JP4337904B2 - 集積回路装置および電子機器 - Google Patents

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Description

本発明は、静電気保護耐性を向上させた集積回路装置および電子機器に関する。
集積回路装置(IC)の集積度の向上、微細化の進展に伴い、静電破壊対策はますます重要となっている。ICメーカは、厳格な静電破壊試験にパスすることが可能な信頼性の高い製品を製造する必要がある(例えば、特許文献1)。
また、異なる電源系の回路間における静電保護回路は、例えば、特許文献2に記載されている。
特開平2000−206177号公報 特開2006−100606号公報
本発明者の検討によって以下の事項が明らかとなった。すなわち、例えば、1.8V電源で動作する低耐圧トランジスタで構成される第1の回路ブロックと、別系統の1.8V電源で動作する低耐圧トランジスタで構成される第2の回路ブロックと、の間に、同じく1.8V電源で動作する低耐圧トランジスタで構成されるインタフェース回路を設け、第1の回路ブロックと第2の回路ブロックの各電源間に異なる極性の静電気を印加すると、特殊な静電破壊メカニズムによって、インタフェース回路を構成する絶縁ゲートトランジスタのゲート絶縁膜が破壊される場合があることがわかった。
本発明者によって明らかとされた新たな静電破壊メカニズムの一例では、第1の高電位電源および第1の低電位電源で動作する第1の回路ブロックと、第2の高電位電源および第2の低電位電源で動作する第2の回路ブロックを想定し、かつ、第1の回路ブロックと第2の回路ブロックとが、別電源(上記の第1および第2の電源系)で動作する一対の入出力バッファを含むバッファ回路を介して信号を伝達することを想定し(この場合、第1の回路ブロックから第2の回路ブロックへの信号伝達に寄与する第1のバッファ回路と、第2の回路ブロックから第1の回路ブロックへの信号伝達に寄与する第2のバッファ回路の少なくとも一つが存在することになる)、そして、例えば、第1の高電位電源に正極性の静電サージを印加し、第2の低電位電源に負極性の静電サージを印加する場合を想定する(当然のことながら、第2の高電位電源に正極性の静電サージを印加し、第1の低電位電源に負極性の静電サージを印加する場合を想定され得る)。
この新たな静電破壊メカニズムの一例によれば、その静電サージエネルギの一部が、上述の一対の入出力バッファを含んで構成されるバッファ回路を経由して流れる(つまり、正規の信号伝達ルートを経由して流れる)ことに起因して、特に、入力バッファを構成するトランジスタのゲート絶縁膜の破壊が生じ易い。そして、この静電破壊メカニズムには、低電位電源間に挿入される静電気保護回路や、別系統の電源の各々に設けられる電源間保護回路等とも関連する。
また、静電保護対策として新たに静電保護回路を設けるためには、素子の追加が必要となり、回路の複雑化、占有面積の増大を招く。
また、静電破壊を効率的に防止するためには、静電保護回路を最適化する必要があるが、この場合、レイアウト上あるいは製造プロセス上の制約から最適化がむずかしくなる等の不都合が生じる場合がある。
特に、超微細な集積回路装置(IC)では、占有面積の増大を抑制しつつ最適化された静電保護回路を、効果的な位置に無理なく配置することが重要となり、従来技術では、このような要求をすべて満足させることは困難である。
本発明は、このような考察に基づいてなされたものであり、その目的は、別電源系インタフェース回路を含む集積回路装置の静電破壊耐性を、無理なく、効果的に向上させることにある。
(1)本発明の集積回路装置の一態様では、別系統電源で動作する第1の回路ブロックおよび第2の回路ブロックと、前記第1の回路ブロックと前記第2の回路ブロックとの間に設けられるインタフェース回路と、を含み、前記第1の回路ブロックは、第1の高電位電源および第1の低電位電源で動作し、前記第2の回路ブロックは、第2の高電位電源および第2の低電位電源で動作し、前記インタフェース回路は、第1のバッファ回路および第2のバッファ回路の少なくとも1つを有し、前記第1のバッファ回路は、前記第1の回路ブロックからの信号をバッファリングして第1の信号経路に出力する、前記第1の高電位電源および第1の低電位電源で動作する第1の出力バッファと、前記第1の出力バッファから前記第1の信号経路を経由して送られてくる信号をバッファリングして前記第2の回路ブロックに供給する、前記第2の高電位電源および第2の低電位電源で動作する第1の入力バッファと、前記第1の信号経路と前記第2の高電位電源との間に設けられた第1のPN接合ダイオードと、前記第1の信号経路と前記第2の低電位電源との間に設けられた第2のPN接合ダイオードと、前記第1の信号経路に介在する、不純物領域によって形成された第1の静電保護抵抗とを含み、前記第2のバッファ回路は、前記第2の回路ブロックからの信号をバッファリングして第2の信号経路に出力する、前記第2の高電位電源および第2の低電位電源で動作する第2の出力バッファと、前記第2の出力バッファから前記第2の信号経路を経由して送られてくる信号をバッファリングして前記第1の回路ブロックに供給する、前記第1の高電位電源および第1の低電位電源で動作する第2の入力バッファと、前記第2の信号経路と前記第1の高電位電源との間に設けられた第3のPN接合ダイオードと、前記第2の信号経路と前記第1の低電位電源との間に設けられた第4のPN接合ダイオードと、前記第2の信号経路に介在する、不純物領域によって形成された第2の静電保護抵抗とを含む。
別系統電源で動作する第1および第2の回路ブロック間の静電保護回路は、高電位電源ならびに低電位電源に接続される、PN接合ダイオードで構成されたダイオードと、不純物領域によって形成される抵抗(すなわち拡散抵抗)と、を含む。PN接合ダイオードによって静電エネルギを電源電位に逃がすことができ、信号経路に挿入された拡散抵抗によって、静電エネルギを減衰させることができる。よって、別電源で動作する回路ブロック間のインタフェース(特に、入力バッファ部分)で発生するトランジスタの静電破壊を、効果的に防止することができる。
(2)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の低電位電源と前記第2の低電位電源との間には、ノイズ阻止および静電気保護のための静電気保護回路が設けられ、前記静電気保護回路は、前記第1の低電位電源から前記第2の低電位電源に向かう方向を順方向とする少なくとも一つの第5のダイオードと、前記第2の低電位電源から前記第1の低電位電源に向かう方向を順方向とする少なくとも一つの第6のダイオードとが並列に接続されて構成される双方向ダイオードを含む。
第1および第2の低電位電源間には、少なくとも1段の双方向ダイオードからなる静電気保護回路が設けられる点を明らかとしたものである。双方向ダイオードは、順方向が互いに逆向きのダイオードを並列に接続して構成されるダイオードである。この静電気保護回路は、第1の回路ブロックの第1の高電位電源と第2の回路ブロックの第2の低電位電源との間に、正極性又は負極性の静電気電圧が印加された場合の静電気エネルギ(静電サージ)の放電パスを構成する。これによって、インタフェース回路を構成する絶縁ゲートトランジスタのゲートに、静電サージの全エネルギが直接に印加されることを防止することができる。この静電気保護回路は、第1および第2の低電位電源間におけるノイズ伝達の阻止機能も有する。この構成によって、特殊な静電破壊メカニズムによって生じる、別電源系回路間のインタフェース回路におけるゲート絶縁膜の破壊を効果的に防止することができる。
(3)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の高電位電源と前記第1の低電位電源との間に設けられた第1の電源間保護素子と、前記第2の高電位電源と前記第2の低電位電源との間に設けられた第2の電源間保護素子と、を、さらに有する。
第1の電源間保護素子が設けられることによって、第1の回路ブロックの電源間に静電気が印加されたときに、放電パスが形成されてサージ電流をバイパスすることができるため、第1の回路ブロックを静電破壊から保護することができる。同様に、第2の電源間保護素子が設けられることによって、第2の回路ブロックの電源間に静電気が印加されたときに、放電パスが形成されてサージ電流をバイパスすることができるため、第2の回路ブロックを静電破壊から保護することができる。
(4)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第2の回路ブロックは、複数の基本セル間を配線で接続して所望の回路を設計するセミカスタムIC設計手法によって形成される回路を含む回路ブロックであり、前記基本セルは、回路構成要素として、少なくとも、第1導電型ウエル領域と、第2導電型ウエル領域と、前記第1導電型ウエル領域に設けられた第2導電型拡散層と、前記第2導電型ウエル領域に設けられた第1導電型拡散層と、少なくとも一つのゲート電極層と、を含み、前記第1のバッファ回路に含まれる前記第1のPN接合ダイオード、前記第2のPN接合ダイオードならびに前記第1の静電保護抵抗の各々は、前記第2の回路ブロック用の前記基本セルに含まれる少なくとも1つの前記回路構成要素を用いて構成される。
第1のバッファ回路に含まれるPN接合ダイオードや拡散抵抗は、セミカスタムIC設計手法(アレイセル方式)で設計される回路を含む第2の回路ブロック用の基本セルを用いて構成される点を明らかとしたものである。「セミカスタムIC」には、「ゲートアレイ」、「エンベッデッドアレイ」、「スタンダードセル」等のアレイセル方式の回路が含まれる。第2の回路ブロックは例えばゲートアレイで構成される。ゲートアレイでは、基本セルは豊富に用意されており、通常の回路構成では使用されずに残る基本セルも多くあるため、これらの基本セルを有効利用すれば、必要な特性をもつ静電保護回路を、占有面積を増大させることなく、無理なく設計することができる。
(5)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の回路ブロックは、複数の基本セル間を配線で接続して所望の回路を設計するセミカスタムIC設計手法によって形成される回路を含む回路ブロックであり、前記基本セルは、回路構成要素として、少なくとも、第1導電型ウエル領域と、第2導電型ウエル領域と、前記第1導電型ウエル領域に設けられた第2導電型拡散層と、前記第2導電型ウエル領域に設けられた第1導電型拡散層と、少なくとも一つのゲート電極層と、を含み、前記第2のバッファ回路に含まれる前記第3のPN接合ダイオード、前記第4のPN接合ダイオードならびに前記第2の静電保護抵抗の各々は、前記第1の回路ブロック用の前記基本セルに含まれる少なくとも1つの前記回路構成要素を用いて構成される。
第2のバッファ回路に含まれるPN接合ダイオードや拡散抵抗は、セミカスタムIC設計手法(アレイセル方式)で設計される回路を含む第1の回路ブロック用の基本セルを用いて構成される点を明らかとしたものである。「セミカスタムIC」には、「ゲートアレイ」、「エンベッデッドアレイ」、「スタンダードセル」等のアレイセル方式の回路が含まれる。第2の回路ブロックは例えばゲートアレイで構成される。ゲートアレイでは、基本セルは豊富に用意されており、通常の回路構成では使用されずに残る基本セルも多くあるため、これらの基本セルを有効利用すれば、必要な特性をもつ静電保護回路を、占有面積を増大させることなく、無理なく設計することができる。
(6)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第2導電型ウエル領域内に前記第1導電型ウエル領域が形成され、前記少なくとも一つのゲート電極層は、前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層上、ならびに前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層上を通過して第1の方向に直線状に延在し、前記第1の信号経路または前記第2の信号経路を構成する配線層は、前記ゲート電極層に対して平行に延在すると共に、互いに電気的に接続された第1の配線部分と第2の配線部分と、を含んで構成され、前記第1の配線部分は、前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層と複数のコンタクトを経由して接続されると共に、その端部が、前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層に、前記複数のコンタクトよりも少ない数のコンタクトを経由して接続され、前記第2の配線部分は、その端部が、前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層に少なくとも一つのコンタクトを経由して接続され、前記第1のバッファ回路または前記第2のバッファ回路に含まれる前期PN接合ダイオードは、前記第1導電型ウエル領域と前記第2導電型拡散層との接合面あるいは前記第2導電型ウエル領域と前記第1導電型拡散層との接合面を用いて形成され、前記第1の静電保護抵抗または前記第2の静電保護抵抗は、前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層あるいは前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層を拡散抵抗として用いて形成される。
基本セルを有効に利用して、最もコンパクトな静電保護回路(PN接合ダイオードと拡散抵抗を含む)を、無理なく構成する場合の最適なレイアウトの一例を明らかとしたものである。また、第1の配線部分に接続されるコンタクト数を増やすことによって、コンタクト面積が増大し、過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がすことが可能となる。
(7)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記配線層の前記第1の配線部分と前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層とを接続するための前記複数のコンタクトの配置間隔は、前記第1の配線部分の端部と前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層とを接続する前記コンタクトと、前記第2の配線部分の端部と前記第1導電型拡散層とを接続する前記コンタクトとの配置間隔よりも狭く設定される。
過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がすためのコンタクトの間隔を、拡散抵抗を接続するためのコンタクトの間隔よりも狭く設定する点を明らかとしたものである。第1の配線部分に接続される複数のコンタクトを密に配置することによって、コンタクト面積が増大し、過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がすことが可能となり、一方、拡散抵抗に接続するコンタクトの間隔は広めにとることによって、十分な抵抗値を確保することができる。
(8)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の入力バッファまたは前記第2の入力バッファを構成するトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1の回路ブロックまたは第2の回路ブロックを構成するトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚よりも厚く設定される。
静電保護回路(PN接合ダイオードと拡散抵抗を含む)を設けることに加えて、静電破壊が生じ易いトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚を意図的に増大させることによって、トランジスタの静電破壊耐量を無理なく向上させ、静電対策に万全を期すものである。
(9)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の回路ブロックを構成する第1導電型トランジスタは、第2導電型ウエルに形成され、
前記第1の回路ブロックを構成する第2導電型トランジスタは、前記第2導電型ウエルを囲むように第2導電型基板に形成された第1の第1導電型ウエルに形成され、
前記第2の回路ブロックを構成する第2導電型トランジスタは、前記第1の回路ブロック用の前記第1の第1導電型ウエルとは異なる第2の第1導電型ウエルに形成され、
前記第2の回路ブロックを構成する第1導電型トランジスタは、前記第2導電型基板に形成される。
本態様の集積回路装置では、トリプルウエル構造が採用される点を明らかとしたものである。本発明の回路は、第1の回路と第2の回路とが別系統の電源で動作することを前提としている。トリプルウエル構造を用いると、別系統の電源で動作する回路を無理なく、かつコンパクトに形成できるという利点がある。トリプルウエル構造によれば、第1の回路ブロックのトランジスタと第2の回路ブロックのトランジスタを、第2導電型基板(例えばPSUB)と第1の第1導電型ウエル(例えばNウエル)との間に形成される障壁(ダイオード)によって電気的に分離することができる。したがって、電気的に独立した第1および第2の回路ブロックを近接して設けることも可能である。
(10)本発明の集積回路装置の他の態様では、前記第1の回路ブロックは、シリアルバスを介してデータ転送を行う高速インタフェース回路ブロックであり、前記高速インタフェース回路ブロックは、アナログ回路を含む物理層回路と、ロジック回路と、を含み、前記2の回路ブロックは、表示装置を駆動するための表示制御信号を生成するドライバ用ロジック回路ブロックである。
本発明を液晶表示装置用のドライバICに適用できる点を明らかとしたものである。
(11)本発明の電子機器は、本発明の集積回路装置と、本発明の集積回路装置によって駆動される表示装置と、を含む。
本発明の集積回路装置は、簡単な構成によって静電破壊耐性が効果的に向上され、信頼性が高いため、この集積回路装置を搭載する電子機器の信頼性も向上する。
このように、本発明によれば、簡単な構成によって、別電源系インタフェース回路を含む集積回路装置の静電破壊耐性を、無理なく効果的に向上させることができ、これによって、ICの信頼性が向上する。
次に、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に説明する本実施形態は特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
(本発明の集積回路装置の基本構成の一例)
図1は、本発明の集積回路装置の基本構成の一例を示す図である。図示されるように、図1の集積回路装置は、シリアル通信線を経由してホスト(例えば、液晶表示装置の表示動作を制御するホストコンピュータ)100から送られてくる画像信号(階調データ)や制御信号を受ける第1の回路ブロック(例えば、高速インタフェース回路ブロック)200と、第1の回路ブロック200とは別系統の電源で動作する第2の回路ブロック(例えば、ロジック回路ブロック)400と、第1の回路ブロック200と第2の回路ブロック400との間に設けられた(別電源系回路間の)インタフェース回路300(以下、I/Oバッファ300という場合がある)と、第2の回路ブロック(例えばロジック回路)400によって動作が制御されるドライバ回路(例えば、液晶表示装置のデータ線駆動回路等)500と、を含んで構成されている。
第2の回路ブロック400は、例えば、ゲートアレイ等のセミカスタムIC設計手法(基本セルを利用して効率的に回路を設計する手法)で設計される回路である。以下の説明では、このような回路をアレイセルということがある。また、第1ブロックも、ゲートアレイ等のセミカスタムIC設計手法で設計される回路(アレイセル)を含んでいる(すなわち、第1のブロック全部がアレイセルであってもよく、その一部がアレイセルであってもよい)。
第1の回路ブロック200、インタフェース回路(I/Oバッファ)300と、第2の回路ブロック400は共に、低耐圧トランジスタ(LVTr)で構成される低耐圧回路(例えば、1.8V系回路)である。ドライバ回路500は、中耐圧回路または高耐圧回路である。
また、(別電源系回路間の)インタフェース回路(I/Oバッファ)300は、第1の回路ブロック200から第2の回路ブロック400への信号経路を提供する第1のバッファ回路BF1と、第2の回路ブロック400から第1の回路ブロック200への信号経路を提供する第2のバッファ回路BF2と、を有する。
第1のバッファ回路BF1は、第1の回路ブロック200からの信号を受ける出力バッファ302と、この出力バッファ302からの信号を受ける入力バッファ304と、を含む。
出力バッファ302と入力バッファ304とは第1の信号経路(以下、単に信号線という)L1で接続されており、この信号線L1には、静電保護回路(ED1)が介在している。
また、第1の信号経路(信号線)L1には、第1の静電保護回路ED1が介在している。この静電保護回路ED1は、信号線L1と第2の高電位電源(VDD2)との間に接続されたPN接合ダイオードDIA1と、信号線L1と第2の低電位電源(VSS2)との間に接続されたPN接合ダイオードDIB1と、信号線L1に挿入された拡散抵抗(不純物領域によって形成される抵抗)R1と、を含んで構成される。
静電保護回路ED1は、第2の回路ブロック400用の基本セル(未利用の基本セル)を利用して効率的に形成するのが望ましい。
同様に、第2のバッファ回路BF2は、第2の回路ブロック400からの信号を受ける出力バッファ306と、この出力バッファ306からの信号を受ける入力バッファ308と、を含む。
出力バッファ306と入力バッファ308とは第2の信号経路(以下、単に信号線という)L2で接続されており、この信号線L2には、静電保護回路(ED2)が介在している。
静電保護回路ED2は、信号線L2と第2の高電位電源(VDD1)との間に接続されたPN接合ダイオードDIA2と、信号線L1と第2の低電位電源(VSS1)との間に接続されたPN接合ダイオードDIB2と、信号線L1に挿入された拡散抵抗(不純物領域によって形成される抵抗)R2と、を含んで構成される。
静電保護回路ED2は、第1の回路ブロック200用の基本セル(未利用の基本セル)を利用して効率的に形成するのが望ましい。
静電保護回路(ED1,ED2)では、PN接合ダイオード(DIA,DIB)によって静電エネルギを電源電位に逃がすことができる。また、信号線(L1,L2)に挿入された拡散抵抗(R1,R2)によって、静電エネルギを減衰させることができる。
また、本発明の回路では、第1および第2の低電位電源(VSS1およびVSS2)間に双方向ダイオード(順方向が互いに逆向きのダイオードを並列に接続して構成されるダイオード)を含む静電気保護回路が設けられる点も重要であるが、この点については図6,図7を用いて、後に具体的に説明する。
なお、静電保護回路ED1およびED2は同様の構成をもつため、以下の説明では、静電保護回路(ED1)を例にとって、詳しく説明することとする。
次に、インタフェース回路(I/Oバッファ)300において、ゲート絶縁膜破壊が生じ易くなる原因(新たな静電破壊モード)について考察する。この考察は、本発明前に、本発明の発明者によってなされたものである。
(新たな静電破壊モードについての考察)
(1)第1の検討例
図2は、第1の検討例に係る(別電源系回路間の)インタフェース回路の構成例を示す回路図である。
図2の回路では、第1の回路ブロック200、第2の回路ブロック400ならびにI/Oバッファ300(入力バッファ302と出力バッファ304を含む)は、共に、共通の電源電圧(VDD1,VSS1)にて動作している。入力バッファ302は、PMOSトランジスタM10とNMOSトランジスタM20からなる。また、出力バッファ304は、PMOSトランジスタM30とNMOSトランジスタM40からなる。
第1の高電位電源(VDD1)と第1の低電位電源(VSS1)との間には、ダイオードやサイリスタによって構成される電源間保護素子(PD1,PD2)が設けられている。電源間に静電パルスが印加されたとき、電源間保護素子(PD1,PD2)がオンして放電パスを形成することによって、静電気エネルギをバイパスすることができ、第1および第2の回路ブロック(200,400)の静電破壊を防止することができる。
しかし、図2の回路では、例えば、第2の回路ブロック400で生じた電源ノイズ(NZ1)が、第1の回路ブロック200の動作(特に、アナログ回路の動作)に悪影響を与える場合がある。
(2)第2の検討例
図3は、第2の検討例に係る(別電源系回路間)インタフェース回路の構成例を示す回路図である。図3では、第1の回路ブロック200の電源と第2の回路ブロック400の電源は完全に分離されている。よって、図2の場合のような、各回路間の電源ノイズの悪影響は生じない。
しかし、第1の高電位電源(VDD1)が印加される端子に正極性の静電パルス(NZ2)を与え、第2の低電位電源(VSS2)が印加される端子に負極性の静電パルス(NZ3)を与えた場合、信号線L1を経由して、図中、太い点線で示されるルート(RT1)を経由して静電気に起因した過渡電流(瞬時的な大電流)が流れ、このとき、入力バッファ304を構成するPMOSトランジスタM30およびNMOSトランジスタM40(特に、下段のNMOSトランジスタM40)のゲート絶縁膜が破壊される場合がある。
(3)第3の検討例
図4は、第2の検討例に係る(別電源系回路間)インタフェース回路の構成例を示す回路図である。
図4では、第1および第2の低電位電源(VSS1およびVSS2)間に、双方向ダイオード(順方向が互いに異なる2つのダイオードDI1,DI2を並列に接続した構成をもつダイオード)からなる静電気保護回路350が設けられている。
この構成によれば、例えば、第1の高電位電源(VDD1)が印加される端子に正極性の静電パルス(NZ2)を与え、第2の低電位電源(VSS2)が印加される端子に負極性の静電パルス(NZ3)を与えた場合、第1のダイオードDI1がオンして、図中、太い点線で示されるようなバイパスルートRT2を経由した放電パスが形成される。よって、静電気に起因した過渡電流(瞬時的な大電流)は、このバイパスルートRT2を経由して放電することができる。また、双方向ダイオード(DI1,DI2)の各々は、0.6V程度の順方向電圧を有するため、この順方向電圧が障壁となって、微小な電源ノイズの伝達も阻止される。
図4の回路によれば、入力バッファ304を構成するトランジスタ(M30,M40)のゲート絶縁膜の破壊は防止されるはずである。
図5は、別電源系回路間のインタフェース回路における、ゲート絶縁膜の静電破壊の新たなメカニズムを示す図である。しかし、実際には、図5に点線で示すルートRT1を経由して、静電サージのエネルギの一部は、正規の信号線L1を経由して流れる。したがって、やはり、入力バッファ304を構成するトランジスタ(M30,M40:特に、下段のNMOSトランジスタM40)のゲート絶縁膜の破壊(図中、点線の×印で示す)が生じる場合がある。
つまり、図4のような双方向ダイオードDI1,DI2からなる静電気保護回路350を設ける構成だけでは、静電破壊防止の完全な阻止という点では、不十分であることがわかった。
このような考察に基づいて、本発明では、図1に示すように、静電保護回路(ED1,ED2)を設けている。
さらに本発明では、第2の回路ブロック400がゲートアレイ等のセミカスタムIC設計手法で設計される回路である点に着目し、静電保護回路(ED1,ED2)を、ゲートアレイの残余の基本セル(余っている基本セル)を用いて形成する。以下、具体的に説明する。
(第1の実施形態)
図6は、本発明の集積回路装置における第1のバッファ回路に設けられる静電保護回路の
具体的回路構成の一例を説明するための回路図である。上述のような考察にかんがみて、本発明では、図6に示すように、静電破壊が生じ易い入力バッファ304の前段に、静電保護回路ED1を設ける。
静電保護回路ED1は、信号線L1と第2の高電位電源(VDD2)との間に接続されたPN接合ダイオードDIA1と、信号線L1と第2の低電位電源(VSS2)との間に接続されたPN接合ダイオードDIB1と、信号線L1に挿入された拡散抵抗(不純物領域によって形成される抵抗)R1と、を含んで構成される。抵抗R1は静電保護抵抗として機能する。
PN接合ダイオードDIA1は、信号線L1に過大な正極性のサージが印加されたときにオンして、そのサージをVDD2に速やかに逃がす。また、PN接合ダイオードDIA2は、信号線L1に過大な負極性のサージが印加されたときにオンして、そのサージをVSS2に速やかに逃がす。静電保護抵抗R1は、静電サージのエネルギを減衰させ、また、サージの鋭いピークを鈍らせる。したがって、トランジスタM30,M40は、静電破壊から保護されることになる。
また、第1および第2の低電位電源電圧(VSS1およびVSS2)間には、少なくも1段の双方向ダイオード(DIA1,DIB2)からなる静電気保護回路350が設けられている。
この静電気保護回路350は、第1の回路ブロック200の第1の高電位電源(VDD1)と第2の回路ブロック400の第2の低電位電源(VSS2)との間に、正極性又は負極性の静電気電圧が印加された場合に、図6中、太い点線の矢印で示される静電気エネルギ(静電サージ)の放電パス(RT2)を構成する。これによって、出力バッファ304を構成するトランジスタ(M30,M40)のゲートに、静電サージの全エネルギが直接に印加されることを防止することができる。この静電気保護回路350は、第1および第2の低電位電源(VSS1,VSS2)間におけるノイズ伝達の阻止機能も有する。
図6の構成によって、図5に示したような、特殊な静電破壊メカニズムによって生じる別電源系回路間のインタフェース回路300におけるゲート絶縁膜の破壊を効果的に防止することができる。
また、静電保護回路(ED1)は、ゲートアレイの残余の基本セルを利用して構築でき、よって、占有面積が増大しない。また、ゲートアレイの設計ルールにしたがって、自在に最適化設計ができるため、高性能の静電保護回路(ED1,ED2)を効率的に得ることができる。
図7は、本発明の集積回路装置における第2のバッファ回路に設けられる静電保護回路の具体的回路構成の一例を説明するための回路図である。図示されるように、第2のバッファ回路BF2(図1参照)に含まれる第2の静電保護回路ED2の構成も、図6に示される第1の静電保護回路ED1の構成と同様である。
(PN接合ダイオードならびに拡散抵抗の構造とレイアウト例)
図8(A),図8(B)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成を示すデバイスの断面図である。なお、図8(B)は、図8(A)のデバイスの等価回路図を示す。
上述のとおり、静電保護回路(ED1,ED2)は、ゲートアレイの基本セル(BC)を用いて構成される。
図8(A)に示すように、P型基板(PSUB)上に、互いに逆の導電型のダブルウエル(PWL,NWL)が形成され、Pウエル(PWL)にはN+拡散層12が形成され、
Nウエル(NWL)にはP+拡散層10が形成される。Pウエル(PWL)はVSS2に接続され、Nウエル(NWL)はVDD2に接続される。
Pウエル(PWL)とN+拡散層12との接合面にダイオードDIBが形成され、Nウエル(NWL)とP+拡散層10との接合面にダイオードDIAが形成される。また、P+層10によって、抵抗R1が形成される。
また、信号線L1は、第1の配線部分L1aおよび第2の配線部分L1bに区別される。第1の配線部分L1aは、複数のコンタクトCNT1aを経由して、N+拡散層12に接続されている。第1の配線部分L1aの先端部は、コンタクトCNT1b(複数のCNT1aよりも少ない数のコンタクト)を経由して、P+拡散層10に接続されている。また、第2の配線部分L1bの端部は、少なくとも一つのコンタクト(CNT2)を経由してN+拡散層10に接続されている。CNT1aの数を増やすことによって実質的なコンタクト面積が増大し、過大な静電エネルギをVSS2に速やかに逃がし易くなる。
図9は、図8のデバイスのレイアウト構成の一例を示す図である。図9のレイアウトでは、Pウエル(PWL)の左辺が、Nウエル(NWL)の右辺に重なる(重なっている部分が線分PQである)。
2本のゲート電極層(PLY1,PLY2)は、Pウエル(PWL)に設けられているN+層12上、ならびに、Nウエル(NWL)に設けられているP+層10上を通過して、辺PA2から辺PA4に向かう方向(方向DC1)に沿って、直線状に延在している。
信号線L1の第1の配線部分L1a,L1bは、2本のゲート電極層(PLY1,PLY2)に挟まれた形態で、同方向に延在する。
このような構成を採ることによって、ゲートアレイの基本セル(BC)を有効に利用して、最もコンパクトな静電保護回路(PN接合ダイオードDIA,DIBと拡散抵抗R1を含む)を、無理なく構成することができる。
また、第1の配線部分(L1a)に接続されるコンタクト(CNT1a)の数を増やすことによって、コンタクト面積が増大し、過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がすことが可能となる。
また、複数のコンタクト(CNT1a)の間隔(W1)は、P+層10に接続するためのコンタクト(CNT1b,CNT2)間の間隔(W2)よりも十分に狭い。コンタクト間隔を狭くしてコンタクトを密に配置することによって、コンタクト面積が増大し、過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がすことができる。また、P+層10(拡散抵抗R1)に接続するコンタクト(CNT1b,CNT2)間の間隔は広めにとることによって、抵抗R1の十分な抵抗値を確保することができる。
図10は、図8のデバイスのレイアウト構成の他の例を示す図である。図10の特徴は、複数のコンタクト(CNT1a)の数を効率的に増やすために、他の基本セルを利用している点である。すなわち、他の基本セルを利用して3個のコンタクト(CNT1’)を設けることによって、コンタクト面積がさらに増大し、過大な静電エネルギを速やかに電源電位に逃がす能力が向上する。
図11(A),図11(B)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成の他の例を示すデバイスの断面図である。図11(B)は、図11(A)のデバイスの等価回路図を示す。図11(A)の構成は、図8(A)のデバイスを構成する各部の導電型を逆にしただけであり、実質的な構成は同じである。
図12(A),図12(B),図12(C)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成の、さらに他の例を示すデバイスの断面図および等価回路図である。図12(A)では、2つのダイオード(DIA,DIB)を共に、拡散抵抗をもつ構造としている。つまり、図12(A)の場合、静電サージのエネルギをより効果的に減衰させるために、拡散抵抗R0とR2が直列に接続されるようにしている。図12(B)は、図12(A)のデバイスの等価回路図を示す。なお、図12(B)の構造の代わりに、図12(C)に示されるような構造を用いることもできる。
(双方向ダイオードの構成)
図13(A),図13(B)は、第1および第2の低電位電源間に挿入される静電気保護回路(双方向ダイオード)の回路構成を示す図である。図13(B)のように、複数段のダイオードを設けることもできるが、ここでは、図13(A)のように、1個のダイオードを設ける場合について説明する。
図13において、A点(DI1のカソードとDI2のアノードの共通接続点)の電位はVB(=VSS2)であり、B点(DI1のアノードとDI2のカソードとの共通接続点)の電位はVA(=VSS1)である。
図14は、図13(図16(A))に示される静電気保護回路(双方向ダイオード)のデバイス構成を示す断面図である。図示されるように、第1のダイオード(PN第1のダイオード(PN接合ダイオード)DI1は、Pウエル3と、N+領域4との間に形成される。また、第2のダイオード(PN接合ダイオード)DI2は、P+領域5とNウエル2との間に形成される。
図18は、図16(図16(A))に示される静電気保護回路(双方向ダイオード)のデバイス構造の他の例を示す断面図である。図18では、よりシンプルな構造が採用されている。すなわち、第1のPN接合ダイオードDI1は、P+領域5aとNウエル(NWL)7aの接合面に形成されている。また、第2のPN接合ダイオードDI2は、P+領域5bとNウエル(NWL)7bの接合面に形成されている。図18の構造を採用する場合、製造プロセス上の負担が少ないという利点がある。
(第2の実施形態)
本実施形態では、本発明を液晶表示装置のドライバICに適用した場合の例について説明する。
(液晶表示装置の全体構成)
図16は、本発明を適用した液晶表示装置のドライバIC(ならびに液晶パネルの一部)の構成を示すブロック図である。
液晶パネル512は、複数のデータ線(D)と、複数の走査線(S)と、データ線および走査線により特定される複数の画素を有する。そして各画素領域における電気光学素子(狭義には、液晶素子)の光学特性を変化させることで、表示動作を実現する。各画素は、トランスファースイッチ(M)と、保持容量(Q)と、液晶素子(LC)と、によって構成される。
この液晶パネル512は、TFT、TFDなどのスイッチング素子を用いたアクティブマトリクス方式のパネルにより構成される。なお液晶パネル512は、アクティブマトリクス方式以外のパネルであってもよいし、液晶パネル以外のパネル(有機ELパネル等)であってもよい。
図16の液晶表示装置のドライバIC(参照符号105)において、第1の実施形態で説明した本発明の技術が用いられるのは、高速インタフェース(高速I/F回路)620と、ドライバ用ロジック回路540(図中、太い点線で囲んで示される)とのインタフェース部分である。
以下、図16に示される液晶表示装置のドライバIC(参照符号105)の構成について、順に説明する。
メモリ520(RAM)は画像データを記憶する。メモリセルアレイ522は複数のメモリセルを含み、少なくとも1フレーム(1画面)分の画像データ(表示データ)を記憶する。このメモリ520は、ローアドレスデコーダ524(MPU/LCDローアドレスデコーダ)、カラムアドレスデコーダ526(MPUカラムアドレスデコーダ)、ライト/リード回路528(MPUライト/リード回路)を含む。
ロジック回路540(ドライバ用ロジック回路)は、表示タイミングやデータ処理タイミングを制御するための表示制御信号を生成する。このロジック回路540は例えばゲートアレイ(G/A)などの自動配置配線により形成できる。
制御回路542は各種制御信号を生成したり、装置全体の制御を行う。表示タイミング制御回路544は表示タイミングの制御信号を生成し、メモリ520から液晶パネル512側への画像データの読み出しを制御する。
ホストI/F(インタフェース)回路546は、ホスト(MPU)からのアクセス毎に内部パルスを発生してメモリ520にアクセスするホストインタフェースを実現する。RGBI/F回路548は、ドットクロックにより動画のRGBデータをメモリ520に書き込むRGBインタフェースを実現する。高速I/F回路620はシリアルバスを介した高速シリアル転送を実現する。
データドライバ550は、液晶パネル512のデータ線を駆動するためのデータ信号を生成する。具体的にはデータドライバ550は、メモリ520から画像データである階調データを受け、階調電圧生成回路610から複数(例えば64段階)の階調電圧(基準電圧)を受ける。そして、これらの複数の階調電圧の中から、階調データに対応する電圧を選択して、データ信号(データ電圧)として液晶パネル512の各データ線に出力する。
走査ドライバ570は液晶パネルの走査線を駆動するための走査信号を生成する。電源回路590は各種の電源電圧を生成し、データドライバ550、走査ドライバ570、階調電圧生成回路610等に供給する。階調電圧生成回路610(γ補正回路)は階調電圧を生成し、データドライバ550に出力する。
(高速インタフェース回路(高速I/F回路)の具体的な構成と動作)
次に、高速I/F回路620の具体的な構成について説明する。図17(A)〜図17(C)は、高速インタフェース回路(高速I/F回路)の具体的な構成と動作を説明するための図である。
図17(A)に高速I/F回路620の構成例を示す。物理層回路630(アナログフロントエンド回路、トランシーバ)は、差動信号(差動データ信号、差動ストローブ信号、差動クロック信号)等を用いたシリアルバスを介してデータ(パケット)を受信したり、送信するための回路である。具体的にはシリアルバスの差動信号線を電流駆動又は電圧駆動することによりデータの送受信が行われる。この物理層回路630は、シリアルバスを介してデータを受信するレシーバ回路及びシリアルバスを介してデータを送信するトランスミッタ回路の少なくとも一方を含むことができる。
なお、シリアルバスは多チャンネル構成のものであってもよい。またシングルエンド転送でシリアル転送を行ってもよい。また物理層回路630は高速ロジック回路を含むことができる。この高速ロジック回路は、シリアルバスの転送クロックに相当する高速クロックで動作する回路である。具体的には物理層回路630は、シリアルバスを介して受信したシリアルデータをパラレルデータに変換するシリアル/パラレル変換回路、シリアルバスを介して送信するシリアルデータにパラレルデータを変換するパラレル/シリアル変換回路、FIFO、エラスティシティバッファ、或いは分周回路などを含むことができる。
ロジック回路650は高速I/F回路620が内蔵するロジック回路であり、物理層の上層であるリンク層やトランザクション層の処理を行う。例えばシリアルバスを介して物理層回路630が受信したパケットを解析し、パケットのヘッダとデータを分離して、ヘッダを抽出する。また、シリアルバスを介してパケットを送信する場合には、そのパケットの生成処理を行う。このロジック回路650は例えばゲートアレイ(G/A)などの自動配置配線により形成できる。
ロジック回路650はドライバI/F回路672を含む。ドライバI/F回路672は、高速I/F回路620と表示ドライバの内部回路(図7のドライバ用ロジック回路540、ホストI/F回路546)との間のインタフェース処理を行う。具体的にはドライバI/F回路672は、アドレス0信号A0(コマンド/データ識別信号)、ライト信号WR、リード信号RD、パラレルデータ信号PDATA、チップセレクト信号CSなどを含むインタフェース信号を生成して、表示ドライバの内部回路(他の回路ブロック)に出力する。
図17(B)に物理層回路の構成例を示す。図11(B)において、物理層回路640はホストデバイスに内蔵され、物理層回路630は表示ドライバに内蔵される。また636、642、644はトランスミッタ回路であり、632、634、646はレシーバ回路である。また638、648はウェイクアップ検出回路である。ホスト側のトランスミッタ回路642はSTB+/−を駆動する。
そしてクライアント側のレシーバ回路632は、駆動により抵抗RT1の両端に発生した電圧を増幅し、ストローブ信号STB_Cを後段の回路に出力する。またホスト側のトランスミッタ回路644はDATA+/−を駆動する。そしてクライアント側のレシーバ回路634は、駆動により抵抗RT2の両端に発生した電圧を増幅し、データ信号DATA_C_HCを後段の回路に出力する。
図17(C)に示すように送信側は、データ信号DATAとクロック信号CLKの排他的論理和をとることで、ストローブ信号STBを生成し、このSTBを高速シリアルバスを介して受信側に送信する。そして受信側は、受信したデータ信号DATAとストローブ信号STBの排他的論理和をとることで、クロック信号CLKを再生する。
なお物理層回路の構成は図17(B)に限定されず、例えば図18(A),図18(B)に示すような種々の変形実施が可能である。図18(A),図18(B)は、高速インタフェース(I/F)回路に含まれる物理層の構成の変形例を示す回路図である。
図18(A)の第1の変形例では、ホスト側は差動クロック信号CLK+/−のエッジに同期して差動データ信号(OUTデータ)DTO+/−を出力する。従ってターゲット側は、CLK+/−を用いてDTO+/−をサンプリングして取り込むことができる。またターゲット側はホスト側から供給された差動クロック信号CLK+/−に基づいて差動ストローブ信号STB+/−を生成して出力する。そしてターゲット側はSTB+/−のエッジに同期して差動データ信号(INデータ)DTI+/−を出力する。従ってホスト側は、STB+/−を用いてDTI+/−をサンプリングして取り込むことができる。
また、図18(B)の第2の変形例では、データ用のレシーバ回路750は差動データ信号DATA+/−を受信し、得られたシリアルデータSDATAをシリアル/パラレル変換回路754に出力する。クロック用のレシーバ回路752は差動クロック信号CLK+/−を受信し、得られたクロックCLKを後段のPLL(Phase Locked Loop)回路756に出力する。PLL回路756は、クロックCLKに基づいてサンプリングクロックSCK(周波数が同一で位相が互いに異なる多相のサンプリングクロック)を生成し、シリアル/パラレル変換回路754に出力する。シリアル/パラレル変換回路754は、サンプリングクロックSCKを用いて、シリアルデータSDATAをサンプリングし、パラレルデータPDATAを出力する。
例えば携帯電話機などでは、MPU、BBE/APP、画像処理コントローラなどのホストデバイスは、電話番号入力や文字入力のためのボタンが設けられる携帯電話機の第1の機器部分の第1の回路基板に実装される。また表示ドライバは、液晶パネル(LCD)やカメラデバイスが設けられる携帯電話機の第2の機器部分の第2の回路基板に実装される。
そして、従来は、ホストデバイス、表示ドライバの間でのデータ転送は、CMOS電圧レベルのパラレル転送により実現していた。このため、第1、第2の機器部分を接続するヒンジなどの接続部分を通る配線の本数が多くなって、設計の自由度を妨げたり、EMIノイズが発生するなどの問題があった。
これに対して図17および図18の高速インタフェース回路では、ホストデバイス、表示ドライバ間でのデータ転送は小振幅のシリアル転送により実現される。従って第1、第2の機器部分の接続部分を通る配線の本数を減らすことができると共にEMIノイズの発生を低減できる。
(液晶表示装置用ドライバICのレイアウト構成例)
図19は、液晶表示装置用ドライバIC105のレイアウト例を示す図である。図示されるように、中央に、高速I/F回路620と、ドライバ用ロジック回路540と、階調電圧発生回路610と、が配置される。また、データ線ドライバ550a,bと、メモリ520a,bと、走査線ドライバ570a,bと、電源回路590a,bの各々は、左右対称に整然と配置される。また、図19において、I/O領域(IO1,IO2)は入力信号を受けるパッド領域である。また、パッド領域(PDS)は、出力パッドが一列に配置される領域である。
(ICにおいて使用される回路の種類)
図20は、液晶表示装置用ドライバICにおいて使用される回路の種類(耐圧別の分類)を示す図である。図20に示すように、IC105には、低耐圧回路領域(LVR)と、低耐圧回路領域LVよりも耐圧が高い中耐圧領域(MVR)と、中耐圧回路領域MVよりも耐圧が高い高耐圧回路領域(HVR)と、が設けられる。
低耐圧領域(LVR)には、高速I/F回路ブロック620、I/Oバッファ(インタフェース回路)300、およびドライバ用ロジック回路ブロック540が設けられる。中耐圧回路領域(MVR)には、電源回路590の一部と、データ線ドライバ550と、階調電圧生成回路610と、が形成される。高耐圧回路領域(HVR)には、走査線ドライバ570および電源回路590の一部が設けられる。
(第1の回路ブロックと第2の回路ブロックのデバイス構造(トリプルウエル構造))
本発明の集積回路装置(IC)105では、例えば、トリプルウエル構造が採用される。図1で説明したように、第1の回路ブロックと第2の回路ブロックとが別系統の電源で動作することを前提としている。
トリプルウエル構造を用いると、別系統の電源で動作する回路を無理なく、かつコンパクトに形成できるという利点がある。トリプルウエル構造によれば、第1の回路ブロックのトランジスタと第2の回路ブロックのトランジスタを、第2導電型基板(例えば、PSUB)と第1の第1導電型ウエル(例えばNWL(1))との間に形成される障壁(ダイオード)によって電気的に分離することができる。したがって、電気的に独立した第1および第2の回路ブロックを、近接して設けることも可能である。
以下、図面を参照して説明する。図21(A),図21(B)は、第1の回路ブロックと第2の回路ブロックのデバイス構造(トリプルウエル構造)を示すデバイスの断面図である。
図21(A)に示すように、高速I/F回路ブロックHBが含むN型トランジスタ(広義には第1導電型トランジスタ)NTR1は、P型ウエル(広義には第2導電型ウエル)PWL(1)に形成される。また高速I/F回路ブロックHBが含むP型トランジスタ(広義には第2導電型トランジスタ)PTR1は、P型ウエルPWL(1)を囲むようにP型基板PSUBに形成されたN型ウエルNWL(1)に形成される。
一方、ドライバ用ロジック回路ブロックLB(ドライバ回路)が含むN型トランジスタNTR2、P型トランジスタPTR2は、高速I/F回路ブロックHB用のN型ウエルNWL(1)には形成されず、NWL(1)の領域以外の領域に形成される。具体的にはP型トランジスタPTR2は、HB用のNWL(1)とは分離されたN型ウエルNWL(2)に形成され、N型トランジスタNTR2は、P型基板PSUBに形成される。このようにすれば、高速I/F回路ブロックHBを構成するトランジスタNTR1、PTR1と、ドライバ用ロジック回路ブロックLBを構成するトランジスタNTR2、PTR2とを、トリプルウエル構造のN型ウエルNWL(1)により分離できる。これにより、N型ウエルNWL(1)を障壁にして、HB、LB間でのノイズ伝達を防止できる。従って、LBが発生するノイズの悪影響をHB(PHY)が受けにくくなり、シリアル転送の伝送品質を維持できる。またHBが発生するノイズの悪影響をLB等が受けにくくなり、誤動作の発生等を防止できる。なおLBのトランジスタNTR2、PTR2をトリプルウエル構造で実現してもよい。
図21(B)にトリプルウエル構造の詳細例を示す。図21(B)のN型ウエルNWLA1、NWLB1、NWLB2、NWLB3が、図21(A)のN型ウエルNWL(1)に相当する。また図21(B)のP型ウエルPWLB1が、図18(A)のP型ウエルPWL(1)に相当する。また図21(B)のN型ウエルNWLB4が、図21(A)のN型ウエルNWL(2)に相当する。
図21(B)においてNWLA1は深いウエルになっており、NWLB1、NWLB2、NWLB3、NWLB4は浅いウエルになっている。またNWLB2、NWLB3はリング状に形成されている。これにより、P型ウエルPWLB1を囲むようにN型ウエルを形成できる。またP型ウエルPWLB2、PWLB3には、VSSの電源線に電気的に接続されるP+領域(広義には第2導電型拡散領域)32が形成されている。このようなP型ウエルPWLB2、PWLB3やP+領域32を設けることで、P型基板PSUBの電位を安定化でき、ノイズ耐性を向上できる。
基板電位安定化用のP+領域(第2導電型拡散領域)は、例えば図22(A),図22(B)で説明する手法により形成できる。
図22(A)では、ドライバ用ロジック回路ブロックLBの電源VSSに電気的に接続される基板電位安定化用のP+領域32が、高速I/F回路ブロックHBを囲むようにリング状にP型基板PSUBに形成されている。即ちコンタクトによりVSSの電源線に電気的に接続されたP+領域32のガードリングが、HBが形成されるN型ウエルNWL(1)の周囲を囲むように形成されている。このようにすれば、N型ウエルNWL(1)の周縁のP型基板PSUBの電位が安定化されるため、HBで発生したノイズがLB等に伝達するのを効果的に防止できる。
また図22(B)では、HBが含む物理層回路PHYは、トリプルウエル構造のN型ウエルNWL(1)1に形成され、ロジック回路HLは、NWL(1)1と分離して形成されたトリプルウエル構造のN型ウエルNWL(1)2に形成される。具体的にはPHYを構成するN型トランジスタは、P型ウエルPWL(1)1に形成される。またPHYを構成するP型トランジスタは、PWL(1)1を囲むようにPSUBに形成されたN型ウエルNWL(1)1に形成される。
一方、ロジック回路HLを構成するN型トランジスタは、P型ウエルPWL(1)2に形成される。またHLを構成するP型トランジスタは、PWL(1)2を囲むようにPSUBに形成されたN型ウエルNWL(1)2に形成される。
図22(B)のようにすれば、物理層回路PHYとロジック回路HLが、トリプルウエル構造の別ウエルに形成される。従ってHLで発生したノイズの悪影響をPHYが受けにくくなり、シリアル転送の伝送品質を維持できる。またPHYで発生したノイズの悪影響もHLが受けにくくなり、誤動作の発生等を防止できる。またHLが形成されるN型ウエルNWL(1)2が障壁となって、物理層回路PHYとドライバ用ロジック回路ブロックLBとの間でのノイズ伝達も低減できる。
また図22(B)では、VSSの電源線が、高速I/F回路ブロックHB内に配線される。すなわち、HBの周縁のみならず、図22(B)のA1に示すようにHBの内部にもVSSの電源線が配線される。そして、このように配線されたVSSに接続されるP+領域が、N型ウエルNWL(1)1とNWL(1)2の間のP型基板PSUBに形成される。
このようにすれば、N型ウエルNWL(1)1、NWL(1)2の間に介在するP型基板PSUBについても、そこに形成されるP+領域によりその電位が安定化される。従って、HLで発生したノイズがPHYに伝達しにくくなると共に、PHYで発生したノイズもHLに伝達しにくくなる。また、このようにVSSの電源線を配線すれば、HB用の電源VSSM、VSSG等とVSSとの間の保護回路についても効率良くレイアウトできるようになり、レイアウトの効率化と信頼性の向上を両立できる。
なおHB内でのN型ウエルやP+領域の形成手法は図22(A),(B)に限定されない。例えばPHYのアナログ回路が形成されるN型ウエルと、PHYの高速ロジック回路が形成されるN型ウエルとを別ウエルにしてもよい。このようにすれば、ノイズ耐性を更に向上できる。
(第3の実施形態)
図23は、本発明の集積回路装置の応用例を示す回路図である。図23の回路構成は、図6の回路構成と同じである。ただし、図23の場合、出力バッファ304を構成するトランジスタ(ゲート絶縁膜の破壊が生じ易いトランジスタ)を、低耐圧系トランジスタに代えて、中耐圧系のトランジスタ(M31,M41)によって構成している。
図24は、図23の回路の要部のデバイス断面図である。図示されるように、入力バッファ304を構成するトランジスタ(M31,M41)のゲート絶縁膜の膜厚(H2)は、第1または第2の回路ブロック(200,400)を構成するトランジスタM100,M200のゲート絶縁膜の膜厚(H1)よりも厚く設定される。
H1は例えば、50Åであり、H2は、例えば、150Åである。これによって、トランジスタ(M31,M41)に関して、2倍以上の静電耐圧を得ることができる。つまり、通常ならば回路の高速化のために低耐圧系のトランジスタを用いるところ、本実施形態では、特殊なモードの静電破壊からの保護を最優先させて、少なくとも入力バッファ(図1の参照符号304,308)を構成するトランジスタの膜厚を意図的に厚くするものである。図16の液晶ドライバ用ICでは、図20に示すように、低耐圧のトランジスタのみならず、中耐圧(あるいは高耐圧)のトランジスタも用いられているため、これらを援用すれば、マスク変更だけでゲート膜厚が厚いトランジスタを無理なく形成することが可能である。
また、入力バッファ304,308のトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚は、第1または第2の回路の一方の全部(あるいは一部)のトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚よりも厚く形成すれば、新規な構成を何ら、追加することなくトランジスタの静電破壊耐量を向上させることができる。
このように、静電保護回路(PN接合ダイオードと拡散抵抗を含む)を設けることに加えて、静電破壊が生じ易いトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚を意図的に増大させることによって、トランジスタの静電破壊耐量を無理なく向上させ、静電保護に万全を期すことができる。また、図20に示すように、耐圧の異なるトランジスタが混在するICにおいて、低耐圧(LV系)トランジスタを中耐圧(MV系)トランジスタに変更するのは、製造時のマスク変更だけで対応でき、容易である。
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
例えば、明細書又は図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語と共に記載された用語は、明細書又は図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えることができる。また、回路、電子機器の構成、動作も本実施形態で説明したものに限定に限定されず、種々の変形実施が可能である。
本発明によれば、別電源系回路(低耐圧回路)間のインタフェース回路において、ゲートアレイ等の残余の基本セルを利用して静電保護回路を形成することによって、別電源系インタフェース回路を含む集積回路装置の静電破壊耐性を、占有面積を増大させず、かつ無理なく、効果的に向上させることができる。よって、ICの信頼性を効果的に向上させることができる。
本発明は、例えば、液晶表示装置のドライバICに用いることができる。
本発明の集積回路装置の基本構成の一例を示す図 第1の検討例に係る(別電源系回路間の)インタフェース回路の構成例を示す回路図 第2の検討例に係る(別電源系回路間)インタフェース回路の構成例を示す回路図 第2の検討例に係る(別電源系回路間)インタフェース回路の構成例を示す回路図 別電源系回路間のインタフェース回路における、ゲート絶縁膜の静電破壊の新たなメカニズムを示す図 本発明の集積回路装置における第1のバッファ回路に設けられる静電保護回路の具体的回路構成の一例を説明するための回路図 本発明の集積回路装置における第2のバッファ回路に設けられる静電保護回路の具体的回路構成の一例を説明するための回路図 図8(A),図8(B)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成を示すデバイスの断面図 図8のデバイスのレイアウト構成の一例を示す図 図8のデバイスのレイアウト構成の他の例を示す図 図11(A),図11(B)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成の他の例を示すデバイスの断面図 図12(A),図12(B),図12(C)は、静電保護回路を構成するダイオードおよび抵抗の構成の、さらに他の例を示すデバイスの断面図および等価回路図 図13(A),図13(B)は、第1および第2の低電位電源間に挿入される静電気保護回路(双方向ダイオード)の回路構成の例を示す回路図 図13に示される静電気保護回路(双方向ダイオード)のデバイスの構成の一例を示す断面図 図13に示される静電気保護回路(双方向ダイオード)のデバイスの構成の他の例を示す断面図 本発明を適用した液晶表示装置のドライバIC(ならびに液晶パネルの一部)の構成を示すブロック図 図17(A)〜(C)は、高速インタフェース回路(高速I/F回路)の具体的な構成と動作を説明するための図 図18(A),図18(B)は、高速インタフェース(I/F)回路に含まれる物理層の構成の変形例を示す回路図 液晶表示装置用ドライバICのレイアウト例を示す図 液晶表示装置用ドライバICにおいて使用される回路の種類(耐圧別の分類)を示す図 (A),(B)は、第1の回路ブロックと第2の回路ブロックのデバイス構造(トリプルウエル構造)を示すデバイスの断面図 (A),(B)は、基板電位安定化用のP+領域(第2導電型拡散領域)の形成方法の一例を示す図 本発明の集積回路装置の応用例を示す回路 図23の回路の要部のデバイス断面図
符号の説明
100 ホスト 200 第1の回路ブロック
300 インタフェース回路(I/Oバッファ) 302,306 入力バッファ
304,308 出力バッファ 400 第2の回路ブロック
500 ドライバ回路

Claims (13)

  1. 第1の回路ブロックおよび前記第1の回路ブロックと異なる電源で動作する第2の回路ブロックと、前記第1の回路ブロックと前記第2の回路ブロックとの間に設けられるインタフェース回路と、を含み、
    前記第1の回路ブロックは、第1の電源および前記第1の電源よりも低電位の第2の電源で動作し、
    前記第2の回路ブロックは、第3の電源および前記第3の電源よりも低電位の第4の電源で動作し、
    前記第1の回路ブロックは、アナログ回路および第1のロジック回路を含み、かつ、前記第2の回路ブロックは、第2のロジック回路を含み、前記第1のロジック回路と前記第2のロジック回路は、前記インタフェース回路を経由して接続されており、
    前記インタフェース回路は、第1のバッファ回路および第2のバッファ回路の少なくとも1つを有し、
    前記第1のバッファ回路は、
    前記第1の回路ブロックからの信号をバッファリングして第1の信号経路に出力する、前記第1の電源および第2の電源で動作する第1の出力バッファと、
    前記第1の出力バッファから前記第1の信号経路を経由して送られてくる信号をバッファリングして前記第2の回路ブロックに供給する、前記第3の電源および前記第4の電源で動作する第1の入力バッファと、
    前記第1の信号経路と前記第3の電源との間に設けられた第1のPN接合ダイオードと、
    前記第1の信号経路と前記第4の電源との間に設けられた第2のPN接合ダイオードと、
    前記第1の信号経路に介在する、不純物領域によって形成された第1の静電保護抵抗とを含み、
    前記第2のバッファ回路は、
    前記第2の回路ブロックからの信号をバッファリングして第2の信号経路に出力する、前記第3の電源および前記第4の電源で動作する第2の出力バッファと、
    前記第2の出力バッファから前記第2の信号経路を経由して送られてくる信号をバッファリングして前記第1の回路ブロックに供給する、前記第1の電源および前記第2の電源で動作する第2の入力バッファと、
    前記第2の信号経路と前記第1の電源との間に設けられた第3のPN接合ダイオードと、
    前記第2の信号経路と前記第2の電源との間に設けられた第4のPN接合ダイオードと、
    前記第2の信号経路に介在する、不純物領域によって形成された第2の静電保護抵抗とを含む、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  2. 請求項1記載の集積回路装置であって、
    前記第1の回路ブロックは、前記集積回路装置の外に設けられる外部装置と前記第2の回路ブロックとの間に設けられた、前記外部装置と前記第2の回路ブロックとの通信のためのインタフェース回路であることを特徴とする集積回路装置。
  3. 請求項2記載の集積回路装置であって、
    前記第1の回路ブロックに設けられる前記アナログ回路は、前記外部装置との間で通信を行うためのトランスミッタおよびレシーバを有することを特徴とする集積回路装置。
  4. 請求項1〜請求項3のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第2の電源と前記第4の電源との間には、ノイズ阻止および静電気保護のための静電気保護回路が設けられ、
    前記静電気保護回路は、
    前記第2の電源から前記第4の電源に向かう方向を順方向とする少なくとも一つの第5のダイオードと、前記第4の電源から前記第2の電源に向かう方向を順方向とする少なくとも一つの第6のダイオードとが並列に接続されて構成される双方向ダイオードを含む、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  5. 請求項1〜請求項4のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第1の電源と前記第2の電源との間に設けられた第1の電源間保護素子と、
    前記第3の電源と前記第4の電源との間に設けられた第2の電源間保護素子と、
    を、さらに有することを特徴とする集積回路装置。
  6. 請求項1〜請求項5のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第2の回路ブロックは、複数の基本セル間を配線で接続して所望の回路を設計するセミカスタムIC設計手法によって形成される回路を含む回路ブロックであり、
    前記基本セルは、回路構成要素として、少なくとも、
    第1導電型ウエル領域と、
    第2導電型ウエル領域と、
    前記第1導電型ウエル領域に設けられた第2導電型拡散層と、
    前記第2導電型ウエル領域に設けられた第1導電型拡散層と、
    少なくとも一つのゲート電極層と、を含み、
    前記第1のバッファ回路に含まれる前記第1のPN接合ダイオード、前記第2のPN接合ダイオードならびに前記第1の静電保護抵抗の各々は、前記第2の回路ブロック用の前記基本セルに含まれる少なくとも1つの前記回路構成要素を用いて構成される、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  7. 請求項1〜請求項6のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第1の回路ブロックは、複数の基本セル間を配線で接続して所望の回路を設計するセミカスタムIC設計手法によって形成される回路を含む回路ブロックであり、
    前記基本セルは、回路構成要素として、少なくとも、
    第1導電型ウエル領域と、
    第2導電型ウエル領域と、
    前記第1導電型ウエル領域に設けられた第2導電型拡散層と、
    前記第2導電型ウエル領域に設けられた第1導電型拡散層と、
    少なくとも一つのゲート電極層と、を含み、
    前記第2のバッファ回路に含まれる前記第3のPN接合ダイオード、前記第4のPN接合ダイオードならびに前記第2の静電保護抵抗の各々は、前記第1の回路ブロック用の前記基本セルに含まれる少なくとも1つの前記回路構成要素を用いて構成される、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  8. 請求項6または請求項7記載の集積回路装置であって、
    前記第2導電型ウエル領域内に前記第1導電型ウエル領域が形成され、
    前記少なくとも一つのゲート電極層は、前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層上、ならびに前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層上を通過して第1の方向に直線状に延在し、
    前記第1の信号経路または前記第2の信号経路を構成する配線層は、
    前記ゲート電極層に対して平行に延在すると共に、互いに電気的に接続された第1の配線部分と第2の配線部分と、を含んで構成され、
    前記第1の配線部分は、
    前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層と複数のコンタクトを経由して接続されると共に、その端部が、前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層に、前記複数のコンタクトよりも少ない数のコンタクトを経由して接続され、
    前記第2の配線部分は、
    その端部が、前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層に少なくとも一つのコンタクトを経由して接続され、
    前記第1のバッファ回路または前記第2のバッファ回路に含まれる前記第1乃至第4のPN接合ダイオードは、前記第1導電型ウエル領域と前記第2導電型拡散層との接合面あるいは前記第2導電型ウエル領域と前記第1導電型拡散層との接合面を用いて形成され、
    前記第1の静電保護抵抗または前記第2の静電保護抵抗は、
    前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層あるいは前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層を拡散抵抗として用いて形成される、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  9. 請求項8記載の集積回路装置であって、
    前記配線層の前記第1の配線部分と前記第1導電型ウエル領域に設けられている前記第2導電型拡散層とを接続するための前記複数のコンタクトの配置間隔は、前記第1の配線部分の端部と前記第2導電型ウエル領域に設けられている前記第1導電型拡散層とを接続する前記コンタクトと、前記第2の配線部分の端部と前記第1導電型拡散層とを接続する前記コンタクトとの配置間隔よりも狭く設定される、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  10. 請求項1〜請求項9のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第1の入力バッファまたは前記第2の入力バッファを構成するトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1の回路ブロックまたは第2の回路ブロックを構成するトランジスタのゲート絶縁膜の膜厚よりも厚く設定されることを特徴とする集積回路装置。
  11. 請求項1〜請求項10のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第1の回路ブロックを構成する第1導電型トランジスタは、第2導電型ウエルに形成され、
    前記第1の回路ブロックを構成する第2導電型トランジスタは、前記第2導電型ウエルを囲むように第2導電型基板に形成された第1の第1導電型ウエルに形成され、
    前記第2の回路ブロックを構成する第2導電型トランジスタは、前記第1の回路ブロック用の前記第1の第1導電型ウエルとは異なる第2の第1導電型ウエルに形成され、
    前記第2の回路ブロックを構成する第1導電型トランジスタは、前記第2導電型基板に形成される、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  12. 請求項1〜請求項11のいずれか記載の集積回路装置であって、
    前記第1の回路ブロックは、シリアルバスを介してデータ転送を行うインタフェース回路ブロックであり、
    前記インタフェース回路ブロックは、アナログ回路を含む物理層回路と、ロジック回路と、を含み、
    前記2の回路ブロックは、表示装置を駆動するための表示制御信号を生成するドライバ用ロジック回路ブロックである、
    ことを特徴とする集積回路装置。
  13. 請求項1〜請求項12のいずれか記載の集積回路装置と、
    前記集積回路装置によって駆動される表示装置と、を含むことを特徴とする電子機器。
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