JP4497326B2 - 相変化メモリ及び相変化メモリの製造方法 - Google Patents
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Description
10 下層
11 絶縁層
12 相変化層
13 金属層
14 接着層
15 ヒータ電極
16 上層
20 シリコン基板
21 不純物拡散領域
22 素子分離領域
23 絶縁膜
24 ゲート電極
25 ソース/ドレイン領域
26 第1の層間絶縁膜
27 第1のコンタクトプラグ
28 配線層
29 第2の層間絶縁膜
30 第2のコンタクトプラグ
40 線状部位群
41〜47 第1〜第7の線状部位
48、49 第1、第2の側面
51〜56 第1〜第6の溝部
61、62 第1、第2の方向
63、64 端部
70 パッド
71 接続部
72、73 第1、第2の領域
74、75 第1、第2の端部
76、77 第3、第4の側面
81、82 第1、第2の分流溝群
90 パッド
91 接続部
92、93 第1、第2の領域
94、95 第1、第2の端部
96、97 第3、第4の側面
98、99 角度
100 パッド
106、107 第3、第4の側面
110〜113 相変化層
Claims (8)
- 絶縁層と、
前記絶縁層上に相変化材料を積層した相変化層と、を備え、
前記相変化層は、第1の線状部位と第2の線状部位とを含む複数の線状部位と、第1の溝部を含む1以上の溝部と、前記第1の線状部位と他の配線層とのコンタクトを取るための面状部位とを有し、前記第1の溝部は、前記第1の線状部位と前記第2の線状部位との間に規定されて所定方向に延在すると共に、前記所定方向の両端が前記所定方向に開放されており、
前記第1の線状部位は、所定の積層面に沿って長手方向及び幅方向が規定されており、前記長手方向のいずれか一方の端においてのみ前記面状部位と接続されると共に前記幅方向を規定する第1の側面及び第2の側面をもち、
前記面状部位は、第1の部位と第2の部位とをもち、前記第1の部位は、前記第1の側面から延在する第3の側面をもち、前記第2の部位は、前記第2の側面から延在する第4の側面をもち、前記第3の側面及び前記第4の側面は、前記第1の線状部位を仮想的に延長した領域を中心として互いに鏡像となる形状を有している、
相変化メモリ。 - 前記第1の部位と前記第2の部位とは、前記第1の線状部位を仮想的に延長した前記領域を中心として互いに鏡像となる形状を有している、
請求項1に記載の相変化メモリ。 - 前記第3の側面は、前記第1の側面に対して鈍角をなし、
前記第4の側面は、前記第2の側面に対して鈍角をなしている、
請求項1又は請求項2に記載の相変化メモリ。 - 前記第1の側面を仮想的に延長した面と前記第1の部位で前記幅方向に最も突出した部分との距離は、前記溝部の前記幅方向における幅よりも小さい、
請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の相変化メモリ。 - 前記絶縁層と前記相変化層との間に接着層を更に備える、
請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の相変化メモリ。 - 前記相変化層上に金属層を更に備える、
請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の相変化メモリ。 - 絶縁層と、
前記絶縁層上に相変化材料を積層した相変化層と、を備え、
前記相変化層は、第1の線状部位と第2の線状部位とを含む複数の線状部位と、第1の溝部を含む1以上の溝部とを有し、前記第1の溝部は、前記第1の線状部位と前記第2の線状部位との間に規定されて所定方向に延在すると共に、前記所定方向の両端が前記所定方向に開放されており、
前記相変化層は、前記第1の線状部位と他の配線層とのコンタクトを取るための面状部位を更に有し、
前記第1の線状部位は、所定の積層面に沿って長手方向及び幅方向が規定されており、前記長手方向一端で前記面状領域に接続されると共に前記幅方向を規定する第1の側面及び第2の側面をもち、
前記面状部位は、第1の部位と第2の部位とをもち、前記第1の部位は、前記第1の側面から延在する第3の側面をもち、前記第2の部位は、前記第2の側面から延在する第4の側面をもち、前記第3の側面及び前記第4の側面は、前記第1の線状部位を仮想的に延長した領域を中心として互いに鏡像となる形状を有しており、
前記第1の側面を仮想的に延長した面と前記第1の領域で前記幅方向に最も突出した部位との距離は、前記溝部の前記幅方向における幅よりも小さい、
相変化メモリ。 - 半導体基板上の絶縁層上に相変化材料を積層し、
前記相変化材料をパターニングして、第1の線状部位と第2の線状部位とを含む複数の線状部位と、前記第1の線状部位と前記第2の線状部位との間に規定されて所定方向に延在すると共に前記所定方向の両端を前記所定方向に開放した第1の溝部を含む1以上の溝部と、前記第1の線状部位の前記所定方向の一方の端部にのみ接続され、前記所定方向と直交する幅方向において前記第1の線状部位の幅よりも前記幅方向における幅が広く、前記第1の線状部位を仮想的に延長した領域を中心として互いに鏡像の形状となる前記第1の線状部位と他の配線層とのコンタクトを取るための面状部位とを有する相変化層を形成し、
前記絶縁層上に前記相変化層を形成した前記半導体基板をウェット洗浄する工程を有する、
相変化メモリの製造方法。
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