JP4469679B2 - Manufacturing method of flat panel display - Google Patents

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Description

本発明は、傷等によって表面に凹部分が存在しているガラス板表面の平坦化方法であって、フラットパネルディスプレイ(以下、「FPD」)に使用されるガラス基板表面の平坦性を高めることについても好適に使用することができるガラス板表面の平坦化方法、この方法を使用して平坦性を高めたFPD用ガラス基板、及び、このガラス基板を使用して製造したFPDに関する。   The present invention is a method for flattening the surface of a glass plate in which concave portions exist on the surface due to scratches or the like, and improves the flatness of the surface of a glass substrate used in a flat panel display (hereinafter referred to as “FPD”). The present invention also relates to a method for flattening the surface of a glass plate that can be suitably used, a glass substrate for FPD having improved flatness by using this method, and an FPD manufactured using this glass substrate.

画像表示装置として薄型化された液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ等のFPDにおける画像表示部となるパネルは、ガラス基板表面上に複数の部材を積層した層構造をとっている。図2は、FPDである液晶ディスプレイのパネル断面の模式図である。図示の液晶ディスプレイパネルは、一対のガラス基板の間に液晶を保持した貼り合せ構造をとっている。   A panel serving as an image display unit in an FPD such as a thinned liquid crystal display, plasma display, or organic electroluminescence display as an image display device has a layer structure in which a plurality of members are stacked on a glass substrate surface. FIG. 2 is a schematic view of a panel cross section of a liquid crystal display which is an FPD. The illustrated liquid crystal display panel has a bonded structure in which liquid crystal is held between a pair of glass substrates.

図示の液晶ディスプレイパネルを構成し画像表示面となる一方のガラス基板6には、貼り合せ後に外表面となる面に偏光膜17が積層され、その反対面には、カラーフィルター8がブラックマトリックス7に区分けされつつ形成され、オーバーコート9、透明電極10及び配向膜11が順次積層されている。他方のガラス基板13には、貼り合せガラス基板の外表面側に偏光膜18が積層され、反対面には、薄膜トランジスタ14及び透明電極15が形成され、更に配向膜16が積層されている。これらガラス基板6、13の貼り合せは、両ガラス基板間に液晶封入領域を確保させるためのスペーサー12を介在させ、両ガラス基板の配向膜を形成した面を対向させて行われている。   On one glass substrate 6 constituting the liquid crystal display panel shown in the figure and serving as an image display surface, a polarizing film 17 is laminated on the surface which becomes the outer surface after being bonded, and on the opposite surface, a color filter 8 is provided with a black matrix 7. The overcoat 9, the transparent electrode 10, and the alignment film 11 are sequentially laminated. On the other glass substrate 13, a polarizing film 18 is laminated on the outer surface side of the bonded glass substrate, a thin film transistor 14 and a transparent electrode 15 are formed on the opposite surface, and an alignment film 16 is further laminated. The glass substrates 6 and 13 are bonded together by interposing a spacer 12 for securing a liquid crystal sealing region between the glass substrates and facing the surfaces on which the alignment films of the glass substrates are formed.

液晶ディスプレイ以外のFPDにおいてもガラス基板上に部材を積層させた構造がとられている。このFPDには更なる薄型化が要求されており、この要求に対してガラス基板表面を化学的又は機械的に研磨することで応えている。   The FPD other than the liquid crystal display also has a structure in which members are laminated on a glass substrate. The FPD is required to be further thinned, and this requirement is met by chemically or mechanically polishing the glass substrate surface.

化学的研磨には、フッ酸等を溶解させた水溶液をガラス基板表面に接触させて、ガラス基板表面を溶解させることによってガラス基板を薄型化することが一方法として使用されている。一方の機械的研磨は、ガラス基板と研磨パッドの間に酸化セリウムを含有したスラリーを介在させた条件で、ガラス基板を研磨パッドに当接させて移動させることによってガラス基板表面を研磨することが機械的研磨の一方法として使用されている。この酸化セリウムを含有したスラリーを使用して機械的に研磨する方法は、平坦性の高い精密な研磨を行うことができる方法として知られている。   One method of chemical polishing is to reduce the thickness of a glass substrate by bringing an aqueous solution in which hydrofluoric acid or the like is dissolved into contact with the glass substrate surface to dissolve the glass substrate surface. On the other hand, mechanical polishing can polish the glass substrate surface by moving the glass substrate in contact with the polishing pad under the condition that the slurry containing cerium oxide is interposed between the glass substrate and the polishing pad. It is used as a method of mechanical polishing. This method of mechanically polishing using a slurry containing cerium oxide is known as a method capable of performing high-precision polishing with high flatness.

しかしながら、研磨前のガラス基板には、通常、傷が存在しており、表面に傷が存在するガラス基板を化学的に研磨すると、一部の傷を除去することが可能なものの、大きさが拡大する傷もある。さらに、化学的研磨によって傷を除去した後であっても、ガラス基板表面が外部接触することによって、そのガラス基板表面に新たな傷が発生することがある。   However, the glass substrate before polishing usually has scratches, and when the glass substrate with scratches on the surface is chemically polished, some scratches can be removed, but the size is small. There are also wounds that expand. Furthermore, even after the scratches are removed by chemical polishing, new scratches may occur on the glass substrate surface due to external contact of the glass substrate surface.

一方、酸化セリウムを含有したスラリーを使用して機械的に研磨する方法で平坦性の高い表面研磨を行った場合、化学的研磨に比べてガラス基板表面傷の除去率が高く、傷の拡大の問題は生じ難い。   On the other hand, when surface polishing with high flatness is performed by a mechanical polishing method using a slurry containing cerium oxide, the glass substrate surface scratch removal rate is higher than chemical polishing, and the scratches are enlarged. Problems are unlikely to occur.

ガラス基板表面の傷が存在するとガラス表面の光屈折のバラつきを生じさせ、FPDに表示される画像の歪みを生じさせる結果となる。ガラス基板表面に目視で確認することができる傷が存在する場合、FPDが表示する画像の歪みを目視で確認することができ、この歪みは傷の大きさが大きくなるほど顕著になるので、画像表示品位の低下をもたらす。また、目視で確認することができない傷であっても、傷が隣接する場合には、表示される画像の歪みを生じさせる問題が生じることになる。   If there is a scratch on the surface of the glass substrate, it causes a variation in light refraction on the surface of the glass, resulting in distortion of the image displayed on the FPD. When there is a scratch that can be visually confirmed on the surface of the glass substrate, the distortion of the image displayed by the FPD can be visually confirmed, and this distortion becomes more noticeable as the size of the scratch increases. Degradation is brought about. Further, even if the scratches cannot be visually confirmed, if the scratches are adjacent to each other, there is a problem in that the displayed image is distorted.

表示画像の歪みを抑制するために再度の研磨を行うとすると、研磨する必要のないガラス基板表面を研磨することを伴う煩雑な作業となると共に、研磨によって再度の薄型化を図ることになってしまうため、各ガラス基板の厚みの均一性が損なわれることになる。また、化学的研磨を行うとすると、更に大きさが拡大する傷があり、機械的研磨を行うとすると、薄型化しているガラス基板に機械的応力が加わることによって割れが発生するガラス基板がある。   If re-polishing is performed to suppress distortion of the displayed image, it becomes a cumbersome operation involving polishing the glass substrate surface that does not need to be polished, and the thickness is reduced again by polishing. Therefore, the uniformity of the thickness of each glass substrate is impaired. Further, when chemical polishing is performed, there is a scratch that further increases in size, and when mechanical polishing is performed, there is a glass substrate that is cracked by applying mechanical stress to the thinned glass substrate. .

他方、ガラス基板表面の傷に透明樹脂を注入して硬化すれば、ガラス基板の平坦性は向上する。このとき、注入時にガラス表面が平坦になっていても硬化時に樹脂が収縮するため、樹脂硬化後のガラス基板は平坦性の不十分なガラス基板となる。この不十分な平坦性を向上させるには、傷から溢れ出る程度の樹脂を注入後硬化して、ガラス基板の平坦性向上に不要な硬化樹脂をガラス基板から除去する方法がとられる。しかし、この除去においては、次の問題が生じることになる。   On the other hand, if the transparent resin is injected into the scratches on the surface of the glass substrate and cured, the flatness of the glass substrate is improved. At this time, even if the glass surface is flat at the time of injection, the resin shrinks at the time of curing, so that the glass substrate after resin curing becomes a glass substrate with insufficient flatness. In order to improve the insufficient flatness, a method of removing a cured resin unnecessary for improving the flatness of the glass substrate from the glass substrate by curing after injection of a resin overflowing from the scratches is used. However, this removal causes the following problems.

図3は、ガラス基板表面傷から溢出している硬化樹脂部分を除去する状況を説明するための図であり、図3(a)は、ガラス基板19表面傷に過充填された硬化樹脂20が溢出している状態を表した断面模式図であり、傷を充填する樹脂20表面はガラス基板19表面から突出した状態となっている。図3(b)は、硬化樹脂20のガラス基板19表面から突出した部分が除去された状態を表した図である。図に示した硬化樹脂20の除去は、先端鋭角形状薄板であるスクレーパー21の先端をガラス基板19表面に沿って這わせることによって行われている。このスクレーパー21をガラス基板19表面に沿って這わせることによって、ガラス基板19表面から突出している硬化樹脂20を除去することが可能なものの、傷内部に充填されるべき硬化樹脂がガラス基板19表面から突出している樹脂と一体となった硬化樹脂20aが除去されることがあり、硬化樹脂20aが除去された部分に再度樹脂を注入する無用な樹脂使用量の増加をもたらす問題がある。   FIG. 3 is a diagram for explaining a situation in which the cured resin portion overflowing from the surface scratches on the glass substrate is removed. FIG. 3 (a) shows a case where the cured resin 20 overfilled on the surface scratches on the glass substrate 19 is formed. It is a cross-sectional schematic diagram showing the overflowing state, and the surface of the resin 20 filling the scratches is in a state of protruding from the surface of the glass substrate 19. FIG. 3B is a diagram illustrating a state in which a portion of the cured resin 20 protruding from the surface of the glass substrate 19 is removed. The removal of the cured resin 20 shown in the figure is performed by rolling the tip of the scraper 21, which is a thin plate having a sharp tip, along the surface of the glass substrate 19. Although the cured resin 20 protruding from the surface of the glass substrate 19 can be removed by rolling the scraper 21 along the surface of the glass substrate 19, the cured resin to be filled in the wound is the surface of the glass substrate 19. There is a case where the cured resin 20a integrated with the resin protruding from the surface is removed, and there is a problem that an unnecessary amount of resin used for injecting the resin again into the portion where the cured resin 20a is removed is increased.

本発明は、上記事情に鑑み、化学研磨処理を経たガラス表面傷に樹脂を充填してガラス基板表面の平坦性を向上させ、かつ、無用な樹脂使用量の低減を実現するFPDの製造方法を提供することを目的とする。 In view of the above circumstances, the present invention provides an FPD manufacturing method that improves the flatness of a glass substrate surface by filling a resin on glass surface scratches that have undergone a chemical polishing process , and realizes a reduction in unnecessary resin usage. The purpose is to provide.

本発明は、ガラス基板表面の凹部に透明樹脂を充填することによってガラス板表面の平坦性を向上させるものであり、フラットパネルディスプレイの表示素子を裏面に設けた状態のガラス基板の表面に、フッ酸を溶解させた水溶液を接触させて、前記ガラス基板の表面を溶解させる薄型化工程と、前記ガラス基板表面に存在する凹部に硬化性樹脂を注入し、前記硬化性樹脂がゼリー状の硬度となるまで不完全硬化させて前記凹部を不完全に覆う第一充填工程と、前記不完全に覆われた凹部を完全に覆うべく、第一充填工程で使用されると同じ前記硬化性樹脂を前記凹部に追加注入して前記硬化性樹脂を硬化させる第二充填工程と、を設けてガラス基板を平坦化してフラットパネルディスプレイを完成させる。この法によれば、第一充填工程で充填された不完全硬化樹脂は、不完全硬化によって収縮が進行しており、その後に不完全硬化樹脂を硬化させることに伴う不完全硬化樹脂の収縮は、小さな収縮となる。また、第二充填工程における樹脂硬化によって、第一充填工程で充填された不完全硬化樹脂は、第二充填工程で注入された樹脂よりも、硬化が進行した状態となる。 The present invention is intended to improve the flatness of the surface of the glass plate by filling a transparent resin in the recess of the glass substrate surface, of the glass substrate in a state in which a display device of a flat panel display on the back surface, fluoride A thinning process in which an acid-dissolved aqueous solution is contacted to dissolve the surface of the glass substrate , and a curable resin is injected into the recesses present on the surface of the glass substrate , and the curable resin has a jelly-like hardness. The first curable resin that is used in the first filling step in order to completely cover the incompletely covered concave portion and the first filling step to incompletely cure the indented portion until incompletely cured. A second filling step of additionally injecting into the recess to cure the curable resin, and flattening the glass substrate to complete a flat panel display. According to this manufacturing method, incompletely cured resin filled in the first filling step is in progress is contracted by incompletely cured, incompletely cured resin due to be subsequently curing the incompletely cured resin shrinkage Is a small contraction. Further, the resin curing in the second filling step causes the incompletely cured resin filled in the first filling step to be cured more than the resin injected in the second filling step.

本発明によれば、第二充填工程では、第一充填工程で充填した不完全硬化樹脂の上に未硬化樹脂を注入してガラス基板表面上の凹部内部を満たした後に樹脂硬化を行なう方法をとっているので、不完全硬化樹脂の収縮率が小さくなり、また、注入量の少ない未硬化樹脂の収縮は平坦性を損なわせる影響が小さいので、充填後のガラス板の平坦性が高く、使用する樹脂量を低減したガラス板の平坦化方法を実現することになる。また、不完全硬化樹脂上に注入する樹脂量がガラス板表面の凹部を溢れる量であって、樹脂硬化後にガラス基板表面から突出している溢出樹脂の除去を行なったときに傷内部の樹脂が同時に除去される事態が生じても、不完全硬化樹脂上に注入された樹脂よりも不完全硬化樹脂の硬化が進行しているので、除去される硬化樹脂は、未硬化樹脂上に注入した樹脂が硬化したものに留まることで、再度注入する樹脂の使用量を低減することができる。 According to the present invention, in a second filling step, the method after filling a recess inside on the glass substrate surface by injecting the uncured resin on the incompletely cured resin filled in the first filling step performing resin curing Therefore, the shrinkage rate of the incompletely cured resin is reduced, and the shrinkage of the uncured resin with a small amount of injection has little influence on the flatness, so the flatness of the glass plate after filling is high, The flattening method of the glass plate which reduced the amount of resin to be used is implement | achieved. In addition, the amount of resin injected onto the incompletely cured resin is an amount overflowing the concave portion on the surface of the glass plate, and the resin inside the scratch is simultaneously removed when the overflow resin protruding from the glass substrate surface after the resin is cured is removed. Even if the situation to be removed occurs, since the curing of the incompletely cured resin proceeds more than the resin injected onto the incompletely cured resin, the cured resin to be removed is the resin injected onto the uncured resin. By remaining in the cured product, the amount of resin to be injected again can be reduced.

また、本発明で製造されたFPDは、画像の歪みが抑えられた表示品位の高いFPDとなる。 In addition, the FPD manufactured by the present invention is an FPD with high display quality in which image distortion is suppressed.

以下、実施形態に基づき本発明を説明する。本実施形態において平坦化されるガラス基板は、一対の矩形ガラス基板を貼り合せたものであり、一対のガラス基板の間には、液晶が封入された液晶セル領域が設けられたものである。   Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments. The glass substrate to be planarized in the present embodiment is obtained by bonding a pair of rectangular glass substrates, and a liquid crystal cell region in which liquid crystal is sealed is provided between the pair of glass substrates.

貼り合せたガラス基板のうちの一方のガラス基板表面には、液晶セル領域となる面にブラックマトリックス、カラーフィルターが所定のパターンで積層された後に、オーバーコート、透明電極、配向膜が液晶セル領域となるガラス基板表面上を覆うように順次積層され、更に、二枚のガラス基板の間に液晶セル空間を確保させるためのスペーサーが配向膜上に散布されている。他方のガラス基板表面には、薄膜トランジスタ及び透明電極が所定のパターンで形成された後に、その上に配向膜層が液晶セル領域となるガラス基板表面上を覆うように積層されている。ブラックマトリックス等が形成された一方のガラス基板と薄膜トランジスタが形成された他方のガラス基板の貼り合せは、両ガラス基板の配向膜形成面を対向させ、両ガラス基板の間にシール剤を介在させることによって行われている。シール剤によって液晶セル領域が区画され、そして、この液晶セル領域を区画するシール剤を囲うシール剤が、2枚のガラス基板間に介在される。液晶セル領域を区画するシール剤を囲うシール剤は、貼り合せたガラス基板に存在する液晶セル内に研磨液が侵入することを防止する役割を果たす。   On the surface of one of the bonded glass substrates, a black matrix and a color filter are laminated in a predetermined pattern on the surface to be the liquid crystal cell region, and then the overcoat, transparent electrode, and alignment film are in the liquid crystal cell region. A glass substrate is sequentially laminated so as to cover the surface of the glass substrate, and a spacer for securing a liquid crystal cell space is dispersed on the alignment film between the two glass substrates. On the surface of the other glass substrate, after a thin film transistor and a transparent electrode are formed in a predetermined pattern, an alignment film layer is laminated thereon so as to cover the surface of the glass substrate serving as a liquid crystal cell region. Bonding of one glass substrate on which a black matrix or the like is formed and the other glass substrate on which a thin film transistor is formed is such that the alignment film forming surfaces of both glass substrates face each other and a sealing agent is interposed between both glass substrates. Has been done by. The liquid crystal cell region is partitioned by the sealing agent, and the sealing agent surrounding the sealing agent that partitions the liquid crystal cell region is interposed between the two glass substrates. The sealing agent surrounding the sealing agent that partitions the liquid crystal cell region plays a role of preventing the polishing liquid from entering the liquid crystal cell present on the bonded glass substrate.

本実施形態における貼り合せガラス基板は、化学的に表面を研磨する処理がなされている。この化学研磨は、フッ酸を溶解した水溶液を研磨液として使用し、この研磨液に貼り合せガラス基板を浸漬してガラス基板表面を溶解させることでガラス基板を薄型化するものである。ガラス基板を研磨液に浸漬した後には、研磨液をガラス基板表面から除去する洗浄処理がなされている。化学研磨後のガラス表面には、研磨前から存在するガラス基板表面傷が拡大した傷や、研磨終了に至るまでにガラス基板表面が外部接触することによって生じた傷によって、凹部分が存在している。   The bonded glass substrate in the present embodiment is chemically polished on the surface. In this chemical polishing, an aqueous solution in which hydrofluoric acid is dissolved is used as a polishing liquid, and the glass substrate surface is dissolved by immersing the bonded glass substrate in this polishing liquid to make the glass substrate thinner. After the glass substrate is immersed in the polishing liquid, a cleaning process for removing the polishing liquid from the surface of the glass substrate is performed. On the glass surface after chemical polishing, there are concave portions due to scratches caused by the glass substrate surface scratches existing before the polishing and scratches caused by external contact of the glass substrate surface until the polishing is completed. Yes.

図1は、本実施形態における平坦化方法を説明するための図である。この平坦化方法は、複数回に分けてガラス基板表面上に存在する傷が形成するガラス基板表面の凹部分に樹脂を充填するものであり、硬化性樹脂を充填した後にこの充填した樹脂を不完全硬化させる第一の樹脂充填と、第一の樹脂充填工程の後に、傷が形成している凹部分に硬化性樹脂を充填させる第二の樹脂充填工程と、第二の樹脂充填工程の後にガラス基板表面から突出する硬化樹脂を除去する工程を備えている。なお、本実施形態では、第一の樹脂充填工程を一回行なうが、この第一の樹脂充填工程を繰り返して行なった後に第二の樹脂充填工程を行っても良い。第一の樹脂充填工程を繰り返すと樹脂を少量ずつ硬化させることになり、紫外線硬化性樹脂を使用した場合には、樹脂硬化のために照射される紫外線照射エネルギーが小さいため、液晶等が変質することが防止されることになる。   FIG. 1 is a diagram for explaining a planarization method in the present embodiment. In this flattening method, the resin is filled into the concave portion of the glass substrate surface where scratches existing on the glass substrate surface are formed in a plurality of times, and this filled resin is not filled after filling with the curable resin. After the first resin filling step for complete curing and the second resin filling step after the first resin filling step, the second resin filling step for filling the curable resin in the concave portions where the scratches are formed, and the second resin filling step A step of removing the cured resin protruding from the surface of the glass substrate is provided. In the present embodiment, the first resin filling step is performed once. However, the second resin filling step may be performed after the first resin filling step is repeated. When the first resin filling step is repeated, the resin is cured little by little. When an ultraviolet curable resin is used, since the ultraviolet irradiation energy irradiated for resin curing is small, the liquid crystal and the like are deteriorated. It will be prevented.

図1(a)は、表面に傷2が存在するガラス基板1の断面模式図である。このガラス基板1は、化学研磨を行った後の貼り合せガラス基板のガラス板部分のみを表したものである。ガラス基板1表面には、液晶ディスプレイ表示画像の歪みの原因となる目視で確認することができる程度の大きさの傷2が存在している。ガラス基板表面に存在する傷は、傷ごとに外部観察可能な傷の上方から見た平面形状及び内部形状共に不定形の形状となっており、平面形状の直径が50μm以上のものであり、本明細書における平面形状の傷の直径とは、平面視した場合の傷の最大直径を指す。   FIG. 1A is a schematic cross-sectional view of a glass substrate 1 having a scratch 2 on the surface. This glass substrate 1 represents only the glass plate portion of the bonded glass substrate after chemical polishing. On the surface of the glass substrate 1, there is a scratch 2 having a size that can be visually confirmed, which causes distortion of the display image on the liquid crystal display. The scratches present on the surface of the glass substrate are indefinite shapes for both the planar shape and the internal shape viewed from above the scratches that can be observed externally, and the planar shape has a diameter of 50 μm or more. The diameter of a planar scratch in the specification refers to the maximum diameter of a scratch when viewed in plan.

図1(b)は、第一の樹脂充填工程おいてガラス基板1表面に存在する傷に樹脂3を注入した状態を表した断面模式図である。傷に注入される樹脂には、硬化性樹脂が使用される。この硬化性樹脂には、表示画像の歪みの発生を防止するため、硬化後の屈折率がガラスと同程度のメタクリル酸樹脂やアクリル酸樹脂等が選択して使用される。また、硬化性樹脂は、熱硬化樹脂、光硬化樹脂等の硬化樹脂を使用することができ、本実施形態においては、嫌気性条件および紫外線照射条件の両条件が揃ったときに硬化する嫌気性紫外線硬化樹脂が選択使用される。   FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing a state in which the resin 3 is injected into the scratch existing on the surface of the glass substrate 1 in the first resin filling step. A curable resin is used as the resin injected into the wound. As this curable resin, a methacrylic acid resin or an acrylic acid resin having a refractive index after curing of the same degree as that of glass is selected and used in order to prevent distortion of the display image. Further, as the curable resin, a curable resin such as a thermosetting resin or a photo-curing resin can be used. In this embodiment, the anaerobic condition is cured when both the anaerobic condition and the ultraviolet irradiation condition are met. An ultraviolet curable resin is selectively used.

傷内部への樹脂の注入は、マイクロシリンジ等の注入器を使用して行われる。このとき、傷内部への樹脂注入量は、傷内部を満たさない量であることが好ましい。なお、傷の大きさが小さく、注入器による傷内部への樹脂注入が困難な場合には、樹脂をガラス基板表面に塗布し、この塗布した樹脂を傷内部に浸透させることによって傷への樹脂注入処理が行われ、傷への樹脂注入を完全にさせるためには、例えば、塗布した樹脂の表面にフィルムを覆ってフィルムを押圧することで塗布した樹脂を傷内部に圧入浸透させる。   The resin is injected into the wound using an injector such as a microsyringe. At this time, the amount of the resin injected into the wound is preferably an amount that does not fill the wound. In addition, when the size of the scratch is small and it is difficult to inject the resin into the inside of the wound with an injector, the resin is applied to the surface of the glass substrate, and the resin applied to the wound is allowed to penetrate into the inside of the wound. In order to complete the injection of the resin into the wound, for example, the coated resin is pressed and penetrated into the wound by covering the surface of the coated resin and pressing the film.

図1(c)は、傷に注入した樹脂3が不完全硬化した状態を表したガラス基板1の断面模式図である。樹脂3の不完全硬化は、図示されていない樹脂3を硬化する紫外線波長を透過するフィルムを樹脂に密着させつつ傷表面上に覆い、これによって樹脂表面を外気から遮断した後に樹脂3を硬化させる波長の紫外線を照射することによって行われる。この紫外線照射は、樹脂3が完全に硬化しないように行なわれ、本実施形態では、樹脂3が不完全硬化してゼリー状の硬度となるまで行われる。樹脂がゼリー状の硬度となる紫外線の照射時間は、樹脂3の種類によって適宜設定される。紫外線を照射することによって、不完全硬化した樹脂は、硬化開始前に比して収縮した状態となっている。   FIG.1 (c) is a cross-sectional schematic diagram of the glass substrate 1 showing the state which the resin 3 inject | poured into the damage | wound was incompletely hardened. Incomplete curing of the resin 3 is performed by covering a scratched surface while adhering a film that transmits an ultraviolet wavelength (not shown) that cures the resin 3 (not shown) to the resin, thereby curing the resin 3 after blocking the resin surface from the outside air. This is performed by irradiating with ultraviolet rays having a wavelength. This ultraviolet irradiation is performed so that the resin 3 is not completely cured. In the present embodiment, the irradiation is performed until the resin 3 is incompletely cured and has a jelly-like hardness. The irradiation time of the ultraviolet rays at which the resin has a jelly-like hardness is appropriately set depending on the type of the resin 3. By irradiating with ultraviolet rays, the incompletely cured resin is in a contracted state as compared with before the start of curing.

なお、傷内に収まっていない不完全硬化樹脂がある場合、完全に硬化した樹脂ではないので、ガラス基板に沿ってスクレーパーを這わせると、傷内に収まっていない樹脂を容易に削りとることができる。   If there is an incompletely cured resin that does not fit in the wound, it is not a completely cured resin, so if you scrape the scraper along the glass substrate, you can easily scrape off the resin that does not fit in the wound. it can.

図1(d)は、第二の樹脂充填工程を経たガラス基板の断面模式図である。第二の樹脂充填工程で使用される樹脂4は、第一の樹脂充填工程で使用可能な樹脂3と同じ樹脂が使用され、傷内部への樹脂注入方法および注入した樹脂の硬化方法は、第一の樹脂充填工程と同じ方法がとられる。第二の樹脂充填工程において、樹脂4の注入量は、傷を満たす量の樹脂が注入され、樹脂硬化は、樹脂4を硬化させるまで行われる。このとき、第一の樹脂充填工程で不完全硬化した樹脂3がこの不完全硬化によって既に収縮しているため、樹脂3の更なる収縮は微小であり、傷全体の内部容量からみて少量な第二の樹脂充填工程で注入された樹脂が収縮しても傷内部に充填されている樹脂3、4全体の体積変化が微小となる。従って、樹脂3、4の収縮によってガラス基板の平坦性が損なわれることが抑制されることになる。また、第二の樹脂充填工程における樹脂硬化に伴って第一の樹脂充填工程で充填された樹脂3の硬化が進行するので、第一の樹脂充填工程で充填された樹脂3は、第二の樹脂充填工程で充填された樹脂4よりも高硬度の樹脂となる。   FIG.1 (d) is a cross-sectional schematic diagram of the glass substrate which passed through the 2nd resin filling process. The resin 4 used in the second resin filling step is the same resin as the resin 3 that can be used in the first resin filling step. The resin injecting method and the curing method of the injected resin are as follows. The same method as the one resin filling step is taken. In the second resin filling step, the amount of resin 4 injected is such that a sufficient amount of resin is injected to fill the scratches, and resin curing is performed until the resin 4 is cured. At this time, since the resin 3 that has been incompletely cured in the first resin filling process has already contracted due to this incomplete curing, the further contraction of the resin 3 is very small, and a small amount of the resin 3 as viewed from the internal volume of the entire wound. Even if the resin injected in the second resin filling step contracts, the volume change of the entire resins 3 and 4 filled in the wound becomes minute. Therefore, the flatness of the glass substrate due to the shrinkage of the resins 3 and 4 is suppressed. Further, since the curing of the resin 3 filled in the first resin filling step proceeds with the resin curing in the second resin filling step, the resin 3 filled in the first resin filling step The resin becomes harder than the resin 4 filled in the resin filling step.

図1(e)は、第二の樹脂充填工程を経たガラス基板から突出する硬化樹脂を除去する状態を表した模式図である。この硬化樹脂の除去は、ガラス基板1の平坦性を損なう不要な樹脂4bを除去するために行われるものであり、この不要な樹脂4bは、ガラス基板1表面の傷に過剰に充填されてガラス基板1表面から突出してガラス基板1の平坦性を損なわせる樹脂が対象となる。不要な樹脂4bの除去は、スクレーパー5をガラス基板1表面に沿って這わせ、樹脂を削り取ることによって行われる。不要な樹脂4bの除去後、第二の樹脂充填工程で傷に充填された樹脂4は、ガラス基板1表面傷を満たして平坦性を向上させるために必要な樹脂4aのみが傷に充填されたまま残存し、ガラス基板1の平坦性に不要な樹脂4bは、スクレーパー6によって削り取られることとなる。スクレーパー8による樹脂4bの除去時に樹脂4aが共に除去されることが生じても、この樹脂4aの下方に充填されている樹脂3は、樹脂4aよりも硬度の高い硬化樹脂となっているので、樹脂4aと共に除去されることが防止される。従って、樹脂4aが除去された場合に、傷内部に樹脂3の充填量を含めた再度の樹脂充填を行う必要が無く、樹脂の使用量を低減することができる。   FIG.1 (e) is the schematic diagram showing the state which removes the cured resin which protrudes from the glass substrate which passed through the 2nd resin filling process. The removal of the cured resin is performed in order to remove unnecessary resin 4b that impairs the flatness of the glass substrate 1, and this unnecessary resin 4b is excessively filled in the scratches on the surface of the glass substrate 1 to form glass. Resins that protrude from the surface of the substrate 1 and impair the flatness of the glass substrate 1 are targeted. Unnecessary resin 4b is removed by scraping the resin along the surface of the glass substrate 1 and scraping the resin. After removing the unnecessary resin 4b, the resin 4 filled in the scratches in the second resin filling step is filled with only the resin 4a necessary for filling the scratches on the surface of the glass substrate 1 and improving the flatness. Resin 4b that remains and is unnecessary for the flatness of glass substrate 1 is scraped off by scraper 6. Even if the resin 4a is removed together when the resin 4b is removed by the scraper 8, the resin 3 filled below the resin 4a is a cured resin having a higher hardness than the resin 4a. Removal with the resin 4a is prevented. Therefore, when the resin 4a is removed, there is no need to refill the resin including the filling amount of the resin 3 inside the wound, and the amount of the resin used can be reduced.

上記平坦化方法を経たガラス基板の表面には、偏光膜が貼り付けられ、この偏光膜を貼り付けたガラス基板を使用して液晶ディスプレイが製造される。   A polarizing film is attached to the surface of the glass substrate that has been subjected to the planarization method, and a liquid crystal display is manufactured using the glass substrate to which the polarizing film is attached.

上記実施形態においては、一対のガラス基板を貼り合せた液晶ディスプレイ用ガラス基板について説明したが、本発明において平坦化する対象となるガラス基板は、貼り合せ前の一枚のガラス基板であっても良く、また、液晶ディスプレイ以外のFPDに使用されるガラス基板であっても良い。   In the said embodiment, although demonstrated about the glass substrate for liquid crystal displays which bonded a pair of glass substrate, the glass substrate used as the object planarized in this invention may be one glass substrate before bonding. Moreover, the glass substrate used for FPDs other than a liquid crystal display may be sufficient.

上記実施形態における平坦化方法は、ガラス表面傷に直接樹脂を充填して硬化させる方法としたが、樹脂の充填前の傷表面に樹脂とガラスとの密着性を高めるための下塗り処理を行っても良い。   The flattening method in the above embodiment is a method in which a glass surface scratch is directly filled with a resin and cured, but an undercoating treatment is performed on the scratch surface before filling the resin to improve the adhesion between the resin and the glass. Also good.

また、上記実施形態における第一の樹脂充填工程で使用する樹脂には、ガラス基板と同じ屈折率、光透過率を有するガラス粉及び/又は樹脂粉を混合したものを使用しても良い。   Moreover, you may use what mixed the glass powder and / or resin powder which have the same refractive index and light transmittance as a glass substrate as resin used at the 1st resin filling process in the said embodiment.

本発明に係る平坦化方法の実施形態を説明するための図である。It is a figure for demonstrating embodiment of the planarization method which concerns on this invention. 液晶ディスプレイのパネル断面の模式図である。It is a schematic diagram of the panel cross section of a liquid crystal display. ガラス基板表面傷から溢出している硬化樹脂部分を除去する状況を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the condition which removes the cured resin part overflowing from the glass substrate surface crack.

符号の説明Explanation of symbols

1 ガラス基板
2 傷
3、4、4a、4b 樹脂
5 スクレーパー
1 Glass substrate 2 Scratches 3, 4, 4a, 4b Resin 5 Scraper

Claims (4)

フラットパネルディスプレイの表示素子を裏面に設けた状態のガラス基板の表面に、フッ酸を溶解させた水溶液を接触させて、前記ガラス基板の表面を溶解させる薄型化工程と、
前記ガラス基板表面に存在する凹部に硬化性樹脂を注入し、前記硬化性樹脂がゼリー状の硬度となるまで不完全硬化させて前記凹部を不完全に覆う第一充填工程と、
前記不完全に覆われた凹部を完全に覆うべく、第一充填工程で使用されると同じ前記硬化性樹脂を前記凹部に追加注入して前記硬化性樹脂を硬化させる第二充填工程と、
を設けてガラス基板を平坦化して完成されるフラットパネルディスプレイの製造方法
A thinning step in which an aqueous solution in which hydrofluoric acid is dissolved is brought into contact with the surface of the glass substrate in a state where the display element of the flat panel display is provided on the back surface, and the surface of the glass substrate is dissolved,
A first filling step of injecting a curable resin into a concave portion present on the surface of the glass substrate , and incompletely curing the curable resin until the curable resin has a jelly-like hardness, and covering the concave portion incompletely ;
The so incompletely covered recess to completely cover a second filling step of curing when used the same said curable resin the curing resin by adding injected into the recess in the first filling step,
A flat panel display manufacturing method completed by flattening a glass substrate .
前記硬化性樹脂は、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化樹脂である請求項1に記載の製造方法 The manufacturing method according to claim 1, wherein the curable resin is an ultraviolet curable resin that is cured by irradiation with ultraviolet rays . 前記硬化性樹脂は、嫌気性条件および紫外線照射条件の両条件が揃ったときに硬化する嫌気性紫外線硬化樹脂である請求項2に記載の製造方法 The manufacturing method according to claim 2, wherein the curable resin is an anaerobic ultraviolet curable resin that cures when both anaerobic conditions and ultraviolet irradiation conditions are met . 前記フラットパネルディスプレイは、一対のガラス基板の間に、液晶が封入された液晶セル領域が設けられた液晶ディスプレイである請求項1〜3の何れかに記載の製造方法 The manufacturing method according to claim 1, wherein the flat panel display is a liquid crystal display in which a liquid crystal cell region in which liquid crystal is sealed is provided between a pair of glass substrates .
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