JP4539057B2 - 半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図7は、本発明の実施の形態1による製造途中の半導体基板の概略を示す縦断面図である。まず、図1に示すように、低抵抗のn型シリコン半導体基板11を用意し、その表面にトレンチエッチング用の酸化膜12を形成する。なお、マスクは、酸化膜に限らず、窒化膜などの絶縁膜でもよい。そして、図2に示すように、図示しないマスクを用い、フォトリソグラフィー技術によって、酸化膜12の一部を除去し、半導体基板11の、ターゲットトレンチの形成領域13を露出させる。
図8〜図15は、本発明の実施の形態2による製造途中の半導体基板の概略を示す縦断面図である。まず、図8に示すように、低抵抗のn型シリコン半導体基板21を用意し、その表面に図示しないトレンチエッチング用の酸化膜(窒化膜などの絶縁膜でもよい)を形成する。そして、図示しないマスクを用い、フォトリソグラフィー技術によって、基板表面の酸化膜の一部を除去し、半導体基板21の、第1のターゲットトレンチの形成領域を露出させる。ついで、パターニングした酸化膜をマスクとしてプラズマエッチングやRIEや異方性ウェットエッチング等の異方性エッチングをおこない、第1のトレンチである第1のターゲットトレンチ22を形成し、基板表面の酸化膜を除去する。
14 第1のトレンチ(ターゲットトレンチ)
15 絶縁膜(HTO酸化膜)
17,24 第2のトレンチ(超接合用トレンチ)
18,25 第2導電型半導体(p型半導体領域)
22 第1のトレンチ(第1のターゲットトレンチ)
28 第3のトレンチ(第2のターゲットトレンチ)
29 絶縁膜(酸化膜)
Claims (7)
- n型半導体領域とp型半導体領域とが交互に繰り返し接合された構成の並列pn接合構造を有する半導体基板を製造するにあたって、
第1導電型の半導体基板にマスク合わせ用のターゲットとなる第1のトレンチを形成する工程と、
前記第1のトレンチを絶縁膜で埋める工程と、
前記絶縁膜をエッチングして前記第1のトレンチの底部にのみ前記絶縁膜を残す工程と、
前記半導体基板に前記第1のトレンチよりも深い第2のトレンチを形成する工程と、
前記第2のトレンチ内に第2導電型の半導体をエピタキシャル成長させる工程と、
を含むことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 前記第2導電型半導体のエピタキシャル成長後、前記半導体基板の表面を研磨し、前記第1のトレンチの底部にある前記絶縁膜が研磨面に出現した時点で研磨を停止して基板表面を平坦化する工程をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記絶縁膜の厚さは、前記第1のトレンチの開口幅の1/2以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体基板の製造方法。
- n型半導体領域とp型半導体領域とが交互に繰り返し接合された構成の並列pn接合構造を有する半導体基板を製造するにあたって、
第1導電型の半導体基板にマスク合わせ用の第1のターゲットとなる第1のトレンチを形成する工程と、
前記半導体基板に前記第1のトレンチよりも深い第2のトレンチを形成する工程と、
前記第2のトレンチ内に第2導電型の半導体をエピタキシャル成長させる工程と、
前記半導体基板にマスク合わせ用の第2のターゲットとして、前記第1のトレンチよりも深く、かつ前記第2のトレンチよりも浅い第3のトレンチを形成する工程と、
前記第3のトレンチを絶縁膜で埋める工程と、
前記絶縁膜をエッチングして前記第3のトレンチの底部にのみ前記絶縁膜を残す工程と、
を含むことを特徴とする半導体基板の製造方法。 - 前記絶縁膜のエッチング後、前記半導体基板の表面を研磨し、前記第3のトレンチの底部にある前記絶縁膜が研磨面に出現した時点で研磨を停止して基板表面を平坦化する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記絶縁膜の厚さは、前記第3のトレンチの開口幅の1/2以上であることを特徴とする請求項4または5に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記半導体基板の表面研磨により前記第1のトレンチを消失させることを特徴とする請求項5に記載の半導体基板の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JPH0439161B2 (ja) * | 1988-11-01 | 1992-06-26 | ||
JP2002124474A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Denso Corp | 半導体基板の製造方法および半導体基板 |
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