記機能液タンクを加圧することを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置の制御方法。 The functional liquid tank is housed in the case, the control method of the liquid ejecting device according to claim 1, characterized in that pressurizing the functional liquid tank by supplying air into the case.
  3. 前記機能液タンク内の圧力を検出する圧力検出工程を備え、 A pressure detecting step of detecting the pressure of the functional liquid tank,
    前記機能液タンク内の圧力が所定圧力以下の時に、前記機能液タンクを加圧することを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置の制御方法。 Control method for a liquid ejecting device according to claim 1 or 2 pressure of the functional liquid in the tank when more than a predetermined pressure, characterized in that pressurizing the functional liquid tank.
  4. 機能液タンクを加圧し機能液吐出ヘッドへ機能液を供給する液滴吐出装置であって、 A droplet ejection apparatus for supplying a functional liquid the functional liquid tank to the pressurizing function liquid ejection head,
    前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中であるか否かを確認する描画動作確認手段と、 A drawing operation confirmation means for the functional liquid droplet ejection head checks whether is in drawing operation,
    機能液タンクを加圧する加圧手段を備え、 Includes a pressurizing means for pressurizing the functional liquid tank,
    前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中ではないと確認した時に、前記各種類の機能液タンクを予め設定した上限圧力まで加圧し、前記機能液滴吐出ヘッドが描画動作中だと確認した時に、前記機能液滴吐出ヘッドが描画領域を外れてから前記上限圧力より低い圧力まで加圧することを特徴とする液滴吐出装置。 When the functional liquid droplet ejecting heads is confirmed not to be in the drawing operation, each type of functional liquid tank preset limit pressure to pressurized, when the functional liquid droplet ejection head is sure that during a drawing operation, droplet discharge device, characterized in that the functional liquid droplet ejecting heads is pressurized from outside the drawing area to a pressure lower than the upper limit pressure.
  5. 前記機能液タンクはケースに収納されており、前記ケース内にエアーを供給することにより前記機能液タンクを加圧することを特徴とする請求項に記載の液滴吐出装置。 The functional liquid tank is housed in the case, the liquid droplet ejection apparatus according to claim 4, characterized in that pressurizing the functional liquid tank by supplying air into the case.
  6. 前記機能液タンク内の圧力を検出する圧力検出手段を備え、 A pressure detecting means for detecting the pressure of the functional liquid tank,
    前記機能液タンク内の圧力が所定圧力以下の時に、前記機能液タンクを加圧することを特徴とする請求項4または5に記載の液滴吐出装置。 The functional liquid when the pressure in the tank is below a predetermined pressure drop ejection device according to claim 4 or 5, characterized in that pressurizing the functional liquid tank.
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