JP4494772B2 - 光学機器用オートフォーカス装置 - Google Patents
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Description
・光軸方向(以下z軸と称す)の分解能
・捕捉領域または作業領域の深度
・位置修正移動のための方向信号の生成可能性および
・達成可能な測定速度。
上記の状況より、本発明では簡易構造でありながら高いフォーカシング精度および高いフォーカシング速度の達成できるオートフォーカス装置を製作することを基本課題に置いている。
ただし、受光領域(e1)の読出し時間(t1)における測定位置がポジション(p1)で、受光領域(e2)の読出し時間(t2)における測定位置がポジション(p2)であり、以下も同様とする。また、受光領域で読み出された測定値と保存されている設定目標値とを比較して、それより光学機器用の信号を生成する評価装置が配備されているものとする。
絞り装置が照明光の光軸に対して傾斜しているため、あるいは受光装置が測定光の光軸に対して傾斜しているため、受光装置においては対象物の移動方向に符合した方向に展開する強度分布が得られるが、それは結像光学系に対する測定位置のポジションを特徴的に表わしている。
このようにして、測定位置がフォーカスポジションに達するまでは、結像光学系の焦点に対する選択測定箇所の相対的位置変更を指示することができる。
また、ポジション敏感な平面受光器形態の受光装置を構成して、平面受光器の部分面をそれぞれスリット状開口部または個別絞りの部分領域に光学観点から割り振ることも考えられる。
測定位置Mがポジションp1にあれば、スリット絞り8の部分領域b1からの光は比較的低明度で配列受光器6の受光領域e1に当たるか、あるいはその位置において、受光領域e2の場合に比べ低コントラストの光構造を生成する。
移動方向Rは、光軸に垂直な方向で、図1の図平面上にある、例えばX座標方向と一致しているものとする。対象物Oは、観察対象である測定位置Mを設置するための、例えば梯子型突出部を有している。
時点t1における測定位置Mのポジションp1は、スリット絞り8の部分領域b1のポジションおよび配列受光器6の受光領域e1のポジションに対応している。したがって、測定位置Mの当ポジションで反射した光は、配列受光器6の受光領域e1に焦点外側の位置として焦点ズレ結像する。
ポジションp1、p2およびp3に対応するピクセルでの測定強度は、x方向での移動時に測定位置が到達するそれぞれのポジションに依存しており、図2に強度曲線として描いてある。
しかし図3に描かれているように、それとは違って、スリット絞り8として複数の並列スリット状開口部を持つ絞り装置の構成された実施態様も考えられる。それに合わせて、複数列配置された個別センサまたは平面分布個別センサを持つ受光装置、あるいはそれ自体が平面検出器として構成されている受光装置を利用することができる。
2 照明光源
3 結像光学系
4 光線分離層
5 ビームスプリッタ
6 配列受光器
7 照明フィールド絞り
8 スリット絞り
11 移動装置
12 評価装置
13 同期制御装置
14 移動装値
M 測定位置
O 対象物
Claims (13)
- 照明光が、結像光学系(3)により結像光学系(3)の光軸(A)に対して少なくともほぼ垂直な方向(R)に移動する対象物(O)に向けられている照明光源(2)と、
結像光学系(3)間の照明光路内に、対象物(O)の移動方向(R)と符合する方向(R’)に伸びている、少なくとも1つの絞り開口部を持つ絞り装置が配置され、
測定光路内に、対象物(O)の移動方向(R)と符号する方向(R’’)に並置された、別々に評価可能な個別受光領域の装備された、対象物(O)の測定位置(M)から来る測定光用としての受光装置が配備され、
絞り開口部が照明光路の光軸(A)に対し、または並列受光領域(e1、e2…en)が測定光路の光軸(A’)に対し、0°<α<90°の角度で傾斜しており、そのため絞り装置の像が受光領域(e1、e2…en)に対し角度α分傾斜して受光領域(e1、e2…en)に達するようになっていて、その場合、受光装置と絞り開口部は、測定位置(M)がフォーカスポジションまたはその近くに来たときに受光領域において特徴的な測定値が計測されるように、相互調整下で配置され、
受光領域(e1、e2…en)における測定結果の逐次読出しを指示する同期制御装置(13)が配備されている、さらに
受光領域(e1、e2…en)で読み出された測定値と保存されている設定目標値とを比較して、その値に差がある場合に、対象物を移動させる移動装置(R)に対して結像光学系(3)の焦点面へ向けて対象物(O)のシフトを指示する調整装置の調整信号を生成する評価装置(12)が配備されている、
光学機器用、特に顕微鏡用のオートフォーカス装置。 - 測定位置(M)を含む1つまたは複数の対象物(O)を(R)の方向へ連続シフトさせるための同期制御装置(13)と連結している装置が装備されていることを特徴とする請求項1に記載のオートフォーカス装置。
- 受光装置が、多数の並列個別センサから成る配列受光器(6)として構成されていて、その場合それぞれの受光領域(e1、e2…en)が個別センサに相当すること、および
絞り装置の絞り開口部によって生成された「照明光線」が配列受光器(6)に縦方向に入射して、それに覆い被さる形になるように、絞り装置が光路内で配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載のオートフォーカス装置。 - 絞り開口部が、照明光路の光軸(A)に対して垂直に、配列受光器(6)が、測定光路の光軸(A’)に対してα=45°の傾斜角で配置されていることを特徴とする請求項3に記載のオートフォーカス装置。
- 絞り開口部が、一列のスリット状開口部として形成されていて、スリット状開口部の分割区分された絞り領域(b1、b2…bn)が、配列受光器(6)の各個別センサに割り当てられていることを特徴とする請求項4に記載のオートフォーカス装置。
- 絞り開口部が、並列する多数の個別絞りから成るピンホール絞りとして形成されていて、個別絞りの形態を取る絞り領域(b1、b2…bn)が、配列受光器(6)の各個別センサに割り当てられていることを特徴とする請求項4に記載のオートフォーカス装置。
- 配列受光器(6)として配列CCDが配備されていて、その配列CCDの各ピクセルが個別センサに相当することを特徴とする請求項1から6のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 絞り装置が、平行に並んだ複数のスリット状開口部または列をなす個別絞りを有し、それにより受光装置に入射する複数の「照明光線」を生成すること、および受光装置が、それぞれ並列に並んだ多数の個別センサを持つ互いに平行に配置された複数の配列受光器を有していて、個別センサが、それぞれ1つずつ絞り領域に割り当てられていることを特徴とする請求項1から7のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 受光装置が、ポジション敏感な平面受光器として構成されていて、平面受光器の受光領域(e1、e2…en)が、それぞれ1つずつスリット状開口部の絞り領域(b1、b2…bn)または個別ピンホール絞りに割り当てられていることを特徴とする請求項1から8のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 受光装置として連続測定式CCDカメラが配備されていることを特徴とする請求項1から9のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 強度測定値からコントラスト値を導き出すための評価装置(12)が構成されていて、コントラスト値が調整量(S)の算出基礎に置かれ、その場合コントラストの生成目的に複数の個別センサに対しそれぞれ1つずつピンホール絞りが割り当てられていることを特徴とする請求項1から10のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 絞り装置が、共焦点顕微鏡の光学メインシステムの照明光路内に設置されていること、受光装置が、共焦点顕微鏡における光電子センサの一部であること、および/またはオートフォーカス装置の照明光源が、同時に共焦点顕微鏡のメイン結像システム用照明光源でもあることを特徴とする請求項1から11のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
- 測定光路内で受光装置の前に拡大用または縮小用光学系が設置されていることを特徴とする請求項1から12のうちの1つに記載のオートフォーカス装置。
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