JP4528606B2 - Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus - Google Patents
Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP4528606B2 JP4528606B2 JP2004348872A JP2004348872A JP4528606B2 JP 4528606 B2 JP4528606 B2 JP 4528606B2 JP 2004348872 A JP2004348872 A JP 2004348872A JP 2004348872 A JP2004348872 A JP 2004348872A JP 4528606 B2 JP4528606 B2 JP 4528606B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic matching
- matching layer
- acoustic
- ultrasonic probe
- piezoelectric vibrator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 61
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 38
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 32
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 32
- 239000011257 shell material Substances 0.000 claims description 14
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 10
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 9
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 claims description 5
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 4
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 26
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- UQMRAFJOBWOFNS-UHFFFAOYSA-N butyl 2-(2,4-dichlorophenoxy)acetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC1=CC=C(Cl)C=C1Cl UQMRAFJOBWOFNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical group C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N dioxido(oxo)titanium;lead(2+) Chemical compound [Pb+2].[O-][Ti]([O-])=O NKZSPGSOXYXWQA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
本発明は、超音波プローブ及び超音波診断装置に関する。 The present invention relates to an ultrasonic probe and an ultrasonic diagnostic apparatus.
被検体内を超音波で走査し、被検体内からの反射波から生成した受信信号に基づいて、被検体の内部状態を画像化する超音波診断装置が知られている。このような超音波診断装置は、圧電振動子を備えた超音波プローブにより被検体内に超音波を送信し、被検体内部で音響インピーダンスの不整合によって生じる反射波を超音波プローブで受信して受信信号を生成する。 2. Description of the Related Art There is known an ultrasonic diagnostic apparatus that scans the inside of a subject with ultrasound and images the internal state of the subject based on a reception signal generated from a reflected wave from the inside of the subject. Such an ultrasonic diagnostic apparatus transmits ultrasonic waves into a subject using an ultrasonic probe including a piezoelectric vibrator, and receives reflected waves generated by acoustic impedance mismatches within the subject using the ultrasonic probe. Generate a received signal.
超音波プローブは、送信信号に基づいて振動して超音波を発生し、反射波を受けて受信信号を生成する圧電振動子を走査方向に複数個、配置している。このような圧電振動子は、例えば、走査方向に直交する方向に均一な矩形状の音圧分布を有する超音波を送信し、音響レンズにより遅延差を与えることにより、被検体内の所定の深さで焦点を形成している。 The ultrasonic probe is arranged with a plurality of piezoelectric vibrators in the scanning direction that generate an ultrasonic wave by vibrating based on a transmission signal and generate a reception signal by receiving a reflected wave. Such a piezoelectric vibrator transmits, for example, an ultrasonic wave having a uniform rectangular sound pressure distribution in a direction orthogonal to the scanning direction, and gives a delay difference by an acoustic lens, whereby a predetermined depth in the subject is measured. That is the focus.
ところで、圧電振動子の音響インピーダンスと被検体の音響インピーダンスとの音響整合を図る目的で、圧電振動子の上に多層構造を有する音響整合層を設け、音響整合層を介して超音波の送受信が行われている。音響整合層としては、1層の音響整合層よりも、2層の音響整合層の方が音響整合は良好となり、3層にすると更に音響整合は良好になる。なぜなら、圧電振動子から被検体への音響インピーダンスの変化は、3段階の方が、1段階よりも、音響的な損失が少ない。 By the way, for the purpose of achieving acoustic matching between the acoustic impedance of the piezoelectric vibrator and the acoustic impedance of the subject, an acoustic matching layer having a multilayer structure is provided on the piezoelectric vibrator, and ultrasonic waves can be transmitted and received through the acoustic matching layer. Has been done. As the acoustic matching layer, the two acoustic matching layers have better acoustic matching than the one acoustic matching layer, and the three layers have better acoustic matching. This is because the change in acoustic impedance from the piezoelectric vibrator to the subject has less acoustic loss in the three stages than in the first stage.
このように圧電振動子と被検体との音響整合を良好にするのは、圧電振動子の音響インピーダンスと被検体の音響インピーダンスとの差が大きいと、圧電振動子から被検体に超音波を送信する際、被検体での超音波の反射損失が大きくなってしまうからである。そのことにより、被検体への超音波の送信を効率良く行うことができず、画質の良い画像を得ることができないからである。 In this way, the acoustic matching between the piezoelectric vibrator and the subject is improved because if the difference between the acoustic impedance of the piezoelectric vibrator and the acoustic impedance of the subject is large, ultrasonic waves are transmitted from the piezoelectric vibrator to the subject. This is because the reflection loss of the ultrasonic wave at the subject increases. This is because the ultrasonic wave cannot be efficiently transmitted to the subject, and an image with good image quality cannot be obtained.
図9に、多層構造を有する音響整合層を備えた超音波プローブの構成を示す。図9は、超音波プローブの正面図である。超音波プローブは、背面材32と、その背面材32の上に、走査方向に複数に分割されて配列されている圧電振動子層33と、その圧電振動子層33の上に、走査方向に複数に分割されて配列されている音響整合層34と、その音響整合層34の上に設けられた音響レンズ35とからなる。また、音響整合層34は、第1の音響整合層34aと、その第1の音響整合層34aの上に設けられた第2の音響整合層34bと、その第2の音響整合層34bの上に設けられた第3の音響整合層34cとからなる。このような超音波プローブにおいて、圧電振動子層33は音響整合層34を介して超音波の送受信を行う。
FIG. 9 shows a configuration of an ultrasonic probe including an acoustic matching layer having a multilayer structure. FIG. 9 is a front view of the ultrasonic probe. The ultrasonic probe includes a
一般的に、圧電振動子層33の音響インピーダンスは約30Mraylであり、被検体の音響インピーダンスは約1.5Mraylである。そして、圧電振動子層33と被検体との音響整合を良好にするために、音響整合層4を多層構造にし、圧電振動子層33から被検体まで音響インピーダンスを徐々に小さくする必要がある。図9に示す超音波プローブの場合、第1の音響整合層34aから第3の音響整合層34cに向けて徐々に音響インピーダンスを小さくし、音響整合層34のうち被検体側の音響整合層(第3の音響整合層34c)の音響インピーダンスを1.5〜3.5Mraylにする必要がある。また、2層の音響整合層からなる超音波プローブの場合、第2の音響整合層の音響インピーダンスを1.5〜3.5Mraylにする必要がある。
In general, the acoustic impedance of the
従来においては、音響整合層34に、ポリウレタンやポリエチレンといった柔らかい樹脂フィルムを用いることにより、音響インピーダンスを低くしていた。しかしながら、樹脂フィルムは柔らかいため切削性が悪く、音響整合層34を走査方向に複数に分割して配列させるために、ダイシングによる加工(アレイ加工)をすることができなかった。つまり、圧電振動子層33と音響整合層4とを背面材2の上に積層した後、所望のピッチでダイシングすることができなかった。そのため、圧電振動子層33間の音響的クロストークが高いといった問題があった。また、切削性が悪いため、容易に超音波プローブを製造することができなかった。
Conventionally, the acoustic impedance is lowered by using a soft resin film such as polyurethane or polyethylene for the acoustic matching layer 34. However, since the resin film is soft, its cutting ability is poor, and since the acoustic matching layer 34 is divided into a plurality of rows in the scanning direction and arranged, processing by dicing (array processing) cannot be performed. That is, after the
また、ポリウレタンやポリエチレンでは導電性がないため、アース電極を音響整合層34側から取り出すことができなかった。ここで、音響整合層34に導電性を持たせるために、ポリウレタンやポリエチレンに金属フィラー等の導電粒子を混合したとしても、密度が上昇してしまうので、所望の音響インピーダンスを満たさなくなってしまう。
本発明の目的は、加工が容易な超音波プローブを提供するものである。 An object of the present invention is to provide an ultrasonic probe that can be easily processed.
本発明の第1局面において、超音波プローブは、超音波を送受信するための配列された複数の圧電振動子と前記圧電振動子に形成された複数の電極と有する圧電振動子層と、前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、前記殻材はカーボンで形成される。 In the first aspect of the present invention, the ultrasonic probe includes a plurality of piezoelectric vibrators arranged for transmitting and receiving ultrasonic waves, a plurality of electrodes formed on the piezoelectric vibrator, a piezoelectric vibrator layer having the piezoelectric vibrator layer, comprising an acoustic lens for focusing or diffusing the sound waves, and an acoustic matching layer that is provided between the piezoelectric vibrator layer and the acoustic lens, the acoustic matching layer includes a plurality of acoustic matching layer portion The plurality of acoustic matching layer portions include a resin base and conductive powder mixed in the resin base, and the powder is formed by encapsulating gas with a conductive shell material, The shell material is formed of carbon.
本発明の第2局面において、超音波プローブは、超音波を送受信するための圧電振動子層と、前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、前記殻材はカーボンで形成される。 In the second aspect of the present invention, the ultrasonic probe includes a piezoelectric vibrator layer for transmitting and receiving ultrasonic waves, an acoustic lens for focusing or diffusing the ultrasonic waves, the piezoelectric vibrator layer, and the acoustic lens. comprising an acoustic matching layer provided between the acoustic matching layer includes a plurality of acoustic matching layer portion, the plurality of acoustic matching layer portion, the resin base mixed with conductive to the resin-based The powder is formed by enclosing gas with a conductive shell material, and the shell material is formed of carbon.
本発明の第3局面において、超音波診断装置は、超音波プローブと、前記超音波プローブを介して被検体を超音波で走査して、前記被検体からの複数のエコー信号を収集する走査部と、前記走査部により収集されたエコー信号に基づいて前記被検体の内部画像を発生する画像発生部とを具備し、前記超音波プローブは、超音波を送受信するための配列された複数の圧電振動子と前記圧電振動子に形成された複数の電極と有する圧電振動子層と、前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、前記殻材はカーボンで形成される。 In the third aspect of the present invention, an ultrasonic diagnostic apparatus includes an ultrasonic probe and a scanning unit that scans a subject with ultrasonic waves via the ultrasonic probe and collects a plurality of echo signals from the subject. And an image generating unit that generates an internal image of the subject based on the echo signal collected by the scanning unit, and the ultrasonic probe includes a plurality of arranged piezoelectric elements for transmitting and receiving ultrasonic waves. A piezoelectric vibrator layer having a vibrator and a plurality of electrodes formed on the piezoelectric vibrator, an acoustic lens for focusing or diffusing the ultrasonic wave, and provided between the piezoelectric vibrator layer and the acoustic lens is that comprising an acoustic matching layer, the acoustic matching layer includes a plurality of acoustic matching layer portion, the plurality of acoustic matching layer portion are powders having conductivity which is mixed with the resin base to said resin base The powder Is made by sealing a gas in the shell material having electric conductivity, the shell material is formed of carbon.
本発明によれば、加工が容易な超音波プローブを提供することができる。 According to the present invention, an ultrasonic probe that is easy to process can be provided.
以下、本願発明の実施例に係る超音波プローブについて、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本願発明の実施例に係る超音波プローブの概略構成を示す斜視図である。超音波プローブは、ヘッド側とケーブル側とからなり、図1には超音波プローブのヘッド側が示されている。 FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an ultrasonic probe according to an embodiment of the present invention. The ultrasonic probe has a head side and a cable side, and FIG. 1 shows the head side of the ultrasonic probe.
図1に示すように、本実施例に係る超音波プローブ1は、背面材2と、その背面材2の上に、圧電振動子層3と、その圧電振動子層3の上に、走査方向Zにそって多層化されている音響整合層4と、その音響整合層4の上に設けられた超音波を集束又は拡散させるための音響レンズ5とからなる。圧電振動子層3は、図3に示すように、走査方向Xに沿って配列された複数の圧電振動子30を有する。
As shown in FIG. 1, the ultrasonic probe 1 according to this embodiment includes a
音響整合層4は、第1の音響整合層4aと、その第1の音響整合層4aの上に設けられた第2の音響整合層4bと、その第2の音響整合層4bの上に設けられた第3の音響整合層4cとからなる。第1乃至第3の音響整合層4a,4b,4cは圧電振動子層3上に積層される。第1乃至第3の音響整合層4a,4b,4cはすべて導電性を有する。それによりアース電極32を、第1乃至第3の音響整合層4a,4b,4cを介して引き出すことができる。つまりアース電極32を、音響整合層4と音響レンズ5との間から引き出すことができる。
The acoustic matching layer 4 is provided on the first
第1の音響整合層4aは、圧電振動子層3より低く、第2の音響整合層4bより高い音響インピーダンスを有する。第2の音響整合層4bは、第1の音響整合層4aより低く、第3の音響整合層4cより高い音響インピーダンスを有する。第3の音響整合層4cは、第2の音響整合層4bより低く、被検体より高い音響インピーダンスを有する。
The first
圧電振動子層3は、走査方向Xに沿って分割されている。同様に、第1、第2、第3の音響整合層4a,4b,4cもそれぞれ走査方向Xに沿って分割されている。換言すると、第1の音響整合層4aは、走査方向Xに沿って配列された複数の第1の音響整合素子40aを有する。複数の第1の音響整合素子40aは、複数の圧電振動子30に対してそれぞれ対応している。第2の音響整合層4bは、走査方向Xに沿って配列された複数の第2の音響整合素子40bを有する。複数の第2の音響整合素子40bは、複数の第1の音響整合素子40aに対してそれぞれ対応している。第3の音響整合層4cは、走査方向Xに沿って配列された複数の第3の音響整合素子40cを有する。複数の第3の音響整合素子40cは、複数の第2の音響整合素子40bに対してそれぞれ対応している。
The
各圧電振動子30は、隣の圧電振動子30と物理的かつ音響的に分離されている。第1の音響整合素子40aも隣の第1の音響整合素子40aと物理的かつ音響的に分離されている。第2の音響整合素子40bも隣の第2の音響整合素子40bと物理的かつ音響的に分離されている。第3の音響整合素子40cも隣の第3の音響整合素子40cと物理的かつ音響的に分離されている。従来では、第3の音響整合層は分割されていないので、第3の音響整合層を介して隣り合う圧電振動子30の間で混信が生じていた。本願発明では、第3の音響整合素子40cも隣の第3の音響整合素子40cと物理的かつ音響的に分離されているので、隣り合う圧電振動子30の間の混信は実質的に生じない。
Each
背面材2は、圧電振動子層3から発振された超音波振動や受信時の超音波振動のうち、超音波診断装置の画像抽出にとって必要でない超音波振動成分を減衰吸収する。
The
圧電振動子30は例えば、チタン酸ジリコン酸鉛Pb(Zr,Ti)O3、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)、チタン酸バリウム(BaTiO3)、チタン酸鉛(PbTiO3)等のセラミック材料からなる。また、圧電振動子層3の上下両面には、電極31と電極32とが形成されている。典型的には、電極31は信号電極であり、電極32は共通電極(アース電極)である。
The
また、音響整合層4を多層化することで、音響レンズ5とあいまって被検体の体表との音響インピーダンスの差分による信号ロスの発生を抑えている。この音響整合層4の構造については後で詳述する。
Further, by making the acoustic matching layer 4 multilayer, generation of a signal loss due to a difference in acoustic impedance with the body surface of the subject coupled with the
音響レンズ5は、被検体の体表面に接触して超音波の送受信の仲介を行なう。この音響レンズ5により、体表より所定の深さにスライス方向の音響的な焦点を結ぶ。また、走査方向の音響的な焦点は、走査方向に短冊状に配置された複数の圧電振動子30の送信/受信のタイミングを切り替え制御することにより結ばれる。
The
図4に示すように、また、背面材2と圧電振動子層3との間に電極31を介して、全面にCu箔が形成された信号電極引き出し用のフレキシブル基板6aが接着されている。更に、音響整合層4と音響レンズ5との間にアース引き出し用のフレキシブル基板6bが設けられている。具体的には、第3の音響整合層4cと音響レンズ5との間にフレキシブル基板6bが設けられている。尚、フレキシブル基板6aは、リード線の役割を果たす。
As shown in FIG. 4, a
次に、本実施例に係る超音波プローブ1の音響整合層4について詳細に説明する。本実施例に係る超音波プローブにおいては、第3の音響整合層4cが音響レンズ5を介して被検体に接触するため、この第3の音響整合層4cは2Mrayl程度の音響インピーダンスが要求される。まず、第3の音響整合層4cの構成について図2A、図2Bを参照しつつ説明する。図2Aは、第3の音響整合層4cの断面図である。
Next, the acoustic matching layer 4 of the ultrasonic probe 1 according to the present embodiment will be described in detail. In the ultrasonic probe according to the present embodiment, the third
第3の音響整合層4cは、樹脂ベース4eと、樹脂ベース4eに混合される中空の粉体(fine particles)4dとからなる。粉体4dの粒径は40[nm]である。粉体4dは60[%]の空孔率を有する。粉体4dの殻材は、導電性の典型的にはカーボン又は金で形成される。樹脂ベース4eは、例えば、音響インピーダンスが約3Mraylのエポキシ樹脂、またはウレタン樹脂で形成される。粉体4dの混合により音響インピーダンスを低下させることができるので、音響インピーダンスが比較的高いけれども、比較的高い硬度を有するエポキシ又はウレタン製の樹脂ベース4eを第3の音響整合層4cに採用することを可能としている。それにより第3の音響整合層4cは、圧電振動子層3、第1の音響整合層4a、第2の音響整合層4bと同様に、カットすることができる。従来の第3の音響整合層の材料としては、低い音響インピーダンスを獲得するために、非常に柔らかい樹脂が不可避に採用されていた。
The third
図2Bに示すように、粉体dは、導電性を有する例えばカーボン製の殻40で、典型的には空気の気体41を封入してなる。殻40は樹脂ベース4eより音響インピーダンスが高い。殻40の内部41は樹脂ベース4eより音響インピーダンスが低い。殻40は気体41を封入する代わりに、樹脂ベース4eより音響インピーダンスが低い性質を有する固体を被覆してもよい。
As shown in FIG. 2B, the powder d is a
粉体4dの粒径の大きさは、送受信する超音波の波長と関係している。粉体4dの粒径の大きさが大きすぎると超音波は粉体4dで反射され、散乱してしまう。例えば、粉体4dの粒径の大きさを、超音波の波長の1/5〜1/10以下の大きさまで小さくすると、超音波の反射・散乱が実質的に発生しない。ここで、エポキシ樹脂内での音速は2500m/sである。本実施例においては、周波数が5[MHz]の超音波を使用しており、波長は500[μs]程度であると想定され、超音波の反射・散乱は確認されていない。粉体4dの粒径が小さいほど、超音波の反射・散乱は発生し難くなる。
The size of the particle size of the
中空のカーボンフィラーが混合された場合における、第3の音響整合層4cの密度変化及び音響インピーダンスの変化について図5及び図6を参照しつつ説明する。図5は、中空のカーボンフィラーの混合量と、第3の音響整合層4cの密度との関係を表すグラフである。図6は、中空のカーボンフィラーの混合量と、第3の音響整合層4cの音響インピーダンスとの関係を表すグラフである。図5に示すように、中空のカーボンフィラーの混合量を増やすと、第3の音響整合層4cの密度は低くなる。また、図6に示すように、中空のカーボンフィラーの混合量を増やすと、第3の音響整合層4cの音響インピーダンスは低くなる。このように、音響整合層の密度と音響インピーダンスとは比例関係が成り立ち、中空のカーボンフィラーを混合して第3の音響整合層4cの密度を小さくすることにより、第3の音響整合層4cの音響インピーダンスを低くすることが可能となる。例えば、中空のカーボンフィラーの混合量を約20[wt%]とすることにより、第3の音響整合層4cの音響インピーダンスを約2Mraylとすることができる。
A change in density and acoustic impedance of the third
また、空孔率が60[%]よりも高いカーボンフィラーを用いれば、約20[wt%]
よりも少ない混合量で約2Mraylの音響インピーダンスを得ることができる。空孔率を高くすることにより、同じ混合量であっても第3の音響整合層4cの密度は低くなるからである。一方、空孔率が60[%]よりも低いカーボンフィラーを用いた場合は、約20[wt%]よりも多い混合量で約2Mraylの音響インピーダンスを得ることができる。このように、粉体4d(カーボンフィラー)の空孔率を変えた場合であっても、混合量を調整することにより、所望の音響インピーダンスを得ることができる。
Further, if a carbon filler having a porosity higher than 60 [%] is used, it is about 20 [wt%].
An acoustic impedance of about 2 Mrayl can be obtained with a smaller mixing amount. This is because by increasing the porosity, the density of the third
中空のカーボンフィラーが混合された場合における、第3の音響整合層4cの体積抵抗率の変化について図7を参照しつつ説明する。図7は、中空のカーボンフィラーの混合量と、第3の音響整合層4cの体積抵抗率との関係を表すグラフである。
A change in volume resistivity of the third
カーボンフィラー(粉体4d)は導電性を有しているため、図7に示すように、ベース4eに対する混合量(体積率)を増やすと、第3の音響整合層4cの体積抵抗率は小さくなる。そのことにより、第3の音響整合層4cに導電性を持たせることが可能となる。同図に示すように、中空のカーボンフィラーの混合量を約20[wt%]以上とすると、体積抵抗率が約2[Ω・cm]以下となり、第3の音響整合層4cに十分な導電性を持たせることができる。
Since the carbon filler (
尚、導電性を得るために中空のカーボンフィラーの混合量を多くすると、第3の音響整合層4cの密度が低くなり過ぎ、所望の音響インピーダンス(約2Mraylの音響インピーダンス)を得ることができなくなる場合がある。このような場合は、中空のカーボンフィラーとともに、中空ではないカーボンフィラーを混合させることにより、第3の音響整合層4cの密度を調整して所望の音響インピーダンスを得るようにしてもよい。
Note that if the amount of hollow carbon filler mixed is increased in order to obtain conductivity, the density of the third
また、第1の音響整合層4a及び第2の音響整合層4bには、導電性の材料、例えば、カーボングラファイトを用いる。
The first
このように、第3の音響整合層4cを樹脂で構成しつつも導電性の粉体を混合させて導電性を持たせることにより、アース引き出し用のフレキシブル基板6bと圧電振動子30とを電気的に接続させることができる。
Thus, while the third
本実施例においては、3層の音響整合層のうち1層の音響整合層である第3の音響整合層4cを樹脂で構成し、その中に中空の粉体を混合させて音響インピーダンスを低下させたが、本願発明はそれに限られない。3層の音響整合層のうち2層又は3層の音響整合層をエポキシ樹脂又はウレタン樹脂で構成し、その中に中空の粉体4eを混合させてもよい。つまり、第3の音響整合層4cだけでなく、第2の音響整合層4b及び第1の音響整合層4aを樹脂で構成し、中空の粉体を混合させてもよい。
In the present embodiment, the third
例えば、3層の音響整合層のうち2層の音響整合層を樹脂で構成する場合は、第3の音響整合層4cと第2の音響整合層4bとを樹脂で構成し、その中に中空の粉体を混合させて音響インピーダンスを低下させる。ここで、第2の音響整合層4bに混合する粉体の混合量よりも、第3の音響整合層4cに混合する中空の粉体の混合量を多くすることで、第2の音響整合層4bの音響インピーダンスと比べて、第3の音響整合層4cの音響インピーダンスを低くする。そのことにより、圧電振動子層3から被検体に向けて徐々に音響整合層の音響インピーダンスを低下させることができ、圧電振動子層3と被検体との音響整合を良好にすることが可能となる。
For example, when two acoustic matching layers of the three acoustic matching layers are made of resin, the third
3層の音響整合層のうち、すべての音響整合層を樹脂で構成する場合も同様である。第1の音響整合層4aに混合する粉体の混合量よりも、第2の音響整合層4bに混合する粉体の混合量を多くし、第2の音響整合層4bに混合する粉体の混合量よりも、第3の音響整合層4cに混合する粉体の混合量を多くする。そのことにより、第1の音響整合層4aの音響インピーダンスよりも第2の音響整合層4bの音響インピーダンスの方が低くなり、第2の音響整合層4bの音響インピーダンスよりも第3の音響整合層4cの音響インピーダンスの方が低くなる。従って、圧電振動子層3から被検体に向けて徐々に音響整合層の音響インピーダンスを低下させることができ、圧電振動子層3と被検体との音響整合を良好にすることが可能となる。
The same applies to the case where all of the three acoustic matching layers are made of resin. The amount of powder mixed in the second
また、本実施例においては、3層からなる音響整合層について説明したが、本願発明はこれに限られず、音響整合層4は、2層で構成されていてもよく、更に、4層以上の層で構成されていてもよい。そのような場合であっても、圧電振動子層3から被検体に向けて徐々に音響整合層の音響インピーダンスを低下させることにより、音響整合を良好にすることができる。
In this embodiment, an acoustic matching layer composed of three layers has been described. However, the present invention is not limited to this, and the acoustic matching layer 4 may be composed of two layers, and more than four layers. It may be composed of layers. Even in such a case, the acoustic matching can be improved by gradually reducing the acoustic impedance of the acoustic matching layer from the
尚、本実施例においては、中空の粉体としてカーボンフィラーを用いたが、カーボンフィラーに限らず、導電性を有する中空の粉体でればよく、Au(金)フィラー等を用いてもよい。また、樹脂としてエポキシ樹脂を用いたが、ウレタン樹脂を用いてもよい。 In the present embodiment, the carbon filler is used as the hollow powder. However, the present invention is not limited to the carbon filler, and may be a hollow powder having conductivity, such as Au (gold) filler. . Moreover, although the epoxy resin was used as resin, you may use a urethane resin.
以上のように、被検体側の音響整合層の音響インピーダンスを低くすることで、圧電振動子層3と被検体との音響整合を良好にすることができる。
As described above, the acoustic matching between the
次に、本実施例に係る超音波プローブ1の製造方法について説明する。まず、エポキシ樹脂に中空のカーボンフィラーを混合し、脱泡した後、そのエポキシ樹脂を第2の音響整合層4bの上に塗付する。そして、熱を加えて樹脂を硬化させた後、所望の厚みに研磨することにより、第3の音響整合層4cを形成する。
Next, a method for manufacturing the ultrasonic probe 1 according to this embodiment will be described. First, a hollow carbon filler is mixed with an epoxy resin, defoamed, and then the epoxy resin is applied onto the second
また、エポキシ樹脂に中空のカーボンフィラーを混合させた後、熱を加えて硬化させてインゴットを作製してもよい。その場合、そのインゴットを所望の大きさに切り出し、所望の厚みに研磨して第3の音響整合層4cを作製し、第2の音響整合層4bの上に接着する。
Moreover, after mixing a hollow carbon filler with an epoxy resin, you may heat and harden it and produce an ingot. In that case, the ingot is cut out to a desired size, polished to a desired thickness to produce a third
そして、背面材2の上にフレキシブル基板6aを介して圧電振動子3を接着し、更に圧電振動子3の上に音響整合層4を接着する。この音響整合層4は、予め、第1の音響整合層4aの上に第2の音響整合層4bが接着されており、更に、上述した方法により第2の音響整合層4bの上に第3の音響整合層4cが接着されている。その後、圧電振動子3と音響整合層4とを所望のピッチでダイシングして、走査方向に複数に分割された圧電振動子3と音響整合層4とを作製する。そして、第3の音響整合層4cの上にフレキシブル基板6bを介して音響レンズ5を接着することにより、超音波プローブ1を作製する。
Then, the
このように、硬度が比較的に高いエポキシ樹脂を用いることにより切削性が良くなるため、圧電振動子3と複数積層された音響整合層4とをダイシングにより分割させることができる。つまり、本実施例に係る超音波プローブはアレイ加工することができるため、柔らかくて切削性が悪い樹脂シートを使用したためにアレイ加工できなかった従来の超音波プローブと比較して、音響的クロストークを小さくすることが可能となる。更に、硬度が比較的に高く切削性の良い材料を使用するため、加工しやすくなり、超音波プローブ1の製造が容易となる。
As described above, since the machinability is improved by using the epoxy resin having a relatively high hardness, the
次に、本願発明の超音波プローブを備えた超音波診断装置について、図6を参照しつつ説明する。図6は、本願発明の実施例に係る超音波診断装置の主要部の構成を示すブロック図である。 Next, an ultrasonic diagnostic apparatus provided with the ultrasonic probe of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of the main part of the ultrasonic diagnostic apparatus according to the embodiment of the present invention.
この超音波診断装置60には、超音波プローブ61と、送受信回路62と、送受信制御回路63と、画像データ変換回路64と、表示制御回路65と、制御回路67とからなる。送受信回路62と送受信制御回路63とは、超音波プローブ61を介して被検体を超音波で走査して、被検体からの複数のエコー信号を収集するために設けられる。画像データ変換回路64は、走査により収集されたエコー信号に基づいて被検体の内部画像を発生するために設けられる。
The ultrasonic
超音波プローブ61には、本願発明の超音波プローブが使用され、患者等の被検体に対して超音波を送信し、被検体で反射した超音波をエコー信号として受信する。
The
送受信回路62は、超音波プローブ61に電気信号を供給して超音波を発生させるとともに、超音波プローブ61が受信したエコー信号を受信する。送受信制御回路63は、送受信回路62の送受信制御を行なう。
The transmission /
画像データ変換回路64は、送受信回路62が受信したエコー信号を被検体の超音波画像データに変換する。表示制御回路65は、画像データ変換回路64によって変換された超音波画像データを、モニタ66を制御して表示する。また、制御回路67は、超音波診断装置60全体の制御を行なう。
The image
制御回路67には、送受信制御回路63、画像データ変換回路64及び表示制御回路65が接続されており、制御回路67はこれら各部の動作を制御している。
A transmission /
そして、超音波プロー61の圧電振動子に電気信号を印加して被検体に対して超音波を送信し、被検体内部で音響インピーダンスの不整合によって生じる反射波を超音波プローブ61で受信する。
Then, an electrical signal is applied to the piezoelectric vibrator of the
本願発明の超音波プローブを備えた超音波診断装置によれば、圧電振動子3と被検体との音響整合を良好にすることができるため、超音波の反射損失を小さくすることができ、被検体への超音波の送信を効率良く行うことができる。そのことにより、画質の良い画像を得ることができる。
According to the ultrasonic diagnostic apparatus including the ultrasonic probe of the present invention, the acoustic matching between the
なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。 Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. In addition, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, constituent elements over different embodiments may be appropriately combined.
1…超音波プローブ、2…背面材、3…圧電振動子層、4…音響整合層、5…音響レンズ、30…圧電振動子、4a…第1の音響整合層、4b…第2の音響整合層、4c…第3の音響整合層、32…アース電極。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ultrasonic probe, 2 ... Back material, 3 ... Piezoelectric vibrator layer, 4 ... Acoustic matching layer, 5 ... Acoustic lens, 30 ... Piezoelectric vibrator, 4a ... 1st acoustic matching layer, 4b ... 2nd acoustic Matching layer, 4c ... third acoustic matching layer, 32 ... ground electrode.
Claims (13)
前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、
前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、
前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、
前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、
前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、
前記殻材はカーボンで形成されることを特徴とする超音波プローブ。 A piezoelectric vibrator layer having a plurality of arranged piezoelectric vibrators for transmitting and receiving ultrasonic waves and a plurality of electrodes formed on the piezoelectric vibrator;
An acoustic lens for focusing or diffusing the ultrasonic wave;
Comprising an acoustic matching layer that is provided between the piezoelectric vibrator layer and the acoustic lens,
The acoustic matching layer comprises a plurality of acoustic matching layer portions,
The plurality of acoustic matching layer portions have a resin base and conductive powder mixed in the resin base,
The powder is formed by enclosing gas with a shell material having conductivity,
The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the shell material is made of carbon .
前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、
前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、
前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、
前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、
前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、
前記殻材はカーボンで形成されることを特徴とする超音波プローブ。 A piezoelectric vibrator layer for transmitting and receiving ultrasonic waves;
An acoustic lens for focusing or diffusing the ultrasonic wave;
An acoustic matching layer provided between the piezoelectric vibrator layer and the acoustic lens;
The acoustic matching layer comprises a plurality of acoustic matching layer portions,
The plurality of acoustic matching layer portions have a resin base and conductive powder mixed in the resin base,
The powder is formed by enclosing gas with a shell material having conductivity,
The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the shell material is made of carbon .
前記超音波プローブを介して被検体を超音波で走査して、前記被検体からの複数のエコー信号を収集する走査部と、
前記走査部により収集されたエコー信号に基づいて前記被検体の内部画像を発生する画像発生部とを具備し、
前記超音波プローブは、超音波を送受信するための配列された複数の圧電振動子と前記圧電振動子に形成された複数の電極と有する圧電振動子層と、
前記超音波を集束又は拡散させるための音響レンズと、
前記圧電振動子層と前記音響レンズとの間に設けられる音響整合層とを具備し、
前記音響整合層は、複数の音響整合層部分からなり、
前記複数の音響整合層部分は、樹脂ベースと前記樹脂ベースに混合された導電性を有する粉体を有し、
前記粉体は、導電性を有する殻材で気体を封入してなり、
前記殻材はカーボンで形成されることを特徴とする超音波診断装置。 An ultrasonic probe;
A scanning unit that scans a subject with ultrasound via the ultrasound probe and collects a plurality of echo signals from the subject; and
An image generation unit that generates an internal image of the subject based on echo signals collected by the scanning unit;
The ultrasonic probe includes a piezoelectric vibrator layer having a plurality of arranged piezoelectric vibrators for transmitting and receiving ultrasonic waves and a plurality of electrodes formed on the piezoelectric vibrator,
An acoustic lens for focusing or diffusing the ultrasonic wave;
Comprising an acoustic matching layer that is provided between the piezoelectric vibrator layer and the acoustic lens,
The acoustic matching layer comprises a plurality of acoustic matching layer portions,
The plurality of acoustic matching layer portions have a resin base and conductive powder mixed in the resin base,
The powder is formed by enclosing gas with a shell material having conductivity,
The ultrasonic diagnostic apparatus, wherein the shell material is made of carbon .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004348872A JP4528606B2 (en) | 2003-12-09 | 2004-12-01 | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003409786 | 2003-12-09 | ||
JP2004348872A JP4528606B2 (en) | 2003-12-09 | 2004-12-01 | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005198261A JP2005198261A (en) | 2005-07-21 |
JP4528606B2 true JP4528606B2 (en) | 2010-08-18 |
Family
ID=34828907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004348872A Expired - Fee Related JP4528606B2 (en) | 2003-12-09 | 2004-12-01 | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4528606B2 (en) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1915753B1 (en) * | 2005-08-08 | 2019-04-10 | Koninklijke Philips N.V. | Wide-bandwidth matrix transducer with polyethylene third matching layer |
WO2007088772A1 (en) | 2006-01-31 | 2007-08-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic probe |
US7750536B2 (en) | 2006-03-02 | 2010-07-06 | Visualsonics Inc. | High frequency ultrasonic transducer and matching layer comprising cyanoacrylate |
KR101173277B1 (en) * | 2010-03-15 | 2012-08-13 | 주식회사 휴먼스캔 | Ultrasound probe using rear acoustic matching layer |
CN102226784A (en) * | 2011-04-11 | 2011-10-26 | 中国铁道科学研究院金属及化学研究所 | Ultrasonic probe |
JP5943677B2 (en) * | 2012-03-31 | 2016-07-05 | キヤノン株式会社 | Probe and subject information acquisition apparatus using the probe |
JP5681662B2 (en) * | 2012-04-12 | 2015-03-11 | 日立アロカメディカル株式会社 | Ultrasonic probe |
CN104883977A (en) * | 2012-11-01 | 2015-09-02 | 爱飞纽医疗机械贸易有限公司 | Probe having plurality of acoustic paths |
US9502023B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-11-22 | Fujifilm Sonosite, Inc. | Acoustic lens for micromachined ultrasound transducers |
GB2520511A (en) * | 2013-11-21 | 2015-05-27 | Surf Technology As | Ultrasound transducer |
US10265047B2 (en) | 2014-03-12 | 2019-04-23 | Fujifilm Sonosite, Inc. | High frequency ultrasound transducer having an ultrasonic lens with integral central matching layer |
JP2019176291A (en) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Ultrasonic transducer |
KR102093248B1 (en) * | 2018-07-23 | 2020-04-23 | 한국과학기술원 | Ultrasound prove array and fabrication method of thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60208196A (en) * | 1984-04-02 | 1985-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic probe |
JPS61169100A (en) * | 1985-01-22 | 1986-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic transmitter-receiver |
JP2001275191A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
JP2003244793A (en) * | 2002-01-18 | 2003-08-29 | Contitech Luftfeder-Systeme Gmbh | Ultrasonic converter unit having electrode made of electrically-conductive plastic |
-
2004
- 2004-12-01 JP JP2004348872A patent/JP4528606B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60208196A (en) * | 1984-04-02 | 1985-10-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic probe |
JPS61169100A (en) * | 1985-01-22 | 1986-07-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic transmitter-receiver |
JP2001275191A (en) * | 2000-03-28 | 2001-10-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ultrasonic wave probe |
JP2003244793A (en) * | 2002-01-18 | 2003-08-29 | Contitech Luftfeder-Systeme Gmbh | Ultrasonic converter unit having electrode made of electrically-conductive plastic |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005198261A (en) | 2005-07-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1542005B1 (en) | Ultrasonic probe with conductive acoustic matching layer | |
JP4310586B2 (en) | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus | |
JP4528606B2 (en) | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus | |
JP4933392B2 (en) | Ultrasonic probe and manufacturing method thereof | |
CN102327128A (en) | Ultrasound probe and ultrasound imaging apparatus | |
JPH07121158B2 (en) | Ultrasonic probe | |
KR100916029B1 (en) | Ultrasonic probe and its method of manufacturing | |
JP4764057B2 (en) | Ultrasonic probe and manufacturing method thereof | |
US9839411B2 (en) | Ultrasound diagnostic apparatus probe having laminated piezoelectric layers oriented at different angles | |
JP2007158468A (en) | Ultrasonic probe and ultrasonic image apparatus | |
JP2005027752A (en) | Piezoelectric vibrator, manufacturing method of piezoelectric vibrator, ultrasonic probe, and ultrasonic diagnostic apparatus | |
JP5377141B2 (en) | Ultrasonic probe | |
US20130241350A1 (en) | Ultrasonic probe | |
JP4709500B2 (en) | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus | |
JP4963899B2 (en) | Ultrasonic probe, ultrasonic diagnostic equipment | |
JP3816596B2 (en) | Ultrasonic transducer and method for manufacturing the same | |
JP2001197593A (en) | Ultrasonic wave device | |
JP2002165793A (en) | Ultrasonic probe | |
JP3592448B2 (en) | Ultrasonic probe | |
JP2007288397A (en) | Ultrasonic probe | |
JPS6323060Y2 (en) | ||
JP2005110116A (en) | Ultrasonic-wave transducer array and its manufacturing method | |
JP2005296127A (en) | Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic device | |
JPH11113908A (en) | Ultrasonic probe | |
JPH0537998A (en) | Ultrasonic probe |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100209 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100511 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100607 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4528606 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |