JP4493538B2 - Wavelength selective switch - Google Patents
Wavelength selective switch Download PDFInfo
- Publication number
- JP4493538B2 JP4493538B2 JP2005102272A JP2005102272A JP4493538B2 JP 4493538 B2 JP4493538 B2 JP 4493538B2 JP 2005102272 A JP2005102272 A JP 2005102272A JP 2005102272 A JP2005102272 A JP 2005102272A JP 4493538 B2 JP4493538 B2 JP 4493538B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- wavelength
- mirror array
- output
- input
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
本発明は、複数のWDMネットワークがつながる大規模フォトニックネットワークにおけるハブ等に用いられ、波長毎に任意のパスに切り替えることができる波長選択スイッチに関する。 The present invention relates to a wavelength selective switch that is used in a hub or the like in a large-scale photonic network in which a plurality of WDM networks are connected and can be switched to an arbitrary path for each wavelength.
近年のネットワークは、FTTH(Fiber to The Home)や、ADSL(Asymmetric Digital Subscriber Line)など、数Mbit/s〜100Mbit/s程度の帯域を持った高速アクセス網が急激に普及している。この高速アクセス網により、ブロードバンドインターネットサービスを享受できる環境が整備されつつあり、通信需要増大に対応するため、バックボーンネットワーク(コア網)では、波長多重技術を用いた超大容量光通信システムの敷設が進みつつある。 In recent years, high-speed access networks having a bandwidth of about several Mbit / s to 100 Mbit / s such as FTTH (Fiber to The Home) and ADSL (Asymmetric Digital Subscriber Line) are rapidly spreading. With this high-speed access network, an environment where broadband Internet services can be enjoyed is being developed, and in order to respond to the increasing demand for communication, the backbone network (core network) has been laid with an ultra-high-capacity optical communication system using wavelength division multiplexing technology. It's getting on.
一方、メトロネットワーク(メトロ網)と、このコア網との接続部分においては、電気によるスイッチング能力の限界により、この接続部分での帯域ボトルネックの発生が危惧されている。そこで、帯域ボトルネックになるメトロ領域に新しい光スイッチングノードを設置し、ユーザが直接アクセスを行うメトロ網とコア網間で、電気スイッチを介在することなく光領域で直接接続する新しいフォトニックネットワークアーキテクチャの構築が有効であるため、各種の研究開発が精力的に行われている。 On the other hand, in the connection part between the metro network (metro network) and the core network, there is a concern that a bandwidth bottleneck may occur in the connection part due to the limit of the switching capability by electricity. Therefore, a new optical switching node is installed in the metro area, which becomes a bandwidth bottleneck, and a new photonic network architecture that connects directly between the metro network and the core network, which the user directly accesses, in the optical area without any electrical switch. Since the construction is effective, various research and development are being conducted energetically.
このような、コア網とメトロ網とを接続するノードに適用する光スイッチモジュールとして波長選択スイッチがある。図13は、従来の波長選択スイッチの構成を示す図である。この波長選択スイッチ1300は、入力光ポート1、回折格子2、レンズ3、ミラーアレイ4、ポート番号#1〜ポート番号#5を含む複数の出力光ポート5から構成されており、入力光ポート1から出射される波長多重(WDM;Wavelength Division Multiplexing)光(光ビーム)を、回折格子2により異なる角度方向に分離した後、レンズ3により異なる位置に集光させる。集光位置には、分離したチャネル数に対応するM個の角度可変な微小ミラー(MEMSミラー)からなるミラーアレイ4が配置されている。微小ミラーは、角度変更自在であり、入射された信号光を所望の角度に反射させ、各角度位置に配置されている複数の出力光ポート5(#1〜#5のいずれか一つ)へ導く。複数の出力光ポート5からは、選択した任意の波長の信号光を出射することができる(例えば、下記特許文献1参照。)。
There is a wavelength selective switch as an optical switch module applied to such a node connecting a core network and a metro network. FIG. 13 is a diagram showing a configuration of a conventional wavelength selective switch. The wavelength
図14は、従来の波長選択スイッチの他の構成を示す図である。この波長選択スイッチ1400は、図13に示す構成と比べて透過型の回折格子12を用いた点が異なる。他の構成は図13と同様である。θ1は回折格子12による波長別の光の分散方向(X方向)であり、θ2は、ある波長に対応する微小ミラー4aによる光の反射方向(Y方向)である。これら従来の波長選択スイッチは、1入力N出力(1×N)の波長選択機能を有している。逆に、入力と出力を逆にすることにより、N入力1出力(N×1)の波長選択機能を持たせることもできる。
FIG. 14 is a diagram showing another configuration of a conventional wavelength selective switch. This wavelength
図15は、従来の波長選択スイッチが有する波長選択機能を説明する図である。図示のように、入力されたWDM光(λ1〜λM)は、1入力N出力の波長選択スイッチにより、ch1〜chNのN個の光ポートにそれぞれ複数の任意の波長を割り当てて出力することができる(例えば、下記特許文献2参照。)。 FIG. 15 is a diagram for explaining the wavelength selection function of a conventional wavelength selective switch. As shown in the figure, the input WDM light (λ1 to λM) can be output by assigning a plurality of arbitrary wavelengths to the N optical ports of ch1 to chN, respectively, by a 1-input N-output wavelength selective switch. (For example, refer to Patent Document 2 below.)
上述した従来技術では、1入力N出力(1×N)の波長選択機能、または、N入力1出力(N×1)の波長選択機能を実現するものであった。一方、光伝送システムでは、光ハブ(Hub)の機能が求められている。図16は、光ハブの機能を説明する図である。光ハブは、N個の入力とN個の出力を有し、これらN×Nの入出力ポート間で任意の波長(λ1〜λM)を分離し、かつ、任意のポートに切り替えるという機能を持つ。この機能を得るためには、上述した従来技術の波長選択スイッチの個数が2N個必要となる。このため、従来技術により光ハブを構成しようとすると、装置が大型になるとともにコスト高になるという問題があった。
In the above-described prior art, a wavelength selection function of 1 input N output (1 × N) or a wavelength selection function of
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、複数の入力ポートと複数の出力ポートを有し、入力ポートに入力されたWDM光を、チャネル毎に任意の出力ポートに切り替えることができるハブ機能を有する波長選択スイッチを提供することを目的とする。 In order to solve the above-described problems caused by the prior art, the present invention has a plurality of input ports and a plurality of output ports, and the WDM light input to the input ports can be switched to an arbitrary output port for each channel. An object of the present invention is to provide a wavelength selective switch having a hub function.
上述した目的を達成するため、この発明にかかる波長選択スイッチは、波長多重された光信号がそれぞれ入力され、所定の配置方向を有して配置された複数(N)の入力ポートと、複数の前記入力ポートからそれぞれ出射された光を、前記入力ポートの配置方向と異なる角度を有する方向に沿って波長別に複数(M)分離して出射させる第1の波長分散素子と、前記入力ポートの数(N)と、前記第1の波長分散素子により分離された光の数(M)に対応したN×Mの個数を有し、入射した光の反射方向を角度変更自在な微小ミラーを備えた第1のミラーアレイと、からなる入力側の光学系と、前記第1のミラーアレイと同じN×Mの個数を有する微小ミラーを備え、前記第1のミラーアレイによって反射された光が入射され、入射した光を選択した出力ポートから出力させるために角度変更自在な微小ミラーを備えた第2のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイから出射された各波長別の光を合波し、選択された出力ポートに出射させる第2の波長分散素子と、前記第2の波長分散素子を通過した光が入射され、所定の配置方向を有して配置された複数(N)の出力ポートと、からなる出力側の光学系と、前記第1の波長分散素子に対する光の入射側に設けられた第1のレンズと、前記第1の波長分散素子に対する光の出射側に設けられた第2のレンズと、を備え、前記複数の入力ポートから入力された光の光路を任意の波長毎に前記複数の出力ポートから出力し、前記入力側の光学系と、前記出力側の光学系とが前記第1のミラーアレイおよび第2のミラーアレイを一端として折り返す形で配置され、前記第2の波長分散素子は、前記第1の波長分散素子と共用し、前記入力側の光学系および前記出力側の光学系を構成する前記入力ポートと、前記出力ポートと、前記第1の波長分散素子と、前記第1のレンズと、前記第2のレンズのそれぞれの傾き角度が、前記入力側および出力側のミラーアレイが有する光軸に対する傾き角度に一致させて配置したことを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, a wavelength selective switch according to the present invention includes a plurality of (N) input ports to which wavelength multiplexed optical signals are respectively input and arranged with a predetermined arrangement direction, and a plurality of input ports. A first chromatic dispersion element that divides and emits a plurality of (M) light beams emitted from the input ports according to wavelength along a direction having an angle different from an arrangement direction of the input ports; and the number of the input ports (N) and a number of N × M corresponding to the number of lights (M) separated by the first wavelength dispersion element, and a minute mirror capable of changing the angle of reflection of incident light. A first mirror array; an input-side optical system; and a minute mirror having the same number of N × M as the first mirror array, and the light reflected by the first mirror array is incident thereon. Select the incident light A second mirror array having a minute mirror whose angle can be changed to output from the selected output port, and the light for each wavelength emitted from the second mirror array, and the selected output port An output side comprising: a second wavelength dispersion element to be emitted to the light source; and a plurality (N) of output ports that are arranged to have a predetermined arrangement direction in which light that has passed through the second wavelength dispersion element is incident An optical system, a first lens provided on the light incident side with respect to the first wavelength dispersion element, and a second lens provided on the light emission side with respect to the first wavelength dispersion element. An optical path of light input from the plurality of input ports is output from the plurality of output ports for each arbitrary wavelength , and the input-side optical system and the output-side optical system include the first mirror. One end of the array and the second mirror array The second wavelength dispersion element is disposed in a folded manner, and the second wavelength dispersion element is shared with the first wavelength dispersion element, and the input port and the output port that constitute the input side optical system and the output side optical system, and the output port And the tilt angles of the first wavelength dispersion element, the first lens, and the second lens are made to coincide with the tilt angles with respect to the optical axis of the input side and output side mirror arrays. It is arranged .
この発明によれば、複数の入力ポートから入力された光を任意の出力ポートから出力することができる。さらに、入力ポートから入力された光は、波長別に選択して任意の出力ポートから出力することができる。これにより、入力Nと出力Nを有し、任意の波長を任意のポートに切り替えることができる。 According to the present invention, light input from a plurality of input ports can be output from an arbitrary output port. Furthermore, light input from the input port can be selected for each wavelength and output from any output port. Thereby, it has an input N and an output N, and an arbitrary wavelength can be switched to an arbitrary port.
本発明にかかる波長選択スイッチによれば、1台の波長選択スイッチで、光ハブ機能を実現することで、ハブ装置としてのサイズとコストを劇的に低減できるという効果を奏する。 The wavelength selective switch according to the present invention achieves the effect of dramatically reducing the size and cost of the hub device by realizing the optical hub function with a single wavelength selective switch.
以下に添付図面を参照して、この発明にかかる波長選択スイッチの好適な実施の形態を詳細に説明する。 Exemplary embodiments of a wavelength selective switch according to the present invention will be explained below in detail with reference to the accompanying drawings.
(実施の形態1)
図1−1は、本発明にかかる波長選択スイッチの実施の形態1の構成例を示す図である。波長選択スイッチ100は、入力ポートを構成するN本の入力ファイバ101と、出力ポートを構成するN本の出力ファイバ102をY方向に並べて配置し、凸レンズ103と、波長分散素子としての回折格子104(反射型、透過型いずれでも可能)と、凸レンズ105を光軸(Z方向)上に配置し、さらに光軸の延長線上にはミラーアレイとしてのMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)基板106(106a、106b)を備える。N本の入力ファイバ101と、N本の出力ファイバ102は、それぞれ、N個の入力ポートと、N個の出力ポートに対応する。
(Embodiment 1)
FIG. 1-1 is a diagram illustrating a configuration example of a wavelength selective switch according to a first embodiment of the present invention. The wavelength
MEMS基板106は、入力側のMEMS基板106aと、同様の構造の出力側のMEMS基板106bからなる。これら入力側のMEMS基板106aの面と、出力側のMEMS基板106bの面は、光軸であるZ方向に対してそれぞれ45度(互いは90度)の角度をなすように対称配置されている。これらのMEMS基板106a,106bは、X方向に微小ミラー107をM個並べて設け、Y方向にこの微小ミラー107をN列並べて構成したマトリクス状のものである。X方向の微小ミラー配列個数Mは回折格子104によって分離する波長λ1〜λMのチャネル数Mに対応し、Nは、ポート数(入力ファイバ101および出力ファイバ102の本数N)に対応している。これらMEMS基板106a,106bは、MEMS技術を用いて微小な部品により構成されるものであり、実施の形態1にかかる2つのMEMS基板106(106a、106b)は、基板上の微小ミラー107の角度を可変する機構を備えている。
The MEMS substrate 106 includes an input
図1−2は、波長選択スイッチ100の側面図である。入力ポート(入力ファイバ101)から出力されたWDM光は、凸レンズ103で集光され、回折格子104へ入射される。回折格子104により波長毎に出射方向が異なるように振り分けられた光は、凸レンズ105を経由してMEMS基板106aのうち対応する波長の微小ミラー107(図1−1参照)に入射される。微小ミラー107から反射された光は、MEMS基板106bの微小ミラー107へ入射される。
FIG. 1-2 is a side view of the wavelength
MEMS基板106aに入射される光は、光が入力された入力ファイバ101の位置(1〜N)と、光のチャネル(1〜M)により、MEMS基板106a上の対応する微小ミラー107に入力される。同様に、MEMS基板106b上の微小ミラー107は、それぞれ、出力される出力ファイバ102の位置(1〜N)と、光のチャネル(1〜M)により対応づけられており、MEMS基板106bの微小ミラー107で反射された光は、凸レンズ105、回折格子104、凸レンズ103の順に経由し、MEMS基板106b上の微小ミラー107の位置に対応した出力ファイバ102に出力される。
The light incident on the
例えば、図1−2において、1番目の入力ポート(入力ファイバ101)より入力されたあるチャネルの波長の光は、MEMS基板106a上の微小ミラー107の角度を変更することにより、1番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(実線)、および、N番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(破線)を切り替えることができる。
For example, in FIG. 1-2, the light of a certain channel wavelength input from the first input port (input fiber 101) changes the angle of the
したがって、個別のチャネルの光について、対応するMEMS基板106aの微小ミラー107およびMEMS基板106bの微小ミラー107の角度を制御することにより、目的の出力ポートに出力させることができるようになる。
Therefore, by controlling the angles of the
図2および図3は、実施の形態1の他の構成例を示す側面図である。実施の形態1(図1−2参照)の特徴である2つのMEMS基板をZ方向に対してそれぞれ45度に配置し、入力側のMEMS基板106aから出力側のMEMS基板106bへ直接光を入射させる構成は図1−1、図1−2と同様である。そして、図2および図3では、入力ファイバ101から出力ファイバ102までの光路に用いる凸レンズの種類を変更した構成の例を示したものである。
2 and 3 are side views showing another configuration example of the first embodiment. The two MEMS substrates, which are the features of the first embodiment (see FIG. 1-2), are arranged at 45 degrees with respect to the Z direction, and light is directly incident on the
図2に示す波長変換スイッチ120は、図1−2に示す波長変換スイッチ100における凸レンズ103および凸レンズ105の代わりに入力ファイバ101および出力ファイバ102にそれぞれ対応して小型凸レンズ200を配置し(レンズアレイでも可)、回折格子104に対して光を平行に入射させる構成である。光は入力側のMEMS基板106aまで直進するので、波長変換スイッチ100とはMEMS基板106(106a、106b)の入力側と出力側の位置が逆(YZ平面において180度回転させた位置)になる。
The
図1−2に示された構成と同様に、図2において、1番目の入力ポート(入力ファイバ101)より入力されたあるチャネルの波長の光は、MEMS基板106a上の微小ミラー107の角度を変更することにより、1番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(実線)、および、N番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(破線)を切り替えることができる。
Similar to the configuration shown in FIG. 1B, in FIG. 2, the light of a certain channel wavelength input from the first input port (input fiber 101) changes the angle of the
図3に示す波長選択スイッチ130も図2と同様に、波長変換スイッチ100の凸レンズ103の代わりに各ファイバに対応した小型凸レンズ200(レンズアレイでも可)を配置する。凸レンズ105は、図2同様の状態で配置されており、光は、MEMS基板106aへ入射する前に集光され、MEMS基板106(106a、106b)の入力側と出力側の位置は波長変換スイッチ100と同じ位置となる。これらの波長選択スイッチ120、波長選択スイッチ130は、共に波長選択スイッチ100と同様に、個別のチャネルの光について、対応するMEMS基板106aの微小ミラー107およびMEMS基板106bの微小ミラー107の角度を制御することにより、目的の出力ポートに出力させることができる。
Similarly to FIG. 2, the wavelength
図1−2に示された構成と同様に、図3において、1番目の入力ポート(入力ファイバ101)より入力されたあるチャネルの波長の光は、MEMS基板106a上の微小ミラー107の角度を変更することにより、1番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(実線)、および、N番目の出力ポート(出力ファイバ102)への出力(破線)を切り替えることができる。
Similar to the configuration shown in FIG. 1B, in FIG. 3, the light of a wavelength of a certain channel input from the first input port (input fiber 101) changes the angle of the
上記実施の形態1によれば、1台の波長選択スイッチのみで、光ハブとしての機能を実現し、光ハブとしてのサイズとコストを劇的に低減させることができる。 According to the first embodiment, the function as an optical hub can be realized with only one wavelength selective switch, and the size and cost as an optical hub can be dramatically reduced.
(実施の形態2)
実施の形態2の構成は、MEMS基板上にビームウエストを設定した構成である。図4−1は、本発明にかかる波長選択スイッチの実施の形態2の構成例を示す図である。波長選択スイッチ400は、2枚のMEMS基板106(106a、106b)上で、ビームウエストを設定した構成である。波長変換スイッチ400は、N本の入力ファイバ101と、N本の出力ファイバ102をY方向に並べて配置し、凸レンズ103と、回折格子104と、凸レンズ105を光軸(Z方向)上に配置する。
(Embodiment 2)
The configuration of the second embodiment is a configuration in which a beam waist is set on a MEMS substrate. FIG. 4A is a diagram of a configuration example of the wavelength selective switch according to the second embodiment of the present invention. The wavelength
さらに光軸の延長線上に、MEMS基板106aと、MEMS基板106bを同一平面に配置する。同一平面とは、MEMS基板106aの面と、MEMS基板106bの面とが同じ面位置で同一方向を向いて配置したことを示す。MEMS基板106(106a、106b)のY方向には、反射光学系として凸レンズ401と、全反射ミラー402をそれぞれ配置する。MEMS基板106(106a、106b)は、図1−1に示したものと同様の構成および機能を用いる。
Further, the
図4−2は、波長選択スイッチの実施の形態2の構成例の側面図である。図4−2に示すように波長選択スイッチ400は、MEMS基板106(106a、106b)をZ方向に対して45度傾け、MEMS基板106(106a、106b)の配置位置から見て図中下方には、光軸(Z方向)に対して直交する方向(Y方向)に沿って凸レンズ401と、凸面全反射ミラー402を配置する。この配置により、入力側のMEMS基板106aに入射された光は、凸レンズ401で集光され、全反射ミラー402へ入射され、出力側のMEMS基板106bへ反射される。
FIG. 4-2 is a side view of a configuration example of the wavelength selective switch according to the second embodiment. As shown in FIG. 4B, the wavelength
ここで、反射光学系である凸レンズ401と全反射ミラー402は、入力側の光学系であるMEMS基板106aの微小ミラー107から反射された光と、出力側の光学系であるMEMS基板106bの微小ミラー107に入射される光の光路とを連続させる光路を形成する。したがって、2つのMEMS基板106(106a、106b)の面と全反射ミラー402の面をビームウエスト位置にすることができる。このときの、全反射ミラー402の曲率については後述する。
Here, the
実施の形態2によれば、2つのMEMS基板106(106a、106b)を同一平面に実装でき、かつ、入力側、出力側の両MEMS基板106(106a、106b)上でビームウエストを設定できるので、微小ミラー107での反射効率を高めることができ、実装性と性能を向上させることが可能になる。なお、図4−2に示すようにMEMS基板106(106a、106b)直前のレンズが凸レンズ105の1枚では、MEMS基板106bと凸レンズ105の間の光路L1と、凸レンズ105とMEMS基板106aの間の光路L2では互いに光路差が生じ、MEMS基板106の全ての面においてビームウエスト位置を得られないが、ビームウエスト位置のトレランスを広げる光学設計を行うことで、反射効率を低下させることがない構成とすることができる。
According to the second embodiment, two MEMS substrates 106 (106a, 106b) can be mounted on the same plane, and the beam waist can be set on both the input side and output side MEMS substrates 106 (106a, 106b). The reflection efficiency at the
(実施の形態3)
図5−1は、本発明にかかる波長選択スイッチの実施の形態3の構成例を示す図である。図5−2は、波長選択スイッチの側面図、図5−3は、波長選択スイッチの上面図である。波長選択スイッチ500は、N本の入力ファイバ101と、N本の出力ファイバ102をY方向に配置し、凸レンズ103と、回折格子104と、凸レンズ105と、MEMS基板106を光軸上に配置した構成を有する。ここで、入力側のMEMS106aの面と、出力側のMEMS106bの面は同一平面となるように、また光軸に対して直交するように(Y方向に沿って)配置している。MEMS基板106は、図1−1に示したものと同様の構成である。なお、図5−3にM個のチャネル(λ1〜λM)の分離方向を示してある。
(Embodiment 3)
FIG. 5A is a diagram of a configuration example of the wavelength selective switch according to the third embodiment of the present invention. FIG. 5B is a side view of the wavelength selective switch, and FIG. 5C is a top view of the wavelength selective switch. In the wavelength
波長選択スイッチ500において、回折格子104は、入力ファイバ101から入射され凸レンズ103で集光された光と、出力側のMEMS基板106bで反射され凸レンズ105で集光された光が入射するビームウエスト位置のみに回折用のスリットが設けられている。そして、回折格子104として使用しない部分(図中略下半部)は、図5−2に示すように全反射コーティング層104aを設けている。全反射コーティング層104aの曲率については後述する。
In the wavelength
入力側のMEMS基板106aで反射された光は、凸レンズ105を経由して回折格子104の全反射コーティング層104aに入射され全反射される。そして、MEMS基板106bと凸レンズ105の間の光路L1と、凸レンズ105とMEMS基板106aの間の光路L2の光路長を等しくすることができる。
The light reflected by the input
この実施の形態3によれば、光路L1,L2の光路長を同じ長さにできるため、図4−2に示した構成と異なり、2つのMEMS基板107a,107bの全ての領域(微小ミラー107)にビームウエストを設定することができる。 According to the third embodiment, since the optical path lengths of the optical paths L1 and L2 can be made the same length, unlike the configuration shown in FIG. 4-2, all the regions (micromirrors 107) of the two MEMS substrates 107a and 107b. ) Can set the beam waist.
(実施の形態4)
図6−1は、本発明にかかる波長選択スイッチの実施の形態4の構成例を示す図である。波長選択スイッチ600は、N本の入力ファイバ101と、N本の出力ファイバ102をY方向に並べて配置し、個々のファイバ(ポート)毎に個別の球レンズを配置したレンズアレイ601と、回折格子103と、個々のファイバ毎に焦点異なるレンズ602を光軸(Z方向)上に配置する。さらに光軸の延長線上にMEMS基板106(106a、106b)を光軸に対して45度傾けて配置する。
(Embodiment 4)
FIG. 6A is a diagram of a configuration example of the wavelength selective switch according to the fourth embodiment of the present invention. The wavelength
MEMS基板は、入力側のMEMS基板106aの面と、出力側のMEMS基板106bの面とを同一平面となるように配置した構成である。入力ファイバ101から入射された光は、レンズアレイ601によって平行にMEMS基板106aへ入射されるため、1枚凸レンズを用いる場合に比べて、MEMS基板106aとMEMS基板106bが逆の配置(Y平面上で180度回転した位置)となる。さらに、MEMS基板106と平行に凸レンズ603と、全反射ミラー604を配置する。MEMS基板106は、図1−1に示したものと同様の構成および機能を有する。全反射ミラー604の曲率については後述する。
The MEMS substrate has a configuration in which the surface of the input-
レンズ602は、シリンドリカルレンズ(円柱レンズ)が用いられる。このレンズ602は、図6−1に示した回折格子1043により波長毎に分離された光を、X方向上で異なる位置の微小ミラー107に集光させる。
As the
図6−2は、波長選択スイッチの実施の形態4の側面図である。レンズ602は、図示のように、レンズ602とMEMS基板106aの間の光路L1と、MEMS基板106bとレンズ602の間の光路L2の光路長が一定となるよう、Y方向に対して所定角度を有して斜めに配置する。また、反射面として利用する全反射ミラー604をMEMS基板106の面と平行に配置している。これにより、MEMS基板106a、106bを同一平面に配置できるとともに、MEMS基板106a、106b上の全ての領域にビームウエストを設定することができる。したがって、波長選択スイッチ600は、微小なMEMS基板106(106a,106b)に対応することができるようになる。
FIG. 6B is a side view of the wavelength selective switch according to the fourth embodiment. As illustrated, the
図7および図8は、実施の形態4の他の構成例を示す側面図である。図7に示す波長選択スイッチ610は、波長選択スイッチ600のレンズ602の位置をY方向に並べて配置した構成を有する。レンズ602とMEMS基板106aの間の光路L1と、MEMS基板106bとレンズ602の間の光路L2の光路長は異なるが、各レンズ602のレンズ焦点がそれぞれMEMS基板106(106a,106b)の面(微小ミラー107)に位置するものを用いる。図8に示す波長選択スイッチ620は、図7に示した波長選択スイッチ610の全反射ミラー604に替えて、MEMS基板605を配置した構成である。これら波長選択スイッチ610と、波長選択スイッチ620は、波長選択スイッチ600と同様の効果をもたらすことができる。
7 and 8 are side views showing another configuration example of the fourth embodiment. A wavelength
実施の形態4によれば、MEMS基板106a、106bを同一平面に配置できるとともに、MEMS基板106a、106b上の全ての領域にビームウエストを設定することができる。したがって、波長選択スイッチ600は、微小なMEMS基板106(106a,106b)に対応することができるようになる。
According to the fourth embodiment, the
(実施の形態5)
図9−1は、本発明にかかる波長選択スイッチの実施の形態5の構成例を示す図である。図示するような座標軸において、波長選択スイッチ900は、N本の入力ファイバ101と、N本の出力ファイバ102と、凸レンズ103と、回折格子104と、凸レンズ105を光軸(Z方向)上に配置する。さらに光軸(Z方向)の延長線上には、MEMS基板106aとMEMS基板106bを、互いが同一平面上となるように配置する。MEMS基板106の垂線上に、凸レンズ603と、全反射ミラー604をMEMS基板106a基板106と平行に備える。また、上述した光学部品は、全てY方向に対して同一の角度に傾けた配置により構成される。MEMS基板106は、図1−1に示したものと同様の構成および機能を有する。
(Embodiment 5)
FIG. 9A is a diagram of a configuration example of the wavelength selective switch according to the fifth embodiment of the present invention. On the coordinate axes as shown, the wavelength
図9−2は、波長選択スイッチの実施の形態5の側面図である。図9−1を側面から見た状態である。波長選択スイッチ900は、光学部品をY方向に対して斜め配置にすることで、MEMS基板106bと凸レンズ105の間の光路L1と、凸レンズ105とMEMS基板106aの間の光路L2とを同じ長さの光路長にできる。
FIG. 9-2 is a side view of the wavelength selective switch according to the fifth embodiment. It is the state which looked at FIG. 9-1 from the side. The wavelength
実施の形態5によれば、MEMS基板106a、106bを同一平面に配置できるとともに、MEMS基板106a、106b上の全ての領域にビームウエストを設定することができる。したがって、波長選択スイッチ600は、微小なMEMS基板106(106a,106b)に対応することができるようになる。
According to the fifth embodiment, the
(反射面についての説明)
図10は、フラット反射の原理を説明する図である。入力側のMEMS基板106aに入射された光は、MEMS基板106a上の微小ミラー107の可変角度θi(MEMS基板106と微小ミラー107のなす角)の変化より反射面1000のどの位置(反射点Yr)に入射されるかが定まり、その関係は、レンズ焦点距離をfとすると、Yr=f・θiで表される。反射面1000がフラットな場合、反射面1000のどの部分に反射点を持ってきても、反射されるビームは、レンズ1001の中心軸と対称な微小ミラー107にしか向かわない。したがって、任意のスイッチングができないことになる。
(Description of reflective surface)
FIG. 10 is a diagram for explaining the principle of flat reflection. The light incident on the
図11は、曲面反射の原理を説明する図である。反射面1100のような曲面反射面は、入力側のMEMS基板106aで反射した光が入射する位置(以下、「反射点Yr」という)によりに反射面1100での光の反射角度(以下、「ミラー角度θm(反射面1100と反射面上の曲面ミラー1101のなす角)」という)は異なる。すなわち、レンズ焦点距離fが一定であれば、反射面1100で反射された光が出力側のMEMS基板106bのどの位置に入射されるかは、反射面1100のミラー角度θmから一義的に決定する。よって、MEMS基板106a上のミラー角度θiを調整すれば、反射面1100で反射させた光を任意の出力側MEMS基板106bに向かわせることが可能になる。
FIG. 11 is a diagram for explaining the principle of curved surface reflection. A curved reflecting surface such as the reflecting
具体的には、入力側のMEMS基板106aに入射された光を反射面1100上のどの反射点に入射させるかは、Yr=f・θiからMEMS基板106aのミラー角度θiを調節することで可能である。また、反射面1100で反射した光がMEMS基板106bの所望の位置に入射させるためのシフト量ΔYは、ΔY=2×f×θmで求めることができる。したがって、θiで定まる反射面1100の反射点において、所望のシフト量ΔYを得られるよう、反射面1100の曲面ミラーの曲率、θmを設定する。
Specifically, to which reflection point on the reflecting
以上のことから実施の形態2〜実施の形態5における波長選択スイッチ400〜波長選択スイッチ900において、入力側のMEMS基板106aから出力側のMEMS基板106bへの切り替えのための反射面(104a,402,604)は、任意の曲率を持った曲面にすることが望ましい。
From the above, in the wavelength
図12は、ブレーズド反射の原理を説明する図である。図12に示すように、異なる反射角度を有する階段状(ブレ−ズド)の反射面1200を用いることもでき、曲面反射と同様の機能が得られる。この場合、切り替えを行いたいポートの数(入力ファイバおよび出力ファイバの数)がNのときは、N−1通りの反射角度を準備しておけばよいことになる。
FIG. 12 is a diagram for explaining the principle of blazed reflection. As shown in FIG. 12, a stepped (blazed) reflecting
したがって、実施の形態2〜実施の形態5における波長選択スイッチ400〜波長選択スイッチ900において、光を入力側のMEMS基板106aから出力側のMEMS基板106bへの切り替えるための反射面として利用されている任意の曲率を持った曲面は、全てブレーズド面に差し替えても同様の効果を得ることができる。
Therefore, in the wavelength
以上説明したように、実施の形態1〜実施の形態5において説明した波長選択スイッチを実装したモジュールを用いることで、M種類の波長を多重化した信号光のNchの入力を、Nchの出力に任意に切り替えることが可能となる。 As described above, by using the module on which the wavelength selective switch described in the first to fifth embodiments is mounted, the Nch input of the signal light multiplexed with M types of wavelengths can be changed to the Nch output. It is possible to switch arbitrarily.
(付記1)波長多重された光信号がそれぞれ入力され、所定の配置方向を有して配置された複数(N)の入力ポートと、
複数の前記入力ポートからそれぞれ出射された光を、前記入力ポートの配置方向と異なる角度を有する方向に沿って波長別に複数(M)分離して出射させる第1の波長分散素子と、
前記入力ポートの数(N)と、前記第1の波長分散素子により分離された光の数(M)に対応したN×Mの個数を有し、入射した光の反射方向を角度変更自在な微小ミラーを備えた第1のミラーアレイと、からなる入力側の光学系と、
前記第1のミラーアレイと同じN×Mの個数を有する微小ミラーを備え、前記第1のミラーアレイによって反射された光が入射され、入射した光を選択した出力ポートから出力させるために角度変更自在な微小ミラーを備えた第2のミラーアレイと、
前記第2のミラーアレイから出射された各波長別の光を合波し、選択された出力ポートに出射させる第2の波長分散素子と、
前記第2の波長分散素子を通過した光が入射され、所定の配置方向を有して配置された複数(N)の出力ポートと、からなる出力側の光学系と、
を備え、前記複数の入力ポートから入力された光の光路を任意の波長毎に前記複数の出力ポートから出力することを特徴とする波長選択スイッチ。
(Supplementary note 1) A plurality of (N) input ports to which wavelength multiplexed optical signals are respectively input and arranged with a predetermined arrangement direction;
A first wavelength dispersive element that emits light emitted from each of the plurality of input ports after being separated into a plurality (M) according to wavelengths along a direction having an angle different from a direction in which the input ports are arranged;
The number of the input ports (N) and the number of N × M corresponding to the number of light separated by the first wavelength dispersion element (M), and the reflection direction of the incident light can be changed in angle. A first mirror array having a micromirror, and an input-side optical system,
A micro mirror having the same number of N × M as the first mirror array is provided, the light reflected by the first mirror array is incident, and the angle is changed so that the incident light is output from the selected output port. A second mirror array with free micromirrors;
A second wavelength dispersion element that multiplexes light of each wavelength emitted from the second mirror array and emits the light to a selected output port;
An output-side optical system comprising a plurality of (N) output ports that are incident with light that has passed through the second wavelength dispersion element and are arranged with a predetermined arrangement direction;
A wavelength selective switch, wherein optical paths of light input from the plurality of input ports are output from the plurality of output ports for each arbitrary wavelength.
(付記2)前記入力側の光学系と、前記出力側の光学系とが前記第1のミラーアレイおよび第2のミラーアレイを一端として折り返す形で配置され、
前記第2の波長分散素子は、前記第1の波長分散素子と共用することを特徴とする付記1に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary note 2) The input-side optical system and the output-side optical system are arranged in a manner of folding back with the first mirror array and the second mirror array as one end,
The wavelength selective switch according to
(付記3)前記第1の波長分散素子に対する光の入射側には第1のレンズを設け、光の出射側には第2のレンズを設けたことを特徴とする付記2に記載の波長選択スイッチ。 (Supplementary note 3) The wavelength selection according to supplementary note 2, wherein a first lens is provided on the light incident side of the first wavelength dispersion element, and a second lens is provided on the light emission side. switch.
(付記4)前記第1のレンズは、前記第1の波長分散素子に対する入射光を平行光とし、
前記第2のレンズは、前記第1のミラーアレイの前記微小ミラーに対する入射光を集光させることを特徴とする付記3に記載の波長選択スイッチ。
(Additional remark 4) The said 1st lens makes incident light with respect to a said 1st wavelength dispersion element parallel light,
The wavelength selective switch according to
(付記5)前記第1のレンズは、前記入力ポートから出射され、前記出力ポートに対して入射させる光の光軸に対応してそれぞれ個別に設けられたレンズ群からなることを特徴とする付記4に記載の波長選択スイッチ。 (Additional remark 5) The said 1st lens consists of a lens group each provided separately corresponding to the optical axis of the light radiate | emitted from the said input port and made to inject with respect to the said output port. 5. The wavelength selective switch according to 4.
(付記6)前記第2のレンズは、前記入力ポートおよび前記出力ポートから出射される光の光軸に対応してそれぞれ個別に設けられたレンズ群からなることを特徴とする付記5に記載の波長選択スイッチ。
(Additional remark 6) The said 2nd lens consists of a lens group each provided corresponding to the optical axis of the light radiate | emitted from the said input port and the said output port, The
(付記7)前記入力ポートおよび前記出力ポートの配置方向と、前記第1の波長分散素子および第2の波長分散素子による光の分離方向とが互いに直交することを特徴とする付記1〜6のいずれか一つに記載の波長選択スイッチ。 (Additional remark 7) The arrangement direction of the said input port and the said output port, and the light separation direction by the said 1st wavelength dispersion element and the 2nd wavelength dispersion element are mutually orthogonally crossed mutually The wavelength selective switch according to any one of the above.
(付記8)前記第1のミラーアレイおよび第2のミラーアレイは、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術により形成されたMEMSミラーであることを特徴とする付記1〜7のいずれか一つに記載の波長選択スイッチ。 (Supplementary note 8) The first mirror array and the second mirror array are MEMS mirrors formed by a MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) technique. Wavelength selective switch.
(付記9)前記第1のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイとを、前記光の光軸を中心として互いの面が45度となるように対称位置に配置したことを特徴とする付記2〜8のいずれか一つに記載の波長選択スイッチ。 (Supplementary note 9) The supplementary note, wherein the first mirror array and the second mirror array are arranged in a symmetrical position so that each plane is 45 degrees around the optical axis of the light. The wavelength selective switch according to any one of 2 to 8.
(付記10)前記第1のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイは、互いの面が同一平面となるよう配置され、
前記第1のミラーアレイから反射された光と、前記第2のミラーアレイに入射される光の光路とを連続させる光路を形成する反射光学系をさらに設けたことを特徴とする付記2〜8のいずれか一つに記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary Note 10) The first mirror array and the second mirror array are arranged so that their surfaces are the same plane,
Additional remarks 2-8, further comprising a reflection optical system that forms an optical path that connects the light reflected from the first mirror array and the optical path of the light incident on the second mirror array. The wavelength selective switch according to any one of the above.
(付記11)前記第1のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイは、互いの面が同一平面となりかつ前記光の光軸に対して45度の角度を有して配置され、
前記反射光学系は、前記光軸に対して直交する方向に配置されたレンズと、反射ミラーとからなることを特徴とする付記10に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary Note 11) The first mirror array and the second mirror array are arranged such that their surfaces are the same plane and have an angle of 45 degrees with respect to the optical axis of the light,
11. The wavelength selective switch according to appendix 10, wherein the reflection optical system includes a lens disposed in a direction orthogonal to the optical axis and a reflection mirror.
(付記12)前記入力側の光学系および前記出力側の光学系を構成する前記入力ポートと、前記出力ポートと、前記第1の波長分散素子と、前記第1のレンズと、前記第2のレンズのそれぞれの傾き角度を、前記入力側および出力側のミラーアレイが有する光軸に対する傾き角度に一致させて配置したことを特徴とする付記11に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary Note 12) The input port, the output port, the first wavelength dispersion element, the first lens, and the second lens constituting the input-side optical system and the output-side optical system. 12. The wavelength selective switch according to
(付記13)前記第1のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイは、互いの面が同一平面となりかつ前記光の光軸に対して直交する角度を有するよう配置され、
前記反射光学系は、前記第1の波長分散素子の面のうち前記光を分離させる回折面を除く面に形成された反射ミラーであることを特徴とする付記10に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary note 13) The first mirror array and the second mirror array are arranged so that their surfaces are coplanar and have an angle perpendicular to the optical axis of the light,
11. The wavelength selective switch according to appendix 10, wherein the reflection optical system is a reflection mirror formed on a surface of the first wavelength dispersion element other than a diffraction surface that separates the light.
(付記14)前記第2のレンズは、前記第1のミラーアレイと、前記第2のミラーアレイとの間の距離が同じ光路長となるように配置されたレンズ群からなることを特徴とする付記10に記載の波長選択スイッチ。 (Supplementary Note 14) The second lens includes a lens group disposed so that the distance between the first mirror array and the second mirror array has the same optical path length. The wavelength selective switch according to appendix 10.
(付記15)前記第2のレンズは、前記第1のミラーアレイの面と、前記第2のミラーアレイの面にそれぞれ焦点が合うよう個別の焦点距離を有するレンズ群からなることを特徴とする付記10に記載の波長選択スイッチ。 (Supplementary Note 15) The second lens includes a surface of the first mirror array and a lens group having individual focal lengths so that the surface of the second mirror array is in focus. The wavelength selective switch according to appendix 10.
(付記16)前記反射光学系に設けられる反射ミラーは、MEMSミラーであることを特徴とする付記11に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary note 16) The wavelength selective switch according to
(付記17)前記反射光学系に設けられる反射ミラーの反射面は、前記ミラーアレイの微小ミラーの変更角度に対応して所定の曲率を有する曲面反射面であることを特徴とする付記11または13に記載の波長選択スイッチ。
(Additional remark 17) The reflective surface of the reflective mirror provided in the said reflective optical system is a curved surface reflective surface which has a predetermined curvature according to the change angle of the micro mirror of the said mirror array, The
(付記18)前記反射光学系に設けられる反射ミラーの反射面は、段階的に異なる反射角度を有するブレーズド反射面であることを特徴とする付記11または13に記載の波長選択スイッチ。
(Supplementary note 18) The wavelength selective switch according to
以上のように、本発明にかかる波長選択スイッチは、光通信網のノードに設けられ、波長毎にパスを切り替える光ハブ装置に適している。 As described above, the wavelength selective switch according to the present invention is suitable for an optical hub device that is provided in a node of an optical communication network and switches a path for each wavelength.
1 入力光ポート
4 ミラーアレイ
5 複数の出力光ポート
100,120,130,400,500,600,610,620,900 波長選択スイッチ
101 入力ファイバ
102 出力ファイバ
103,105,401,603 凸レンズ
2,12,104 回折格子
106a,106b,605 MEMS基板
107 微小ミラー
200 小型凸レンズ
402,604 全反射ミラー
601 レンズアレイ
3,602 レンズ
1101 曲面ミラー
DESCRIPTION OF
Claims (8)
複数の前記入力ポートからそれぞれ出射された光を、前記入力ポートの配置方向と異なる角度を有する方向に沿って波長別に複数(M)分離して出射させる第1の波長分散素子と、
前記入力ポートの数(N)と、前記第1の波長分散素子により分離された光の数(M)に対応したN×Mの個数を有し、入射した光の反射方向を角度変更自在な微小ミラーを備えた第1のミラーアレイと、からなる入力側の光学系と、
前記第1のミラーアレイと同じN×Mの個数を有する微小ミラーを備え、前記第1のミラーアレイによって反射された光が入射され、入射した光を選択した出力ポートから出力させるために角度変更自在な微小ミラーを備えた第2のミラーアレイと、
前記第2のミラーアレイから出射された各波長別の光を合波し、選択された出力ポートに出射させる第2の波長分散素子と、
前記第2の波長分散素子を通過した光が入射され、所定の配置方向を有して配置された複数(N)の出力ポートと、からなる出力側の光学系と、
前記第1の波長分散素子に対する光の入射側に設けられた第1のレンズと、
前記第1の波長分散素子に対する光の出射側に設けられた第2のレンズと、
を備え、
前記入力側の光学系と、前記出力側の光学系とが前記第1のミラーアレイおよび第2のミラーアレイを一端として折り返す形で配置され、
前記第2の波長分散素子は、前記第1の波長分散素子と共用し、
前記入力側の光学系および前記出力側の光学系を構成する前記入力ポートと、前記出力ポートと、前記第1の波長分散素子と、前記第1のレンズと、前記第2のレンズのそれぞれの傾き角度が、前記入力側および出力側のミラーアレイが有する光軸に対する傾き角度に一致させて配置され、
前記複数の入力ポートから入力された光の光路を任意の波長毎に前記複数の出力ポートから出力することを特徴とする波長選択スイッチ。 A plurality of (N) input ports, each of which receives a wavelength-multiplexed optical signal and is arranged with a predetermined arrangement direction;
A first wavelength dispersive element that emits light emitted from each of the plurality of input ports after being separated into a plurality (M) according to wavelengths along a direction having an angle different from a direction in which the input ports are arranged;
The number of the input ports (N) and the number of N × M corresponding to the number of light separated by the first wavelength dispersion element (M), and the reflection direction of the incident light can be changed in angle. A first mirror array having a micromirror, and an input-side optical system,
A micro mirror having the same number of N × M as the first mirror array is provided, the light reflected by the first mirror array is incident, and the angle is changed so that the incident light is output from the selected output port. A second mirror array with free micromirrors;
A second wavelength dispersion element that multiplexes light of each wavelength emitted from the second mirror array and emits the light to a selected output port;
An output-side optical system comprising a plurality of (N) output ports that are incident with light that has passed through the second wavelength dispersion element and are arranged with a predetermined arrangement direction;
A first lens provided on a light incident side with respect to the first wavelength dispersion element;
A second lens provided on the light exit side of the first wavelength dispersion element;
With
The input-side optical system and the output-side optical system are arranged so as to be folded back with the first mirror array and the second mirror array as one end,
The second wavelength dispersion element is shared with the first wavelength dispersion element,
Each of the input port, the output port, the first wavelength dispersion element, the first lens, and the second lens constituting the input-side optical system and the output-side optical system. The tilt angle is arranged to match the tilt angle with respect to the optical axis of the input side and output side mirror arrays,
A wavelength selective switch, wherein optical paths of light input from the plurality of input ports are output from the plurality of output ports for each arbitrary wavelength.
前記第1のミラーアレイから反射された光と、前記第2のミラーアレイに入射される光の光路とを連続させる光路を形成する反射光学系をさらに設けたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の波長選択スイッチ。The reflective optical system which forms the optical path which makes the light reflected from the said 1st mirror array, and the optical path of the light which injects into the said 2nd mirror array continue, further provided. 5. The wavelength selective switch according to any one of 4 above.
前記反射光学系は、前記光軸に対して直交する方向に配置されたレンズと、反射ミラーとからなることを特徴とする請求項5に記載の波長選択スイッチ。6. The wavelength selective switch according to claim 5, wherein the reflective optical system includes a lens disposed in a direction orthogonal to the optical axis and a reflective mirror.
前記反射光学系は、前記第1の波長分散素子の面のうち前記光を分離させる回折面を除く面に形成された反射ミラーであることを特徴とする請求項5に記載の波長選択スイッチ。6. The wavelength selective switch according to claim 5, wherein the reflection optical system is a reflection mirror formed on a surface of the first wavelength dispersion element excluding a diffraction surface that separates the light.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005102272A JP4493538B2 (en) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | Wavelength selective switch |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005102272A JP4493538B2 (en) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | Wavelength selective switch |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006284740A JP2006284740A (en) | 2006-10-19 |
JP4493538B2 true JP4493538B2 (en) | 2010-06-30 |
Family
ID=37406773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005102272A Expired - Fee Related JP4493538B2 (en) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | Wavelength selective switch |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4493538B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022009291A1 (en) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | 日本電信電話株式会社 | Wavelength cross-connect device and wavelength cross-connect method |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4495071B2 (en) * | 2005-11-18 | 2010-06-30 | 日本電信電話株式会社 | Wavelength selective switch |
US7457031B1 (en) * | 2007-07-20 | 2008-11-25 | Corning, Incorporated | Optical configurations for wavelength-converted laser sources |
JP4394713B2 (en) | 2007-09-10 | 2010-01-06 | Nttエレクトロニクス株式会社 | Wavelength selective switch |
JP5267029B2 (en) | 2007-10-12 | 2013-08-21 | 株式会社ニコン | Illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US8379187B2 (en) | 2007-10-24 | 2013-02-19 | Nikon Corporation | Optical unit, illumination optical apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method |
US9116346B2 (en) | 2007-11-06 | 2015-08-25 | Nikon Corporation | Illumination apparatus, illumination method, exposure apparatus, and device manufacturing method |
JP4842915B2 (en) * | 2007-11-16 | 2011-12-21 | 日本電信電話株式会社 | Optical channel monitor and wavelength selective optical switch |
US8391654B2 (en) | 2008-07-04 | 2013-03-05 | Ntt Electronics Corporation | Wavelength selection switch |
WO2011048599A1 (en) * | 2009-10-22 | 2011-04-28 | Yissum Research Development Company Of The Hebrew University Of Jerusalem Ltd. | Method and system for switching optical channels |
JP5192501B2 (en) * | 2010-01-14 | 2013-05-08 | 日本電信電話株式会社 | Wavelength selective switch |
JP5537260B2 (en) * | 2010-05-25 | 2014-07-02 | ジェイディーエス ユニフェイズ コーポレーション | Wavelength selective switch |
US8611742B2 (en) * | 2011-03-15 | 2013-12-17 | Capella Photonics, Inc. | Wavelength switch system using angle multiplexing optics |
JP5651904B2 (en) * | 2011-04-14 | 2015-01-14 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | N × N wavelength selective switch |
US8368987B1 (en) * | 2011-09-15 | 2013-02-05 | Nistica, Inc. | Optical processing device |
WO2013038713A1 (en) * | 2011-09-16 | 2013-03-21 | 日本電信電話株式会社 | Optical switch |
JP5340368B2 (en) * | 2011-11-25 | 2013-11-13 | 日本電信電話株式会社 | Optical repeater |
JP5340369B2 (en) * | 2011-11-25 | 2013-11-13 | 日本電信電話株式会社 | Optical repeater |
KR101832874B1 (en) * | 2015-12-03 | 2018-02-28 | 주식회사 인엘씨테크놀러지 | Optical cross-connect device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04118529A (en) * | 1990-09-07 | 1992-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method for measuring optical beam profile |
JP2000347065A (en) * | 1999-05-13 | 2000-12-15 | Lucent Technol Inc | Optical device |
JP2002169107A (en) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Fujitsu Ltd | Optical switch using tilt mirror |
JP2004233341A (en) * | 2003-01-08 | 2004-08-19 | Nikon Corp | Optical device and reverse dispersion type double spectrometer |
JP2004254089A (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Fujitsu Ltd | Wavelength multiplex processor |
JP2004310104A (en) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Agilent Technol Inc | Alignment system for fiber optic cross-connect switch |
-
2005
- 2005-03-31 JP JP2005102272A patent/JP4493538B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04118529A (en) * | 1990-09-07 | 1992-04-20 | Fuji Photo Film Co Ltd | Method for measuring optical beam profile |
JP2000347065A (en) * | 1999-05-13 | 2000-12-15 | Lucent Technol Inc | Optical device |
JP2002169107A (en) * | 2000-11-29 | 2002-06-14 | Fujitsu Ltd | Optical switch using tilt mirror |
JP2004233341A (en) * | 2003-01-08 | 2004-08-19 | Nikon Corp | Optical device and reverse dispersion type double spectrometer |
JP2004254089A (en) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Fujitsu Ltd | Wavelength multiplex processor |
JP2004310104A (en) * | 2003-04-07 | 2004-11-04 | Agilent Technol Inc | Alignment system for fiber optic cross-connect switch |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022009291A1 (en) * | 2020-07-06 | 2022-01-13 | 日本電信電話株式会社 | Wavelength cross-connect device and wavelength cross-connect method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006284740A (en) | 2006-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4493538B2 (en) | Wavelength selective switch | |
USRE47905E1 (en) | Reconfigurable optical add-drop multiplexers with servo control and dynamic spectral power management capabilities | |
US6535319B2 (en) | Free-space optical wavelength routing element based on stepwise controlled tilting mirrors | |
US7653273B2 (en) | Optical switch | |
JP6609789B2 (en) | Wavelength selective switch array | |
US20020076137A1 (en) | Binary switch for an optical wavelength router | |
JP5567212B2 (en) | Port array topology for multi-port wavelength selective switch | |
WO2021134660A1 (en) | Wavelength selection switch | |
CN1390314A (en) | Wave length router | |
US6317530B1 (en) | Micro-opto mechanical multistage interconnection switch | |
US20110103739A1 (en) | Wavelength selection switch | |
WO2003021316A1 (en) | Free-space wavelength routing systems with interleaved channels | |
US6873447B2 (en) | Two-dimensional free-space optical wavelength routing element based on stepwise controlled tilting mirrors | |
WO2002059655A2 (en) | 1x2 optical wavelength router | |
JP5192501B2 (en) | Wavelength selective switch | |
US7177498B2 (en) | Two-by-two optical routing element using two-position MEMS mirrors | |
US7254293B1 (en) | Wavelength routing optical switch | |
US6690849B1 (en) | Optical switch having MEMS array with reduced optical loss | |
US6766081B2 (en) | Focal length dispersion compensation for field curvature | |
JP4544828B2 (en) | Wavelength selective switch | |
US6798951B2 (en) | Wavelength router with a transmissive dispersive element | |
JP4718740B2 (en) | Optical add / drop multiplexer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091027 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091110 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100112 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100330 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100406 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |