JP4637941B2 - プラズマディスプレイパネルおよびこれを用いたプラズマディスプレイ装置 - Google Patents
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Description
前記MgOの保護膜は二次電子放射係数が高く、放電開始電圧を低減するには有効である。しかし近年、PDPの高精細化の要求に伴ってアドレス速度を向上させる必要が生じ、この結果、放電遅れの改善が新たに重要な課題となっている。
ところが、本願発明者が検討した結果、保護膜上に単結晶のMgO粉末を付着させたPDPにおいては、以下に示す新たな課題が生じることを見出した。
まず、図1および図2を用いて本実施の形態のPDPの構造の一例についてカラー表示用のAC駆動型の3電極面放電型PDPを例に説明する。図1は本実施の形態のPDPの要部を拡大して示す要部拡大組み立て斜視図、図2は図1に示す前面基板構造体の上下を反転させて保護層の表面状態を示す要部拡大斜視図である。
次に、図3〜図5を用いて図1に示すPDP1を組み込んだPDPモジュールの駆動方式の一例について説明する。図3は図1に示すPDPを組み込んだPDPモジュールの全体構成を概略的に示すブロック図である。また、図4は図3に示すPDPモジュールにおける階調駆動シーケンスの一例を示す説明図、図5は図3に示すPDPモジュールにおける駆動波形の一例を示す説明図である。
次に図1および図2に示す保護層18の詳細な構造および機能について説明する。図2において、保護層18は誘電体層17の表面に積層されるMgO膜18aと、MgO膜18a上に付着する複数のMgO結晶粒子18bとを備えている。MgO結晶粒子18bはMgOの単結晶粒子であり、各粒子の形状は、例えばそれぞれ立方形である。なお、MgO膜18a上に付着するMgO結晶粒子18bは、図2に示すように1個の粒子が独立して付着している場合と、複数の粒子が凝集した状態で付着している場合がある。本実施の形態では、これらが混在した状態で付着している。
本発明者は、PDP1の温度が常温の25℃である場合に、MgO膜18aの結晶配向を(110)配向とすることにより、アドレス電圧変化量の増大を抑制することができることを見出した。ところが、PDP1の温度が上昇するにつれて、アドレス放電電圧変化量が増大することが判明した。また、アドレス放電電圧変化量が増大する程度は、MgO膜18aに含まれる(110)面以外の結晶面が含まれる割合、あるいはMgO膜18aに含まれる不純物の割合に応じて異なることが判明した。
次に、図1および図2に示す保護層を形成する工程について説明する。図11は本実施の形態のMgO膜を成膜する装置の概要を示す要部断面図である。また、図12は、図10に示す実施例1〜実施例5、および比較例1の成膜条件を示す説明図である。
本実施の形態では、以下の理由からMgO結晶粒子18bによるMgO膜の被覆率を10%以下としている。
前述の通り、本実施の形態によれば、MgO膜18aの結晶配向を(110)配向とすることにより、(111)配向の場合と比較してMgO膜18aの結晶密度を高くすることができる。このため、MgO膜18aの耐スパッタ性を向上させることができる。
11 前面基板構造体(第1基板構造体)
12 背面基板構造体(第2基板構造体)
13 前面基板(第1基板)
13a 第1の面(表面)
14 X電極(表示電極)
14a X透明電極
14b Xバス電極
15 Y電極(表示電極)
15a Y透明電極
15b Yバス電極
17 誘電体層
18 保護層
18a MgO膜
18b MgO結晶粒子
19 背面基板(第2基板)
20 アドレス電極
21 誘電体層
22 隔壁
23、23r、23g、23b 蛍光体
24 放電空間
25 セル
30 PDPモジュール
31 結晶柱
32 隙間
33 ターゲット材
34 成膜装置
34a 減圧チャンバ
34b ルツボ
34c 加熱源
Claims (7)
- 放電ガスを封入して形成された放電空間を介して対向する一対の基板構造体を備え、前記一対の基板構造体の一方は、基板上に配置された複数の表示電極対と、前記複数の表示電極対を被覆する誘電体層と、前記誘電体層を被覆する保護層とを有し、
前記保護層は、前記誘電体層の表面に積層されるMgO(酸化マグネシウム)膜と、前記MgO膜上に付着する複数のMgO結晶粒子とを備え、
前記MgO膜の結晶配向として(110)配向が主たる配向となっており、
前記複数のMgO結晶粒子の結晶配向は、(100)配向を有し、
前記保護層について、X線回折信号強度測定を行い、(220)面のピーク強度をμm単位で表わした前記MgO膜の膜厚で除した値は、(200)面のピーク強度を前記MgO膜上における前記複数のMgO結晶粒子による被覆率で除した値に対して、0.8倍以上であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記保護層について、X線回折信号強度測定を行い、(220)面のピーク強度をμm単位で表わした前記MgO膜の膜厚で除した値は、(200)面のピーク強度を前記MgO膜上における前記複数のMgO結晶粒子による被覆率で除した値に対して、等倍以上であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記MgO膜の表面の被覆率は10%以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記MgO膜には不純物としてSi(シリコン)が含まれ、前記Siの濃度は150ppm以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記保護層について、X線回折信号強度測定を行い、(220)面のピーク強度をμm単位で表わした前記MgO膜の膜厚で除した値は、(200)面のピーク強度を前記MgO膜上における前記複数のMgO結晶粒子による被覆率で除した値に対して、等倍以上であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項5に記載のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記MgO膜の表面の被覆率は10%以下であることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - プラズマディスプレイパネルと、
前記プラズマディスプレイパネルを駆動する回路と、を有し、
前記プラズマディスプレイパネルは、
放電ガスを封入して形成された放電空間を介して対向する一対の基板構造体を備え、前記一対の基板構造体の一方は、基板上に配置された複数の表示電極対と、前記複数の表示電極対を被覆する誘電体層と、前記誘電体層を被覆する保護層とを有し、
前記保護層は、前記誘電体層の表面に積層されるMgO(酸化マグネシウム)膜と、前記MgO膜上に付着する複数のMgO結晶粒子とを備え、
前記MgO膜の結晶配向として(110)配向が主たる配向となっており、
前記複数のMgO結晶粒子の結晶配向は、(100)配向を有し、
前記保護層について、X線回折信号強度測定を行い、(220)面のピーク強度をμm単位で表わした前記MgO膜の膜厚で除した値は、(200)面のピーク強度を前記MgO膜上における前記複数のMgO結晶粒子による被覆率で除した値に対して、0.8倍以上であることを特徴とするプラズマディスプレイ装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008248119A JP4637941B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | プラズマディスプレイパネルおよびこれを用いたプラズマディスプレイ装置 |
US12/545,958 US8405312B2 (en) | 2008-09-26 | 2009-08-24 | Plasma display panel and method of manufacturing the same and plasma display device using the plasma display panel |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008248119A JP4637941B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | プラズマディスプレイパネルおよびこれを用いたプラズマディスプレイ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010080300A JP2010080300A (ja) | 2010-04-08 |
JP4637941B2 true JP4637941B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=42056894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008248119A Expired - Fee Related JP4637941B2 (ja) | 2008-09-26 | 2008-09-26 | プラズマディスプレイパネルおよびこれを用いたプラズマディスプレイ装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8405312B2 (ja) |
JP (1) | JP4637941B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4903124B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2012-03-28 | 株式会社日立製作所 | プラズマディスプレイパネル |
CN102087944B (zh) * | 2010-09-30 | 2012-09-05 | 四川虹欧显示器件有限公司 | 等离子体显示面板的复合介质保护膜及其制备方法 |
JP5881475B2 (ja) * | 2012-03-05 | 2016-03-09 | タテホ化学工業株式会社 | 酸化マグネシウム薄膜の製造方法 |
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Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3247632B2 (ja) | 1997-05-30 | 2002-01-21 | 富士通株式会社 | プラズマディスプレイパネル及びプラズマ表示装置 |
JP3842276B2 (ja) | 2004-02-26 | 2006-11-08 | パイオニア株式会社 | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
JP4541840B2 (ja) * | 2004-11-08 | 2010-09-08 | パナソニック株式会社 | プラズマディスプレイパネル |
KR20080004981A (ko) * | 2006-07-07 | 2008-01-10 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널 |
WO2008047910A1 (fr) * | 2006-10-20 | 2008-04-24 | Panasonic Corporation | Écran à plasma et procédé de fabrication de celui-ci |
-
2008
- 2008-09-26 JP JP2008248119A patent/JP4637941B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-08-24 US US12/545,958 patent/US8405312B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100079417A1 (en) | 2010-04-01 |
US8405312B2 (en) | 2013-03-26 |
JP2010080300A (ja) | 2010-04-08 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100723 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101124 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |