JP4516685B2

JP4516685B2 - Hard brittle plate break device

Info

Publication number: JP4516685B2
Application number: JP2000347058A
Authority: JP
Inventors: 憲章吉田; 康行山本
Original assignee: Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
Current assignee: Nakamura Tome Precision Industry Co Ltd
Priority date: 2000-11-14
Filing date: 2000-11-14
Publication date: 2010-08-04
Anticipated expiration: 2020-11-14
Also published as: JP2002144294A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ガラス板を代表とする硬質脆性板の割断装置に関するもので、特に前工程で表面にスクライブ線（引っ掻き溝）を設けた硬質脆性板に曲げ力ないし衝撃力を加えて、当該スクライブ線に沿って硬質脆性板を分断するブレーク工程を行う装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス板を所望寸法に切断する方法として、ガラス板の表面にダイヤモンドチップなどで引っ掻き溝を刻設し、この引っ掻き溝の近傍に曲げ力や衝撃力を加えることによってガラス板を割って分断（割断）することは、古くから行われている。ガラス板をはじめとする硬質脆性板は、電子装置のディスプレイパネルやハードディスクの基板として近年大量に用いられており、これらの電子ディバイスの製造工程中には、ガラス板を所望形状ないし寸法に分断する工程が含まれることとなる。
【０００３】
前述したガラス板の割断方法は、このような電子ディバイスの製造工程中における硬質脆性基板の分断に広く利用されており、その分断工程は、スクライブ線を入れるスクライブ工程と、スクライブ線に沿って割断するブレーク工程を含んでいる。
【０００４】
図８及び図９は、従来装置におけるブレーク方法を模式的に示した図である。図８の方法は、分割されたテーブルの一方２１を他方２２に対してそれらの連接部２３回りに揺動させることにより、連接部２３にスクライブ線７を一致させてテーブル２１、２２上に定置した硬質脆性板８に曲げ力を付与してスクライブ線７に沿って割断するというものである。
【０００５】
また、図９に示す方法は、テーブル２６上に定置した硬質脆性板８のスクライブ線７に向けて、ウレタン樹脂などで形成されたブレーク刃１０の稜線９を衝突させることにより、衝撃力を加えてその衝撃応力によりブレークするというものである。
【０００６】
なお、レーザビーム等を硬質脆性板の所望の切断線に沿って走査し、硬質脆性板を局部的に加熱してその熱応力により分断する方法も種々提案されているが、分断装置が高価であることと、分断速度が遅いことという実用上の大きなデメリットがあり、広く採用されるに至っていないのが実状である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図８に示すようなブレーク方法を採用した場合、割断する硬質脆性板の寸法が大きくなると、大きなテーブルの揺動動作が必要となり、装置構造が複雑になるとともに、ブレーク動作に時間がかかるという問題がある。また、図９に示す方法を採用した場合には、スクライブ線を設けた面の反対の面にブレーク刃を衝突させる必要があるため、硬質脆性板を表裏反転する装置をスクライブ装置とブレーク装置の間に設ける必要があり、装置が大型になると共に、反転に時間がかかって分断速度が低下するという問題がある。
【０００８】
なお図９の方法において、硬質脆性板を反転せずに、ブレーク刃又はスクライブカッタを硬質脆性板の下方に配置する構成も可能であるが、テーブルを分割してその間にブレーク刃の昇降装置やスクライブカッタの走行装置を設ける必要があるため、装置構造が複雑になる。
【０００９】
なお、液晶パネルの分断のように、２枚合せになったガラス板を１枚ずつ割断するときは、図８の方法は採用することができず、図９に示す方法によらなければならない。
【００１０】
この発明は、装置構造が簡単で、かつ短時間でブレーク工程を行うことができ、スクライブ装置とブレーク装置との間での硬質脆性板の反転操作も必要としない、硬質脆性板のブレーク装置を提供することを課題としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この発明のブレーク装置は、流体圧により硬質脆性板の割断線に沿って曲げ力ないし衝撃力を作用させることにより、硬質脆性板をブレークすることを特徴とするものである。この場合、流体圧を直接硬質脆性板に作用させて割断することも考えられるが、液晶パネルの分断等においては塵埃を極度に嫌うため、流体圧を直接硬質脆性板に作用させることには問題がある。そこでこの発明では、割断しようとする硬質脆性板の割断線に沿う方向に密閉された流路を配置して、その流路内に加圧流体を供給することにより、流路断面を膨張させ、この膨張動作を硬質脆性板に作用させることにより、硬質脆性板を割断する構造を採用している。
【００１２】
すなわちこの発明の硬質脆性板のブレーク装置は、割断しようとする硬質脆性板の割断線に沿う方向に配置した密閉流路と、この密閉流路の前記硬質脆性板に対向する周壁を形成している可撓壁と、前記密閉流路に適時加圧流体を供給する圧力供給手段とを備ている。
【００１３】
流体圧としては、空気圧、水圧、油圧などを利用することができる。空気圧として工場空気と呼ばれている既存の圧力空気源を利用すれば、装置自体には空気圧源を設ける必要がないから、装置構造を極めて簡単にできる。一方、水や油は非圧縮性流体であるため、急激な圧力変動を生じさせることが可能で、衝撃的な力を硬質脆性板に作用させるときに有利である。
【００１４】
硬質脆性板の下面に沿って密閉流路を形成する手段としては、硬質脆性板を定置するテーブルの上面に溝３を設けて、当該溝に流体パイプ４を収納する構造や、テーブルの上面に設けた溝３の上面開口をシート状ないし帯状の可撓板１２、１４で密閉する構造が採用可能である。密閉流路内の流体圧は、前者の構造における流体パイプの周壁や後者の構造における可撓板を直接硬質脆性板に当接させることにより伝達することができ、また前記流体パイプや可撓板の上動をブレーク刃１０を介して硬質脆性板に作用させる構造とすることもできる。
【００１５】
請求項２及び３の発明は、密閉流路を流体パイプ４で形成したもので、割断しようとする硬質脆性板を載置するテーブル２と、このテーブルの上面に開口する溝３と、この溝に前記割断線に沿う方向にして収納された可撓性周壁を有する流体パイプ４と、この流体パイプ内に圧力流体を供給する開閉弁ないし切換弁５とを備えている。
【００１６】
請求項３の発明は、前記溝３の底部側に前記流体パイプ４が収納され、当該溝の上部側に頂部に稜線９を有するブレーク刃１０が上下動可能に嵌装されているものである。
【００１７】
請求項４及び５の発明は、密閉流路をテーブルの上面に可撓板１２、１４で閉鎖した溝３を設けることによって形成したもので、割断しようとする硬質脆性板を載置するテーブル２と、このテーブルの上面に開口する溝３と、この溝の上面開口を閉鎖するように貼着ないし嵌着された可撓板１２、１４と、前記溝に圧力流体を供給する開閉弁ないし切換弁５とを備えている。
【００１８】
請求項５の発明は、前記可撓板１２、１４は、その上面側に頂部に稜線９を有するブレーク刃１０を一体又は別体で備えているものである。
【００１９】
上記構造のこの発明のブレーク装置は、割断しようとする硬質脆性板８に刻設されたスクライブ線を密閉流路１５に一致させてテーブル２上に定置し、密閉流路１５に加圧流体を供給することにより、密閉流路１５の頂面ないしその上に装着されたブレーク刃１０を上動させて、硬質脆性板のスクライブ線に沿って曲げ力ないし衝撃力を作用させることにより、当該硬質脆性板を割断する。ここで言うブレーク刃は、硬質脆性板と当接する頂部に稜線９を形成したものを言い、流体パイプの周壁や可撓板と一体に形成されたものを含む。
【００２０】
この発明のブレーク装置は、テーブルの上面に密閉流路を十字型や井桁状に形成することが比較的容易に可能であるので、交差する複数のスクライブ線に沿うブレークを同時に行うことも可能である。更にこの発明の装置では、密閉流路に急速に流体圧を供給することにより、硬質脆性板に衝撃的な力を付与することが可能であるため、液晶パネルの分断のような２枚重ねのガラス板を１枚ずつ分断するというブレーク動作も可能である。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１及び図２は、この発明の第１実施例を示す図である。図１において、ガラス板を吸着して定置するための多数の負圧孔１を有するテーブル２の上面に、ガラス板の送り方向と直交する方向の溝３が形成されており、この溝内に可撓性を備えた合成樹脂製の流体パイプ４が溝３に埋設した状態で収容されている。流体パイプ４の一端は密閉され、他端は切換弁５を介して工場空気のホースを接続するカプラ６に接続されている。
【００２２】
スクライブ線７を上面にしてテーブル２上を移動するガラス板８は、図２(ａ)に示すように、そのスクライブ線７を溝３の幅の中央に位置決めした状態でテーブル２上に負圧空気で吸引して定置される。この状態で切換弁５を切換えて、流体パイプ４内に工場空気を供給すると、流体パイプ４は膨張して、その周壁上面が溝３から突出してガラス板８の下面に当接し、スクライブ線７を設けた部分に曲げ力ないし衝撃力を作用させて、当該スクライブ線に沿ってガラス板８を割断する(図２(ｂ)）。
【００２３】
図３はこの発明の第２実施例を示した図である。この第２実施例のものでは、テーブル２の上面に第１実施例のものより深い溝３を設け、その底部に第１実施例と同様な構造の流体パイプ４を収容し、溝３の上方部分に上面に稜線９を形成したポリウレタン製の断面ホームベース型のブレーク刃１０を上下動可能に嵌装している。流体パイプ４に圧力空気を供給していない図３(ａ)の状態では、ブレーク刃の稜線９はテーブル２の上面より低い位置にある。割断するガラス板のスクライブ線７を溝３の中央に一致させてガラス板８を定着し、流体パイプ４内に圧力空気を供給すると、流体パイプ４の断面が膨張してブレーク刃１０を上動させ、ブレーク刃の稜線９がガラス板８に衝突して、スクライブ線７に沿ってガラス板８を分断する(図３(ｂ)）。
【００２４】
図４及び図５は、この発明の第３実施例を示した図で、第２実施例に示すようなブレーク刃１０を設けた構造において、互いに直角に交差する方向のスクライブ線に沿う割断を同時に行うようにした例を示したものである。図４において、割断するガラス板を載置するテーブル２の上面には、互いに直交する方向の溝３ａ、３ｂが形成されており、その溝のそれぞれの底部に第１実施例と同様な流体パイプ４が収納され、その上方部分に第２実施例と同様なブレーク刃１０ａ、１０ｂが嵌装されている。
【００２５】
図５に示すように、交差する溝の一方３ａは他方３ｂより深く、深い方の溝３ａに嵌挿されるフレーク刃１０ａの他方との交差部分には、浅い方の溝３ｂと同じ深さの切欠溝１１が設けられている。浅い方の溝３ｂに収納された流体パイプ４及びブレーク刃１０ｂは、切欠溝１１を通っている。
【００２６】
この第３実施例の構造では、交差する流体パイプに圧力空気を供給することにより、第２実施例で説明したと同様な動作によって、交差するブレーク刃１０が同時に上動してガラス板の下面に衝突し、互いに交差するスクライブ線に沿うガラス板の割断を同時に行うことができる。
【００２７】
図６はこの発明の第４実施例を示す図で、ガラス板を載置するテーブルの上面に形成した溝３の上面開口をテーブル２の上面に貼着した可撓性のシート１２で閉鎖することにより、密閉流路１５を形成したものである。この密閉流路１５の両端は、盲板で閉鎖してあり、テーブル２にはこの密閉流路に連通する空気供給孔が設けられ、当該空気供給孔が切換弁を介して加圧空気源に連結されている。図６(ｂ)に示すように、密閉流路１５に加圧空気を供給すると、溝３の上部を閉鎖している可撓性シート１２が上方に屈曲して、テーブル２上に載置されたガラス板を押圧して、曲げ力ないし衝撃力を作用させて、当該ガラス板を割断する。
【００２８】
図７は、この発明の第５実施例を示した図で、テーブル２の上面に形成した溝３の両側壁上部に形成した嵌合溝１３に、中央にブレーク刃１０を一体に形成した可撓性の蓋板１４を気密に嵌着して、密閉流路１５を形成した例を示したものである。密閉流路１５には、第４実施例と同様な方法で加圧空気を供給することができ、この密閉流路に加圧空気を供給したとき、可撓性蓋板１４が上方に変形してこの蓋板の中央に形成したブレーク刃の稜線９がテーブル２上に定着したガラス板８の下面に衝突し、当該ガラス板をスクライブ線７に沿って割断する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１実施例を模式的に示す斜視図
【図２】第１実施例の装置における待機時(ａ)と割断時(ｂ)の動作を示す要部断面図
【図３】第２実施例の待機時(ａ)と割断時(ｂ)の動作を示す要部断面図
【図４】第３実施例のテーブルを示す斜視図
【図５】第３実施例の溝の交差部分を示す拡大斜視図
【図６】第４実施例の待機時(ａ)と割断時(ｂ)の動作を示す要部断面図
【図７】第５実施例の待機時(ａ)と割断時(ｂ)の動作を示す要部断面図
【図８】従来のブレーク装置におけるブレーク方法の第１例を示す説明図
【図９】従来のブレーク装置におけるブレーク方法の第２例を示す説明図
【符号の説明】
２テーブル
３溝
４流体パイプ
５切換弁
９稜線
10 ブレーク刃
12 可撓性シート
14 可撓性蓋板[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a cleaving device for a hard brittle plate represented by a glass plate, and in particular, a bending force or an impact force is applied to a hard brittle plate provided with a scribe line (scratch groove) on the surface in the previous step. The present invention relates to an apparatus for performing a break process for dividing a hard brittle plate along a line.
[0002]
[Prior art]
As a method of cutting a glass plate to a desired size, a scratch groove is engraved on the surface of the glass plate with a diamond tip or the like, and the glass plate is broken by dividing it by applying bending force or impact force in the vicinity of the scratch groove (cleaving). ) Has been done for a long time. In recent years, glass plates and other hard and brittle plates have been used in large quantities as substrates for display panels and hard disks of electronic devices. During the manufacturing process of these electronic devices, the glass plates are divided into desired shapes or dimensions. A process will be included.
[0003]
The glass plate cleaving method described above is widely used for dividing a hard and brittle substrate during the manufacturing process of such an electronic device. The cleaving step includes a scribe step for inserting a scribe line, and a cleave along the scribe line. A break process is included.
[0004]
8 and 9 are diagrams schematically showing a break method in the conventional apparatus. In the method shown in FIG. 8, one of the divided tables 21 is swung around the connecting portion 23 with respect to the other 22, so that the scribe line 7 is aligned with the connecting portion 23 and placed on the tables 21 and 22. A bending force is applied to the hard brittle plate 8 and it is cut along the scribe line 7.
[0005]
Further, the method shown in FIG. 9 applies an impact force by causing the ridge line 9 of the break blade 10 formed of urethane resin or the like to collide with the scribe line 7 of the hard brittle plate 8 placed on the table 26. It breaks due to the impact stress.
[0006]
Various methods for scanning a laser beam or the like along a desired cutting line of a hard brittle plate and locally heating the hard brittle plate and dividing it by its thermal stress have been proposed, but the cutting device is expensive. There is a big practical disadvantage that there is a thing and slow parting speed, and the reality is that it has not been widely adopted.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the break method as shown in FIG. 8 is adopted, if the size of the hard brittle plate to be cleaved becomes large, a large table swing operation is required, the device structure becomes complicated, and the break operation takes time. There is a problem. Further, when the method shown in FIG. 9 is adopted, it is necessary to make the break blade collide with the surface opposite to the surface on which the scribe line is provided. There is a problem that it is necessary to provide them in between, and the apparatus becomes large in size, and it takes time to invert and the cutting speed decreases.
[0008]
In the method of FIG. 9, it is possible to arrange the break blade or the scribe cutter below the hard brittle plate without inverting the hard brittle plate. Since it is necessary to provide a scribe cutter traveling device, the device structure becomes complicated.
[0009]
Note that when the two glass plates are cut one by one as in the case of dividing the liquid crystal panel, the method shown in FIG. 8 cannot be adopted, and the method shown in FIG. 9 must be used.
[0010]
The present invention provides a hard brittle plate break device that has a simple device structure, can perform a break process in a short time, and does not require a reversing operation of the hard brittle plate between the scribe device and the break device. The issue is to provide.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
The break device of the present invention is characterized by breaking a hard brittle plate by applying a bending force or an impact force along the breaking line of the hard brittle plate by fluid pressure. In this case, it is conceivable that the fluid pressure is directly applied to the hard and brittle plate, but it is considered that the fluid pressure is directly applied to the hard and brittle plate because it is extremely disliked when the liquid crystal panel is divided. There is. Therefore, in the present invention, by placing a sealed channel in a direction along the breaking line of the hard brittle plate to be cleaved, by supplying pressurized fluid into the channel, the channel cross section is expanded, A structure in which the hard brittle plate is cut by applying this expansion operation to the hard brittle plate is adopted.
[0012]
That is, the break device of the hard brittle plate of the present invention is formed by forming a sealed channel disposed in a direction along the breaking line of the hard brittle plate to be cleaved and a peripheral wall of the sealed channel facing the hard brittle plate. A flexible wall, and pressure supply means for supplying pressurized fluid to the sealed flow passage in a timely manner.
[0013]
As the fluid pressure, air pressure, water pressure, oil pressure, or the like can be used. If an existing pressure air source called factory air is used as the air pressure, it is not necessary to provide an air pressure source in the device itself, so that the device structure can be extremely simplified. On the other hand, since water and oil are incompressible fluids, abrupt pressure fluctuations can be generated, which is advantageous when an impact force is applied to the hard brittle plate.
[0014]
As a means for forming a closed flow path along the lower surface of the hard brittle plate, a groove 3 is provided on the upper surface of the table on which the hard brittle plate is placed, and the fluid pipe 4 is accommodated in the groove, or on the upper surface of the table. A structure in which the upper surface opening of the provided groove 3 is sealed with sheet-like or belt-like flexible plates 12 and 14 can be employed. The fluid pressure in the closed channel can be transmitted by directly contacting the peripheral wall of the fluid pipe in the former structure or the flexible plate in the latter structure with the hard brittle plate, and the fluid pipe or flexible plate. It can also be set as the structure which acts on a hard brittle board via the break blade 10. FIG.
[0015]
The inventions of claims 2 and 3 are such that the closed flow path is formed by the fluid pipe 4, the table 2 on which the hard brittle plate to be cleaved is placed, the groove 3 opened on the upper surface of the table, and the groove A fluid pipe 4 having a flexible peripheral wall accommodated in a direction along the breaking line, and an on-off valve or a switching valve 5 for supplying pressure fluid into the fluid pipe.
[0016]
According to a third aspect of the present invention, the fluid pipe 4 is housed on the bottom side of the groove 3, and a break blade 10 having a ridge 9 on the top is fitted on the top side of the groove so as to be movable up and down. .
[0017]
In the inventions of claims 4 and 5, the sealed flow path is formed by providing the groove 3 closed by the flexible plates 12 and 14 on the upper surface of the table, and the table 2 on which the hard brittle plate to be cleaved is placed. A groove 3 opened on the upper surface of the table, flexible plates 12 and 14 attached or fitted so as to close the upper surface opening of the groove, and an on-off valve or switch for supplying pressure fluid to the groove And a valve 5.
[0018]
According to a fifth aspect of the present invention, the flexible plates 12 and 14 are each provided with a break blade 10 having a ridge line 9 at the top on the upper surface side as a single body or separately.
[0019]
In the break device of the present invention having the structure described above, the scribe line engraved on the hard brittle plate 8 to be cleaved is placed on the table 2 so as to coincide with the sealed flow path 15, and pressurized fluid is supplied to the sealed flow path 15. By supplying, the break blade 10 mounted on the top surface of the closed flow path 15 or on the top surface thereof is moved upward, and the bending force or the impact force is applied along the scribe line of the hard brittle plate. Crush the brittle plate. Here, the break blade refers to the one in which the ridge line 9 is formed at the top that comes into contact with the hard brittle plate, and includes the one formed integrally with the peripheral wall of the fluid pipe and the flexible plate.
[0020]
In the break device of the present invention, it is relatively easy to form a closed channel on the upper surface of the table in the shape of a cross or a cross, so that it is possible to simultaneously perform a break along a plurality of intersecting scribe lines. is there. Furthermore, in the device of the present invention, it is possible to apply a shocking force to the hard brittle plate by rapidly supplying fluid pressure to the closed flow path, so that two layers of liquid crystal panels such as a cut are divided. A break operation in which the glass plates are divided one by one is also possible.
[0021]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
1 and 2 show a first embodiment of the present invention. In FIG. 1, a groove 3 in a direction perpendicular to the feeding direction of the glass plate is formed on the upper surface of a table 2 having a number of negative pressure holes 1 for adsorbing and placing the glass plate. A flexible synthetic resin fluid pipe 4 is accommodated in the groove 3. One end of the fluid pipe 4 is sealed, and the other end is connected via a switching valve 5 to a coupler 6 for connecting a factory air hose.
[0022]
The glass plate 8 that moves on the table 2 with the scribe line 7 as the upper surface has a negative pressure on the table 2 with the scribe line 7 positioned at the center of the width of the groove 3 as shown in FIG. Inhaled with air and placed. When the switching valve 5 is switched in this state and factory air is supplied into the fluid pipe 4, the fluid pipe 4 expands and the upper surface of the peripheral wall protrudes from the groove 3 and comes into contact with the lower surface of the glass plate 8. The glass plate 8 is cut along the scribe line by applying a bending force or an impact force to the portion provided with (FIG. 2 (b)).
[0023]
FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention. In this second embodiment, a groove 3 deeper than that of the first embodiment is provided on the upper surface of the table 2, and a fluid pipe 4 having the same structure as that of the first embodiment is accommodated in the bottom thereof. A cross-section home-base break blade 10 made of polyurethane having a ridge line 9 formed on the upper surface is fitted to the portion so as to be movable up and down. In the state of FIG. 3A in which no pressurized air is supplied to the fluid pipe 4, the ridgeline 9 of the break blade is at a position lower than the upper surface of the table 2. When the glass plate 8 is fixed by making the scribe line 7 of the glass plate to be cut coincide with the center of the groove 3 and the pressurized air is supplied into the fluid pipe 4, the cross section of the fluid pipe 4 expands to move the break blade 10 upward. Then, the ridgeline 9 of the break blade collides with the glass plate 8 and divides the glass plate 8 along the scribe line 7 (FIG. 3B).
[0024]
4 and 5 are views showing a third embodiment of the present invention. In the structure provided with the break blade 10 as shown in the second embodiment, the breaking along the scribe lines in the direction perpendicular to each other is shown. This is an example in which they are performed simultaneously. In FIG. 4, grooves 3 a and 3 b are formed on the upper surface of the table 2 on which the glass plate to be cut is placed, in directions orthogonal to each other. 4 is accommodated, and break blades 10a and 10b similar to those of the second embodiment are fitted in the upper part thereof.
[0025]
As shown in FIG. 5, one of the intersecting grooves 3a is deeper than the other 3b, and at the intersection with the other of the flake blades 10a inserted into the deeper groove 3a, the depth of the shallower groove 3b is the same. A notch groove 11 is provided. The fluid pipe 4 and the break blade 10b accommodated in the shallower groove 3b pass through the cutout groove 11.
[0026]
In the structure of the third embodiment, by supplying pressurized air to the intersecting fluid pipes, the intersecting break blades 10 are simultaneously moved up by the same operation as described in the second embodiment, and the lower surface of the glass plate. The glass plate along the scribe lines that collide with each other and cross each other can be cut at the same time.
[0027]
FIG. 6 is a view showing a fourth embodiment of the present invention. The upper surface opening of the groove 3 formed on the upper surface of the table on which the glass plate is placed is closed with a flexible sheet 12 adhered to the upper surface of the table 2. Thus, the sealed flow path 15 is formed. Both ends of the sealed flow path 15 are closed by blind plates, and the table 2 is provided with air supply holes communicating with the closed flow path. The air supply holes are connected to a pressurized air source via a switching valve. It is connected. As shown in FIG. 6 (b), when pressurized air is supplied to the sealed flow path 15, the flexible sheet 12 closing the upper part of the groove 3 is bent upward and placed on the table 2. The glass plate is pressed to apply a bending force or impact force to cleave the glass plate.
[0028]
FIG. 7 is a view showing a fifth embodiment of the present invention, in which a break blade 10 is integrally formed at the center in a fitting groove 13 formed on both side walls of the groove 3 formed on the upper surface of the table 2. An example is shown in which a sealed cover 15 is formed by airtightly fitting a flexible lid 14. Pressurized air can be supplied to the sealed flow path 15 in the same manner as in the fourth embodiment. When pressurized air is supplied to the sealed flow path, the flexible lid 14 is deformed upward. The edge 9 of the break blade formed at the center of the lid plate collides with the lower surface of the glass plate 8 fixed on the table 2, and the glass plate is cut along the scribe line 7.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view schematically showing a first embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of an essential part showing operations during standby (a) and cleaving (b) in the apparatus of the first embodiment. FIG. 4 is a perspective view showing a table of a third embodiment. FIG. 5 is a cross-sectional view of a groove of the third embodiment. FIG. 6 is a cross-sectional view of the main part showing the operation during standby (a) and cleaving (b) in the fourth embodiment. FIG. 7 is during standby (a) and cleaving in the fifth embodiment. FIG. 8 is an explanatory diagram showing a first example of a break method in a conventional break device. FIG. 9 is an explanatory diagram showing a second example of a break method in a conventional break device. Explanation of symbols]
2 Table 3 Groove 4 Fluid pipe 5 Switching valve 9 Ridge line
10 Break blade
12 Flexible sheet
14 Flexible lid plate

Claims

A sealed flow path arranged in a direction along the breaking line of the hard brittle plate to be cleaved, a flexible wall forming a peripheral wall facing the hard brittle plate of the closed flow path, and the sealed flow path in a timely manner A break device for a hard brittle plate, comprising pressure supply means for supplying a pressurized fluid.

A table (2) for placing a hard brittle plate to be cleaved, a groove (3) opened on the upper surface of the table, and a flexible peripheral wall accommodated in the groove along the cleaving line A breaker for a hard brittle plate, comprising a fluid pipe (4) and an on-off valve or switching valve (5) for supplying a pressure fluid into the fluid pipe.

The fluid pipe (4) is housed on the bottom side of the groove (3), and a break blade (10) having a ridge line (9) on the top side of the groove is fitted in a vertically movable manner. The hard brittle board break device according to claim 2, wherein

A table (2) on which a hard brittle plate to be cleaved is placed, a groove (3) opened on the upper surface of the table, and a flexible plate attached or fitted so as to close the upper surface opening of the groove (12, 14) and an on-off valve or a switching valve (5) for supplying pressure fluid to the groove, a hard brittle plate break device.

The said brittle board (12,14) is a hard brittle board break apparatus of Claim 4 which equips the upper surface side with the break blade (10) which has a ridgeline (9) in the top part, or is separate.