JP4528359B2 - 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 - Google Patents
繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4528359B2 JP4528359B2 JP2009554806A JP2009554806A JP4528359B2 JP 4528359 B2 JP4528359 B2 JP 4528359B2 JP 2009554806 A JP2009554806 A JP 2009554806A JP 2009554806 A JP2009554806 A JP 2009554806A JP 4528359 B2 JP4528359 B2 JP 4528359B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aggregate
- columnar structure
- fibrous columnar
- carbon nanotube
- carbon nanotubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 title claims description 185
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 title claims description 144
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 357
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 352
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 352
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 162
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 98
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 53
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 183
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 56
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 40
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 40
- 239000010408 film Substances 0.000 description 39
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 37
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 35
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 32
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 28
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 25
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 24
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 21
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 20
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 17
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 17
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 17
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 16
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 16
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 16
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 16
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 15
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 14
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 12
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 11
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 9
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 7
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 7
- 229920006351 engineering plastic Polymers 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 6
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 5
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 3
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical class C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 3
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 2
- SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N [(2R,3S,4S,5R,6R)-5-acetyloxy-3,4,6-trihydroxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound CC(=O)OC[C@@H]1[C@H]([C@@H]([C@H]([C@@H](O1)O)OC(=O)C)O)O SMEGJBVQLJJKKX-HOTMZDKISA-N 0.000 description 2
- 229940081735 acetylcellulose Drugs 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 2
- 229920003048 styrene butadiene rubber Polymers 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000002134 carbon nanofiber Substances 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012669 compression test Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N diiodomethane Chemical compound ICI NZZFYRREKKOMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000005865 ionizing radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012886 linear function Methods 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012462 polypropylene substrate Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002109 single walled nanotube Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J7/00—Adhesives in the form of films or foils
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00015—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
- B81C1/00206—Processes for functionalising a surface, e.g. provide the surface with specific mechanical, chemical or biological properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B1/00—Devices without movable or flexible elements, e.g. microcapillary devices
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/03—Static structures
- B81B2203/0361—Tips, pillars
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09J—ADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
- C09J2301/00—Additional features of adhesives in the form of films or foils
- C09J2301/30—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier
- C09J2301/31—Additional features of adhesives in the form of films or foils characterized by the chemical, physicochemical or physical properties of the adhesive or the carrier the adhesive effect being based on a Gecko structure
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/734—Fullerenes, i.e. graphene-based structures, such as nanohorns, nanococoons, nanoscrolls or fullerene-like structures, e.g. WS2 or MoS2 chalcogenide nanotubes, planar C3N4, etc.
- Y10S977/742—Carbon nanotubes, CNTs
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/734—Fullerenes, i.e. graphene-based structures, such as nanohorns, nanococoons, nanoscrolls or fullerene-like structures, e.g. WS2 or MoS2 chalcogenide nanotubes, planar C3N4, etc.
- Y10S977/742—Carbon nanotubes, CNTs
- Y10S977/752—Multi-walled
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2918—Rod, strand, filament or fiber including free carbon or carbide or therewith [not as steel]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2973—Particular cross section
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2973—Particular cross section
- Y10T428/2975—Tubular or cellular
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/298—Physical dimension
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Adhesive Tapes (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
複数の直径を有する繊維状柱状構造体を備え、
該複数の直径を有する繊維状柱状構造体の直径分布の分布幅が10nm以上であり、該直径分布の最頻値の相対頻度が30%以下である。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(2)は、
複数の繊維状柱状構造体を備え、
該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、
該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下である。
好ましい実施形態においては、上記複数層を有するカーボンナノチューブが長さ方向に配向している。
好ましい実施形態においては、室温におけるガラス面に対するせん断接着力が15N/cm2以上である。
好ましい実施形態においては、本発明の繊維状柱状構造体集合体(2)は、基材をさらに備え、上記カーボンナノチューブの片端が該基材に固定されている。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(3)は、
複数の繊維状柱状構造体を備え、
該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、
該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下であり、
250℃雰囲気下におけるガラス面に対するせん断接着力が、室温におけるガラス面に対するせん断接着力の0.8〜1.2倍である。
好ましい実施形態においては、室温におけるガラス面に対するせん断接着力が15N/cm2以上である。
好ましい実施形態においては、本発明の繊維状柱状構造体集合体(3)は、基材をさらに備え、上記カーボンナノチューブの片端が該基材に固定されている。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(4)は、
複数の繊維状柱状構造体を備え、
該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、
該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下であり、
表面自由エネルギーaの被着体に対する室温におけるせん断接着力をA、表面自由エネルギーaとの差が25mJ/m2以上である表面自由エネルギーbの被着体に対する室温におけるせん断接着力をBとすると(ただし、a>b)、B/Aの値が0.8〜1.2である。
好ましい実施形態においては、室温におけるガラス面に対するせん断接着力が15N/cm2以上である。
好ましい実施形態においては、本発明の繊維状柱状構造体集合体(4)は、基材をさらに備え、上記カーボンナノチューブの片端が該基材に固定されている。
1 基材
2 繊維状柱状構造体
本発明の繊維状柱状構造体集合体(1)は、複数の直径を有する繊維状柱状構造体を備え、該複数の直径を有する繊維状柱状構造体の直径分布の分布幅が10nm以上であり、該直径分布の最頻値の相対頻度が30%以下である。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(2)は、複数の繊維状柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下である。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(3)は、複数の繊維状柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下であり、250℃雰囲気下におけるガラス面に対するせん断接着力が、室温におけるガラス面に対するせん断接着力の0.8〜1.2倍である。
本発明のカーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体(4)は、複数の繊維状柱状構造体を備え、該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、該カーボンナノチューブが複数層を有するカーボンナノチューブであり、該複数層を有するカーボンナノチューブの層数分布の分布幅が10層以上であり、該層数分布の最頻値の相対頻度が25%以下であり、表面自由エネルギーaの被着体に対する室温におけるせん断接着力をA、表面自由エネルギーaとの差が25mJ/m2以上である表面自由エネルギーbの被着体に対する室温におけるせん断接着力をBとすると(ただし、a>b)、B/Aの値が0.8〜1.2である。
本発明の繊維状柱状構造体集合体の製造方法としては、任意の適切な方法を採用し得る。本発明の繊維状柱状構造体集合体の製造方法の好ましい実施形態の例として、カーボンナノチューブ集合体である繊維状柱状構造体集合体の製造方法を説明する。
本発明の粘着部材は、本発明の繊維状柱状構造体集合体を用いたものである。本発明の粘着部材は、好ましくは、本発明の繊維状柱状構造体集合体に基材が備えられたものであり、具体的には、例えば、粘着シート、粘着フィルムが挙げられる。
本発明の繊維状柱状構造体集合体における繊維状柱状構造体の直径および直径分布は、走査型電子顕微鏡(SEM)および/または透過電子顕微鏡(TEM)によって測定した。得られた繊維状柱状構造体集合体の中から少なくとも10本以上、好ましくは20本以上の繊維状柱状構造体をSEMおよび/またはTEMにより観察し、各繊維状柱状構造体の直径を調べ、直径分布を作成した。
本発明の繊維状柱状構造体集合体における繊維状柱状構造体の層数および層数分布は、走査型電子顕微鏡(SEM)および/または透過電子顕微鏡(TEM)によって測定した。得られた繊維状柱状構造体集合体の中から少なくとも10本以上、好ましくは20本以上の繊維状柱状構造体をSEMおよび/またはTEMにより観察し、各繊維状柱状構造体の層数を調べ、層数分布を作成した。
ガラス(MATSUNAMI スライドガラス27mm×56mm)に、1cm2単位面積に切り出した基材付繊維状柱状構造体集合体の先端が接触するように載置し、5kgのローラーを一往復させて繊維状柱状構造体の先端をガラスに圧着した。その後、30分間放置した。引張り試験機(Instro Tensil Tester)で引張速度50mm/minにて、25℃または250℃にてせん断試験を行い、得られたピークをせん断接着力とした。
ガラス(MATSUNAMI スライドガラス27mm×56mm、表面自由エネルギー=64.4mJ/m2)およびPP板(新神戸電機(株)製、コウベポリシート PP−N−AN、表面自由エネルギー=29.8mJ/m2)のそれぞれに、1cm2単位面積に切り出した基材付カーボンナノチューブ集合体の先端が接触するように載置し、5kgのローラーを一往復させてカーボンナノチューブの先端をガラスに圧着した。その後、30分間放置した。引張り試験機(Instro Tensil Tester)で引張速度50mm/minにて、25℃にてせん断試験を行い、得られたピークをせん断接着力とした。
被着体の表面に3種の液体(水、グリセリン、ヨウ化メチレン)を着滴後、100msの接触角を測定し、その値を用いて以下の方法から表面自由エネルギーを求めた。
表面自由エネルギーの算出方法:
γL(1+cosθ)=2(γL d・γs d)1/2+2(γL p・γs p)1/2・・・(1)
γL:接触角測定に用いた液の表面自由エネルギー
γL d:液の表面自由エネルギーの分散成分
γL p:液の表面自由エネルギーの極性成分
γs:求めたい固体の表面自由エネルギー
γs d:固体の表面自由エネルギーの分散成分
γs p:固体の表面自由エネルギーの極性成分
式(1)を(γL p/γL d)1/2とγL(1+cosθ)/2(γL d)1/2の一次関数に変形して、
γL(1+cosθ)/2(γL d)1/2
=(γs p)1/2(γL p/γL d)1/2+(γs d)1/2・・・(2)
式(2)より、γs d、γs pはそれぞれ[傾き]を2乗、[切片]を2乗して求め、γs=γs d+γs pとして表面自由エネルギーを算出した。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
表面にSiO2膜を有するシリコン基板(熱酸化膜付ウェハ、KST製、SiO2膜厚み=1μm、SiO2膜とシリコン基板を合わせた厚み=550μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み2nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率350ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで35分間で段階的に昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、30分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(1)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(1)の長さは638μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(1)の層数分布を図3に示す。図3に示すとおり、最頻値は4層と8層に存在し、相対頻度はそれぞれ20%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(1)の直径分布の分布幅、直径分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
結果を表1にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。上記基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブの片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(1)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(1)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は44.6N/cm2であった。
結果を表1にまとめた。
ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)の混合ガスを石英管内に充填させ、20分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させたこと以外は、実施例1と同様にしてカーボンナノチューブ集合体(2)を作製した。
カーボンナノチューブ集合体(2)の長さは420μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(2)の層数分布を図4に示す。図4に示すとおり、最頻値は9層に存在し、相対頻度は20%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(2)の直径分布の分布幅、直径分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
実施例1と同様にして、基材付カーボンナノチューブ集合体(2)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(2)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は36.1N/cm2であった。
結果を表1にまとめた。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
シリコン基板(エレクトロニクス エンド製、厚み525μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み0.67nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率350ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで35分間で段階的に昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、30分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(C1)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(C1)の長さは799μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(C1)の層数分布を図5に示す。図5に示すとおり、最頻値は4層に存在し、相対頻度は27%であった。
た。
また、カーボンナノチューブ集合体(C1)の直径分布の分布幅、直径分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
結果を表1にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。上記基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブの片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(C1)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(C1)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は7.9N/cm2であった。
結果を表1にまとめた。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
表面にSiO2膜を有するシリコン基板(熱酸化膜付ウェハ、KST製、SiO2膜厚み=1μm、SiO2膜とシリコン基板を合わせた厚み=550μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み2nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率350ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を700℃まで30分間で段階的に昇温させ、700℃にて安定させた。700℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、30分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(3)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(3)の長さは722μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(3)の直径分布を図6に示す。図6に示すとおり、最頻値は12nmに存在し、相対頻度は25%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(3)の層数分布の分布幅、層数分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
結果を表2にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。上記基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブの片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(3)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(3)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は40.5N/cm2であった。
結果を表2にまとめた。
ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)の混合ガスを石英管内に充填させ、20分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させたこと以外は、実施例3と同様にしてカーボンナノチューブ集合体(4)を作製した。
カーボンナノチューブ集合体(4)の長さは570μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(4)の直径分布を図7に示す。図7に示すとおり、最頻値は13nmに存在し、相対頻度は22.2%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(4)の層数分布の分布幅、層数分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
実施例3と同様にして、基材付カーボンナノチューブ集合体(4)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(4)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は31.2N/cm2であった。
結果を表2にまとめた。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
シリコン基板(エレクトロニクス エンド製、厚み525μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み0.67nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率350ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に20分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を700℃まで30分間で段階的に昇温させ、700℃にて安定させた。700℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、20分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(C2)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(C2)の長さは589μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(C2)の直径分布を図8に示す。図8に示すとおり、最頻値は5nmに存在し、相対頻度は85.7%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(C2)の層数分布の分布幅、層数分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
結果を表2にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。上記基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブの片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(C2)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(C2)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は15.3N/cm2であった。
結果を表2にまとめた。
ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)の混合ガスを石英管内に充填させ、10分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させたこと以外は、比較例2と同様にしてカーボンナノチューブ集合体(C3)を作製した。
カーボンナノチューブ集合体(C3)の長さは630μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(C3)の直径分布を図9に示す。図9に示すとおり、最頻値は13nmに存在し、相対頻度は40%であった。
また、カーボンナノチューブ集合体(C3)の層数分布の分布幅、層数分布の最頻値および該最頻値の相対頻度も測定した。
比較例2と同様にして、基材付カーボンナノチューブ集合体(C3)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(C3)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は11.5N/cm2であった。
結果を表2にまとめた。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
表面にSiO2膜を有するシリコン基板(熱酸化膜付ウェハ、KST製、SiO2膜厚み=0.5μm、SiO2膜とシリコン基板を合わせた厚み=550μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み2nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率330ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで30分間で段階的に昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、60分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(5)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(5)の長さは1073μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(5)の層数分布を図10に示す。図10に示すとおり、最頻値は4層と8層に存在し、相対頻度はそれぞれ20%であった。
結果を表3にまとめた。
上記カーボンナノチューブ集合体(5)が備えるカーボンナノチューブ(単層カーボンナノチューブ)をスパチュラで取り出し、片端をガラス(MATSUNAMI スライドガラス27mm×56mm)に圧着させて、基材付カーボンナノチューブ集合体(5)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(5)をサンプルとして、せん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は、室温で40.7N/cm2、250℃で42.6N/cm2であった。
結果を表3にまとめた。
ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)の混合ガスを石英管内に充填させ、20分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させたこと以外は、実施例5と同様にしてカーボンナノチューブ集合体(6)を作製した。
カーボンナノチューブ集合体(6)の長さは357μmであった。
カーボンナノチューブ集合体(6)の層数分布を図11に示す。図11に示すとおり、最頻値は4層と8層に存在し、相対頻度はそれぞれ20%であった。
実施例5と同様にして、基材付カーボンナノチューブ集合体(6)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(6)をサンプルとして、実施例5と同様に、せん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は、室温で34.6N/cm2、250℃で30.3N/cm2であった。
結果を表3にまとめた。
汎用粘着剤(日東電工株式会社製、31B)をサンプルとして、実施例5と同様に、せん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は、室温で65.3N/cm2、250℃で33.2N/cm2であった。
結果を表3にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。実施例5で得られた、基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブ集合体(5)の片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(5´)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(5´)をサンプルとして、せん断接着力を測定した(測定方法(B))。せん断接着力は、表面自由エネルギー64.4mJ/m2の被着体(ガラス)に対するせん断接着力Aが43.4N/cm2、表面自由エネルギー29.8mJ/m2の被着体(PP板)に対するせん断接着力Bが38.7N/cm2であった。
結果を表4にまとめた。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。実施例6で得られた、基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブ集合体(6)の片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(6´)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(6´)をサンプルとして、せん断接着力を測定した(測定方法(B))。せん断接着力は、表面自由エネルギー64.4mJ/m2の被着体(ガラス)に対するせん断接着力Aが36.5N/cm2、表面自由エネルギー29.8mJ/m2の被着体(PP板)に対するせん断接着力Bが40.7N/cm2であった。
結果を表4にまとめた。
比較例4で用いた汎用粘着剤(日東電工株式会社製、31B)をサンプルとして、せん断接着力を測定した(測定方法(B))。せん断接着力は、表面自由エネルギー64.4mJ/m2の被着体(ガラス)に対するせん断接着力Aが65.0N/cm2、表面自由エネルギー29.8mJ/m2の被着体(PP板)に対するせん断接着力Bが37.0N/cm2であった。
結果を表4にまとめた。
(カーボンナノチューブ集合体の作製)
表面にSiO2膜を有するシリコン基板(熱酸化膜付ウェハ、KST製、SiO2膜厚み=1μm、SiO2膜とシリコン基板を合わせた厚み=550μm)上に、真空蒸着装置(JEOL製、JEE−4X Vacuum Evaporator)により、Al薄膜(厚み10nm)を形成した後、450℃で1時間酸化処理を施した。このようにして、シリコン基板上にAl2O3膜を形成した。このAl2O3膜上に、スパッタ装置(ULVAC製、RFS−200)にてさらにFe薄膜(厚み2nm)を蒸着させて触媒層を形成した。
次に、触媒層付シリコン基板をカットして、30mmφの石英管内に載置し、水分率350ppmに保ったヘリウム/水素(120/80sccm)混合ガスを石英管内に30分間流して、管内を置換した。その後、電気管状炉を用いて管内を765℃まで30分間で段階的に昇温させ、765℃にて安定させた。765℃にて10分間放置後、温度を保持したまま、ヘリウム/水素/エチレン(105/80/15sccm、水分率350ppm)混合ガスを管内に充填させ、35分間放置してカーボンナノチューブを基板上に成長させ、カーボンナノチューブ集合体(9)を得た。
カーボンナノチューブ集合体(9)の長さは680μmであった。
ポリプロピレン樹脂(旭洋紙パルプ株式会社製、厚み30μm)をホットプレート上で200℃に加熱し、溶融させた。上記基板上に垂直配向させて形成させたカーボンナノチューブの片端(上端)を溶融させたポリプロピレン樹脂に圧着した後、室温に冷却して固定した。このようにして、基材付カーボンナノチューブ集合体(9)を得た。
基材付カーボンナノチューブ集合体(9)をサンプルとして、25℃にてせん断接着力を測定した(測定方法(A))。せん断接着力は44.60N/cm2であった。
クラス10のクリーンルーム内で、直径4インチ、厚さ500μmの半導体ウェハに、基材付カーボンナノチューブ集合体(9)を、5kgローラーを一往復させて圧着して接着した。1時間後に、180°ピールにて剥離した。剥離面に残留している大きさ0.28μm以上のパーティクル汚染物の数を、レーザー表面検査装置(LS−5000、日立電子エンジニアリング社製)で測定した。剥離した半導体ウェハ上に残留する大きさ0.28μm以上のパーティクル数は、22個/4インチウェハであった。
なお、上記非汚染性評価における180°ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG−1kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし法)に準じて測定を行った。ただし、試験片は基材付カーボンナノチューブ集合体(9)であり、圧着は5kgのローラーを1往復して行い、温度23±2℃、湿度65±5%RH、剥離速度300mm/minで測定した。
軽剥離性評価として、180°ピールを測定した。軽剥離性評価としての180°ピールは、引張圧縮試験機(ミネベア製「TG−1kN」)にて、JIS C 2107の粘着力(180°引き剥がし法)に準じて測定を行った。ただし、試験片は、幅20mmの基材付カーボンナノチューブ集合体(9)であり、試験板としてシリコンウェハ(ベアウェハ、P型、KST製)を用い、圧着は2kgのローラーを1往復して行い、温度23±2℃、湿度65±5%RH、剥離速度300mm/minで測定した。測定の結果、180°ピールは、0.95N/20mmであった。
Claims (6)
- 複数の直径を有する繊維状柱状構造体を備え、
該繊維状柱状構造体がカーボンナノチューブであり、
該複数の直径を有する繊維状柱状構造体の直径分布の分布幅が10〜30nmであり、該直径分布の最頻値の相対頻度が30%以下であり、該直径の最大数が5〜30nmであり、該直径の最小数が5〜15nmである、
粘着部材に用いる繊維状柱状構造体集合体。 - 前記直径分布の最頻値が5nmから15nmの範囲に存在する、請求項1に記載の繊維状柱状構造体集合体。
- 前記複数の直径を有する繊維状柱状構造体が長さ方向に配向している、請求項1または2に記載の繊維状柱状構造体集合体。
- 室温におけるガラス面に対するせん断接着力が15N/cm2以上である、請求項1から3までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体。
- 基材をさらに備え、前記繊維状柱状構造体の片端が該基材に固定されている、請求項1から4までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体。
- 請求項1から5までのいずれかに記載の繊維状柱状構造体集合体を用いた、粘着部材。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008106351 | 2008-04-16 | ||
JP2008106351 | 2008-04-16 | ||
JP2008172036 | 2008-07-01 | ||
JP2008172036 | 2008-07-01 | ||
PCT/JP2009/056640 WO2009128342A1 (ja) | 2008-04-16 | 2009-03-31 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010107229A Division JP4545827B1 (ja) | 2008-04-16 | 2010-05-07 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP4528359B2 true JP4528359B2 (ja) | 2010-08-18 |
JPWO2009128342A1 JPWO2009128342A1 (ja) | 2011-08-04 |
Family
ID=41199040
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009554806A Active JP4528359B2 (ja) | 2008-04-16 | 2009-03-31 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
JP2010107229A Active JP4545827B1 (ja) | 2008-04-16 | 2010-05-07 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010107229A Active JP4545827B1 (ja) | 2008-04-16 | 2010-05-07 | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8900701B2 (ja) |
EP (1) | EP2269951B1 (ja) |
JP (2) | JP4528359B2 (ja) |
KR (2) | KR101015327B1 (ja) |
CN (1) | CN102007071B (ja) |
WO (1) | WO2009128342A1 (ja) |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8025971B2 (en) * | 2008-04-16 | 2011-09-27 | Nitto Denko Corporation | Fibrous columnar structure aggregate and pressure-sensitive adhesive member using the aggregate |
JP5577089B2 (ja) * | 2009-12-25 | 2014-08-20 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ複合構造体および粘着部材 |
JP5751467B2 (ja) * | 2010-10-25 | 2015-07-22 | ニッタ株式会社 | Fe微粒子保持構造、CNT生成用触媒およびCNT製造方法 |
JP2013014449A (ja) * | 2011-07-01 | 2013-01-24 | Nitto Denko Corp | 繊維状柱状構造体集合体 |
JP5893374B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2016-03-23 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体およびそれを用いた粘弾性体 |
US20140335353A1 (en) * | 2011-12-08 | 2014-11-13 | Nitto Denko Corporation | Viscoelastic body |
JP5892778B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2016-03-23 | 日東電工株式会社 | 広温度領域用粘弾性体 |
JP5892777B2 (ja) * | 2011-12-08 | 2016-03-23 | 日東電工株式会社 | 低アウトガス粘弾性体 |
JP2013160588A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | 飛行時間型二次イオン質量分析装置用試料固定部材 |
JP2013160589A (ja) * | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | ナノインデンター用試料固定部材 |
JP2013160587A (ja) | 2012-02-03 | 2013-08-19 | Nitto Denko Corp | 原子間力顕微鏡用試料固定部材 |
JP2013195950A (ja) * | 2012-03-22 | 2013-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | ベルクル及びフォトマスク |
JP5986808B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2016-09-06 | 日東電工株式会社 | 接合部材および接合方法 |
JP5986809B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2016-09-06 | 日東電工株式会社 | 接合部材および接合方法 |
JP2014002004A (ja) * | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Nitto Denko Corp | 粒子吸着マイクロプローブ |
JP2014002123A (ja) * | 2012-06-21 | 2014-01-09 | Nitto Denko Corp | 液滴の切削方法および液滴断面の分析方法 |
JP2014048165A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-03-17 | Nitto Denko Corp | 分析用除電部材 |
JP2014098107A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Nitto Denko Corp | 宇宙空間で用いる把持材料 |
JP2014145699A (ja) * | 2013-01-30 | 2014-08-14 | Nitto Denko Corp | Ir分光分析装置用試料固定部材 |
JP2014153183A (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-25 | Nitto Denko Corp | 表面支援レーザー脱離イオン化飛行時間型質量分析装置用イオン化支援部材 |
JP2014200769A (ja) * | 2013-04-09 | 2014-10-27 | 日東電工株式会社 | 吸着材 |
JP6097783B2 (ja) * | 2014-04-14 | 2017-03-15 | ツィンファ ユニバーシティ | カーボンナノチューブアレイの転移方法及びカーボンナノチューブ構造体の製造方法 |
JP2016043091A (ja) * | 2014-08-25 | 2016-04-04 | 日東電工株式会社 | クリーニング部材 |
JP6931971B2 (ja) * | 2014-09-16 | 2021-09-08 | 東レ株式会社 | 金属複合炭素材料、燃料電池用触媒、燃料電池、水素吸蔵材料、水素タンクおよび金属複合炭素材料の製造方法 |
JP6616194B2 (ja) | 2016-01-15 | 2019-12-04 | 日東電工株式会社 | 載置部材 |
JP6419362B1 (ja) * | 2016-06-10 | 2018-11-07 | リンテック オブ アメリカ インコーポレーテッドLintec of America, Inc. | ナノファイバーシート |
JP6796984B2 (ja) * | 2016-10-03 | 2020-12-09 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP6975545B2 (ja) * | 2016-10-03 | 2021-12-01 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP6940058B2 (ja) * | 2017-01-11 | 2021-09-22 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | カーボンナノチューブ集合体 |
JP7144149B2 (ja) * | 2018-02-06 | 2022-09-29 | 日東電工株式会社 | カーボンナノチューブ集合体 |
EP4166620A4 (en) * | 2020-06-12 | 2024-06-12 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | TEMPORARY BONDING METHOD, DEVICE WAFER PROCESSING METHOD, LAMINATE FOR TEMPORARY BONDING AND LAMINATE FOR DEVICE WAFER PROCESSING |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004217511A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Nagoya Industrial Science Research Inst | フラーレンまたはカーボンナノチューブの製造方法、および装置 |
JP2004300631A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Mitsubishi Materials Corp | カーボンナノファイバ及びその製造方法 |
WO2007116434A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujitsu Limited | カーボンナノチューブの製造方法 |
JP2008055710A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Nitto Denko Cs System Kk | 帯電防止性粘着テープ |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7132161B2 (en) | 1999-06-14 | 2006-11-07 | Energy Science Laboratories, Inc. | Fiber adhesive material |
US6737160B1 (en) | 1999-12-20 | 2004-05-18 | The Regents Of The University Of California | Adhesive microstructure and method of forming same |
ATE292093T1 (de) * | 2001-07-03 | 2005-04-15 | Univ Notre Dame De La Paix | Katalysatorträger und hierauf hergestellte kohlenstoffnanoröhren |
WO2006083282A2 (en) | 2004-05-19 | 2006-08-10 | The Regents Of The University Of California | Electrically and thermally conductive carbon nanotube or nanofiber array dry adhesive |
TWI463615B (zh) * | 2004-11-04 | 2014-12-01 | Taiwan Semiconductor Mfg Co Ltd | 以奈米管為基礎之具方向性導電黏著 |
JP4899368B2 (ja) | 2005-07-29 | 2012-03-21 | ソニー株式会社 | 金属的単層カーボンナノチューブの破壊方法、半導体的単層カーボンナノチューブ集合体の製造方法、半導体的単層カーボンナノチューブ薄膜の製造方法、半導体的単層カーボンナノチューブの破壊方法、金属的単層カーボンナノチューブ集合体の製造方法、金属的単層カーボンナノチューブ薄膜の製造方法、電子素子の製造方法およびカーボンナノチューブfetの製造方法 |
US20090200912A1 (en) * | 2005-10-20 | 2009-08-13 | The Trustees Of Boston College | Methods for Growing Carbon Nanotubes on Single Crystal Substrates |
-
2009
- 2009-03-31 JP JP2009554806A patent/JP4528359B2/ja active Active
- 2009-03-31 EP EP09732881.9A patent/EP2269951B1/en active Active
- 2009-03-31 KR KR1020107024477A patent/KR101015327B1/ko active IP Right Grant
- 2009-03-31 WO PCT/JP2009/056640 patent/WO2009128342A1/ja active Application Filing
- 2009-03-31 US US12/988,268 patent/US8900701B2/en active Active
- 2009-03-31 KR KR1020107023074A patent/KR101015293B1/ko active IP Right Grant
- 2009-03-31 CN CN2009801135677A patent/CN102007071B/zh active Active
-
2010
- 2010-05-07 JP JP2010107229A patent/JP4545827B1/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004217511A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-08-05 | Nagoya Industrial Science Research Inst | フラーレンまたはカーボンナノチューブの製造方法、および装置 |
JP2004300631A (ja) * | 2003-03-31 | 2004-10-28 | Mitsubishi Materials Corp | カーボンナノファイバ及びその製造方法 |
WO2007116434A1 (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Fujitsu Limited | カーボンナノチューブの製造方法 |
JP2008055710A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Nitto Denko Cs System Kk | 帯電防止性粘着テープ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100121702A (ko) | 2010-11-18 |
JP2010254572A (ja) | 2010-11-11 |
EP2269951B1 (en) | 2017-02-08 |
EP2269951A1 (en) | 2011-01-05 |
CN102007071A (zh) | 2011-04-06 |
KR101015293B1 (ko) | 2011-02-15 |
CN102007071B (zh) | 2013-09-18 |
KR101015327B1 (ko) | 2011-02-15 |
US20110039095A1 (en) | 2011-02-17 |
JPWO2009128342A1 (ja) | 2011-08-04 |
US8900701B2 (en) | 2014-12-02 |
JP4545827B1 (ja) | 2010-09-15 |
KR20100121708A (ko) | 2010-11-18 |
WO2009128342A1 (ja) | 2009-10-22 |
EP2269951A4 (en) | 2015-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4528359B2 (ja) | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 | |
JP4472785B2 (ja) | 繊維状柱状構造体集合体およびそれを用いた粘着部材 | |
JP5518722B2 (ja) | カーボンナノチューブ集合体 | |
JP5577089B2 (ja) | カーボンナノチューブ複合構造体および粘着部材 | |
JP2014098107A (ja) | 宇宙空間で用いる把持材料 | |
JP2017094412A (ja) | 部品把持具 | |
JP5199753B2 (ja) | カーボンナノチューブ集合体の製造方法 | |
WO2012026203A1 (ja) | 繊維状柱状構造体集合体および粘着部材 | |
JP5893374B2 (ja) | カーボンナノチューブ集合体およびそれを用いた粘弾性体 | |
WO2013115146A1 (ja) | ナノインデンター用試料固定部材 | |
WO2013115144A1 (ja) | 原子間力顕微鏡用試料固定部材 | |
JP5892778B2 (ja) | 広温度領域用粘弾性体 | |
JP2010073843A (ja) | マイクロプロセッサ構造 | |
JP2016074144A (ja) | 粘弾性体 | |
JP2010073842A (ja) | マイクロプロセッサ構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100604 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130611 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4528359 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160611 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |