New! View global litigation for patent families

JP4504103B2 - Method of manufacturing an organic el element array - Google Patents

Method of manufacturing an organic el element array

Info

Publication number
JP4504103B2
JP4504103B2 JP2004167075A JP2004167075A JP4504103B2 JP 4504103 B2 JP4504103 B2 JP 4504103B2 JP 2004167075 A JP2004167075 A JP 2004167075A JP 2004167075 A JP2004167075 A JP 2004167075A JP 4504103 B2 JP4504103 B2 JP 4504103B2
Authority
JP
Grant status
Grant
Patent type
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2004167075A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2004363107A (en )
Inventor
嘉▲てい▼ 鍾
Original Assignee
京セラ株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Grant date

Links

Images

Description

この発明は、有機EL(Electro-Luminescent)素子アレイの製造方法に関し、特に、高い開口率および発光率を有する有機ELディスプレイに関するものである。 This invention relates to a method for manufacturing an organic EL (Electro-Luminescent) element array, in particular, it relates to an organic EL display having a high aperture ratio and emission rates.

フラットディスプレイは、人間と情報とのコミュニケーション・インターフェースであり、現在、フラットディスプレイとして、主に、有機ELディスプレイ(OELD:Organic Electro-Luminescent Display)、プラズマディスプレイ(PDP:Plasma Display Panel)、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)、真空蛍光ディスプレイ(Vacuum Fluorescent Display)、電界放射ディスプレイ(FED:Field Emission Display)、エレクトロクロミック・ディスプレイ(Electro-chromic Display)などがある。 Flat display is a communication interface between people and information, currently a flat display, mainly, an organic EL display (OELD: Organic Electro-Luminescent Display), plasma displays (PDP: Plasma Display Panel), liquid crystal displays ( LCD: Liquid Crystal display), a light emitting diode (LED: Light emitting diode), a vacuum fluorescent display (vacuum fluorescent display), field emission displays (FED: field emission display), and the like electrochromic display (electro-chromic display) . なかでも、有機ELディスプレイは、自発光素子であり、視覚依存性がないこと、省電力および低コストであり、製造工程が簡略であること、動作温度範囲が低いこと、応答速度が高いこと、全色彩化が可能であることなどの利点を有していることから、極めて大きな応用を潜在的に備えており、次世代ディスプレイの主流となると期待されている。 Among them, the organic EL displays are self-luminous elements, there is no visual dependency, a power-saving and low cost, the manufacturing process is simple, that the operating temperature range is lower, higher response speed, since it has advantages such that it is capable of full color reduction, has a very large application potentially is expected to become the mainstream of the next generation display.

有機ELディスプレイは、有機発光材料が自発光する特性を利用してディスプレイ効果を達成する表示素子である。 The organic EL display is a display element utilizing the characteristics of organic light emitting material is self-luminous to achieve a display effect. その発光構造は、基本的に1対の電極と有機官能性材料とから構成される。 Its light-emitting structure is composed of essentially a pair of electrodes and an organic functional material. 電流が陽極と陰極との間を流れることによって電子と正孔とが有機官能性材料層内部で結合して励起子が発生する際に、有機官能性材料層の材料特性に応じた異なる色で発光するというメカニズムが、有機EL素子の発光原理である。 When the current by flowing between the anode and the cathode and the electrons and holes excitons bound within an organic functional material layer occurs in different colors depending on the material characteristics of the organic functional material layer mechanism that emits light, a light-emitting principle of the organic EL element. 高効率の発光特性を有する有機EL素子を得るのに最も一般的な方法は、小分子の有機EL材料を真空蒸着により発光層として作製することである。 The most common method to obtain organic EL element having a light emission characteristic of high efficiency is to make a light-emitting layer by vacuum depositing an organic EL material of small molecules.

図5−1〜図5−3に、従来の有機EL素子における有機発光層の選択成膜フローを示す。 In Figures 5-1 5-3, showing a selection film-forming flow of the organic light emitting layer in the conventional organic EL device. まず、基板100上に陽極110とパターン絶縁膜120と陰極分離層130とを形成するとともに、マスク140の開口145によって、有機発光層を形成する予定領域の位置を決定し、赤色有機発光層R10を形成する。 First, as to form the anode 110 and patterned insulating layer 120 and the cathode separation layer 130 on the substrate 100, the openings 145 of the mask 140 to determine the location of the planned region for forming the organic light-emitting layer, the red organic light emitting layer R10 to form. そして、マスク140の開口145を移動させて次に有機発光層を形成する予定領域の位置を決定し、緑色有機発光層G10を形成する。 Then, to determine the position of the region where to form the next organic light emitting layer by moving the aperture 145 of the mask 140, to form a green organic light-emitting layer G10. 最後に、マスク140の開口145を移動させて最後に有機発光層を形成する予定領域の位置を決定し、青色有機発光層B10を形成する。 Finally, to determine the position of the region where to form the final organic light-emitting layer by moving the aperture 145 of the mask 140, to form a blue organic light-emitting layer B10. この従来方法においては、マスク140には高度に精密な自動位置決め機構を必要とし、さらに位置決め誤差を補うために、通常、陰極分離層130の幅を増加させているため、有機ELディスプレイの開口率が顕著に減少する。 In this conventional method requires a highly precise automatic positioning mechanism in the mask 140, further to compensate for the positioning error, usually, since the increased width of the cathode separation layer 130, the aperture ratio of the organic EL display It is significantly reduced.

図6に、別の有機EL素子を示す。 Figure 6 shows another organic EL element. 図6において、有機EL素子200は、基板210上に、電極層220d、青色有機発光層B20、電極層220c、緑色有機発光層G20、電極層220b、赤色有機発光層R20、電極層220aが順に堆積して構成されている。 6, the organic EL element 200, on the substrate 210, the electrode layer 220d, the blue organic light-emitting layer B20, the electrode layer 220c, a green organic light emitting layer G20, the electrode layer 220b, the red organic light emitting layer R20, the electrode layer 220a is in the order deposited to have been constructed. また、この従来の有機EL素子において、4つの電極層220a〜220dのそれぞれに対して配線を行い、これらを制御回路に接続することは困難である。 Further, this conventional organic EL element performs wiring for each of the four electrode layers 220a-220d, it is difficult to connect them to the control circuit. また、赤色光および緑色光が多くの膜層を経て初めて基板210を透過できるので、その光損耗は非常に深刻なものである。 Also, since the red light and green light can be transmitted through the first substrate 210 via a number of film layers, the light loss is very serious. さらに、各膜層の光学厚さを適切な計算によって制御する必要がある。 Furthermore, it is necessary to control the optical thickness of each layer by appropriate calculations. このような理由から、従来の有機EL素子では、製造工程に困難があり、理想的な品質を得ることができない。 For this reason, in the conventional organic EL device, there are difficulties in the manufacturing process, it is impossible to obtain an ideal quality.

図7に、さらに別の有機EL素子を示す。 Figure 7 illustrates yet another organic EL element. 図7において、有機EL素子300は、基板310と、青色有機発光層B30と、青−緑色変換層320と、緑−赤色変換層330とを備えて構成されている。 7, the organic EL element 300 includes a substrate 310, and the blue organic light-emitting layer B30, blue - green conversion layer 320, green - is constituted by a red color conversion layer 330. 緑色光は、青色有機発光層B30から出射された青色光が青−緑色変換層320の作用を受けることによって生成される。 Green light, blue light emitted from the blue organic emission layer B30 blue - are generated by receiving the action of the green conversion layer 320. また、赤色光は、さらに緑−赤色変換層330の作用を受けることによって生成される。 The red light is further green - is generated by receiving the action of the red conversion layer 330. この従来の有機EL素子においては、赤色光および緑色光が色変換層によって変換されて得られるため、発光効率が低いという欠点が存在する。 In this conventional organic EL device, since the red light and green light can be obtained is converted by the color conversion layer, disadvantage luminous efficiency is low there.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、有機ELディスプレイの開口率ならびに発光効率を適切に増大させる有機EL素子アレイの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention was made in view of the above, and an object thereof is to provide a method for manufacturing an organic EL element array to increase the aperture ratio as well as the luminous efficiency of the organic EL display properly.

上述した課題を解決し、所望の目的を達成するために、本発明にかかる有機EL素子アレイの製造方法は、基板上に第1パターン電極層を形成するステップと、前記基板上に、前記第1パターン電極層を被覆する誘電層であって、前記第1パターン電極層を露出させる複数個の開口と、前記複数個の開口の一部に連通する注入溝とを有する誘電層を形成するステップと、液体有機官能性材料を前記注入溝に注入して、前記液体有機官能性材料を前記注入溝に連通する前記複数個の開口にまで流入させ、第1有機発光素子層を形成するステップと、前記第1有機発光素子層が形成されていない残りの前記複数個の開口内部に蒸着法を用いて、第2有機発光素子層および第3有機発光素子層を形成するステップと、前記第1有機発光素子層と、前 To solve the above problems, in order to achieve the desired purpose, the manufacturing method of the organic EL element array to the present invention includes the steps of forming a first pattern electrode layer on the substrate, on the substrate, said first a dielectric layer covering the first pattern electrode layer, forming a dielectric layer having a plurality of openings exposing the first pattern electrode layer, and an injection groove communicating with a portion of said plurality of openings When the step of the liquid organic functional material is injected into the injection groove, the liquid organic functional material is flown to the plurality of apertures communicating with the injection groove, forming a first organic light emitting element layer When the by vapor deposition remaining in open interior of said plurality of first organic light emitting element layer is not formed, and forming a second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer, the second a first organic light emitting element layer, prior to 第2有機発光素子層と、前記第3有機発光素子層との上に第2パターン電極層を形成するステップと、を含む。 It includes a second organic light emitting element layer, forming a second pattern electrode layer on said third organic light emitting element layer.

また、本発明にかかる有機EL素子アレイの製造方法は、 基板上に第1パターン電極層を形成するステップと、前記基板上に、前記第1パターン電極層を被覆する誘電層であって、前記第1パターン電極層を露出させる複数個の開口と、それぞれが前記複数個の開口の一部に連通する第1注入溝および第2注入溝とを有する誘電層を形成するステップと、第1液体有機官能性材料および第2液体有機官能性材料をそれぞれ前記第1注入溝および前記第2注入溝に注入して、前記第1液体有機官能性材料を前記第1注入溝に連通する前記複数個の開口に流入させて第1有機発光素子層を形成し、前記第2液体有機官能性材料を前記第2注入溝と連通する前記複数個の開口に流入させて第2有機発光素子層を形成するステップと、前記第1有機発 The manufacturing method of the organic EL element array to the present invention includes the steps of forming a first pattern electrode layer on the substrate, on the substrate, a dielectric layer covering the first pattern electrode layer, wherein forming a dielectric layer having a plurality of openings exposing the first pattern electrode layer, a first injection groove and the second injection groove, each of which communicates with a portion of the plurality of openings, a first liquid the organic functional material and a second liquid organic functional material is injected into each of the first injection groove and the second injection groove and communicates the first liquid organic functional material on the first injection groove the plurality is flowed in the opening to form a first organic light emitting element layer, forming a second organic light emitting element layer by flowing the second liquid organic functional materials to the plurality of openings communicating with said second injection groove the method comprising, the first organic onset 素子層および前記第2有機発光素子層が形成されていない残りの前記複数個の開口内部に蒸着法を用いて、第3有機発光素子層を形成するステップと、前記第1有機発光素子層および前記第2有機発光素子層ならびに前記第3有機発光素子層上に第2パターン電極層を形成するステップと、を含む。 Using element layer and evaporation the the rest of the inner plurality of openings second organic light emitting element layer is not formed, forming a third organic light emitting element layer, the first organic light emitting element layer and and forming a second pattern electrode layer on the second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer.

この発明において、注目に値することは、注入溝の設計を採用し、液体有機官能性材料を毛細管現象の作用により自動的に注入溝に連通する発光領域に注入することである。 In the present invention, the noteworthy adopts the design of the injection groove, it is to inject liquid organic functional materials in the light-emitting area which communicates with the automatic injection groove by the action of capillary phenomenon. 従って、この発明は、従来の有機EL素子アレイの製造方法と比較して、マスク位置決め精度に対する要求を大幅に減少させることができ、さらに、位置決め誤差を回避するために電極分離層の幅を増大させる必要性を低減することができるので、この発明にかかる有機EL素子アレイの開口率および発光効率を増大させることができる。 Accordingly, the present invention is compared to the conventional manufacturing method of the organic EL element array, a request for mask positioning accuracy can be greatly reduced, further increasing the width of the electrode separation layer in order to avoid the positioning errors it is possible to reduce the need to, it is possible to increase the aperture ratio and the luminous efficiency of the organic EL element array according to the present invention.

以下、この発明にかかる好適な実施形態を図面に基づいて説明する。 It will be described below with reference to preferred embodiments according to the invention with reference to the accompanying drawings. 図1に、この発明にかかる有機EL素子アレイの第1の実施形態を示す。 Figure 1 shows a first embodiment of the organic EL element array according to the present invention. 図1において、有機EL素子アレイ400は、基本構造として、基板410と、第1パターン電極層420と、誘電層430と、電極分離層440と、有機発光素子層450と、第2パターン電極層460とを備える。 In Figure 1, the organic EL element array 400 has a basic structure, a substrate 410, a first pattern electrode layer 420, a dielectric layer 430, an electrode isolation layer 440, an organic light emitting element layer 450, the second pattern electrode layer and a 460. そのうち、第1パターン電極層420は、基板410上に配置される。 Among them, the first pattern electrode layer 420 is disposed on the substrate 410. 誘電層430は、基板410上に配置されるとともに、第1パターン電極層420を被覆する。 Dielectric layer 430 is disposed on the top substrate 410, covering the first pattern electrode layer 420. また、誘電層430は、多数個の開口432および基板410のエッジ部分に対応する注入溝434を有する。 Further, the dielectric layer 430 has an injection groove 434 corresponding to the edge portion of the plurality of apertures 432 and substrate 410. これら多数個の開口432は、第1パターン電極層420を露出させ、注入溝434は、開口432の一部と連通している。 Number of these pieces of the opening 432 to expose the first pattern electrode layer 420, injection groove 434 is in communication with a portion of the opening 432. 電極分離層440は、開口432間の誘電層430上に配置される。 Electrode separation layer 440 is disposed on the dielectric layer 430 between the opening 432. 有機発光素子層450は、開口432により露出された第1パターン電極層420上に配置される。 The organic light emitting element layer 450 is disposed on the first patterned electrode layer 420 exposed by the opening 432. 第2パターン電極層460は、有機発光素子層450上に配置される。 Second pattern electrode layer 460 is disposed on the organic light emitting element layer 450.

また、第1パターン電極層420は、例えば、多数個の第1帯状電極から構成される。 The first patterned electrode layer 420 is formed of, for example, a plurality of first strip-shaped electrode. 電極分離層440の作用により、電極分離層440および有機発光素子層450上の第2パターン電極層460は、相互に電気接続しない多数個の第2帯状電極として形成され、かつ第1帯状電の延伸方向は例えば第2帯状電極の延伸方向と垂直になる。 By the action of the electrode separation layer 440, the second pattern electrode layer 460 on the electrode separation layer 440 and the organic light emitting element layer 450 is formed as a second strip-shaped electrode number not electrically interconnected pieces of, and the first strip-shaped conductive stretching direction is the stretching direction and vertical for example, the second strip electrode. 基板410の材質は、例えば、ガラスまたはプラスチックなどであり、第1パターン電極層420および第2パターン電極層460の材質は、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、金属などである。 The material of the substrate 410 is, for example, a glass or plastic material of the first pattern electrode layer 420 and the second pattern electrode layer 460 is, for example, indium tin oxide (ITO), indium zinc oxide (IZO), metal, and the like.

図2に、この発明にかかる有機EL素子アレイの第2の実施形態を示す。 Figure 2 shows a second embodiment of the organic EL element array according to the present invention. 図2において、有機EL素子アレイ500は、さらに1つの注入溝を増設したことを特徴としており、その他の第1の実施形態と同じ部分については説明を省略する。 2, the organic EL element array 500 is characterized in that it has further additional one injection groove, will not be described for the same parts as the other first embodiment. 有機EL素子アレイ500は、基本構造として、基板510と、第1パターン電極層520と、誘電層530と、電極分離層540と、有機発光素子層550と、第2パターン電極層560とを備える。 The organic EL element array 500 has a basic structure includes a substrate 510, a first pattern electrode layer 520, a dielectric layer 530, an electrode isolation layer 540, an organic light emitting element layer 550, and a second pattern electrode layer 560 . そのうち、誘電層530は、多数個の開口532および基板510のエッジ部分に対応する位置にある第1注入溝534および第2注入溝536を備え、これら第1注入溝534および第2注入溝536は、それぞれ開口532の一部と連通している。 Among them, the dielectric layer 530 comprises a first injection groove 534 and the second injection groove 536 at a position corresponding to the edge portion of the plurality of apertures 532 and substrate 510, these first injection groove 534 and the second injection groove 536 communicates with a portion of the opening 532, respectively.

図3−1〜図3−5に、この発明にかかる有機EL素子アレイの第1の実施形態の製造方法を、図1のI−I'線に沿った断面図により示す。 Figures 3-1 3-5 a manufacturing method of the first embodiment of the organic EL element array according to the present invention, a cross sectional view taken along line I-I 'of FIG. まず、図3−1において、基板410上に第1パターン電極層420を形成し、その後、基板410上に複数個の開口432および注入溝434を有する誘電層430形成して、第1パターン電極層420を被覆する。 First, in FIG. 3-1, the first pattern electrode layer 420 is formed on the substrate 410, then a dielectric layer 430 formed with a plurality of openings 432 and injection groove 434 on the substrate 410, the first pattern electrode covering the layer 420. 開口432は第1パターン電極層420を露出させ、注入溝434は開口432の一部と連通している。 Opening 432 exposes the first patterned electrode layer 420, injection groove 434 is in communication with a portion of the opening 432. 次に、開口432間の誘電層430上に、テーパー形状の電極分離層440を形成する。 Next, on the dielectric layer 430 between the openings 432, to form an electrode separation layer 440 of tapered shape. 図1および図3−2において、滴入またはインクジェットにより液体有機官能性材料を注入溝434に注入し、液体有機官能性材料を毛細管現象によって自動的に注入溝434と連通した開口432の一部にまで流入させ、第1有機発光素子層452を形成する。 1 and FIG. 3-2, injection of the liquid organic functional materials by ShizukuIri or jet injection groove 434, automatically injection groove 434 and the portion of the opening 432 which communicates with the liquid organic functional material capillarity allowed to flow to a form a first organic light emitting element layer 452. 図3−3および図3−4において、蒸着方式を用い、パターン化のためのマスク470により第1有機発光素子層452の形成されてない残りの開口432の内部に第2有機発光素子層454および第3有機発光素子層456を形成する。 In Figure 3-3 and Figure 3-4, using a vapor deposition method, to the inside of rest of the opening 432 is not formed of the first organic light emitting element layer 452 by a mask 470 for patterning the second organic light emitting element layer 454 and forming a third organic light emitting element layer 456. 最後に、図3−5において、第1有機発光素子層452、第2有機発光素子層454、および第3有機発光素子層456上に第2パターン電極層460を形成する。 Finally, in Figure 3-5, to form a second pattern electrode layer 460 on the first organic light emitting element layer 452, the second organic light emitting element layer 454 and the third organic light emitting element layer 456,.

図4−1〜図4−5に、この発明にかかる有機EL素子アレイの第2の実施形態の製造方法を、図2のII−II'線に沿った断面図により示す。 Figure 4-1 Figure 4-5, a manufacturing method of the second embodiment of the organic EL element array according to the present invention, a cross sectional view taken along line II-II 'of FIG. 第2の実施形態の有機EL素子アレイは、基本的には、有機発光素子層の形成方法を変更するものであり、その他の第1の実施形態と同じ部分については説明を省略する。 The organic EL element array of the second embodiment is basically intended to change the method for forming an organic light emitting element layer, and thus the explanation thereof is omitted for the same parts as the other first embodiment. まず、図4−1において、基板510上に、複数個の開口532と第1注入溝534と第2注入溝536とを有する誘電層530を形成して、第1パターン電極層520を被覆する。 First, in FIG. 4-1, over a substrate 510, to form a dielectric layer 530 having a plurality of openings 532 and the first injection groove 534 and the second injection groove 536, covering the first pattern electrode layer 520 . 開口532は第1パターン電極層520を露出させ、第1注入溝534および第2注入溝536はそれぞれ開口532の一部と連通している。 Opening 532 communicates with a portion of the first patterned electrode layer 520 to expose the first injection groove 534 and the second injection groove 536 respectively opening 532. 図4−2および図4−3において、第1液体有機官能性材料および第2液体有機官能性材料をそれぞれ第1注入溝534および第2注入溝536に注入し、第1液体有機官能性材料を第1注入溝534と連通する開口532の一部へ自動的に流入させて、第1有機発光素子層552を形成する。 In Figure 4-2 and Figure 4-3, the first liquid organic functional material and a second liquid organic functional material is injected into the first injection groove 534 and the second injection groove 536, respectively, the first liquid organofunctional materials the automatically flows towards the part of the first injection groove 534 communicating with an opening 532 to form a first organic light emitting element layer 552. また、第2液体有機官能性材料を第2注入溝536と連通する開口532の一部へ自動的に流入させて、第2有機発光素子層554を形成する。 Further, a second liquid organic functional material automatically flows towards the part of the second injection groove 536 communicating with an opening 532, a second organic light emitting element layer 554. 最後に、図4−4および図4−5において、パターン化のためのマスク570により第3有機発光素子層556を形成し、その後、第2パターン電極層560を形成する。 Finally, in Figure 4-4 and Figure 4-5, the third organic light emitting element layer 556 is formed by the mask 570 for patterning, then to form a second pattern electrode layer 560.

上記した構成により、この発明にかかる有機EL素子アレイとその製造方法は、注入溝の設計を採用して、液体有機官能性材料を毛細管現象の作用により自動的に注入溝に連通する発光領域に注入するため、この発明は、従来の有機EL素子アレイの製造方法と比較して、マスク位置決め精度に対する要求を大幅に減少させることができ、さらに、位置決め誤差を回避するために電極分離層の幅を増大させる必要性を低減することができるので、この発明にかかる有機EL素子アレイの開口率および発光効率を増大させることができる。 With the configuration described above, the organic EL element array and a manufacturing method thereof according to the present invention may employ a design of injection groove, the liquid organic functional materials in the light-emitting area which communicates with the automatic injection groove by the action of capillarity for injecting, the present invention is compared to the conventional manufacturing method of the organic EL element array, a request for mask positioning accuracy can be greatly reduced, further, the width of the electrode separation layer in order to avoid the positioning errors it is possible to reduce the need to increase, thereby increasing the aperture ratio and the luminous efficiency of the organic EL element array according to the present invention. 従って、産業上の利用価値が高い。 Therefore, there is a high utility value on the industry.

以上のごとく、この発明を好適な実施形態により開示したが、もとより、この発明を限定するためのものではなく、当業者であれば容易に理解できるように、この発明の技術思想の範囲内において、適当な変更ならびに修正が当然なされうる。 As described above, it has been disclosed the invention in a preferred embodiment, as well, not intended to limit the invention, as can be readily understood by those skilled in the art, without departing from the scope and spirit of the invention may have suitable changes and modifications are of course made. よって、その特許権保護の範囲は、特許請求の範囲および、それと均等な領域を基準として定めなければならない。 Accordingly, the scope of the patent protection shall be determined claims and their equivalents.

以上のように、本発明にかかる有機EL素子アレイの製造方法は、フラットディスプレイの主要な構成要素として、高い開口率および発光率を有する有機ELディスプレイを提供するのに適している。 As described above, the manufacturing method of the organic EL element array to the present invention, as the main components of a flat display, is suitable to provide an organic EL display having a high aperture ratio and emission rates.

第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの平面図である。 It is a plan view of an organic EL element array according to the first embodiment. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの平面図である。 It is a plan view of an organic EL element array according to the second embodiment. 第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第1の工程を図1のI−I'線に沿った断面図で示した図である。 Is a diagram showing a sectional view taken along the first step of the method for manufacturing the organic EL element array according to a first embodiment the line I-I 'of FIG. 第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第2の工程を図1のI−I'線に沿った断面図で示した図である。 Is a diagram showing a sectional view taken along a second step of the method for manufacturing the organic EL element array according to a first embodiment the line I-I 'of FIG. 第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第3の工程を図1のI−I'線に沿った断面図で示した図である。 Is a diagram showing a sectional view taken along the third step of the manufacturing method of the organic EL element array according to a first embodiment the line I-I 'of FIG. 第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第4の工程を図1のI−I'線に沿った断面図で示した図である。 Is a diagram showing a sectional view taken along a fourth step of the manufacturing method of the organic EL element array according to a first embodiment the line I-I 'of FIG. 第1の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第5の工程を図1のI−I'線に沿った断面図で示した図である。 Is a diagram showing a sectional view taken along a fifth step of the manufacturing method of the organic EL element array according to a first embodiment the line I-I 'of FIG. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第1の工程を図2のII−II'線に沿った断面図で示した図である。 It is a diagram showing a sectional view taken along the first step of the method for manufacturing the organic EL element array according to the second embodiment line II-II 'of FIG. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第2の工程を図2のII−II'線に沿った断面図で示した図である。 It is a diagram showing a sectional view taken along a second step of the method for manufacturing the organic EL element array according to the second embodiment line II-II 'of FIG. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第3の工程を図2のII−II'線に沿った断面図で示した図である。 It is a diagram showing a sectional view taken along the third step of the manufacturing method of the organic EL element array according to the second embodiment line II-II 'of FIG. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第4の工程を図2のII−II'線に沿った断面図で示した図である。 It is a diagram showing a sectional view taken along a fourth step of the manufacturing method of the organic EL element array according to the second embodiment line II-II 'of FIG. 第2の実施形態にかかる有機EL素子アレイの製造方法の第5の工程を図2のII−II'線に沿った断面図で示した図である。 It is a diagram showing a sectional view taken along a fifth step of the manufacturing method of the organic EL element array according to the second embodiment line II-II 'of FIG. 従来の有機EL素子における有機発光層の選択成膜フローの第1の工程を、その断面図で示した図である。 A first step of selecting film-forming flow of the organic light emitting layer in the conventional organic EL device is a diagram showing in cross-sectional view thereof. 従来の有機EL素子における有機発光層の選択成膜フローの第2の工程を、その断面図で示した図である。 A second step of selecting film-forming flow of the organic light emitting layer in the conventional organic EL device is a diagram showing in cross-sectional view thereof. 従来の有機EL素子における有機発光層の選択成膜フローの第3の工程を、その断面図で示した図である。 A third step of selecting film-forming flow of the organic light emitting layer in the conventional organic EL device is a diagram showing in cross-sectional view thereof. 別の従来の有機EL素子を示す説明断面図である。 It is an explanatory cross-sectional view showing another conventional organic EL device. さらに別の従来の有機EL素子を示す説明断面図である。 Furthermore is an explanatory sectional view showing another conventional organic EL device.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

400,500 有機EL素子アレイ 410,510 基板 420,520 第1パターン電極層 430,530 誘電層 440,540 電極分離層 450,550 有機発光素子層 460,560 第2パターン電極層 432,532 開口 434 注入溝 452,552 第1有機発光素子層 454,554 第2有機発光素子層 456,556 第3有機発光素子層 470,570 マスク 534 第1注入溝 536 第2注入溝 400, 500 Organic EL element array 410, 510 substrate 420, 520 the first pattern electrode layers 430 and 530 a dielectric layer 440 and 540 electrodes separated layers 450, 550 the organic light emitting element layer 460, 560 the second pattern electrode layers 432,532 openings 434 injection groove 452, 552 first organic light emitting element layer 454,554 second organic light emitting element layer 456,556 third organic light emitting element layer 470,570 mask 534 first injection groove 536 second injection groove

Claims (6)

  1. 基板上に第1パターン電極層を形成するステップと、 Forming a first pattern electrode layer on a substrate,
    前記基板上に、前記第1パターン電極層を被覆する誘電層であって、前記第1パターン電極層を露出させる複数個の開口と、前記複数個の開口の一部に連通する注入溝とを有する誘電層を形成するステップと、 On the substrate, a dielectric layer covering the first pattern electrode layer, a plurality of openings exposing the first pattern electrode layer, and an injection groove communicating with a portion of said plurality of openings forming a dielectric layer having,
    液体有機官能性材料を前記注入溝に注入して、前記液体有機官能性材料を前記注入溝に連通する前記複数個の開口に流入させ、第1有機発光素子層を形成するステップと、 A step of liquid organic functional material is injected into the injection groove, the flow Toe entering the liquid organic functional materials to the plurality of apertures communicating with the injection groove, forming a first organic light emitting element layer,
    前記第1有機発光素子層が形成されていない残りの前記複数個の開口内部に蒸着法を用いて、第2有機発光素子層および第3有機発光素子層を形成するステップと、 A step of remaining by vapor deposition the plurality of the inner opening to form a second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer in which the first organic light emitting element layer is not formed,
    前記第1有機発光素子層と、前記第2有機発光素子層と、前記第3有機発光素子層との上に第2パターン電極層を形成するステップと、 Forming a first organic light emitting element layer, said second organic light emitting element layer, the second patterned electrode layer on said third organic light emitting element layer,
    を含むことを特徴とする有機EL素子アレイの製造方法。 Method for manufacturing an organic EL element array, which comprises a.
  2. 前記誘電層を形成するステップと、前記第1有機発光素子層を形成するステップおよび前記第2有機発光素子層と前記第3有機発光素子層とを形成するステップとの間に、さらに、前記複数個の開口間の前記誘電層上に電極分離層を形成するステップを含むことを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子アレイの製造方法。 Wherein forming a dielectric layer, between the step of forming the step and the second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer to form the first organic light emitting element layer, further, the plurality the method for manufacturing an organic EL device array according to claim 1, characterized in that it comprises the step of forming an electrode separation layer on the dielectric layer between the number of openings.
  3. 前記液体有機官能性材料の注入は、滴入およびインクジェットを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の有機EL素子アレイの製造方法。 The injection of the liquid organofunctional materials, manufacturing method of the organic EL element array according to claim 1 or 2, characterized in that it comprises a droplet inlet and ink jet.
  4. 板上に第1パターン電極層を形成するステップと、 Forming a first pattern electrode layer on a base plate,
    前記基板上に、前記第1パターン電極層を被覆する誘電層であって、前記第1パターン電極層を露出させる複数個の開口と、それぞれが前記複数個の開口の一部に連通する第1注入溝および第2注入溝とを有する誘電層を形成するステップと、 Wherein on a substrate, a dielectric layer covering the first pattern electrode layer, a plurality of openings exposing the first pattern electrode layer, first, each of which communicates with a portion of said plurality of openings forming a dielectric layer having an injection groove and the second injection groove,
    第1液体有機官能性材料および第2液体有機官能性材料をそれぞれ前記第1注入溝および前記第2注入溝に注入して、前記第1液体有機官能性材料を前記第1注入溝に連通する前記複数個の開口に流入させて第1有機発光素子層を形成し、前記第2液体有機官能性材料を前記第2注入溝と連通する前記複数個の開口に流入させて第2有機発光素子層を形成するステップと、 By injecting a first liquid organic functional material and a second liquid organic functional material on each of the first injection groove and the second injection groove and communicates the first liquid organic functional material on the first injection groove the said plurality of by inflows into apertures forming a first organic light emitting element layer, and said second liquid organic functional material is inflow to the plurality of apertures communicating with said second injection groove forming a second organic light emitting element layer,
    前記第1有機発光素子層および前記第2有機発光素子層が形成されていない残りの前記複数個の開口内部に蒸着法を用いて、第3有機発光素子層を形成するステップと、 By vapor deposition inside the rest of the plurality of openings of the first organic light emitting element layer and the second organic light emitting element layer is not formed, forming a third organic light emitting element layer,
    前記第1有機発光素子層および前記第2有機発光素子層ならびに前記第3有機発光素子層上に第2パターン電極層を形成するステップと を含むことを特徴とする有機EL素子アレイの製造方法。 Method for manufacturing an organic EL element array, which comprises a step of forming a second pattern electrode layer on the first organic light emitting element layer and the second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer.
  5. 前記誘電層を形成するステップと前記第1有機発光素子層および前記第2有機発光素子層ならびに前記第3有機発光素子層を形成するステップとの間に、さらに、前記複数個の開口間の前記誘電層上に電極分離層を形成するステップを含むことを特徴とする請求項に記載の有機EL素子アレイの製造方法。 Between the step of forming the dielectric steps and the first organic light emitting element layer to form a layer and the second organic light emitting element layer and the third organic light emitting element layer, further wherein between said plurality of openings the method for manufacturing an organic EL device array according to claim 4, characterized in that it comprises a step of forming an electrode separation layer on the dielectric layer.
  6. 前記第1液体有機官能性材料および前記第2液体有機官能性材料の注入は、滴入およびインクジェットを含むことを特徴とする請求項4または5に記載の有機EL素子アレイの製造方法。 The first injection of the liquid organic functional material and the second liquid organofunctional materials, manufacturing method of the organic EL element array according to claim 4 or 5, characterized in that it comprises a droplet inlet and ink jet.
JP2004167075A 2003-06-06 2004-06-04 Method of manufacturing an organic el element array Active JP4504103B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW92115365 2003-06-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004363107A true JP2004363107A (en) 2004-12-24
JP4504103B2 true JP4504103B2 (en) 2010-07-14

Family

ID=34059346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004167075A Active JP4504103B2 (en) 2003-06-06 2004-06-04 Method of manufacturing an organic el element array

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4504103B2 (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2010137355A1 (en) * 2009-05-28 2010-12-02 シャープ株式会社 Organic electroluminescence display device, method for producing same, color filter substrate and method for producing same

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10153967A (en) * 1996-11-25 1998-06-09 Seiko Epson Corp Full-color organic el display device and its production
WO2003022010A1 (en) * 2001-08-30 2003-03-13 Fujitsu Limited Method for manufacturing organic el device and organic el device
JP2005504420A (en) * 2001-09-24 2005-02-10 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィKoninklijke Philips Electronics N.V. Assembly for thin film optical devices, organic electroluminescent display device and a manufacturing method thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10153967A (en) * 1996-11-25 1998-06-09 Seiko Epson Corp Full-color organic el display device and its production
WO2003022010A1 (en) * 2001-08-30 2003-03-13 Fujitsu Limited Method for manufacturing organic el device and organic el device
JP2005504420A (en) * 2001-09-24 2005-02-10 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィKoninklijke Philips Electronics N.V. Assembly for thin film optical devices, organic electroluminescent display device and a manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date Type
JP2004363107A (en) 2004-12-24 application

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5952037A (en) Organic electroluminescent display panel and method for manufacturing the same
US6380673B1 (en) Organic electroluminescence display
US6091078A (en) Organic EL display device having separating groove structures between adjacent elements
US6727645B2 (en) Organic LED device
US7132801B2 (en) Dual panel-type organic electroluminescent device and method for fabricating the same
US20040135520A1 (en) Organic electroluminescent device and manufacturing method for the same
US20090206733A1 (en) Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same
US20090066236A1 (en) Organic light-emitting display device and method of manufacturing the same
US20110073885A1 (en) Organic electroluminescent device
US20050140308A1 (en) Dual panel-type organic electroluminescent display device and method for fabricating the same
US20040017151A1 (en) Organic electroluminescent display device and method of fabricating the same
US6811808B2 (en) Organic electroluminescent display panel and method of manufacturing the same
US20030205970A1 (en) Organic electro luminescent display device and method of fabricating the same
KR20110138787A (en) Organic electro-luminescence device and method for fabricating of the same
US5936344A (en) Organic electroluminescent element
JP2007141844A (en) Display and manufacturing method therefor
JPH11329749A (en) Organic el display device and its manufacture
JP2003017263A (en) El display, its manufacturing method, color filter and its manufacturing method
JPH0757871A (en) Electroluminescence display device
JPH11345688A (en) Organic el display
JPH1140362A (en) Electroluminescent element and its manufacture
US20060125385A1 (en) Active matrix organic electro-luminescence device array and fabricating process thereof
CN1967864A (en) Display device and fabricating method thereof
US20010054868A1 (en) Organic electroluminescent display panel
JP2002151274A (en) Luminescent element

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070531

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100108

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100119

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20100315

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20100413

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20100422

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130430

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140430

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250