JP4398195B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
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Description
2 第2のダミーメモリセルアレイロー
3 第2のダミーメモリセルアレイコラム
4 第1のダミーメモリセルアレイロー
5 第1のダミーメモリセルアレイコラム
6 ワードドライバブロック
7 ローデコーダブロック
8 第1のダミーワードドライバブロック
9 第2のダミーワードドライバブロック
10 第1のダミーローデコーダブロック
11 第2のダミーローデコーダブロック
12 スイッチブロック
13 第1のダミースイッチブロック
14 第2のダミースイッチブロック
15 センスアンプブロック
16 第1のダミーセンスアンプブロック
17 第2のダミーセンスアンプブロック
18 コントロール回路
30、32、33、34、51、53、54、55、56 NchMOSトランジスタ
31、50、52 PchMOSトランジスタ
Claims (8)
- 長方形状の第1の領域と、第1の領域の周辺領域において、前記第1の領域と平行に配置され、前記第1の領域の一辺に対応する長手方向の辺と、前記第1の領域の別の一辺と同一直線上に存在する短手方向の辺を有する長方形状の第2の領域と、前記第2の領域の短手方向の辺に隣接する長方形状の第3の領域とを備えた半導体記憶装置であって、
前記第1の領域には、複数のメモリセルがアレイ状に配置されており、
前記第2の領域には、メモリセルを駆動させるために当該複数のメモリセルの間隔に依存させて複数のNchMOSトランジスタが並設され、前記複数のNchMOSトランジスタに並行させて複数のPchMOSトランジスタが並設され、前記複数のNchMOSトランジスタのそれぞれの間において、隣り合うトランジスタと拡散層を共通化させた状態で形成され、ゲート電極が接地されることにより、当該隣り合うトランジスタ同士を電気的に絶縁する複数のダミートランジスタが配置されており、
前記複数のNchMOSトランジスタ、前記複数のPchMOSトランジスタは、それぞれ前記第2の領域の長手方向に並設されており、
前記複数のNchMOSトランジスタが形成される領域と、前記複数のPchMOSトランジスタの各々が形成される各領域とは、それぞれがSTI(Shallow Trench Isolation)により素子分離されており、
前記第2領域において最も端に存在するNchMOSトランジスタの前記第3領域側の拡散層は、前記第3領域に延設されており、
前記第2領域において最も端に存在するNchMOSトランジスタのゲート電極からゲート長方向の素子分離領域までの距離は、前記第2領域において最も端に存在するPchMOSトランジスタのゲート電極からゲート長方向の素子分離領域までの距離よりも長いことを特徴とする、半導体記憶装置。 - 複数の前記NchMOSトランジスタおよび複数の前記PchMOSトランジスタは、アレイ状に配置された前記メモリセルの行を選択するための複数のワード線を駆動させるためのワードドライバに用いられることを特徴とする、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記NchMOSトランジスタと前記PchMOSトランジスタとは、CMOSインバータを構成し、
前記ワード線は、前記CMOSインバータの出力となる、前記NchMOSトランジスタと前記ダミートランジスタとで共通化された拡散層に接続されていることを特徴とする、請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 複数の前記NchMOSトランジスタおよび複数の前記PchMOSトランジスタは、前記複数のメモリセルから信号を読み出す複数のビット線を駆動させるための複数のスイッチに用いられることを特徴とする、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 各前記スイッチは、前記NchMOSトランジスタの拡散層と前記PchMOSトランジスタの拡散層とが互いに接続され、さらに当該NchMOSトランジスタのゲートと前記PchMOSトランジスタのゲートとが、各当該スイッチを駆動させるための信号線に接続されることにより構成され、
前記スイッチに含まれるNchMOSトランジスタの拡散層は、隣接する前記スイッチに含まれるNchMOSトランジスタの拡散層と前記ダミートランジスタにより分離されていることを特徴とする、請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 複数の前記NchMOSトランジスタおよび複数の前記PchMOSトランジスタは、前記複数のメモリセルから読み出された信号を増幅する複数のセンスアンプに用いられることを特徴とする、請求項1に記載の半導体記憶装置。
- 前記ダミートランジスタは、互いに隣接するセンスアンプに含まれる前記NchMOSトランジスタの拡散層同士を分離するように配置されることを特徴とする、請求項6に記載の半導体記憶装置。
- 更に、前記第1の領域の四辺を取り囲むように配置され、前記第2の領域に隣接する第4の領域を備え、
前記第4の領域には動作しない複数のダミーメモリセルが配置されている
ことを特徴とする、請求項1に記載の半導体記憶装置。
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