JP4594314B2 - SiO蒸着材、SiO原料用Si粉末およびSiOの製造方法 - Google Patents
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Description
以下の説明において、本発明のSiO蒸着材に適用されるSiOの製造方法、さらにSiOを製造するために用いるSi原料に関しても本発明として説明する。
しかし、提案された製造方法で得られたSiO蒸着材は、基体に蒸着する際の成膜速度が遅く、生産性が悪くなるため、製造コストが嵩むことになる。このため、このSiO蒸着材から形成されたSiO蒸着膜を有する包装材料は、材料コストの高騰を回避することができない。
しかし、特開2003−246670号公報で開示されるSiO焼結体は、従来のSiO蒸着材料と比較して成膜速度を向上させることができるものの、包装材料用蒸着材としては、未だコスト低減が不充分であり、さらなる製造コストの低減が要請される。
(1)水素ガス含有量が120ppm以上であることを特徴とするSiO蒸着材である。
(2)水素ガス含有量が150ppm以上であることを特徴とするSiO蒸着材である。
(3)SiとSiO 2 の混合物を加熱し昇華したSiOガスを析出基体に析出させて得られた塊状の析出SiOを破砕や研磨で成形したことを特徴とする上記(1)または(2)に記載のSiO蒸着材である。
以上の説明では、食品、医療品および医薬品等の透明性とともにバリア性を有する包装材料として適用される場合について説明したが、本発明のSiOおよびSiO蒸着材は、さらにリチウム電池用電極材料(例えば、二次電池の負極材)としても適用することもできる。
図2は、SiO蒸着材中の水素ガス含有量とSiOの昇華速度との関係を示す図である。
言い換えると、水素ガス含有量が30ppm以上のSi粉末を原料としてSiOまたはSiO蒸着材を製造すれば、製造後においてSiOの水素ガス含有量を120ppm以上にすることができる。この場合に、均質なSiOまたはSiO蒸着材を製造するためには、さらに原料用Si粉末の水素ガス含有量を50ppm以上とするのが望ましい。
さらに、上記析出室2には、円筒体の内周面に原料室1で昇華した気体状のSiOを蒸着させるためのステンレス鋼からなる析出基体6が設けられる。
製造装置内の真空度は、特に限定しないが、通常、SiO蒸着材を製造する際に、慣用される条件を適用するのがよい。
このようにして得られた析出SiOは、120ppm〜1%(10000ppm)の水素ガスを含有する。
特に、SiOの水素ガス含有量が、150ppm以上である場合、その昇華速度が飛躍的に向上することが分かる。
前述のように、水素ガス含有量を150ppm以上とすれば、さらに昇華速度を飛躍的に速めることができ、例えば、水素ガス含有量が250ppm程度になれば、従来のSiOの昇華速度のほぼ2倍になり、0.030%/sec程度にすることができる。
平均粒径で10μmのSi粉末を、水素ガスを含有したArガス雰囲気中で、加熱温度が500〜600℃で熱処理し、水素ガス含有量が異なるSi粉末を作製した。
得られたSi粉末をSiO2粉末と混合、造粒した混合造粒原料とし、図1に示すSiO製造装置を用いて、原料容器に投入した混合造粒原料を1250〜1350℃に加熱し、昇華させて析出基体にSiOを析出させた。取り出した析出SiOから、水素ガス含有量が異なるSiOの試料を作製し、得られたSiOを破砕、研磨等で成形して供試用のSiO蒸着材とした。
Claims (3)
- 水素ガス含有量が120ppm以上であることを特徴とするSiO蒸着材。
- 水素ガス含有量が150ppm以上であることを特徴とするSiO蒸着材。
- SiとSiO 2 の混合物を加熱し昇華したSiOガスを析出基体に析出させて得られた塊状の析出SiOを破砕や研磨で成形したことを特徴とする請求項1または2に記載のSiO蒸着材。
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