JP4382595B2 - 粘性流体供給装置及びその固化防止方法 - Google Patents
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Description
また、前記ピストンは、側面が前記タンクの内周面に接する筒体であり、上下動に伴って、前記タンクの内周面に付着した粘性流体を掻き落としてもよい。
図1は、本実施の形態の粘性流体供給装置を含んで構成される粘性流体塗布装置の外観図であり、図2は、同粘性流体塗布装置の構造を説明するための図である。
塗布ヘッド100は、粘性流体を吐出するノズル310と吐出用シャフト320とを有し、X方向、Y方向、Z方向に移動可能である。
カートリッジ330内には、カートリッジ330内の粘性流体の液面を覆い、カートリッジ330内で上下動する筒体であるピストン334が配設される。ピストン334の側面はカートリッジ330の内周面と接し、カートリッジ330の内周面に沿って移動するため、カートリッジ330の内周面に付着する粘性流体はピストン334により掻き落とされる。ここで、ピストン334はプラスチック等からなる弾性部材であり、ピストン334の形状は、圧縮空気と粘性流体とに挟まれて外周面に加えられる力に応じて変化する。ただし、このピストン334は必ずしも弾性部材である必要はない。
まず、基板検出センサーが所定の位置まで基板140aが搬送されたのを検出すると共に、粘性流体塗布装置は塗布動作を開始する(ステップS400)。
次に、塗布ヘッド100により基板140aに粘性流体を塗布させる(ステップS430)。
最後に、基板検出センサーが所定の位置に基板140aが無く、搬出されたのを検出すると共に、粘性流体塗布装置は塗布動作を終了する(ステップS450)。
粘性流体塗布装置が塗布動作を開始する前に、ピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体に継続的な一定の力をかけ始めるタイミングと、所定の時間経過後、その力が一旦、開放され、さらにピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体にパルス状の力をかけ始めるタイミングとを示す。このとき、継続的な一定の力は、切替えバルブ331によりカートリッジ330をエアー供給源332に連通させ、大気圧よりも大きい圧力の圧縮空気が常にピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体に供給されるようにすることで発生し、パルス状の力は、切替えバルブ331による切替えを所定の時間間隔、例えば2secで繰り返し、所定の時間間隔で圧力が変化する断続的な一定の圧縮空気、つまり、圧力が上昇・下降を繰り返す圧縮空気がピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体に供給されるようにすることで発生する。
次に、スクリュー部321を回転させて、粘性流体をノズル310から吐出させる(t=t1)。
最後に、スクリュー部321の回転を停止させて、ノズル310からの粘性流体の吐出を停止させる(t=t3)。
図7(a)は、塗布動作および基板の搬入・搬出が行われない時などにおいて、ピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体に供給されている継続的な一定の圧縮空気が開放されずに供給され続けられていた時の時間の経過、あるいは、開放された状態で放置されていた時の時間の経過と、それらの状況下におけるピストン334とカートリッジ330との隙間に存在する粘性流体(図3におけるA部の粘性流体)の粘度の変化との関係を示している。図7(b)は、ピストン334を通じてカートリッジ330内の粘性流体に供給されている継続的な一定の圧縮空気が開放された後、圧縮空気が断続的に供給された時の時間の経過と、ピストン334とカートリッジ330との隙間に存在する粘性流体(図3におけるA部の粘性流体)の粘度の変化との関係を示す図である。
また、(1)基板に粘性流体が塗布されるステージ及びそのステージの手前にある所定の位置に、次に塗布されるべき基板が何らかのトラブルによって制御された所定の時間内に搬入されない場合、粘性流体の塗布が終了された基板が何らかのトラブルによって制御された所定の時間内に搬出されない場合、あるいは、(2)正常時間内に基板の搬入・搬出は行われたが、基板の搬入・搬出が完了するまでに粘性流体の粘性度が上昇してしまう程度の所定の時間を要する場合における、所定の時間は、それぞれ塗付ヘッド100に供給される粘性流体の種類、例えば温度等の供給条件等により決定されてもよい。
102 粘性流体供給装置
110 X軸部
120 Y軸部
130 Z軸部
140 基板搬送部
140a 基板
150 ヘッド高さ検出センサー
160 制御部
310 ノズル
320 吐出用シャフト
321、810 スクリュー部
330 カートリッジ
331 切替えバルブ
332 エアー供給源
334 ピストン
340 供給配管
341 供給コック
800 容器
820 駆動モータ
830 供給口
Claims (5)
- 被塗布体に粘性流体を塗布する塗布ヘッドに粘性流体を供給する粘性流体供給装置であって、
粘性流体を保持する筒状のタンクであって、該タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導く供給配管と接続されたタンクと、
前記タンクに保持された粘性流体の液面を覆い、前記タンク内で上下動するピストンと、
前記タンク内における前記ピストンよりも上方の空間に、大気圧よりも大きい圧力を継続的に加えることにより、エアーを供給するエアー供給手段と、
開閉により前記タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導くか否かを決定し、粘性流体の供給をオン/オフするように、前記供給配管に接続された供給コックにより前記塗布ヘッドへの粘性流体の供給が停止され前記塗布ヘッドが基板への塗布動作を終了してからの粘性流体を塗布してない時間が前記タンク内の粘性流体の粘性度が上昇する程度の所定時間に達した事を検出する検出手段と、
前記検出手段が粘性流体を塗布してない時間が前記所定時間に達した事を検出した場合に、前記エアー供給手段に対して、大気圧よりも大きい圧力を継続的に加える供給状態からパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返す固化防止状態に切替えるように制御する制御手段とを備える
ことを特徴とする粘性流体供給装置。 - 前記検出手段として、次に塗布される基板が所定の時間内に搬入されないことを検出する、もしくは、粘性流体の塗布が終了された基板が所定の時間内に搬出されないことを検出する基板検出センサーを備える
ことを特徴とする請求項1に記載の粘性流体供給装置。 - 前記塗布ヘッドは、スクリュー部を回転させて粘性流体をノズルより吐出させる構成とし、
前記検出手段が、前記スクリュー部の回転開始、停止を検出することにより、粘性流体を塗布してない時間が所定時間に達した事を検出する
ことを特徴とする請求項1に記載の粘性流体供給装置。 - 被塗布体に粘性流体を塗布する塗布ヘッドに粘性流体を供給する粘性流体供給装置における粘性流体の固化防止方法であって、
前記粘性流体供給装置は、
粘性流体を保持する筒状のタンクであって、該タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導く供給配管と接続されたタンクと、
前記タンクに保持された粘性流体の液面を覆い、前記タンク内で上下動するピストンとを備え、
前記粘性流体の固化防止方法は、
前記タンク内に大気圧よりも大きい圧力を継続的に加えることによりエアーを供給し、
開閉により前記タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導くか否かを決定し、粘性流体の供給をオン/オフするように、前記供給配管に接続された供給コックにより前記塗布ヘッドへの粘性流体の供給が停止され前記塗布ヘッドが基板への塗布動作を終了してからの粘性流体を塗布してない時間が前記タンク内の粘性流体の粘性度が上昇する程度の所定時間に達した事を検出した場合に、前記エアーの供給において、大気圧よりも大きい圧力を継続的に加える供給状態からパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返す固化防止状態に切替える
ことを特徴とする粘性流体の固化防止方法。 - 被塗布体に粘性流体を塗布する塗布ヘッドに粘性流体を供給する粘性流体供給装置を動作させるためのプログラムであって、
前記粘性流体供給装置は、
粘性流体を保持する筒状のタンクであって、該タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導く供給配管と接続されたタンクと、
前記タンクに保持された粘性流体の液面を覆い、前記タンク内で上下動するピストンとを備え、
前記プログラムは、
前記タンク内に大気圧よりも大きい圧力を継続的に加えることによりエアーを供給するステップと、
開閉により前記タンク内の粘性流体を前記塗布ヘッドに導くか否かを決定し、粘性流体の供給をオン/オフするように、前記供給配管に接続された供給コックにより前記塗布ヘッドへの粘性流体の供給が停止され前記塗布ヘッドが基板への塗布動作を終了してからの粘性流体を塗布してない時間が前記タンク内の粘性流体の粘性度が上昇する程度の所定時間に達した事を検出した場合に、前記エアーの供給において、大気圧よりも大きい圧力を継続的に加える供給状態からパルス状に供給圧力の上昇、下降を繰返す固化防止状態に切替えるステップと
をコンピュータに実行させるプログラム。
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