JP4620447B2 - Cylinder position detecting device, fluid power cylinders - Google Patents

Cylinder position detecting device, fluid power cylinders

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JP4620447B2 JP2004375599A JP2004375599A JP4620447B2 JP 4620447 B2 JP4620447 B2 JP 4620447B2 JP 2004375599 A JP2004375599 A JP 2004375599A JP 2004375599 A JP2004375599 A JP 2004375599A JP 4620447 B2 JP4620447 B2 JP 4620447B2
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本発明は、油圧あるいは空圧シリンダのピストン位置を絶対値として検出するシリンダ位置検出装置及びこのシリンダ位置検出装置を備えた油空圧シリンダに関する。 The present invention relates to a fluid power cylinder having a cylinder position detecting device and the cylinder position detecting device for detecting the piston position of the hydraulic or pneumatic cylinder as an absolute value.

油圧シリンダあるいは空圧シリンダは、産業界における駆動手段として多方面に用いられており、使用目的によっては、そのピストン位置を検出する必要がある場合があり、本発明のシリンダ位置検出装置は、特に、その位置を絶対値として検出するものである。 A hydraulic cylinder or pneumatic cylinder is used in many fields as a driving unit in the industry, the use purpose, there may be a need to detect the piston position, the cylinder position detecting device of the present invention, in particular and detects the position as an absolute value.

かかるシリンダ位置検出装置としては、特許文献1に記載されたものが公知となっており、図6(a)はその外観斜視図、(b)はその要部の概念説明図である。 Such cylinder position detecting device, has become known as described in Patent Document 1, FIG. 6 (a) appearance perspective view, (b) is a conceptual explanatory view of the main part.

このシリンダ検出装置は、図6(a)に示すようにシリンダ本体12とピストンを先端に設けたピストンロッド13を備えた油空圧シリンダ11の、ピストンロッド13に形成され、その軸方向位置に対応して円周方向位置が比例変化する磁気応答部15と、シリンダ本体12に設けられたセンサ部16で構成され、このセンサ部16で磁気応答部15の円周方向位置を読み取って、このピストンロッドつまりピストンの軸方向位置を検出するものである。 The cylinder detection device, the fluid power cylinder 11 having a piston rod 13 having a cylinder body 12 and the piston to the tip as shown in FIG. 6 (a), is formed in the piston rod 13, in its axial position a magnetic responding unit 15 circumferential positions is proportional changes corresponding, consists of a sensor unit 16 provided in the cylinder body 12, reads the circumferential position of the magnetic responding unit 15 in the sensor unit 16, the and it detects the axial position of the piston rod, i.e. the piston.

図6(b)は、ピストンロッド14の表面展開図の上に磁気応答部15の形成位置と、センサ部15の検出位置を示したものであり、この装置では、この図6(b)に示すように、磁気応答部15R、15L、センサ部16R、16Lをピストンロッド14の軸対象に一対で設け、この一対のセンサ部16R、16Lの出力を用いて、ピストンロッド14の回転の影響を除去するようにしている。 6 (b) is a formation position of the magnetic responding unit 15 onto the surface development view of the piston rod 14, which shows a detection position of the sensor unit 15, in this apparatus, in FIG. 6 (b) as shown, the magnetic responding unit 15R, 15L, the sensor unit 16R, is provided with a pair of 16L in the axial object of the piston rod 14, the pair of sensor portions 16R, using the output of 16L, the influence of the rotation of the piston rod 14 followed by removal.

このシリンダ位置検出装置は、このような簡易な構成でありながら、ピストンロッドの軸方向位置を、ピストンロッドの回転の影響を受けることなく、絶対値として検出することができるものである。 The cylinder position detecting device, yet such a simple configuration, the axial position of the piston rod, without being affected by the piston rod rotation, in which can be detected as an absolute value.

しかしながら、この検出装置においては、ピストンロッドの回転の影響を避けるためには、必ず、一対の二本の磁気応答部が必要で、その分のコストを要していた。 However, in this detection device, in order to avoid the influence of the piston rod rotation is always required magnetic response of a pair of two, it takes costs of that amount.
特開平11−336713号公報(図1、図5) JP 11-336713 discloses (Fig. 1, Fig. 5)

本発明は、磁気応答部を一本設けるだけでピストンロッドの回転の影響を受けることなくピストンの軸方向位置を検出することができるシリンダ位置検出装置、このシリンダ位置検出装置を備えた油空圧シリンダを提供することを目的としている。 The present invention, cylinder position detecting device capable of detecting the axial position of the piston without being affected by the rotation of the piston rod only by providing one magnetic responding unit, equipped with the cylinder position detector fluid power and its object is to provide a cylinder.

本発明のシリンダ位置検出装置は、ピストンロッドに形成され、その軸方向位置に対応して円周方向位置が変化する磁気応答部をシリンダ本体に設けられた磁気センサ部で読み取って、このピストンロッドの軸方向位置を検出するシリンダ位置検出装置であって、 Cylinder position detecting device of the present invention is formed in the piston rod, by reading a magnetic responding unit that circumferential position changes in response to the axial position by the magnetic sensor unit provided in the cylinder body, the piston rod a cylinder position detecting device for detecting the axial position of,
前記磁気応答部を前記ピストンロッドに一本だけ設け、該磁気応答部の前記ピストンロッドの軸方向位置に対する円周方向位置の傾きを、その傾きから前記軸方向位置が実用的に一意に定まるものとし、 前記磁気センサ部は、複数の磁気検出部を備え、これらの磁気検出部を前記シリンダ本体の軸方向及び円周方向に配列し、これらから前記傾きを得るものとし、こうして得られた傾きからピストンロッドの軸方向位置を検出し得るものとしたことを特徴とする。 That the provided magnetic responding unit by one to the piston rod, the inclination of circumferential position with respect to the axial position of the piston rod of the magnetic responding unit, is determined practically uniquely the axial position of the slope and then, the magnetic sensor unit includes a plurality of magnetic detectors, arranged these magnetic detection portion in the axial direction and the circumferential direction of the cylinder body, the inclination and to obtain the inclination, thus obtained from these characterized in that the axial position of the piston rod and intended to be detected from.

本発明の油空圧シリンダは、上記シリンダ位置検出装置を備えたことを特徴とする。 Oil pneumatic cylinder of the present invention is characterized by comprising the cylinder position detecting device.

本発明のシリンダ位置検出装置によれば、磁気応答部の、前記ピストンロッドの軸方向位置に対する円周方向位置の傾きを、その傾きから前記軸方向位置が実用的に一意に定まるものとし、 前記磁気センサ部は、複数の磁気検出部を備え、これらの磁気検出部を前記シリンダ本体の軸方向及び円周方向に配列し、これらから前記傾きを得るものとし、こうして得られた傾きからピストンロッドの軸方向位置を検出し得るものとしたので、一本の磁気応答部だけでピストンロッドつまりピストンの軸方向位置をその回転の影響を受けることなく検出することができる。 According to the cylinder position detecting device of the present invention, the magnetic responding unit, the inclination of circumferential position with respect to the axial position of the piston rod, the axial position of the inclination assumed determined practically unique, the the magnetic sensor unit includes a plurality of magnetic detectors, arranged these magnetic detection portion in the axial direction and the circumferential direction of the cylinder body, and from these shall obtain the slope, the piston rod from the slope thus obtained since those with the capable of detecting the axial position of, can be detected without the axial position of the piston rod, that the piston only magnetic response of the one being affected by the rotation.

また、本発明の油空圧シリンダによれば、上記シリンダ位置検出装置の効果をシリンダとして発揮する。 Further, according to the oil pneumatic cylinder of the present invention, to exhibit the effect of the cylinder position detecting device as a cylinder.

以下に、本発明の実施の形態(実施例)について、図面を用いて説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention (Examples) will be described with reference to the drawings.

図1は、(a)は本発明のシリンダ位置検出装置を備えた油空圧シリンダの一例の縦断面図、(b)はその要部の概念説明図、図2(a)は図1のセンサ部の機能説明図、(b)は(a)で用いる換算用グラフを示す図である。 Figure 1, (a) represents an example longitudinal cross-sectional view of the fluid power cylinder having a cylinder position detecting device of the present invention, (b) is a conceptual explanatory view of the main portion, FIG. 2 (a) of FIG. 1 functional description view of the sensor unit, (b) is a diagram showing a conversion for graphs used in (a).

この油空圧シリンダ1は、産業界における駆動手段として多方面に用いられるもので、図1(a)に示すように、シリンダ本体2と、このシリンダ本体2内にスライド可能に収容されたピストン3と、このピストン3を先端に備え、そのスライドにより発生する駆動力を外部へ出力するピストンロッド4とを備えている。 The fluid power cylinder 1 is used in many fields as a driving unit in the industry, as shown in FIG. 1 (a), piston and cylinder body 2, which is slidably received in the cylinder body 2 and 3, including the piston 3 to the distal end, and a piston rod 4 that outputs a driving force generated by the slide to the outside.

ピストンロッド4の外円周には、その軸方向位置に対応して円周方向位置が変化する磁気応答部5が形成され、この磁気応答部5の他の部分に比較した磁気変化を検出する磁気センサ部6がシリンダ本体2に設けられている。 The outer circumference of the piston rod 4, the magnetic responding unit 5 which circumferential position changes are formed in correspondence with the axial position, to detect a magnetic change compared to other parts of the magnetic responding unit 5 magnetic sensor unit 6 is provided in the cylinder body 2.

磁気センサ部6は、複数の磁気検出素子である磁気検出部6aを備え、これらの磁気検出部6aをシリンダ本体2の円周方向に配列して、これらの検出データから磁気応答部5の円周方向位置を得ることができる点は、図6の従来例のものと同様であるので、詳細な説明は省略する。 The magnetic sensor unit 6 is provided with a magnetic detector 6a is a plurality of magnetic detection elements, by arranging these magnetic detectors 6a in the circumferential direction of the cylinder body 2, a circular magnetic responding unit 5 from these detection data it is that we can obtain circumferential position, is the same as the conventional example of FIG. 6, a detailed description thereof will be omitted.

こうして、上記磁気応答部5と磁気センサ部6とで、シリンダ位置検出装置7が構成されている。 Thus, in the above-mentioned magnetic response unit 5 and the magnetic sensor unit 6, the cylinder position detecting device 7 is constituted.

図1(b)は、ピストンロッド4の表面展開図の上に磁気応答部5の形成位置と、磁気センサ部6の設置(検出)位置を示したものであり、この展開図において図示したように、軸方向にx軸、円周方向にy軸が設定されている。 1 (b) is, the formation position of the magnetic responding unit 5 onto the surface development view of the piston rod 4, there is shown an installation (detection) position of the magnetic sensor unit 6, as shown in this exploded view to, x-axis in the axial direction, y-axis in the circumferential direction is set.

この図に示すように、磁気応答部5は一本しか設けられておらず、磁気センサ部6の複数の磁気検出部6aがシリンダ本体2の円周方向だけでなく軸方向にも広がりのあるように二列配置されている点が、図6の従来例のものと異なっている。 As shown in this figure, the magnetic responding unit 5 is not provided only one, a plurality of magnetic detectors 6a of the magnetic sensor unit 6 is a spread in the axial direction as well as the circumferential direction of the cylinder body 2 that it is arranged two rows, as is different from the conventional example of FIG.

このように軸方向に二列に磁気検出部6aを配置すると、この二列の磁気検出部6a間の距離がx方向の微小区間(固定値)となり、これに対して、各列で検出された円周方向位置:yの差がyの変化量となり、この微小区間とyの変化量との関係から、得るべき傾き:y′を得ることができる。 With this arrangement of the magnetic detection unit 6a in two rows in the axial direction, the two rows distance between the magnetic detection part 6a x-direction of the small sections (fixed value), and the contrast was detected in each column and circumferential position: the difference y is the change amount of y, the relationship between the change amount of the small section and y, to be obtained inclination: it is possible to obtain the y '.

図2(a)に示すように、磁気センサ部6は、上記複数の磁気検出部6aと、ここから得られたデータから、ピストンロッド4の軸方向位置:xに対する円周方向位置:yの傾き:y′及び図2(b)のグラフを用いて、その傾き:y′から、ピストンロッド4の軸方向位置:xを算出する位置演算手段6bとを備えている。 As shown in FIG. 2 (a), the magnetic sensor unit 6, the plurality of magnetic detectors 6a, from the data obtained from here, the axial position of the piston rod 4: circumferential position relative to x: y- gradient: 'with reference to the graph of and 2 (b), the slope: y' y from the axial position of the piston rod 4: and a position calculating means 6b for calculating the x.

つまり、この位置検出装置7においては、図2(b)に示すように、磁気応答部5の傾き:y′を、その傾き:y′から軸方向位置:xが実用的に一意に定まるものとし、磁気センサ部6を前記傾き:y′からピストンロッド4の軸方向位置:xを検出し得るものとしている。 That is, in the position detecting device 7, as shown in FIG. 2 (b), the gradient of the magnetic responding unit 5: 'a, the slope: y' y axial position from: x is practically unique to that determined and then, the magnetic sensor unit 6 inclination: the axial position of the piston rod 4 from y ': it is assumed that can detect x.

具体的には、この例の磁気応答部5の形状を示す式は、 y=√x となっており、その傾きを示す式は、 y′=1/(2√x) となっている。 Specifically, the formula showing the shape of the magnetic responding unit 5 in this example, has a y = √x, expression indicating the inclination has a y '= 1 / (2√x).

したがって、磁気センサ6aから磁気応答部5の傾き:y′が得られると、この値から、y′=1/(2√x)を逆にした式、 x=1/(4(y′)2)から、一意にピストンロッド4の軸方向位置:xを得ることができる。 Therefore, the inclination of the magnetic responding unit 5 from the magnetic sensor 6a: 'When is obtained, from this value, y' y = 1 / expression was (2√x) Conversely, x = 1 / (4 (y ') 2) uniquely the axial position of the piston rod 4: can be obtained x. しかも、この傾き:y′は、たとえピストンロッド4が回転したとしても同じ軸方向位置:xなら変化することがない。 Moreover, this inclination: y ', even if the same axial position as the piston rod 4 is rotated: do not change if x.

こうして、この位置検出装置7によれば、磁気応答部5の本数が一本であっても、ピストンロッド4の軸方向位置:xをその回転の影響を受けることなく演算することができる。 Thus, according to the position detecting device 7, even number of magnetic responding unit 5 is one, the axial position of the piston rod 4: x a can be computed without being affected by the rotation. また、これによって、磁気応答部5を二本設ける必要がなくなり、その分のコストを減らすことができる。 This also eliminates the need to provide a magnetically responsive portion 5 two, it is possible to reduce the cost of that amount.

このような位置検出装置7を備えた油空圧シリンダ1は、その装置7の効果をシリンダ1として発揮する。 Fluid power cylinder 1 having such a position detecting device 7 exhibits the effect of the device 7 as a cylinder 1.

また、磁気応答部5の傾き:y′を検出する磁気センサ部6としては、上述のように磁気検出部6aをシリンダ本体2の軸方向にも広がりのあるように配置する方法だけに限定されず、いかなる方法であれ、この傾き:y′を検出できるものであればよい。 The slope of the magnetic responding unit 5: a magnetic sensor unit 6 for detecting the y 'is limited to a method of arranging the magnetic detectors 6a to a spread in the axial direction of the cylinder body 2 as described above not, in any way, the inclination: as long as it can detect the y '.

図3(a)、(b)、(c)は本発明の他例のシリンダ位置検出装置で用いる磁気応答部の換算用グラフを示す図である。 FIG. 3 (a), a diagram showing a conversion for graphs of the magnetic responding unit to be used in another example of the cylinder position detecting device (b), (c) the present invention. これらの図では、磁気応答部5の種々の形状:yを示すグラフを実線で、その傾き:y′を示すグラフを点線で示している。 In these figures, various shapes of the magnetic responding unit 5: a graph showing the y by the solid line, the slope: shows a graph showing the y 'in dotted lines.

つまり、図3(a)では、 y=x2、 y′=2x、 That is, in FIG. 3 (a), y = x2, y '= 2x,
図3(b)では、 y=x3、 y′=3x2、 In FIG. 3 (b), y = x3, y '= 3x2,
図3(c)では、 y=sin(x)、y′=cos(x) In FIG. 3 (c), y = sin (x), y '= cos (x)
となっている。 It has become.

これらに示す磁気応答部5の形状例は、磁気応答部5の傾き:y′から軸方向位置:xが実用的に一意に定まるものの例示であり、このような磁気応答部を用いても上記本発明の位置検出装置の効果を同様に発揮することができ、そのような位置検出装置を備えた油圧シリンダとしては、その位置検出装置の効果をシリンダとして発揮することができる。 Shape of the magnetic responding unit 5 shown in these, the inclination of the magnetic responding unit 5: y 'from the axial position: x is an illustration of practically uniquely determined ones, the even using such a magnetic responding unit it can be similarly effective position detecting device of the present invention, the hydraulic cylinder with such a position detection apparatus, it is possible to exhibit the effect of the position detector as a cylinder.

本発明においては、磁気応答部5の形状としては、これらに限定されず、上記の条件が充足されるものであれば、どのようなものでも用いることができる。 In the present invention, the shape of the magnetic responding unit 5 is not limited thereto, as long as the above conditions are satisfied, it is possible to use even looks like.

図4は本発明の他例のシリンダ位置検出装置で用いる磁気応答部の換算用グラフを示す図である。 Figure 4 is a diagram showing a conversion for graphs of the magnetic responding unit to be used in another example of the cylinder position detector apparatus of the present invention. この図においても、磁気応答部5の形状:yを示すグラフを実線で、その傾き:y′を示すグラフを点線で示している。 Also in this figure, the shape of the magnetic responding unit 5: a graph showing the y by the solid line, the slope: shows a graph showing the y 'in dotted lines.

この磁気応答部5の形状は、この図4のy′のグラフが示すように、磁気応答部5の傾き:y′の変化の割合つまり変化率が一定でない点を特徴とする。 The shape of the magnetic responding unit 5 'as shown by the graph of the slope of the magnetic responding unit 5: y' This y in FIG rate clogging rate of change of change of features points not constant.

具体的には、この例では、その傾き:y′は軸方向位置:xと比例関係を示すもので、ピストンロッド4の全長の中間部分でより精度が求められ、そのため、この中間部分での傾き:2(y′=2x−10のxの係数「2」)が他の部分での傾き:1(y′=x、y′=x+10のxの係数「1」)より大きいものとなっている。 Specifically, in this example, the slope: y 'is axially located: shows a proportional relationship between x, more accuracy is obtained by the intermediate portion of the length of the piston rod 4, therefore, in the middle portion gradient: 2 (y '= coefficient of 2x-10 in x "2") the inclination of the other parts: 1 (y' a = x, y '= the coefficient "1" in the x of x + 10) greater than ing.

とすると、軸方向位置:x、円周方向位置:yとの間の関数式 x=1/2(y+10)で、円周方向位置から軸方向位置が算出でき、円周方向位置の変化に対する軸方向位置の変化の割合がより小さくなり、この中間部分で、ピストンロッド4の軸方向位置をより高い精度で検出することができることになる。 When the axial position: x, circumferential position: the function equation x = 1/2 between y (y + 10), the axial position from the circumferential position can be calculated, with respect to the change in the circumferential positions the rate of change of the axial position is smaller, in the intermediate portion, so that it is possible to detect the axial position of the piston rod 4 with higher accuracy.

つまり、このシリンダ位置検出装置7によれば、検出位置の精度要請に対応した精度でピストンロッド4の位置を検出することができ、また、このシリンダ位置検出装置7を備えた油空圧シリンダ1によれば、上記シリンダ位置検出装置7の効果をシリンダとして発揮することができる。 That is, according to the cylinder position detecting device 7, it is possible to detect the position of the piston rod 4 with an accuracy corresponding to the accuracy requirements of the position detection, also, fluid power cylinder 1 having the cylinder position detecting device 7 According to, it is possible to exhibit the effect of the cylinder position detecting device 7 as a cylinder.

図5は、本発明の他例のシリンダ位置検出装置の磁気応答部、磁気センサ部を概念的に示す図である。 5, the magnetic responding unit of another example of a cylinder position detecting device of the present invention, is a diagram conceptually showing a magnetic sensor unit. この図は、図1(b)と同様に、ピストンロッド4の表面展開図の上に磁気応答部5Aの形成位置と、磁気センサ部6Aの設置(検出)位置を示したものである。 This figure, as with FIG. 1 (b), the the formation position of the magnetic responding unit 5A on the surface development view of the piston rod 4, there is shown an installation of the magnetic sensor section 6A (detection) positions.

この位置検出装置7Aにおいては、その磁気応答部5Aがこの図に示すように、ピストンロッド4の表面にらせん状に形成され、これに対応して、磁気センサ部6Aの磁気検出部6aがこの磁気応答部5Aの円周方向位置をピストンロッド4の全周に渡って検出可能なように設置されている点が、図1のものを異なっている。 In this position detecting device 7A, as its magnetic response member 5A shown in this figure, it is formed in a spiral shape on the surface of the piston rod 4 and, correspondingly, the magnetic detecting portion 6a of the magnetic sensor section 6A this that over a circumferential position of the magnetic responding unit 5A the entire circumference of the piston rod 4 are arranged to allow detection is different to that of FIG.

このような方法であっても、磁気応答部5Aのピストンロッド4の軸方向位置:xに対する円周方向位置:yの傾き:y′を算出でき、結果、ピストン3の軸方向位置を得ることができ、加えて、らせん状とすることによって、傾き:y′を無制限に緩やかなものとすることができ、それに対応したより高い精度で軸方向位置を検出することができる。 Even in such a way, the axial position of the piston rod 4 of the magnetic responding unit 5A: circumferential position relative to x: y slope: y 'can be calculated, the result, to obtain the axial position of the piston 3 it can be, in addition, by a spiral, gradient: y 'to be a unlimited moderate ones, it is possible to detect the axial position at a higher accuracy corresponding thereto.

この方法は、ピストンロッド4が、その軸径に比べて軸長が長い場合で、円周方向に長い検出距離を取れない場合に有効である。 This method, piston rod 4, when the axial length is longer than the axial diameter is useful if you do not take a long detection distance in the circumferential direction.

本発明のシリンダ位置検出装置は、油空圧シリンダにおいて、そのピストンの位置検出が必要な場合に用いることができ、また、本発明の油空圧シリンダは、油空圧による駆動力が必要とされ、かつ、そのピストンの位置検出が必要とされるあらゆる産業分野に用いることができる。 Cylinder position detecting device of the present invention is a fluid power cylinder can be used when the position detection of the piston necessary, also, oil pneumatic cylinder of the present invention, the required driving force by oil pneumatic it is, and can be used in all industrial fields that the position detection of the piston is required.

(a)は本発明のシリンダ位置検出装置を備えた油空圧シリンダの一例の縦断面図、(b)はその要部の概念説明図 (A) is an example longitudinal cross-sectional view of the fluid power cylinder having a cylinder position detecting device of the present invention, (b) is a conceptual explanatory view of the main part (a)は図1の磁気センサ部の機能説明図、(b)は(a)で用いる換算用グラフを示す図 (A) is a view showing functional description view of the magnetic sensor section of FIG. 1, the conversion for graphs used in (b) is (a) (a)、(b)、(c)は本発明の他例のシリンダ位置検出装置で用いる磁気応答部の換算用グラフを示す図 (A), (b), (c) is a diagram showing a conversion for graphs of the magnetic responding unit to be used in another example of the cylinder position detector apparatus of the present invention 本発明の他例のシリンダ位置検出装置で用いる磁気応答部の換算用グラフを示す図 It shows the conversion for graphs of the magnetic responding unit to be used in another example of the cylinder position detector apparatus of the present invention 本発明の他例のシリンダ位置検出装置の磁気応答部、磁気センサ部を概念的に示す図 Diagram conceptually illustrating the magnetic responding unit, the magnetic sensor section of another example of a cylinder position detecting device of the present invention (a)は従来のシリンダ位置検出装置を備えた油空圧シリンダの外観斜視図、(b)はその要部の概念説明図 (A) is an external perspective view of a fluid power cylinder with a conventional cylinder position detecting device, (b) is a conceptual explanatory view of the main part

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 油空圧シリンダ 2 シリンダ本体 3 ピストン 4 ピストンロッド 5 磁気応答部 6 磁気センサ部 6a 磁気検出部 7 シリンダ位置検出装置 1 fluid power cylinder 2 cylinder body 3 piston 4 the piston rod 5 the magnetic responding unit 6 magnetic sensor unit 6a magnetic detector 7 cylinder position detecting device

Claims (4)

  1. ピストンロッドに形成され、その軸方向位置に対応して円周方向位置が変化する磁気応答部をシリンダ本体に設けられた磁気センサ部で読み取って、このピストンロッドの軸方向位置を検出するシリンダ位置検出装置であって、 Is formed on the piston rod, a magnetic responding unit that circumferential position changes in response to the axial position read by the magnetic sensor unit provided in the cylinder body, cylinder position for detecting the axial position of the piston rod a detection device,
    前記磁気応答部を前記ピストンロッドに一本だけ設け、該磁気応答部の前記ピストンロッドの軸方向位置に対する円周方向位置の傾きを、その傾きから前記軸方向位置が実用的に一意に定まるものとし、 前記磁気センサ部は、複数の磁気検出部を備え、これらの磁気検出部を前記シリンダ本体の軸方向及び円周方向に配列し、これらから前記傾きを得るものとし、こうして得られた傾きからピストンロッドの軸方向位置を検出し得るものとしたことを特徴とするシリンダ位置検出装置。 That the provided magnetic responding unit by one to the piston rod, the inclination of circumferential position with respect to the axial position of the piston rod of the magnetic responding unit, is determined practically uniquely the axial position of the slope and then, the magnetic sensor unit includes a plurality of magnetic detectors, arranged these magnetic detection portion in the axial direction and the circumferential direction of the cylinder body, the inclination and to obtain the inclination, thus obtained from these cylinder position detecting device being characterized in that it is assumed that can detect the axial position of the piston rod from.
  2. 前記傾きの変化率を、前記軸方向位置によって変化させるようにしたことを特徴とする請求項1記載のシリンダ位置検出装置。 The rate of change of the slope, according to claim 1 cylinder position detecting device, wherein it has to be changed by the axial position.
  3. 前記傾きの変化率を、前記ピストンロッドの軸方向位置のより高い精度が要求される部分で、より大きなものとしたことを特徴とする請求項2記載のシリンダ位置検出装置。 The rate of change of the slope, the higher part accuracy is required in the axial position of the piston rod, a cylinder position detecting device according to claim 2, characterized in that a larger one.
  4. 請求項1から3いずれか記載のシリンダ位置検出装置を備えたことを特徴とする油空圧シリンダ。 Fluid power cylinder, characterized in that it comprises a cylinder position detecting device 3 according to any one of claims 1.
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