JP4545720B2 - Icソーター、バーンインソート方法、およびこのバーンインソート方法によってソートされて製造されたic - Google Patents

Icソーター、バーンインソート方法、およびこのバーンインソート方法によってソートされて製造されたic Download PDF

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Description

本発明は、ICソーター、バーンインソート方法およびICに係り、より詳しくは、DC(Direct Current)特性検査を通過したICをバーンインボード(burn-in board)に収納してバーンインテストを行い、前記バーンインテスト済みのICをバーンインボードからアンロードして前記バーンインテスト結果に基づき等級別に分類して収納する装置としてのICソーター、このICソーターに採用されたバーンインソート方法およびこのバーンインソート方法によってソートされて製造されたICに関するものである。
図1は特許文献1に記載のバーンインソーターの構成を示す平面図、図2は図1に示した本体の上部に設置されたツールの動作状態図である。図1及び図2に示すように、バーンインソーターは、ボードローダー2、アンローダー3、DCリジェクト部4、トレイロード部5、DCテスト部6、ターン/リターン装置部7、Yテーブル8、空ポケット部9、トレイアンロード部10、及びソート部11を備える。
ボードローダー2及びアンローダー部3は、バーンインソーターの本体1の上部一側に設置され、DCリジェクト部4とトレイロード部5とは、それぞれボードローダー2及びアンローダー3の他側に設置される。DCテスト部6、ターンリターン装置部7及びYテーブル8は、それぞれトレイロード部5の他側に設置され、空ポケット部9、トレイアンロード部10及びソート部11は、それぞれターンリターン装置部7とYテーブル8の他側に設置される。また、本体1の上部には、多数のツール12,13,14,15が設置される。
多数のツール12,13,14,15のうち1番トランスファツール12及び2番トランスファツール13は、X軸方向に移動してそれぞれトレイロード部5でIC(図示せず)をDCテストし、テストの結果、正常ICはYテーブル8に位置したバーンインボード(図示せず)に移送し、誤り発生ICはDCリジェクト部4にそれぞれ移送するように設置される。また、3番ツール14は、X軸方向に移動し、バーンインテスト済みのICを等級によって空ポケット部9およびトレイアンロード部10にそれぞれ移送するように設置され、4番ツール15は、X軸方向に移動し、バーンインテストにより不良品と判定されたICを空ポケット部9からソート部11へ移動するように設置される。
ところが、従来のバーンインソーターは、ICを移送する多数のツールがX軸方向の自由度のみを持ち、これによりYテーブルを除いたDCリジェクト部4、トレイロード部5、DCテスト部6、空ポケット部9、トレイアンロード部10及びソート部11がX軸方向に並んで設置される。これにより、装備のフットプリント(Foot Print)が大きくなり、装備のサイズが増加するという問題点がある。さらに、多数のヘッドが直列に連結されて前記ツールインデックス時間が増加する。
韓国公開特許第1998-0071613号明細書
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、全サイズが減少し、フットプリントが小さくなる構造を持つICソーターと、前記ICソーターに採用されたバーンインソート方法と、前記バーンインソート方法によってソートされて製造されたICを提供することにある。
本発明の他の目的は、ヘッドのツールインデックス時間を減らすことが可能なICソーターと、前記ICソーターに採用されたバーンインソート方法と、前記バーンインソート方法によってソートされて製造されたICを提供することにある。
上記課題を解決するために、本発明のICソーターは、
バーンインボードを収納するボードテーブルと;
前記ボードテーブルからそれぞれ第1軸方向に離隔したトレイローダー及びトレイアンローダーと;
前記ボードテーブルの作業領域を介して前記第1軸方向に直交する第2軸方向に離隔して配置されたDCテストバッファ及びアンロードバッファと;
前記ボードテーブルから離隔して配置され、DCテストで誤りが発生したICを収納する少なくとも一つのDC誤りトレイ及び少なくとも一つのソートトレイを備えたソート部と;
前記トレイローダーの作業領域、前記DCテストバッファおよび前記DC誤りトレイの間を移動して、DCテストを受けるICを前記トレイローダーの前記作業領域から前記DCテストバッファに移動させ前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファから前記DC誤りトレイに移動させるDC誤り/ロードヘッドと;
前記アンロードバッファ、前記トレイアンローダーの作業領域および前記ソートトレイの間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーの作業領域に良品ICを搬送し、不良品ICを前記アンロードバッファから前記ソートトレイに搬送するアンロード/ソートヘッドと、
前記DCテストバッファ、前記ボードテーブルの前記作業領域および前記アンロードバッファの間を前記第2軸方向に移動して前記DCテストバッファから前記ボードテーブルの前記作業領域に良品ICを搬送し、前記ボードテーブルの前記作業領域から前記アンロードバッファにバーンインテストを終了したICを転送する挿入/除去ヘッドと
を備えることを特徴とする、ICソーター。
この場合、ICソーターは、前記トレイローダーと前記トレイアンローダーとの間を連結するトレイトランスファをさらに備えることができる。
また、前記トレイアンローダーの作業位置と前記アンロードバッファと前記ソート部のソートトレイとは、第1軸に沿って並んで配置され、前記アンロード/ソートヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されることが好ましい。
また、前記トレイローダーの作業位置と前記DCテストバッファと前記ソート部のDC誤りトレイとは、第1軸に沿って並んで配置され、前記DC誤り/ロードヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されることが好ましい。
この場合、前記トレイローダー及び前記トレイアンローダーは、前記ボードテーブルを介して離隔して配置されてもよく、前記ボードテーブルから同一の方向に配置されてもよい。
一方、前記挿入/除去ヘッドは、前記第1軸方向に並んで配置された単位列が前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域間の距離だけ前記第1軸方向に離隔して配置されてなる少なくとも2列のノズル群を備え、前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域との間を移動する距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間を移動する距離とが同一となるように配置される。前記ボードテーブルは、前記ボードテーブルの作業領域と前記DCテストバッファとの間の距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間の距離とが同一となるように移動可能に配置されることが好ましい。
また、ICソーターは、前記ボードテーブルにバーンインボードをロードするボードローダー、及び前記ボードテーブルからバーンインボードをアンロードするボードアンローダーをさらに備えることが好ましい。
また、前記ソート部の一側にトレイスタッカーをさらに備えることができる。
一方、本発明の他のICソーターは、
バーンインボードを収納するボードテーブルと;
前記ボードテーブルからそれぞれ第1軸方向に離隔したトレイローダー及びトレイアンローダーと;
前記ボードテーブルの作業領域を介して前記第1軸方向に直交する第2軸方向に離隔して配置されたDCテストバッファ及びアンロードバッファと;
前記ボードテーブルから離隔して配置され、DCテストで誤りが発生したICを収納する少なくとも一つのDC誤りトレイ及び少なくとも一つのソートトレイを備えたソート部と;
前記トレイローダーの作業領域、前記DCテストバッファおよび前記DC誤りトレイの間を移動して、DCテストを受けるICを前記トレイローダーの前記作業領域から前記DCテストバッファに移動させ、前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファから前記DC誤りトレイに移動させるDC誤り/ロードヘッドと;
前記アンロードバッファと前記トレイアンローダーの前記作業領域との間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーの前記作業領域に良品ICを転送するアンロードヘッドと;
前記アンロードバッファと前記ソートトレイの間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記ソートトレイに不良ICを転送するソートヘッドと;
前記DCテストバッファ、前記ボードテーブルの作業領域および前記アンロードバッファの間を前記第2軸方向に移動して前記DCテストバッファから前記ボードテーブルの前記作業領域に良品ICを転送し、前記ボードテーブルの作業領域から前記アンロードバッファにバーンインテストを終了したICを転送する挿入/除去ヘッドとを備え、
前記アンロードヘッドと前記ソートヘッドとが離隔していることを特徴とする、ICソーター。
一方、本発明の更に他のICソーターは、ICを移送させてDCテスト及びバーンインテストを行い、ICを等級別に分類するICソーターであって、X軸フレームの両側に移動可能に設置された少なくとも1つのヘッドと;前記X軸フレームの下部に設置されたY軸フレームの一側に所定の方向に移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドとを備え、前記Y軸フレームに設置されたヘッドは、その一側に複数列に設置されたピッカを備える。
一方、本発明の他の側面では、
バーンインテスト済みのICを収納したバーンインボードを、第1軸方向およびこの第1軸方向と直交する第2軸方向に移動可能に収容するボードテーブルへ移送し、トレイをトレイローダーの作業位置へ移送する段階と;
DC誤り/ロードヘッドによって、DCテストされるICを前記トレイローダーからDCテストバッファへ移送する段階と;
前記DCテストバッファでDCテストを行う段階と;
DC誤り/ロードヘッドによって、前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファからDC誤りトレイへ移送する段階と;
挿入/除去ヘッドによって、前記バーンインボードに収納されたICをアンロードバッファへ移送する段階と;
前記挿入/除去ヘッドによって、前記DCテストで誤りではないICを前記DCテストバッファから前記バーンインボードの空ソケットに移送する段階と;
トレイをトレイアンローダーの作業位置へ移送する段階と;
前記アンロードバッファに移送されたICのうち、良品ICを前記トレイアンローダーのトレイへ移送し、不良品ICをソートトレイへ移送する段階とを含み、
ICが転送される前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーのトレイおよび前記ソートトレイに前記第1軸方向に転送され、前記挿入/除去ヘッド前記第2軸方向に移動することを特徴とする、バーンインソート方法。
本発明によれば、トレイロード領域とアンロード領域が同一の軸に設置され、一つの駆動部によって前記トレイを移動させることができることにより、トレイ移動手段およびこれを駆動する装置の数が減少してソート作業速度を増加させることができ、ヘッドのインデックス時間を減らすことができ、これにより装備の生産性を改善することができる。
また、本発明によれば、バーンインソーターのサイズが減少して単位面積当たりの高生産性の実現が可能である。
<第1実施例>
図3は本発明の好適な一実施例に係るICソーターの平面構成図、図4は図3の変形例を示す平面構成図である。ICソーターは、バーンインテスト済みのICを等級別に分類する作業を主に行うので、以下、「バーンインソーター」という。
図3及び図4を参照すると、本発明の一実施例に係るバーンインソーター100は、ボードテーブル143、トレイローダー131及びトレイアンローダー133、DCテストバッファ121及びアンロードバッファ123、ソート部151、DC誤り/ロードヘッド161、挿入/除去ヘッド162、ならびにアンロード/ソートヘッド163を備える。この場合、前記構成要素は、バーンインソーター本体110に設置できる。
ボードテーブル143は、バーンインボード111を収納する。この場合、前記ボードテーブル143は、本体110の中央に設置でき、図3に示していないが、収納されたバーンインボード111をX、Y軸方向に移動させるために、ボールスクリュー(図示せず)やLMガイド(Linear Motion guide)(図示せず)などの直線移送機構が適用され、これと共にバーンインボード111の方向を変更させるために、回転モータを備える回転機構が適用できる。この場合、ボードテーブル143には、後述の挿入/除去ヘッド162がバーンインボード111に対してICを挿入及び取出しをし得る作業領域が存在する。
トレイローダー131及びトレイアンローダー133は、それぞれ第2軸(図3ではY軸)に沿って延長され、第1軸(図3ではX軸)方向に離隔して配置される。この場合、トレイローダー131及びトレイアンローダー133は、図3に示すように、ボードテーブル143を介して向かい合うようにそれぞれ両側に配置されてもよく、図4に示すように、全てボードテーブル143を基準として同一の方向に配置されてもよい。
トレイローダー131は、DC(direct current)テストが必要なICを収納したトレイを移送する。この場合、トレイローダー131の作業位置ALは、後述のDC誤り/ロードヘッド121に取り出し得るようにトレイ112が位置する領域を意味する。
トレイアンローダー133は、バーンインテストで良品と判定されたICが収納されるトレイを移送してアンロードする機能を行う。この場合、前記トレイアンローダー133の作業位置AUは、後述のアンロード/ソートヘッド163によってバーンインテスト済みのICが収納できるようにトレイが位置する領域を意味する。
トレイローダー131及びトレイアンローダー133は、DCテストされるICが収納されたトレイ112と、バーンインテストで良品と判定されたICを収納するための空トレイ112とを連続して供給するために、ラック(rack)などの積層機構(図示せず)と、ベルト、ボールスクリューまたはLMガイドなどの直線移送機構(図示せず)が適用される。
一方、本発明の好適な実施例に係るバーンインソーターは、トレイローダー131とトレイアンローダー133とを連結するトレイトランスファをさらに備えることができる。
トレイトランスファ135は、トレイローダー131上に矢印「f1」方向に移動するロード用トレイ112_iがトレイトランスファ135を介してアンロードトレイ133上の矢印「f2」方向に連続的に移動してアンロード用トレイ112_oとなるよう、自動的トレイを移送する。これにより、収納されていたICがDC誤り/ロッドヘッドによって取出されることにより、空トレイを、作業者の手作業などの他の移動手段なしでも、自動的にバーンインテスト済みのICを収納するトレイとして利用できる。
DCテストバッファ121及びアンロードバッファ123は、ボードテーブル143を介して前記第2軸(図面ではY軸)方向に離隔して配置される。DCテストバッファ121は、ボードテーブル143の作業領域ABの上部両側のいずれか一方に設置され、DCテストされるICがトレイローダー131から取り出されて移送されると、これを収納する。アンロードバッファ123は、ボードテーブル143の作業領域ABを基準としてDCテストバッファ121と対向する方向に設置され、挿入/除去ヘッド162によって移送されるバーンインテスト済みのICを収納することができる。
この場合、バーンインソーターは、図示していないが、DCテスト/ローダーアライナーをさらに備えることもできる。この場合、DCテスト/ローダーアライナーは、第2軸方向に移動しながら、DC誤り/ロードヘッド161に実装されてDCテストバッファ121に収納される予定のICを整列する機能を行う。
また、バーンインソーターは、アンローダーアライナーをさらに備えることもできる。この場合、前記アンローダーアライナーは、第2軸方向に移動しながら、アンロードバッファ123に収納されるために挿入/除去ヘッド162に実装されたICを整列する機能を行う。
ソート部151は、少なくとも1つ、好ましくは複数のソートトレイ112_a及び少なくとも一つのDC誤りトレイ112_bを備える。DC誤りトレイ112_bは、DCテストされたICのうち、DC誤りが発生したICを収納する機能を行い、ソートトレイ112_aは、それぞれバーンインテストされたICをバーンイン等級によって収納する機能を行う。図3及び図4に示したソート部151には、1個のDC誤りトレイ112_bが備えられているが、必要に応じて、少なくとも1つ、例えば2つのDC誤りトレイ112_bが具備できる。
ソート部151は、少なくとも矢印「b」方向、すなわち第2軸(図面ではY軸)方向に移動できるように本体110に設置される。このため、ソート部151は、ボールスクリューまたはLMガイドなどの直線移送機構(図示せず)が適用されて多数のソートトレイ112_aとDC誤りトレイ112_bをY軸方向に往復移動させてそれぞれの作業領域へ移動させる。
DC誤りトレイ112_bの作業領域は、少なくともトレイローダー131の作業位置及びDCテストバッファ121と並んで配置できる。これにより、DC誤り/ロードヘッド161が1本の軸のみに沿って移動し、DC誤り発生ICをDC誤りトレイ112_bに収納することができる。
また、ソートトレイ112_aの作業領域は、少なくともトレイアンローダー133の作業位置及びアンロードバッファ123と並んで配置できる。これにより、アンロード/ソートヘッド163が1本の軸のみに沿って移動し、バーンインテストされたICのうち、不良品ICと判定された残りのICを収納することができる。
DC誤り/ロードヘッド161は、少なくともトレイローダー131の作業位置ALとDCテストバッファ121とソート部151との間を移動し得るように配置される。したがって、DC誤り/ロードヘッド161は、トレイローダー131の作業位置に移送されたトレイ112に収納された、DCテストされるICを取り出した後、矢印「c1」のように第1軸(図面ではX軸)方向に移動し、取り出したICをDCテストバッファ121へ移送する。また、DC誤り/ロードヘッド161は、DCテストバッファ121でDCテストを行った後、DCテストで誤りが発生したICを取り出し、その後矢印「c2」方向に移動し、取り出したICを、ソート部151に収納されたDC誤りトレイ112_bへ移送する。
挿入/除去ヘッド162は、少なくともDCテストバッファ121とボードテーブル143とアンロードバッファ123との間を移動するように配置される。したがって、挿入/除去ヘッド162は、DCテストで正常と判別されたICを、ボードテーブル143に収納されたバーンインボード111のソケット(図示せず)へ移送、挿入する。すなわち、挿入/除去ヘッド162は、挿入/除去フレーム(図示せず)に設置され、DCテストバッファ121からICを取り出して矢印「d1」の如く第2軸(図面ではY軸)方向に移動し、取り出したICをボードテーブル143の作業領域ABに収納する。また、挿入/除去ヘッド162は、既にバーンインボード111に収納されてバーンインテストされたICを、矢印「d2」の如く第2軸方向に移動してアンロードバッファ123へ移送する。
一方、図3及び図4では、説明の便宜上、挿入/除去ヘッド162をボードテーブル143の外側に位置させたが、本発明では、挿入/除去ヘッド162がDCテストバッファ121とボードテーブル143とアンロードバッファ123との間のみを移動するように配置することが好ましい。
本発明の好適な実施例に係るバーンインソーターは、前記挿入/除去ヘッド162に設置された少なくとも2列のノズル群を備えることができる。この場合、各単位列のノズル群は、前記第1軸方向に並んで配置され、各列は前記DCテストバッファ121とボードテーブルの作業領域AB間の距離だけ前記第1軸方向に互いに離隔して配置される。
この場合、前記挿入/除去ヘッド162は、DCテストバッファ121とボードテーブルの作業領域との間を移動する距離と、前記ボードテーブルの作業領域ABとアンロードバッファ123との間を移動する距離とが同一となるように配置されることが好ましい。これと共に、前記ボードテーブル143は、前記ボードテーブルの作業領域ABとDCテストバッファ121間の距離と、前記ボードテーブルの作業領域ABとアンロードバッファ123間の距離とが同一となるように移動可能に配置されることが好ましい。
したがって、図5aに示すように、挿入/除去ヘッド162の第1ノズル群162aがDCテストバッファ121から下降してDCテスト済みのICを取り出すとき、第2ノズル群162bがバーンインボード111の作業領域から下降してバーンインテスト済みのICを取り出すことができる。また、図5bに示すように、挿入/除去ヘッド162の第1ノズル群162aがDCテスト済みのICをバーンインボード111の空ソケットに収納するとき、前記挿入/除去ヘッド162の第2ノズル群162aが下降してバーンインテスト済みのICをアンロードバッファ123に収納することができる。
さらに図3及び図4に戻って、アンロード/ソートヘッド163は、アンロードバッファ123に移送されたICを等級によって分類する。このため、アンロード/ソートヘッド163は、少なくともアンロードバッファ123とトレイアンローダー133の作業位置AUとソート部151との間を移動するように設置される。したがって、アンロード/ソートヘッド163は、アンロードバッファ123にバーンインテスト済みのICが収納されると、矢印「e1、e1」の如く第1軸方向に移動して前記バーンインテスト済みのICをアンロード用トレイとソート部151にそれぞれ移送する。
この場合、図3及び図4では、ソート部151がボードテーブル143の一側方にのみ配置されているが、本発明はこれに限定されず、ボードテーブルの両側方に分離配置されてもよい。
一方、本発明の実施例に係るバーンインソーターは、ボードローダー141及びボードアンローダー143を備えることができる。ボードローダー141及びボードアンローダー142は、ボードテーブル143に対してバーンインボード111を供給及び回収する機能を行う。この場合、ボードローラー141は、バーンインテスト済みのボードをアンロード/ソートするために、バーンインボード111をボードテーブル143へ供給する機能を行い、ボードアンローダー142は、DCテスト済みのICを収納したトレイ112をバーンインテストのためにバーンインソーターからアンロードする機能を行う。すなわち、ボードローダー141は、バーンインテスト済みのICを多数のソケット111aに収納したバーンインボード111を矢印「a1,a2」方向に連続的に移送してボードテーブル143へ供給し、ボードアンローダー142は、DCテストを通過したICを収納したバーンインボード111の移送を矢印「a2」の逆方向に受けてアンロードするように設置される。この場合、それぞれのボードローラー141及びボードアンローダー142は、それぞれバーンインボード111を積層するためにラック(図示せず)で構成されると共に、ベルト、ボールスクリューまたはLMガイドなどの直線移送機構(図示せず)が適用できる。
一方、図3及び図4に示すように、DC誤り/ロードヘッド161とアンロード/ソートヘッド163は、一つのX軸フレーム160の両側に移動可能に設置でき、これと共に、挿入/除去ヘッド162は、Y軸フレーム(図示せず)に移動可能に設置できる。
すなわち、バーンインソーターは、X軸フレーム160とY軸フレームとX軸フレームの両側に移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドと、Y軸フレームに移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドを備えることができる。この場合、X軸フレーム160及びY軸フレームに設置されたヘッドは、ユーザの要求に応じてそれぞれロード、アンロード、DC誤り、ソート、挿入及び除去機能の少なくとも一つを選択的に実行することができる。
この場合、前記Y軸フレームは、X軸フレームの下部または上部に設置でき、前記Y軸フレームに設置されたヘッドは、複数列に設置されたピッカ(図示せず)をさらに備えることができる。
<第2実施例>
図6は、本発明の他の実施例に係るバーンインソーターの平面構成図である。図6に示すように、本発明の第2の実施例に係るバーンインソーター200は、ボードテーブル143、トレイローダー131及びトレイアンローダー133、DCテストバッファ121、アンロードバッファ223、ソート部151、DC誤り/ロードヘッド161、アンロードヘッド263a、ソートヘッド263b、ならびに挿入/除去ヘッド162を備える。これと共に、バーンインソーター200は、ボードローダー141とボードアンローダー142をさらに備えることができる。
ボードテーブル143は、バーンインボード111を収納する。トレイローダー131及びトレイアンローダー133は、ボードテーブル143の第1軸の一方向に離隔して、前記第1軸ではなく第2軸に沿ってトレイ112を移動するもので、前記ボードテーブル143の作業領域ABを介してそれぞれ作業位置を持つ。
ボードローラー141及びボードアンローダー142は、ボードテーブル143に対してバーンインボード111を供給及び回収するように配置される。DCテストバッファ121及びアンロードバッファ123は、ボードテーブル143の作業領域ABを介して前記第1軸ではなく第2軸方向に向かい合うように離隔して配置される。ソート部151は、前記ボードテーブルと第1軸の少なくとも一方向に離隔して配置される。DC誤り/ロードヘッド161は、少なくとも前記トレイローダーの作業位置ALとボードテーブル143の作業領域ABとソート部151との間を移動するように配置される。アンロードヘッド263aは、少なくとも前記トレイアンローダーの作業位置AUとアンロードバッファ223との間を移動するように配置される。ソートヘッド263bは、少なくともアンロードバッファ223と前記ソート部151との間を移動するように配置される。
挿入/除去ヘッド162は、少なくともDCテストバッファ121とボードテーブルの作業領域ABと前記アンロードバッファ123との間を移動するように配置される。
この中でも、ボードテーブル143、トレイローダー及びアンローダー130、ボードローダー141、ボードアンローダー142、DCテストバッファ121、ソート部151、DC誤り/ロードヘッド161、ならびに挿入/除去ヘッド162は、本発明の第1の実施例に係るバーンインソーター100のボードテーブル143などとその機能及び構造が実質的に同様なので、同一の参照符号を使用した。以下、アンロードバッファ223、アンロードヘッド263a及びソートヘッド263bについて詳細に説明する。
本発明の第2の実施例に係るバーンインソーターは、アンロードヘッド263aとソートヘッド263bを別途に備える。アンロードヘッド263aは、少なくともトレイアンローダー133の作業位置AUとアンロードバッファ223との間を移動するように配置される。また、ソートヘッド263bは、少なくともアンロードバッファ223とソート部151との間を移動するように配置される。
これと共に、アンロードバッファ223は、矢印「h」の如く第2軸(図面ではY軸)方向に移動可能に設置できる。例えば、アンロードバッファ223は、少なくとも、第1位置、及び前記第1位置から第2軸方向に離隔して配置された第2位置に移動可能に配置される。この場合、前記第1位置のアンロード223_1は、トレイアンローダーの作業位置AUと第1軸に並んで配置され、前記第2位置のアンロードバッファ223_2は、ソートトレイ112_aと第1軸に並んで配置できる。これにより、アンロードヘッド263a及びソートヘッド263bは、それぞれ第2軸方向の別途の位置に、第1軸に沿って移動可能に配置できる。
これにより、挿入/除去ヘッド162が矢印「d2」の如く第2軸方向に移動してバーンインテスト済みのICを第1位置のアンロードバッファ223_1へ移送すると、良品と判定されたICをアンロードヘッド263aが取り出す。その後、アンロードバッファ223が「h」と同一の方向に移動して第2位置に位置する。第2位置へのアンロードバッファ223_2の移動が完了すると、ソートヘッド263aが、第2位置のアンロードバッファ223_2に残っているICを取り出す
アンロードバッファ223に収納されたバーンインテスト済みのICのうち、良品ICをアンロードヘッド263aが取り出し、不良品ICをソートヘッド263bが取り出すと、それぞれのアンロード263aとソートヘッド263bは、矢印「i1、i2」方向にそれぞれ移動して良品ICをトレイアンローダー133の作業位置AUへ移送し、不良品ICをソート部151にそれぞれ移送して等級別にそれぞれのソートトレイに収納する。
この場合、第1位置と第2位置との間の離隔距離は長い必要がなく、よって、前記アンロードバッファの第1位置から第2位置へ移動する時間及び前記第2位置から第1位置へ戻る時間が第1位置と第2位置との間の離隔距離に比例して短くなる。この場合、前記離隔距離は最大限短くすることができ、アンロードバッファ223_1は、ICを収納した状態で第1位置にある時間より、ICを一つも収納しない状態で第1位置にある時間が短くなる。これにより、結果的に挿入/除去ヘッド162の連続作業速度が増加してヘッドのインデックス時間が短縮される。
一方、本発明の第2実施例に係るバーンインソーター200が、図3のトレイローダー及びトレイアンローダーの配置以外に、図4のトレイローダー及びトレイアンローダーの配置を始めとした種々の配置構造にも適用可能であるのは、自明である。
この場合にも、バーンインソーター200が、X軸フレーム160とY軸フレームとX軸フレームの両側に移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドと、Y軸フレームに移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドを備えることができる。この場合、前記X軸フレーム160及びY軸フレームに設置されたヘッドは、ユーザの要求に応じてそれぞれロード、アンロード、DC誤り、ソート、挿入及び除去機能の少なくとも一つを選択的に実行することができる。
この場合、前記Y軸フレームは、X軸フレームの下部または上部に設置でき、前記Y軸フレームに設置されたヘッドは、複数列に設置されたピッカをさらに備えることができる。
<第3実施例>
図7は、本発明のバーンインソーターの別の実施例を示す図である。図7に示すように、本発明の別の実施例に係るバーンインソーター300は、トレイスタッカー(tray stacker)371をさらに備える。
トレイスタッカー371は、ソート部151の一側に付加設置され、ここには少なくとも一つの空トレイが配置されている。従って、バーンインテストされたICのうち、等級別に分類するためのICが多くなる場合、ソート部151と共にトレイスタッカー371に収納された多数のトレイ112に前記ICを収納することにより、トレイ112を頻繁に交替する不便さを改善することができる。図7は図3にトレイスタッカー371が付加されていることを示すが、本発明はこれに限定されない。図4及び図6のような構造を持つバーンインソーターにトレイスタッカー371が備えられてもよい。
この場合にも、バーンインソーター300が、X軸フレーム160とY軸フレームとX軸フレームの両側に移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドと、Y軸フレームに移動可能に設置された少なくとも一つのヘッドを備えることができる。この場合、X軸フレーム160及びY軸フレームに設置されたヘッドは、ユーザの要求に応じてそれぞれロード、アンロード、DC誤り、ソート、挿入及び除去機能の少なくとも一つを選択的に実行することができる。
この場合、前記Y軸フレームは、X軸フレームの下部または上部に設置でき、前記Y軸フレームに設置されたヘッドは、複数列に設置されたピッカをさらに備えることができる。
次に、このような本発明の実施例に係るバーンインソーターに適用できるバーンインソート方法を、図3〜図7と共に図8及び図9を用いて説明する。
バーンインソート方法は、まず、バーンインボード111をボードテーブル143へ移送し、トレイ112をトレイローダー131の作業位置ALへ移送する段階(S110)を経る。
その後、DC誤り/ロードヘッド161によってトレイローダー131の作業位置ALからDCテストバッファ121へDCテストのためのICを移送する段階(S120)、及びDCテストバッファ121でICのDCテストを行う段階(S130)を経る。
次いで、DCテストの結果、DC誤りがあるか否かを確認した後、挿入/除去ヘッドによって、DCテストで正常と判別されたICをDCテストバッファ121から取り出してバーンインボード111へ移送し、バーンインテスト済みのICをバーンインボード111からピッキングしてアンロードバッファ123に挿入する段階(S140)を行う。前記S140段階をより細分化すると、DCテストの結果、DC誤りがあるか否かを確認する段階(S141)と、DCテストで前記DC誤りと判別されたICをソート部151のDC誤りトレイ112_bへ移送する段階(S142)と、挿入/除去ヘッド162が、DCテストで正常と判別されたICを取り出す段階(S143)と、挿入/除去ヘッド162がバーンインテスト済みのICを取り出す段階(S144)と、バーンインテスト済みのICをアンロードバッファ123へ移送する段階(S145)と、DCテスト済みのICをバーンインボード111に挿入する段階(S146)とを経ることができる。
この場合、DCテストで正常と判別されたICを前記DCテストバッファ121から取り出す段階(S143)と、バーンインテスト済みのICをバーンインボードから取り出す段階(S144)とは、同時に行われる。すなわち、図5aに示すように、挿入/除去ヘッド162の第1ノズル群162aがDCテストバッファ121から下降してDCテスト済みのICを取り出すとき、第2ノズル群162bがバーンインボード111の作業領域から下降してバーンインテスト済みのICを取り出すことができる。
また、バーンインテスト済みのICをアンロードバッファ123へ移送する段階(S145)と、DCテスト済みのICをバーンインボードに挿入する段階(S146)とも、同時に行われる。すなわち、図5bに示すように、挿入/除去ヘッド162の第1ノズル群162aがDCテスト済みのICをバーンインボード111の空ソケットに収納するとき、挿入/除去ヘッド162の第2ノズル群162aが下降してバーンインテスト済みのICをアンロードバッファ123に収納することができる。
その後、アンロードバッファ123に移送されたICのうち、良品ICをトレイアンローダー133の作業位置AUに位置したアンロード用トレイ112_oへアンロード/ソートヘッド163によって移送し、不良品ICをその等級に応じてアンロード/ソートヘッド163によってソート部151のソートトレイ112_aへ移送する段階(S150)を経る。
一方、図8には示されていないが、150段階の前には、トレイアンローダー133の作業位置へアンロード用トレイ112_oを移送する段階を含んでもよい。この場合、アンロード用トレイ112_oは、トレイローダー131及びトレイトランスファ135を経てトレイアンローダー133の作業位置AUに移送されてもよく、トレイアンローダー133上に直接実装されて作業位置AUに移送されてもよい。
S150段階は、まず、アンロードバッファ123に移送されたICが全て良品であるか否かを確認する段階(S151)と、前記アンロードバッファ123に移送されたICが全て良品であるか否かを確認する段階(S152)と、良品ICをトレイアンローダー133の作業位置AUへ移送する段階(S153)と、不良品ICをソート部151へ移送する段階(S154)とを経ることができる。すなわち、アンロードバッファ123に移送されたバーンインテスト済みのICが8個であり、このICの少なくとも一つのICが良品でなければ、アンロード/ソートヘッド162は、このICを取り出した後、ソート部151へ移送して等級別に分類して多数のソートトレイ112_aに収納し、良品ICをトレイアンローダー133のアンロード領域AUへ移送する。
この場合、アンロードバッファ123に移送されたバーンインテスト済みのICが全て良品であるか否かを確認する段階でICが全て良品であれば、全ての良品ICをトレイアンローダー133の作業位置AUへ移送し、前記ICが全て良品であるか否かを確認する段階でICが全て良品でなければ、不良品ICを全てソート部151のソートトレイへ移送する。
このように良品ICまたは不良品ICをトレイアンローダー133の作業位置AUまたはソート部151のソートトレイへ移送する過程中に、バーンインボード111のある作業ラインにバーンインテスト済みのICが全て充填されると、バーンインボード111を次の作業ラインへ移動させる段階(S160)を行う。すなわち、バーンインテスト済みのICをソート部151とトレイアンローダー133の作業位置AUへ移送する過程中にバーンインボード111にDCテスト済みのICが充填されたか否かを確認する段階(S161)を行い、確認の結果、バーンインボード111のある作業ラインに、DCテストで正常と判別されたICが全て充填されると、バーンインボード111を次の作業ラインへ移動させる段階(S162)を行い、バーンインボード111にDCテスト済みのICを挿入する。ここで、バーンインボード111の作業ラインは、通常、ボードテーブル143に収納されたバーンインボード111の第1軸方向に配列される一つのソケット111aラインを意味する。
バーンインボード111にDCテスト済みのICが全て充填されると、バーンインボード111をボードテーブル143からボードアンローダー142にアンロードし、これと共にボードローダー141から新しいバーンインボード111をボードテーブル143へ移送する。
一方、図面では、説明の便宜のために、第1軸及び第2軸を、90°の角度をもって配置されたX軸及びY軸として説明したが、本発明では、第1軸と第2軸との角度を必ずしみ90°としなくてもよい。
本発明によれば、ボードテーブル143の作業領域ABと、トレイローダー131の作業位置ALと、トレイアンローダー130の作業位置AUと、DCテストバッファ121と、アンロードバッファ123、223と、ソート部151とを全て並んで配置せず、少なくとも一部が交差するように配置することにより、バーンインソーターのサイズが減少する。また、ボードテーブルの両側にそれぞれDCテストバッファとアンロードバッファが設置され、前記DCテストバッファと前記アンロードバッファとの間を移動し得るように挿入/除去ヘッドが設置されることにより、多数のヘッドのインデックス時間を減らすことができ、これにより装備の生産性を改善することができる。
本発明は、添付図面に示した実施例を参照して説明したが、これは、例示的なものに過ぎないことは言うまでもない。当該技術分野における通常の知識を有する者であれば、各種の変形例または均等な実施例に想到し得ることは理解するであろう。よって、本発明の真正な保護範囲は、特許請求の範囲によってのみ定められるべきでる。
従来のICソーターの概略的構成を示す平面図である。 図1に示した本体の上部に設置されたツールの動作状態図である。 本発明の第1の実施例に係るICソーターの平面構成図である。 図3のICソーターの変形例を示す平面構成図である。 図3における挿入/除去ヘッドの動作例を示す図である。 図3における挿入/除去ヘッドの動作例を示す図である。 本発明の第2の実施例に係るICソーターの平面構成図である。 本発明の第3の実施例に係るICソーターの平面構成図である。 本発明のICソーターに適用されるバーンインソート方法の一例を示す流れ図である。 本発明のICソーターに適用されるバーンインソート方法の一例を示す流れ図である。
符号の説明
100,200,300 ICソーター(バーンインソーター)
110 本体
111 バーンインボード
121 DCテストバッファ
123,223 アンロードバッファ
131 トレイローダー
133 トレイアンローダー
135 トレイトランスファ
141 ボードローダー
142 ボードアンローダー
143 ボードテーブル
151 ソート部
161 DC誤り/ロードヘッド
162 挿入/除去ヘッド
163 アンロード/ソートヘッド
263a アンロードヘッド
263b ソートヘッド
AL トレイローダーの作業位置
AU トレイアンローダーの作業位置
AB ボードテーブルの作業領域

Claims (22)

  1. バーンインボードを収納するボードテーブルと;
    前記ボードテーブルからそれぞれ第1軸方向に離隔したトレイローダー及びトレイアンローダーと;
    前記ボードテーブルの作業領域を介して前記第1軸方向に直交する第2軸方向に離隔して配置されたDCテストバッファ及びアンロードバッファと;
    前記ボードテーブルから離隔して配置され、DCテストで誤りが発生したICを収納する少なくとも一つのDC誤りトレイ及び少なくとも一つのソートトレイを備えたソート部と;
    前記トレイローダーの作業領域、前記DCテストバッファおよび前記DC誤りトレイの間を移動して、DCテストを受けるICを前記トレイローダーの前記作業領域から前記DCテストバッファに移動させ前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファから前記DC誤りトレイに移動させるDC誤り/ロードヘッドと;
    前記アンロードバッファ、前記トレイアンローダーの作業領域および前記ソートトレイの間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーの作業領域に良品ICを搬送し、不良品ICを前記アンロードバッファから前記ソートトレイに搬送するアンロード/ソートヘッドと、
    前記DCテストバッファ、前記ボードテーブルの前記作業領域および前記アンロードバッファの間を前記第2軸方向に移動して前記DCテストバッファから前記ボードテーブルの前記作業領域に良品ICを搬送し、前記ボードテーブルの前記作業領域から前記アンロードバッファにバーンインテストを終了したICを転送する挿入/除去ヘッドと
    を備えることを特徴とする、ICソーター。
  2. 前記トレイローダーと前記トレイアンローダーとの間を連結するトレイトランスファをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  3. 前記トレイアンローダーの作業位置と前記アンロードバッファと前記ソート部のソートトレイは、第1軸に沿って並んで配置され、
    前記アンロード/ソートヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されたことを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  4. 前記トレイローダーの作業位置と前記DCテストバッファと前記ソート部のDC誤りトレイは、第1軸に沿って並んで配置され、
    前記DC誤り/ロードヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されたことを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  5. 前記トレイローダー及び前記トレイアンローダーは、前記ボードテーブルを介して離隔して配置されたことを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  6. 前記トレイローダー及び前記トレイアンローダーは、前記ボードテーブルから同一の方向に配置されたことを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  7. 前記挿入/除去ヘッドは、前記第1軸方向に並んで配置された単位列が前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域間の距離だけ前記第1軸方向に離隔して配置されてなる少なくとも2列のノズル群を備え、前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域との間を移動する距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間を移動する距離とが同一となるように配置され、
    前記ボードテーブルは、前記ボードテーブルの作業領域と前記DCテストバッファとの間の距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間の距離とが同一となるように移動可能に配置されることを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  8. 前記ボードテーブルへバーンインボードをロードするボードローダーと、
    前記ボードテーブルからバーンインボードをアンロードするボードアンローダーとをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  9. 前記ソート部の一側にトレイスタッカーをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のICソーター。
  10. バーンインボードを収納するボードテーブルと;
    前記ボードテーブルからそれぞれ第1軸方向に離隔したトレイローダー及びトレイアンローダーと;
    前記ボードテーブルの作業領域を介して前記第1軸方向に直交する第2軸方向に離隔して配置されたDCテストバッファ及びアンロードバッファと;
    前記ボードテーブルから離隔して配置され、DCテストで誤りが発生したICを収納する少なくとも一つのDC誤りトレイ及び少なくとも一つのソートトレイを備えたソート部と;
    前記トレイローダーの作業領域、前記DCテストバッファおよび前記DC誤りトレイの間を移動して、DCテストを受けるICを前記トレイローダーの前記作業領域から前記DCテストバッファに移動させ、前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファから前記DC誤りトレイに移動させるDC誤り/ロードヘッドと;
    前記アンロードバッファと前記トレイアンローダーの前記作業領域との間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーの前記作業領域に良品ICを転送するアンロードヘッドと;
    前記アンロードバッファと前記ソートトレイの間を前記第1軸方向に移動して前記アンロードバッファから前記ソートトレイに不良ICを転送するソートヘッドと;
    前記DCテストバッファ、前記ボードテーブルの作業領域および前記アンロードバッファの間を前記第2軸方向に移動して前記DCテストバッファから前記ボードテーブルの前記作業領域に良品ICを転送し、前記ボードテーブルの作業領域から前記アンロードバッファにバーンインテストを終了したICを転送する挿入/除去ヘッドとを備え、
    前記アンロードヘッドと前記ソートヘッドとが離隔していることを特徴とする、ICソーター。
  11. 前記トレイローダーと前記トレイアンローダーとの間を連結するトレイトランスファをさらに備えることを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  12. 前記アンロードバッファと前記ソート部のソートトレイとは、第1軸に沿って並んで配置され、
    前記ソートヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されたことを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  13. 前記トレイローダーの作業位置と前記DCテストバッファと前記ソート部のDC誤りトレイとは、第1軸に沿って並んで配置され、
    前記DC誤り/ロードヘッドは、前記第1軸に沿って移動するように配置されたことを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  14. 前記トレイローダー及び前記トレイアンローダーは、前記ボードテーブルを介して離隔して配置されたことを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  15. 前記トレイローダー及び前記トレイアンローダーは、それぞれ前記ボードテーブルの一側に配置されたことを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  16. 前記挿入/除去ヘッドは、前記第1軸方向に並んで配置された単位列が前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域間の距離だけ前記第1軸方向に離隔して配置されてなる少なくとも2列のノズル群を備え、前記DCテストバッファと前記ボードテーブルの作業領域との間を移動する距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間を移動する距離とが同一となるように配置され、
    前記ボードテーブルは、前記ボードテーブルの作業領域と前記DCテストバッファとの間の距離と、前記ボードテーブルの作業領域と前記アンロードバッファとの間の距離とが同一となるように移動可能に配置されたことを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  17. 前記ボードテーブルへバーンインボードをロードするボードローダーと、
    前記ボードテーブルからバーンインボードをアンロードするボードアンローダーとをさらに備えることを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  18. 前記ソート部の一側にトレイスタッカーをさらに備えることを特徴とする、請求項10に記載のICソーター。
  19. バーンインテスト済みのICを収納したバーンインボードをボードテーブルへ移送し、トレイをトレイローダーの作業位置へ移送する段階と;
    DC誤り/ロードヘッドによって、DCテストされるICを前記トレイローダーからDCテストバッファへ移送する段階と;
    前記DCテストバッファでDCテストを行う段階と;
    DC誤り/ロードヘッドによって、前記DCテストで誤りが発生したICを前記DCテストバッファからDC誤りトレイへ移送する段階と;
    挿入/除去ヘッドによって、前記バーンインボードに収納されたICをアンロードバッファへ移送する段階と;
    前記挿入/除去ヘッドによって、前記DCテストで誤りではないICを前記DCテストバッファから前記バーンインボードの空ソケットに移送する段階と;
    トレイをトレイアンローダーの作業位置へ移送する段階と;
    前記アンロードバッファに移送されたICのうち、良品ICを前記トレイアンローダーのトレイへ移送し、不良品ICをソートトレイへ移送する段階とを含み、
    前記アンロードバッファから前記トレイアンローダーのトレイおよび前記ソートトレイにICが転送される1軸方向は、前記挿入/除去ヘッドが移動する第2軸方向と直交することを特徴とする、バーンインソート方法。
  20. 前記アンロードバッファに移送されたICのうち、良品ICをトレイアンローダーのトレイへ移送し、不良品ICをソート部へ移送する段階は、
    前記アンロードバッファに移送されたICが全て良品であるか否かを確認する段階と、 前記アンロードバッファに移送されたICが全て良品であれば、前記ICを全てトレイアンローダーへ移送する段階と、
    前記アンロードバッファに移送されたICの少なくとも一部が良品でなければ、前記ICが全て不良品であるか否かを確認する段階と、
    前記アンロードバッファに移送されたICが全て不良品であれば、前記ICを全てソートトレイへ移送する段階と、
    前記ICの一部が不良品であれば、不良品と確認されたICをソートトレイへ移送し、良品と確認されたICをトレイアンローダーへ移送する段階とを含むことを特徴とする、請求項19に記載のバーンインソート方法。
  21. 前記良品ICをトレイアンローダーのトレイへ移送し、不良品ICをソートトレイへ移送する段階は、アンロード/ソートヘッドによって行われることを特徴とする、請求項19に記載のバーンインソート方法。
  22. 前記良品ICをトレイアンローダーのトレイへ移送することはアンロードヘッドによって行われ、前記不良品ICをソートトレイへ移送することはソートヘッドによって行われることを特徴とする、請求項19に記載のバーンインソート方法。
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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100873188B1 (ko) * 2007-05-18 2008-12-10 미래산업 주식회사 테스트 트레이 이송장치, 그를 구비한 테스트 핸들러, 및그를 이용한 반도체 소자 제조방법
KR100941332B1 (ko) 2008-09-02 2010-02-11 (주)디오 반도체용 테스트보드의 제조방법
TWI381177B (zh) * 2008-12-23 2013-01-01 Princeton Technology Corp 分類機及分類測試方法
CN101850340B (zh) * 2009-04-03 2014-01-22 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 分类设备
TWI464747B (zh) * 2009-04-17 2014-12-11 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 量測設備及量測方法
KR101039857B1 (ko) * 2009-05-19 2011-06-09 미래산업 주식회사 테스트 핸들러용 소자 접속장치 및 이를 이용한 테스트 핸들러
TWI417967B (zh) * 2009-11-02 2013-12-01 Chroma Ate Inc A method for marking a grain bearing tray, a sorting machine and a characteristic mark
TWI559006B (zh) * 2013-02-07 2016-11-21 泰克元股份有限公司 用於測試分選機的施壓裝置
CN105363683A (zh) * 2014-08-29 2016-03-02 无锡百科知识产权有限公司 针对线路板检测的下料方法
JP2016156715A (ja) * 2015-02-25 2016-09-01 セイコーエプソン株式会社 電子部品搬送装置および電子部品検査装置
KR102401058B1 (ko) * 2015-05-12 2022-05-23 (주)제이티 소자핸들러
CN105478367B (zh) * 2015-12-31 2017-12-26 苏州逸美德科技有限公司 一种倒角检测装置及检测方法
KR20170097960A (ko) * 2016-02-19 2017-08-29 (주)테크윙 전자부품 테스트용 핸들러의 가압장치

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177434A (en) * 1990-10-08 1993-01-05 Advantest Corporation IC test equipment having a horizontally movable chuck carrier
JP2000065896A (ja) * 1998-08-07 2000-03-03 Samsung Electronics Co Ltd 半導体バ―ンイン工程の半導体デバイス自動分類装置
US20050062463A1 (en) * 2003-09-18 2005-03-24 Kim Seong Bong Sorting handler for burn-in tester

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6476629B1 (en) * 2000-02-23 2002-11-05 Micron Technology, Inc. In-tray burn-in board for testing integrated circuit devices in situ on processing trays
US6521853B1 (en) * 2000-05-08 2003-02-18 Micro Component Technology, Inc. Method and apparatus for sorting semiconductor devices
US6700398B1 (en) * 2000-11-28 2004-03-02 Kingston Technology Company In-line D.C. testing of multiple memory modules in a panel before panel separation
AU2002237553A1 (en) * 2002-03-07 2003-09-16 Advantest Corporation Electronic component testing apparatus
TW567329B (en) * 2002-07-30 2003-12-21 Via Tech Inc Auto system-level test apparatus and method
US7196508B2 (en) * 2005-03-22 2007-03-27 Mirae Corporation Handler for testing semiconductor devices

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5177434A (en) * 1990-10-08 1993-01-05 Advantest Corporation IC test equipment having a horizontally movable chuck carrier
JP2000065896A (ja) * 1998-08-07 2000-03-03 Samsung Electronics Co Ltd 半導体バ―ンイン工程の半導体デバイス自動分類装置
US20050062463A1 (en) * 2003-09-18 2005-03-24 Kim Seong Bong Sorting handler for burn-in tester

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